JP5134805B2 - 電気的接続装置 - Google Patents

Description

本発明は、集積回路のような平板状被検査体の通電試験に用いる電気的接続装置に関し、特に基板に形成された導電性部と被検査体の電極とを電気的に接続する装置に関する。

集積回路のような半導体デバイスは、複数の電極をデバイス本体から突出させている。この種の半導体デバイスは、ソケットと称されている電気的接続装置を用いて、通電試験（検査）をされる。この種の電気的接続装置の１つとして、例えば特許文献１に記載されたものがある。

特開２００３−１２３８７４号公報

特許文献１に記載された電気的接続装置は、図７（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、板状のハウジング１００と、ハウジング１００に並列的に配置された板状の複数の接触子１０２と、接触子１０２の配列方向へ伸びるようにハウジング１００に配置された棒状の針押え１０４とを含む。

そのような接続装置は、ハウジング１００をこれの厚さ方向に貫通して配線基板のような基板１０６に螺合された複数のねじ部材により、基板１０６に取り付けられる。基板１０６は、配線パターンの配線の一部のような帯状の複数の導電性部１０８を電気絶縁性の板部材１１０の上面に有する。

ハウジング１００は、水平面内を第１の方向へ伸びて下方に開放する凹所１１２と、第１の方向に間隔をおいて水平面内を第１の方向と直交する第２の方向に伸びる複数のスリット１１４と、上下に開放する開口であってこれの下端部においてスリット１１４の上部に連通された開口１１６とを有する。

各スリットは、これの長手方向における一端部及び他端部においてそれぞれ凹所１１２及び開口１１６に連通されていると共に、少なくとも下方に開放されている。

各接触子１０２は、凹所１１２内からスリット１１４内を弧状に伸びて、先端（すなわち、針先）１１８を開口１１６内に突出させており、また湾曲した外面１２０を導電性部１０８に向けている。

針押え１０４は、シリコーンゴムのようなゴム材料で円柱状に作られており、また接触子１０２の上に当接する状態に凹所１１２内に配置されている。

接触子１０２は、接続装置が基板１０６に組み付けられた状態において、弧状の外面１２０の一部を導電性部１０８の上面に当接されていると共に、その後端面１２２を凹所１１２の後方側内向き面１２４に当接されている。

各接触子１０２の先端１１８と被検査体の電極とが相対的に押圧されると、接触子１０２にオーバードライブＯＤが作用する。それにより、各接触子１０２は、針押え１０４を圧縮させて弾性変形させつつ、湾曲された外面１２０を導電性部１０８に当接させた状態で、導電性部１０８の上面を角度的に転動する。

上記の結果、各接触子１０２は、被検査体の電極の一部を削り取り、被検査体の電極を導電性部１０８に電気的に接続する。この状態で、被検査体の通電試験が行われる。

しかし、上記の電気的接続装置では、接触子１０２の先端１１８と被検査体の電極との間の相対的な押圧により、先端１１８と導電性部１０８との間に滑りが生じ、その結果、繰り返しの使用により、導電性部１０８が損傷される。

上記の現象を以下にさらに詳細に説明する。

図７（Ａ）は、接触子１０２の先端１１８と被検査体の電極とが相対的に押圧されていない状態を示す。この状態において、接触子１０２の後端面１２２は凹所１１２の後方側内向き面１２４に当接されている。

接触子１０２の先端１１８と被検査体の電極とが相対的に押圧されると、図７（Ｂ）に示すように、接触子１０２はその後端が上方となる状態に導電性部１０８に対し角度的に転動される。このとき、接触子１０２が針押え１０４を先端側に押して、針押え１０４を後方から前方に押し潰すように、圧縮変形させるから、接触子１０２の後端面１２２は凹所１１２の後方側内向き面１２４から距離Ｌ２だけ離間する。

しかし、針押え１０４が圧縮変形されているから、接触子１０２は、図７（Ｃ）に示すように、後端面１２２を後方側内向き面１２４に接触させた状態で、針押え１０４の圧縮にともなう反力により距離Ｌ２だけ後方に後退する。

