JP4497401B2 - 磁気光学式空間光変調器 - Google Patents
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(a)磁性ガーネット膜12の表面上のピクセル形成領域のみにSi等からなる赤外線吸収膜18を形成しておく。
(b)そして、赤外線(IR)照射を行う。これによって赤外線吸収膜18が赤外線を吸収し、その直下のみが加熱され、必要な局所熱処理が行われて、結晶中におけるBiやGaのサイトが移動するなどにより磁気異方性が下がり飽和磁化が変わるなどの局所的な特性変化が起こる。その特性変化が生じた領域がピクセル14となる。
(c)その後、赤外線吸収膜を除去する。
(d)形成したピクセル14同士の間隙領域15に、磁性薄膜16を形成する。
(a)磁性ガーネット膜12の表面上のピクセル形成領域のみにSi等からなる赤外線吸収膜18を形成しておく。
(b)そして、赤外線(IR)照射を行う。これによって赤外線吸収膜18が赤外線を吸収し、原理的にはその直下が加熱され、必要な局所熱処理が行われて、結晶中におけるBiやGaのサイトが移動するなどにより磁気異方性が下がり飽和磁化が変わるなどの局所的な特性変化が起こる。その特性変化が生じた領域がピクセル14となる。
(c)次に、赤外線吸収膜(Si膜)18をマスクとして、イオンミリングによりピクセル同士の間隙領域に溝30を形成する(図5のB参照)。従って、溝30は、ピクセル形成領域を除いて縦横に格子状に形成される。ここでは、外周もイオンミリングされて凹部31となっている。
(d)形成した格子状の溝30及び外周凹部31の底部に、スパッタリングによりFeNi合金(商品名:パーマロイ)の磁性薄膜16を埋め込む(図5のC参照)。
(e)SiO2 絶縁膜32を形成後、メッキでCu膜34を埋め込むことにより、横方向のX側駆動ラインを配置する(図5のD参照)。
(f)更に、SiO2 絶縁膜36を形成後、メッキでCu膜38を埋め込むことにより、縦方向のY側駆動ラインを配置する(図5のE参照)。そして、赤外線吸収膜(Si膜)18をケミカルエッチングにより除去する。
・基板40:GGG
・磁性ガーネット膜42:Bi置換希土類鉄ガーネットLPE膜、3μm厚(膜組成はBi1 Y1 Gd1 Fe4 Ga1 O12)
・第1の絶縁層44:アルミナ0.4μm厚
・X側駆動ライン46:Cu0.4μm厚
・第2の絶縁層48:アルミナ0.5μm厚
・X側駆動ライン50:Cu0.65μm厚
・磁性薄膜52:FeNi合金(商品名;パーマロイ)1μm厚
なお、ピクセルは一辺16μmの正方形、ピクセル間隙寸法は2μmである。
・本発明構造(A):5.4×10-3T
・従来構造(B):3.6×10-3T
であり、本発明構造は従来構造に比し約1.5倍特性が向上していることが確認できた。
11 基板
12 磁性ガーネット膜
14 ピクセル
16 磁性薄膜
Claims (2)
- 磁性ガーネット膜中に、それぞれ独立に磁化方向を設定できファラデー効果により入射光に対して磁化方向に応じた偏光方向の回転を与える多数のピクセルが2次元的に間隙をあけて配列されており、各ピクセルの磁化方向を個別に制御するための磁界を発生するX側及びY側の駆動ラインを備え、X側及びY側の駆動ラインによる通電が合致した合成磁界が該当ピクセルを磁気飽和させる空間光変調器において、
面に垂直方向に磁化する各ピクセルの間隙領域に格子状に溝が形成されており、該溝の内部に、形状異方性により磁化方向が面内方向となる磁性薄膜を設けて、各ピクセルを分離したことを特徴とする磁気光学式空間光変調器。 - X側及びY側の駆動ラインも層間絶縁された状態で前記溝内に埋設されている請求項1記載の磁気光学式空間光変調器。
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Citations (3)
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US4550389A (en) * | 1983-08-15 | 1985-10-29 | Litton Systems, Inc. | Apparatus and method for switching a magnetic domain lens |
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Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
US4550389A (en) * | 1983-08-15 | 1985-10-29 | Litton Systems, Inc. | Apparatus and method for switching a magnetic domain lens |
JP2003172909A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Optware:Kk | 空間光変調器 |
JP2003315756A (ja) * | 2002-02-21 | 2003-11-06 | Japan Science & Technology Corp | 空間光変調器 |
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