KR101101088B1 - 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널은, 투명기판의 표시영역 상에 제 1방향으로 다수 배열된 제 1감지셀들 및 제 2방향으로 다수 배열된 제 2감지셀들과; 인접한 상기 제 2감지셀들을 서로 연결하는 연결부와; 상기 연결부와 교차되는 영역 상에 형성되며, 인접한 상기 제 1감지셀들을 서로 연결하는 연결패턴과; 상기 교차되어 중첩되는 연결부와 연결패턴 사이의 영역에 형성된 제 1절연층과; 상기 연결패턴과 중첩되는 영역 상에 형성되는 유색의 제 2절연층이 포함됨을 특징으로 한다.

Description

터치 스크린 패널 및 그 제조방법{Touch Screen Panel and fabrication method thereof}
본 발명은 터치 스크린 패널에 관한 것으로, 특히 평판표시장치의 상부기판에 일체형으로 형성되는 터치 스크린 패널에 관한 것이다.
터치 스크린 패널은 영상표시장치 등의 화면에 나타난 지시 내용을 사람의 손 또는 물체로 선택하여 사용자의 명령을 입력할 수 있도록 한 입력장치이다.
이를 위해, 터치 스크린 패널은 영상표시장치의 전면(front face)에 구비되어 사람의 손 또는 물체에 직접 접촉된 접촉위치를 전기적 신호로 변환한다. 이에 따라, 접촉위치에서 선택된 지시 내용이 입력신호로 받아들여진다. 이와 같은 터치 스크린 패널은 키보드 및 마우스와 같이 영상표시장치에 연결되어 동작하는 별도의 입력장치를 대체할 수 있기 때문에 그 이용범위가 점차 확장되고 있는 추세이다.
터치 스크린 패널을 구현하는 방식으로는 저항막 방식, 광감지 방식 및 정전용량 방식 등이 알려져 있다.
이 중 정전용량 방식의 터치 스크린 패널은, 사람의 손 또는 물체가 접촉될 때 도전성 감지패턴이 주변의 다른 감지패턴 또는 접지전극 등과 형성하는 정전용량의 변화를 감지함으로써, 접촉위치를 전기적 신호로 변환한다.
여기서, 접촉면에서의 접촉위치를 명확히 판단하기 위해, 감지패턴은 제 1방향을 따라 연결되도록 형성된 제 1감지패턴들(X 패턴들)과, 제 2방향을 따라 연결되도록 형성된 제 2감지패턴들(Y 패턴들)을 포함하여 구성된다.
종래의 경우 상기 제 1 및 제 2감지패턴들은 각각 서로 다른 레이어(layer)에 배치된다. 즉, 일 예로 상기 제 1감지패턴들은 하부 레이어에 위치되고, 제 2감지패턴들은 상부 레이어에 위치되며, 이들 사이에 절연막이 개재된다.
단, 이와 같이 서로 다른 레이어에 각각의 감지패턴들을 형성할 경우 상기 감지패턴들로 사용되는 투명 도전성 물질(일 예로 ITO)의 면저항이 크므로 이를 줄이기 위해 상기 동일 레이어에 위치한 감지패턴을 연결하는 연결부의 폭을 넓게 구현하나, 이는 상, 하 레이어에 위치한 각 연결부의 중첩(overlap) 면적이 커져 이에 대한 기생 캐패시턴스의 용량이 크게 되어 각 감지패턴에 의한 센싱 감도가 저하되는 단점이 있다.
이러한 단점을 극복하기 위해 상기 제 1 및 제 2감지패턴들을 동일한 레이어(layer)에 형성하고, 상기 제 1 또는 제 2감지패턴들 중 하나의 감지패턴들을 다른 레이어에 형성된 별도의 연결패턴들을 통해 이를 연결할 수 있다.
이 때, 상기 연결패턴은 투명 도전성 물질 또는 저저항의 불투명 금속을 구현될 수 있다.
