JP5136996B2 - プログラマブルマスクを基板上に撮像するための方法および装置 - Google Patents
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Description
2 基板/イメージ要素
3 照明スポット
4 個々の複写/画素
5 照明ユニット
6 光学ユニット/複写および補正ユニット
7 基板支持体/X−Yテーブル
8 基板カメラ
9 調節カメラ
10 レジストレーションマーク/アライメントマーク
11 Y駆動装置
12 X駆動装置
13 基板/感光層上の合成強度
14 フォトレジスト/感光層の閾値
15 フランク
16 フランクの領域
17 レジストエッジ/構造エッジ
18 レジストエッジ/構造エッジの変位
19 画素グリッド
20 1回目の露光プロセスにおいて書き込まれる個々の強度プロフィール
21 2回目の露光プロセスにおいて書き込まれる個々の強度プロフィール
22 複写要素に対する強度曲線
23 減少した強度を備えた画素
24 電磁放射場
25 電磁放射源
26 変調された放射場
27 ビーム分割器
28 複写光学ユニット
29 画像転写光学ユニット
30 画像偏向器
31 重なり合い領域
32 補正ベクトル
Claims (10)
- 照明スポット(3)が、照明ユニットによって、プログラマブルマスク(1)上に生成され、個々の複写(4)が、光学ユニット(6)を介して、基板(2)上にパターンに対応して生成される、プログラマブルマスク(1)によって生成されるパターンを、感光層を有する基板(2)上に複写するための方法であって、
感光層に対する少なくとも2回の露光プロセスが実行され、前記少なくとも2回の露光プロセスの照明スポット(3)または露光点が、互いにずれて定められること、
露光グリッドが、同じ数の照明スポット(3)または露光点に対して拡張され、露光プロセスの回数が、同じ比で増加させられること、あるいは、露光グリッドが、露光プロセスの回数に対応する特定の倍率だけ拡張され、特に、合計した数の照明スポット(3)または露光点が、基本的に、露光グリッドが拡張されることのない単一露光プロセスの場合と同じ寸法であり、
プログラマブルマスク(1)は、拡大されたテンプレートデータをロードされ、かつ、光学ユニット(6)において、該テンプレートデータは、要求される画像グリッドにまで寸法を縮小され、該テンプレートデータは、基板(2)の要求される画像データおよび/または画像グリッドに対して、特定された、または特定することが可能な倍率によって拡大され、
少なくとも2回の照明プロセスの画像点および/または画素は、構造エッジ(17)に割り当てられおよび/または構造エッジ(17)を生成するためにおよび/または位置決めするために提供される全体強度または合成強度のフランク(15)が基板(2)上において連続的に増加または減少するように、空間的に互いにずれて定められ、
フランク(15)は、構造エッジ(17)を形成するための画素または個々の複写(4)のエッジ領域を重ね合わせることによって生成され、構造エッジ(17)を位置決めするための強度が、上述した画素または個々の複写(4)の中の少なくとも1つに対して減少させられることを特徴とする、方法。 - 露光プロセスが、時間的に連続して実行されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 複写されるべきパターンが、複数のプログラマブルマスク(1)内に生成されること、および、露光グリッドが、並列に動作するプログラマブルマスク(1)を用いて、かつ特に可動光学コンポーネントを用いて、同時に実行される露光プロセスの回数と同じ比で増加させられることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 同時に複写されるマスクパターンが、同じ基板位置または異なる基板位置へ投影されることを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- 構造エッジ(17)を生成するために提供される照明スポット(3a)および/または画素(23)の強度が変化させられ、特に、構造を生成するために提供されるその他の照明スポット(3)および/または画素と比較して、減少させられることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 基板(2)上に複写される画素の合成強度(13)が、連続的な傾斜を有する領域(16)が基板(2)の感光層の閾値(14)との明確な交点を形成するように定められたフランク(15)を有し、前記交点が、関連する照明スポット(3a)および/またはエッジ画素(23)の強度を変化および/または減少させることによって定められ、感光層のエッジしたがって構造エッジ(17)の正確な位置決めが、定められることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 構造エッジ(17)を変位させ(18)および/または位置決めするために、構造を生成するために定められるエッジ画素(23)および/または構造エッジを生成するために提供されるエッジ照明スポット(3a)の強度が、構造を生成するために提供されるその他の照明スポット(3)の強度に対して、変化特に減少させられることを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 複写されるべきパターンが、プログラマブルマスク(1)内におけるセグメント単位でおよび/またはプログラマブルマスク(1)によるセグメント単位で生成され、照明ユニット(5)および光学ユニット(6)によって、特に、可動コンポーネントによって、歪みを補償する形で基板(2)上に複写され、その結果として、セグメント複写がテンプレート全体を表現すること、および/または、複写されるべきパターンが、光学ユニット(6)によってセグメント単位で基板(2)上に複写され、その結果として、予め検出された歪みが補償されることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- プログラマブルマスク(1)を含み、前記プログラマブルマスク(1)によって、パターンが生成されることが可能であり、前記パターンが、基板(2)の感光層上に複写されることが可能であり、照明スポット(3)が、照明ユニットによってマスク(1)上に生成され、個々の複写(4)が、光学ユニット(6)を介して、基板(2)上にパターンに対応して生成される、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法を実行するための装置であって、
感光層に対する少なくとも2回の露光プロセスが実行され、前記少なくとも2回の露光プロセスの照明スポット(3)または露光点が、互いにずれて定められることと、
露光グリッドが、同じ数の照明スポット(3)または露光点に対して、かつ、特に、同じ比の露光プロセス回数で拡張されることとを特徴とする、装置。 - 構造エッジ(17)を位置決めするために、レジストエッジを生成するために提供される1つまたは複数の画素(3a、23)だけが、前記画素の強度を変化させられ、特に、前記画素の強度が減少させられ、このために、少なくとも2回の露光プロセスが同じ感光層において実行され、一方の露光プロセスの照明スポット(3)および/または画素(4)が、他方の露光プロセスの照明スポット(3)および/または画素(4)に対して、空間的に互いにずれて定められる、請求項9に記載の装置の使用。
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