JP2007531312A - ガス放電レーザチャンバの改善 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開示された場合の方法及び機器は、ハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源を含むことができ、この光源は、垂直壁及び隣接する底部壁を含む内壁を含むガス放電チャンバと、内部垂直壁及び隣接する底部壁に隣接するガス流路を作り出すためのガス循環ファンと、内壁に沿うことができ、かつ少なくとも1つのメッシュ状スクリーン、例えば少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含むことができる複数のメッシュ状スクリーンを含むことができる低ガス流量の領域に配置されたチャンバ内ダストトラップとを含むことができる。ダストトラップは、チャンバの底部内壁及び/又は内壁の垂直部分に沿って延びることができる。ダストトラップは、第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、第1のメッシュ状スクリーンと内壁の間にあり、第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンとを含むことができる。チャンバは、単一部分凹部と、互いに対して角度の付いた2つの区域を含むことができる複数部分凹部とを含む群から選択することができる、チャンバの垂直内壁及び底部壁の少なくとも一方にある複数のダスト収集凹部を含むことができる。ダストトラップは、主絶縁体の一部分とチャンバの内壁との間に配置された圧力トラップを含むことができる。チャンバは、渦制御ポケットを含むことができるファン遮断器を有する交差流ファンを含むガス循環ファンを含むことができる。チャンバは、柔軟部材を含むことができる予備電離管内の細長い開口部内の接地ロッドを収容する予備電離管を含む予備電離機構、自動予備電離遮断機構、予備電離開始制御機構、及び/又は集束要素を含むことができる。チャンバは、細長いバッフル板を含むことができ、このバッフル板は、複数のピラミッド状構造を含むことができ、この構造は、様々な個数のほぼピラミッド状の要素を含み、様々な個数のほぼピラミッド状の要素の群として配向され、かつ縦軸線に沿って及びそれと横断方向に配向されている。チャンバ内の音響共振はまた、レーザ放電のタイミングの中に人工的なジッターを導入し、パルス間周期をランダムに又はバースト内のパルスからパラスに反復するパターンで変化させることによっても低減することができる。
【選択図】図2D
Description
電極間で例えばガス放電チャンバ内の放電間のガスからのデブリ除去は、非常に高いファンモータ速度を必要する可能性があり、これは、両方ともチャンバガスへの温度及び振動を追加し、これは、レーザ出力光パラメータ要件の充足を妨害し、及び/又は時間にわたって、異なる負荷サイクルにわたって、及び異なる出力光パルス繰返し数にわたって安定性の維持を妨害する可能性がある。ガス中のより多くのデブリは、光学要素、例えばチャンバ窓上のデブリの堆積速度を増大させ、光学要素の性能低下及び/又は故障に寄与し、望ましいより頻繁な交換を必要とする可能性がある。これらの理由により、超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザのための改良型デブリ除去システム及び方法に対する必要性が存在する。本発明の実施形態の態様によると、本出願人は、レーザガス放電チャンバにおけるガス循環流路内で循環するガスからのデブリ除去の付加的で低費用で容易に実施されかつ非常に信頼性の高い手段を提案する。これはまた、例えば、チャンバ窓領域への洗浄されたガスの供給を維持することが主な機能であるMFTの寿命を延長するものである。
カソード30は、主絶縁体44を貫通する例えば高電圧フィードスルー42によって例えば放電高電圧フィードスルーアセンブリ40に接続することができる。主絶縁体44は、カソードのチャンバ上側半分22からの電気的隔離を保つことができる。
チャンバ26はまた、当業技術で公知であるフッ化金属トラップ90を有することができるが、本発明の実施形態の態様は、可能な場合にMFTを置換するためのものである。
チャンバ20の底部24の例えば水平底部内壁29に沿って同様にチャンバ内部26に含まれるものは、例えばダストトラップ100とすることができる。ガス循環と共に循環し、肉眼でダスト状又はリント状に見える主にフッ化金属物質のような様々な形態のデブリをダストによって意味することが理解されるであろう。
本出願人は、比較的短い作動時間の後にガス循環路内にレーザガスと共に循環している浮遊デブリが、チャンバ20の床部上のダスト収集器、例えばダスト収集器100内に本質的に全て集まり、その後著しく移動せず、衝撃によってガス循環流路に戻らないことを見出した。過去には、本出願人は、ダストはチャンバ底部に沈降する傾向があるが、様々な音響及び他の衝撃波、及び振動擾乱が周期的にダスト又はその有意な量を同伴してガス循環路に戻すと考えていた。本発明の実施形態の態様によるダストトラップ、例えば100、100’、100’’は、これらの中に収集されたダストの再同伴を事実上排除することを本出願人は見出した。
本出願人は、この問題に対する解決法は、接地ロッド54が共通電位にある時に制御することによって予備電離を例えばより能動的に制御するように接地ロッド54のスイッチを入れることに見出すことができ、こうしてカソード30と接地ロッド54の間の電位差によるコロナ放電を引き起こすことができると考えている。印加された電圧に従って、この遅延時間を適正に変更するボルト・秒の積に基づいて、すなわち、低電圧に対してスイッチ遮断における遅延が長く、高電圧に対してはその反対であるように、カソードとスイッチに印加された電圧変化が放電の実際の発生の前の例えば20〜40nsにおいて適切な予備電離を供給するように、例えば一実施形態では、このスイッチは、飽和可能磁気スイッチ(図示しない)とすることができると考えられる。代替的に、恐らく予備電離器の変位電流(コロナ放電)の一部の振幅を代償にして、不活性誘導要素(図示しない)、例えば適切な可飽和インダクタを採用することができ、又は沿面放電セラミックコネクタ(図示しない)を利用することができると考えられ、例えば接地ロッド54を接地に接続し、予備電離の開始を適正に遅延する。これは、例えばスイッチの使用と同程度に予備電離の開始を能動的に制御するものではないが、それでも有効であると考えられる。
102、104 メッシュ状要素
Claims (102)
- ハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源であって、
垂直壁と隣接する底部壁とを含む内壁を含むガス放電チャンバと、
前記内部垂直壁と前記隣接する底部壁とに隣接するガス流路を作り出すためのガス循環ファンと、
