JP5111474B2

JP5111474B2 - 光導波路基材の製造方法およびそれによって得られた光導波路基材を用いた光導波路の製造方法

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Publication number: JP5111474B2
Application number: JP2009232218A
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Inventors: 龍介内藤
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Description

本発明は、光通信，光情報処理，その他一般光学で広く用いられる光導波路の基材の製造方法、およびその光導波路の基材を用いた光導波路の製造方法に関するものである。

複数の光導波路が形成された光導波路基材（光導波路フィルム等）Ｂ₁は、図９に示すように、例えば、シート材１０の表面（図９では下面）にアンダークラッド層１を形成し、そのアンダークラッド層１の表面の所定部分に、光の通路であるコア２を所定パターンに形成した後、２本１組のコア２を覆うよう、オーバークラッド層５３を形成して構成されている。この１組のコア２を覆うオーバークラッド層５３に対応する部分で、１個の光導波路予定部が形成され、図の表面側から裏面側に向かって帯状に延びている。そして、この光導波路予定部は、図９の矢印Ｅのところで切断され３個の製品（光導波路）とされる。

上記光導波路基材の製造方法として、本発明者は、つぎのような方法を試みた。すなわち、まず、図１０（ａ）に示すように、シート材１０の表面にアンダークラッド層１が形成され、そのアンダークラッド層１の表面の所定部分にコア２が所定パターンに形成された樹脂シートＡを準備する。一方、図１０（ｂ）に示すように、オーバークラッド層形成用の溝部２１がその型面に形成された成形型２０を準備し、その成形型２０の溝部２１に、オーバークラッド層形成用の硬化性液状樹脂３Ａを充填する。

ついで、図１１に示すように、上記樹脂シートＡを押圧装置６０の下部の鏡面板６１に仮固着する。この鏡面板６１は、弾性変形可能な材料からなり、下方に向かって反る側面視略半円弧状に形成されている（例えば、特許文献１参照）。そして、その鏡面板６１の下面に、上記樹脂シートＡの裏面（コアが形成されていない側の面）を、仮固定材（図示せず）を用いて仮固着する。つぎに、図示のように、上記樹脂シートＡの表面（コアが形成されている側の面）を、上記成形型２０の型面に対峙させる。そして、その状態で、上記押圧装置６０を下降させ、上記樹脂シートＡを、中央部７０から外側に徐々に、上記成形型２０の型面に押圧する。このとき、上記略半円弧状の鏡面板６１は、その押圧力によって、徐々に平面形状に弾性変形する。これにより、上記樹脂シートＡと上記成形型２０との間の気泡を、矢印Ｆのように、中央部７０から外側に押し出しながら、上記樹脂シートＡのコア２を上記硬化性液状樹脂３Ａ内に埋入させる。そして、上記硬化性液状樹脂３Ａを露光，加熱等により硬化させてオーバークラッド層５３に形成する。

その後、脱型し、図１２に示すように、上記シート材１０，アンダークラッド層１，コア２およびオーバークラッド層５３を備えた光導波路基材Ｂ₁を得る。そして、その得られた光導波路基材Ｂ₁を、先に述べたように、上記オーバークラッド層５３の形状に沿って切断し、シート材１０の表面に、上記アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層５３とからなる光導波路を３個得る。

特開２００５−２８８４８６号公報

ところで、オーバークラッド層５３が一直線状に延びる帯状ではなく、Ｌ字形状等の、一方向に開放部を有する屈曲線状のときは、図１３に示すように、それに対応する上記成形型２０の溝部２１が、Ｌ字形状等の、一方向に開放部６を有する屈曲溝部２１になる。そして、上記のように３個の光導波路を得る場合には、成形型２０には、そのＬ字形状の屈曲溝部２１が３個形成されることになる。３個の屈曲溝部２１は、その屈曲溝部２１の形成効率や脱型作業性等の観点から、図示のように、Ｌ字形状の角部（屈曲部分）を右に向け、Ｌ字形状の両辺を左に向け、かつ、全体を傾けた状態で、並列に設けられる。このような屈曲溝部２１を有する成形型２０を用い、上記従来技術で説明したように、略半円弧状の鏡面板を作動させ、光導波路を製造すると、光導波路のオーバークラッド層５３（図１２参照）中に気泡が残留している不良品がかなり生じた。

