JP5101266B2 - 磁気デバイスの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、磁気デバイスの製造方法に関する。
磁気メモリに利用される磁気抵抗素子は、固定層、非磁性層、自由層の順で積層された人工格子多層膜を備えている。磁気抵抗素子は、固定層の自発磁化の方向と自由層の自発磁化の方向とが平行であるか、あるいは、反平行であるかに応じて、自身の電気抵抗値を低抵抗、あるいは、高抵抗に切り替える。磁気メモリにおいては、低抵抗の状態と高抵抗の状態との間の電気抵抗値の変化が大きくなる程、すなわち、磁気抵抗変化率が大きくなる程、良好な出力特性を得られる。
人工格子多層膜に巨大な磁気抵抗変化率を発現させるためには、(001)面方位への強い配向性を得る、いわゆる、配向制御が必要になる。例えば、固定層/非磁性層/自由層をFe/MgO/Feによって構成する場合、180%を超える磁気抵抗変化率を得るために、Fe層が体心立方格子構造を形成し、(001)面方位への強い配向性を有しなければならない(例えば、非特許文献1)。また、固定層/非磁性層/自由層をCoMnSi/AlO/CoMnSiによって構成する場合、極低温(2K)で570%の巨大な磁気抵抗変化率を得るために、CoMnSi膜がL2型の規則構造を形成し、(001)面方位への強い配向性を有しなければならない(例えば、非特許文献2)。
上記する配向制御は、磁気ディスクの高密度化を図る上でも重要である。例えば、磁気ディスクの記録層をFePt層によって構成する場合、大きな結晶磁気異方性(Ku=7.0×10erg/cc)を得るために、FePt層がL1型の規則構造を形成し、その(001)面方位への強い配向性を有しなければならない(例えば、特許文献1)。
そこで、こうした磁気デバイスの開発過程においては、従来から、磁性層の(001)面方位への強い配向性を得るため、(001)面方位への強い配向性を有する酸化マグネシウム(MgO)の単結晶基板を用い、MgO単結晶基板に磁性層をエピタキシャル成長させて、該磁性層を評価している。
Nature Mater.3(2004)868 Applied Physics Letter 88,192508(2006) 特許3318204号
一方、磁気再生ヘッドの製造技術においては、基板としてAlTiCウェハが用いられ、AlTiCウェハの上に磁気シールド膜と絶縁膜とが積層され、該絶縁膜の上に人工格子多層膜が形成される。磁気ディスクの製造技術においては、ガラス基板の上に裏打ち層と中間層とが積層され、該中間層の上にL1型のFePt膜が形成される。MRAMの製造技術においては、Siウェハの上にトランジスタが形成され、該トランジスタの上に書込み用のワード線が形成され、該ワード線の上に人工格子多層膜が形成される。すなわち、磁気デバイスの製造技術においては、人工格子多層膜と基板との間、垂直磁気記録層と基板との間に、各種の層が形成される。このため、磁気デバイスの基板にMgO単結晶基板を用いる場合であっても、MgOと磁性層との間の各種の層によって、磁性層の配向性が乱れてしまう。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、基板の配向性に関わらず、磁性層の(001)面方位へ配向性を強くした磁気デバイスの製造方法を提供することにある。
請求項1に記載する磁気デバイスの製造方法は、アルゴンガスを用いて第1ターゲットをスパッタすることにより基板の表面に酸化マグネシウム層を形成する工程と、第2ターゲットをスパッタして前記酸化マグネシウム層に磁性層を積層する工程と、前記磁性層を加熱する工程とを備えた磁気デバイスの製造方法であって、前記第1ターゲットと前記第2ターゲットとが共通する真空槽に配置され、前記真空槽内にて前記酸化マグネシウム層
を形成する工程の後に前記磁性層を形成する工程が行われ、前記酸化マグネシウム層を形成する工程は、前記第1ターゲットをスパッタする前に、希ガスを用いたプラズマを前記基板の表面に照射して前記基板の表面を洗浄し、前記基板と前記第1ターゲットとの間の距離を200mmに設定すると共に、前記アルゴンガスを用いて成膜圧力を0.01Pa〜0.02Paに設定して、室温に保持される前記基板に、膜厚が5nm〜20nmの酸化マグネシウム層を形成することを要旨とする。
