JP5133758B2 - 磁気軸受用位置センサ装置及び磁気軸受装置 - Google Patents

磁気軸受用位置センサ装置及び磁気軸受装置 Download PDF

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Description

本発明は、複数組の磁気軸受で、例えばモータのシャフトなどの回転体をスラスト方向(軸方向又はアキシアル方向ともいう。)及びラジアル方向(径方向ともいう。)に磁気浮上させて非接触で支持する磁気軸受のための位置センサ装置及びそれを用いた磁気軸受装置に関する。
磁気軸受用位置センサは、軸伸び等の影響をできるだけ小さくするため、磁気軸受(磁石)と近接することが望ましく、また、回転機械では軸長をできるだけ短くする方が、ロータの共振周波数を高くできて制御が容易になるため、特に軸方向に対してコンパクトであることが望ましい。位置センサとしては、例えば渦電流式、静電容量式、光学式、インダクタンス式が用いられる。ここで、インダクタンス式は、スリップセンサと呼ばれる形式を採用することで、スラスト方向の位置センサとラジアル方向の位置センサを同じ位置、同じ向きに設置することが可能であるため、軸方向に対してコンパクトに設計可能であるという利点を有している。
図8は従来技術に係るインダクタンス式位置センサの外観を示す斜視図である。図8において、インダクタンス式位置センサは、積層鋼板のティース91に巻線92を巻回してなるステータ90と、計測場所にリング型の積層鋼板を配置したロータ93からなる。図8において、積層鋼板の磁気抵抗、及び漏れ磁束を無視すると、当該位置センサのコイルの鎖交磁束Φ及びインダクタンスLは、センサコアと軸受(ロータ側)コアとの1極当たりの重なり面積(ティース断面積)S、空隙間隔h、巻数N、真空の透磁率μを用いて、次式で与えられる。
Figure 0005133758
Figure 0005133758
ここで、φは巻線1回当たりの鎖交磁束である。また、wはティース断面の幅であり、lはティース断面の長さであり、その断面積はS=wlで表される。
インダクタンス式位置センサでは、ブリッジ回路等を用いて、Lの変化を電位差の変移量として測定し、その値から位置の変位を求めることができる。また、ラジアル位置センサでは、ロータ変位で空隙間隔hが変化することによる、インダクタンスの変化を計測する。
これに対し、スラスト位置センサでは、図9乃至図11のようにセンサコアをロータコアに対してスラスト方向(ロータ軸方向)にオフセットして配置して、センサの重なり部分zの変化によるインダクタンスの変化を計測する。当該スラスト位置センサは、スリップセンサとも呼ばれる。図9は従来技術に係るスラスト位置センサ(スリップセンサ)のR−Z面の構成及び動作を示す側面図であり、図10は図9のスラスト位置センサ(スリップセンサ)のラジアル方向を含む面(スラスト方向に対して直交する面)の構成及び動作を示す側面図である。また、図11は図9のスラスト位置センサ(スリップセンサ)の漏れ磁束を示す側面図である。
図9乃至図10において、位置センサステータコア94に巻線95がN回巻回され、当該位置センサステータコア94が積層鋼板にてなるロータコア96に対向するように構成される。ここで、97はロータコア96に連結された非磁性体である。スリップセンサのインダクタンスは、センサコイルの発生する磁束が全てステータコアとロータコアの重なり部分の空隙に集中すると仮定した場合、式(2)の長さlをzに変えて次式で表される。
Figure 0005133758
なお、特許文献1では、「回転体をアキシアル方向およびラジアル方向に非接触支持して磁気浮上させるための複数の電磁石を有する複数組の磁気軸受、前記回転体のアキシアル方向およびラジアル方向の位置を検出するための複数の位置センサを有する位置検出手段、ならびに前記位置検出手段による位置の検出結果に基づいて前記磁気軸受の電磁石を制御する電磁石制御手段を備えている磁気軸受装置において、前記回転体のアキシアル方向の位置を検出するためのアキシアル位置センサおよびラジアル方向の位置を検出するためのラジアル位置センサがインダクタンス検出方式のものであることを特徴とする」一般的な磁気軸受装置が開示されている。
