JP7065186B2 - レーザ放電チャンバにおけるダスト捕捉のための不織スクリーン - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2017年12月5日に出願された米国出願第62/594,768号の優先権を主張する。これは援用により全体が本願に含まれる。
ここで、ρは流体の密度であり(SI単位:kg/m3)、
uは物体に対する流体の速度であり(m/s)、
Lは固有線形寸法であり(m)、
μは流体の動的粘度であり(Pa・s又はN・s/m2又はkg/m・s)、
νは流体の動粘性率である(m2/s)。
ここで、wは沈降速度であり、
ρpは粒子密度であり、
ρfは流体密度であり、
gは重力による加速であり、
rは粒子の半径であり、
μは流体の動的粘度である。
1. ガス放電レーザの放電チャンバ内のガスから粒子物質を除去するためのシステムであって、
放電チャンバと流体連通しているフィルタであって、少なくとも1つの不織スクリーンを含むフィルタ、
を備えるシステム。
2. フィルタは放電チャンバ内に位置付けられている、条項1に記載のシステム。
3. 放電チャンバは下部を有し、フィルタは放電チャンバの下部に隣接して位置付けられている、条項2に記載のシステム。
4. フィルタは放電チャンバ外部に位置付けられ、システムはフィルタを放電チャンバの内部に接続する少なくとも1つのポートを更に備える、条項1に記載のシステム。
5. 少なくとも1つの不織スクリーンは複数の隆起特徴部を有し、隆起特徴部の寸法及び位置決めは、スクリーン上の隆起特徴部の周囲を通過するガスの一部の速度がガスに混入した粒子物質の沈降速度未満に低下するようなものである、条項1に記載のシステム。
6. 少なくとも1つの不織スクリーンは複数の細孔を有し、細孔の各々は複数の隆起特徴部の各1つに隣接している、条項5に記載のシステム。
7. ガスは少なくとも1つの不織スクリーンの表面上を第1の方向に流され、少なくとも1つの不織スクリーンは隆起特徴部が関連付けられた複数の細孔を有し、各細孔のための関連付けられた隆起特徴部は、ガスが第1の方向に流れている場合に細孔の上流にあるように位置決めされている、条項1に記載のシステム。
8. ガスは少なくとも1つの不織スクリーンの表面上を第1の方向に流され、少なくとも1つの不織スクリーンは実質的に矩形の隆起特徴部が関連付けられた複数の実質的に矩形の細孔を有し、各細孔のための関連付けられた隆起特徴部は、ガスが第1の方向に流れている場合に細孔の上流にあるように位置決めされている、条項1に記載のシステム。
9. 細孔は第1の方向で測定される長さが約1mmから約10mmの範囲内である、条項8に記載のシステム。
10. 細孔は第1の方向を横断する方向で測定される幅が約1mmから約10mmの範囲内である、条項8に記載のシステム。
11. ガスは少なくとも1つの不織スクリーンの表面上を第1の方向に流され、少なくとも1つの不織スクリーンは実質的に矩形の隆起特徴部が関連付けられた複数の実質的に矩形の細孔を有し、各細孔のための関連付けられた隆起特徴部は、ガスが第1の方向に流れている場合に細孔の下流にあるように位置決めされている、条項1に記載のシステム。
12. 不織スクリーンはフォトエッチング技法を用いて製造される、条項1に記載のシステム。
13. 不織スクリーンは金属スタンピング技法を用いて製造される、条項1に記載のシステム。
14. 不織スクリーンは化学エッチング技法を用いて製造される、条項1に記載のシステム。
15. 不織スクリーンはレーザ切断技法を用いて製造される、条項1に記載のシステム。
16. 不織スクリーンはエキスパンドメタル技法を用いて製造される、条項1に記載のシステム。
17. 不織スクリーンは堆積技法を用いて製造される、条項1に記載のシステム。
18. ガス放電レーザの放電チャンバ内のガスから粒子物質を除去する方法であって、
放電チャンバと流体連通しているフィルタであって、少なくとも1つの不織スクリーンを含むフィルタを配置するステップと、
フィルタ上にガスを流すステップと、
を含む方法。
19. 配置するステップはフィルタを放電チャンバ内に位置付けることを含む、条項18に記載の方法。
20. 放電チャンバは下部を有し、配置するステップはフィルタを放電チャンバの下部に隣接して位置付けることを含む、条項19に記載の方法。