그러나, 상기 연결패턴이 투명 도전성 물질로 구현될 경우에는 상기 연결패턴의 저항값이 높아 그 폭을 좁게 형성하는데 한계가 있으며, 이에 따라 상기 제 1 및 제 2감지셀들의 교차부에서 발생되는 기생 캐패시턴스의 영향을 줄일 수 없다는 단점이 있다.
또한, 상기 연결패턴을 저저항의 불투명 금속으로 구현할 경우 연결패턴의 폭을 최소화하여 상기 교차 영역에서 발생되는 기생 캐패시턴스 영향을 줄일 수는 있으나, 상기 연결패턴을 통과하는 전하(charge)들이 좁은 공간에 집중되고, 상기 연결패턴이 절연막 상부에 위치하기 때문에 외부에서 인가되는 정전기에 취약하다는 단점이 있다.
또한, 상기 연결패턴이 저저항의 불투명 금속으로 형성되면 불투명 금속의 특성 상 외광 반사율이 상기 투명 도전성 물질에 비해 현저히 높아 사용자의 눈에 인식되는 단점이 있다.
본 발명은 동일 레이어 상에 투명 도전성 물질로 구현되는 제 1, 2감지셀들을 형성하고, 상기 제 1 또는 제 2감지셀을 연결하는 연결패턴을 저저항의 금속으로 구현하며, 상기 연결 패턴 상에 유색의 포토레지스터를 절연막으로 형성함으로써, 상기 연결패턴에 의한 외광 반사율을 저감시키는 터치 스크린 패널 및 그 제조방법을 제공함을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널은, 투명기판의 표시영역 상에 제 1방향으로 다수 배열된 제 1감지셀들 및 제 2방향으로 다수 배열된 제 2감지셀들과; 인접한 상기 제 2감지셀들을 서로 연결하는 연결부와; 상기 연결부와 교차되는 영역 상에 형성되며, 인접한 상기 제 1감지셀들을 서로 연결하는 연결패턴과; 상기 교차되어 중첩되는 연결부와 연결패턴 사이의 영역에 형성된 제 1절연층과; 상기 연결패턴과 중첩되는 영역 상에 형성되는 유색의 제 2절연층이 포함됨을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제 1, 2감지셀 및 연결부는 투명 도전성 물질로 구현되고, 상기 연결패턴은 저저항의 금속으로 구현되며, 상기 제 2절연층은 유색의 감광막으로 구현됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 표시영역 외곽의 비표시영역에 위치하며, 상기 표시영역의 끝단에 위치한 제 1감지셀 및 제 2감지셀과 각각 전기적으로 연결되는 금속패턴들이 포함되고, 상기 금속패턴들 상에 유색의 제 2절연막이 형성된다.
또한, 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널 제조방법은, 투명기판의 표시영역 상에 제 1방향으로 다수 배열되는 제 1감지셀들과, 제 2방향으로 다수 배열되는 제 2감지셀들 및 상기 제 2감지셀을 서로 연결하는 연결부가 형성되는 단계와; 상기 연결부와 중첩되는 영역에 섬 형태의 제 1절연층이 형성되는 단계와; 상기 제 1절연층 상에 상기 제 1감지셀들을 전기적으로 연결시키는 연결패턴이 형성되는 단계와; 상기 연결패턴과 중첩되는 영역 상에 유색의 제 2절연층이 형성되는 단계가 포함됨을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 동일 레이어 상에 투명 도전성 물질로 구현되는 제 1, 2감지셀들을 형성하고, 상기 제 1 또는 제 2감지셀을 연결하는 연결패턴을 저저항의 금속으로 구현하며, 상기 연결 패턴 상에 유색의 포토레지스터를 절연막으로 형성함으로써, 상기 연결패턴에 의한 외광 반사율을 저감시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 연결패턴의 정전기 취약성을 개선하여 ESD(Electrostatic discharge) 문제를 극복함과 더불어 상기 연결패턴이 사용자의 눈에 인식됨을 방지하는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널에 형성된 감지패턴들의 배치를 나타내는 평면도.
