JP5117219B2 - 永久磁石の製造方法 - Google Patents
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Description
(比較例1)
2 真空排気手段
3 真空チャンバ
4 加熱手段
7 処理箱
71 箱部
72 蓋部
8 スペーサー
9 ガス導入管(ガス導入手段)
S 焼結磁石
M 永久磁石
v 金属蒸発材料
Claims (5)
- 処理室を画成する処理箱内に鉄−ホウ素−希土類系の焼結磁石と、Dy、Tbの少なくとも一方を含む金属蒸発材料とを配置した後、真空チャンバ内に収納し、
真空中にて処理箱を加熱して前記金属蒸発材料を蒸発させ、前記蒸発した金属原子を焼結磁石表面に付着させ、前記付着した金属原子を焼結磁石の結晶粒界及び/または結晶粒界相に拡散させる永久磁石の製造方法であって、
前記処理室内の昇温過程で、金属蒸発材料が蒸発しないように処理室内に不活性ガスを導入するものにおいて、
前記不活性ガスの導入を断続的に行い、不活性ガスの導入と真空引きとを交互に繰り返すことを特徴とする永久磁石の製造方法。 - 前記処理室内に鉄−ホウ素−希土類系の焼結磁石と金属蒸発材料とを配置した後、前記処理室内の加熱に先立って処理室内を不活性ガス雰囲気に置換することを特徴とする請求項1記載の永久磁石の製造方法。
- 前記焼結磁石と金属蒸発材料とを相互に接触しないように配置することを特徴とする請求項1または請求項2項に記載の永久磁石の製造方法。
- 前記金属蒸発材料が蒸発している間において前記真空チャンバ内に不活性ガスを導入し、前記不活性ガスの分圧を変化させて焼結磁石表面への蒸発した金属原子の供給量を調節し、前記付着した金属原子からなる薄膜が形成される前に焼結磁石の結晶粒界及び/または結晶粒界相に拡散させることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の永久磁石の製造方法。
- 前記金属原子を焼結磁石の結晶粒界及び/または結晶粒界相に拡散させた後、前記加熱温度より低い温度で前記焼結磁石に対し熱処理を施すことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の永久磁石の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008039301A JP5117219B2 (ja) | 2008-02-20 | 2008-02-20 | 永久磁石の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008039301A JP5117219B2 (ja) | 2008-02-20 | 2008-02-20 | 永久磁石の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009200180A JP2009200180A (ja) | 2009-09-03 |
JP5117219B2 true JP5117219B2 (ja) | 2013-01-16 |
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ID=41143390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008039301A Active JP5117219B2 (ja) | 2008-02-20 | 2008-02-20 | 永久磁石の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5117219B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102483980B (zh) * | 2010-03-04 | 2016-09-07 | Tdk株式会社 | 稀土烧结磁体和电动机 |
JP5088596B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-12-05 | 日立金属株式会社 | R−t−b系焼結磁石の製造方法 |
US20140329007A1 (en) * | 2012-03-30 | 2014-11-06 | Hitachi Metals, Ltd. | Process for producing sintered r-t-b magnet |
CN103071790B (zh) * | 2012-12-31 | 2014-12-17 | 宁波百琪达自动化设备有限公司 | 一种稀土永磁合金粉称粉倒粉装置 |
CN110106334B (zh) * | 2018-02-01 | 2021-06-22 | 福建省长汀金龙稀土有限公司 | 一种连续进行晶界扩散和热处理的装置以及方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2881371B2 (ja) * | 1993-09-20 | 1999-04-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置及び真空処理装置集合体のクリーニング方法 |
JP2002025842A (ja) * | 2000-05-02 | 2002-01-25 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 希土類焼結磁石の製造方法 |
KR101316803B1 (ko) * | 2005-03-18 | 2013-10-11 | 가부시키가이샤 알박 | 성막 방법, 성막 장치, 영구자석 및 영구자석의 제조 방법 |
CN103227022B (zh) * | 2006-03-03 | 2017-04-12 | 日立金属株式会社 | R‑Fe‑B系稀土类烧结磁铁 |
JP2007329250A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Ulvac Japan Ltd | 永久磁石及び永久磁石の製造方法 |
-
2008
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009200180A (ja) | 2009-09-03 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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