特開2001−214934号公報。
実際のスリップセンサでは、図11に示すように、ステータコア94とロータコア96の重なり部分の磁束98以外にも漏れ磁束99が生じる。これは、スラスト方向変位に対して比例しないため、位置センサとして機能しない。すなわち、実際の位置センサでは、漏れ磁束の分だけ感度が減少することを意味する。漏れ磁束を少なくするためには、ステータコア94とロータコア96の重なり長z(スラスト方向)を大きくして磁路を増やすことが必要であるが、その場合、その変位Δzに対するインダクタンスLの変化率が小さくなり、これも変位Δzに対する感度を下げることになる。
すなわち、スリップセンサはラジアル方向の変位に対してもインダクタンスが変化するため、その影響をキャンセルする必要がある。また、ステータの磁極(ティース)とロータがスラスト方向にオフセットしているため漏れ磁束が多くなり、ラジアル方向センサに比べて感度が低くなるという問題点があった。
本発明の目的は以上の問題点を解決し、従来技術に比較して小型化することができ、しかもスラスト方向の位置センサ感度を大幅に向上させることができる磁気軸受用位置センサ装置及びそれを用いた磁気軸受装置を提供することにある。
第1の発明に係る磁気軸受用位置センサ装置は、ロータをスラスト方向及びラジアル方向に非接触支持して磁気浮上させる磁気軸受装置のための位置センサ装置において、
各積層鋼板において90度毎に計4組のティースを有し、上記各ティースにセンサコイルを巻回してなる第1層、第2層及び第3層の3枚の積層鋼板を、、当該3枚の積層鋼板のうち互いに隣接する積層鋼板の各コイルが互いに干渉しないようにずらして重ねて構成されたステータと、
上記ステータの内側に所定の間隙を介して配置されたリング型積層鋼板であって、第1層及び第3層のステータと少なくとも対向するように配置されたロータとを備え、
上記第2層のステータの互いに直交する位置の各センサコイルのインダクタンスの変化をそれぞれ、当該各インダクタンスを含むように構成された第1と第2のブリッジ回路に発生する2つの電位差で検出することによりラジアル方向の変位を計測する一方、上記第1層のステータ及び第3層のステータの各センサコイルのインダクタンスの変化を、当該各インダクタンスを含むように構成された第3のブリッジ回路に発生する電位差で検出することによりスリップセンサを形成してスラスト方向の変位を計測することを特徴とする。
上記磁気軸受用位置センサ装置において、上記第1層のステータの各センサコイルと、上記第3層のステータの各センサコイルとの合計8対のセンサコイルのうち、互いに対向する各2対のセンサコイルを並列に接続してそれぞれ1組のセンサコイルのインダクタンスにより合計4組のスリップセンサを形成し、当該各インダクタンスを含むように構成された第3のブリッジ回路に発生する電位差で検出することによりスラスト方向の変位を計測することを特徴とする。
また、上記磁気軸受用位置センサ装置において、上記ロータは、上記ステータの厚さの2/3の厚さを有することを特徴とする。
さらに、上記磁気軸受用位置センサ装置において、上記ステータは、上記第1層、第2層及び第3層の3枚の積層鋼板を、当該3枚の積層鋼板のうち互いに隣接する積層鋼板の各コイルが互いに干渉しないように30度ずつずらして重ねて構成されたことを特徴とする。
第2の発明に係る磁気軸受装置は、ロータをスラスト方向及びラジアル方向に非接触支持して磁気浮上させる磁気軸受装置において、上記磁気軸受用位置センサ装置を備えたことを特徴とする。
本発明に係る磁気軸受用位置センサ装置によれば、各積層鋼板において90度毎に計4組のティースを有し、上記各ティースにセンサコイルを巻回してなる第1層、第2層及び第3層の3枚の積層鋼板を、当該3枚の積層鋼板のうち互いに隣接する積層鋼板の各コイルが互いに干渉しないようにずらして重ねて構成されたステータと、上記ステータの内側に所定の間隙を介して配置されたリング型積層鋼板であって、第1層及び第3層のステータと少なくとも対向するように配置されたロータとを備える。従って、本発明に係る磁気軸受用位置センサ装置は以下の特有の効果を有する。