上記のような後退時、接触子１０２は、湾曲された外面１２０を導電性部１０８に接触させた状態で導電性部１０８に対し変位する。これにより、湾曲された外面１２０と導電性部１０８との間に滑りが生じる。

上記のような両者間の滑りは、オーバードライブＯＤが接触子１０２に作用するたびに生じる。このため、繰り返しの通電試験により、導電性部１０８が摩耗して、導電性部１０８と接触子１０２との間の電気的接続が不安定になる。

本発明の目的は、導電性部に対する接触子の滑りを低減することにある。

本発明に係る電気的接続装置は、水平面内を第１の方向へ伸びて下方に開放する第１の凹所であって少なくとも後方側内向き面を有する第1の凹所及び前記第１の方向に間隔をおいて前記水平面内を前記第１の方向と交差する第２の方向に伸びる複数のスリットを有ハウジングと、前記第１の凹所内から前記スリット内を伸びる状態に前記ハウジングに配置されて、基板に設けられた導電性部と被検査体の電極とを電気的に接続する複数の接触子と、前記第１の凹所に配置された針押えとを含む。

第１の凹所は、少なくとも後方側内向き面を有する。各スリットは、前記第１の方向に間隔をおいて前記水平面内を前記第１の方向と交差する第２の方向に伸びており、また当該スリットの長手方向における一端部において前記第１の凹所に連通されていると共に、少なくとも上方及び下方に開放されている。

各接触子は、前記電極に相対的に押圧されるように前記スリットから上方に突出する先端と、前記後方側内向き面に向けられた後端と、湾曲されて前記導電性部に向けられた外面とを有する。針押えは、前記接触子の前記外面を前記導電性部に接触させるように前記接触子の前記外面と反対側の箇所に当接する。

前記第１の凹所の前記後方側内向き面は、上方ほど前方となる状態に前記水平面及びこれに垂直な垂直面の両者に対し傾斜された傾斜部を含み、各接触子は、前記後端の少なくとも一部において前記傾斜部に当接されている。

各接触子の前記後端の下方の隅角部は、弧状に湾曲されていてもよい。

各接触子の前記後端は、前記後方側内向き面の前記傾斜部と対向される傾斜面であって上方ほど前方となる状態に前記水平面及びこれに垂直な垂直面の両者に対し傾斜された傾斜部を含むことができる。

前記後方側内向き面の前記傾斜部と各接触子の前記傾斜部とは、前記先端と前記電極とが押圧されない状態において、当接されていてもよい。

前記ハウジングは、さらに、上方に開放する第２の凹所であってこれの下端部において前記スリットの上部に連通された第２の凹所を有し、各接触子は前記先端を前記第２の凹所に突出させていてもよい。

電気的接続装置は、さらに、前記第２の凹所に配置されたガイド板であって被検査体をその電極が前記接触子の前記先端に当接するように案内する開口を有するガイド板を含むことができる。

各接触子は、前記第１の凹所内から前記スリット内を弧状に伸びていてもよい。

前記第１の凹所は、さらに前記接触子が前記第１の凹所から脱落することを前記接触子の後端と共同して防止する脱落防止部を前記傾斜部の上方に有することができる。

前記脱落防止部は、上方ほど後方となるように、当該脱落防止部の前記傾斜部の上端から後退された係合面を含むことができ、また各接触子は、前記係合面に係合可能に後方に突出する凸部を当該接触子の前記傾斜部の上部に有することができる。

オーバードライブが接触子に作用すると、接触子は、針押えを弾性変形させてその後端の一部、特に下側の隅角部を後方側内向き面の傾斜部に接触させた状態で、後端が上昇する方向へ導電性部に対し針押えの周りに角度的に転動する。

本発明においては、後方側内向き面の傾斜部が上方ほど前方となる状態に水平面及びこれに垂直な垂直面の両者に対し傾斜されて接触子の後端の少なくとも一部と接触されているから、上記の転動時に、接触子は、後端が上方となる状態に変位されて、後退を阻止される。

