JP5093049B2 - ORGANIC ELECTRONIC ELECTRONIC DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME - Google Patents

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Description

本発明は、有機エレクトロニクス素子の製造方法と製造装置、それらにより製造した有機エレクトロニクス素子に関する。   The present invention relates to a method and apparatus for manufacturing an organic electronics element, and an organic electronics element manufactured by them.

詳しくは、面光源やディスプレイ、太陽電池等として利用される有機エレクトロニクス素子を製造するための製造方法と製造装置に関し、特に、プラスチックフィルム等の可撓性基材に設けられた有機エレクトロニクス素子を製造するための製造方法とその方法を実施するための製造装置、及び当該製造方法等によって製造した有機エレクトロニクス素子に関する。   More specifically, the present invention relates to a manufacturing method and a manufacturing apparatus for manufacturing an organic electronics element used as a surface light source, a display, a solar cell, etc., and particularly manufactures an organic electronics element provided on a flexible substrate such as a plastic film. The present invention relates to a manufacturing method for manufacturing, a manufacturing apparatus for carrying out the method, and an organic electronic device manufactured by the manufacturing method.

近年、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下「有機EL素子」という。)、有機光電変換素子、電子写真用有機感光体、有機トランジスタ等を始めとした、様々な有機エレクトロニクス素子の開発が検討されている。   In recent years, development of various organic electronics elements such as organic electroluminescence elements (hereinafter referred to as “organic EL elements”), organic photoelectric conversion elements, organic photoconductors for electrophotography, organic transistors and the like has been studied.

有機エレクトロニクス素子は、有機物を用いて電気的な動作を行う素子であり、省エネルギー、低価格、柔軟性といった特長を発揮できると期待され、従来のシリコンを主体とした無機半導体に替わる技術として注目されている。   Organic electronics elements are elements that perform electrical operations using organic substances, and are expected to exhibit features such as energy saving, low cost, and flexibility, and are attracting attention as a technology that can replace conventional inorganic semiconductors based on silicon. ing.

これらの有機エレクトロニクス素子は、有機物の非常に薄い膜を電極を介して電流を流すことで、発光したり、発電したり、帯電したり、電流や電圧を制御したりする素子である。   These organic electronic elements are elements that emit light, generate power, charge, or control current and voltage by passing a current through an extremely thin film of an organic substance through an electrode.

有機エレクトロニクス素子の一つである有機EL素子は、有機化合物の薄膜からなる発光層を電極で挟持した構成で、電極間に電流を供給すると発光する素子である。従って、薄膜の有機EL素子を光源として利用すると、小型化、軽量化が容易であるうえ、蛍光灯に比べ発光の応答速度が速く、点灯直後の光量も比較的安定した照明装置となる。   An organic EL element, which is one of the organic electronics elements, is an element that emits light when a current is supplied between electrodes, with a light emitting layer made of an organic compound thin film sandwiched between electrodes. Therefore, when a thin-film organic EL element is used as a light source, it is easy to reduce the size and weight, and the light emitting response speed is higher than that of a fluorescent lamp, and the amount of light immediately after lighting is relatively stable.

ここで、有機EL素子を液晶表示装置の光源や各種ディスプレイ用の照明装置として利用する場合、発光色は白色が好ましい。しかしながら有機EL素子は、発光層中で励起子を形成し発光に至るまでの電気化学的なプロセスを妨害する水分・酸素などに代表される、物質に対して非常に敏感である。これらの物質が不純物として存在したり、外界から拡散してくると、発光の効率や駆動寿命が著しく短くなり実用的な照明や表示のための性能を得ることができなくなる。   Here, when the organic EL element is used as a light source for a liquid crystal display device or an illumination device for various displays, the emission color is preferably white. However, the organic EL element is very sensitive to a substance represented by moisture, oxygen, and the like that interfere with an electrochemical process from formation of excitons in the light emitting layer to light emission. If these substances are present as impurities or diffuse from the outside, the light emission efficiency and drive life are remarkably shortened, and practical illumination and display performance cannot be obtained.