(1)ラジアル方向とスラスト方向の位置センサをコンパクトに一体化でき、大幅に小型できる。
(2)当該位置センサを同一形状の積層鋼板を用いて製造することができ、製作コストを大幅に削減できる。
(3)スラスト方向の位置センサとなるスリップセンサでは、ラジアル方向の影響をキャンセルすることができ、スラスト方向の位置センサ感度を向上させることができる。
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同様の構成要素については同一の符号を付している。
本発明の実施形態に係る磁気軸受装置は、図1乃至図3の3層式の位置センサを用いて、モータのロータシャフトの位置の偏差を検出して、その検出結果に基づいて上記ロータシャフトを所定の位置に定位させることを特徴としている。ここで、特に、第2層のステータコア12に係る位置センサによりラジアル方向の変位を検出し、第1層及び第3層のステータコア11,13に係る位置センサによりスラスト方向の変位を計測することを特徴としている。
図1(a)は本発明の一実施形態に係る磁気軸受装置に用いる位置センサステータコア10の側面図であり、図1(b)は当該位置センサステータコア10の平面図である。また、図2(a)は本実施形態に係る磁気軸受装置に用いる位置センサロータコア14の側面図であり、図2(b)は当該位置センサロータコア14の平面図である。さらに、図3(a)は図1の位置センサステータコア10の第1層のステータコア11の平面図であり、図3(b)は図1の位置センサステータコア10の第2層のステータコア12の平面図であり、図3(c)は図1の位置センサステータコア10の第3層のステータコア13の平面図である。またさらに、図4(a)は図1の位置センサステータコア10の各ティース対にコイルを巻回して構成されたセンサステータ10Aの平面図であり、図4(b)は図4(a)のA−A’線の縦断面図である。また、図5は本実施形態に係る磁気軸受装置の位置センサにより構成される3個のブリッジ回路B1,B2,B3からの検出信号に基づいてアクチュエータ52を駆動する電気回路の回路図である。なお、図5において、矩形の中に●印がある素子はコアコイルのインダクタンスであり、●印が公知の通り巻始め位置を表す。
図3のように、2個1組として、90度毎にそれぞれ計4組のティース(111,112,113,114;121,122,123,124;131,132,133,134)を内周縁端に中心に向かって突出するように設けた厚さlの合計3枚の積層鋼板であるステータコア11,12,13を形成する。ここで、対向するティース間の間隙は2R+2hであり、Rは図2の位置センサロータコア14の直径であり、hは位置センサロータコア14とティースとの間の間隙である。次いで、上記形成したステータコア11,12,13を、図1に示すように当該ステータコア11,12,13の中心を中心として、3枚のステータコア11,12,13のうち互いに隣接するステータコアの各コイルが互いに干渉しないように30度ずつずらして、各ティースが重ならないように、3層重ねた構造の位置センサステータコア10を形成する。そして、図4に示すように各ティース(111,112,113,114;121,122,123,124;131,132,133,134)に巻線を施してコイルを形成し、図5のように各コイルを結線する。すなわち、
(1)ステータコア11は、図3(a)に示すように、ティース111,112,113,114を有し、また、図4に示すように、ティース111にはコイルz1−及びz2−が巻回され、ティース113にはコイルz3−及びz4−が巻回され、ティース112にはコイルz7−及びz8−が巻回され、ティース114にはコイルz5−及びz6−が巻回される。
(2)ステータコア12は、図3(b)に示すように、ティース121,122,123,124を有し、また、図4に示すように、ティース121にはコイルxm1及びxm2が巻回され、ティース123にはコイルxm3及びxm4が巻回され、ティース122にはコイルym3及びym4が巻回され、ティース124にはコイルym1及びym2が巻回される。