請求項1に記載する磁気デバイスの製造方法によれば、基板に吸着する酸素、窒素、水等の不純物は、希ガスのプラズマによって除去される。第1ターゲットの表面から放出されるスパッタ粒子は、他の粒子との相次ぐ衝突の間に進む道の平均の長さ、すなわち、平均自由程が、基板と第1ターゲットとの間の距離よりも長くなる。そして、第1ターゲットの表面から放出されるスパッタ粒子は、スパッタガスによる散乱が抑えられる分だけ、高い運動エネルギーを保有する状態で基板に到達する。
したがって、酸化マグネシウム層は、結晶粒の成長を促進できる分だけ、酸化マグネシウムが優先的に配向する結晶面、すなわち、(001)面方位への配向性を強くできる。しかも、酸化マグネシウム層が5nm以上の膜厚を有することから、基板表面の全体が酸化マグネシウム層によって均一に覆われ、かつ、酸化マグネシウム層が20nm以下の膜厚を有することから、酸化マグネシウムからなる結晶粒の粗大化が抑制される。この結果、本磁気デバイスの製造方法は、酸化マグネシウムの(001)面方位への配向性を強くする分だけ、磁性層の(001)面方位への配向性を強くできる。
また、上記磁気デバイスの製造方法によれば、第1ターゲットの表面から放出されるスパッタ粒子は、スパッタガスによる散乱を確実に抑えられる分だけ、(001)面方位への配向性を強くできる。したがって、本磁気デバイスの製造方法は、より確実に、磁性層の(001)面方位への配向性を強くできる。
さらに、上記磁気デバイスの製造方法によれば、酸化マグネシウム層と磁性層とが共通する真空槽で形成される。したがって、酸化マグネシウム層の表面状態を維持した状態で磁性層を積層できることから、本磁気デバイスの製造方法は、より確実に、磁性層の(001)面方位への配向性を強くできる。
請求項に記載する磁気デバイスの製造方法は、請求項1に記載の磁気デバイスの製造方法であって、前記酸化マグネシウム層を形成する工程と、前記磁性層を形成する工程とを交互に繰り返すことを要旨とする。
請求項に記載する磁気デバイスの製造方法によれば、複数の酸化マグネシウム層を積
層する分だけ、各磁性層の(001)面方位への配向性を強くできる。
上記したように、本発明によれば、基板の配向性に関わらず、磁性層の(001)面方位への配向性を強くした磁気デバイスの製造方法を提供する。
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。図1は磁気デバイスの製造装置10を模式的に示す図であり、図2は前処理部13を模式的に示す図であり、図3は、配向層形成部14を模式的に示す図である。なお、図3の一点鎖線はそれぞれターゲットTにおける内表面の法線と中心軸Aとを示し、二点鎖線は各構成部材の間における電気的接続を示す。
図1において、磁気デバイスの製造装置10は、クラスター形式の製造装置であり、搬送部11には、搬入出部12と、前処理部13と、配向層形成部14と、上層形成部15とが連結されている。搬送部11に搭載される搬送ロボット16は、搬入出部12にある基板Sを搬送部11へ搬入し、その後、搬送部11を介して、前処理部13、配向層形成部14、上層形成部15へ搬送する。搬送部11の内部は、1×10−6Pa以下に減圧され、搬送過程における基板Sの表面と、酸素、窒素、水等の不純物との接触を抑制する。
基板Sとしては、AlTiC基板、シリコン基板、ガラス基板を用いることができる。搬入出部12は、外部から移載される基板Sを搬送部11へ搬入可能にすると共に、搬送部11から搬入される成膜処理後の基板Sを外部へ搬出可能にする。
前処理部13は、基板Sの表面をスパッタするスパッタチャンバであり、基板Sの表面に吸着する酸素、窒素、水等の不純物を除去する。配向層形成部14は、MgOからなるターゲットを有するスパッタチャンバであり、基板Sの表面にMgO層を形成する。また、配向層形成部14は、磁性材料からなるターゲットを有し、MgO層の上に磁性層を形成する。上層形成部15は、磁性材料や金属材料等からなるターゲットを有するスパッタチャンバであり、基板Sの表面に所望の磁性層や金属層等を形成する。
次に、前処理部13と配向層形成部14とについて以下に説明する。なお、上層形成部15は配向層形成部14のターゲット材料を変更した構成であるため、以下では、その変更点についてのみ説明する。
図2において、前処理部13は、搬送部11に連結される真空槽(以下単に、処理室本体21と言う。)を有し、処理室本体21は、所定流量の希ガス(アルゴン:Ar)を供給するためのガス供給系22と、処理室本体21の内部を所定圧力へ減圧するための排気系23とに連結されている。排気系23は、処理室本体21の圧力を1×10−5Pa以下へ減圧すると共に、ガス供給系22からのArの供給下において、処理室本体21の圧力を0.1Pa以下へ減圧する。