そこで、本発明者は、気泡が残留する原因を突き止めるため、一連の実験をした。その結果、その原因は、略半円弧状の鏡面板を利用した動作によることを突き止めた。すなわち、気泡の残留は、屈曲溝部２１のＬ字形状の角部に対応する光導波路のオーバークラッド層５３の部分に生じていたため、本発明者は、屈曲溝部２１のＬ字形状の角部に気泡が残留するのではないかと考え、これについて詳しく調べた。その結果はつぎのようであった。すなわち、上記樹脂シートＡと上記成形型２０との間の気泡（図中「○」で示す）８は、矢印Ｆのように、中央部７０から左右両端側に押し出される。このとき、図１３に示すように、成形型２０の左側では、屈曲溝部２１のＬ字形状の開放方向が上記成形型２０の中央部７０から端部方向に向いているため、Ｌ字形状の屈曲溝部２１では、気泡８はＬ字形状の角部からＬ字形状の両辺に向かって２方向に分かれて押され、それぞれの両辺から矢印Ｇ₁のように比較的スムーズに排出される。ところが、成形型２０の右側では、屈曲溝部２１のＬ字形状の開放方向が上記成形型２０の中央部７０から端部方向とは反対の方向に向いているため、Ｌ字形状の屈曲溝部２１では、気泡８はＬ字形状の両辺からＬ字形状の角部に集まるように押され、矢印Ｇ₂のようにＬ字形状の角部で溜まり、気泡８の逃げ場がないことから、その気泡８が光導波路中に残留することがわかった。このようにして、オーバークラッド層５３に残留気泡８のある光導波路が製造される。そのような光導波路は、光伝送効率が低くなる。

本発明は、このような一連の実験の結果から導き出されたもので、アンダークラッド層の表面にコアを形成した樹脂シートを、オーバークラッド層形成用の屈曲溝部が形成された成形型の型面に重ねる際に、上記屈曲溝部の屈曲部分に気泡が残留しないようにすることができる光導波路基材の製造方法およびそれによって得られた光導波路基材を用いた光導波路の製造方法の提供をその目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明は、アンダークラッド層とその表面の所定部分に形成されたコアとを備えた樹脂シートを準備する工程と、一方向に開放部を有する屈曲線状のオーバークラッド層を形成するための同形状の屈曲溝部が型面に形成された成形型を準備する工程と、上記成形型の屈曲溝部に、上記オーバークラッド層形成用の硬化性液状樹脂を充填する工程と、その充填後上記樹脂シートを成形型に重ねて上記コアを上記屈曲溝部内に充填された硬化性液状樹脂内に埋入する工程と、上記硬化性液状樹脂を硬化させて上記コアを覆った状態で上記樹脂シートの表面にオーバークラッド層を形成した後脱型する工程とを備えた光導波路基材の製造方法であって、上記樹脂シートを上記成形型に重ねることを、上記屈曲溝部の開放部とは反対側になる成形型の端部側から開放部側に向かって上記樹脂シートを徐々に重ね、上記樹脂シートと上記成形型との間の気泡を押し出すことにより行う光導波路基材の製造方法を第１の要旨とする。

また、本発明は、上記光導波路基材の製造方法によって得られた、アンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とを備えた光導波路基材を、オーバークラッド層の形状に沿って切断し、アンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とからなる光導波路を得る光導波路の製造方法を第２の要旨とする。

本発明者は、前記課題を解決すべく、先に述べたように一連の実験を重ね、上記樹脂シートを成形型の型面に重ねる場合の残留気泡の解消方法を求めた。その結果、オーバークラッド層を形成するための屈曲溝部の開放部とは反対方向になる成形型の端部側から上記開放部側に向かって、上記樹脂シートを徐々に重ねるようにすると、樹脂シートと成形型との間の気泡は、屈曲溝部の角部から屈曲形状の両辺に分かれて押され、それぞれの両辺からスムーズに排出され、上記屈曲溝部の角部に気泡が溜まらなくなることを見出し、本発明に到達した。

本発明の光導波路基材の製造方法は、アンダークラッド層の表面にコアを形成した樹脂シートを、オーバークラッド層形成用の屈曲溝部が形成された成形型の型面に重ねる際に、上記屈曲溝部の開放部とは反対方向になる成形型の端部側から上記開放部側に向かって、上記樹脂シートを徐々に重ねるようにしている。このため、上記オーバークラッド層形成用の屈曲溝部の角部で気泡の残留を解消することができる。

