JP5110333B2 - 減衰器 - Google Patents
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Description
次に、図5〜14を参照して、本実施の形態における第1〜第10の変形例について説明する。上記実施の形態の減衰器1は、減衰抵抗部分51の平面形状が一の屈折部分70を有するものである。これに対し、図5に示した第1の変形例としての減衰器1Aは、合計3箇所の屈折部分を含む平面形状の減衰抵抗部分51Aを備えるものである。図6に示した第2の変形例としての減衰器1Bは、合計5箇所の屈折部分を含む平面形状の減衰抵抗部分51Bを備える。図7に示した第3の変形例としての減衰器1Cは、合計7箇所の屈折部分を含む平面形状の減衰抵抗部分51Cを備える。図8に示した第4の変形例としての減衰器1Dは、X軸方向へ連なる合計7箇所の屈折部分を含む平面形状の減衰抵抗部分51Dを備える。図9に示した第5の変形例としての減衰器1Eは、X軸方向へ連なる合計5箇所の屈折部分を含む平面形状の減衰抵抗部分51Eを備える。図10に示した第6の変形例としての減衰器1Fは、一の湾曲部分を含む平面形状の減衰抵抗部分51Fを備える。図11に示した第7の変形例としての減衰器1Gは、一の湾曲部分と一の屈折部分とを含む平面形状の減衰抵抗部分51Gを備える。図12に示した第8の変形例としての減衰器1Hは、2つの屈折部分を含む平面形状の減衰抵抗部分51Hを備える。図13に示した第9の変形例としての減衰器1Jは、X軸およびY軸に対して斜めに延在する2つの直線部分によって形成された一の屈折部分を含む平面形状の減衰抵抗部分51Jを備える。図14に示した第10の変形例としての減衰器1Kは、複数の湾曲部を含む蛇行した平面形状の減衰抵抗部分51Kを備える。これら第1〜第10の変形例においても、減衰抵抗部分の平面形状を直線状とした場合と比較して、全体構成の小型化と、所定の周波数帯域における減衰特性の安定化との両立を図ることができる。
上記実施の形態で説明した製造方法に従って、図3,5〜14の減衰器1,1A〜1Kを作製した。抵抗膜パターン50は、スパッタリング法によりニッケルクロム合金(NiCr)系合金を用いて形成した。入力電極20、出力電極30および接地電極40A,40Bとしては、抵抗膜パターン50の上にスパッタリング法により銅(Cu)層を形成した。なお、入力電極20、出力電極30および接地電極40A,40Bの上には、さらにニッケル層と錫層との2層構造をめっき法により形成した。また、各構成要素の寸法(μm)は次の通りである(図3参照)。
・絶縁基板10;x=3000, y=7700
・入力電極20;x=1000, y=1100
・出力電極30;x=1600, y=1800
・接地電極40;x=3000, y=200
・減衰抵抗部分51(Y軸方向に延在する部分);x=150, y=1900(実施例1)
・減衰抵抗部分51(X軸方向に延在する部分);x=350, y=150(実施例1)
・抵抗部分52;x=1400. y=1550
・抵抗部分53;x=2750, y=2800
さらに、上記実施例1〜11と同様にして、図15に示した平面形状の減衰器101Aを作製した。但し、減衰器101Aでは、減衰抵抗部分151Aの平面形状が直線状となっている。
Claims (6)
- 絶縁基板上に、
入力電極と、
出力電極と、
前記入力電極および出力電極を挟んで対向配置された第1および第2の接地電極と、
前記入力電極と前記出力電極とを接続すると共に屈折部分および曲線部分の少なくとも一方を含む平面形状を有する一の第1の抵抗と、
前記入力電極および出力電極と、前記一対の接地電極とをそれぞれ接続する一対の第2の抵抗と
を備えた減衰器。 - 前記第1の抵抗の平面形状は、複数の屈折部分を含む
請求項1記載の減衰器。 - 前記第1の抵抗の平面形状は、複数の曲線部分を含む
請求項1記載の減衰器。 - 前記第1の抵抗の平面形状は、蛇行部分を含む
請求項2または請求項3に記載の減衰器。 - 前記屈折部分および曲線部分は、前記入力電極よりも前記出力電極の近くに位置する
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の減衰器。 - 前記入力電極と前記第1の接地電極との間の抵抗値は、前記出力電極と前記第2の接地電極との間の抵抗値よりも大きく、
前記入力電極は、前記第1の接地電極よりも前記第2の接地電極の近くに位置する
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の減衰器。
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