CN101523231A

CN101523231A - 电连接装置

Info

Publication number: CN101523231A
Application number: CNA2007800381497A
Authority: CN
Inventors: 大里卫知
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2006-10-12
Filing date: 2007-09-21
Publication date: 2009-09-02
Anticipated expiration: 2027-09-21
Also published as: DE112007002455T5; DE112007002455B4; KR101071561B1; US7819672B2; WO2008044509A1; KR20090061042A; JP2008096270A; US20100190361A1; JP5134805B2; CN101523231B

Abstract

电连接装置包括：壳体，其具有第一凹部和多个槽，上述第一凹部为在水平面内向第一方向延伸且向下方开口的第一凹部，至少具有后方侧朝内面，上述多个槽在上述第一方向上隔着间隔并在上述水平面内向与上述第一方向交叉的第二方向延伸；多个触头，该多个触头的各个触头以在上述槽内从上述第一凹部内延伸的状态被配置在上述壳体中，对设置在基板上的导电性部与被检查体的电极进行电连接；以及压针器，其被配置在上述第一凹部。第一凹部的后方侧朝内面包括倾斜部，该倾斜部相对于水平面以及垂直于该水平面的垂直面这两个面倾斜成越往上方越成为前方的状态，各触头在其后端的至少一部分处与倾斜部抵接。由此，触头相对于导电性部的滑动减少。

Description

电连接装置

技术领域

本发明涉及一种在如集成电路那样的平板状被检查体的通电试验中使用的电连接装置，特别是涉及一种对形成在基板上的导电性部和被检查体的电极进行电连接的装置。

背景技术

在如集成电路那样的半导体器件中，从器件主体突出有多个电极。这种半导体器件使用称为插槽(socket)的电连接装置来进行通电试验(检查)。作为这种电连接装置的一种，例如存在记载在专利文献1中的电连接装置。

专利文献1：日本特开2003-123874号公报

如图7A、图7B以及图7C所示，专利文献1所记载的电连接装置包括：板状的壳体(housing)100；并列地配置在壳体100上的板状的多个触头102；以及以向触头102的排列方向延伸的方式配置在壳体100上的棒状的压针器(probe holder)104。

这种电连接装置通过多个螺钉部件被安装在基板106上，该多个螺钉部件向壳体100的厚度方向贯穿壳体100而螺纹结合在如布线基板那样的基板106上。基板106在电绝缘性的板状部件110的上表面具有如布线图案的布线的一部分那样的带状的多个导电性部108。

壳体100具有：在水平面内向第一方向延伸且向下方开口的凹部112；在第一方向上隔着间隔并在水平面内向与第一方向正交的第二方向延伸的多个槽(slit)114；以及向上下开口且在其下端部处与槽114的上部连通的开口116。

各槽114在该长度方向上的一端部以及另一端部上分别连通到凹部112以及开口116，并且至少向下方开口。

各触头102以弧状从凹部112内延伸在槽114内，从而使前端(即，针头)118突出在开口116内，另外，使弯曲的外表面120朝向导电性部108。

压针器104是用如硅橡胶那样的橡胶材料制作成圆柱状，并且以抵接在触头102之上的状态被配置在凹部112内。

在电连接装置安装在基板106上的状态下，触头102将弧状的外表面120的一部分抵接在导电性部108的上表面上，并且将其后端面122抵接在凹部112的后方侧朝内面124上。

当各触头102的前端118和被检查体的电极被相对地按压时，过驱动(overdrive)OD作用在触头102上。由此，各触头102压缩压针器104而使其发生弹性变形，同时在将被弯曲的外表面抵接于导电性部108的状态下，有角度地滚动在导电性部108的上表面上。

上述的结果，各触头102削掉被检查体的电极的一部分，将被检查体的电极电连接在导电性部108上。在该状态下，进行被检查体的通电试验。

但是，在上述电连接装置中，由于触头102的前端118和被检查体的电极之间的相对的按压而在前端118和导电性部108之间产生滑动，其结果，由于反复的使用而导电性部108受损。

下面更详细地说明上述现象。

图7A表示触头102的前端118和被检查体的电极未被相对地按压的状态。在该状态下，触头102的后端面122抵接在凹部112的后方侧朝内面124上。

如图7B所示，当触头102的前端118和被检查体的电极被相对地按压时，触头102相对于导电性部108有角度地滚动成其后端成为上方的状态。此时，触头102将压针器104按压在前端侧上，从而使压针器104以从后方向前方压扁的方式发生压缩变形，因此，触头102的后端部122离开凹部112的后方侧朝内面124距离L2。