特に、上記成形型に、その一端側から他端側にかけて、複数の屈曲溝部がその開放部側を成形型の他端側に向けて並設され、上記樹脂シートを上記成形型に徐々に重ねることを、上記成形型の一端側から他端側に向かって行う場合には、複数の光導波路予定部が形成された光導波路基材を残留気泡のない状態で得ることができるため、生産性を向上させることができる。

また、上記樹脂シートを上記成形型に徐々に重ねる工程を、複数の吸着手段が並設された吸着装置を用い、上記樹脂シートの、コアと反対側の面を、上記吸着装置の吸着手段に吸着させ、上記屈曲溝部の開放部とは反対側になる成形型の端部側に対応する樹脂シートの一端部から、上記吸着手段による吸着を段階的に解除して行う場合には、上記吸着装置を用いることにより、光導波路の生産性をより向上させることができる。

しかも、オーバークラッド層形成用の屈曲溝部の形状である、一方向に開放部を形成する連続線状が、Ｌ字形状，Ｕ字形状またはコ字形状である場合には、より効率よく気泡を押し出すことができる。

そして、本発明の光導波路の製造方法は、上記光導波路基材の製造方法によって得られた光導波路基材から、オーバークラッド層の形状に沿う部分を切断することにより、光導波路を得るため、オーバークラッド層に気泡が残留していない光導波路を効率よく得ることができる。

本発明の光導波路基材の製造方法の一実施の形態によって得られた光導波路基材を模式的に示す斜視図である。上記光導波路基材の製造方法に用いる、オーバークラッド層形成用の成形型を模式的に示す斜視図である。（ａ）〜（ｃ）は、上記光導波路基材の製造方法の一部工程を模式的に示す説明図である。上記光導波路基材の製造過程における樹脂シートと成形型との間の気泡の移動を模式的に示す説明図である。上記光導波路基材のオーバークラッド層の脱型を模式的に示す説明図である。本発明の光導波路の製造方法の一実施の形態によって得られた光導波路を模式的に示す斜視図である。（ａ）〜（ｂ）は、上記光導波路基材の製造方法における樹脂シートの作製方法を模式的に示す説明図である。上記光導波路を用いたタッチパネル用光導波路を模式的に示す説明図である。従来の光導波路基材を模式的に示す断面図である。（ａ）は、従来の光導波路基材の製造方法における樹脂シートを模式的に示す断面図であり、（ｂ）は、オーバークラッド層形成用の成形型を模式的に示す断面図である。従来の光導波路基材の製造方法を模式的に示す説明図である。従来の光導波路基材の製造方法によって得られた光導波路基材を模式的に示す断面図である。従来の光導波路基材の製造過程における樹脂シートと成形型との間の気泡の移動を模式的に示す説明図である。

つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。

この実施の形態の光導波路基材の製造方法は、図１に示す光導波路基材Ｂの製造方法である。この光導波路基材Ｂは、同図に示すように、シート材１０の表面に、アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層３とからなるＬ字形状の光導波路予定部Ｃ₀が、Ｌ字形状の角部を右に向け、Ｌ字形状の両辺を左に向け、かつ、全体を傾けた状態で、複数（図１では３個）並列に形成されている。

この光導波路基材Ｂの製造方法について説明すると、まず、図２に示すように、上記Ｌ字形状のオーバークラッド層３に対応するＬ字形状の屈曲溝部２１を、型面に３個もつ成形型２０を準備する。この成形型２０では、図示のように、３個の屈曲溝部２１が、成形型２０の一端側（図２では右側）から他端側（図２では左側）にかけて、その開放部６側を成形型２０の他端側に向けて並設されている。そして、上記成形型２０のＬ字形状の屈曲溝部２１に、それぞれ上記オーバークラッド層形成用の硬化性液状樹脂３Ａ〔図３（ａ）参照〕を充填する。

一方、図３（ａ）に示すように、複数の吸引吸着孔（吸着手段）３１が並設された吸着装置３０に、シート材１０の表面にアンダークラッド層１とコア２とが形成された樹脂シートＡを吸着させる。この吸着は、図示のように、上記シート材１０の裏面（コア２と反対側の面）を吸着させて行う。つぎに、図３（ｂ）に示すように、上記成形型２０の一端側〔図３（ｂ）では右側〕から他端側〔図３（ｂ）では左側〕に向かって、吸引吸着孔３１による吸着を段階的に解除する。これにより、上記成形型２０の型面の一端側〔図３（ｂ）では右側〕から上記開放部６（図２参照）側〔図３（ｂ）では左側〕に向かって上記樹脂シートＡをその自重で徐々に重ねるとともに、上記コア２を上記屈曲溝部２１内の硬化性液状樹脂３Ａに埋入する。