(3)ステータコア13は、図3(c)に示すように、ティース131,132,133,134を有し、また、図4に示すように、ティース131にはコイルz5+及びz6+が巻回され、ティース133にはコイルz7+及びz8+が巻回され、ティース132にはコイルz3+及びz4+が巻回され、ティース134にはコイルz1+及びz2+が巻回される。
また、3層の位置センサステータコア10の積層鋼板(厚さ3l)に対して、好ましくはおよそ2/3の積厚(2l)であるリング型積層鋼板にてなり、第1層のステータコア11及び第3層のステータコア13とそれぞれ軸方向におよそ半分(l/2)だけ重なって対向するように配置した直径2Rの位置センサロータコア14を設ける。なお、本発明はこれに限らず、ロータコア14については、第1層のステータコア11及び第3層のステータコア13の一部と少なくとも重なって対向するように配置しても位置検出可能である。この場合、ロータコア14の厚さは、lを越えて3l未満である。
図5において、4つのコイルxm1,xm2,xm3,xm4のインダクタンスと、2個の抵抗R1,R2とによりxm方向の位置偏差(位置センサステータコア10の中心軸に対して位置センサロータコア14がxm方向にどれだけずれているかを示す偏差をいう。)を検出するためのブリッジ回路B1を形成する。また、4つのコイルym1,ym2,ym3,ym4のインダクタンスと、2個の抵抗R3,R4とによりym方向の位置偏差(位置センサステータコア10の中心軸に対して位置センサロータコア14がym方向にどれだけずれているかを示す偏差をいう。)を検出するためのブリッジ回路B2を形成する。さらに、16個のコイル(z1+,z2+,z3+,z4+;z1−,z2−,z3−,z4−;z5+,z6+,z7+,z8+;z5−,z6−,z7−,z8−)のインダクタンスによりスラスト方向(z方向)の位置偏差(位置センサステータコア10に対して位置センサロータコア14がz方向にどれだけずれているかを示す偏差をいう。)を検出するためのブリッジ回路B3を形成する。これら3個のブリッジ回路B1,B2,B3は、例えば10〜30kHzの高周波の矩形パルス信号発生器51により駆動され、各ブリッジ回路B1,B2,B3からそれぞれ出力される偏差電圧はコントローラ50に入力される。コントローラ50は入力される3個の偏差電圧に基づいて位置センサステータコア10に対する位置センサロータコア14の偏差位置を検出し、所定の位置を保持するように(非接触で磁気浮上するように)ロータシャフト63(図7)の3次元方向を制御するアクチュエータ52を制御する。
以上のように構成された位置センサ回路では、3層のうち第2層のステータコア12の各ティースに巻回したコイルのインダクタンスを用いてラジアル方向(xm方向及びym方向)の変位Δxm,Δymを計測する。第1層のステータコア11と第3層のステータコア13の各ティースに巻回したコイルのインダクタンスを用いてスリップセンサを形成し、スラスト方向(z方向)の変位Δzを計測する。このように、同一形状の積層鋼板のステータコア11,12,13を、角度をずらして3層重ねることで、ラジアル方向、スラスト方向いずれも計測できる位置センサをコンパクトに一体化して形成できる。
ここで、ステータコア11,12,13は、打ち抜き法やワイヤカット法などの手法で製作することができ、ステータコア11,12,13の各層に同一形状の積層鋼板を用いることで、打ち抜き型やワイヤカットのプログラムを1セットで製作できるため、製作コストを削減可能である。
また、上述のように、第1層及び第3層のステータコア11,13の各コイルの磁極(図5のz1+〜z8+、z1−〜z8−)でスラスト位置センサを形成することができる。ここで、第1層のステータコア11の各コイルと、第3層のステータコア13の各コイルとの合計8対のコイルのうち、互いに対向する各2対のセンサコイルを並列に接続してそれぞれ1組のセンサコイルのインダクタンスにより合計4組のスリップセンサを形成し、当該各インダクタンスを含むように構成されたブリッジ回路B3に発生する電位差で検出することによりスラスト方向の変位を計測することを特徴としている。すなわち、図5のように、対抗する2対(z1〜z2とz3〜z4、z5〜z6とz7〜z8)を並列結線して1組とし、ラジアル方向の変位に対する影響をキャンセルできる。これにより、4組でスリップセンサを2セット構成し、検出回路をフルブリッジ回路とすることで、感度を大幅に上げることができる。