また、水・酸素などは、電極表面や内部の電気的、化学的な特性を変化させ、電子や正孔の移動を妨害する場合もあり、その結果、実用的な特性を大きく劣化させる。したがって、有機EL素子は、特許文献1に開示されるように、乾燥剤を封入して、ガラスや金属缶で密閉した構造の中に収めたり、特許文献2に示されるように、水分や酸素などのガス成分に対して、バリア性能を有する基材や封止材を用いて、性能を確保したりすることが検討されている。   In addition, water, oxygen, etc. may change the electrical and chemical characteristics of the electrode surface and the interior, thereby obstructing the movement of electrons and holes. As a result, the practical characteristics are greatly deteriorated. Therefore, as disclosed in Patent Document 1, the organic EL element is encapsulated with a desiccant and enclosed in a structure sealed with glass or a metal can, or as disclosed in Patent Document 2, moisture or oxygen It has been studied to secure performance against a gas component such as a base material or a sealing material having barrier performance.

ところで、有機EL素子の製造では、発光素子(有機EL構造体)への水分や酸素による影響を回避し、高品質と高信頼性を維持するために、封止と呼ばれる外気の影響を完全にシャットアウトするための保護膜を形成する操作が行われている。   By the way, in the manufacture of organic EL elements, in order to avoid the influence of moisture and oxygen on the light emitting element (organic EL structure) and to maintain high quality and high reliability, the influence of outside air called sealing is completely eliminated. An operation for forming a protective film for shut-out is performed.

有機EL素子の封止技術としては、例えば、窒化物や窒化酸化物等の薄膜を電子ビーム法やスパッタリング法、プラズマCVD法、イオンプレーティング法等により発光素子(有機EL構造体)上に被覆する方法、具体的には、対向ターゲット式のスパッタ装置を用いた封止技術(例えば特許文献3参照)や、シート状の封止材を、発光層を含む発光素子部分に貼り合わせて封止を行う技術(例えば特許文献4参照)等が挙げられる。   As a sealing technique for organic EL elements, for example, a thin film such as nitride or nitride oxide is coated on a light emitting element (organic EL structure) by an electron beam method, a sputtering method, a plasma CVD method, an ion plating method, or the like. A sealing technique using a facing target type sputtering apparatus (see, for example, Patent Document 3) or a sheet-like sealing material attached to a light emitting element portion including a light emitting layer for sealing. (For example, refer to Patent Document 4).

例えば、酸素及び水分による劣化を防止する技術として、有機EL素子の基板上に形成された発光層を封止材で封止する技術が一般的に用いられているが、従来の接着剤を使った封止では、接着剤部分から水分透過により、所望の封止性能が十分得られなかった。   For example, as a technique for preventing deterioration due to oxygen and moisture, a technique of sealing a light emitting layer formed on a substrate of an organic EL element with a sealing material is generally used, but a conventional adhesive is used. In the sealing, the desired sealing performance was not sufficiently obtained due to moisture permeation from the adhesive part.

一方、最近では、有機EL素子の用途の拡大等により、樹脂フィルム等の可撓性基材を用いた有機EL素子も登場しており、このような可撓性基材を用いることにより、ロール・ツー・ロール方式(「Roll to Roll方式」ともいう。)の有機EL素子の製造も行われるようになってきた(例えば特許文献5参照)。ここで、ロール・ツー・ロール方式の有機EL素子の製造方法とは、ロール状に巻かれた基材を繰り出して基材上に発光素子(有機EL構造体)を形成し、当該発光素子を形成した基材を再度ロールに巻き取って有機EL素子を作製する製造方法を称する。ロール・ツー・ロール方式による製造は、連続生産が可能なので生産効率を向上させることができるというメリットを有する。   On the other hand, recently, an organic EL element using a flexible base material such as a resin film has also appeared due to expansion of the use of the organic EL element, etc., and by using such a flexible base material, a roll -Manufacture of the organic EL element of a two-roll system (it is also called "Roll to Roll system") has come to be performed (for example, refer patent document 5). Here, the roll-to-roll organic EL element manufacturing method refers to forming a light-emitting element (organic EL structure) on a base material rolled out in a roll shape, The manufacturing method which winds up the formed base material on a roll again and produces an organic EL element is called. Manufacturing by the roll-to-roll method has an advantage that production efficiency can be improved because continuous production is possible.

