JP5162104B2 - 相互接続部材の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る相互接続部材の製造方法は、先端鋭利形状部が突設された片持ち梁部を有する相互接続部材の製造方法であって、少なくとも一面が導電性を有する支持基板を設ける基板ステップと、絶縁性を有するマスキング部材にて前記一面をパターニングするパターニングステップと、前記マスキング部材から露出した露出面に除去可能な除去層を形成する除去層ステップと、前記除去層に前記片持ち梁部の構成材料を堆積させて前記片持ち梁部を形成する梁部ステップと、を備えていることを特徴とする。
本実施形態に係るコンタクトプローブ(相互接続部材)1は、接続基板(接続対象部材)2と、接続基板2に一端3aが支持されて一方向に延びて形成された探針部(片持ち梁部)3と、接続基板2と探針部3とを接続するバンプ(接続部)5とを備えている。探針部3は、接続基板2に対して一つであっても複数であっても構わない。探針部3の他端3bには、図1(a)(b)に示すように、略円錐状の針部(先端鋭利形状部)6が設けられている。
このコンタクトプローブ1の製造方法は、図2に示すように、少なくとも一面7aが導電性を有する支持基板7を設ける基板ステップ(S01)と、絶縁性を有するマスキング部材8にて支持基板7の一面7aをパターニングするパターニングステップ(S02)と、マスキング部材8から露出した露出面10に除去可能な除去層11を形成する除去層ステップ(S03)と、除去層11に探針部3の構成材料を堆積させて探針部3を形成する梁部ステップ(S04)と、探針部3に接続基板2と接続するためのバンプ5を形成する接続部形成ステップ(S05)と、バンプ5と接続基板2とを接続する接続ステップ(S06)と、除去層11を取り除いて、支持基板7を探針部3から分離する除去分離ステップ(S07)とを備えている。
以下、各ステップについて説明する。
こうして、図4(g)に示すように、探針部3と支持基板7とを分離して所定の研磨を行うことにより、図4(h)に示すようなコンタクトプローブ1が得られる。
さらに、第一マスキング部8Aと第二マスキング部8Bとの間の支持基板7の露出面10には、支持基板7の厚さ方向に除去層11を積層させる一方、第一マスキング部8Aには、除去層11を直接的には積層させないようにすることができる。
なお、上述した第1の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第2の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係る探針部20の針部21の先端形状が、円錐台状となっている点である。
基板ステップ(S01)では、第1の実施形態と同様に、図5(a)(a')に示すように、支持基板7を載置する。
この探針部20を製造する方法によれば、第一マスキング部の形状に応じて先端形状が異なる針部を製造することができる。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第3の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係る探針部30の針部31の先端形状が、線状となっている点である。
基板ステップ(S01)では、上記の実施形態と同様に支持基板7を載置する。
パターニングステップ(S02)では、図示しない第一フォトレジストを支持基板7の一面7aに所定の厚さに塗布する。この際、第一マスキング部32が、矩形板となるようにしておく。そして、第一フォトレジストの上方から露光して硬化させ、図6(a)(a')に示すように、矩形状の第一マスキング部32を形成する。
この探針部30を製造する方法によれば、針部31の先端形状が線状のものも製造することができる。
ここで、上記実施形態では、支持基板を直接エッチングすることなく、様々な形状の針部を探針部に形成させているが、支持基板45にエッチングする場合であっても、探針部と支持基板との分離を容易にすることができる。
続いて、異方性エッチング又は機械的にエッチングを施し、図8(b)に示すように、支持基板45の一面45aに窪み部47を形成する。
さらに、上記実施形態と同様の梁部ステップ(S04)を実施して、図8(f)に示すように、探針部50を除去層53の上に形成する。この際、針部55が窪み部47に形成される。
この場合、支持基板45にはCr−Au層48が設けられているので、次回からは、基板ステップ(S01)及びパターニングステップ(S02)において、支持基板45にCr−Au層48を設ける作業を省いて、フォトレジストによるパターニングから行うことができる。
2 接続基板(接続対象物)
3,20,30,41,50 探針部(片持ち梁部)
5 バンプ(接続部)
6,21,31,42,55 針部(先端鋭利形状部)
7,45 支持基板
7a,45a 一面
8,51 マスキング部材
8A,22,32 第一マスキング部
8B,25,35 第二マスキング部
10,23,52 露出面
11,26,40,53 除去層
11A,26A,37,40A 凹部
Claims (2)
- 先端鋭利形状部が突設された片持ち梁部を有する相互接続部材の製造方法であって、
少なくとも一面が導電性を有する支持基板を設ける基板ステップと、
絶縁性を有する絶縁マスキング部材を前記一面に凸状にパターニングする絶縁パターニングステップと、
パターニングされた前記絶縁マスキング部材と前記絶縁マスキング部材から露出した前記支持基板の露出面とに前記絶縁マスキング部材の中央部に向けて張り出すように形成される除去層を形成する除去層ステップと、
前記除去層に前記片持ち梁部の構成材料を堆積させて前記片持ち梁部を形成する梁部ステップと、
前記片持ち梁部の前記先端鋭利形状部側とは反対側の面に、接続用マスキング部材をパターニングして前記片持ち梁部に接続対象部材を接続するための接続部の位置を設定する接続用パターニングステップと、
前記位置に前記接続部を形成する接続部形成ステップと、
前記接続用マスキング部材を前記片持ち梁部から除去するマスキング除去ステップと、
前記接続部と前記接続対象部材とを接続する接続ステップと、
前記除去層をエッチングにより取り除いて、前記支持基板とパターニングされた前記絶縁マスキング部材とを前記片持ち梁部から分離する除去分離ステップとを備えていることを特徴とする相互接続部材の製造方法。 - パターニングされた前記絶縁マスキング部材と前記支持基板の露出面とに、探針形成マスキング部材にて前記片持ち梁部の全体形状を決める探針形成パターニングステップを備えていることを特徴とする請求項1に記載の相互接続部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006140040A JP5162104B2 (ja) | 2006-05-19 | 2006-05-19 | 相互接続部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006140040A JP5162104B2 (ja) | 2006-05-19 | 2006-05-19 | 相互接続部材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007309817A JP2007309817A (ja) | 2007-11-29 |
JP5162104B2 true JP5162104B2 (ja) | 2013-03-13 |
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ID=38842799
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5162104B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6995748B2 (ja) | 2015-07-23 | 2022-01-17 | スリーアールティー ホールディング ピーティーワイ エルティーディー | 加工木材製品とその製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009210394A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Seiko Instruments Inc | 相互接続部材の製造方法および相互接続部材 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3097526B2 (ja) * | 1994-10-21 | 2000-10-10 | ヤマハ株式会社 | 電界放射型素子の製造方法 |
KR20080047629A (ko) * | 1998-12-02 | 2008-05-29 | 폼팩터, 인크. | 전기 접촉 구조체의 제조 방법 |
JP2003185674A (ja) * | 2001-10-11 | 2003-07-03 | Yamaha Corp | プローブユニットおよびその製造方法 |
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---|---|---|---|---|
JP6995748B2 (ja) | 2015-07-23 | 2022-01-17 | スリーアールティー ホールディング ピーティーワイ エルティーディー | 加工木材製品とその製造方法 |
JP7328188B2 (ja) | 2015-07-23 | 2023-08-16 | スリーアールティー ホールディング ピーティーワイ エルティーディー | 加工木材製品とその製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007309817A (ja) | 2007-11-29 |
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A621 | Written request for application examination |
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