JP2008535260A5

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Publication number: JP2008535260A5
Application number: JP2008504252A
Authority: JP
Filing date: 2006-03-27
Publication date: 2009-05-14
Anticipated expiration: 2026-03-27

Claims

レーザ出力光パルスビームのスペクトル品質を微調整するようにされた線狭化ガス放電レーザシステムであって、
発振キャビティと、
レーザ媒体ガスを収容するチャンバハウジングを含む前記発振キャビティ内のレーザチャンバと、
１つの端子が前記チャンバハウジングと１対のガス放電電極の第１の電極とに電気的に接続された少なくとも１つのピーキングコンデンサと、
前記少なくとも１つのピーキングコンデンサの反対の端子に接続され、かつ前記チャンバハウジングから絶縁された前記ガス放電電極の対の第２の電極と、
前記少なくとも１つのピーキングコンデンサが前記チャンバハウジングに電気的に接続される電流戻り経路と、
を含み、
前記少なくとも１つのピーキングコンデンサの前記１つの端子、前記ガス放電電極の対の前記第１の電極、前記レーザ媒体ガス、該ガス放電電極の対の前記第２の電極、前記電流戻り経路、及び該少なくとも１つのピーキングコンデンサの前記第２の端子は、逆流誘導ループを形成し、該逆流誘導ループは、所定のレーザシステムに対して該特定の逆流誘導ループに固有のインダクタンス値を有し、
前記特定の逆流誘導ループに対する前記特定の逆流誘導ループインダクタンス値を変えるための機構を含むスペクトル品質調整機構、
を更に含むことを特徴とするシステム。
前記発振キャビティ内の線狭化モジュール、
を更に含み、
前記特定の逆流ループインダクタンスの前記変化は、特定のガス放電レーザシステムに対するガス放電の持続時間と、該特定のレーザシステムによって生成されたレーザ出力光パルスビームのスペクトル品質に及ぼす前記線狭化モジュールの影響とを調整する、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記スペクトル品質は、帯域幅である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記スペクトル品質調整機構は、特定のレーザシステムに対する前記逆流誘導ループのサイズを変える機構を含むことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記少なくとも１つのピーキングコンデンサの前記反対の端子に電気的に接触した高電圧バス、
を更に含み、
前記スペクトル品質調整機構は、前記少なくとも１つのピーキングコンデンサの前記反対の端子からの前記高電圧バスの変位を制御する変位制御機構を含む、
ことを特徴とする請求項４に記載の装置。
前記スペクトル品質調整機構は、製造時に又はレーザシステム作動寿命中に現場で必要とされる場合に、特定のレーザシステムに対する前記特定のスペクトル品質を調節するように手動で作動される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
前記スペクトル品質調整機構は、スペクトル品質測定システムの出力部を入力部として有するコントローラのフィードバック制御に基づいて前記特定の逆流誘導ループインダクタンスを調節する能動制御システムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
特定のパルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームパルスのパルスエネルギを制御するようにされた高繰返し数ガス放電レーザシステムであって、
レーザガス循環回転送風機と、
所定のレーザ出力光パルスビームパルス繰返し数に対する適切なアークなし送風機速度の現在適用可能な範囲内で前記送風機を作動させる送風機回転速度コントローラと、
前記パルス繰返し数と走査ウィンドウパルス数を表す信号とに基づいて、アークなし送風機速度の前記現在適用可能な範囲内の出力送風機回転速度を供給するパルスエネルギコントローラと、
を含むことを特徴とするシステム。
前記送風機回転速度は、複数の露光ウィンドウ及びレーザパルス繰返し数関連フーリエ変換ヌル点のそれぞれの１つ内に送風機速度高調波関連線量移行を整列させるように選択されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８に記載の装置。
送風機速度が、整数の外乱波形を露光ウィンドウ持続時間の期間内に置くように選択されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８に記載の装置。
特定のパルス繰返し数でレーザ出力光パルスビームパルスのパルスエネルギを制御するようにされた高繰返し数ガス放電レーザシステムであって、
レーザガス循環ファンと、
少なくとも１つの先行レーザ出力光パルスビームパルスに対する測定レーザ出力光パルスビームパルスエネルギに少なくとも部分的に基づいて、レーザ出力光パルスビーム出力パルスに対するパルスエネルギ制御信号を生成するパルスエネルギコントローラと、
前記レーザ出力光パルスビームパルスの位相推定値を生成するガス循環ファン位相推定器、
を含むパルスエネルギ制御信号補正機構と、
前記位相推定値と選択高調波モードとに基づいて前記パルスに対する補正値を計算する補正コンピュータと、
を含むことを特徴とするシステム。