JP5093392B2 - ドナー基板およびこれを用いた転写方法、表示装置の製造方法、並びに表示装置の製造システム - Google Patents
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Description
図4は、この工程に用いられるドナー基板の構成を、転写層を形成しない未使用の状態で表したものである。ドナー基板100は、基体110の表面側、すなわち基板11と対向する側に、反射層120および吸収層130を有している。基体110は、基板11との位置合わせが可能な堅固さを有すると共に、レーザ光に対する透過性の高い材料、例えばガラスまたはアクリル等の樹脂により構成されている。反射層120は、例えば銀(Ag)または銀(Ag)を含む合金など反射率の高い金属材料により構成されている。このほか、長波長域に限れば、反射層120の構成材料は、金(Au),銅(Cu)あるいはこれらを含む合金でもよい。吸収層130は、例えば、クロム(Cr),モリブデン(Mo),チタン(Ti)あるいはこれらを含む合金など吸収率の高い金属材料により構成されている。吸収層130は、炭素(C)または黒色顔料により構成されていてもよい。
このドナー基板100に対して、まず、図6(A)に示したように、基体110の表面側全面に、例えば真空蒸着により、上述した赤色発光材料を含む赤色転写層200Rを形成する(ステップS201)。
そののち、図8に示したように、ドナー基板100と基板11とを対向配置し、基体110の裏面側からレーザ光LB2を照射することにより、赤色転写層200Rと、緑色転写層200Gのうち非転写領域100NP以外の部分とを基板11に一括転写する(ステップS300)。これにより、図9に示したように、赤色有機発光素子10Rの形成予定領域10R1には混合層14RCが形成されると同時に、緑色有機発光素子10Gの形成予定領域10G1には緑色単色層14GCが形成される。このとき、非転写領域100NPに反射層120を設けたので、従来のようにレーザ光のスポット形状を成形して所定領域に選択的に照射するという複雑な工程は不要となり、レーザ光LB2を成形せずに全面照射しつつ非転写領域100NPの緑色転写層200Gのみを転写せずに残存させることができる。レーザ光LB2としては例えば波長800nmの半導体レーザ光を用い、照射条件としては例えば0.3mW/μm2 、スキャン速度50mm/sとすることができる。
一方、一括転写工程を行った後の基板11については、図11に示したように、例えば蒸着により、上述した青色発光材料を含む青色単色層14Dを全面成膜する(ステップS401)。これにより、従来のように発光色数と同じく三回の転写を行う必要はなくなり、転写回数は一回に減らすことができる。
料を含む青色単色層14Dとを有するが、最もエネルギー準位の低い赤色にエネルギー移動が起こり、赤色発光が支配的となる。緑色有機発光素子10Gでは、緑色有機層14Gが、緑色発光材料を含む緑色単色層14GCと、青色発光材料を含む青色単色層14Dとを有するが、よりエネルギー準位の低い緑色にエネルギー移動が起こり、緑色発光が支配的となる。青色発光素子10Bでは、青色有機層14Bが、青色発光材料を含む青色単色層14Dのみを有するので、青色発光が生じる。
図13は、本発明の変形例に係るドナー基板の構成を未使用の状態で表したものである
。このドナー基板100は、非転写領域100NPが、基板11における赤色有機発光素子10Rと緑色有機発光素子10Gとの境界領域に対応している。これにより、このドナー基板100では、一括転写工程において混合層14RCと緑色単色層14GCとの境界を明確に形成することができ、混色を確実に抑制することができるようになっている。なお、図13では、図4に示したような基体110の表面側全面に吸収層130を形成し、部分的に反射層120を設けたドナー基板100において、境界領域に対応して吸収層130と基体110との間に反射層120を追加的に形成した場合を表している。
Claims (12)
- 基体の表面側の一部に第1転写層、前記基体の表面側全面に第2転写層を形成し、前記基体の裏面側から輻射線を照射することにより前記第1転写層および前記第2転写層を他の基板に転写するためのドナー基板であって、
前記基体の表面側からみて、前記第1転写層の形成予定領域には反射層が設けられ、前記第1転写層の形成予定領域以外の領域には吸収層が設けられ、
前記第1転写層の形成予定領域には、前記基体の側から順に前記吸収層および前記反射層が設けられている
ドナー基板。 - 前記基体の裏面側からみて、前記第2転写層を前記他の基板に転写させない非転写領域には反射層が設けられ、前記非転写領域以外の領域には吸収層が設けられている
請求項1記載のドナー基板。 - 前記非転写領域には、前記基体の側から順に前記反射層および前記吸収層が設けられている
請求項2記載のドナー基板。 - 基体の表面側の一部に第1転写層、前記基体の表面側全面に第2転写層を形成したドナー基板から前記第1転写層および前記第2転写層を他の基板に転写する転写方法であって、
前記ドナー基板として、前記基体の表面側からみて、前記第1転写層の形成予定領域には反射層が設けられ、前記第1転写層の形成予定領域以外の領域には吸収層が設けられ、前記第1転写層の形成予定領域には、前記基体の側から順に前記吸収層および前記反射層が設けられたものを用い、
前記基体の表面側全面に前記第1転写層を形成する工程と、
前記基体の表面側から輻射線を照射することにより前記基体の表面側からみて吸収層が形成されている領域の前記第1転写層を選択的に除去し、前記基体の表面側からみて反射層が形成されている領域のみに前記第1転写層を形成する工程と、
前記基体の表面側全面に前記第2転写層を形成する工程と、
前記ドナー基板と前記他の基板とを対向配置し前記基体の裏面側から輻射線を照射することにより前記第1転写層および前記第2転写層を前記他の基板に転写する工程と
を含む転写方法。 - 前記ドナー基板として、前記基体の裏面側からみて、前記第2転写層を前記他の基板に転写させない非転写領域には反射層が設けられ、前記非転写領域以外の領域には吸収層が設けられたものを用い、
前記ドナー基板と前記他の基板とを対向配置し前記基体の裏面側から輻射線を照射することにより前記第2転写層のうち前記非転写領域以外の部分を選択的に前記他の基板に転写する
請求項4記載の転写方法。 - 基板に赤色有機発光素子,緑色有機発光素子および青色有機発光素子を備えた表示装置の製造方法であって、