処理室本体21は、基板Sを載置するためのステージ24を底部に搭載し、ステージ24は、昇降機構25の駆動軸に連結され、昇降機構25の駆動力を受けて昇降し、基板Sの搬入及び搬出を可能にする。ステージ24は、バイアス電源26に接続され、バイアス
電源26からの高周波電力を受けて、ステージ24に載置される基板Sの表面へ負のバイアス電位を印加する。
処理室本体21は、プラズマを生成するための誘導コイル27を上壁に搭載し、誘導コイル27は、処理室本体21の外部に設置される高周波電源28へ接続されている。誘導コイル27は、高周波電源28からの高周波電力、例えば、13.56MHzの高周波電力を受け、処理室本体21の内部に誘導結合プラズマを生成する。前処理部13は、誘導コイル27が誘導結合プラズマを生成するとき、基板Sの表面へArイオンを照射し、基板Sの表面をスパッタ洗浄する。これによって、前処理部13は、基板Sの表面に吸着した酸素、窒素、水等からなる不純物を、基板Sの表面から除去する。
図3において、配向層形成部14は、搬送部11に連結される真空槽(以下単に、成膜室本体31と言う。)を有し、成膜室本体31は、所定流量のArを供給するガス供給系32と、成膜室本体31の内部を所定圧力へ減圧する排気系33とに連結されている。
排気系33は、成膜室本体31の圧力を1×10−6Pa以下へ減圧すると共に、ガス供給系32からのArの供給下において、成膜室本体31の圧力を0.01Pa〜0.02Paの範囲に減圧する。成膜室本体31の圧力は、ターゲットから放出されるスパッタ粒子の平均自由程が所定値(以下単に、目標値と言う。)よりも長くなるように設定される。
成膜室本体31の圧力が0.02Paよりも高くなる場合には、成膜時におけるイオン、又は、反跳粒子が過剰になり、スパッタ粒子の平均自由程が目標値よりも短くなるため、MgO層の(001)面方位への配向性が乱れてしまう。また、成膜室本体31の圧力が0.01Paよりも低くなる場合には、成膜時における放電状態が安定し難く、MgO層の(001)面方位への配向性が乱れてしまう。
成膜室本体31は、基板Sを保持するためのホルダ34を底部に搭載し、ホルダ34は、回転機構M1の出力軸に連結されている。ホルダ34は、基板Sを室温に維持すると共に、回転機構M1の駆動力を受け、基板Sの中心を通る中心軸Aを回転中心にして、基板Sを回転させる。これによって、ホルダ34は、一方向からのスパッタ粒子を基板Sの全周にわたり均一に分散させ、基板Sの上における堆積物の均一性を向上させる。成膜室本体31は、ホルダ34の周囲を覆う下側防着板35を成膜室本体31の内壁の近傍に搭載する。下側防着板35は、成膜室本体31の内壁に対して成膜種を遮蔽し、成膜室本体31への成膜種の堆積を抑える。
成膜室本体31は、プラズマを生成するための複数のカソード36を上壁に搭載し、各カソード36は、それぞれバッキングプレート37と、ターゲットTと、磁気回路38とを備えている。各バッキングプレート37は、それぞれ外部電源GEへ接続されて、外部電源GEからの高周波電力をターゲットTへ供給する。各磁気回路38は、それぞれターゲットTの内表面に沿ってマグネトロン磁場を形成し、該ターゲットTの近傍に高密度のプラズマを生成させる。各ターゲットTは、それぞれ成膜室本体31の内部に露出する円盤状に形成され、その内表面の法線が基板Sの法線、すなわち、中心軸Aに対して所定角度(以下単に、斜入射角θと言う。)だけ傾斜するように取付けられている。本実施形態における斜入射角θは、22°である。
各ターゲットTは、それぞれ内表面と基板Sの表面との間の距離が所定距離(以下単に、TS間距離と言う。)になるように取付けられている。TS間距離は、目標値と同じ長さであり、本実施形態では200mmである。TS間距離が200mmよりも長くなる場合には、ターゲットTから放出されるスパッタ粒子とスパッタガスとの衝突頻度が高くな
るため、MgO層の(001)面方位への配向性が乱れてしまう。