도 2는 도 1의 특정 부분(I-I')에 대한 단면도.
도 3a 내지 도 3e는 도 1에 도시된 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널의 제조 공정을 나타내는 평면도 및 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널에 형성된 감지패턴들의 배치를 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1의 특정 부분(I-I')에 대한 단면도이다.
단, 이는 표시영역(100) 상에 다수 배열된 제 1 및 제 2감지패턴 중 표시영역(100)의 일측 끝단에 위치한 2X2 감지패턴들을 그 예로 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 감지패턴들은, 표시영역(100)과, 상기 표시영역(100) 외곽에 형성된 비표시영역(110)으로 구획되는 투명기판(10)의 표시영역(100)에 형성되는 것으로, 서로 교호적으로 배치되며 X 좌표가 동일한 하나의 열 또는 Y 좌표가 동일한 하나의 행 단위로 서로 연결되도록 형성된 제 1 및 제 2감지패턴들(120, 140)을 포함한다.
즉, 제 1감지패턴들(120)은 X 좌표가 동일한 하나의 열에 배치된 제 1감지셀(122)들과, 인접한 상기 제 1감지셀(122)들을 서로 연결하는 연결패턴(124)으로 구성되고, 제 2감지패턴들(140)은 Y 좌표가 동일한 하나의 행에 배치된 제 2감지셀(142)들과, 인접한 상기 제 2감지셀(142)들을 서로 연결하는 연결부(144)로 구성된다.
이 때, 본 발명의 실시예의 경우 상기 제 1감지셀들(122) 및 제 2감지셀들(142)은 동일 레이어(layer)에 형성되고, 상기 제 1 및 제 2감지셀들(122, 142)는 터치 스크린 패널의 동작 구현을 위해 투명 재질로 구현되어야 하며, 이에 상기 제 1 및 제 2감지셀들(122, 142)은 투명 도전성 물질 즉, 일 예로 인듐-틴 옥사이드(이하, ITO)로 구현됨이 바람직하다.
또한, 상기 제 1감지셀들(122) 및 제 2감지셀들(142)이 감지 전극으로서의 역할을 수행하기 위해서는 제 1방향 및 제 2방향으로 배열된 각각의 감지셀들이 전기적으로 연결되어야 한다.
이에 상기 제 1감지셀(122)들은 연결패턴(124)에 의해 서로 전기적으로 연결되고, 상기 제 2감지셀(142)들은 연결부(144)에 의해 서로 전기적으로 연결된다.
이 때, 상기 연결부(144)는 상기 제 2감지셀(142)들과 일체형으로 형성되는 것으로서 인접한 제 2감지셀(142)들은 상기 연결부(144)를 통해 모두 연결된다.
즉, 상기 연결부(144)는 상기 제 2감지셀(142)와 동일한 투명 도전성 물질로 구현된다.
이에 반해 상기 연결패턴(124)은 상기 인접한 제 1감지셀(122)들을 전기적으로 연결시키는 별도의 물질로 이루어진다. 이 때, 상기 제 2감지셀(142), 연결부(144) 및 제 1감지셀(122)들이 동일 레이어에 형성되기 때문에 상기 연결부(144)와 교차되는 상기 연결패턴(124)는 단락을 피하기 위해 상기 제 1, 2감지셀(122, 142)과 동일 레이어에 형성될 수 없다.
이에 본 발명의 실시예에서는 상기 연결패턴(124)이 상기 제 1, 2감지셀들(122, 142)의 상부 레이어에 형성됨을 특징으로 한다.
그리고, 본 발명의 실시예에서 상기 연결패턴(124)은 저항이 낮은 금속으로 형성하는 것으로, 특히 제 1, 2감지셀(122, 142)들이 형성되는 표시영역(100)의 끝단에 인접한 비표시영역(110)에 형성되어 상기 감지셀들에 의해 감지된 신호를 구동회로(미도시) 측으로 공급하는 금속패턴(160)과 동일한 재질로 형성된다.
