JP5156798B2 - タッチスクリーンパネル及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 14
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
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- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0443—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a single layer of sensing electrodes
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04111—Cross over in capacitive digitiser, i.e. details of structures for connecting electrodes of the sensing pattern where the connections cross each other, e.g. bridge structures comprising an insulating layer, or vias through substrate
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- Pressure Sensors (AREA)
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Description
本発明はタッチスクリーンパネルに関し、特に、平板表示装置の上部基板に一体型に形成されるタッチスクリーンパネル及びその製造方法に関する。
タッチスクリーンパネルは映像表示装置などの画面に現れた指示内容を人の手又は物体で選択してユーザの命令を入力できるようにした入力装置である。
そのために、タッチスクリーンパネルは映像表示装置の前面に備えられて人の手又は物体に直接接触した接触位置を電気的信号に変換する。これにより、接触位置で選択された指示内容が入力信号として受け入れられる。このようなタッチスクリーンパネルは、キーボード及びマウスのように映像表示装置に連結されて動作する別途の入力装置に代えることができるため、その利用範囲が次第に広がる傾向にある。
タッチスクリーンパネルを実現する方式としては、抵抗膜方式、光感知方式及び静電容量方式などが知られている。
このうち、静電容量方式のタッチスクリーンパネルは、人の手又は物体が接触するとき、導電性感知パターンが周辺の他の感知パターン又は接地電極などと形成する静電容量の変化を感知することで、接触位置を電気的信号に変換する。
ここで、接触面での接触位置を明確に判断するために、感知パターンは第１方向に沿って連結されるように形成された第１感知パターン（Ｘパターン）と、第２方向に沿って連結されるように形成された第２感知パターン（Ｙパターン）とを含んで構成される。
従来の場合、前記第１及び第２感知パターンはそれぞれ互いに異なるレイヤに配置される。即ち、一例として、前記第１感知パターンは下部レイヤに位置し、第２感知パターンは上部レイヤに位置し、これらの間に絶縁膜が介在される。
但し、このように互いに異なるレイヤにそれぞれの感知パターンを形成する場合、前記感知パターンに用いられる透明導電性物質（一例として、ＩＴＯ）の面抵抗が大きくなる。そこで、大きくなった面抵抗を低減するために、前記同じレイヤに位置する感知パターンを連結する連結部の幅を広く実現することが考えられる。しかし、この構成では、上、下レイヤに位置する各連結部のオーバーラップ（overlap）面積が大きくなるため、これに対する寄生キャパシタンスの容量が大きくなって各感知パターンによるセンシング感度が低下するという短所がある。
このような短所を克服するために、前記第１及び第２感知パターンを同じレイヤに形成し、前記第１又は第２感知パターン上部の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを通じて別途の連結パターンを形成してこれを連結することが考えられる。このとき、前記連結パターンは低い抵抗値を有する金属物質で実現する。
一例として、第１感知パターンは既存の場合のように、連結部が透明導電性物質で実現され、前記第１感知パターンの連結部と交差する第２感知パターンの連結部は低抵抗の金属物質で実現される連結パターンで形成する。
即ち、前記連結パターンが形成された領域で前記第１感知パターン及び第２感知パターンは互いに交差し、前記連結パターンの幅を最小化して前記交差領域で発生する寄生キャパシタンスの影響を低減できる。
しかしながら、この場合にも第２感知パターンを連結する連結部は依然として抵抗値の高い透明導電性物質で形成され、前記交差領域のオーバーラップ面積が減少し、前記連結パターンが絶縁膜の上部に位置するため、外部から印加される静電気に脆弱であるという短所がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、同じレイヤ上に第１、２感知セルを形成し、前記第１又は第２感知セルを連結する連結パターンを前記感知セルの下部に形成し、前記連結パターンを覆う絶縁膜の形成領域を最小化するタッチスクリーンパネル及びその製造方法を提供することにある。
