CN117178192A - 探针接点 - Google Patents

Abstract

揭示一种用于在第一端子与第二端子之间进行电性连接的探针接点。所述探针接点包括：静止柱塞，包括第一主体及第一突起，所述第一主体具有与第一端子进行接触的第一端，所述第一突起与第一主体的纵向方向横交地突出；多个活动柱塞，包括第二主体及第二突起，所述第二主体具有与第二端子进行接触的第一端及与静止柱塞进行电性接触的第二端，所述第二突起与第二主体的纵向方向横交地突出，且所述多个活动柱塞被设置成在纵向方向上彼此独立地相对滑动；以及弹簧，设置于所述第一突起与所述第二突起之间。

Description

探针接点

技术领域

本揭示涉及一种用于对待测试物体的电性特性进行测试的探针接点。

背景技术

为对待测试物体的电性特性进行测试，探针接点可对测试电路板的第一端子与待测试物体的第二端子进行电性连接。

专利文件1中已揭示一种探针接点，所述探针接点包括：第一柱塞；第二柱塞及第三柱塞，设置于第一柱塞的两侧且能够移动滑动；第一弹簧，设置于第一柱塞与第二柱塞之间且具有小的直径；以及第二弹簧，设置于第一柱塞与第三柱塞之间且具有容纳第一弹簧的大的直径。

[专利文件1]日本专利第5629611号。

发明内容

技术问题

由于第一弹簧及第二弹簧分别容许第二柱塞与第三柱塞独立地操作，因此专利文件1中揭示的探针接点具有自适应性地应对测试端子的各种形状的优点，但由于结构复杂而具有增加制造成本的缺点。特别地，具有此种结构的探针接点具有以下问题：很难将探针接点制造得很小以应用于具有精细节距端子的待测试物体。

本揭示的一个实施例是提供一种探针接点，所述探针接点具有简单的结构且可制造得很小。

技术解决方案

根据本揭示的各种实施例，提供一种探针接点。用于在第一端子与第二端子之间进行电性连接的探针接点包括：静止柱塞，包括第一主体及第一突起，所述第一主体具有与第一端子进行接触的第一端，所述第一突起与第一主体的纵向方向横交地突出；多个活动柱塞，包括第二主体及第二突起，所述第二主体具有与第二端子进行接触的第一端及与静止柱塞进行电性接触的第二端，所述第二突起与第二主体的纵向方向横交地突出，且所述多个活动柱塞被设置成在纵向方向上彼此独立地相对滑动；以及弹簧，设置于第一突起与第二突起之间。

只有在测试期间受到按压的活动柱塞可滑动移动。

所述多个活动柱塞各自可包括第一耦合部，所述第一耦合部的第二端耦合至静止柱塞的第二端且能够相对于静止柱塞的第二端滑动移动，所述静止柱塞可包括第二耦合部，所述第二耦合部设置于所述静止柱塞的第二端且耦合至第一耦合部，第一耦合部及第二耦合部中的一者在其耦合表面上可包括至少一个支撑突起，且第一耦合部及第二耦合部中的另一者可包括支撑凹槽，以将所述至少一个支撑突起可分离地嵌入于所述支撑凹槽中。