このため、本発明によれば、導電性部に対する接触子の滑りが低減されて、導電性部及び接触子の摩耗が著しく低減される。

オーバードライブの作用時、接触子は後方側内向き面の傾斜部に対する接触子の接触箇所の滑りにより変位するが、各接触子の後端の下方の隅角部が弧状に湾曲されていると、後方側内向き面の傾斜部に対する接触子の接触箇所の滑りが円滑になる。

［用語について］

本発明においては、図２において、左右方向をＸ方向といい、紙背方向をＹ方向といい、上下方向を上下方向又はＺ方向という。しかし、それらの方向は、被検査体を検査装置に配置する姿勢により異なる。

したがって、上記の方向は、実際の検査装置に応じて、Ｘ方向及びＹ方向が、水平面、水平面に対し傾斜する傾斜面、及び水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定してもよいし、それらの面の組み合わせとなるように決定してもよい。

また、本発明においては、接触子の先端（針先）の側を前方といい、それと反対の側を後方という。

図１〜図６を参照するに、電気的接続装置１０は、平板状被検査体１２の通電試験（すなわち、検査）に補助装置として用いられる。被検査体１２は、図示の例では、パッケージ又はモールドをされた集積回路、パッケージ及びモールドをされない集積回路等、半導体デバイスである。

被検査体１２は、図２に示すように、矩形の板のような形状を有する本体１４と、本体１４の一方の面にあって矩形の各辺に設けられた複数の電極１６とを有する。電極１６は、短冊状の形状を有しており、また本体１４の矩形の辺に一対一の形に対応された４つの電極群に分けられて電極群毎に並列的に配置されている。

電気的接続装置１０を組み付ける配線基板のような基板２０は、図２及び図５に示すように、導電性の配線パターンをガラス入りエポキシ樹脂のような電気絶縁材料製の板材２２の一方の面に印刷配線技術により形成した配線基板であり、それぞれが被検査体１２の電極１６に一対一の形に対応された帯状の複数の配線部すなわち導電性部２４を板材２２の一方の面に有する。

各導電性部２４は、配線パターンの一部である。導電性部２４は、被検査体１２の本体１４の矩形の辺に一対一の形に対応された４つの導電性部群に分けられており、また対応する辺の近傍において、対応する辺と交差する方向へ伸びてその辺の長手方向に離間した状態に、導電性部群毎に並列的に形成されている。

基板２０は、一般に、被検査体１２の通電試験を行うユーザーにおいて被検査体１２の種類に応じて製作される。しかし、基板２０は接続装置１０の製造業者の側で製作してもよい。

図１〜図６に示すように、電気的接続装置１０は、基板２０に組み付けられる矩形の板状をしたハウジング２６と、ハウジング２６に並列的に配置されて電極１６と導電性部２４との組に一対一の形に対応された板状の複数の接触子２８と、接触子２８に接触するようにハウジング２６に配置された長尺の複数の針押え３０と、ハウジング２６に配置されたガイド板３４とを含む。

ハウジング２６は、互いに交差して基板２０と平行の水平面内を第１又は第２の方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ伸びて下方に開放する４つの第１の凹所３６と、第１又は第２の方向に間隔をおいて水平面内を第２又は第１の方向（Ｙ方向又はＸ方向）へ伸びる複数のスリット３８と、ハウジング２６の中央領域に設けられて上方に開放する第２の凹所４０とを有する。

第１の凹所３６は、被検査体１２の本体１４の矩形の辺に一対一の形に対応されており、また対応する辺の長手方向（第１又は第２の方向）に伸びている。各第１の凹所３６を形成している後方側内向き面は、水平面及びこれに垂直の垂直面の両者に対し傾斜された傾斜部４２を下部に有すると共に、ハウジング２６からの接触子２８の脱落を防止する脱落防止部４４を上部に有する。

傾斜部４２は、上部ほど前方側となるように、すなわち前方ほど高くなるように基板２０に対し傾斜された傾斜面とされている。脱落防止部４４は、上部ほど後方側となるように、すなわち後方ほど高くなるように傾斜された傾斜面とされており、また接触子２８が第１の凹所３６から脱落することを接触子２８の後端部と共同して防止するように傾斜面４２の上端から後退されている。このため、第1の凹所３６の後方側内向き面は前方に突出している。