本実施形態に係るインダクタンス式位置センサは、例えば10〜30kHzの高周波で励磁するため、コア材料として、鉄損の少ない電磁鋼板を使用する。コアの形状精度を出すため、ワイヤカットや打ち抜きで図3のような形状とする。3層一体で積層し、接着剤等で散けないよう固定する。
図6(a)〜(j)は本実施形態に係る磁気軸受装置に用いる位置センサステータ18を製造する組み立て工程を示す平面図である。図6(a)の第1層のステータコア11を、図6(b)に示すように第2層のステータコア12上に重ね、その結果物を、図6(c)に示すように第3層のステータコア13上に重ねて位置センサステータコア10を形成する。そしてコイルを装荷して図6(d)のセンサステータ10Aを形成する。一方、図6(e)のステータリング15を図6(d)のセンサステータ10A上に重ねた後(図6(f))、その結果物上にステータ押さえ板16を載置する(図6(g))。さらに、その結果物上に図5の電気回路を有するプリント配線板17を重ねて位置センサステータ18を得る。
ここで、ステータリング15及びステータ押さえ板16などの位置センサケースは非磁性材料で製作する。センサコイルの配線をプリント配線板17上に形成することで、配線の手間を省略するとともに、寸法を小さくすることが可能となる。
図7は本実施形態に係るモータの磁気軸受装置の機械的部分の縦断面図である。図7の例では、本実施形態に係る位置センサを磁気軸受式モータに使用した例を示す。図7において、モータハウジング60の中央部をスラスト方向にモータシャフト63が貫通しており、その中央部の周囲にモータステータコア61が設けられ、そのモータステータコア61にモータステータコイル62が巻回される。上記モータシャフト63は図上左右方向の端部で補助軸受65,68により支持されている。また、上記モータシャフト63の図上左側であって補助軸受65の右側に、位置センサロータコア(駆動側)70及び位置センサステータコア(駆動側)71が設けられ、図5のアクチュエータ52のうちの一部のアクチュエータであるxm方向及びym方向の位置補正を行うラジアル磁気軸受(駆動側)64が設けられる。さらに、上記モータシャフト63の図上右側であって補助軸受65の左側に、位置センサロータコア(反駆動側)72及び位置センサステータコア(反駆動側)73が設けられ、図5のアクチュエータ52のうちの一部のアクチュエータであるxm方向及びym方向の位置補正を行うラジアル磁気軸受(反駆動側)69が設けられる。さらに、上記モータシャフト63の図上右側端部であって補助軸受65の右側に、スラストディスク67が配置され、それがスラスト磁気軸受(電磁石)66により支持されている。ここで、スラスト磁気軸受(電磁石)66は図5のアクチュエータ52のうちの一部のアクチュエータであるz方向の位置補正を行う。
すなわち、図7において、モータハウジング60に収納された位置センサは、ラジアル磁気軸受64,69に取り付けられ、駆動側及び反駆動側のラジアル磁気軸受64,69の間にモータのロータシャフト63が存在するように設けられる。本実施形態では、スラスト磁気軸受66の制御は駆動側又は反駆動側のスラスト位置センサの値を用いて行っている(図5のブリッジ回路B3参照。)。スラスト磁気軸受の制御で使用しない側のスラスト位置センサは、駆動側、反駆動側の二つのスラスト位置センサの間における、ロータシャフト63のモータハウジング60に対する相対的な伸びを計測する。この伸びと二つのスラスト位置センサの距離から、ロータシャフト63とモータハウジング60との(平均)温度差を推定できるため、モータハウジング60の温度から、ロータシャフトの温度を推定することが可能である。なお、モータ、磁気軸受、位置センサの同芯度は、各機器取り付け部の嵌め合い公差で決まるが、磁気軸受と位置センサについては、センサを軸受に組み込んだ状態で磁極面を研磨することで、同芯度や精度を改善することが可能である。
変形例.