第二突起可在测试期间对弹簧的端部部分施加在纵向方向上相对于所述弹簧的中心而言不平衡的力，并可在弹簧中引起跃起变形。

第二主体的形状可为板状的，且第二突起可在宽度方向上自第二主体的一侧突出。

活动柱塞的第二突起可在纵向方向上关于所述弹簧的中心对称地定位。

活动柱塞的第二突起可在彼此相反的方向上突出。

第二主体的形状可为板状的，第二突起可包括在宽度方向上自所述第二主体的相对的侧突出的一对突起，且所述一对突起可被形成为在纵向方向上具有彼此不同的高度。

第二主体的形状可为板状的，且第二突起可在厚度方向上自所述第二主体的一个表面突出。

第二突起可包括与弹簧的端部部分进行接触的倾斜表面。

静止柱塞的第一主体可包括引导轨，所述多个活动柱塞与所述引导轨啮合，且活动柱塞的第二主体可包括引导凹槽，所述引导凹槽沿纵向方向凹陷且置于所述引导轨上。

引导轨可包括沿纵向方向在所述引导轨的相对的侧上延伸且在厚度方向上突出的引导壁。

提供一种支撑具有上述配置中的一者的探针接点的测试插座。

有利效果

本发明的探针接点结构简单，同时通过允许与测试端子接触的一对柱塞在单个弹簧结构中独立操作来自适应地响应测试端子的变化，从而降低了许多制造成本并减小了探头的尺寸。

附图说明

通过结合附图阅读实施例的以下说明，以上和/或其他实施例将变得显而易见且更易于理解，在附图中：

图1是根据本揭示第一实施例的探针接点的立体图。

图2是图1所示探针接点的分解立体图。

图3是探针接点的侧视图。

图4是沿图2的线A-A及线B-B截取的剖视图。

图5是示出图4中第一活动柱塞与第二活动柱塞独立滑动操作的剖视图。

图6是示出图4中第一活动柱塞与第二活动柱塞同时滑动操作的剖视图。

图7示出球栅阵列(ball grid array，BGA)型第二端子与第一活动柱塞及第二活动柱塞之间的接触状态。

图8示出衬垫型(pad-type)第二端子与第一活动柱塞及第二活动柱塞之间的接触状态。

图9示出根据本揭示第二实施例的活动柱塞。

图10示出根据本揭示第三实施例的多个多个活动柱塞。

图11示出应用图10的活动柱塞的探针接点。

图12示出根据本揭示第四实施例的多个活动柱塞。

图13示出根据本揭示第五实施例的多个活动柱塞。

图14示出根据本揭示第六实施例的多个活动柱塞。

具体实施方式

下面，将参照附图详细阐述本揭示的实施例。

图1是根据本揭示第一实施例的探针接点1的立体图，图2是图1所示探针接点1的分解立体图，图3是探针接点1的侧视图，图4是沿图2的线A-A及线B-B截取的剖视图，图5是示出图4中第一活动柱塞12-1与第二活动柱塞12-2独立滑动操作的剖视图，且图6是示出图4中第一活动柱塞12-1与第二活动柱塞12-2同时滑动操作的剖视图。

探针接点1可平行于测试方向被支撑于平板型测试插座(未示出)上。探针接点1可包括自测试插座的顶表面及底表面部分地突出的相对的端部部分。在测试期间，待测试物体3的第二端子31可按压探针接点1的自顶表面或底表面突出的一个端部部分。在此种情况下，探针接点1可例如对测试电路板2的第一端子21与待测试物体3(例如半导体)的第二端子31进行电性连接。

参照图1至6，探针接点1可包括：静止柱塞11，具有与测试电路板2的第一端子21进行接触的第一端；多个活动柱塞12，具有与待测试物体3的第二端子31进行接触的第一端；以及弹簧13，设置于静止柱塞11与活动柱塞12之间并提供弹性。

静止柱塞11可包括第一主体111及一对第一突起112，所述一对第一突起112在与第一主体111的纵向方向横交的方向上自第一主体111突出。

静止柱塞11可由导电材料制成，并通过微机电系统(microelectromechanicalsystems，MEMS)或模具制造。

第一主体111可包括设置于其第一端以与第一端子21进行接触的静止接触部113、以及设置于其第二端的第一耦合部114。

第一耦合部114可包括嵌入于活动柱塞12的引导凹槽1241中的引导轨1141、以及自引导轨1141的侧壁突出的引导壁1142。

引导轨1141的形状是板状的，且厚度可等于或厚于活动柱塞12的引导凹槽1241的宽度。引导轨1141形成有紧固凹槽1141a，紧固凹槽1141a在引导轨1141的在宽度方向上的两个表面上凹陷。紧固凹槽1141a可与形成于活动柱塞12的轨道支撑件1242上的紧固突起1241a可分离地啮合。

引导壁1142不仅防止置于引导轨1141上的活动柱塞12在滑动移动时在宽度方向上分离，且亦引导活动柱塞12滑动移动。

第一主体111可包括沿纵向方向形成于静止接触部113与第一耦合部114之间的开口115。

如图2所示，开口115可形成为在厚度方向上穿透第一主体111。开口115具有与引导轨1141交界的内壁116，以使得设置于活动柱塞12的第二耦合部124中的一对钩1244(稍后将阐述)可被钩住并耦合至内壁116。开口115可提供当活动柱塞12滑动时所述一对钩1244能够在其中活动的空间。

