JP5122525B2 - 放電生成プラズマ放射源、リソグラフィ装置、及び放射を生成する方法 - Google Patents
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Claims (15)
- 放電生成プラズマ放射源であって、
レーザビームパルスを提供して前記放電生成プラズマ放射源のプラズマ内にピンチを誘発させるように構成されたレーザビームパルスジェネレータであって、所定放電エネルギに対する所定波長の放射の最大出力に対応する最適レーザビームパルスエネルギよりも大きいエネルギを有するレーザビームパルスを提供するように構成されたレーザビームパルスジェネレータを含む、
放電生成プラズマ放射源。 - 前記所定波長の放射は、EUV放射の範囲にある、請求項1に記載の放電生成プラズマ放射源。
- 前記所定波長の放射は、EUV放射の波長よりも短い波長を有する、請求項1に記載の放電生成プラズマ放射源。
- 前記放電生成プラズマ放射源は、前記最適レーザビームパルスエネルギに対する前記所定波長の放射の出力が、より大きいレーザビームパルスエネルギに対する前記所定波長の放射の出力よりも大きい場合、前記放電エネルギを前記所定放電エネルギより大きく増加させるように構成された、請求項1〜3のいずれか1項に記載の放電生成プラズマ放射源。
- 前記放電生成プラズマ放射源は、ひとつ以上の回転または静止電極を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の放電生成プラズマ放射源。
- 前記放電生成プラズマ放射源は、約2mm〜約4mmの範囲の距離で、互いに離隔された電極を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の放電生成プラズマ放射源。
- 前記レーザビームパルスジェネレータは、約2Jの放電エネルギに対して、約20mJより大きいエネルギを有するレーザビームパルスを提供するように構成された、請求項1〜6のいずれか1項に記載の放電生成プラズマ放射源。
- 前記レーザビームパルスジェネレータは、約4Jの放電エネルギに対して、約30mJより大きいエネルギを有するレーザビームパルスを提供するように構成された、請求項1〜7のいずれか1項に記載の放電生成プラズマ放射源。
- 請求項1〜8の放電生成放射源を備えた、リソグラフィ装置。
- 放射ビームを調整するように構成された照明システムであって、前記放射ビームを形成する放射は前記放電生成プラズマ放射源により提供される、照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構成されたサポートであって、前記パターニングデバイスは、前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付けされた放射ビームを形成するように構成された、サポートと、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記基板のターゲット部分に前記パターン付けされた放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
をさらに含む、請求項9に記載のリソグラフィ装置。 - 前記リソグラフィ装置は、前記放電生成プラズマ放射源によって生成された放射が入射するように構成されたコレクタを備える、請求項9または10に記載のリソグラフィ装置。
- 前記コレクタは、かすめ入射コレクタである、請求項11に記載のリソグラフィ装置。
- 放電生成プラズマ放射源を使用して放射を生成する方法であって、
レーザビームパルスを提供して前記放電生成プラズマ放射源のプラズマ内にピンチを誘発させる工程であって、前記放電生成プラズマ放射源は所定放電エネルギに対する所定波長の放射の最大出力を生成する最適レーザビームパルスエネルギを有する、工程を含み、
前記提供されたレーザビームパルスのエネルギは、前記最適レーザビームパルスエネルギよりも大きい、
方法。 - リソグラフィ装置であって、
放電生成プラズマ放射源であって、レーザビームパルスを提供して前記放電生成プラズマ放射源のプラズマ内にピンチを誘発させるように構成され、かつ所定放電エネルギに対する所定波長の放射の最大出力に対応する最適レーザビームパルスエネルギよりも大きいエネルギを有する前記レーザビームパルスを提供するように構成されたレーザビームパルスジェネレータを含む、放電生成プラズマ放射源と、
前記放電生成プラズマ放射源からの放射を放射ビームに調整するよう構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構成されたサポートであって、前記パターニングデバイスは、前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付けされた放射ビームを形成するように構成された、サポートと、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記基板のターゲット部分に前記パターン付けされた放射ビームを投影するように構成された投影システムと、
を含む、
リソグラフィ装置。 - 放電生成プラズマ放射源を使用して放射を生成する方法であって、
所定放電エネルギに対する所定波長の放射の最大出力を生成するための最適レーザビームパルスエネルギよりも大きなエネルギを有するレーザビームパルスにより、前記放電生成プラズマ放射源のプラズマ内にピンチを誘発させる工程を含む、
方法。
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