低ガス流量の領域に位置決めされたチャンバ内ダストトラップと、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記ダストトラップは、内壁に沿って位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも1つのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも1つメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、複数のメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、複数のメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、複数のメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、複数のメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、少なくとも2つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項9に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項10に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項11に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項12に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項14に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項15に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記チャンバの前記底部内壁に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項16に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項17に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項18に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項19に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項20に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項21に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項22に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項23に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項24に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項25に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項26に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項27に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項28に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項29に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項30に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項31に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、前記内壁の垂直部分に沿って延びている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項32に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項9に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項10に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項11に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項12に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項14に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項15に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
第1のゲージを有する第1のメッシュ状スクリーンと、
前記第1のメッシュ状スクリーンと前記内壁の中間にあり、該第1のゲージよりも小さい第2のゲージを有する第2のメッシュ状スクリーンと、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項16に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
前記チャンバの前記垂直内壁及び前記底部壁の少なくとも一方における複数のダスト収集凹部、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記垂直内壁及び前記底部壁における複数のダスト収集凹部、
を更に含むことを特徴とする請求項65に記載の機器。 - 前記凹部は、単一部分凹部及び複数部分凹部を含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項65に記載の機器。 - 前記凹部は、単一部分凹部及び複数部分凹部を含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項66に記載の機器。 - 前記複数部分凹部は、互いに対して角度が付けられた2つの区域を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項67に記載の機器。 - 前記複数部分凹部は、互いに対して角度が付けられた2つの区域を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項68に記載の機器。 - 前記ダストトラップは、
主絶縁体の一部分と前記チャンバの内壁との間に位置決めされた圧力トラップ、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - ハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源であって、
ガス放電チャンバと、
交差流ファンを含むガス循環ファンと、
渦制御ポケット、
を含むファン遮断器と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記渦制御ポケットは、前記交差流ファンの出口に渦を移動させるように位置決めされて成形され、そのために該ファンを通る所定の流量に対して該ファンにわたってより大きな圧力を可能にする、
ことを更に含むことを特徴とする請求項72に記載の機器。 - ハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源であって、
導電材料で作られたロッドを含んで各端に位置決めプラグを有する接地ロッドを管の細長い開口部内に収容した予備電離管を含む予備電離機構と、
前記接地ロッドの残りの部分の有意な横断移動なしに該接地ロッドの縦方向熱膨張を吸収する柔軟部材と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記柔軟部材は、
前記接地ロッドの縦軸線に沿って該接地ロッド内に切れ込んだ複数の交互配置スリット、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項74に記載の機器。 - 前記柔軟部材は、
少なくとも1つの逆曲げ要素、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項74に記載の機器。 - バーストモードで作動するハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源であって、
予備電離機構と、