各第１の凹所３６の先端側の上隅角部は、弧面４６とされている。各第１の凹所３６の両端部３６ａは、図４に示すように、Ｕ字状の溝とされている。各第１の凹所３６の中間領域は、対応するスリット群のスリット３８の配置領域の長さ以上の長さ領域とされている。

第１の凹所３６の各端部３６ａ（すなわち、Ｕ字状の溝）は、これに針押え３０の端部を締まり嵌めの状態に嵌合させるように、第1の凹所３６の中間領域の箇所の幅寸法の２分の１より小さい曲率半径と、弧面４６の曲率中心と一致する曲率中心とを有する。

ハウジング２６の中央領域は、平面的に見て矩形の形状を有する板状部４８とされている。

スリット３８は、被検査体１２の本体１４の矩形の辺及び第１の凹所３６の組に一対一の形に対応された４つのスリット群に分けられており、また対応する辺及び第１の凹所３６の長手方向に間隔をおいて対応する辺と交差する方向へ伸びている。各スリット群の隣り合うスリット３８の間は、隔壁とされている。

各スリット３８は、ハウジング２６の上下に開放されており、また長手方向における一端側（後端側）の下部において対応する第１の凹所３６の先端側の下部に連通されていると共に、長手方向における他端側（先端側）の上部において第２の凹所４０に連通されている。

第２の凹所４０は、平面的に見て、ハウジング２６の板状部４８の周りの小さい第１の凹所領域４０ａと、第１の凹所領域４０ａの上部に続きかつ第１の凹所領域４０ａより大きい第２の領域４０ｂとを有する。

第１及び第２の凹所領域４０ａ，４０ｂは、平面的に見て、被検査体１２の本体１４と相似の矩形の形状を有しており、また同軸的に及び相似形に形成されている。スリット３８は、その先端側をスリット群毎に第１の凹所領域４０ａの矩形の１つの辺に開口させている。

ハウジング２６の板状部４８の周りの領域は、第２の凹所４０の第１の凹所領域４０ａにより、第２の凹所領域４０ｂより低くされている。

上記のようなハウジング２６は、合成樹脂のような電気絶縁性の材料から形成することができる。

各接触子２８は、電極１６に押圧される弧状の先端（すなわち、針先）５０を先端側に有すると共に、湾曲された外面５２を有し、さらに上方に開放する弧状の凹所５４を後端側に有する。

各接触子２８は、その外面５２を下方の側とした状態で第１の凹所３６内からスリット３８内を弧状に伸びて先端５０を第２の凹所４０の第１の凹所領域４０ａに突出させた状態に、ハウジング２６に配置されている。

各接触子２８の後端部は、第１の凹所３６内に位置されている。各接触子２８の後端は、傾斜部５６を下部に有すると共に、後方へ突出する凸部５８を上部に有する。各接触子２８の後端の下の隅角部は弧面とされている。

接触子２８の傾斜部５６は、第1の凹所３６の後方側内向き面の傾斜部４２に当接可能に、上方ほど前方となる傾斜面を含む。凸部５８は、第１の凹所３６の脱落防止部４４に係止されるように、傾斜部５６の上端から後方へ突出しており、また上部ほど後方となる傾斜面を形成している。

各接触子２８のうち、後端部の前側の領域（後端前側領域）とその後端前側領域より先端側の領域（先端領域）とは、被検査体１２の電極１６が先端５０に押圧されたとき、弾性変形するアーム部として作用する。

上記アーム部は、図示の例では、第1の凹所３６内からスリット３８内を斜め上方に弧状に伸び、さらにスリット３８から上方に突出して先端５０を第２の凹所４０の第1の凹所領域４０ａ内に位置させている。

各接触子２８の後端は、凸部５８と後端の下の隅角部とを除いて、第１の凹所３６の傾斜部４２に接触されている。凸部５８は、第１の凹所３６の脱落防止部４４に当接されている。