このように重ねることにより、図４に示すように、樹脂シートＡと成形型２０との間の気泡（図中「○」で示す）８を一端側から他端側に押し出す。このとき、上記Ｌ字形状の屈曲溝部２１では、気泡８がＬ字形状の角部から両辺に２方向に分けて押し出され、Ｌ字形状の屈曲部分（角部）に気泡８が残留しないようになる。また、屈曲溝部２１に、その一端側から気泡８が入り込んでも、その気泡８は、上記と同様にして、その屈曲溝部２１から押し出される。図４中の矢印は気泡の移動方向および移動量を示す。このような重ね方を採用することが本発明の大きな特徴である。

このようにして、図３（ｃ）に示すように、上記樹脂シートＡの全体を上記成形型２０の型面に重ねる。その後、上記硬化性液状樹脂３Ａを硬化させ、上記コア２を覆うように上記樹脂シートＡの表面にオーバークラッド層３を形成する。ついで、図５に示すように、脱型し、上記光導波路基材Ｂを得る。

その後、上記光導波路基材Ｂ（図１参照）から、Ｌ字形状の光導波路予定部Ｃ₀を切断することにより、図６に示すように、シート材１０の表面に形成された、アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層３とからなる３個のＬ字形状の光導波路Ｃを得る。

つぎに、上記各工程について、より詳しく説明する。

まず、上記光導波路基材Ｂ（図１参照）の製造に用いる、上記シート材１０の表面にアンダークラッド層１とコア２とが形成された樹脂シートＡ〔図７（ｂ）参照〕の作製方法について説明する。この樹脂シートＡの作製のために、まず、アンダークラッド層１を形成する際に用いる平板状のシート材１０を準備する。このシート材１０としては、可撓性を有するフィルム状のものが用いられる。その形成材料としては、例えば、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ），ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂が好適に用いられる。シート材１０の厚みは、例えば、５０〜３００μｍの範囲内に設定される。

そして、図７（ａ）に示すように、上記シート材１０の表面に、アンダークラッド層１を形成する。このアンダークラッド層１の形成材料としては、熱硬化性樹脂または感光性樹脂があげられる。上記熱硬化性樹脂を用いる場合は、その熱硬化性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布した後、それを加熱することにより、アンダークラッド層１に形成する。一方、上記感光性樹脂を用いる場合は、その感光性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布した後、それを紫外線等の照射線で露光することにより、アンダークラッド層１に形成する。また、アンダークラッド層１の厚みは、好ましくは５〜５０μｍの範囲内に設定される。

つづいて、図７（ｂ）に示すように、上記アンダークラッド層１の表面の、光導波路予定部Ｃ₀（図１参照）となる、仮想的にＬ字形状に区画された領域（二点鎖線で囲まれた領域）７ごとに、所定パターンのコア２を形成する。これにより、上記シート材１０の表面にアンダークラッド層１およびコア２が形成された樹脂シートＡを得る。上記コア２の形成方法としては、例えば、反応性イオンエッチング法，転写法，露光・現像法，フォトブリーチ法等があげられる。上記コア２の形成材料としては、好ましくは、パターニング性に優れた感光性樹脂が用いられる。その感光性樹脂としては、例えば、アクリル系紫外線硬化樹脂，エポキシ系紫外線硬化樹脂，シロキサン系紫外線硬化樹脂，ノルボルネン系紫外線硬化樹脂，ポリイミド系紫外線硬化樹脂等があげられる。また、コア２の断面形状は、例えば、パターニング性に優れた台形または長方形である。コア２の幅は、好ましくは１０〜５００μｍの範囲内に設定される。コア２の厚み（高さ）は、好ましくは３０〜１００μｍの範囲内に設定される。そして、上記樹脂シートＡの厚み（コア２が形成されている部分の厚み）は、好ましくは５０〜３００μｍの範囲内に設定される。

