JP5124442B2 - ガス放電レーザ出力光のビームパラメータ制御 - Google Patents
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Description
関連出願
本出願は、代理人整理番号第2004−0119−01号である、2005年3月31日出願の「ガス放電レーザ出力光ビームパラメータ制御」という名称の米国特許出願出願番号第11/095,293号に対する優先権を請求するものである。
レーザ出力光パルスビームパルスの低い繰返し数で送風機速度を多少強烈に落とすと、初期のArFレーザの低い繰返し数の安定性を改善することができる。しかし、これは、送風機の速度を落とした状態で、送風機が、高いパルス繰返し数に対する例えば必要なアークなし送風機速度に対応するために再び回転を上げるまで、比較的高い繰返し数で再び発射することはできないので、好ましい作動状態ではない。
n*60/(m*Nblades*RPM)=w/f
ここで、wは、パルス単位の露光ウィンドウ、fは、Hz単位のパルス繰返し数であり、Nbladesは、送風機円周部周りのブレード枚数、例えば23であり、mは、線量に対する外乱を抑制する必要がある高調波数であり、nは、正の整数、n=1,2,...である。アルゴリズムは、可能なRPM数として上述の方程式から計算し、次に、例えば、アルゴリズムが3350rpmに最も近いものを選択するような上述の方程式の可能な全ての解から2900rpmから3800rpmの一般的な送風機速度範囲が得られるように、問題のない送風機速度範囲の中心に最も近いものを選択することができる。代替的に、新しい送風機速度設定値まで送風機を回転させるために必要とされる時間を最小にするために、アルゴリズムは、a)問題のない送風機速度範囲、例えば、2900rpmと3800rpmの間に該当し、かつb)現在の送風機速度に最も近いものであるように新しい送風機速度を上述の方程式の解から精選することができる。
スキャナ120は、前回の送風機106速度からあまりかけ離れていない、すなわち、例えば、予露光バースト中(すなわち、較正、回復などに使用)、又はバースト間の間隔中でさえも調節が迅速に行われるような新しい送風機106速度を精選することができる。
ΔΦ=ωΔt
ここで、Δtは、tn+1−1である。
−Vc=(dV/dE)*Re(An (i,Φn+1,m))
ここで、dV/dEは、当業技術で公知のように、レーザシステムコントローラ70によって利用される所定のレーザシステムのエネルギ曲線に対する電圧の勾配の現在値であり、Anは、図8に示すようなもののようなベクトルの現在の長さであり、Anは、A0=0として始まり、mは、モード、すなわち、使用されている高調波に基づくものであり、例えば、23枚のブレードの送風機回転ファンの第2高調波に対しては46である。また、Anは、以下の方程式を用いて、aの先行値、すなわち、An-1から計算される。
l/w項は、結果を低域通過濾過するためのwパルスの補正ウィンドウサンプルを形成する。wに対して選択された値は、1とすることができるが、計算された得られる補正値は、ノイズが多すぎるであろうし、1つの値のみ、すなわち、j=nの時の値が計算されている。
代替的に、本発明の実施形態の態様によれば、スペクトル品質調整機構は、能動制御システムを含んで、入力部としてスペクトル品質測定システムの出力部を有するコントローラのフィードバック制御に基づいて、特定の逆流誘導ループインダクタンスを調節することができる。
70 レーザ制御システム
120 スキャナ
Claims (6)
- レーザ出力光パルスビームのスペクトル品質を微調整するようにされた線狭化ガス放電レーザシステムであって、
発振キャビティと、
レーザ媒体ガスを収容するチャンバハウジングを含む前記発振キャビティ内のレーザチャンバと、
1つの端子が前記チャンバハウジングと1対のガス放電電極の第1の電極とに電気的に接続された少なくとも1つのピーキングコンデンサと、
前記少なくとも1つのピーキングコンデンサの反対の端子に接続され、かつ前記チャンバハウジングから絶縁された前記ガス放電電極の対の第2の電極と、
前記少なくとも1つのピーキングコンデンサが前記チャンバハウジングに電気的に接続される電流戻り経路と、
を含み、
前記少なくとも1つのピーキングコンデンサの前記1つの端子、前記ガス放電電極の対の前記第1の電極、前記レーザ媒体ガス、該ガス放電電極の対の前記第2の電極、前記電流戻り経路、及び該少なくとも1つのピーキングコンデンサの第2の端子は、逆流誘導ループを形成し、該逆流誘導ループは、所定のレーザシステムに対して該特定の逆流誘導ループに固有のインダクタンス値を有し、
前記特定の逆流誘導ループに対する前記特定の逆流誘導ループインダクタンス値を変えるための機構を含むスペクトル品質調整機構、
を更に含み、
前記スペクトル品質調整機構は、スペクトル品質測定システムの出力部を入力部として有するコントローラのフィードバック制御に基づいて特定の逆流誘導ループインダクタンスを調節する能動制御システムを含むことを特徴とするシステム。 - 前記発振キャビティ内の線狭化モジュール、
を更に含み、
前記特定の逆流ループインダクタンスの前記変化は、特定のガス放電レーザシステムに対するガス放電の持続時間と、該特定のレーザシステムによって生成されたレーザ出力光パルスビームのスペクトル品質に及ぼす前記線狭化モジュールの影響とを調整する、
ことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記スペクトル品質は、帯域幅である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記スペクトル品質調整機構は、特定のレーザシステムに対する前記逆流誘導ループのサイズを変える機構を含むことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのピーキングコンデンサの前記反対の端子に電気的に接触した高電圧バス、
を更に含み、
前記スペクトル品質調整機構は、前記少なくとも1つのピーキングコンデンサの前記反対の端子からの前記高電圧バスの変位を制御する変位制御機構を含む、
ことを特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記スペクトル品質調整機構は、製造時に又はレーザシステム作動寿命中に現場で必要とされる場合に、特定のレーザシステムに対する前記特定のスペクトル品質を調節するように手動で作動される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
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