DE20218254U1 - Gasentladungslaser, insbesondere Excimerlaser und F¶2¶-Laser mit Staubentfernung - Google Patents

Gasentladungslaser, insbesondere Excimerlaser und F¶2¶-Laser mit Staubentfernung

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    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Description

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Claims (8)

1. Gasentladungslaser, insbesondere ein Excimerlaser oder ein F2-Laser, mit
  • - einer Laserkammer, und
  • - einem Gehäuse (1), welches innerhalb der Laserkammer angeordnet ist und Öffnungen zur Durchleitung von Lasergas aufweist, wobei in dem Gehäuse (1) mehrere Metallnetze (3) in Strömungsrichtung des Gases hintereinander angeordnet sind, die mit einer Hochspannungsquelle verbunden sind, so dass Staub beim Durchströmen durch die Metallnetze aus dem Lasergas entfernt wird.
2. Gasentladungslaser, insbesondere ein Excimerlaser oder ein F2-Laser mit
  • - einer Laserkammer, und
  • - einem Gehäuse (1), welches außerhalb der Laserkammer angeordnet und über Rohrleitungen mit der Laserkammer verbunden ist und in dem mehrere Metallnetze in Strömungsrichtung des Gases hintereinander angeordnet sind, die mit einer Hochspannungsquelle verbunden sind, so dass Staub beim Durchströmen durch die Metallnetze aus dem Lasergas entfernt wird.
3. Gasentladungslaser nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder drei oder vier Metallnetze in Strömungsrichtung hintereinander angeordnet sind.
4. Gasentladungslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Maschen zumindest einiger der Metallnetze einen Drahtabstand von 10 mm oder weniger aufweisen.
5. Gasentladungslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuse (1) ein Strömungskanal für das Lasergas ausgebildet ist und sich die Metallnetze (3) vollständig über den Strömungsquerschnitt des Lasergases erstrecken.
6. Gasentladungslaser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass am Gehäuse (1) oder in den Rohrleitungen eine Umwälzpumpe angeschlossen ist.
7. Gasentladungslaser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der Metallnetze sich der Strömungsquerschnitt für die Gasströmung des Lasergases vergrößert und so die Strömungsgeschwindigkeit beim Durchtritt des Lasergases durch die Metallnetze zumindest in einem Teilbereich des Gehäuses verringert ist.
8. Gasentladungslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Gehäuse (1) mit Metallnetzen (3) in Strömungsrichtung von Lasergas hintereinander angeordnet sind.
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WO2005104313A2 (en) 2004-03-31 2005-11-03 Cymer, Inc. Gas discharge laser chamber improvements
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