JP5144774B2 - 真空排気システム - Google Patents
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Description
12 真空チャンバ
20 前段真空ポンプ
30 後段真空ポンプ
21,31 ケーシング
22,32 モータカバー
23,33 ギアカバー
24,25,35 サイドカバー
26,36 ドライバ
40 接続管
50,177 圧力センサ
60 制御部
170 冷却水系統
173,273 通常ライン
174,274 増量ライン
175,176,275 電磁弁
270 窒素ガス系統
Claims (12)
- 真空チャンバ内を真空に排気する真空排気システムにおいて、
前記真空チャンバに接続される前段真空ポンプと、
前記前段真空ポンプの後段に設置される後段真空ポンプと、
真空排気システム中の真空領域に設置されて圧力を検出する圧力センサと、
通常ラインと増量ラインから構成され、前記前段真空ポンプ及び前記後段真空ポンプに軸シールガスを供給するガス系統と、
前記圧力センサにより検出された圧力に基づいて前記ガス系統を流れる軸シールガスの流量を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする真空排気システム。 - 前記制御部は、前記前段真空ポンプ及び前記後段真空ポンプに供給する軸シールガスの流量を、前記増量ラインの流量を制御することによって、個別に制御することを特徴とする請求項1に記載の真空排気システム。
- 前記増量ラインは、前記前段真空ポンプに供給する軸シールガスの流量が前記後段真空ポンプに供給する軸シールガスの流量よりも少なくなるように構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空排気システム。
- 前記増量ラインは、前記前段真空ポンプの低圧側及び高圧側、並びに前記後段真空ポンプの低圧側のみに接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の真空排気システム。
- 前記制御部は、前記圧力センサにより検出された圧力が所定値より大きくなったときに、前記増量ラインに設けられた開閉弁を開くことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の真空排気システム。
- 前記圧力センサは、前記前段真空ポンプと前記後段真空ポンプとを接続する接続管に設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の真空排気システム。
- 前記前段真空ポンプ及び前記後段真空ポンプに冷却水を供給する冷却水系統を更に備え、前記制御部は、前記圧力センサにより検出された圧力に基づいて、前記冷却水系統を流れる流量を制御することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の真空排気システム。
- 前記冷却水系統は、前記後段真空ポンプ内を流れた冷却水を前段前段真空ポンプに供給するよう構成されていることを特徴とする請求項7記載の真空排気システム。
- 前記後段真空ポンプの最終段には、温度センサが設けられていることを特徴とする請求項7または8記載の真空排気システム。
- 前記冷却水系統の前記ロータ最終段部の上流側には、該ロータ最終段部を冷却水が迂回するバイパス管が接続された三方弁が設けられていることを特徴とする請求項9記載の真空排気システム。
- 前記前段真空ポンプ及び前記後段真空ポンプの少なくとも一方は、気体を移送する一対のロータと、前記一対のロータを回転させるモータと、前記一対のロータの回転を同期させるタイミングギヤと、前記モータの回転速度を制御するドライバとを備え、
前記制御部は、前記圧力センサにより検出された圧力に基づいて、前記ドライバを介して前記ロータの回転速度を制御することを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の真空排気システム。 - 前記制御部は、前記圧力センサにより検出された圧力が所定値より大きくなったときに、前記ロータの回転速度を下げることを特徴とする請求項11記載の真空排気システム。
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Family Cites Families (2)
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2011
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