なお、上記コア２の形成材料としては、上記アンダークラッド層１および下記オーバークラッド層３（図１参照）の形成材料よりも屈折率が高く、伝播する光の波長において透明性が高い材料が用いられる。上記屈折率の調整は、上記アンダークラッド層１，コア２，オーバークラッド層３の各形成材料である樹脂に導入する有機基の種類および含有量の少なくとも一方（種類および／または含有量）を変化させることにより、適宜、増加ないし減少させることができる。例えば、環状芳香族性の基（フェニル基等）を樹脂分子中に導入するか、あるいはその芳香族性基の樹脂分子中の含有量を増大させることにより、屈折率を増大させることができる。他方、直鎖または環状脂肪族性の基（メチル基，ノルボルネン基等）を樹脂分子中に導入するか、あるいはその脂肪族性基の樹脂分子中の含有量を増大させることにより、屈折率を減少させることができる。

つぎに、オーバークラッド層３〔図３（ｃ）参照〕の形成に用いる成形型２０（図２参照）について説明する。この成形型２０の型面には、先に述べたように、オーバークラッド層形成用のＬ字形状の屈曲溝部２１が複数〔図２では３個〕、そのＬ字形状を傾けた状態で、図２に示すように、並列に設けられている。図２では、屈曲溝部２１形状のＬ字形状における開放部６の開放方向が左方向に向けられている。また、上記屈曲溝部２１の形状および大きさは、形成するオーバークラッド層３（図１参照）の形状および大きさに対応して設定される。さらに、上記成形型２０の形成材料としては、例えば、石英，アルミニウム，ニッケル合成金属，鉄合成金属等があげられる。

つぎに、上記成形型２０のＬ字形状の屈曲溝部２１に充填される、オーバークラッド層形成用の硬化性液状樹脂３Ａ〔図３（ａ）参照〕について説明する。この硬化性液状樹脂３Ａとは、室温（２５℃）では流動するが、熱または活性エネルギー線（紫外線等）の照射により硬化し、難溶難融の安定した状態に変化する樹脂をいう。そのような硬化性液状樹脂３Ａとしては、例えば、上記アンダークラッド層１と同様の熱硬化性樹脂または感光性樹脂が用いられ、好ましくは、感光性樹脂である。その感光性樹脂は、通常、光化学的作用により重合し得る光重合性プレポリマーを含み、それ以外に反応希釈剤，光重合開始剤等を含む。また、上記硬化性液状樹脂３Ａを成形型２０のＬ字形状の屈曲溝部２１に充填する方法としては、例えば、上記硬化性液状樹脂３Ａを成形型２０の型面に滴下する方法，塗布する方法等が用いられる。

つぎに、前記樹脂シートＡを吸着する吸着装置３０〔図３（ａ）参照〕について説明する。この吸着装置３０には、先に述べたように、複数の吸引吸着孔（吸着手段）３１が並設されている。上記吸引吸着孔３１は、例えば、電動バキュームポンプ等の負圧源（図示せず）に接続され、上記吸引吸着孔３１に負圧力を加えることにより、上記樹脂シートＡの吸着が可能となる。そして、上記樹脂シートＡが吸着された吸着装置３０は、上記成形型２０の上方に配置され、上記樹脂シートＡの表面（コア２が形成されている側の面）を上記成形型２０の型面に対峙させる。つづいて、図３（ｂ）〜（ｃ）に示すように、上記吸着を解除して、上記樹脂シートＡを上記成形型２０の型面の一端側から他端側に徐々に、自重により重ねる。その後、必要に応じて、上記樹脂シートＡを上記成形型２０の型面に押圧する。

つぎに、オーバークラッド層３〔図１および図３（ｃ）参照〕の形成方法について説明する。すなわち、図３（ｃ）に示すように、上記樹脂シートＡの全体を上記成形型２０の型面に重ねた後、上記成形型２０のＬ字形状の屈曲溝部２１に充填したオーバークラッド層形成用の硬化性液状樹脂３Ａが熱硬化性樹脂である場合は、それを加熱することにより、オーバークラッド層３に形成する。一方、上記硬化性液状樹脂３Ａが感光性樹脂である場合は、それを紫外線等の照射線で露光することにより、オーバークラッド層３に形成する。上記露光は、通常、上記樹脂シートＡを透して行われるが、上記成形型２０として石英製等の透光性を有するものを用いた場合は、上記成形型２０を透して露光してもよいし、上記樹脂シートＡと成形型２０の両方を透して露光してもよい。このようにして、上記コア２を覆うように上記樹脂シートＡの表面に、Ｌ字形状のオーバークラッド層３（図１参照）を形成する。オーバークラッド層３の厚み（コア２の頂面からの厚み）は、好ましくは２５〜１５００μｍの範囲内に設定される。