配向層形成部14における各ターゲットTは、それぞれ異なる構成元素からなるターゲットである。例えば、配向層形成部14は、MgOを主成分とする第1ターゲットT1と、磁性層の構成元素、例えば、Fe、CoMnSi、FePt等を主成分とする第2ターゲットT2とを有する。また、上層形成部15における各ターゲットTは、それぞれ異なる構成元素からなるターゲットである。例えば、上層形成部15は、磁性層を保護するための保護層の構成元素、例えば、Taを主成分とするターゲットTを有する。
成膜室本体31は、基板Sの上方を覆うドーム状のシャッタ39をホルダ34の直上に回動可能に搭載する。シャッタ39は、1つの開口39Aを有し、成膜室本体31の上壁に搭載されるシャッタモータM2の駆動軸に連結されている。シャッタ39は、選択される1つのターゲットTへ所定電力が供給されるとき、シャッタモータM2からの駆動力を受け、選択されるターゲットTと開口39Aとを対向させる。これによって、シャッタ39は、選択されるターゲットTからのスパッタ粒子を、他のターゲットTに対して遮蔽し、より高い純度の下でMgO層を形成する。
磁気デバイスの製造装置10は、磁気デバイスの成膜処理を開始するとき、まず、搬入出部12にある基板Sを、1×10−5Pa以下に減圧される処理室本体21へ搬送する。また、製造装置10は、ガス供給系22及び排気系23を駆動して、処理室本体21の内部に、圧力が0.1Pa以下であって、Arからなる雰囲気を形成する。そして、製造装置10は、誘導コイル27及びバイアス電源26を駆動し、処理室本体21の内部に誘導結合プラズマを生成して、基板Sの表面にスパッタ洗浄を施す。
この際、製造装置10は、基板Sの表面におけるスパッタ量が、Siウェハ上における熱酸化膜(SiO膜)のスパッタ量に換算して3nmになるように、洗浄処理時間を設定する。これによって、製造装置10は、基板Sの表面における不純物を確実に洗浄できる。また、製造装置10は、基板Sの表面における過剰なスパッタを抑えられ、プラズマの照射に伴う基板Sへの損傷を抑制できる。
次いで、製造装置10は、前処理部13にある基板Sを、1×10−6Pa以下に減圧される成膜室本体31へ搬送する。また、製造装置10は、ガス供給系32と排気系33とを駆動して、成膜室本体31の内部に、圧力が0.01Pa〜0.02Paであって、Arからなる雰囲気を形成する。続いて、製造装置10は、回転機構M1を駆動して、基板Sを回転させると共に、シャッタモータM2を駆動して、シャッタ39の開口39Aと第1ターゲットT1とを対向させる。そして、製造装置10は、第1ターゲットT1に対応する外部電源GEを駆動して、第1ターゲットT1をスパッタする。
この際、先行する洗浄処理によって、基板Sの表面からは、MgOの結晶粒の成長を阻害する酸素、窒素、水等が除去されている。また、成膜室本体31の圧力が0.01Pa〜0.02Paであることから、第1ターゲットT1から放出されるスパッタ粒子の平均自由程が目標値、すなわち、TS間距離(200mm)よりも長くなる。その結果、MgやOからなるスパッタ粒子は、成膜室本体31に存在するArに散乱されることなく、高い運動エネルギーを保有した状態で基板Sの表面に到達する。これによって、基板Sの表面においては、MgOの結晶粒の成長が促進される。また、基板Sに形成されるMgO層においては、MgOが優先的に配向する結晶面方位、すなわち、(001)面方位への強い配向性を得られる。
本実施形態における強い配向性とは、MgO層の(001)面が基板Sの主面と略平行であり、かつ、MgO層の(001)面からのX線回折ピークのピーク値が1000cp
sより大きく、X線ロッキングカーブの半値幅が4.5°以下である状態を言う。
製造装置10は、MgO層の膜厚が5nm〜20nmになるように、成膜時間を設定する。MgO層の膜厚が5nmよりも薄くなると、MgOの結晶粒径が小さくなるために、MgO層が基板Sの表面の全体を覆い難くなり、配向層としての機能を損なってしまう。また、MgO層の膜厚が20nmよりも厚くなると、MgOの結晶粒径が粗大化するために、MgO層の平坦性が損なわれてしまう。この結果、MgO層のエピタキシャル成長を維持し難くなり、膜厚方向においても結晶粒界が発生することから、MgO層の配向性が乱れてしまう。
製造装置10は、基板Sの上にMgO層を形成すると、シャッタモータM2を駆動して、シャッタ39の開口39Aと第2ターゲットT2とを対向させると共に、第2ターゲットT2に対応する外部電源GEを駆動して、第2ターゲットT2をスパッタする。