ロール・ツー・ロールで封止を行うと、ライン長が長くなるため、一旦ロール・ツー・ロール上で仮接着を行い、所望サイズに断裁した後、まとめて硬化させる手段が有効である。しかしながら、仮接着状態で断裁を行うと、基材(基板)と封止材との間で層間剥離を引き起こし、剥離部分からの酸素及び水分透過が進行し、所望の封止性能が得られないという問題がある。   When sealing is performed by roll-to-roll, the line length becomes long. Therefore, it is effective to temporarily perform temporary bonding on the roll-to-roll, cut to a desired size, and then cure them together. However, if cutting is performed in a temporarily bonded state, delamination occurs between the base material (substrate) and the sealing material, and oxygen and moisture permeation from the peeled portion proceeds, and the desired sealing performance cannot be obtained. There is a problem.

また、蒸着法等による発光素子の形成は、ほぼ真空に近い環境下でなされるので、ロール・ツー・ロール方式では、ほぼ真空に近い環境下で基材をロールから繰り出し、発光素子の形成を実施した後に再びロールに巻き取り、巻き取ったロールを水分や酸素による発光素子の劣化を防止するために不活性ガスを充填した容器に収容して、別ラインの封止工程に投入する方法が採られてきた。   In addition, since the formation of light emitting elements by vapor deposition or the like is performed in an environment close to vacuum, in the roll-to-roll method, the substrate is unwound from the roll in an environment close to vacuum to form the light emitting elements. After being carried out, it is wound around a roll again, and the wound roll is housed in a container filled with an inert gas to prevent deterioration of the light emitting element due to moisture or oxygen, and is put into a sealing process in another line. Have been taken.

しかしながら、巻き取ったロールを別ラインの封止工程に投入することは工程が煩雑となり、また、ロール搬送用の不活性ガスを充填した容器は、発光素子(有機EL構造体))を形成した環境を維持することが困難で、収容された基材の発光素子(有機EL構造体)が容器内に残存する水分や酸素による影響を受け、製品の品質低下や寿命に影響を与えることがあった。   However, putting the wound roll into a sealing process in another line makes the process complicated, and the container filled with an inert gas for carrying the roll formed a light emitting element (organic EL structure). It is difficult to maintain the environment, and the light-emitting element (organic EL structure) of the housed base material is affected by moisture and oxygen remaining in the container, which may affect the product quality degradation and life. It was.

一方、有機エレクトロニクス素子の一つである有機光電変換素子は、有機化合物の薄膜からなる発電層を電極で挟持した構成で、光を照射すると発電する素子である。従って、薄膜の有機光電変換素子を太陽電池として利用すると、小型化、軽量化が容易であるうえ、既存の無機半導体系の太陽電池に比べ、低照度環境や高温環境下でも比較的安定した出力を得られる太陽電池となる。   On the other hand, an organic photoelectric conversion element, which is one of organic electronics elements, is an element that generates electricity when irradiated with light in a configuration in which a power generation layer made of a thin film of an organic compound is sandwiched between electrodes. Therefore, if a thin-film organic photoelectric conversion element is used as a solar cell, it is easy to reduce the size and weight, and the output is relatively stable even in low-light and high-temperature environments compared to existing inorganic semiconductor solar cells. The solar cell can be obtained.

