JP5147050B2 - 磁気光学素子 - Google Patents
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R3-x Bix Fe5-y My O12(但し、RはYを含む1種以上の希土類元素、Mは鉄と置換可能な1種以上の元素)
で表され、磁性ガーネット膜についてはx>0且つy≧0、ガーネット中間膜についてはx≧0且つy≧0であるガーネット材料を用いることができる。ガーネット中間膜は、磁性ガーネット膜より屈折率が小さくなければならず、そのためには鉄サイト置換Mを多くすることや、Biを少なくすることが適当である。勿論、Biを含有しないガーネット材料を用いてもよい。
非磁性ガーネット基板として、格子定数1.2496nm、組成(CaGd)3 (MgZrGa)5 O12の1インチSGGG基板を用いた。このSGGG基板の波長532nmにおける屈折率nsは1.97である。このSGGG基板上に、液相エピタキシャル(LPE)法により非磁性のガーネット中間膜、及び磁性ガーネット膜を形成した。
実施例1と同じ非磁性ガーネット基板を使用し、ガーネット中間膜を形成した。Gd2 O3 、Y2 O3 、Bi2 O3 、Fe2 O3 、Ga2 O3 、Na2 CO3 からなる原料を白金坩堝に入れて950℃で24時間放置した後、同じ950℃で3時間攪拌した。その後685℃まで降温し、白金ホルダで保持したSGGG基板の片面を液面に接液して、該基板を40rpmで回転させながら1分間育成しガーネット膜を得た。得られた結晶膜は、膜厚250nm、EPMAによる組成分析値はGd1.34Y0.57Bi1.09Fe3.31Ga1.52Pt0.17O12であり、波長532nmにおける屈折率は2.5であった。その後、膜表面をイオンミリングにより膜厚53nmに加工し、ガーネット中間膜とした。
実施例1と同じ非磁性ガーネット基板を使用し、ガーネット中間膜を形成した。Gd2 O3 、Tb4 O7 、Fe2 O3 、In2 O3 、PbO、B2 O3 からなる原料を白金坩堝に入れて1050℃で24時間放置した後、同じ1050℃で3時間攪拌した。その後、940℃まで降温し、白金ホルダで保持したSGGG基板の片面を液面に接液して、基板を40rpmで回転させながら1分間育成しガーネット膜を得た。得られた結晶膜は、膜厚210nm、EPMAによる組成分析値はGd2.3 Tb0.7 Fe4.7 In0.27Pt0.03O12であり、波長532nmにおける屈折率は2.3であった。その後、膜表面をイオンミリングにより膜厚57nmに加工し、ガーネット中間膜とした。
実施例1と同じ非磁性ガーネット基板を使用し、ガーネット中間膜を形成した。Gd2 O3 、Fe2 O3 、In2 O3 、Ga2 O3 、PbO、B2 O3 からなる原料を白金坩堝に入れて1050℃で24時間放置した後、同じ1050℃で3時間攪拌した。その後940℃まで降温し、白金ホルダで保持したSGGG基板の片面を液面に接液して、基板を40rpmで回転させながら1分間育成しガーネット膜を得た。得られた結晶膜は、膜厚215nm、EPMAによる組成分析値はGd3 Fe3.1 In0.37Ga1.5 Pt0.03O12であり、波長532nmにおける屈折率は2.1であった。その後、膜表面をイオンミリングにより膜厚63nmに加工し、ガーネット中間膜とした。
実施例1と同じ非磁性ガーネット基板上に、直接、実施例1と同様の手法で磁性ガーネット膜を成膜し、その状態(ガーネット中間膜無し)で、表裏両面以外の内部反射光強度を測定したところ、波長532nmにおける反射率は2.8%であった。次に、実施例1と同様に2次元セルアレイに加工し、偏光子と検光子を配置してコントラストを測定したところ、14dBであった。
12 非磁性ガーネット基板
14 ガーネット中間膜
16 磁性ガーネット膜
18 ミラー
20 セル
30 偏光子
32 検光子
Claims (4)
- 非磁性ガーネット基板上に、ファラデー効果を有する磁性ガーネット膜が設けられ、前記非磁性ガーネット基板の表面に反射防止膜を設け、前記磁性ガーネット膜の表面にミラーを設けた構造をなし、前記非磁性ガーネット基板側に偏光子と検光子を配置して、該偏光子による直線偏光を入射し、反射した出射光が前記検光子を透過する反射型の磁気光学素子において、
前記非磁性ガーネット基板と磁性ガーネット膜との間にガーネット中間膜が介在しており、該ガーネット中間膜の屈折率n1は、ns<n1<n2(但し、nsは非磁性ガーネット基板の屈折率、n2は磁性ガーネット膜の屈折率)で、且つガーネット中間膜の屈折率n1と膜厚d1との積が、n1・d1=λ/4±10%(但し、λは使用波長)に収まっており、使用波長λの光が、非磁性ガーネット基板側から膜面に垂直に入射し、ミラーで反射して前記非磁性ガーネット基板側から出射するようにし、外部磁界の印加により前記磁性ガーネット膜をその膜面に垂直な一方向に飽和させた状態で検光子を透過光量が最小になる角度に設定したとき、磁性ガーネット膜の正逆の磁化方向に応じて生じる検光子透過光量大の白部分と透過光量小の黒部分からの出射光強度の差であるコントラストが20dB以上であることを特徴とする磁気光学素子。
- ガーネット中間膜の屈折率n1と厚みd1との積が、n1・d1=λ/4±2%に収まっている請求項1記載の磁気光学素子。
- 磁性ガーネット膜及びガーネット中間膜は、その組成が、
R3-x Bix Fe5-y My O12(但し、RはYを含む1種以上の希土類元素、Mは鉄と置換可能な1種以上の元素)
