JP5121858B2 - 流体供給システム、リソグラフィ装置、及び流体流量を変動させる方法 - Google Patents
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Description
− 放射ビームB(例えばUV放射又はDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスMAを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板Wを正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ又は複数のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを含む。
Claims (9)
- 流体源を第1のコンポーネントに接続する第1の流体流導管によって画定された第1の流体経路を備えるリソグラフィ装置の流体供給システムであって、
第1のドレイン流体流経路を介して前記第1の流体流導管をドレインコンポーネントに接続する前記第1の流体流導管内の接合部と、
前記接合部と前記第1のコンポーネントとの間に配置された第1のコンポーネント弁と、
前記接合部と前記ドレインコンポーネントとの間に配置された第1のドレイン弁と、
前記接合部と前記第1のコンポーネント弁との間にある前記第1の流体流経路を前記第1のコンポーネント弁の下流にある前記第1の流体流経路と接続する第1の迂回ラインと、
前記第1のドレイン弁及び前記第1のコンポーネント弁の一方を開き、他方を閉じることによって、前記接合部における前記流体の圧力を実質的に一定に維持し、かつ前記第1のコンポーネントへ供給する流体流量を変動させる第1のコントローラと、を備える、流体供給システム。 - 前記接合部と前記第1のドレイン弁との間にある前記第1のドレイン流体流経路と前記第1のドレイン弁の下流にある前記第1のドレイン流体流経路とを接続する第1のドレイン迂回ラインをさらに備える、請求項1に記載の流体供給システム。
- さらなるコンポーネント弁を備えかつ前記流体源と前記第1のコンポーネントとの間にある、さらなる流体流経路、及び該さらなる流体流経路に対応し、さらなるドレイン弁を備えかつ前記流体源と前記ドレインの間にあるさらなるドレイン流体流経路をさらに備える、請求項1又は2に記載の流体供給システム。
- 前記第1のコントローラが、前記流体源の下流で流体に対する合計流れ抵抗を実質的に一定に維持しながら、前記第1の流体流経路及び前記第1のドレイン流体流経路を通る前記流体流量を変動させるように、前記コンポーネント弁のうち1つ又は複数及び前記対応するドレイン弁のうち1つ又は複数を調節することにより、前記流体流量を変動させる、請求項3に記載の流体供給システム。
- 前記流体源と第2のコンポーネントの間に第2の流体流経路をさらに備える、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の流体供給システム。
- 前記第2の流体流経路内の第2のコンポーネント弁、及び前記第2のコンポーネント弁の上流にある前記第2の流体流経路と前記第2のコンポーネント弁の下流にある前記第2の流体流経路を接続する第2の迂回ラインをさらに備える、請求項5に記載の流体供給システム。
- 前記ドレインコンポーネントが、流体を供給する必要があるコンポーネント、廃棄物を処分するためのドレイン、又は再循環ユニットのグループから選択されたものである、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の流体供給システム。
- 流体源を第1のコンポーネントに接続する第1の流体流導管によって画定された第1の流体経路を備える流体供給システムに接続されたリソグラフィ装置であって、前記システムが、
第1のドレイン流体流経路を介して前記第1の流体流導管をドレインコンポーネントに接続する前記第1の流体流導管内の接合部と、
前記接合部と前記第1のコンポーネントとの間に配置された第1のコンポーネント弁と、
前記接合部と前記ドレインコンポーネントとの間に配置された第1のドレイン弁と、
前記接合部と前記第1のコンポーネント弁との間にある前記第1の流体流経路を前記第1のコンポーネント弁の下流にある前記第1の流体流経路と接続する第1の迂回ラインと、
前記第1のドレイン弁及び前記第1のコンポーネント弁の一方を開き、他方を閉じることによって、前記接合部における前記流体の圧力を実質的に一定に維持し、かつ前記第1のコンポーネントへ供給する流体流量を変動させる第1のコントローラと、を備える、リソグラフィ装置。 - 流体源からリソグラフィ装置のコンポーネントへの流体流量を変化させる方法であって、
ドレイン流体流経路を介して流体流導管をドレインコンポーネントに接続する位置にある接合部と、前記コンポーネントとの間に配置された第1のコンポーネント弁により、前記流体流導管から前記コンポーネントへ供給される前記流体流量を変動させ、
前記接合部と前記ドレインコンポーネントの間に配置された第1のドレイン弁により、前記ドレイン流体流経路内の前記流体流量を変動させ、
前記第1のドレイン弁及び前記第1のコンポーネント弁の一方を開き、他方を閉じることによって、前記接合部にて前記流体の流れの圧力を実質的に一定に維持することを含み、
前記流体流導管は、前記接合部と前記第1のコンポーネント弁との間にある流体流経路を前記第1のコンポーネント弁の下流にある流体流経路と接続する第1の迂回ラインを更に備える、方法。
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