但是，由于压针器104被压缩变形，因此如图7C所示，触头102在将后端面122接触在后方侧朝内面124的状态下，通过随着压针器104的压缩而产生的反作用力而向后方后退距离L2。

在如上所述的后退时，触头102在将被弯曲的外表面120接触在导电性部108上的状态下，相对于导电性部108发生位移。由此，在被弯曲的外表面120与导电性部108之间产生滑动。

如上所述的两者之间的滑动是在每当过驱动OD作用于触头102上时都产生。因此，由于反复的通电试验而导电性部108被磨损，从而导电性部108与触头102之间的电连接变得不稳定。

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于减少触头相对于导电性部的滑动。

用于解决问题的方案

本发明所涉及的电连接装置包括：壳体，其具有第一凹部和多个槽，上述第一凹部为在水平面内向第一方向延伸且向下方开口的第一凹部，至少具有后方侧朝内面，上述多个槽在上述第一方向上隔着间隔并在上述水平面内向与上述第一方向交叉的第二方向延伸；多个触头，该多个触头的各个触头以在上述槽内从上述第一凹部内延伸的状态被配置在上述壳体中，对设置在基板上的导电性部与被检查体的电极进行电连接；以及压针器，其被配置在上述第一凹部。

第一凹部至少具有后方侧朝内面。各槽在上述第一方向上隔着间隔并在上述水平面内向与上述第一方向交叉的第二方向延伸，另外，各槽在其槽的长度方向的一端部上连通到上述第一凹部，并且该各槽至少向上方以及下方开口。

各触头具有前端、后端和外表面，该前端为了被上述电极相对地按压而从上述槽向上方突出，该后端朝向上述后方侧朝内面，该外表面弯曲而朝向上述导电性部。压针器为了使上述触头的上述外表面与上述导电性部接触而抵接在与上述触头的上述外表面相反侧的部分上。

上述第一凹部的上述后方侧朝内面包括倾斜部，该倾斜部相对于上述水平面以及垂直于该水平面的垂直面这两个面倾斜成越往上方越成为前方的状态，各触头在上述后端的至少一部分处与上述倾斜部抵接。

各触头的上述后端的下方的转角部被弯曲成弧状。

各触头的上述后端能够包括倾斜部，该倾斜部为与上述后方侧朝内面的上述倾斜部相对的倾斜面，并且相对于上述水平面以及垂直于上述水平面的垂直面这两个面倾斜成越往上方越成为前方的状态。

上述后方侧朝内面的上述倾斜部和各触头的上述倾斜部在上述前端和上述电极未被按压的状态下相抵接。

上述壳体还具有第二凹部，该第二凹部向上方开口且在其下端部处连通到上述槽的上部，各触头使上述前端突出在上述第二凹部上。

电连接装置还能够包括导向板，该导向板被配置在上述第二凹部中并具有开口，该开口以被检查体的电极与上述触头的上述前端抵接的方式引导被检查体。

各触头也可以以弧状从上述第一凹部内延伸在上述槽内。

上述第一凹部在上述倾斜部的上方还能够具有防脱落部，该防脱落部与上述触头的后端一起防止上述触头从上述第一凹部脱落。

上述防脱落部为了越往上方越成为后方而能够包括从上述防脱落部的上述倾斜部的上端后退了的配合面(engagingsurface)，各触头在该触头的上述倾斜部的上部能够具有以能够与上述配合面配合的方式向后方突出的凸部。

发明的效果

当过驱动作用于触头时，触头在使压针器发生弹性变形而使其后端的一部分、尤其是下侧的转角部接触到后方侧朝内面的倾斜部的状态下，向后端上升的方向相对于导电性部绕压针器有角度地滚动。

在本发明中，后方侧朝内面的倾斜部相对于水平面以及垂直于该水平面的垂直面这两个面倾斜成越往上方越成为前方的状态并与触头的后端的至少一部分接触，因此，在上述的滚动时，触头发生位移成后端成为上方的状态，从而被阻止后退。