즉, 상기 다수의 감지패턴들(120, 140)이 형성된 영역은 화상이 표시되어 터치 위치를 검출하는 표시 영역이며, 상기 감지패턴들(120, 140)과 전기적으로 연결되는 금속패턴들(160)들이 형성된 영역은 상기 표시영역(100) 외곽에 구비되는 비표시 영역이다.
이 경우 상기 연결패턴(124)들이 상기 금속패턴(160)과 동일한 레이어에 동일 공정을 통해 형성되므로 상기 연결패턴(124)들을 형성하기 위한 추가의 마스크 공정이 필요하지 않아 공정 수 및 시간을 단축할 수 있다는 장점이 있다.
이와 같이, 상기 제 1감지셀(122)들을 서로 연결하는 연결패턴(124)을 투명 도전성 물질이 아닌 저저항의 금속으로 구현함으로써, 상기 제 1감지셀(122)의 연결부분에서의 전하(charge) 흐름을 원활히 할 수 있게 되어 상기 감지셀의 센싱 감도를 향상시킨다.
또한, 상기 금속패턴(160)은 표시영역(100)의 끝단에 위치한 제 1 및/또는 제 2감지셀과 전기적으로 연결되며, 이는 상기 감지셀들(122, 142)에 의해 감지된 신호를 구동회로(미도시) 측으로 공급하는 역할을 한다.
또한, 상기 교차되어 중첩되는 연결패턴(124)과 연결부(144) 사이의 영역에는 상기 연결패턴(124)과 연결부(144)의 단락을 방지하기 위해 섬(island) 형태의 제 1절연층(130)이 형성된다. 여기서, 상기 제 1절연층(130)은 투명 재질의 무기 절연막으로서, 산화실리콘막(SiO2) 또는 질화실리콘막(SiNx)로 구현됨이 바람직하다.
이 때, 도시된 바와 같이 상기 섬 형태의 제 1절연층(130)은 상기 연결패턴(124)의 전부와 중첩되도록 형성되는 것은 아니며, 상기 연결패턴(124)의 양 끝단 즉, 제 1감지셀(122)과 접촉되는 부분을 제외한 영역에 형성되며, 이를 통해 별도의 콘택홀을 구비하지 않더라도 상기 연결패턴(124)과 제 1감지셀(122)들은 전기적으로 연결된다.
단, 상기 연결패턴(124) 및 금속패턴(160)은 앞서 언급한 바와 같이 Al, AlNd, Mo, Cu 등과 같은 저저항의 금속으로 구현되는데, 이와 같은 저저항의 금속은 외광 반사율이 높은 특성을 가지고 있다.
특히 상기 저저항 금속은 제 1, 2감지셀(122, 142)를 구현하는 투명 도전성 물질(일 예로 ITO)과 비교할 때 외광 반사율이 월등히 높은데, 일 예로 상기 연결패턴(124)를 Mo 등과 같은 저저항 금속으로 구현할 경우 외광 반사율이 약 90%에 달하는데 반해, 상기 연결패턴(124)를 ITO와 같은 투명 도전성 물질로 구현할 경우에는 외광 반사율이 약 10%에 불과하다.
이에 따라, 상기 연결패턴(124)을 불투명한 저저항의 금속을 구현할 경우 상기 연결패턴(124)에 의한 외광 반사율과 이와 인접하여 형성된 제 1, 2감지셀(122, 124)에 의한 외광 반사율의 차이가 크므로 상기 연결패턴(124)이 사용자의 눈에 인식될 수 있다는 단점이 있다.
본 발명의 실시예는 이와 같은 단점을 극복하기 위하여, 상기 연결패턴(124)와 중첩되는 영역 상에 외광을 흡수하는 특성을 갖는 제 2절연층(170)을 형성함을 특징으로 한다.
이 때, 상기 제 2절연층(170)은 유색의 감광막(Photo Resist)를 통해 구현됨이 바람직하며, 이와 같은 유색(일 예로 검정색)의 감광막은 입사되는 광을 흡수하는 특성이 있으므로 상기 연결패턴(124)의 상부에 형성됨으로써, 외광 반사율을 획기적으로 줄일 수 있게 된다.
