JP5117054B2 - 磁気ディスク用ガラス基板の内径測定装置、磁気ディスク用ガラス基板の内径測定方法、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスク製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明による円板状基板の内径測定装置の実施形態を示す図である。内径測定装置100は、中央に円孔310が形成された円板状基板であるガラス基板300をチャッキングするステージ130を含む。ステージ130は周囲を120°ずつ等分割した3つの位置において、それぞれアーム120A、120B、120Cで支持されている。これらのアーム120A、120B、120Cは回転ロッド110に接続されていて、回転ロッドがモータ(図示は省略)によって回転することにより、外径が保持されたガラス基板300を回転させることが可能である。
ここで内径・真円度・同芯度の計算方法について説明する。内径(ID)は、重心620を通る直径の平均値としてよい。なお、IDの最大値および最小値の差に、一定の閾値を設けておき、この閾値を超える内周は異常形状として判定してよい。
真円度は、IDの最大値と最小値との差である。
同芯度は、回転中心610から重心620までの距離である。回転中心610は、外周を真円と仮定した場合の、外周の中心である。IDや内周の真円度を求める場合と異なり、内外周の同芯度を求める場合には、基準となる外周の中心が必要であるため、上記のように、外周を真円と仮定してその中心を回転中心としている。
本実施例においては、以下の工程を経て、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクを製造した。
まず、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成型し、アモルファスの板状ガラスを得た。なお、アルミノシリケートガラスとしては、化学強化用のガラスを使用した。ダイレクトプレス以外に、フュージョン法、ダウンドロー法、またはフロート法で形成したシートガラスから研削砥石で切り出して円盤状の磁気ディスク用ガラス基板を得てもよい。なお、アルミノシリケートガラスとしては、SiO2:58〜75重量%、Al2O3:5〜23重量%、Li2O:3〜10重量%、Na2O:4〜13重量%を主成分として含有する化学強化ガラスを使用した。また、上記ガラスとしてアルミノシリケートガラス以外にもソーダライムガラス等を用いることもできる。
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス母材を切断し、このガラス母材から、円盤状のガラス基板を切り出した。次に、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に円孔を形成し、ドーナツ状のガラス基板とした(コアリング)。そして内周端面および外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施した(フォーミング)。
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行った。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。
次に、ガラス基板の端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行った。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いた。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面は、パーティクル等の発塵を防止できる鏡面状態に加工された。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施した。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とするものである。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行った。研磨液としては、酸化セリウム砥粒を用いた。
次に、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施した。化学強化処理を行うことにより、磁気ディスク基板の表層部に高い圧縮応力を生じさせることができ、耐衝撃性を向上させることができる。
次に、化学強化処理が施されたガラス基板の精密洗浄を行った。これはヘッドクラッシュやサーマルアスペリティ障害の原因となる研磨剤残渣や外来の鉄系コンタミなどを除去し、表面が平滑で清浄なガラス基板を得るためのものである。精密洗浄工程としては、アルカリ性水溶液による洗浄の後に、水リンス洗浄、IPA洗浄工程を行った。
上記(7)精密洗浄工程までで完成されたガラス基板に対して、本発明の実施形態である内径測定装置100を適用し、内径・真円度・同芯度を計算した。本発明の実施形態のような内径(最大値・最小値・平均値)・真円度・同芯度の算出は、ソフトウェアの処理能力などにもよるが、10秒/枚以下での処理が可能であった。
上述した工程を経て得られたガラス基板の両面に、ガラス基板の表面にCr合金からなる付着層、CoTaZr基合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt基合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を順次成膜することにより、垂直磁気記録ディスクを製造した。なお、本構成は垂直磁気ディスクの構成の一例であるが、面内磁気ディスクとして磁性層等を構成してもよい。
130 ステージ
140 光源
150 レンズ
160 受光部
170 パソコン
Claims (7)
- 中央に円孔が形成されかつ面取り加工が施された円板状の磁気ディスク用ガラス基板の外周の中心を回転中心として、該ガラス基板を回転させる回転手段と、
前記ガラス基板の円孔の内周を含む領域に照射された光の反射光を受光する受光手段と、
前記受光手段で取得された光量分布に基づき、前記回転手段の回転中心から内周上の点までの距離を測定する距離測定手段と、
前記内周上の複数の点までの距離に基づいて該内周の輪郭を求め、該輪郭に基づいて、該内周の中心を求めるとともに、前記ガラス基板の内径を算出する算出手段とを含み、
前記算出手段は、前記内周の中心から前記内周上の複数の点までの距離を比較することにより真円度を算出可能であり、かつ、前記外周の中心と前記内周の中心とを比較することにより同芯度を算出可能であることを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の内径測定装置。 - 前記距離測定手段は、前記受光手段からスリット状の光量データを得て該光量データの変化に基づき前記円孔の内周の境界を判定することで、前記回転中心から内周上の点までの距離を測定することを特徴とする、請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の内径測定装置。
- 前記回転手段は、前記ガラス基板が載置され回転可能なステージと、該ステージの回転中心が前記ガラス基板の外周の中心となるように該ガラス基板の外周を複数の方向から等しく押圧して固定する複数のチャッキングボルトとを有することを特徴とする、請求項1または2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の内径測定装置。
- 前記内周を含む領域を拡大して該領域の解像度を向上させ、前記光を前記受光手段に受光させるレンズをさらに含むことを特徴とする、請求項1から3までのいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の内径測定装置。
- 回転可能なステージ上に、中央に円孔が形成されかつ面取り加工が施された円板状の磁気ディスク用ガラス基板の外周の中心が回転中心となるように該ガラス基板を固定する基板固定ステップと、
前記ガラス基板の内周を含む領域に照射された光の反射光を受光し光量分布を取得する光量分布取得ステップと、
前記光量分布に基づき、前記回転中心から前記内周上の点までの距離を測定する距離測定ステップと、
前記ガラス基板を回転させながら前記光量分布取得ステップ、距離測定ステップを繰り返し、前記回転中心から前記内周上の複数の点までの距離を得て、該内周の輪郭を導出する輪郭導出ステップと、
前記輪郭に基づいて前記内周の中心を求め、前記ガラス基板の内径を算出する内径算出ステップとを含み、
前記内径算出ステップでは、さらに、前記内周の中心から前記内周上の複数の点までの距離を比較することにより真円度を算出すると共に、前記外周の中心と前記内周の中心とを比較することにより同芯度を算出することを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の内径測定方法。 - 請求項5に記載の磁気ディスク用ガラス基板の内径測定方法を用いてガラス基板の内径を算出する工程と、
前記算出した内径の値に応じて良品または不良品のいずれかの判断を行う工程とを含むことを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 請求項6に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を用いて製造したガラス基板に少なくとも磁性層を形成することを特徴とする、磁気ディスク製造方法。
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