因此，根据本发明，触头相对于导电性部的滑动减少，从而导电性部以及触头的磨损显著减少。

在过驱动作用时，由于触头相对于后方侧朝内面的倾斜部的接触部分的滑动而触头发生位移，但是如果各触头的后端的下方的转角部被弯曲成弧状，则触头相对于后方侧朝内面的倾斜部的接触部分的滑动变得平滑。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的电连接装置的一个实施例的俯视图。

图2是沿着图1中的2-2线而得到的截面图。

图3是取下图1所示的电连接装置的导向板的状态的俯视图。

图4是图1所示的电连接装置的触头附近的放大仰视图。

图5A和图5B是图1所示的电连接装置的触头附近的放大截面图，图5A表示过驱动未作用于触头的状态，图5B表示过驱动作用于触头的状态。

图6是表示图1所示的电连接装置中的触头滚动的状态的图。

图7A、图7B、图7C是表示以往的电连接装置的一例的图。

附图标记说明

10：电连接装置；12：被检查体；14：主体；16：电极；20：基板；22：板材；24：导电性部；26：壳体；28：触头；30：压针器；34：导向板；36：第一凹部；38：槽；40：第二凹部；44：落下防止部；46：第一凹部的弧面；48：壳体的板状部；50：触头的前端；52：触头的外表面；54：触头的凹部；56：触头的后端的倾斜部；58：触头的后端的凸部；60：导向板的凹部。

具体实施方式

[关于术语]

在本发明中，在图2中，将左右方向称为X方向，将纸背面方向称为Y方向，将上下方向称为上下方向或者Z方向。但是，这些方向根据将被检查体配置在检测装置上的姿势不同而不同。

因而，根据实际的检测装置，可以将上述方向决定成X方向以及Y方向在水平面、相对于水平面倾斜的倾斜面以及垂直于水平面的垂直面中的任一面内，也可以决定为这些面的组合。

另外，在本发明中，将触头的前端(针头)侧称为前方，将与前端侧相反的侧称为后方。

[实施例]

参照图1～图6，电连接装置10作为辅助装置使用在平板状被检查体12的通电试验(即，检查)中。在图示的例子中，被检查体12是封装或模制的集成电路、未封装以及未模制的集成电路等半导体器件。

如图2所示，被检查体12具有：主体14，其具有如矩形的板那样的形状；以及多个电极16，其被设置在主体14的一个面的矩形的各边上。电极16具有短栅状的形状，并且被分成以一对一的形式与主体14的矩形的边对应的四个电极组，按每个电极组被并列地配置。

如图2以及图5所示，如安装电连接装置10的布线基板那样的基板20是通过印刷布线技术在板材22的一个面上形成了导电性的布线图案的布线基板，在板材22的一个面上具有分别与被检查体12的电极16以一对一的形式对应的带状的多个布线部、即导电性部24，其中，上述板材22为如含玻璃环氧树脂(glass-containing epoxy resin)那样的电绝缘材质的板材。

各导电性部24是布线图案的一部分。导电性部24被分成以一对一的形式与被检查体12的主体14的矩形的边对应的四个导电性部组，另外，在对应的边的附近，以向与对应的边交叉的方向延伸而在其边的长度方向上相隔开的状态，并列地形成每个导电性部组的导电性部24。

通常，基板20是进行被检查体12的通电试验的用户根据被检查体12的种类而制作。但是，也可以由电连接装置10的制作方制作基板20。

如图1～图6所示，电连接装置10包括：被安装在基板20上的具有矩形的板状的壳体26；被并列配置在壳体26上而以一对一的形式与电极16和导电性部24的组对应的板状的多个触头28；以与触头28接触的方式被配置在壳体26上的长的多个压针器30；以及被配置在壳体26上的导向板34。

壳体26具有：相互交叉而在与基板20平行的水平面内向第一或第二方向(X方向或Y方向)延伸且向下方开口的四个第一凹部36；在第一或第二方向上隔着间隔并在水平面内向第二或第一方向(Y方向或X方向)延伸的多个槽38；以及被设置在壳体26的中央区域且向上方开口的第二凹部40。

第一凹部36以一对一的形式与被检查体12的主体14的矩形的边对应，并且向对应的边的长度方向(第一或第二方向)延伸。形成各第一凹部36的后方侧朝内面在下部具有相对于水平面以及垂直于该水平面的垂直面的这两个面倾斜的倾斜部42，并且在上部具有防止触头28从壳体26脱落的防脱落部44。