本発明の実施形態に係るタッチスクリーンパネルは、表示領域と、前記表示領域の外郭に形成された非表示領域とに区画される透明基板と、前記表示領域上に第１方向に多数配列された連結パターンと、前記それぞれの連結パターン上に前記連結パターンの端部が露出するようにアイランド状に形成される絶縁層と、前記露出した連結パターンの端部と接触して互いに電気的に連結され、前記第１方向に多数配列された第２感知セルと、前記表示領域上で前記第１方向と交差する第２方向に多数配列される第１感知セルと、隣接した前記第１感知セルを互いに連結し、前記アイランド状の絶縁層上に形成される連結部と、前記非表示領域に形成され、前記表示領域の端部に位置する第１感知セル及び第２感知セルとそれぞれ電気的に連結される金属パターンとが含まれることを特徴とする。
ここで、前記それぞれの金属パターンの上部には透明導電性物質で実現される導電性保護膜が更に含まれ、前記各導電性保護膜上に前記導電性保護膜の端部が露出するようにアイランド状に形成される絶縁層が更に含まれ、前記露出した導電性保護膜は前記表示領域の端部に位置する第１感知セル又は第２感知セルと接触する。
また、前記絶縁層の下部に位置し、前記連結パターンの両側に所定間隔離間して形成された一対の補助パターンが更に含まれ、前記一対の補助パターンの各端部は前記アイランド状の絶縁層の外部に露出し、前記露出した補助パターンの各端部はそれぞれ第１感知セルと接触する。
また、前記連結パターン及び金属パターンは同じレイヤ上に形成され、前記感知セルを実現する物質よりも低い抵抗値を有する金属で実現され、前記第１及び第２感知セルは透明導電性物質で実現される。
また、本発明の実施形態に係るタッチスクリーンパネルの製造方法は、表示領域と、前記表示領域の外郭に形成された非表示領域とに区画される透明基板のうち、前記表示領域上に第１方向に多数配列される連結パターンが形成される段階と、前記それぞれの連結パターン上に前記連結パターンの端部が露出するようにアイランド状の絶縁層が形成される段階と、前記露出した連結パターンの端部と接触して互いに電気的に連結され、前記第１方向に多数配列される第２感知セルが形成される段階と、前記表示領域上で前記第１方向と交差する第２方向に多数配列される第１感知セル及び隣接した前記第１感知セルを互いに連結し、前記アイランド状の絶縁層上に連結部が形成される段階とが含まれることを特徴とする。
また、前記非表示領域に形成され、前記表示領域の端部に位置する第１感知セル及び第２感知セルとそれぞれ電気的に連結される金属パターンが形成される段階が更に含まれ、前記連結パターン及び金属パターンは同じレイヤ上に同一工程で形成され、前記感知セルを実現する物質よりも低い抵抗値を有する金属で実現される。
また、前記それぞれの金属パターンの上部に透明導電性物質で実現される導電性保護膜が形成される段階が更に含まれ、前記各導電性保護膜上に前記導電性保護膜の端部が露出するようにアイランド状に形成される絶縁層が形成される段階が更に含まれる。
また、前記絶縁層の下部に位置し、前記連結パターンの両側に所定間離間する一対の補助パターンが形成される段階が更に含まれ、前記一対の補助パターンの各端部は前記アイランド状の絶縁層の外部に露出し、前記露出した補助パターンの各端部はそれぞれ第１感知セルと接触する。
このような本発明の実施形態によれば、隣接した第１又は第２感知セルを互いに連結する連結パターンをそれぞれタッチスクリーンパネルの外郭に形成される金属パターンと同じ低抵抗の金属材質で実現して前記連結パターンの静電気に対する脆弱性を改善することで、ＥＳＤ（ElectroStatic Discharge）の問題を克服できるという効果を奏する。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施形態を更に詳細に説明する。
図１Ａは、本発明の実施形態に係るタッチスクリーンパネルに形成された感知パターンの配置を示す平面図であり、図１Ｂは、図１Ａの特定部分（Ｉ-Ｉ’）に対する断面図である。
但し、これは表示領域上に多数配列された第１及び第２感知パターンのうち、表示領域の一側端部に位置する２×２感知パターンをその例として説明する。
図１Ａ及び図１Ｂを参照すれば、本発明の実施形態に係る感知パターンは、表示領域と、前記表示領域の外郭に形成された非表示領域とに区画される透明基板１０の表示領域に形成されるものであって、互いに交互に配置され、Ｘ座標が同一の１つの列又はＹ座標が同一の１つの行単位で互いに連結するように形成された第１及び第２感知パターン１２０、１４０を含む。
即ち、第１感知パターン１２０はＸ座標が同一の１つの列に配置された第１感知セル１２２と、隣接した前記第１感知セル１２２を互いに連結する連結部１２４とで構成される。また、第２感知パターン１４０はＹ座標が同一の１つの行に配置された第２感知セル１４２と、隣接した前記第２感知セル１４２を互いに連結する連結パターン１４４とで構成される。