基体の表面側からみて、前記基板における赤色有機発光素子の形成予定領域に対応した赤色転写層形成予定領域には反射層、前記赤色転写層形成予定領域以外の領域には吸収層を有する一方、前記基体の裏面側からみて、緑色転写層非転写領域には反射層、前記緑色転写層非転写領域以外の領域には吸収層を有するドナー基板を用い、
前記基体の表面側全面に赤色発光材料を含む赤色転写層を形成し、前記基体の表面側から輻射線を照射することにより、前記基体の表面側からみて吸収層が形成されている領域の前記赤色転写層を選択的に除去したのち、前記基体の表面側全面に緑色発光材料を含む緑色転写層を形成する転写層形成工程と、
前記ドナー基板と前記基板とを対向配置し前記基体の裏面側から輻射線を照射することにより、前記赤色転写層と前記緑色転写層のうち前記緑色転写層非転写領域以外の部分とを前記基板に一括転写する一括転写工程と
を含む表示装置の製造方法。 - 前記緑色転写層非転写領域は、前記基板における青色有機発光素子の形成予定領域に対応している
請求項6記載の表示装置の製造方法。 - 前記緑色転写層非転写領域は、前記基板における赤色有機発光素子と緑色有機発光素子との境界領域に対応している
請求項6または7記載の表示装置の製造方法。 - 前記一括転写工程ののち、前記転写層形成工程を再び行うことにより前記赤色転写層および前記緑色転写層を再形成し、別の基板に対して前記一括転写工程を行う
請求項6ないし8のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。 - 前記一括転写工程による一括転写を行った後の前記基板における前記赤色有機発光素子,前記緑色有機発光素子および前記青色有機発光素子の形成予定領域に、青色発光材料を含む青色単色層を形成する青色単色層形成工程を含む
請求項6ないし9のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。 - 基板に赤色有機発光素子,緑色有機発光素子および青色有機発光素子を備えた表示装置の製造システムであって、
基体の表面側からみて、前記基板における赤色有機発光素子の形成予定領域に対応した赤色転写層形成予定領域には反射層、前記赤色転写層形成予定領域以外の領域には吸収層を有する一方、前記基体の裏面側からみて、緑色転写層非転写領域には反射層、前記緑色転写層非転写領域以外の領域には吸収層を有するドナー基板を用い、
前記基体の表面側全面に赤色発光材料を含む赤色転写層を形成する赤色転写層形成部、前記基体の表面側から輻射線を照射することにより、前記基体の表面側からみて吸収層が形成されている領域の前記赤色転写層を選択的に除去する転写層選択的除去部、および、前記基体の表面側全面に緑色発光材料を含む緑色転写層を形成する緑色転写層形成部を含む転写層形成部と、
前記ドナー基板と前記基板とを対向配置し前記基体の裏面側から輻射線を照射することにより、前記赤色転写層と前記緑色転写層のうち前記緑色転写層非転写領域以外の部分とを前記基板に一括転写する一括転写部と
を備えた表示装置の製造システム。 - 前記一括転写部による一括転写を行った後の前記基板における前記赤色有機発光素子,前記緑色有機発光素子および前記青色有機発光素子の形成予定領域に、青色発光材料を含む青色単色層を形成する青色単色層形成部を備えた
請求項11記載の表示装置の製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011196447A JP5093392B2 (ja) | 2011-09-08 | 2011-09-08 | ドナー基板およびこれを用いた転写方法、表示装置の製造方法、並びに表示装置の製造システム |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006104991A Division JP5013048B2 (ja) | 2006-04-06 | 2006-04-06 | 赤色有機発光素子およびこれを備えた表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011243593A JP2011243593A (ja) | 2011-12-01 |
JP5093392B2 true JP5093392B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=45410008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011196447A Expired - Fee Related JP5093392B2 (ja) | 2011-09-08 | 2011-09-08 | ドナー基板およびこれを用いた転写方法、表示装置の製造方法、並びに表示装置の製造システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5093392B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5937272A (en) * | 1997-06-06 | 1999-08-10 | Eastman Kodak Company | Patterned organic layers in a full-color organic electroluminescent display array on a thin film transistor array substrate |
KR100712096B1 (ko) * | 2004-02-19 | 2007-04-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계 발광표시장치의 제조방법 |
JP2005307254A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Canon Inc | 蒸着方法 |
KR100667069B1 (ko) * | 2004-10-19 | 2007-01-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 도너 기판 및 그를 사용한 유기전계발광표시장치의 제조방법 |
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---|---|
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