この際、製造装置10は、MgO層の上に磁性層を形成でき、MgO層と磁性層とを、共通する成膜室本体31の内部で連続的に形成する。MgO層の表面は、1×10−6Pa以下の減圧空間に保持されることから、酸素、窒素、水等との接触を十分に回避でき、(001)面方位への強い配向性を維持し続ける。この結果、製造装置10は、MgO層の上に磁性層をエピタキシャル成長させることができ、基板Sの配向性に関わらず、(001)面方位への強い配向性を有する磁性層を形成できる。
製造装置10は、基板Sの上に磁性層を形成すると、基板Sを配向層形成部14から上層形成部15へ搬送し、磁性層の上に所望の上層を積層する。これによって、製造装置10は、(001)面方位への強い配向性を有する積層膜を形成できる。
(実施例1:MgO層)
表面に熱酸化膜(SiO膜)を有した直径8インチのSiウェハを、基板Sとして用いた。そして、基板Sを前処理部13へ搬送し、処理室本体21にArを導入して、処理室本体21の圧力を0.074Paに維持した。
処理室本体21の圧力をセットすると、周波数が13.56MHzであって、出力が900Wからなる高周波電力を誘導コイル27へ印加し、周波数が13.56MHzであって、出力が600Wからなる高周波電力をステージ24へ印加した。そして、処理室本体21の内部にArプラズマを生成し、Arプラズマ中のArイオンを基板Sへ照射することによって、基板Sの表面を洗浄した。この際、基板Sの表面へArイオンを3.0秒間だけ照射し、SiO膜の膜厚を3.0nmだけスパッタした。
基板Sに洗浄処理を施すと、基板Sを配向層形成部14へ搬送し、開口39Aと第1ターゲットT1とを対向させ、成膜室本体31へArを導入した。そして、周波数が13.56MHzであって、電力密度が2.85W/cmからなる高周波電力を第1ターゲットT1へ印加し、基板Sの表面に、膜厚が20nmからなるMgO層を形成することによって、実施例1を得た。なお、この際、成膜室本体31の圧力(以下単に、成膜圧力と言う。)を、0.01Pa〜0.02Paの範囲で変更し、成膜圧力が異なる複数の実施例1を得た。
そして、各実施例1について、Cu‐Kα線(波長が0.154nm)を用い、out‐of‐plane‐X線回折を測定した。各実施例1の回折プロファイルからは、いずれの成膜圧力においても、MgO(200)面方位に回折ピークが認められ、各MgO層がそれぞれ(100)面方位へ配向性を有していることが分かった。なお、各実施例1から得たMgO(200)面方位の回折ピークについて、それぞれピーク強度と、ロッキン
グカーブの半値幅とを図4に示す。
(実施例2:積層膜)
実施例1と同じく、表面に熱酸化膜(SiO膜)を有した直径8インチのSiウェハを、基板Sとして用いた。そして、基板Sの表面に上記実施例1と同様の洗浄処理を施し、その後、基板Sを配向層形成部14へ搬送した。
基板Sを配向層形成部14へ搬送すると、開口39Aと第1ターゲットT1とを対向させ、成膜室本体31へArを導入し、成膜圧力を0.02Paに維持した。そして、周波数が13.56MHzであって、電力密度が2.85W/cmからなる高周波電力を第1ターゲットT1へ印加し、基板Sの表面に、膜厚が10nmからなるMgO層を形成した。
MgO層を形成すると、開口39Aと第2ターゲットT2とを対向させ、成膜室本体31へArを導入し、成膜圧力を0.023Paに維持した。そして、周波数が13.56MHzであって、電力密度が2.44W/cmからなる高周波電力を第2ターゲットT2へ印加し、基板Sの表面に、膜厚が30nmからなるCoMnSi層を形成した。CoMnSi層を形成すると、基板Sを上層形成部15へ搬送し、CoMnSi層の上に、膜厚が2nmからなるTa層を形成した。
MgO/CoMnSi/Taからなる積層膜を成膜すると、1×10−4Pa以下に減圧された真空槽へ基板Sを搬送し、基板Sの面内へ約10kOeの磁界を印加しながら、基板Sを所定温度で1時間だけ保持することによって、実施例2を得た。なお、この際、基板Sの温度を、室温、300℃、及び400℃に変更し、複数の異なる実施例2を得た。
そして、各実施例2について、振動試料型磁力計(VSM:Vibrating Sample Magnetometer )を用い、磁化曲線を計測した。また、各実施例2について、Cu‐Kα線(波長が0.154nm)を用い、out‐of‐plane‐X線回折を測定した。基板Sの温度が300℃と400℃とにおける磁化曲線を、それぞれ図5(a)に示す。基板Sの温度が室温と400℃とにおける回折プロファイルを図6に示す。