このとき、本発明の実施形態の場合、前記第１感知セル１２２及び第２感知セル１４２は同じレイヤに形成され、前記第１及び第２感知セル１２２、１４２はタッチスクリーンパネルの動作実現のために、透明材質で実現されなければならない。これにより、前記第１及び第２感知セル１２２、１４２は透明導電性物質、即ち、一例としてインジウム-ティンオキサイド（以下、ＩＴＯ）で実現されることが好ましい。
また、前記第１感知セル１２２及び第２感知セル１４２が感知電極としての役割を果たすためには、第１方向及び第２方向に配列されたそれぞれの感知セルが電気的に連結されなければならない。
これにより、前記第１感知セル１２２は連結部１２４により互いに電気的に連結され、前記第２感知セル１４２は連結パターン１４４により互いに電気的に連結される。
このとき、前記連結部１２４は前記第１感知セル１２２と一体型に形成されるものであって、隣接した第１感知セル１２２は前記連結部１２４を通じていずれも連結される。
即ち、前記連結部１２４は前記第１感知セル１２２と同じ透明導電性物質で実現される。
これに対し、前記連結パターン１４４は前記隣接した第２感知セル１４２を電気的に連結させる別途の物質からなる。このとき、前記第１感知セル１２２、連結部１２４及び第２感知セル１４２が同じレイヤに形成されるため、前記連結部１２４と交差する前記連結パターン１４４は短絡を避けるために、前記第１、２感知セル１２２、１４２と同じレイヤに形成されることができない。
これにより、本発明の実施形態では前記連結パターン１４４が前記第１、２感知セル１２２、１４２の下部レイヤに形成されることを特徴とする。
そして、本発明の実施形態で前記連結パターン１４４は抵抗の低い金属で形成するものであって、特に、第１、２感知セル１２２、１４２が形成される表示領域の端部に隣接した非表示領域に形成されて前記感知セルにより感知された信号を駆動回路（図示せず）側に供給する金属パターン１６０と同じ材質で形成される。
即ち、前記多数の感知パターン１２０、１４０が形成された領域は、画像が表示されてタッチ位置を検出する表示領域であり、前記感知パターン１２０、１４０と電気的に連結される金属パターン１６０が形成された領域は前記表示領域の外郭に備えられる非表示領域である。
この場合、前記連結パターン１４４が前記金属パターン１６０と同じレイヤに同一工程を通じて形成されるので、前記連結パターン１４４を形成するための追加のマスク工程が不要であり、工程数及び時間を短縮できるという長所がある。
このように、前記第２感知セル１４２を互いに連結する連結パターン１４４を透明導電性物質でない低抵抗の金属で実現することによって、前記第２感知セル１４２の連結部分での電荷の流れを円滑にできるようになり、前記感知セルのセンシング感度を向上させる。
また、前記金属パターン１６０は表示領域の端部に位置する第１及び／又は第２感知セルと電気的に連結され、これは前記感知セル１２２、１４２により感知された信号を駆動回路（図示せず）側に供給する役割を果たす。
但し、本発明の実施形態の場合、前記金属パターン１６０はその上部に透明導電性物質で実現される導電性保護膜１６２が更に形成され、これを通じて工程中に発生し得る前記金属パターン１６０の腐食を防止できるようになる。
また、前記交差して重なる連結パターン１４４と連結部１２４との間の領域には前記連結パターン１４４と連結部１２４の短絡を防止するために、アイランド状の絶縁層１３０が形成される。また、前記アイランド状の絶縁層１３０は前記導電性保護膜１６２上にも形成される。ここで、前記絶縁層１３０は透明材質の無機絶縁膜であって、酸化シリコン膜（ＳｉＯ２）又は窒化シリコン膜（ＳｉＮｘ）で実現されることが好ましい。
これを通じて前記低抵抗金属で実現される連結パターン１４４が絶縁層１３０の下部に位置することで、前記連結パターンの静電気に対する脆弱性を改善できるようになり、これを通じてＥＳＤの問題を克服できる。
このとき、図示のように、前記アイランド状の絶縁層１３０は前記連結パターン１４４の全部を覆うのではなく、前記連結パターン１４４の両端、即ち、第２感知セル１４２と接触する部分を除いた領域に形成され、これを通じて別途のコンタクトホールを備えなくても前記連結パターン１４４と第２感知セル１４２は電気的に連結される。
また、前記導電性保護膜１６２上に形成される絶縁層１３０も第１感知セル１２２及び第２感知セル１４２と接触する部分は露出するように形成される。
但し、前記のようなアイランド状の絶縁層１３０が形成される場合、前記絶縁層１３０の上部に形成される連結部１２４は段差が形成される前記絶縁層１３０の端部で前記第１感知セル１２２と連結される。
即ち、前記第１感知セル１２２の幅が狭くなる部分と前記絶縁層１３０の段差が形成された部分とが会うようになるが、このような境界領域では局部的に抵抗が高くなり、前記第１感知セル１２２を連結する連結部１２４が静電気により損傷しやすいという問題がある。これは外部から静電気が流入する際に前記境界領域にジュール発熱（Joule Heating）が集中して熱損傷が発生してタッチスクリーンパネルの駆動不良を起こし得る。