또한, 상기 감광막은 절연막으로서의 역할을 수행할 수 있다. 따라서, 상기 유색의 감광막으로 구현되는 제 2절연층(170)은 상기 금속 패턴(160)과 중첩되는 영역 상에 형성된다.
이 때, 상기 금속패턴(160) 또한 외광 반사율이 높아 시인되는 단점이 있을 수 있는데, 본 발명의 실시예에서는 상기 금속패턴(160)과 중첩되는 영역 상에 형성되는 제 2절연층(170)을 기존의 투명 절연막이 아닌 유색의 감광막으로 구현함으로써 이를 방지할 수 있게 되는 것이다.
또한, 연결패턴(124) 상에 형성되는 제 2절연막과 동일한 마스크 공정을 통해 형성되므로, 상기 금속패턴(160) 상에 위치하는 절연막 형성을 위한 별도의 마스크 공정이 필요하지 않다.
단, 도시된 바와 같이 구동회로(미도시)에 신호를 전달하기 위해 FPC와 접촉되는 패드부(164)는 상기 제 2절연층(170) 외측으로 노출되며, 상기 패드부(164)는 상기 제 1, 2감지셀(122, 142)와 동일 물질로 구현된다.
도 3a 내지 도 3e는 도 1에 도시된 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널의 제조 공정을 나타내는 평면도 및 단면도이다.
단, 이는 표시영역(100) 상에 다수 배열된 제 1 및 제 2감지패턴 중 표시영역(100)의 일측 끝단에 위치한 2X2 감지패턴을 그 예로 설명한다.
먼저 도 3a를 참조하면, 투명 기판(10)의 표시영역(100) 상에 제 1감지셀(122)들 및 제 2감지셀(142)들과 상기 제 2감지셀들을 연결하는 연결부(144)가 형성된다
상기 제 1감지셀들(122) 및 제 2감지셀들(142)은 동일 공정을 통해 동일 레이어(layer)에 형성되며, 상기 제 감지셀들(122, 142)는 터치 스크린 패널의 동작 구현을 위해 투명 도전성 물질로서 인듐-틴 옥사이드(ITO)로 구현된다.
또한, 상기 제 1감지셀들(122) 및 제 2감지셀들(142)이 감지 전극으로서의 역할을 수행하기 위해서는 X 방향 및 Y 방향으로 배열된 각각의 감지셀들이 전기적으로 연결되어야 한다.
이에 상기 제 2감지셀(142)들은 상기 연결부(144)에 의해 서로 전기적으로 연결되고, 상기 제 1감지셀(122)들은 추후 형성된 연결패턴에 의해 서로 전기적으로 연결된다.
이 때, 상기 연결부(144)는 상기 제 2감지셀(142)들과 일체형으로 형성되는 것으로서 인접한 제 2감지셀(142)들은 상기 연결부(144)를 통해 모두 연결된다. 즉, 상기 연결부(144)는 상기 제 2감지셀(142)와 동일한 투명 도전성 물질로 동일 공정을 통해 동일 레이어(layer)에 형성된다.
또한, 상기 표시영역(100) 외곽에는 비표시영역(110)이 구비되며, 상기 비표시영역(110)에는 상기 표시영역(100)의 끝단에 위치한 제 1감지셀(122) 및 제 2감지셀(142)과 각각 전기적으로 연결되는 금속패턴들(미도시)이 형성된다. 여기서, 상기 금속패턴들은 상기 감지셀들에서 감지된 신호를 구동회로(미도시)로 전달하는 역할을 한다.
단, 상기 구동회로와 상기 금속패턴들이 연결되기 위해서는 FPC(미도시)가 패드부(164)와 접속됨을 통해 구현되는데, 상기 패드부(164)는 금속패턴들의 각 끝단에 형성된다.
본 발명의 실시예에서는 상기 패드부(164)가 상기 제 1, 2감지셀(122, 142)와 동일 물질로 동일한 공정을 통해 형성된다.