倾斜部42是相对于基板20倾斜成越往上部越成为前方侧的倾斜面。防脱落部44是倾斜成越往上部越成为后方侧的倾斜面，另外，该防脱落部44为了与触头28的后端部一起防止触头28从第一凹部36脱落而从倾斜面42的上端后退。因此，第一凹部36的后方侧朝内面向前方突出。

各第一凹部36的前端侧的上转角部为弧面46。如图4所示，各第一凹部36的两端部36a为U字状的槽。各第一凹部36的中间区域为对应的槽组的槽38的配置区域的长度以上的长度区域。

第一凹部36的各端部36a(即，U字状的槽)为了将压针器30的端部以过盈配合(

まり嵌め)的状态嵌合在其上而具有小于第一凹部36的中间区域部分的宽度尺寸的2分之1的曲率半径和与弧面46的曲率中心一致的曲率中心。

从平面上看，壳体26的中央区域为具有矩形形状的板状部48。

槽38被分成以一对一的形式与被检查体12的主体14的矩形的边以及第一凹部36的组对应的四个槽组，另外，在对应的边以及第一凹部36的长度方向上隔着间隔并向与对应的边交叉的方向延伸。各槽组的相邻的槽38之间为间壁。

各槽38向壳体26的上下开口，另外，在长度方向的一端侧(后端侧)的下部处连通到对应的第一凹部36的前端侧的下部，并且在长度方向上的另一端侧(前端侧)的上部处连通到第二凹部40。

从平面上看，第二凹部40具有：壳体26的板状部48的周围的小的第一凹部区域40a和与第一凹部区域40a的上部衔接且大于第一凹部区域40a的第二凹部区域40b。

从平面上看，第一以及第二凹部区域40a、40b具有与被检查体12的主体14相似的矩形形状，另外，被形成为同轴以及相似形状。每个槽组的槽38将其前端侧向第一凹部区域40a的矩形的一个边开口。

壳体26的板状部48的周围的区域通过第二凹部40的第一凹部区域40a被形成为低于第二凹部区域40b。

如上所述的壳体26能够由如合成树脂那样的电绝缘性材料形成。

各触头28在前端侧具有被电极16按压的弧状的前端(即，针头)50，并且具有弯曲的外表面52，在后端侧还具有向上方开口的弧状的凹部54。

各触头28在将其外表面52作为下方的侧的状态下以弧状从第一凹部36内延伸在槽38内，并以使前端50突出在第二凹部40的第一凹部区域40a上的状态被配置在壳体26上。

各触头28的后端部位于第一凹部36内。各触头28的后端在下部具有倾斜部56，并且在上部具有向后方突出的凸部58。各触头28的后端之下的转角部为弧面。

触头28的倾斜部56为了能够与第一凹部36的后方侧朝内面的倾斜部42抵接而包括越往上方越成为前方的倾斜面。凸部58为了能够卡定在第一凹部36的防脱落部44上，从倾斜部56的上端向后方突出，另外，被形成越往上部越成为后方的倾斜面。

在各触头28中，后端部的前侧的区域(后端前侧区域)和比该后端前侧区域更靠前端侧的区域(前端区域)在被检查体12的电极16被按压在前端50上时，作为发生弹性变形的臂部起作用。

在图示的例子中，上述臂部以弧状从第一凹部36内向斜上方延伸在槽38内，并且从槽38向上方突出，从而使前端50位于第二凹部40的第一凹部区域40a内。

各触头28的后端除了凸部58和后端之下的转角部之外，与第一凹部36的倾斜部42接触。凸部58抵接在第一凹部36的防脱落部44上。

压针器30通过如硅橡胶那样的能够发生弹性变形的弹性部件具有截面为圆形的棒状的形状，另外，以一对一的形式与矩形的边以及第一凹部36的组对应。各压针器30在对应的第一凹部36内向对应的第一凹部36的长度方向延伸。

如图4所示，各压针器30的两端部以过盈配合的状态嵌合在对应的第一凹部36的两端部36a上。由此，防止各压针器30从壳体26脱落。

各压针器30的两端部之间的中间区域具有与第一凹部36的前端侧的上转角部的弧面46的曲率半径大致相同的半径，另外，与第一凹部36的前端侧的上转角部的弧面46接触，并且抵接在对应的触头组的触头28的凹部54上。