根据替代实施例，开口115可形成为在第一主体111的两侧上凹陷预定深度。

所述一对第一突起112可与纵向方向横交地自第一主体111的两侧突出。

静止柱塞11可自第一突起112部分地嵌入于弹簧13中，直至第二端部部分。

活动柱塞12可包括彼此表面接触地进行交迭的第一活动柱塞12-1与第二活动柱塞12-2。活动柱塞12可包括三或更多个柱塞。

每一活动柱塞12可包括第二主体121以及在与第二主体121的纵向方向横交的方向上自第二主体121突出的一对第二突起122。

活动柱塞12可由导电材料制成，并通过MEMS或模具制造。

第二主体121可包括设置于其第一端以与第二端子31进行接触的活动接触部123、以及设置于其第二端的第二耦合部124。

第二耦合部124可与静止柱塞11的第一耦合部114以90度角度交叉并耦合至静止柱塞11的第一耦合部114。

第二耦合部124可包括沿纵向方向朝向第二主体121的第二端部部分凹陷的引导凹槽1241。

第二耦合部124可包括由引导凹槽1241分离的一对轨道支撑件1242。所述一对轨道支撑件1242可分别与静止柱塞11的引导轨1141的两个表面进行接触，并实现电性连接。

所述一对轨道支撑件1242可分别包括位于其自由端部部分的所述一对钩1244。

所述一对钩1244可面向彼此突出，且钩挂至静止柱塞11的开口115的内壁116。所述一对钩1244可防止彼此耦合啮合的静止柱塞11与所述多个活动柱塞12在滑动期间分离。

所述一对钩1244可朝向引导凹槽1241的内侧突出。随着引导凹槽1241变得越来越窄，所述一对钩1244的突出长度受到更多限制。因此，无法确保所述一对钩1244可靠地钩挂至开口115的内壁。在所述一对轨道支撑件1242的宽度方向上延伸的延伸凹槽1246可形成于所述一对轨道支撑件1242与所述一对钩1244之间。

引导凹槽1241的宽度可等于或大于静止柱塞11的引导轨1141的厚度。

所述一对第二突起122可与第二主体121的纵向方向横交地自第二主体121的两侧突出。所述一对第二突起122可支撑弹簧13的第二端，藉此与对弹簧13的第一端进行支撑的静止柱塞11的第一突起112一起对弹簧13进行限制。

第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2可自第二突起122部分地嵌入于弹簧13中，直至钩1244所位于的第二端。

第一活动柱塞12-1与第二活动柱塞12-2可彼此独立地滑动操作。换言之，当第二端子31仅压靠第一活动柱塞12-1时，第二活动柱塞12-2可能不会滑动移动。另一方面，当第二端子31仅压靠第二活动柱塞12-2时，第一活动柱塞12-1可能不会滑动移动。此外，当第二端子31压靠第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2二者时，第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2皆可滑动移动。

稍后将对第一活动柱塞12-1与第二活动柱塞12-2彼此独立地滑动操作的详细结构进行阐述。

弹簧13夹置于彼此交叉且彼此耦合的静止柱塞11与所述多个活动柱塞12之间，换言之，弹簧13位于第一突起112与第二突起122之间，藉此提供弹性。在测试期间，静止柱塞11或所述多个活动柱塞12在受到第一端子21或第二端子31按压时滑动移动。在此种情况下，第一突起112或第二突起122可对弹簧13进行压缩。

弹簧13可提供1克力(gf)至10克力范围(此并不受限定)内的弹性。

所述一对第一突起112与所述一对第二突起122可分别支撑弹簧13的两端，藉此对弹簧13进行限制。

以下，将参照图3至5详细阐述所述多个活动柱塞12的独立滑动结构及操作。

参照图4，引导轨1141形成有在其两个表面上凹陷的紧固凹槽1141a，且耦合至引导轨1141的轨道支撑件1242包括嵌入于紧固凹槽1141a的紧固突起1241a。

紧固凹槽1141a与紧固突起1241a可形成为具有平缓的斜坡，以使得紧固凹槽1141a与紧固突起1241a可在测试期间轻易地自受到第二端子31按压的啮合状态释放，且在弹簧13的弹性恢复时再次彼此啮合。

参照图5，当第二端子31仅受到第一活动柱塞12-1压靠时，第二活动柱塞12-2可能不会滑动操作。换言之，未被施加压力的第二活动柱塞12-2可能不会通过紧固凹槽1141a与紧固突起1241a之间的啮合来滑动操作以支撑负载。另一方面，当压力仅施加至第二活动柱塞12-2时，第一活动柱塞12-1可能不会滑动操作。

参照图6，第二端子31压靠第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2二者，第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2皆可滑动操作。