다음으로 도 3b에 도시된 바와 같이 상기 연결부(144)와 중첩되는 영역에 대해 섬 형태의 제 1절연층(130)이 형성된다.
이는 추후 형성될 연결패턴과 상기 연결부(144)가 서로 단락됨을 방지하기 위해 형성되며, 상기 제 1절연층(130)은 투명 재질의 무기 절연막으로서, 산화실리콘막(SiO2) 또는 질화실리콘막(SiNx)로 구현됨이 바람직하다.
이 때, 도시된 바와 같이 상기 섬 형태의 제 1절연층(130)은 상기 제 1감지셀들(122) 사이 영역에 형성되는 것으로, 이들과 중첩되지 않도록 형성됨을 바람직하다.
이는 추후 상기 제 1절연층(130) 상에 형성되는 연결패턴의 양 끝단이 별도의 콘택홀 없이 각각 제 1감지셀(122)들과 접촉되도록 하기 위함이다.
그 다음 도 3c에 도시된 바와 같이 상기 제 1절연층(130) 상에 X 방향으로바(bar) 형태의 연결패턴(124)가 형성된다.
상기 연결패턴(124)는 인접한 제 1감지셀들(122)을 전기적으로 연결하는 것으로, 양 끝단은 상기 제 1절연층(130) 외측으로 돌출되어 각각 제 1감지셀들(122)과 접촉된다.
본 발명의 실시예의 경우 상기 연결패턴(124)은 저항이 낮은 금속으로 형성하는 것으로, 상기 연결패턴(124)이 형성됨과 동시에 제 1, 2감지셀(122, 142)들이 형성되는 표시영역(100)의 끝단에 인접한 비표시영역(110)에 위치하여 상기 감지셀들에 의해 감지된 신호를 구동회로(미도시) 측으로 공급하는 금속패턴(160)이 형성된다.
즉, 상기 연결패턴(124)들이 상기 금속패턴(160)과 동일한 레이어에 동일 공정을 통해 형성되므로 상기 연결패턴(124)들을 형성하기 위한 추가의 마스크 공정이 필요하지 않아 공정 수 및 시간을 단축할 수 있다는 장점이 있다.
이와 같이, 상기 제 1감지셀(122)들을 서로 연결하는 연결패턴(124)을 투명 도전성 물질이 아닌 저저항의 금속으로 구현함으로써, 상기 제 1감지셀(122)의 연결부분에서의 전하(charge) 흐름을 원활히 할 수 있게 되어 상기 감지셀의 센싱 감도를 향상시킨다.
또한, 상기 금속패턴(160)은 표시영역(100)의 끝단에 위치한 제 1 및/또는 제 2감지셀과 전기적으로 연결되며, 이는 상기 감지셀들(122, 142)에 의해 감지된 신호를 구동회로(미도시) 측으로 공급하는 역할을 한다.
단, 상기 금속패턴(160)의 끝단은 상기 투명 도전성 물질로 구현되는 패드부(162)와 중첩되도록 형성된다.
단, 상기 연결패턴(124) 및 금속패턴(160)은 앞서 언급한 바와 같이 Al, AlNd, Mo, Cu 등과 같은 저저항의 금속으로 구현되는데, 이와 같은 저저항의 금속은 외광 반사율이 높은 특성을 가지고 있으므로, 상기 연결패턴(124)이 사용자의 눈에 인될 수 있다는 단점이 있다.
본 발명의 실시예는 이와 같은 단점을 극복하기 위하여, 도 3d에 도시된 바와 같이 상기 연결패턴(124)와 중첩되는 영역 상에 외광을 흡수하는 특성을 갖는 제 2절연층(170)이 형성된다.
이 때, 상기 제 2절연층(170)은 유색의 감광막(Photo Resist)를 통해 구현됨이 바람직하며, 이와 같은 유색(일 예로 검정색)의 감광막은 입사되는 광을 흡수하는 특성이 있으므로 상기 연결패턴(124)의 상부에 형성됨으로써, 외광 반사율을 획기적으로 줄일 수 있게 된다.