針押え３０は、シリコーンゴムのような弾性変形可能の弾性部材により断面円形の棒状の形状を有しており、また矩形の辺及び第１の凹所３６の組に一対一の形に対応されている。各針押え３０は、対応する第１の凹所３６内を対応する第１の凹所３６の長手方向へ伸びている。

各針押え３０の両端部は、図４に示すように、対応する第１の凹所３６の両端部３６ａに締まり嵌めの状態に嵌合されている。これにより、各針押え３０はハウジング２６からの脱落を防止されている。

各針押え３０の両端部の間の中間領域は、第１の凹所３６の先端側の上隅角部の弧面４６の曲率半径とほぼ同じ半径を有しており、また第１の凹所３６の先端側の上隅角部の弧面４６に接触されていると共に、対応する接触子群の接触子２８の凹所５４に当接されている。

ガイド板３４は、第２の凹所４０と相似の矩形の形状を有しており、また第2の凹所４０内に配置されている。ガイド板３４は、被検査体１２をその電極１６が接触子２８の先端５０に当接するように受け入れる矩形の凹所６０を有する。

凹所６０は、被検査体１２よりやや大きくかつ被検査体１２の本体１４と相似の矩形の平面形状を有する。凹所６０の内向きの面は、被検査体１２を案内するように、ガイド板３４の外側から中心側へ向きかつ下方ほど小さい傾斜面とされている。

接続装置１０は、以下のように組み立てることができる。

先ず、各針押え３０が第１の凹所３６に配置された後、各接触子群の接触子２８がハウジング２６に配置される。

各接触子２８は、対応する第１の凹所３６からアーム部を対応するスリット３８に通されて、先端５０を第２の凹所４０に突出させた状態に配置される。これにより、接触子２８は、その後端部においてハウジング２６と針押え３０とに保持されると共に、脱落防止部４４と凸部５８とによりハウジング２６からの脱落を防止される。

次いで、ガイド板３４が第２の凹所４０の第２の凹所領域４０ｂに配置される。ガイド板３４は、これを厚さ方向に貫通してハウジング２６に螺合された複数のねじ部材６２によりハウジング２６に取り外し可能に固定される。

上記により、接続装置１０は分解可能に組み立てられる。組み立てられた接続装置１０を分解するときは、上記と逆の作業が行われる。

接続装置１０に組み立てられた状態において、各接触子２８のアーム部は、図５（Ａ）に示すように、第１の凹所３６内からスリット３８内を斜め上向きに弧状に伸びて、先端５０を第２の凹所４０に突出させて、先端５０の一部をガイド板３４の凹所６０内に位置させている。

しかし、被検査体１２がガイド板３４の凹所６０内に受け入れられるから、各接触子２８は、先端５０が凹所６０内に位置しない形状を有していてもよい。

組み立てられた接続装置１０は、ハウジング２６を貫通して基板２０に螺合する複数のねじ部材６４により、基板２０に分離可能に組み付けられる。

上記のように接続装置１０が基板２０に組み付けられた状態において、接触子２８は、外面５２の一部において針押え３０により基板２０の導電性部２４に接触されて、その状態に維持される。これにより、ハウジング２６からの接触子２８の脱落が確実に防止され、接触子２８と導線性部２４とが電気的に確実に接続される。

上記のように、針押え３０の両端部が第１の凹所３６の両端部に締まり嵌めの状態に嵌合されかつ針押え３０の中央領域が接触子２８の凹所５４に当接されていると、ハウジング２６に対する接触子２８の位置及び姿勢が安定し、ハウジング２６からの接触子２８の脱落がより確実に防止される。

検査時、被検査体１２は、上方からガイド板３４の凹所６０に入れられる。このとき、接続装置１０に対する被検査体１２の位置がずれていると、被検査体１２は、凹所６０の傾斜面に当接し、その傾斜面により凹所６０の中央に案内される。これにより、被検査体１２は、電極１６が接触子２８の先端に当接した状態に、接続装置１０に収容される。