これにより、本発明の実施形態では前記領域に対応する絶縁層１３０の下部に補助パターン１５０が追加で形成されることを特徴とする。
即ち、前記連結パターン１４４の両側に前記連結パターン１４４と所定間隔離間した一対の補助パターン１５０が追加で形成され、これは前記隣接した第１感知セル１２２とそれぞれ電気的に連結される。このとき、前記補助パターン１５０は前記連結パターン１４４と同じ低抵抗の金属で実現される。
また、図示のように、前記アイランド状の絶縁層１３０は前記補助パターン１５０の全部を覆うのではなく、前記補助パターン１５０のそれぞれの端部、即ち、第１感知セル１２２と接触する部分を除いた領域に形成される。このため、これを通じて別途のコンタクトホールを備えなくても前記一対の補助パターン１５０と隣接した第１感知セル１２２は電気的に連結される。
このような補助パターン１５０により前記連結部１２４が形成される部分での急激な抵抗の増加を防止できるだけでなく、第１感知セル１２２が連結されるライン単位のライン抵抗を減少させることができる。これにより、静電気によるタッチスクリーンパネルの駆動不良を防止すると共に、タッチスクリーンパネルの駆動特性を向上させることができる。
このような実施形態において、前記連結パターン１４４は図示のように、矩形バー（ｂａｒ）の形状からなり、前記補助パターン１５０はコ字状からなり得るが、これは１つの実施形態であって、必ずしもこのような形状に限定されるものではない。
図２Ａ〜図２Ｄは、図１に示す本発明の実施形態に係るタッチスクリーンパネルの製造工程を示す平面図及び断面図である。
但し、ここでは、表示領域上に多数配列された第１及び第２感知パターンのうち、表示領域の一側端部に位置する２×２感知パターンをその例として説明する。
まず、図２Ａを参照すれば、透明基板上に金属パターン１６０、連結パターン１４２及び補助パターン１５０が形成される。
ここで、前記透明基板は表示領域と、前記表示領域の外郭に形成された非表示領域とに区画される。
このとき、前記金属パターン１６０、連結パターン１４２及び補助パターン１５０は低抵抗の金属で実現されるものであって、前記低抵抗の金属はモリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、チタニウム（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ｔｉ）、モリブデン／アルミニウム／モリブデン（Ｍｏ／Ａｌ／Ｍｏ）などの金属物質で形成され得る。
前記金属パターン１６０は後で形成される第１、２感知セル（図示せず）が備えられた表示領域の端部に隣接した非表示領域に形成されるものであって、前記感知セルにより感知された信号を駆動回路（図示せず）側に供給する。
図２Ａに示す金属パターン１６０のうち、左側に形成された金属パターン１６０は後で形成される第１感知セルと電気的に連結され、下側に形成された金属パターン１６０は後で形成される第２感知セルと電気的に連結される。
また、前記連結パターン１４４は前記第２感知セルを互いに電気的に連結するものであって、前記表示領域内で前記第２感知セルが配列される方向（一例として、Ｙ方向）に所定間隔離間して配列される。
また、前記補助パターン１５０は前記連結パターン１４４と所定間隔離間した一対で実現され、これは前記隣接した第１感知セル１２２とそれぞれ電気的に連結される。
次に、図２Ｂを参照すれば、前記金属パターン１６０の上部に透明導電性物質で実現される導電性保護膜１６２が形成される。
このとき、前記導電性保護膜１６２は透明導電性物質の一例であって、ＩＴＯで実現され、これは工程中に発生し得る前記金属パターン１６０の腐食を防止する役割を果たす。
また、図２Ｂに示す導電性保護膜１６２のうち、左側に形成された金属パターン１６０上に形成された導電性保護膜１６２は後で形成される第１感知セルと接触し、下側に形成された金属パターン１６０上に形成された導電性保護膜１６２は後で形成される第２感知セルと接触する。
次に、図２Ｃを参照すれば、前記導電性保護膜１６２及び連結パターン１４２、補助パターン１５０と重なるように、アイランド状の絶縁層１３０が形成される。ここで、前記絶縁層１３０は透明材質の無機絶縁膜であって、酸化シリコン膜（ＳｉＯ２）又は窒化シリコン膜（ＳｉＮｘ）で実現されることが好ましい。
このとき、図示のように、前記アイランド状の絶縁層１３０は前記連結パターン１４４及び補助パターン１５０の全部を覆うのではなく、前記連結パターン１４４、補助パターン１５０の両端、即ち、第１、２感知セルと接触する部分を除いた領域に形成される。これを通じて別途のコンタクトホールを備えなくても前記連結パターン１４４と第２感知セルが電気的に連結され、前記補助パターン１５０と第１感知セルが電気的に連結される。
また、前記導電性保護膜１６２上に形成される絶縁層１３０も第１感知セル及び第２感知セルと接触する部分は露出するように形成される。
最後に、図２Ｄに示すように、第１感知セル１２２及び前記第１感知セル１２２を連結する連結部１２４と、第２感知セル１４２が形成される。
前記第１感知セル１２２及び第２感知セル１４２は同一工程を通じて同じレイヤに形成され、前記第１及び第２感知セル１２２、１４２はタッチスクリーンパネルの動作実現のために透明材質で実現される。
