JP5097920B2 - 二次元型テーブル微小角度駆動機構 - Google Patents
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すなわち、図示は省略しているが、回転型トルカを用いたジンバルを用いて二軸テーブルを二軸方向に駆動していた。
すなわち、ジンバルの駆動手段としては、回転型トルカを用い、軸受にはボールベアリングが用いられていたため、微小角変化時に、機構上のひっかかりの発生、あるいは、軸受における摩擦トルクによる角度分解能の低下となり、高精度で円滑な微小角度駆動を得ることは困難であった。
すなわち、二軸テーブルを支持するフレクチャヒンジ体の各ヒンジを、断面十字型でかつねじり自在な構成としたため、各トルカを用いて二軸テーブルを二軸方向に傾動させる場合、従来の回転型トルカと軸受を用いる構成と異なり、摩擦部分が全くないため、ひっかかり等のない円滑で高精度の二軸微小角度駆動を達成することができる。
図1において符号1で示されるものは固定側のベースであり、このベース1上の中央位置には、ボルト2を介して棒状のシャフト3が植設されている。
尚、この図1は、中心線Fを境として第1半断面図と第2半断面図で互いに異なる角度位置からの断面状態を示している。
前記二軸テーブル5の下部から垂下して設けられた筒体6の外周面には90度間隔で4個の第1〜第4磁石7、8、9、10(第2、第4磁石8、10は図示せず)が設けられている。すなわち、前記二軸テーブル5は筒体6の上部に設けられている。
従って、前記各トルカ20〜23が選択的に励磁されることにより、対応する各磁石7〜10との磁気作用により各磁石7〜10が二軸テーブル5と共に上下方向に直動することができるように構成されている。
前記各ヒンジ31〜34においては、第1、第3ヒンジ31、33が互いに対向配置され、第2、第4ヒンジ32、34が互いに対向配置されている。
互いに対向する前記第1、第3接続体40、42(又は前記第2、第4接続体41、43)には、前記二軸テーブル5が前記筒体6を介して接続されて可動側Aとなり、前記第2、第4接続体41、43(又は前記第1、第3接続体40、42)が前記シャフト3に接続されて固定側Bが形成されている。
尚、前述の各ヒンジ31〜34は、何れも図2の矢印Cの方向に回転するようにねじることができる材質で構成されている。
まず、図1及び図2の状態において、前記二軸テーブル5が第1、第3接続体40,42に接続された場合、前記第1、第3トルカ20、22の何れかを駆動させることにより第1、第3磁石7、9の磁気作用を介して前記二軸テーブル5は、図2のX軸方向に沿って傾動する。尚、この場合は、前記第2、第4ヒンジ32、34が矢印C方向にねじれる。
従って、各駆動トルカ20〜23の駆動を選択的に行うことにより、前記フレクチャヒンジ体4を介して前記二軸テーブル5をX軸方向X又はY軸方向Yに沿う微小角度の傾動を自在に行うことができる。
尚、図2に示されるように、前記第1トルカ20、第1磁石7、第1接続体40及び第1ヒンジ31と前記第3トルカ22、第3磁石9、第3接続体42及び第3ヒンジ33とを結ぶX軸方向Xと前記第2トルカ21、第2磁石8、第2接続体41及び第2ヒンジ32と前記第4トルカ23、第4磁石10、第4接続体43及び第4ヒンジ34とを結ぶY軸方向Yとは互いに直交している。
2 ボルト
3 シャフト
4 フレクチャヒンジ体
5 二軸テーブル
6 筒体
7 第1磁石
8 第2磁石
9 第3磁石
10 第4磁石
11 第1テーブル角検出器
12 第2テーブル角検出器
13 第1速度検出器
15 第3速度検出器
20 第1トルカ
21 第2トルカ
22 第3トルカ
23 第4トルカ
30 本体部
31 第1ヒンジ
32 第2ヒンジ
33 第3ヒンジ
34 第4ヒンジ
40 第1接続体
41 第2接続体
42 第3接続体
43 第4接続体
X X軸方向
Y Y軸方向
Claims (2)
- 固定側であるベース(1)上に植設されたシャフト(3)と、前記シャフト(3)上に設けられその外周に断面十字型をなすと共にねじり自在な第1〜第4ヒンジ(31〜34)を90度毎に有する本体部(30)と、前記第1〜第4ヒンジ(31〜34)の外端に接続され弧状をなす第1〜第4接続体(40〜43)と、前記第1〜第4接続体(40〜43)のうちの互いに対向する第1、第3接続体(40,42)又は第2、第4接続体(41,43)に筒体(6)を介し前記筒体(6)の上部に設けられた二軸テーブル(5)と、前記筒体(6)の外周に90度毎に設けられた第1〜第4磁石(7〜10)と、前記ベース(1)上の周縁位置に90度毎に設けられ前記各磁石(7〜10)と対応すると共にその外側に位置する直動型の第1〜第4トルカ(20〜23)と、を備え、
前記第1トルカ(20)、第1磁石(7)、第1接続体(40)及び第1ヒンジ(31)と、前記第3トルカ(22)、第3磁石(9)、第3接続体(42)及び第3ヒンジ(33)とを結ぶX軸方向Xと前記第2トルカ(21)、第2磁石(8)、第2接続体(41)及び第2ヒンジ(32)と前記第4トルカ(23)、第4磁石(10)、第4接続体(43)及び第4ヒンジ(34)とを結ぶ、Y軸方向Yとは互いに直交し、
前記二軸テーブル(5)が前記第1、第3接続体(40,42)に接続された場合、前記第1トルカ(20)又は第3トルカ(22)の何れかを駆動させることにより、対応する前記第1磁石(7)及び第3磁石(9)がその磁気作用により、前記二軸テーブル(5)と共に上下方向に直動され、前記二軸テーブル(5)は前記X軸方向Xに沿って傾動し、
前記二軸テーブル(5)が前記第2、第4接続体(41,43)に接続された場合、前記第2トルカ(21)又は第4トルカ(23)の何れかを駆動させることにより、対応する前記第2磁石(8)及び第4磁石(10)がその磁気作用により前記二軸テーブル(5)と共に上下方向に直動され、前記二軸テーブル(5)は前記Y軸方向Yに沿って傾動するように構成したことを特徴とする二次元型テーブル微小角度駆動機構。 - 前記ベース(1)上に設けられ前記二軸テーブル(5)の傾斜角を検出するための複数のテーブル角検出器(11,12)と、前記ベース(1)上に設けられ前記二軸テーブル(5)の傾斜速度を検出するための複数の速度検出器(13,15)と、を備えたことを特徴とする請求項1記載の二次元型テーブル微小角度駆動機構。
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