接続装置１０に配置された被検査体１２が図示しない押圧体により押し下げられると、各接触子２８は、オーバードライブＯＤにより、外面５２の一部が導電性部２４に押圧された状態で、針押え３０を後方側から前方側に押し潰すように圧縮変形させつつ、図５（Ｂ）に点線で示す姿勢から実線で示す姿勢（すなわち、接触子２８の後端が上方へ変位にする状態）に、針押え３０の周りに角度的に転動される。

これにより、接触子２８と導電性部２４との接触位置は、図５（Ｂ）に示すように距離Ｌ１だけ前方に変位する。このとき、針押え３０の反発力により、接触子２８をその外面５２に沿って後退させる力が接触子２８に作用する。

しかし、後方側内向き面の傾斜部４２が上方ほど前方となる状態に水平面及び垂直面の両者に対し傾斜されているから、接触子２８は、後端の一部を傾斜部４２に当接させていることにより、後退を阻止される。

このため、導電性部２４に対する接触子２８の滑りが低減されて、導電性部２４及び接触子２８の摩耗が著しく低減される。

オーバードライブの作用時、接触子２８は後方側内向き面の傾斜部４２に対する接触子２８の接触箇所の滑りにより変位するが、各接触子２８の後端の下方隅角部が弧状に湾曲されているから、傾斜部４２への接触子２８の接触箇所は後方側内向き面の傾斜部４２に対し円滑に滑り、それにより接触子２８は確実に転動する。

しかし、各接触子２８の後端が第１の凹所３６の内向き後端面の傾斜面４２に直接的に接触しているから、各接触子２８は、後端下部を支点に図５（Ｂ）に実線で示す状態に変位して、針押え３０を弾性変形させる。

これにより、各接触子２８の先端５０は、先端５０が電極１６に対し接触子２８の長手方向に変位しかつ導電性部２４への接触子２８の接触箇所が先端５０の側に変化するから、電極１６の表面に存在する酸化膜の一部を削り取る擦り作用（又は掻き取り作用）を生じる。

上記のように、被検査体１２が押圧体により押し下げられることにより、各接触子２８が導電性部２４に押圧されるから、電気的接続装置１０に組み立てられた状態又は被検査体１２が押圧体により押し下げられない状態において、各接触子２８が針押え３０により導電性部２４に押圧されていないように、接触子２８と導電性部２４との間に間隙が存在していてもよい。

図６に示すように、垂直面６６に対する傾斜部４２の角度θは、先端５０がＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと変位しても、接触子２８の後端の一部、特に下隅角部が常に傾斜面４２に接触されると共に、導電性部２４と接触子２８との接点がＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと変化して導電性部２４に対する接触子２８の滑りが生じない値とすることができる。

換言すれば、接触子２８が転動したとき、接触子２８の後端のＰ点が描くサイクロイド曲線上のＰ点の位置を結ぶ仮想線６８の垂直線６６に対する角度とすることができる。

垂直線６６に対する接触子２８の傾斜部５６の角度は、角度θと同じであってもよいし、それより大きくてもよい。すなわち、垂直線６６に対する傾斜部５６の角度は、角度θ以上であればよい。また、接触子２８の後端に傾斜部５６を形成する代わりに、対応する箇所を凹面としてもよい。

接続装置１０によれば、以下のような効果を奏する。

接触子２８が安定に維持されるから、針押え３０の構造が単純であるにもかかわらず、接触子２８同士の電気的短絡が確実に防止され、接続装置１０の製作が容易である。

被検査体１２が接続装置１０に自然に正しく配置され、被検査体１２の電極１６が接触子２８の先端５０に確実に接触する。

接触子２８が針押え３０を弾性変形させることにより、所定の針圧を導電性部２４と接触子２８との間に作用させることができ、擦り作用を電極１６に効果的に作用させることができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。例えば、本発明は液晶表示パネルのような他の平板状被検査体の試験用の電気的接続装置にも適用することができる。