即ち、前記第１及び第２感知セル１２２、１４２は透明導電性物質、即ち、一例としてＩＴＯで実現される。
また、前記第１感知セル１２２及び第２感知セル１４２が感知電極としての役割を果たすためには、Ｘ方向及びＹ方向に配列されたそれぞれの感知セルが電気的に連結されなければならない。
これにより、前記第１感知セル１２２は前記連結部１２４により互いに電気的に連結され、前記第２感知セル１４２は既に形成された連結パターン１３４により互いに電気的に連結される。
このとき、前記連結部１２４は前記第１感知セル１２２と一体型に形成されるものであって、隣接した第１感知セル１２２は前記連結部１２４を通じていずれも連結される。
即ち、前記連結部１２４は前記第１感知セル１２２と同じ透明導電性物質で同一工程を通じて同じレイヤに形成される。
ここで、前記連結部１２４の下部には前記アイランド状の絶縁層１３０が形成されており、前記絶縁層１３０の左、右側に露出した一対の補助パターン１５０は前記第１感知セル１２２と接触する。
また、前記第２感知セル１４２は前記絶縁層１３０の上、下に露出した連結パターン１４４と接触し、これを通じて前記隣接した第２感知セル１４２は電気的に連結される。
また、図示のように、表示領域のうち、左側端部に位置する第１感知セル１２２は表示領域の左側外郭部に位置する前記導電性保護膜１６２の端部と接触し、前記導電性保護膜１６２の下部に形成された金属パターン１６０と電気的に連結される。
これと同様に、表示領域のうち、下側端部に位置する第２感知セル１４２は表示領域の下側外郭部に位置する前記導電性保護膜１６２の端部と接触し、前記導電性保護膜１６２の下部に形成された金属パターン１６０と電気的に連結される。
これを通じてＸ座標が同一の１つの列に配置された第１感知セル１２２と、隣接した前記第１感知セル１２２を互いに連結する連結部１２４で構成される第１感知パターン１２０及びＹ座標が同一の１つの行に配置された第２感知セル１４２と、隣接した前記第２感知セル１４２を互いに連結する連結パターン１４４で構成される第２感知パターン１４０が形成される。
以上説明したように、本発明の最も好ましい実施の形態について説明したが、本発明は、上記記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載され、又は明細書に開示された発明の要旨に基づき、当業者において様々な変形や変更が可能なのはもちろんであり、斯かる変形や変更が、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
１０ 透明基板
１２０ 第１感知パターン
１２２ 第１感知セル
１２４ 連結部
１３０ アイランド状の絶縁層
１４０ 第２感知パターン
１４２ 第２感知セル
１４４ 連結パターン
１６０ 金属パターン
１６２ 導電性保護膜
１２０ 第１感知パターン
１２２ 第１感知セル
１２４ 連結部
１３０ アイランド状の絶縁層
１４０ 第２感知パターン
１４２ 第２感知セル
１４４ 連結パターン
１６０ 金属パターン
１６２ 導電性保護膜
Claims (11)
- 表示領域と、前記表示領域の外郭に形成された非表示領域とに区画される透明基板と、
前記表示領域上に第１方向に多数配列された連結パターンと、
前記それぞれの連結パターン上に前記連結パターンの端部が露出するようにアイランド状に形成される絶縁層と、
前記露出した連結パターンの端部と接触して互いに電気的に連結され、前記第１方向に多数配列された第２感知セルと、
前記表示領域上で前記第１方向と交差する第２方向に多数配列される第１感知セルと、
隣接した前記第１感知セルを互いに連結し、前記アイランド状の絶縁層上に形成される連結部と、
前記非表示領域に形成され、前記表示領域の端部に位置する第１感知セル及び第２感知セルとそれぞれ電気的に連結される金属パターンと、
前記絶縁層の下部に位置し、前記連結パターンの両側に所定間隔離間して形成された一対の補助パターンとが含まれ、
前記一対の補助パターンの各端部は前記アイランド状の絶縁層の外部に露出し、
前記露出した補助パターンの各端部はそれぞれ第１感知セルと接触することを特徴とするタッチスクリーンパネル。 - 前記それぞれの金属パターンの上部には透明導電性物質で実現される導電性保護膜が更に含まれることを特徴とする請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
- 前記各導電性保護膜上に前記導電性保護膜の端部が露出するようにアイランド状に形成される絶縁層が更に含まれることを特徴とする請求項２に記載のタッチスクリーンパネル。
- 前記露出した導電性保護膜は前記表示領域の端部に位置する第１感知セル又は第２感知セルと接触することを特徴とする請求項３に記載のタッチスクリーンパネル。
- 前記連結パターン及び金属パターンは同じレイヤ上に形成され、前記感知セルを実現する物質よりも低い抵抗値を有する金属で実現されることを特徴とする請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