21. 配置するステップはフィルタを放電チャンバ外部に位置付けることを含み、フィルタ上にガスを流すステップは、フィルタを放電チャンバの内部に接続する少なくとも1つのポートを介してガスを流すことを含む、条項18に記載の方法。
22. フォトエッチングを用いて細孔のアレイを生成することを含む、不織スクリーンを作製する方法。
23. 金属スタンピングを用いてスクリーン要素のアレイを生成することを含む、不織スクリーンを作製する方法であって、スクリーン要素の各々は、孔を画定する第1の構造と、孔に隣接した隆起特徴部を画定する第2の構造と、を備える、方法。
Claims (14)
- ガス放電レーザの放電チャンバ内のガスから粒子物質を除去するためのシステムであって、
前記放電チャンバと流体連通しているフィルタであって、少なくとも1つの不織スクリーンを含むフィルタ、
を備え、
前記少なくとも1つの不織スクリーンは、各々に隆起特徴部が関連付けられた複数の細孔を有し、各細孔のための前記関連付けられた隆起特徴部は、前記ガスが第1の方向に流される場合に前記細孔の上流にあるように位置決めされている、システム。 - 前記フィルタは前記放電チャンバ内に位置付けられている、請求項1に記載のシステム。
- 前記フィルタは前記放電チャンバの外部に位置付けられ、前記システムは前記フィルタを前記放電チャンバの内部に接続する少なくとも1つのポートを更に備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記隆起特徴部の寸法及び位置決めは、前記隆起特徴部の周囲の前記スクリーンの上を通過する前記ガスの一部の速度が前記ガスに混入した粒子物質の沈降速度未満に低下するようなものである、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の細孔の各々は前記複数の隆起特徴部の各1つに隣接している、請求項4に記載のシステム。
- 前記複数の細孔は実質的に矩形の形状を有し、各細孔のための前記関連付けられた隆起特徴部は実質的に矩形の形状を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記不織スクリーンはフォトエッチング技法を用いて製造される、請求項1に記載のシステム。
- 前記不織スクリーンは金属スタンピング技法を用いて製造される、請求項1に記載のシステム。
- 前記不織スクリーンは化学エッチング技法を用いて製造される、請求項1に記載のシステム。
- 前記不織スクリーンはエキスパンドメタル技法を用いて製造される、請求項1に記載のシステム。
- ガス放電レーザの放電チャンバ内のガスから粒子物質を除去する方法であって、
前記放電チャンバと流体連通しているフィルタであって、少なくとも1つの不織スクリーンを含むフィルタを配置するステップと、
前記フィルタの上に前記ガスを流すステップと、
を含み、
前記ガスは前記少なくとも1つの不織スクリーンの表面上を第1の方向に流され、前記少なくとも1つの不織スクリーンは隆起特徴部が関連付けられた複数の細孔を有し、各細孔のための前記関連付けられた隆起特徴部は、前記ガスが前記第1の方向に流れている場合に前記細孔の上流にあるように位置決めされている、方法。 - 前記配置するステップは前記フィルタを前記放電チャンバ内に位置付けることを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記配置するステップは前記フィルタを前記放電チャンバの外部に位置付けることを含み、前記フィルタの上に前記ガスを流すステップは、前記フィルタを前記放電チャンバの内部に接続する少なくとも1つのポートを介してガスを流すことを含む、請求項11に記載の方法。
- 金属スタンピングを用いてスクリーン要素のアレイを生成することを含む、不織スクリーンを作製する方法であって、前記スクリーン要素の各々は、孔を画定する第1の構造と、前記孔に隣接した隆起特徴部を画定する第2の構造と、を備え、
ガスは前記スクリーン要素の少なくとも1つの表面上を第1の方向に流され、前記少なくとも1つのスクリーン要素の前記孔は前記少なくとも1つのスクリーン要素の前記隆起特徴部と関連付けられ、前記関連付けられた隆起特徴部は、前記ガスが前記第1の方向に流れている場合に前記孔の上流にあるように位置決めされている、方法。
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