根据替代实施例，引导轨1141的紧固凹槽1141a及轨道支撑件1242的紧固突起1241a可省略。在此种情况下，第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2可与轨道支撑件1242啮合并由轨道支撑件1242支撑。

图7及8示出第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2与球栅阵列(BGA)型第二端子31及衬垫型第二端子31的接触状态。

参照图7，BGA型第二端子31并非平的而是半球形的，且因此向下移动并首先与第一活动柱塞12-1进行接触。然后，第二端子31进一步向下移动，且亦与第二活动柱塞12-2进行接触。

参考图8，衬垫型第二端子31可设置于与周围的非端子部分32相同的平面上。在此种情况下，随着第二端子31向下移动，第一活动柱塞12-1与非端子部分32进行接触，且第二活动柱塞12-2与第二端子31进行接触。

在传统的探针接点中，第一活动柱塞及第二活动柱塞二者作为一个单一本体同时移动，且因此第二活动柱塞的尖端(tip)并未用足够的力按压衬垫型第二端子。因此，测试的可靠性降低。此外，传统的探针接点分别需要两个独立的弹簧来使该些活动柱塞独立滑动，藉此使得传统探针接点的制造困难并增加了成本。

图9示出根据本揭示第二实施例的活动柱塞42。

参照图9，多个活动柱塞42可包括彼此表面接触地进行交迭的第一活动柱塞42-1与第二活动柱塞42-2。所述多个活动柱塞42可包括三或更多个活动柱塞。以下，将省略对与根据第一实施例的第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2相同的结构的重复描述。

第一活动柱塞42-1可包括在与第二主体421的纵向方向横交的方向上自其一个表面突出的第二突起422。

第二活动柱塞42-2可包括在与第二主体421的纵向方向横交的方向上自其一个表面突出的第三突起423。

第二突起422与第三突起423可在相反的方向上突出。

第二突起422及第三突起423可包括在第二主体421的纵向方向上延伸的引导凹槽4241。当第一活动柱塞42-1与第二活动柱塞42-2单独或同时滑动移动时，第二突起422及第三突起423可对弹簧13的位于相反方向上的两个点P1及P2进行按压。

因此，当第二端子(参见图7中的“31”)在测试期间压靠第一活动柱塞42-1时，第二突起422可在纵向方向上相对于弹簧13的中心而言以偏置的方式对弹簧13的点P1进行按压。因此，弹簧13首先在支撑于第二突起422上的点P1处受到按压，可能相对于弹簧13的中心轴线发生屈曲变形。因此，第一活动柱塞42-1受到按压并滑动移动，而第二活动柱塞42-2并未受到按压且不滑动移动。

以此种方式，与根据第一实施例的第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2的结构(即紧固凹槽1141与紧固突起1241a之间的啮合结构)分别独立地或相组合地，弹簧13的点可在纵向方向上相对于弹簧13的中心而言以偏置的方式受到按压。

图10示出根据本揭示第三实施例的多个多个活动柱塞52，且图11示出应用图10的活动柱塞52的探针接点1。

参照图10及11，所述多个活动柱塞52可包括彼此表面接触地进行交迭的第一活动柱塞52-1与第二活动柱塞52-2。活动柱塞52可包括三或更多个活动柱塞。以下，将省略对与根据第一实施例的第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2相同的结构的重复描述。

第一活动柱塞52-1可包括在与第二主体521的纵向方向横交的第一方向上自其一侧突出的第二突起522。

第二活动柱塞52-2可包括在与第二主体521的纵向方向横交、与第一方向相反的第二方向上自其一侧突出的第三突起523。

第二突起522与第三突起523可在纵向方向上关于弹簧13的中心对称地设置。当第一活动柱塞52-1与第二活动柱塞52-2单独或同时滑动移动时，第二突起522及第三突起523可分别对弹簧13的位于相反方向上的两个点P1及P2进行按压。

因此，当在彼此相反的方向上突出的第二突起522与第三突起523向弹簧13的点施加在纵向方向上相对于弹簧13的中心而言不平衡的力时，第一活动柱塞52-1及第二活动柱塞52-2可引起弹簧13的屈曲变形。

图12示出根据本揭示第四实施例的多个活动柱塞62。

参照图12，所述多个活动柱塞62可包括彼此表面接触地进行交迭的第一活动柱塞62-1与第二活动柱塞62-2。所述多个活动柱塞62可包括三或更多个活动柱塞。以下，将省略对与根据第一实施例的第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2相同的结构的重复描述。