- 前記第１及び第２感知セルは透明導電性物質で実現されることを特徴とする請求項１に記載のタッチスクリーンパネル。
- 表示領域と、前記表示領域の外郭に形成された非表示領域とに区画される透明基板のうち、前記表示領域上に第１方向に多数配列される連結パターンが形成される段階と、
前記それぞれの連結パターン上に前記連結パターンの端部が露出するようにアイランド状の絶縁層が形成される段階と、
前記露出した連結パターンの端部と接触して互いに電気的に連結され、前記第１方向に多数配列される第２感知セルが形成される段階と、
前記表示領域上で前記第１方向と交差する第２方向に多数配列される第１感知セル及び隣接した前記第１感知セルを互いに連結し、前記アイランド状の絶縁層上に連結部が形成される段階と、
前記絶縁層の下部に位置し、前記連結パターンの両側に所定間離間する一対の補助パターンが形成される段階が含まれ、
前記一対の補助パターンの各端部は前記アイランド状の絶縁層の外部に露出し、前記露出した補助パターンの各端部はそれぞれ第１感知セルと接触することを特徴とするタッチスクリーンパネルの製造方法。 - 前記非表示領域に形成され、前記表示領域の端部に位置する第１感知セル及び第２感知セルとそれぞれ電気的に連結される金属パターンが形成される段階が更に含まれることを特徴とする請求項７に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
- 前記連結パターン及び金属パターンは同じレイヤ上に同一工程で形成され、前記感知セルを実現する物質よりも低い抵抗値を有する金属で実現されることを特徴とする請求項８に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
- 前記それぞれの金属パターンの上部に透明導電性物質で実現される導電性保護膜が形成される段階が更に含まれることを特徴とする請求項７に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
- 前記各導電性保護膜上に前記導電性保護膜の端部が露出するようにアイランド状で形成される絶縁層が形成される段階が更に含まれることを特徴とする請求項１０に記載のタッチスクリーンパネルの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2010-0023239 | 2010-03-16 | ||
| KR1020100023239A KR101040846B1 (ko) | 2010-03-16 | 2010-03-16 | 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011192251A JP2011192251A (ja) | 2011-09-29 |
| JP5156798B2 true JP5156798B2 (ja) | 2013-03-06 |
Family
ID=44405459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010153852A Active JP5156798B2 (ja) | 2010-03-16 | 2010-07-06 | タッチスクリーンパネル及びその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9001052B2 (ja) |
| JP (1) | JP5156798B2 (ja) |
| KR (1) | KR101040846B1 (ja) |
| CN (1) | CN102193672B (ja) |
| TW (1) | TWI517009B (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101448251B1 (ko) * | 2010-10-28 | 2014-10-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 스크린 패널 및 이를 구비한 표시 장치 |
| TWI439896B (zh) * | 2011-01-14 | 2014-06-01 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | 觸控面板之感應裝置 |
| US20120273257A1 (en) * | 2011-04-29 | 2012-11-01 | Innovation & Infinity Global Corp. | Transparent conductive structure applied to a touch panel and method of making the same |
| US20120279758A1 (en) * | 2011-05-03 | 2012-11-08 | Innovation & Infinity Global Corp. | Transparent conductive structure applied to a touch panel and method of making the same |