図１は、本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す平面図である。 図１における２−２線に沿って得た断面図である。 図１に示す電気的接続装置のガイド板を外した状態の平面図である。 図１に示す電気的接続装置の接触子近傍の拡大底面図である。 図１に示す電気的接続装置の接触子近傍の拡大断面図であって、（Ａ）は接触子にオーバードライブを作用させない状態を示し、（Ｂ）波接触子にオーバードライブを作用させた状態を示す。 図１に示す電気的接続装置における接触子の転動する状態を示す図である。 従来の電気的接続装置の一例を示す図である。

符号の説明

１０ 電気的接続装置
１２ 被検査体
１４ 本体
１６ 電極
２０ 基板
２２ 板材
２４ 導電性部
２６ ハウジング
２８ 接触子
３０ 針押え
３４ ガイド板
３６ 第１の凹所
３８ スリット
４０ 第２の凹所
４４ 落下防止部
４６ 第１の凹所の弧面
４８ ハウジングの板状部
５０ 接触子の先端
５２ 接触子の外面
５４ 接触子の凹所
５６ 接触子の後端の傾斜部
５８ 接触子の後端の凸部
６０ ガイド板の凹所

Claims (6)

1. 基板に組み付けられる、該基板に形成された導電性部と被検査体の電極とを電気的に接続する電気的接続装置であって、
   水平面内を第１の方向へ伸びて下方に開放する第１の凹所であって少なくとも後方側内向き面を有する第1の凹所と、前記第１の方向に間隔をおいて前記水平面内を前記第１の方向と交差する第２の方向に伸びる複数のスリットとを有し、各スリットが、これの長手方向における一端部において前記第１の凹所に連通されていると共に、少なくとも上方及び下方に開放されている、ハウジングと、
   それぞれが前記第１の凹所内から前記スリット内を伸びる状態に前記ハウジングに配置されて、前記導電性部と前記電極とを電気的に接続する複数の接触子であって、それぞれが、前記電極に相対的に押圧されるように前記スリットから上方に突出する先端と、前記後方側内向き面に向けられた後端と、湾曲されて前記導電性部に向けられた外面とを有する複数の接触子と、
   前記第１の凹所に配置された針押えであって前記接触子の前記外面を前記導電性部に接触させるように前記接触子の前記外面と反対側の箇所に当接する針押えとを含み、
   前記第１の凹所の前記後方側内向き面は、前方ほど高くなる状態に前記水平面及びこれに垂直な垂直面の両者に対し傾斜された傾斜部を含み、各接触子は、前記後端の少なくとも一部において前記傾斜部に当接されており、
   前記第１の凹所は、さらに前記接触子が前記第１の凹所から脱落することを前記接触子の後端と共同して防止する脱落防止部を前記傾斜部の上方に有し、該脱落防止部は、後方ほど高くなるように、当該脱落防止部の前記傾斜部の上端から後退された係合面を含み、各接触子は、前記係合面に係合可能に後方に突出する凸部を当該接触子の前記傾斜部の上部に有し、
   前記接触子が前記被検査体の前記電極で押し下げられないとき、前記針押さえの弾性により前記接触子の前記凸部が前記脱落防止部の前記係合面上に位置する、電気的接続装置。
2. 各接触子の前記後端の下方の隅角部は、弧状に湾曲されている、請求項1に記載の電気的接続装置。
3. 前記後方側内向き面の前記傾斜部と各接触子の前記傾斜部とは、前記先端と前記電極とが押圧されない状態において、当接されている、請求項１に記載の電気的接続装置。
4. 前記ハウジングは、さらに、上方に開放する第２の凹所であってこれの下端部において前記スリットの上部に連通された第２の凹所を有し、各接触子は前記先端を前記第２の凹所に突出させている、請求項1に記載の電気的接続装置。
5. さらに、前記第２の凹所に配置されたガイド板であって被検査体をその電極が前記接触子の前記先端に当接するように案内する開口を有するガイド板を含む、請求項４に記載の電気的接続装置。
6. 各接触子は、前記第１の凹所内から前記スリット内を弧状に伸びている、請求項４に記載の電気的接続装置。

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