导向板34具有与第二凹部40相似的矩形的形状，另外，被配置在第二凹部40内。导向板34具有以将被检查体12的电极16抵接在触头28的前端50上的方式收容被检查体12的矩形的凹部60。

凹部60具有稍大于被检查体12且与被检查体12的主体14相似的矩形的平面形状。为了引导被检查体12，凹部60的朝内面成为从导向板34的外侧朝向中心侧且越往下方越小的倾斜面。

电连接装置10能够以如下方式组装。

首先，各压针器30被配置在第一凹部36之后，各触头组的触头28被配置在壳体26上。

各触头28被配置成如下的状态：将臂部从对应的第一凹部36穿通至对应的槽38，并将前端50突出在第二凹部40上。由此，触头28在其后端部上被壳体26和压针器30所保持，并且通过防脱落部44和凸部58防止从壳体26脱落。

接着，导向板34被配置在第二凹部40的第二凹部区域40b上。导向板34通过以向导向板34的厚度方向贯穿该导向板34而螺纹结合在壳体26上的多个螺钉部件62，以能够拆卸的方式被固定在壳体26上。

通过上述，电连接装置10被组装成能够分解。在分解已被组装的电连接装置10时，进行与上述相反的作业。

在组装成电连接装置10的状态下，如图5A所示，各触头28的臂部以弧状从第一凹部36内向斜上方延伸在槽38内，使前端50突出在第二凹部40上，从而使前端50的一部分位于导向板34的凹部60内。

但是，由于被检查体12能够收容在导向板34的凹部60内，因此各触头28也可以具有前端50不位于凹部60内的形状。

已被组装的电连接装置10通过贯穿壳体26而螺纹结合在基板20上的多个螺钉部件64，能够分离地被安装在基板20上。

如上所述，在电连接装置10被安装在基板20上的状态下，触头28在外表面52的一部分上通过压针器30与基板20的导电性部24接触，并维持其状态。由此，可靠地防止触头28从壳体26脱落，从而触头28可靠地与导线性部24电连接。

如上所述，当压针器30的两端部以过盈配合的状态嵌合在第一凹部36的两端部上且压针器30的中央区域抵接在触头28的凹部54上时，触头28相对于壳体26的位置以及姿势稳定，从而更可靠地防止触头28从壳体26脱落。

在检查时，被检查体12从上方被放入到导向板34的凹部60中。此时，当被检查体12相对于电连接装置10的位置偏离时，被检查体12抵接在凹部60的倾斜面上，通过该倾斜面被引导到凹部60的中央。由此，被检查体12以电极16抵接在触头28的前端上的状态被收容在电连接装置10中。

当配置在电连接装置10中的被检查体12通过未图示的按压件被按下时，各触头28通过过驱动OD，在外表面52的一部分被按压在导电性部24上的状态下，使压针器30以从后方侧向前方侧压扁的方式发生压缩变形，同时从图5B中的虚线所示的姿势到实线所示的姿势(即，触头28的后端向上方发生位移的状态)有角度地滚动在压针器30的周围。

由此，如图5B所示，触头28和导电性部24的接触位置向前方发生位移距离L1。此时，通过压针器30的反作用力，使触头28沿着其外表面52后退的力作用于触头28上。

但是，由于后方侧朝内面的倾斜部42相对于水平面以及垂直面的这两个面倾斜成越往上方越成为前方的状态，因此触头28通过将后端的一部分抵接在倾斜部42上，被阻止后退。

因此，触头28相对于导电性部24的滑动减少，从而导电性部24以及触头28的磨损显著减少。

在过驱动作用时，由于触头28相对于后方侧朝内面的倾斜部42的接触部分的滑动而触头28发生位移，但是由于各触头28的后端的下方转角部被弯曲成弧状，因此对倾斜部42的触头28的接触部分相对于后方侧朝内面的倾斜部42平滑地滑动，由此触头28可靠地滚动。

但是，由于各触头28的后端直接与第一凹部36的朝内后端面的倾斜面42接触，因此各触头28以后端下部为支点发生位移成在图5B中实线所示的状态，从而使压针器30发生弹性变形。

由此，由于前端50相对于电极16向触头28的长度方向发生位移且触头28对导电性部24的接触部分向前端50侧发生变化，因此各触头28的前端50产生削掉存在于电极16的表面上的氧化膜的一部分的摩擦作用(或刮除作用)。