| US20140320761A1 (en) * | 2011-09-02 | 2014-10-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Touch panel and display apparatus |
| JP5721601B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2015-05-20 | 富士フイルム株式会社 | タッチパネル、及びタッチパネルの製造方法 |
| CN103049144A (zh) * | 2011-10-14 | 2013-04-17 | 宸鸿科技(厦门)有限公司 | 触控装置图形及其制造方法 |
| JP2013105429A (ja) * | 2011-11-16 | 2013-05-30 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | タッチパネル |
| JP5927915B2 (ja) * | 2012-01-11 | 2016-06-01 | 大日本印刷株式会社 | タッチパネルセンサ基板及びその基板の製造方法 |
| TWI472969B (zh) * | 2012-02-02 | 2015-02-11 | Innocom Tech Shenzhen Co Ltd | 觸控面板及包含其之觸控顯示裝置 |
| TWI453639B (zh) * | 2012-02-07 | 2014-09-21 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | 觸控面板 |
| TWI479361B (zh) * | 2012-03-08 | 2015-04-01 | Innocom Tech Shenzhen Co Ltd | 顯示模組及電子裝置 |
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| TWI484569B (zh) * | 2012-07-20 | 2015-05-11 | Nat Univ Tsing Hua | 系統級封裝方法 |
| JP2014021037A (ja) * | 2012-07-23 | 2014-02-03 | Seiko Epson Corp | Ｍｅｍｓデバイス、電子モジュール、電子機器、及び移動体 |
| KR101486459B1 (ko) | 2012-07-30 | 2015-01-28 | 이엘케이 주식회사 | 터치스크린 패널의 제조방법 |
| KR101322333B1 (ko) | 2012-07-30 | 2013-10-28 | 이엘케이 주식회사 | 금속 메쉬 구조의 터치스크린 패널 및 이의 제조방법 |
| CN103677460A (zh) * | 2012-09-26 | 2014-03-26 | 东莞万士达液晶显示器有限公司 | 触控面板 |
| JP6140970B2 (ja) | 2012-10-12 | 2017-06-07 | 三菱電機株式会社 | 表示装置およびその製造方法 |
| KR102264259B1 (ko) * | 2015-01-05 | 2021-06-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 스크린 패널의 제조방법 |
| KR20160090227A (ko) * | 2015-01-20 | 2016-07-29 | 일진디스플레이(주) | 터치 패널 및 이를 이용한 네로우 베젤을 갖는 표시장치 |
| KR102286520B1 (ko) * | 2015-11-25 | 2021-08-04 | 동우 화인켐 주식회사 | 터치 패널 및 이를 포함하는 화상 표시 장치 |
| CN106569632A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-04-19 | 业成科技（成都）有限公司 | 触控模块及其制造方法 |
| KR102487600B1 (ko) * | 2017-12-19 | 2023-01-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 입력감지부 및 이를 포함하는 표시장치 |
| CN109656411B (zh) * | 2018-12-17 | 2020-08-11 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种触控显示面板 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0574213B1 (en) | 1992-06-08 | 1999-03-24 | Synaptics, Inc. | Object position detector |
| KR20040017139A (ko) | 2002-08-20 | 2004-02-26 | 삼성전자주식회사 | 터치 패널 일체형 화상 표시 장치 및 이의 제조방법 |