또한, 상기 감광막은 절연막으로서의 역할을 수행할 수 있다. 따라서, 상기 유색의 감광막으로 구현되는 제 2절연층(170)은 상기 금속 패턴(160)과 중첩되는 영역 상에 형성된다.
이 때, 상기 금속패턴(160) 또한 외광 반사율이 높아 시인되는 단점이 있을 수 있는데, 본 발명의 실시예에서는 상기 금속패턴(160)과 중첩되는 영역 상에 형성되는 제 2절연층(170)을 기존의 투명 절연막이 아닌 유색의 감광막으로 구현함으로써 이를 방지할 수 있게 되는 것이다.
또한, 연결패턴(124) 상에 형성되는 제 2절연막과 동일한 마스크 공정을 통해 형성되므로, 상기 금속패턴(160) 상에 위치하는 절연막 형성을 위한 별도의 마스크 공정이 필요하지 않다.
단, 도시된 바와 같이 구동회로(미도시)에 신호를 전달하기 위해 FPC와 접촉되는 패드부(164)는 상기 제 2절연층(170) 외측으로 노출된다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 변형예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
120: 제 1감지패턴 122: 제 1감지셀
124: 연결패턴 130: 제 1절연층
140: 제 2감지패턴 142: 제 2감지셀
144: 연결부 160: 금속패턴
164: 패드부 170: 제 2절연층

Claims (12)

  1. 투명기판의 표시영역 상에 제 1방향으로 다수 배열된 제 1감지셀들 및 제 2방향으로 다수 배열된 제 2감지셀들과;
    인접한 상기 제 2감지셀들을 서로 연결하는 연결부와;
    상기 연결부와 교차되는 영역 상에 형성되며, 인접한 상기 제 1감지셀들을 서로 연결하는 연결패턴과;
    상기 교차되어 중첩되는 연결부와 연결패턴 사이의 영역에 형성된 제 1절연층과;
    상기 연결패턴과 중첩되는 영역 상에 형성되는 유색의 제 2절연층이 포함됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1, 2감지셀 및 연결부는 투명 도전성 물질로 구현됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2절연층은 유색의 감광막으로 구현됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 표시영역 외곽의 비표시영역에 위치하며, 상기 표시영역의 끝단에 위치한 제 1감지셀 및 제 2감지셀과 각각 전기적으로 연결되는 금속패턴들이 포함됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 금속패턴들 상에 유색의 제 2절연막이 형성됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  7. 투명기판의 표시영역 상에 제 1방향으로 다수 배열되는 제 1감지셀들과, 제 2방향으로 다수 배열되는 제 2감지셀들 및 상기 제 2감지셀을 서로 연결하는 연결부가 형성되는 단계와;
    상기 연결부와 중첩되는 영역에 섬 형태의 제 1절연층이 형성되는 단계와;
    상기 제 1절연층 상에 상기 제 1감지셀들을 전기적으로 연결시키는 연결패턴이 형성되는 단계와;
    상기 연결패턴과 중첩되는 영역 상에 유색의 제 2절연층이 형성되는 단계가 포함됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제 1, 2감지셀 및 연결부는 투명 도전성 물질로 구현됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  9. 삭제
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 제 2절연층은 유색의 감광막으로 구현됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  11. 제 7항에 있어서,
    상기 표시영역 외곽의 비표시영역에 위치하며, 상기 표시영역의 끝단에 위치한 제 1감지셀 및 제 2감지셀과 각각 전기적으로 연결되는 금속패턴들이 형성되는 단계가 더 포함됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 금속패턴들 상에 유색의 제 2절연막이 형성되는 단계가 더 포함됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101472961B1 (ko) * 2013-08-01 2014-12-16 동우 화인켐 주식회사 터치 감지 전극
WO2015016510A1 (ko) * 2013-08-01 2015-02-05 동우화인켐 주식회사 터치 감지 전극
US9519392B2 (en) 2014-08-06 2016-12-13 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen panel fabrication method and touch screen panel
US9552120B2 (en) 2014-08-06 2017-01-24 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen panel and method for fabricating the same

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102243553B (zh) * 2010-05-16 2015-06-10 宸鸿科技(厦门)有限公司 电容式触控面板及降低其金属导体可见度的方法