つぎに、オーバークラッド層３の脱型について説明する。上記脱型は、図５に示すように、上記硬化性液状樹脂３Ａ〔図３（ｃ）参照〕がオーバークラッド層３の形状を保ち、かつ、上記樹脂シートＡに固着した状態で行われる。その際の上記硬化性液状樹脂３Ａは、完全硬化状態であってもよいし、半硬化状態であってもよい。上記硬化性液状樹脂３Ａが半硬化状態である場合は、脱型後、さらに硬化処理（加熱，露光等）が行われる。

上記脱型により得られた光導波路基材Ｂは、図１に示すように、シート材１０の表面に、アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層３とからなるＬ字形状の光導波路予定部Ｃ₀が複数（図１では３個）並列に形成されたものとなっている。このオーバークラッド層３には、気泡８〔図３（ａ）参照〕が残留していない。

そして、上記光導波路基材Ｂ（図１参照）から、オーバークラッド層３のＬ字形状に沿って切断することにより、図６に示すように、シート材１０の表面に形成された、アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層３とからなるＬ字形状の光導波路Ｃを得る。上記切断は、カッター，レーザ，打ち抜き等により行われる。また、上記光導波路Ｃは、上記シート材１０を付けた状態で使用してもよいし、上記シート材１０をアンダークラッド層１から剥離して使用してもよい。

このようにして得られたＬ字形状の光導波路Ｃは、例えば、タッチパネル用光導波路として使用することができる。すなわち、図８に示すように、２つのＬ字形状の光導波路Ｃを準備し、それらを、タッチパネルの四角形のディスプレイＤの画面を囲むようにして、その画面周縁部の四角形に沿って設置する。この場合、Ｌ字形状の光導波路Ｃとして、多くのコア２が、上記Ｌ字形状の一端縁から、そのＬ字形状の内側〔ディスプレイの画面側〕端縁部に、等間隔に並列状態で延びたパターンに形成されたものを用いる。そして、一方のＬ字形状の光導波路Ｃの一端縁に、発光素子１６を接続し、他方のＬ字形状の光導波路Ｃの一端縁に、受光素子１７を接続する。これにより、ディスプレイＤの画面上において、発光素子１６が接続された光導波路Ｃから、受光素子１７が接続された光導波路Ｃに、光Ｈを格子状に走らせた状態にすることができる。そして、その状態で指でディスプレイＤの画面に触れると、その指が光Ｈの一部を遮断するため、その遮断された部分の光Ｈを、受光素子１７で感知することにより、上記指が触れた部分の位置を検知することができる。図８では、コア２を鎖線で示しており、鎖線の太さがコア２の太さを示しているとともに、コア２の数を略して図示している。また、図８では、理解し易くするため、多数の光のうちの一部の光Ｈのみを示している。

なお、前記実施の形態では、オーバークラッド層３の形状をＬ字形状としたが、それ以外の、例えば、Ｖ字形状，Ｕ字形状，コ字形状等の、一方向に開放部を形成する連続線状でも、同様の作用・効果を奏する。

また、上記実施の形態では、オーバークラッド層形成用の成形型２０に重ねる樹脂シートＡとして、シート材１０とアンダークラッド層１とコア２とからなるものを用いたが、アンダークラッド層１を樹脂フィルムで作製し、その樹脂フィルムからなるアンダークラッド層１の表面にコア２を形成した、アンダークラッド層１とコア２とからなる樹脂シートを用いてもよい。

さらに、上記実施の形態では、オーバークラッド層形成用の成形型２０の一端側から樹脂シートＡを徐々に重ねる際に、樹脂シートＡを吸着させる吸着装置３０を用いたが、その吸着装置３０を用いることなく、手動で重ねてもよい。

さらにまた、上記実施の形態では、光導波路基材Ｂを切断してＬ字形状の光導波路Ｃを得る際に、シート材１０を付けた状態で切断したが、そのシート材１０をアンダークラッド層１から剥離して光導波路Ｃを使用する場合は、上記シート材１０を剥離した後、上記切断を行ってもよい。