(比較例1:MgO層)
基板Sの表面への洗浄処理を施すことなく、その他の条件を実施例1と同じくして、比較例1のMgO層を得た。そして、比較例1のMgO層について、実施例1と同じく、out‐of‐plane‐X線回折を測定した。
比較例1の回折プロファイルにおいては、実施例1と同じく、MgO(200)面方位に回折ピークが認められたが、そのピーク強度が、実施例1に比べて20%程度低下していることが分かった。すなわち、基板Sの表面への洗浄処理が、MgO層の結晶粒の成長を促進させ、(100)面方位への配向性を強くすることが分かった。
(比較例2:MgO層)
成膜圧力を実施例1よりも高く設定し、その他の条件を実施例1と同じくして、比較例2のMgO層を得た。そして、実施例1と同じく、各比較例2のMgO層について、out‐of‐plane‐X線回折を測定した。各比較例2から得たMgO(200)面方位の回折ピークについて、それぞれピーク強度と、ロッキングカーブの半値幅とを図4に示す。
(比較例3:積層膜)
基板SにMgO層を形成することなく、その他の条件を実施例2と同じくして、CoMnSi/Taからなる積層膜を得た。次いで、実施例2と同じく、1×10−4Pa以下に減圧された真空槽へ基板Sを搬送し、基板Sの面内へ磁界中における熱処理を1時間だけ施すことによって、比較例3を得た。なお、この際、基板Sの温度を、室温、300℃、及び400℃に変更し、複数の異なる比較例3を得た。
そして、各比較例3について、実施例2と同じく、それぞれVSMを用い、磁化曲線を計測した。また、各比較例3について、Cu‐Kα線(波長が0.154nm)を用い、out‐of‐plane‐X線回折を測定した。基板Sの温度が300℃と400℃とにおける磁化曲線を、それぞれ図5(b)に示す。基板Sの温度が室温と400℃とにおける回折プロファイルを図6に示す。
図4に示すように、成膜圧力が0.01Pa〜0.02Paになる範囲において、すなわち、実施例1において、回折ピークのピーク強度は、1000cpsを超える高い値を有し、ロッキングカーブの半値幅は、4.5°よりも十分に低い値を有する。したがって、成膜圧力が0.01Pa〜0.02Paになる範囲において、MgO層が(100)面方位への強い配向性を得ることが分かる。
一方、成膜圧力が0.02Paを超える範囲、すなわち、比較例2において、回折ピークのピーク強度は、成膜圧力の増加に伴って低下し、成膜圧力が0.18Paになるときには、約610cpsにまで低下してしまう。また、ロッキングカーブの半値幅は、成膜圧力の増加に伴って大きくなり、成膜圧力が0.18Paになるときには、約5.4°にまで増大してしまう。
図5に示すように、実施例2の飽和磁化は、300℃の加熱条件の下において、略0emu/cmであり、400℃の加熱条件の下において、2.6×10−3emu/cmになる。また、飽和磁化が正から負へ反転する磁界、すなわち、保磁力は、400℃の加熱条件の下において、約9Oeになる。
一方、比較例3の飽和磁化は、300℃の加熱条件の下において、略0emu/cmであり、400℃の加熱条件の下において、1.2×10−3emu/cmになる。また、比較例3の保磁力は、400℃の加熱条件の下において、約30Oeになる。
すなわち、実施例2及び比較例3は、それぞれ400℃の加熱条件の下において、飽和磁化を発現する。そして、実施例2は、比較例3に比べて、2倍以上の飽和磁化を発現する。CoMnSi層の自発磁化は、飽和磁化が大きくなるほど、また、保磁力が小さくなるほど、より微弱な外部信号磁界に対して敏感に反応し、CoMnSi層を用いる磁気デバイスにおいて感度を上昇させる。したがって、実施例2のMgO層は、配向層として用いられることにより、CoMnSi層の(001)面方位への配向性を強くし、磁気デバイスの感度を上昇させる。
図6において、実施例2の回折パターンは、室温下において、MgO(200)面からの回折ピーク(2θ=42.1°)を有し、400℃の加熱条件の下において、CoMnSi(200)面からの回折ピーク(2θ=31.9°)を発現する。一方、比較例3の回折パターンは、400℃の加熱条件の下において、CoMnSi(220)面からの回折ピーク(2θ=45.5°)を発現する。
すなわち、実施例2及び比較例3は、それぞれ400℃の加熱条件の下において、微結晶粒の粒成長を促進させ、回折ピークの強度を増大させる。そして、実施例2のCoMnSi層は、MgO層が(001)面方位への強い配向性を有することから、CoMn