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| TW200842681A (en) | 2007-04-27 | 2008-11-01 | Tpk Touch Solutions Inc | Touch pattern structure of a capacitive touch panel |
| JP4506785B2 (ja) | 2007-06-14 | 2010-07-21 | エプソンイメージングデバイス株式会社 | 静電容量型入力装置 |
| JP4616324B2 (ja) * | 2007-11-16 | 2011-01-19 | Ｓｍｋ株式会社 | タッチセンサ |
| TWM344544U (en) | 2007-12-25 | 2008-11-11 | Cando Corp | Sensory structure of touch panel |
| JP2009265748A (ja) | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル付き表示装置 |
| US9342176B2 (en) | 2008-07-21 | 2016-05-17 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display device |
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| US20100156846A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-06-24 | Flextronics Ap, Llc | Single substrate capacitive touch panel |
| KR101022087B1 (ko) * | 2009-01-16 | 2011-03-17 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 터치 스크린 패널 |
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| US8368661B2 (en) * | 2009-07-13 | 2013-02-05 | Apple Inc. | Method for fabricating touch sensor panels |
| KR101073333B1 (ko) | 2009-08-27 | 2011-10-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 |
| TWI405103B (zh) * | 2009-10-15 | 2013-08-11 | Au Optronics Corp | 觸控面板 |
-
2010
- 2010-03-16 KR KR1020100023239A patent/KR101040846B1/ko active IP Right Grant
- 2010-07-06 JP JP2010153852A patent/JP5156798B2/ja active Active
- 2010-10-05 US US12/898,005 patent/US9001052B2/en active Active
- 2010-11-23 CN CN201010560312.XA patent/CN102193672B/zh active Active
-
2011
- 2011-01-17 TW TW100101652A patent/TWI517009B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US9001052B2 (en) | 2015-04-07 |
| CN102193672B (zh) | 2015-11-25 |
| TWI517009B (zh) | 2016-01-11 |
| JP2011192251A (ja) | 2011-09-29 |
| CN102193672A (zh) | 2011-09-21 |
| KR101040846B1 (ko) | 2011-06-14 |
| TW201145133A (en) | 2011-12-16 |
| US20110227839A1 (en) | 2011-09-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120229 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120601 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121113 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121210 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
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|
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