しかも、上記実施の形態では、オーバークラッド層形成用の成形型２０におけるオーバークラッド層形成用の屈曲溝部２１を複数としたが、１個であってもよい。

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。

〔樹脂シートの作製〕
厚み１８８μｍのポリエチレンナフタレート製フィルム（シート材）の表面に、脂環骨格を有するエポキシ系紫外線硬化性樹脂（アデカ社製、ＥＰ４０８０Ｅ）を主成分とする硬化性液状樹脂を塗布し、感光性樹脂層を形成した。その後、その感光性樹脂層の全面に、紫外線を照射し、光量１０００ｍＪ／ｃｍ²の露光を行った。つづいて、８０℃で５分間加熱処理し、上記感光性樹脂層を、厚み２０μｍのアンダークラッド層（波長８３０ｎｍにおける屈折率＝１．５１０）に形成した。

つづいて、上記アンダークラッド層の表面に、フルオレン骨格を含むエポキシ系紫外線硬化性樹脂（大阪ガスケミカル社製、オグソールＥＧ）を主成分部とする硬化性液状樹脂を塗布した後、１００℃で５分間加熱処理し、感光性樹脂層を形成した。ついで、コアのパターンと同形状の開口パターンが形成されたフォトマスクを介して（ギャップ１００μｍ）、上記感光性樹脂層に、紫外線を照射し、光量２５００ｍＪ／ｃｍ²の露光を行った後、１００℃で１０分間加熱処理した。つぎに、γ−ブチロラクトン水溶液を用いて、上記感光性樹脂層の未露光部分を溶解除去した後、１２０℃で５分間加熱処理を行い、上記感光性樹脂層の露光部分を、幅２０μｍ、高さ５０μｍの断面長方形のコア（波長８３０ｎｍにおける屈折率＝１．５９２）に形成した。このようにして、上記シート材とアンダークラッド層とコアとからなる樹脂シートを作製した。

〔成形型の準備，硬化性液状樹脂の充填〕
オーバークラッド層形成用のアルミニウム製成形型（図２参照）を準備した。この成形型は、型面に、オーバークラッド層形成用のＬ字形状の屈曲溝部が３個形成されている。それら３個の屈曲溝部は、Ｌ字形状の角部を一端側に向け、Ｌ字形状の両辺を他端側に向け、かつ、全体を傾けた状態で、並列に設けられる。そして、上記Ｌ字形状の屈曲溝部に、上記アンダークラッド層の形成に用いた硬化性液状樹脂と同様の硬化性液状樹脂を充填した。

〔成形型の型面への樹脂シートの重ね合わせ〕
電動バキュームポンプに接続された吸引吸着孔が並設された吸着装置に、上記吸引吸着孔に負圧を加えることにより、前記樹脂シートのシート材の裏面を吸着させた。そして、それを上記成形型の上方に配置し、上記樹脂シートの表面を上記成形型の型面に対峙させた。つづいて、その状態で、上記樹脂シートの一端側から、上記吸引吸着孔による吸着を段階的に解除した。これにより、上記成形型の型面の一端側から他端側に上記樹脂シートを徐々に、自重で重ねるとともに、上記コアを上記屈曲溝部内の硬化性液状樹脂に埋入した。

〔オーバークラッド層の形成〕
つぎに、上記樹脂シートを０．１ＭＰａの圧力で押圧した後、その樹脂シートを透して、上記Ｌ字形状の屈曲溝部内の硬化性液状樹脂に、紫外線を照射し、光量６０００ｍＪ／ｃｍ²の露光を行った。これにより、上記硬化性液状樹脂を、上記コアを覆うように上記樹脂シートの表面に形成された、Ｌ字形状のオーバークラッド層に形成した。

〔残留気泡の有無〕
その後、脱型し、Ｌ字形状の光導波路予定部が複数並列に形成された光導波路基材を得た。そして、上記オーバークラッド層内の残留気泡を目視にて確認した結果、残留気泡は確認されなかった。

〔比較例〕
上記実施例において、成形型の型面への樹脂シートの重ね合わせを、下方に向かって反る側面視略半円弧状の鏡面板を備えた押圧装置を用い、上記樹脂シートを、中央部から外側に徐々に、上記成形型の型面に押圧した（図１１参照）。それ以外は、上記実施例と同様にして、光導波路基材を製造した。そして、その光導波路基材のオーバークラッド層内の残留気泡を目視にて確認した結果、成形型の屈曲溝部におけるＬ字形状の開放部側が上記成形型の中央部から外側の方向に向いている領域にある屈曲溝部で形成されたオーバークラッド層には、残留気泡は殆ど確認されなかった。ところが、その反対側の領域にある屈曲溝部で形成されたオーバークラッド層には、残留気泡が多数確認された。