パルスのバーストにおける最終パルスの前の該パルスバースト中に予め選択された時間に予備電離を本質的にゼロに低減する自動予備電離遮断機構と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記自動予備電離遮断機構は、選択された時間に予備電離を中止するのに十分な電荷を蓄積するように時間調節された電荷蓄積装置を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項77に記載の機器。 - 前記自動予備電離遮断機構は、前記予備電離機構に接続した高電圧と共通電圧との間に接続したRCネットワークを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項77に記載の機器。 - 前記自動予備電離遮断機構は、前記予備電離機構に接続した高電圧と共通電圧との間に接続したRCネットワークを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項78に記載の機器。 - 前記自動予備電離遮断機構は、バーストにおける最初の数パルスの後に本質的にゼロになるように時間調節されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項77に記載の機器。 - 前記自動予備電離遮断機構は、バーストにおける最初の数パルスの後に本質的にゼロになるように時間調節されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項78に記載の機器。 - 前記自動予備電離遮断機構は、バーストにおける最初の数パルスの後に本質的にゼロになるように時間調節されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項79に記載の機器。 - 前記自動予備電離遮断機構は、バーストにおける最初の数パルスの後に本質的にゼロになるように時間調節されている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項80に記載の機器。 - ガス放電チャンバに一対のガス放電電極を含むハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源であって、
接地ロッド、
を含む予備電離機構と、
一対のガス放電電極間の放電の前の選択された時間に前記接地ロッドを接地に接続する切換機構と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記切換機構は、前記一対の電極への高電圧電源に接続した飽和可能磁気スイッチを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項85に記載の機器。 - 前記切換機構は、前記接地ロッドに接続した不活性誘導要素を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項85に記載の機器。 - 縦方向中心線軸及び水平断面軸を有するガス放電領域を形成するガス放電チャンバにおける一対のガス放電電極を含むハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源であって、
予備電離機構と、
縦方向中心線軸及び断面軸に関連した放電の選択された部分に予備電離放射線を集束させる集束要素と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記集束要素は、前記電極の前記縦方向中心線軸にほぼ整列した円柱軸と、前記予備電離機構の中心線軸にほぼ整列した第1の焦点と、前記放電の前記選択された部分における第2の焦点とを有する楕円円筒の断面を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項88に記載の機器。 - 前記集束要素を収容するために形成された主絶縁体、
を更に含むことを特徴とする請求項88に記載の機器。 - 前記集束要素を収容するために形成された主絶縁体、
を更に含むことを特徴とする請求項89に記載の機器。 - 前記主絶縁体は、前記集束要素を形成する研磨面を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項90に記載の機器。 - 前記主絶縁体は、前記集束要素を形成する研磨面を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項91に記載の機器。 - ハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源からのデブリ除去をもたらす方法であって、
垂直壁と隣接する底部壁とを含む内壁を含むガス放電チャンバを設ける段階と、
ガス循環ファンを用いて前記内部垂直壁と前記隣接する底部壁とに隣接するガス流路を作成する段階と、
低ガス流量の領域に位置決めされたチャンバ内ダストトラップを設ける段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記内壁に沿って前記チャンバ内ダストトラップを設ける段階、
を更に含むことを特徴とする請求項94に記載の方法。 - 縦方向放電軸を定める細長いガス放電領域を含むガス放電チャンバを含むハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源における音響共振緩和をもたらす方法であって、
不規則に成形された音響波分散表面仕上げを有する細長いバッフル板を設けて、縦方向ガス放電領域にほぼ平行で、かつ低減することが望ましい共振ピークの周波数に基づいて該縦方向ガス放電領域からある一定の距離に位置決めされたチャンバの一部分にこのバッフル板を取り付ける段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 縦方向放電軸を定める細長いガス放電領域を含むガス放電チャンバを含むハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源における音響共振緩和をもたらす方法であって、
時間と共に平均ガス放電パルス繰返し数を維持しながら、時間と共にガス放電パルス繰返し数をランダム化する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 縦方向放電軸を定める細長いガス放電領域を含むガス放電チャンバを含むハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源における音響共振緩和をもたらす方法であって、
時間と共に平均ガス放電パルス繰返し数を維持しながら、パルスのバースト内で時間と共にガス放電パルス繰返し数をランダム化する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - ハイパワー高繰返し数ガス放電レーザUV光源であって、
縦軸線を有する細長いバッフル板、
を含み、
前記バッフル板は、
ベースプレートと、
様々な個数のほぼピラミッド状の要素を含み、様々な個数のほぼピラミッド状の要素の群として配向され、かつ前記縦軸線に沿って及びそれに対して横断方向に配向された複数のピラミッド状構造体と、
を含む、
ことを特徴とする光源。 - ガス放電レーザ出力光パルスを生成する方法であって、
レーザ放電のタイミングの中に人工的なジッターを導入し、パルスのバースト内のパルスからパルスまでのレーザ出力光パルスのパルス間周期をランダムに又はバースト内で反復可能なパターンで変化させることによって音響共振を低減する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記変化は、1/共振ピーク幅の程度である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項100に記載の方法。 - ガス放電レーザ出力光パルス生成システムであって、
細長い放電領域を形成する一組の細長い電極対と、
前記ガス放電領域の上流の予備電離管と、
前記放電領域の上流の予備電離を実質的に防ぐために前記予備電離管を覆う予備電離マスクと、
を含むことを特徴とするシステム。
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