Siの(200)面方位への配向性を強くする。
(磁気ディスク)
次に、磁気デバイスの製造装置10を用いたハードディスクドライブ(HDD:Hard Disk Drive )の製造方法について以下に説明する。図7は、HDDに搭載される磁気ディスク40の要部を示す断面図である。
まず、スパッタリング法を用いて、基板Sの上に、CoTaからなる下地層41と、CoTaZrからなる軟磁性層42とを積層した。次いで、基板Sを製造装置10へ搬送し、前処理部13を用いる洗浄処理を実行して、軟磁性層42の表面に吸着した酸素、窒素、水等の不純物を、軟磁性層42の表面から除去した。
軟磁性層42に洗浄処理を施すと、前処理部13にある基板Sを配向層形成部14へ搬送し、第1ターゲットT1を用いる成膜処理を実行して、軟磁性層42の表面にMgO層43を形成した。この際、成膜圧力の範囲を0.01Pa〜0.02Paに設定することにより、MgO層43の(001)面方位への強い配向性を得た。
軟磁性層42の表面にMgO層43を形成すると、第2ターゲットT2を用いる成膜処理を実行して、MgO層43の表面にFePt層を形成した。そして、FePt層を形成すると、基板Sの面へ磁界を印加しながら、基板Sを400℃に加熱することにより、FePt層の(200)面方位への配向性を強くした。
FePt層を形成すると、フォトリソグラフィ法やエッチング法等を用いてFePt層をパターニングし、MgO層の表面に、島状の記憶部44を形成した。記憶部44を形成すると、スパッタリング法やリフトオフ法等を用いて、隣接する記憶部44の間にSiOを充填し、記憶部44と連続する非磁性部45を形成した。そして、記憶部44及び非磁性部45の上面に、共通する保護層46と潤滑層47とを積層することにより、磁気ディスク40を得た。
(磁気メモリ)
次に、磁気デバイスの製造装置10を用いた磁気メモリの製造方法について以下に説明する。図8は、磁気メモリ50の要部を示す断面図である。
まず、公知の半導体製造技術を用いて、基板Sの上に、薄膜トランジスタTrと、コンタクトプラグCPと、配線MLとを形成した。次いで、紙面に対して垂直に延びる帯状のワード線WLと、配線MLに接続される下部電極51とを形成した。下部電極51を形成すると、基板Sを製造装置10へ搬送し、前処理部13を用いる洗浄処理を実行して、下部電極51の表面に吸着した酸素、窒素、水等の不純物を、下部電極51の表面から除去した。
下部電極51に洗浄処理を施すと、前処理部13にある基板Sを配向層形成部14へ搬送し、第1ターゲットT1を用いる成膜処理を実行して、下部電極51の表面の一部にMgO層52を形成した。この際、成膜圧力の範囲を0.01Pa〜0.02Paに設定することにより、MgO層52の(001)面方位への強い配向性を得た。
下部電極51の表面にMgO層52を形成すると、第2ターゲットT2を用いる成膜処理を実行して、下部電極51を含むMgO層52の表面にCoMnSiからなる固定磁性層53を形成した。そして、固定磁性層53を形成すると、基板Sの面内へ磁界を印加しながら、基板Sを400℃に加熱することにより、固定磁性層53の面方位への配向性を強くした。
固定磁性層53を形成すると、固定磁性層53の上に、再び、第1ターゲットT1を用いる成膜処理を実行して、固定磁性層53の上にMgO層(以下単に、トンネルバリア層54と言う。)を形成した。続いて、トンネルバリア層54を形成すると、上層形成部15を用いる成膜処理を実行して、トンネルバリア層54の上に、自由磁性層55を形成した。そして、ワード線WLと直交する方向に延びるビット線56を形成した。これによって、互いに直交するワード線WLとビット線56との間に、下部電極51、MgO層52、固定磁性層53、トンネルバリア層54、及び自由磁性層55からなる磁気抵抗素子を形成して磁気メモリ50を得た。
上記実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
(1)上記実施形態では、第1ターゲットT1をスパッタする前に、Arを用いたプラズマを基板Sの表面に照射し、基板Sの表面を洗浄した。そして、基板Sと第1ターゲットT1との間の距離が第1ターゲットT1から放出されるスパッタ粒子の平均自由程よりも短くなるように成膜圧力を設定して、室温に保持される基板Sに、膜厚が5nm〜20nmのMgO層を形成した。