上記実施例および比較例におけるオーバークラッド層内の残留気泡の有無の結果から、オーバークラッド層形成用の成形型の屈曲溝部がＬ字形状の屈曲線状である場合、残留気泡をなくす点において、実施例の製造方法が優れていることがわかる。

また、オーバークラッド層形成用の屈曲溝部の形状を、上記Ｌ字形状に代えて、Ｖ字形状，Ｕ字形状，コ字形状に形成した場合も、上記と同様の結果を得た。

〔実施例・比較例中における特性の測定〕
（屈折率の測定）
なお、上記光導波路基材における、アンダークラッド層等の屈折率は、つぎのようにして測定した。すなわち、上記アンダークラッド層，コアの各形成材料である硬化性液状樹脂を、それぞれシリコンウエハ上にスピンコートにより成膜して、屈折率測定用のサンプルを作製し、プリズムカプラー（サイクロン社製、ＳＰＡ−４００）を用いて測定した。

（寸法の測定）
また、上記光導波路基材における、アンダークラッド層，コアの寸法は、製造した光導波路基材を、ダイサー式切断機（ＤＩＳＣＯ社製、ＤＡＤ５２２）を用いて切断し、その切断面をレーザ顕微鏡（キーエンス社製）を用いて測定した。

本発明の光導波路基材の製造方法およびそれによって得られた光導波路基材を用いた光導波路の製造方法は、タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段、または音声や画像等のデジタル信号を高速で伝送，処理する情報通信機器，信号処理装置等を製造する際に採用することができる。

Ａ樹脂シート
１アンダークラッド層
２コア
３オーバークラッド層
３Ａ硬化性液状樹脂
１０シート材
２０成形型
２１屈曲溝部

Claims

アンダークラッド層とその表面の所定部分に形成されたコアとを備えた樹脂シートを準備する工程と、一方向に開放部を有する屈曲線状のオーバークラッド層を形成するための同形状の屈曲溝部が型面に形成された成形型を準備する工程と、上記成形型の屈曲溝部に、上記オーバークラッド層形成用の硬化性液状樹脂を充填する工程と、その充填後上記樹脂シートを成形型に重ねて上記コアを上記屈曲溝部内に充填された硬化性液状樹脂内に埋入する工程と、上記硬化性液状樹脂を硬化させて上記コアを覆った状態で上記樹脂シートの表面にオーバークラッド層を形成した後脱型する工程とを備えた光導波路基材の製造方法であって、上記樹脂シートを上記成形型に重ねることを、上記屈曲溝部の開放部とは反対側になる成形型の端部側から開放部側に向かって上記樹脂シートを徐々に重ね、上記樹脂シートと上記成形型との間の気泡を押し出すことにより行うことを特徴とする光導波路基材の製造方法。
上記成形型に、その一端側から他端側にかけて、複数の屈曲溝部がその開放部側を成形型の他端側に向けて並設され、上記樹脂シートを上記成形型に徐々に重ねることを、上記成形型の一端側から他端側に向かって行う請求項１記載の光導波路基材の製造方法。
上記樹脂シートを上記成形型に徐々に重ねる工程を、複数の吸着手段が並設された吸着装置を用い、上記樹脂シートの、コアと反対側の面を、上記吸着装置の吸着手段に吸着させ、上記屈曲溝部の開放部とは反対側になる成形型の端部側に対応する樹脂シートの一端部から他端部に向かって、上記吸着手段による吸着を段階的に解除して行う請求項１または２記載の光導波路基材の製造方法。
オーバークラッド層形成用の屈曲溝部の形状である、一方向に開放部を有する屈曲線状が、Ｌ字形状，Ｖ字形状，Ｕ字形状およびコ字形状のいずれかである請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路基材の製造方法。
請求項１〜４のいずれか一項に記載の光導波路基材の製造方法によって得られた、アンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とを備えた光導波路基材を、オーバークラッド層の形状に沿って切断し、アンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とからなる光導波路を得ることを特徴とする光導波路の製造方法。