第一活动柱塞62-1可包括在与第二主体621的纵向方向横交的方向上自其相对的侧突出的一对第二突起622-1与第二突起622-2。

第二活动柱塞62-2可包括在与第二主体621的纵向方向横交的方向上自其相对的侧突出的一对第三突起623-1与第三突起623-2。

所述一对第二突起622-1与第二突起622-2在彼此相反的方向上突出，且相对于第二主体621的长度方向而言具有不同的长度。

所述一对第三突起623-1与第三突起623-2在彼此相反的方向上突出，且相对于第二主体621的长度方向而言具有不同的长度。

此外，相对于第二主体621的长度方向而言，彼此相邻的第二突起622-1与第三突起623-1可具有不同的长度，且彼此相邻的第二突起622-2与第三突起623-2可具有不同的长度。621。换言之，第二突起622-1及第三突起623-2可在相对的位置处与弹簧13的端部部分接触。此时，第二突起622-2及第三突起623-1可在相对的位置处与弹簧13的端部部分间隔开。

因此，当第二端子31在测试期间仅压靠第一活动柱塞62-1时，第二突起622-1可相对于弹簧13的中心而言对弹簧13的端部部分施加不平衡的力。因此，弹簧13首先在由第二突起622-1支撑的部分处受到压缩，而相对的部分受到提升，藉此引起相对于弹簧13的中心轴线的屈曲变形。因此，第一活动柱塞62-1受到按压并滑动移动，而第二活动柱塞62-2未受到按压且不滑动移动。

图13示出根据本揭示第五实施例的多个活动柱塞72。

参照图13，所述多个活动柱塞72可包括彼此表面接触地进行交迭的第一活动柱塞72-1与第二活动柱塞72-2。所述多个活动柱塞72可包括三或更多个活动柱塞。以下，将省略对与根据第一实施例的第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2相同的结构的重复描述。

第一活动柱塞72-1可包括设置于第二主体721的一个端部部分处的第一接触端部部分722，以与第二端子31进行接触。

第一接触端部部分722可包括在第二主体721的宽度方向上延伸的第一尖端7221、延伸达第二主体721的一半宽度的第二尖端7222、以及设置于第一尖端7221与第二尖端7222之间的第一中间尖端7223。

第一尖端7221可自宽度方向上的一侧朝向中间向下倾斜，且第二尖端7222可自宽度方向上的另一侧朝向中间向下倾斜。第一中间尖端7223可设置于在第一尖端7721与第二尖端7222之间形成的V形凹槽中。

第二活动柱塞72-2可包括设置于第二主体721的一个端部部分处的第二接触端部部分723，以与第二端子31进行接触。

第二接触端部部分723可包括在第二主体721的宽度方向上延伸的第三尖端7231、延伸达第二主体721的一半宽度的第四尖端7232、以及设置于第三尖端7231与第四尖端7232之间的第二中间尖端7233。

第三尖端7231可自宽度方向上的另一侧朝向中间向下倾斜，第四尖端7232可自宽度方向上的一侧朝向中间向下倾斜，且第二中间尖端7233可设置于在第三尖端7731与第四尖端7232之间形成的V形凹槽中。

如上所述，所述多个活动柱塞72包括六个接触点，以藉此提高测试可靠性，且通过将第二端子31嵌入V形凹槽中以藉此对硬的第二端子31进行测试来实施所述测试。

图14示出根据本揭示第六实施例的多个活动柱塞82。

参照图14，所述多个活动柱塞82可包括彼此表面接触地进行交迭的第一活动柱塞82-1与第二活动柱塞82-2。所述多个活动柱塞82可包括三或更多个活动柱塞。以下，将省略对与根据第一实施例的第一活动柱塞12-1及第二活动柱塞12-2相同的结构的重复描述。

第一活动柱塞82-1可包括设置于第二主体821的一个端部部分处的第一接触端部部分822，以与第二端子31进行接触。

第一接触端部部分822可包括自第二主体821的宽度方向上的第一侧朝向第二侧向下倾斜的第一尖端8221、以及平行于第一尖端8221向下倾斜的第二尖端8222。

第一尖端8221高于第二尖端8222，藉此在第二主体821的纵向方向上形成高度差。

第二活动柱塞82-2可包括设置于第二主体821的一个端部部分处的第二接触端部部分823，以与第二端子31进行接触。

第二接触端部部分823可包括自第二主体821的宽度方向上的第二侧朝向第一侧向下倾斜的第三尖端8231、以及平行于第三尖端8231向下倾斜的第四尖端8232。

第三尖端8231高于第四尖端8232，藉此在第二主体821的纵向方向上形成高度差。

如上所述，所述多个活动柱塞82包括倾斜且在纵向方向上具有彼此不同的高度的第一尖端8221与第二尖端8222以及倾斜且在纵向方向上具有彼此不同的高度的第三尖端8231与第四尖端8232，藉此在测试期间使用倾斜的或高度不同的部分来推出异物(例如，锡(Sn))。