US9952737B2 (en) * 2011-02-24 2018-04-24 Parade Technologies, Ltd. Single layer touch sensor
KR101908492B1 (ko) * 2011-04-12 2018-10-17 엘지디스플레이 주식회사 터치 패널 일체형 표시 장치
CN103049120A (zh) * 2011-10-13 2013-04-17 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控装置结构及其制造方法
KR101357585B1 (ko) * 2011-12-08 2014-02-11 엘지이노텍 주식회사 터치패널의 전극 패턴 및 그 제조 방법
US20140293168A1 (en) * 2012-06-06 2014-10-02 Wintek Corporation Touch panel
KR101322333B1 (ko) * 2012-07-30 2013-10-28 이엘케이 주식회사 금속 메쉬 구조의 터치스크린 패널 및 이의 제조방법
KR101486459B1 (ko) * 2012-07-30 2015-01-28 이엘케이 주식회사 터치스크린 패널의 제조방법
TWI514215B (zh) * 2012-11-22 2015-12-21 Lg Innotek Co Ltd 觸控面板
KR102074418B1 (ko) * 2013-01-29 2020-02-07 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 터치 스크린 패널
KR102044900B1 (ko) * 2013-03-07 2019-11-15 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널
CN105404407B (zh) * 2014-08-16 2019-01-22 宸鸿科技(厦门)有限公司 具有柔性触控感测器的触控面板及其制作方法
KR102283921B1 (ko) 2015-01-09 2021-07-30 삼성디스플레이 주식회사 플렉서블 터치 패널
KR102277379B1 (ko) 2015-02-25 2021-07-14 삼성디스플레이 주식회사 터치 패널 및 그 제조 방법
CN109960434B (zh) 2017-12-25 2022-04-12 瀚宇彩晶股份有限公司 触控面板、触控显示装置及制作触控面板的方法
KR102402727B1 (ko) * 2018-03-23 2022-05-26 알프스 알파인 가부시키가이샤 입력 장치 및 입력 장치 부착 표시 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070242054A1 (en) 2006-04-14 2007-10-18 Ritdisplay Corporation Light transmission touch panel and manufacturing method thereof

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4506785B2 (ja) * 2007-06-14 2010-07-21 エプソンイメージングデバイス株式会社 静電容量型入力装置
JP5178379B2 (ja) * 2008-07-31 2013-04-10 株式会社ジャパンディスプレイイースト 表示装置
US9335868B2 (en) * 2008-07-31 2016-05-10 Apple Inc. Capacitive sensor behind black mask
CN101441538B (zh) * 2008-12-19 2010-11-10 友达光电股份有限公司 触控式装置的结构与触控式显示面板
EP2401669B1 (en) * 2009-02-26 2016-04-06 3M Innovative Properties Company Touch screen sensor and patterned substrate having overlaid micropatterns with low visibility
JP5182164B2 (ja) * 2009-03-12 2013-04-10 セイコーエプソン株式会社 タッチパネルの製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070242054A1 (en) 2006-04-14 2007-10-18 Ritdisplay Corporation Light transmission touch panel and manufacturing method thereof

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101472961B1 (ko) * 2013-08-01 2014-12-16 동우 화인켐 주식회사 터치 감지 전극
WO2015016510A1 (ko) * 2013-08-01 2015-02-05 동우화인켐 주식회사 터치 감지 전극
US9519392B2 (en) 2014-08-06 2016-12-13 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen panel fabrication method and touch screen panel
US9552120B2 (en) 2014-08-06 2017-01-24 Samsung Display Co., Ltd. Touch screen panel and method for fabricating the same

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Publication number Publication date
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