したがって、基板Sに吸着する酸素、窒素、水等の不純物は、Arのプラズマによって除去される。第1ターゲットT1の表面から放出されるスパッタ粒子は、Arによる散乱が抑えられる分だけ、高い運動エネルギーを保有する状態で基板Sに到達する。この結果、MgO層は、結晶粒の成長を促進できる分だけ、MgOが優先的に配向する結晶面、すなわち、(001)面方位への強い配向性を得られる。
しかも、MgO層が5nm以上の膜厚を有することから、基板Sの表面の全体がMgO層によって均一に覆われ、かつ、MgO層が20nm以下の膜厚を有することから、MgOからなる結晶粒の粗大化が抑制される。よって、上記実施形態においては、MgOの(001)面方位への強い配向性を得られる分だけ、磁性層の(001)面方位への強い配向性を得られる。
(2)上記実施形態によれば、TS間距離を200mmに設定すると共に、成膜圧力を0.01Pa〜0.02Paに設定する。したがって、第1ターゲットT1の表面から放出されるスパッタ粒子は、その平均自由程を目標値よりも確実に長くでき、スパッタガスによる散乱を確実に抑えられる。この結果、上記実施形態においては、より確実に、磁性層の(001)面方位への強い配向性を得られる。
(3)上記実施形態によれば、MgO層と磁性層とが共通する成膜室本体31で形成される。したがって、MgO層の表面状態を維持した状態で磁性層を積層できることから、上記実施形態においては、より確実に、磁性層の(001)面方位への強い配向性を得られる。
(4)上記実施形態によれば、MgO層を形成する工程と、磁性層を形成する工程とが交互に繰り返されることから、MgO層52の上に形成する固定磁性層53と、トンネルバリア層54の上に形成する自由磁性層55とが、それぞれ(001)面方位への強い配向性を得られる。したがって、上記実施形態においては、磁気抵抗素子の磁気抵抗変化率を向上でき、磁気メモリ50に良好な出力特性を得られる。
尚、上記実施形態は、以下の態様で実施してもよい
・上記実施形態においては、磁気デバイスを磁気メモリとHDDに具体化したが、これに限らず、例えば、磁気デバイスを、HDDに搭載される磁気再生ヘッドや磁気センサに具体化しても良く、MgO層と磁性層とを利用し、MgO層に(001)面方位への配向性を要する磁気デバイスであれば良い。
磁気デバイスの製造装置を模式的に示す図。 前処理部を模式的に示す図。 成膜部を模式的に示す図。 ピーク強度とロッキングカーブの半値幅とを示す図。 (a)、(b)は、それぞれ実施例2及び比較例3の磁化曲線を示す図。 実施例2及び比較例3のX線回折プロファイルを示す図。 磁気ディスクを示す要部断面図。 磁気メモリを示す要部断面図。
符号の説明
S…基板、T1…第1ターゲット、T2…第2ターゲット、10…磁気デバイスの製造装置、13…前処理部、14…配向層形成部、15…上層形成部、40…磁気ディスク、43,52…MgO層、44…磁性層を構成する記憶部、50…磁気メモリ、53,55…磁性層を構成する固定磁性層、54…酸化マグネシウム層を構成するトンネルバリア層。

Claims (2)

  1. アルゴンガスを用いて第1ターゲットをスパッタすることにより基板の表面に酸化マグネシウム層を形成する工程と、第2ターゲットをスパッタして前記酸化マグネシウム層に磁性層を積層する工程と、前記磁性層を加熱する工程とを備えた磁気デバイスの製造方法であって、
    前記第1ターゲットと前記第2ターゲットとが共通する真空槽に配置され、
    前記真空槽内にて前記酸化マグネシウム層を形成する工程の後に前記磁性層を形成する工程が行われ、
    前記酸化マグネシウム層を形成する工程は、
    前記第1ターゲットをスパッタする前に、希ガスを用いたプラズマを前記基板の表面に照射して前記基板の表面を洗浄し、
    前記基板と前記第1ターゲットとの間の距離を200mmに設定すると共に、前記アルゴンガスを用いて成膜圧力を0.01Pa〜0.02Paに設定して、室温に保持される前記基板に、膜厚が5nm〜20nmの酸化マグネシウム層を形成することを特徴とする磁気デバイスの製造方法。
  2. 請求項1に記載の磁気デバイスの製造方法であって、
    前記酸化マグネシウム層を形成する工程と、前記磁性層を形成する工程とを交互に繰り返すことを特徴とする磁気デバイスの製造方法。
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