JP5151089B2 - 成形型及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る成形型を示す斜視図であり、図2は、図1のA−A線断面図である。
第1の実施の形態に係る成形型10の製造方法について図3及び図4を参照して説明する。図3は、薄板形成基板上に薄板を配置する工程を示し、(a)は平面図、(b)は(a)のB−B線断面図である。図4は、接合装置を用いた薄板の転写工程を示す説明図であり、(a)はFAB処理工程、(b)は薄板の接合工程、(c)は薄板の剥離工程をそれぞれ示す。
図3(a)、(b)に示すように、まず、ステンレス等の鉄系の金属、又は銅等の非鉄系の金属からなる薄板形成基板21を用意する。薄板形成基板21の厚さは、通常0.1〜5mmで、0.5〜1mmが好ましい。
まず、図4(a)に示すように、真空槽31内の平面ステージ35に薄板形成基板21を固定し、対向ステージ36に対向基板37を固定する。真空槽31内を真空ポンプ(図示せず)を駆動して排気口32から排気し、10−5Paの真空にする。次に、Ar中性ビームからなるFAB(Fast Atom Beam)をFAB源34Aから対向基板37に、FAB源34Bから薄板形成基板21上の第1の薄板P1(最も下層に積層される)にそれぞれ照射し、表面を清浄化して活性化する。
図5は、本発明の第2の実施の形態に係る成形型を示し、(a)は平面図、(b)は(a)のC−C線断面図、(c)は、(a)のD−D線断面図である。図6は、薄板形成基板上における薄板の形状を示す平面図であり、(a)は第1〜第3の薄板(3枚とも同一の形状とすることができる)、(b)は第4の薄板、(c)は第5の薄板、(d)は第6の薄板の形状をそれぞれ示す。
第2の実施の形態に係る成形型50の製造方法については、第1の実施の形態に係る成形型10の場合と同様にすることができる。すなわち、薄板形成基板21(離型層22)の上に、第1〜第4の貫通孔H1〜H4(これらの第1〜第4の貫通孔H1〜H4が全体として内部を立体的に連通する流体流路Wを形成することになる)を有する第1〜第6の薄板P1〜P6を配置する(図3(b)、図6参照)。次に、第1の薄板P1を薄板形成基板21(離型層22)側から対向基板37側に転写し、第2〜第6の薄板P2〜P6についても同様の操作を順に行う。6回の転写を行うことによって、図5に示す成形型50を得ることができる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲内で種々に変形実施が可能である。また、各実施の形態の構成要素を本発明の要旨を変更しない範囲内で任意に組み合わせることは可能である。
10 成形型
11 流体入口
11a 冷却入口
11b 加熱入口
12 流体出口
12a 冷却出口
12b 加熱出口
21 薄板形成基板
30 接合装置
31 真空槽
32 排気口
34A,34B FAB源
35 平面ステージ
36 対向ステージ
37 対向基板
38 垂直ステージ
50 成形型
S 成形面
P1 第1の薄板
P2 第2の薄板
P3 第3の薄板
P4 第4の薄板
P5 第5の薄板
P6 第6の薄板
P7 第7の薄板
P8 第8の薄板
P9 第9の薄板
P10 第10の薄板
H1 第1の貫通孔
H2 第2の貫通孔
H3 第3の貫通孔
H4 第4の貫通孔
H5 第5の貫通孔
H6 第6の貫通孔
H7 第7の貫通孔
H8 第8の貫通孔
H9 第9の貫通孔
H10 第10の貫通孔
W 流体流路
Wa 冷却用流体流路
Wb 加熱用流体流路
Claims (5)
- 成形面を有するとともに所定の立体形状を有する本体部から構成され、
前記本体部は、所定形状の貫通孔を有する複数枚の薄板が積層されて、前記本体部の外形形状が全体として前記立体形状を有するように、かつ、前記薄板の前記貫通孔が全体として前記本体部の内部を立体的に連通する流体流路を形成するように、構成されてなり、
前記流体流路は、外部に開口する流体入口及び流体出口を有しており、
前記流体入口の近傍に、前記流体の混合手段が配設されたことを特徴とする成形型。 - 前記成形型は、機械的加工が困難な硬質材料から形成されてなり、
前記硬質材料は、炭素系材料又はタングステン・カーバイド(WC)であることを特徴とする請求項1に記載の成形型。 - 請求項1又は請求項2に記載の成形型を製造する製造方法であって、
所定形状の貫通孔を有し、積層されることによって、成形面を有するとともに全体として外形形状が所定の立体形状を有するようにかつ前記貫通孔が全体として内部を立体的に連通する流体流路を形成するように、本体部を構成することになる複数枚の薄板を形成する第1の工程と、
前記貫通孔を有する薄板を積層して前記流体流路を形成する第2の工程とを含むことを特徴とする成形型の製造方法。 - 前記第1の工程において、薄板形成基板を用意し、前記薄板形成基板上に薄板形成部材を配置し、前記薄板形成部材に所定形状の前記貫通孔を形成して薄板を形成し、かつ前記第2の工程において、対向基板を用意し、真空中又は不活性ガス雰囲気中で複数枚の前記薄板を前記薄板形成基板から前記対向基板上に順次転写し接合することにより積層することを特徴とする請求項3に記載の成形型の製造方法。
- 前記薄板は、機械的加工が困難な硬質材料から形成されてなり、
前記硬質材料は、炭素系材料又はタングステン・カーバイド(WC)であることを特徴とする請求項3に記載の成形型の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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JP2008044144A JP2008044144A (ja) | 2008-02-28 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5151089B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5957714A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-03 | Isao Kaneoka | 合成樹脂等の成型用金型の冷却装置 |
JPS59150714A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-29 | Toshiba Corp | 金型の冷却又は加熱用の給水装置 |
JPS62261412A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-13 | Nissan Motor Co Ltd | 金型温度の制御方法 |
JPS6371316A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチツク光学部品の成形用型材 |
JP3804293B2 (ja) * | 1998-10-02 | 2006-08-02 | 富士ゼロックス株式会社 | 微小構造体の製造方法および製造装置 |
JP4088689B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2008-05-21 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 微細金型及びその製造方法 |
JP2006082096A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 射出成形用積層金型、射出成形方法及びダイカスト用積層金型 |
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JP2008044144A (ja) | 2008-02-28 |
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