図12(a)は本発明の変形例に係る磁気軸受装置に用いる位置センサステータコア10の側面図であり、図12(b)は当該位置センサステータコア10の平面図であり、図12(c)は当該変形例に係る磁気軸受装置に用いる位置センサロータコア14の側面図であり、図12(d)は当該位置センサロータコア14の平面図であり、図12(e)は上記位置センサステータコア10の第1層のステータコア11の平面図であり、図12(f)は図1の位置センサステータコア10の第2層のステータコア12の平面図であり、図12(g)は図1の位置センサステータコア10の第3層のステータコア13の平面図である。また、図13(a)は図12の位置センサステータコア10の各ティースにコイルを巻回して構成されたセンサステータ10Aの平面図であり、図13(b)は図13(a)のB−B’線の縦断面図であり、図13(c)は当該変形例に係る磁気軸受装置の位置センサにより構成される3個のブリッジ回路B1,B2,B3からの検出信号に基づいてアクチュエータ52を駆動する電気回路の回路図である。なお、図12及び図13において、上記実施形態と対応するものについては同一の符号を付している。
図12及び図13の変形例は、図1乃至図5の実施形態に比較して、以下の点が異なる。
(1)1個のティース当り2本のティース111〜134に代えて、1個のティース当り3本のティース111〜134を備えたこと。ここで、3本のティースのうち両端のティースについては、真ん中のティースの幅の半分程度にした。
(2)2本のティースの場合の2倍の巻数のコイルを巻回したときに同等の性能を有するセンサを構築できる。この場合、ブリッジ回路B1,B2,B3では、例えばコイルxm1とxm2、コイルxm3とxm4を一体にしたことになる。他のコイルについても同様である。
以上詳述したように、本発明に係る磁気軸受用位置センサ装置によれば、各積層鋼板において90度毎に計4組のティースを有し、上記各ティースにセンサコイルを巻回してなる第1層、第2層及び第3層の3枚の積層鋼板を、当該3枚の積層鋼板のうち互いに隣接する積層鋼板の各コイルが互いに干渉しないようにずらして重ねて構成されたステータと、上記ステータの内側に所定の間隙を介して配置されたリング型積層鋼板であって、第1層及び第3層のステータと少なくとも対向するように配置されたロータとを備える。従って、本発明に係る磁気軸受用位置センサ装置は以下の特有の効果を有する。
(1)ラジアル方向とスラスト方向の位置センサをコンパクトに一体化でき、大幅に小型できる。
(2)当該位置センサを同一形状の積層鋼板を用いて製造することができ、製作コストを大幅に削減できる。
(3)スラスト方向の位置センサとなるスリップセンサでは、ラジアル方向の影響をキャンセルすることができ、スラスト方向の位置センサ感度を向上させることができる。
(a)は本発明の一実施形態に係る磁気軸受装置に用いる位置センサステータコア10の側面図であり、(b)は当該位置センサステータコア10の平面図である。 (a)は本実施形態に係る磁気軸受装置に用いる位置センサロータコア14の側面図であり、(b)は当該位置センサロータコア14の平面図である。 (a)は図1の位置センサステータコア10の第1層のステータコア11の平面図であり、(b)は図1の位置センサステータコア10の第2層のステータコア11の平面図であり、(c)は図1の位置センサステータコア10の第3層のステータコア11の平面図である。 (a)は図1の位置センサステータコア10の各ティースにコイルを巻回して構成されたセンサステータ10Aの平面図であり、(b)は図4(a)のA−A’線の縦断面図である。 本実施形態に係る磁気軸受装置の位置センサにより構成される3個のブリッジ回路B1,B2,B3からの検出信号に基づいてアクチュエータ52を駆動する電気回路の回路図である。 (a)〜(j)は本実施形態に係る磁気軸受装置に用いる位置センサステータ18を製造する組み立て工程を示す平面図である。 本実施形態に係るモータの磁気軸受装置の機械的部分の縦断面図である。 従来技術に係るインダクタンス式位置センサの外観を示す斜視図である。 従来技術に係るスラスト位置センサ(スリップセンサ)のR−Z面の構成及び動作を示す側面図である。 図9のスラスト位置センサ(スリップセンサ)のラジアル方向を含む面(スラスト方向に対して直交する面)の構成及び動作を示す側面図である。 図9のスラスト位置センサ(スリップセンサ)の漏れ磁束を示す側面図である。 (a)は本発明の変形例に係る磁気軸受装置に用いる位置センサステータコア10の側面図であり、(b)は当該位置センサステータコア10の平面図であり、(c)は当該変形例に係る磁気軸受装置に用いる位置センサロータコア14の側面図であり、(d)は当該位置センサロータコア14の平面図であり、(e)は上記位置センサステータコア10の第1層のステータコア11の平面図であり、(f)は図1の位置センサステータコア10の第2層のステータコア12の平面図であり、(g)は図1の位置センサステータコア10の第3層のステータコア13の平面図である。 (a)は図12の位置センサステータコア10の各ティースにコイルを巻回して構成されたセンサステータ10Aの平面図であり、(b)は図13(a)のB−B’線の縦断面図であり、(c)は当該変形例に係る磁気軸受装置の位置センサにより構成される3個のブリッジ回路B1,B2,B3からの検出信号に基づいてアクチュエータ52を駆動する電気回路の回路図である。
符号の説明
10…位置センサステータコア、
10A…センサステータ、
11…第1層のステータコア、
12…第2層のステータコア、
13…第3層のステータコア、
14…位置センサロータコア、
15…ステータリング、
16…ステータ押さえ板、
17…プリント配線板、
18…位置センサステータ、
50…コントローラ、
51…矩形パルス信号発生器、
52…アクチュエータ、
60…モータハウジング、
61…モータステータコア、
62…モータステータコイル、
63…ロータシャフト、
64…ラジアル磁気軸受(駆動側)、
65,68…補助軸受、
66…スラスト磁気軸受(電磁石)、
67…スラストディスク、
69…ラジアル磁気軸受(反駆動側)
70…位置センサロータコア(駆動側)、
71…位置センサステータコア(駆動側)
72…位置センサロータコア(反駆動側)、
73…位置センサステータコア(反駆動側)
111,112,113,114,121,122,123,124,131,132,133,134…ティース、
B1,B2,B3…ブリッジ回路、
R1,R2,R3,R4…抵抗。

Claims (5)

  1. ロータをスラスト方向及びラジアル方向に非接触支持して磁気浮上させる磁気軸受装置のための位置センサ装置において、
    各積層鋼板において90度毎に計4組のティースを有し、上記各ティースにセンサコイルを巻回してなる第1層、第2層及び第3層の3枚の積層鋼板を、当該3枚の積層鋼板のうち互いに隣接する積層鋼板の各コイルが互いに干渉しないようにずらして重ねて構成されたステータと、
    上記ステータの内側に所定の間隙を介して配置されたリング型積層鋼板であって、第1層及び第3層のステータと少なくとも対向するように配置されたロータとを備え、
    上記第2層のステータの互いに直交する位置の各センサコイルのインダクタンスの変化をそれぞれ、当該各インダクタンスを含むように構成された第1と第2のブリッジ回路に発生する2つの電位差で検出することによりラジアル方向の変位を計測する一方、上記第1層のステータ及び第3層のステータの各センサコイルのインダクタンスの変化を、当該各インダクタンスを含むように構成された第3のブリッジ回路に発生する電位差で検出することによりスリップセンサを形成してスラスト方向の変位を計測することを特徴とする磁気軸受用位置センサ装置。
  2. 上記第1層のステータの各センサコイルと、上記第3層のステータの各センサコイルとの合計8対のセンサコイルのうち、互いに対向する各2対のセンサコイルを並列に接続してそれぞれ1組のセンサコイルのインダクタンスにより合計4組のスリップセンサを形成し、当該各インダクタンスを含むように構成された第3のブリッジ回路に発生する電位差で検出することによりスラスト方向の変位を計測することを特徴とする請求項1記載の磁気軸受用位置センサ装置。
  3. 上記ロータは、上記ステータの厚さの2/3の厚さを有することを特徴とする請求項1又は2記載の磁気軸受用位置センサ装置。
  4. 上記ステータは、上記第1層、第2層及び第3層の3枚の積層鋼板を、当該3枚の積層鋼板のうち互いに隣接する積層鋼板の各コイルが互いに干渉しないように30度ずつずらして重ねて構成されたことを特徴とする請求項1乃至3のうちのいずれか1つに記載の磁気軸受用位置センサ装置。
  5. ロータをスラスト方向及びラジアル方向に非接触支持して磁気浮上させる磁気軸受装置において、
    請求項1乃至4のうちのいずれか1つに記載の磁気軸受用位置センサ装置を備えたことを特徴とする磁気軸受装置。
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