如上所述，通过被检查体12被按压件按下，各触头28被按压在导电性部24上，因此，在组装成电连接装置10的状态或者被检查体12没有被按压件按下的状态下，为了使各触头28不被压针器30按压在导电性部24上，也可以在触头28与导电性部24之间具有间隙。

如图6所示，将倾斜部42相对于垂直面66的角度θ能够设为如下的值：即使前端50发生位移成A、B、C、D，触头28的后端的一部分、尤其是下转角部也始终与倾斜面42接触，并且导电性部24与触头28之间的接点变化为A、B、C、D而不发生触头28相对于导电性部24的滑动。

换言之，将上述角度θ能够设为假想线(imaginary line)68相对于垂直线66的角度，该假想线68是对在触头28滚动时触头28的后端的P点所描绘的摆线(cycloid curve)上的P点的位置进行连接而得到的线。

触头28相对于垂直线66的倾斜部56的角度可以与角度θ相同，也可以大于该角度θ。即，倾斜部56相对于垂直线66的角度只要是角度θ以上即可。另外，也可以代替在触头28的后端形成倾斜部56而将对应的部分设为凹面。

根据电连接装置10，起到如下的效果。

由于触头28被稳定地维持，因此尽管压针器30的结构简单也可靠地防止触头28彼此的电短路，电连接装置10的制作简单。

被检查体12自然地正确地被配置在电连接装置10上，被检查体12的电极16可靠地与触头28的前端50接触。

触头28使压针器30发生弹性变形，由此能够使规定的针压作用于导电性部24与触头28之间，从而能够使摩擦作用有效地作用于电极16上。

产业上的可利用性

本发明并不限定于上述实施例，只要不脱离其宗旨，就能够进行各种变更。例如，本发明也能够应用于如液晶显示面板那样的其它平板状的被检查体的试验用的电连接装置。

Claims

1.一种电连接装置，该电连接装置被安装在基板上，对形成在该基板上的导电性部与被检查体的电极进行电连接，包括：

壳体，其具有第一凹部和多个槽，各槽在其槽的长度方向的一端部上连通到上述第一凹部，并且该各槽至少向上方以及下方开口，上述第一凹部为在水平面内向第一方向延伸且向下方开口的第一凹部，至少具有后方侧朝内面，上述多个槽在上述第一方向上隔着间隔并在上述水平面内向与上述第一方向交叉的第二方向延伸；

多个触头，该多个触头的各个触头以在上述槽内从上述第一凹部内延伸的状态被配置在上述壳体中，对上述导电性部与上述电极进行电连接，该多个触头的各个触头具有前端、后端和外表面，该前端为了被上述电极相对地按压而从上述槽向上方突出，该后端朝向上述后方侧朝内面，该外表面弯曲而朝向上述导电性部；以及

压针器，其被配置在上述第一凹部，为了使上述触头的上述外表面与上述导电性部接触而抵接在与上述触头的上述外表面相反侧的部分上，

其中，上述第一凹部的上述后方侧朝内面包括倾斜部，该倾斜部相对于上述水平面以及垂直于该水平面的垂直面这两个面倾斜成越往上方越成为前方的状态，各上述触头在上述后端的至少一部分处与上述倾斜部抵接。

2.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

各触头的上述后端的下方的转角部被弯曲成弧状。

3.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

各触头的上述后端包括倾斜部，该倾斜部为与上述后方侧朝内面的上述倾斜部相对的倾斜面，并且相对于上述水平面以及垂直于上述水平面的垂直面这两个面倾斜成越往上方越成为前方的状态。

4.根据权利要求3所述的电连接装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的电连接装置，其特征在于，

上述电连接装置还包括导向板，该导向板被配置在上述第二凹部中并具有开口，该开口以被检查体的电极与上述触头的上述前端抵接的方式引导被检查体。

7.根据权利要求5所述的电连接装置，其特征在于，

各触头以弧状从上述第一凹部内延伸在上述槽内。

8.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

上述第一凹部在上述倾斜部的上方还具有防脱落部，该防脱落部与上述触头的后端一起防止上述触头从上述第一凹部脱落。

9.根据权利要求8所述的电连接装置，其特征在于，

上述防脱落部为了越往上方越成为后方而包括从上述防脱落部的上述倾斜部的上端后退了的配合面，各触头在该触头的上述倾斜部的上部具有以能够与上述配合面配合的方式向后方突出的凸部。