で表され、磁性ガーネット膜についてはx>0且つy≧0、ガーネット中間膜についてはx≧0且つy≧0である請求項1又は2記載の磁気光学素子。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気光学素子を製造する方法であって、非磁性ガーネット基板上に、ガーネット中間膜を液相エピタキシャル法で成膜した後、エッチングにより規定の膜厚に調整し、その上に磁性ガーネット膜を液相エピタキシャル法で成膜する磁気光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007282140A JP5147050B2 (ja) | 2007-10-30 | 2007-10-30 | 磁気光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007282140A JP5147050B2 (ja) | 2007-10-30 | 2007-10-30 | 磁気光学素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009109756A JP2009109756A (ja) | 2009-05-21 |
JP5147050B2 true JP5147050B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=40778302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007282140A Expired - Fee Related JP5147050B2 (ja) | 2007-10-30 | 2007-10-30 | 磁気光学素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5147050B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5238619B2 (ja) * | 2009-06-12 | 2013-07-17 | 日本放送協会 | 磁気光学式空間光変調器およびその製造方法 |
EP2487525B1 (en) | 2009-10-07 | 2019-09-18 | National University Corporation Toyohashi University of Technology | Optical body |
WO2023157400A1 (ja) * | 2022-02-18 | 2023-08-24 | 株式会社フジクラ | 空間光変調器及び光演算装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5778018A (en) * | 1980-11-04 | 1982-05-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Waveguide type rotating element |
DE3904660A1 (de) * | 1989-02-16 | 1990-08-23 | Philips Patentverwaltung | Planarer optischer isolator |
JPH11176636A (ja) * | 1997-12-16 | 1999-07-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 希土類鉄ガーネット単結晶及びそれを用いた光デバイス |
JP2002528707A (ja) * | 1998-10-21 | 2002-09-03 | ジー. ダンカン,ポール | 希土類鉄ガーネットを用いて光の波面の偏光回転を光学的に測定するための装置および方法 |
JP3792917B2 (ja) * | 1998-11-26 | 2006-07-05 | 株式会社リコー | イメージングデバイス |
JP2004302407A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁気光学体と光アイソレータ |
JP4497401B2 (ja) * | 2004-02-06 | 2010-07-07 | Fdk株式会社 | 磁気光学式空間光変調器 |
JP4464177B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2010-05-19 | 財団法人国際超電導産業技術研究センター | 磁気光学媒体とその製造方法 |
WO2007107941A2 (en) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | St Synergy Limited | Magneto-opto photonic crystal multilayer structure having enhanced faraday rotation with visible light |
-
2007
- 2007-10-30 JP JP2007282140A patent/JP5147050B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009109756A (ja) | 2009-05-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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