根据本揭示，尽管探针接点具有简单的结构(即，在单个弹簧结构中设置形成一对且独立操作来与测试端子进行接触的柱塞)，探针接点亦能够自适应性地应对测试端子的各种形状，藉此降低成本并使得制造很小的探针接点成为可能。

在前述说明中，已参照具体实施例阐述了本揭示的优点。然而，对于此项技术中技术人员而言将显而易见，可在不背离随附权利要求范围中所界定的揭示内容的范围的条件下作出各种润饰及变化。因此，本说明及附图需要被解释为本揭示的实例，而非对本揭示的限制。所有此种可能的润饰皆应在本揭示的范围内作出。

Claims (13)

1.一种用于在第一端子与第二端子之间进行电性连接的探针接点，包括：

静止柱塞，包括第一主体及第一突起，所述第一主体具有与所述第一端子进行接触的第一端，所述第一突起与所述第一主体的纵向方向横交地突出；

多个活动柱塞，包括第二主体及第二突起，所述第二主体具有与所述第二端子进行接触的第一端及与所述静止柱塞进行电性接触的第二端，所述第二突起与所述第二主体的纵向方向横交地突出，且所述多个活动柱塞被设置成在所述纵向方向上彼此独立地相对滑动；以及

弹簧，设置于所述第一突起与所述第二突起之间。

2.根据权利要求1所述的探针接点，其中只有在测试期间受到按压的所述活动柱塞滑动移动。

3.根据权利要求1所述的探针接点，其中

所述多个活动柱塞各自包括第一耦合部，所述第一耦合部的第二端耦合至所述静止柱塞的第二端且能够相对于所述静止柱塞的所述第二端滑动移动，

所述静止柱塞包括第二耦合部，所述第二耦合部设置于所述静止柱塞的所述第二端且耦合至所述第一耦合部，

所述第一耦合部及所述第二耦合部中的一者在其耦合表面上包括至少一个支撑突起，且

所述第一耦合部及所述第二耦合部中的另一者包括支撑凹槽，以将所述至少一个支撑突起可分离地嵌入于所述支撑凹槽中。

4.根据权利要求1所述的探针接点，其中所述第二突起在测试期间对所述弹簧的端部部分施加在纵向方向上相对于所述弹簧的中心而言不平衡的力，并在所述弹簧中引起跃起变形。

5.根据权利要求1所述的探针接点，其中

所述第二主体的形状是板状的，且

所述第二突起在宽度方向上自所述第二主体的一侧突出。

6.根据权利要求5所述的探针接点，其中所述活动柱塞的所述第二突起在纵向方向上关于所述弹簧的中心对称地定位。

7.根据权利要求1所述的探针接点，其中所述活动柱塞的所述第二突起在彼此相反的方向上突出。

8.根据权利要求1所述的探针接点，其中

所述第二主体的形状是板状的，

所述第二突起包括在宽度方向上自所述第二主体的相对的侧突出的一对突起，且

所述一对突起被形成为在所述纵向方向上具有彼此不同的高度。

9.根据权利要求1所述的探针接点，其中

所述第二主体的形状是板状的，且

所述第二突起在厚度方向上自所述第二主体的一个表面突出。

10.根据权利要求9所述的探针接点，其中所述第二突起包括与所述弹簧的端部部分进行接触的倾斜表面。

11.根据权利要求1所述的探针接点，其中

所述静止柱塞的所述第一主体包括引导轨，所述多个活动柱塞与所述引导轨啮合，且

所述活动柱塞的所述第二主体包括引导凹槽，所述引导凹槽沿所述纵向方向凹陷且置于所述引导轨上。

12.根据权利要求11所述的探针接点，其中所述引导轨包括沿纵向方向在所述引导轨的相对的侧上延伸且在厚度方向上突出的引导壁。

13.一种测试插座，支撑如权利要求1至12中的任一项所述的探针接点。