有機光電変換素子でも有機EL素子と同様に、水分・酸素などの影響で発電層中にキャリアトラップを形成し、電荷分離によって発生したキャリアの集電を阻害してしまう。結果として発電効率の低下をまねくだけでなく、素子寿命低下にも影響を及ぼすようになる。したがって、有機光電変換素子においても同様に、特許文献6で開示されるように、水分や酸素などのガス成分に対して、バリア性能を有する封止材を用いて性能を確保したりすることが検討されているが、上述した有機EL素子の場合と共通する問題がある。
特開2007−184397号公報 特開2007−83644号公報 特開2002−332567号公報 特開2005−4063号公報 国際公開第01/005194号パンフレット 特開2004−165512号公報
Similarly to the organic EL element, the organic photoelectric conversion element also forms a carrier trap in the power generation layer due to the influence of moisture, oxygen, and the like, thereby inhibiting the collection of carriers generated by charge separation. As a result, not only the power generation efficiency is lowered, but also the life of the element is affected. Therefore, in the organic photoelectric conversion element as well, as disclosed in Patent Document 6, performance can be secured by using a sealing material having barrier performance against gas components such as moisture and oxygen. Although being studied, there is a problem common to the case of the organic EL element described above.
JP 2007-18497A JP 2007-83644 A JP 2002-332567 A JP 2005-4063 A International Publication No. 01/005194 Pamphlet JP 2004-165512 A

本発明は、上記問題・状況に鑑みてなされたものであり、その解決課題は、状可撓性基材に設けられた有機エレクトロニクス素子をその単位ごとに(素子様に)断裁する際の基材と封止材との間に発生する層間剥離を抑制し、所望の封止性能が得られる有機エレクトロニクス素子の製造方法、製造装置、及び当該製造方法等によって製造した有機エレクトロニクス素子を提供することである。   The present invention has been made in view of the above-described problems and situations, and a solution to the problem is a basis for cutting an organic electronics element provided on a flexible substrate into a unit (element-like). To provide an organic electronic element manufacturing method, a manufacturing apparatus, and an organic electronic element manufactured by the manufacturing method, which can suppress delamination that occurs between a material and a sealing material and obtain desired sealing performance It is.

本発明に係る上記課題は、以下の手段により解決される。   The above-mentioned problem according to the present invention is solved by the following means.

1.少なくとも可撓性の基材、対向する一対の電極とそれらの間に挟持された有機層(以下「有機機能素子」という。)、及び封止材とで構成される有機エレクトロニクス素子の製造方法であって、前記基材上に有機機能素子を形成する工程の後に、(i)前記有機機能素子を覆うように前記基材上に封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止工程と、(ii)前記封止材を接着後、当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行うことで当該熱硬化型接着剤の断裁端部を硬化する断裁工程とを備えていることを特徴とする有機エレクトロニクス素子の製造方法。 1. A method for producing an organic electronic device comprising at least a flexible substrate, a pair of opposed electrodes, an organic layer sandwiched between them (hereinafter referred to as “organic functional device”), and a sealing material. And after the step of forming the organic functional element on the base material, (i) a sealing step of adhering a sealing material on the base material with a thermosetting adhesive so as to cover the organic functional element; And (ii) a cutting step of curing the cut end portion of the thermosetting adhesive by performing hot melt cutting after the sealing material is bonded and before the thermosetting adhesive is cured. A method for producing an organic electronics element, comprising:

2.前記熱溶融断裁の手段として、熱刃を用いることを特徴とする前記1に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法。   2. 2. The method of manufacturing an organic electronics element as described in 1 above, wherein a hot blade is used as the means for hot melt cutting.

3.前記熱刃は、ヒータと刃先温度を検出する検出手段とを備え、前記検出手段で検出された温度に対応して、前記ヒータに供給する熱エネルギーを制御することを特徴とする前記2に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法。   3. The heating blade includes a heater and detection means for detecting a blade edge temperature, and controls thermal energy supplied to the heater according to the temperature detected by the detection means. Manufacturing method of organic electronics element.

4.前記熱刃の刃先温度が、前記熱硬化型接着剤の熱硬化温度以上であることを特徴とする前記2又は3に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法。   4). 4. The method of manufacturing an organic electronic element according to 2 or 3, wherein a blade edge temperature of the hot blade is equal to or higher than a heat curing temperature of the thermosetting adhesive.

5.前記有機エレクトロニクス素子が、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする前記1から3のいずれか一項に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法。   5). 4. The method of manufacturing an organic electronics element according to any one of 1 to 3, wherein the organic electronics element is an organic electroluminescence element.

6.前記1から5のいずれか一項に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法を実施するための有機エレクトロニクス素子の製造装置であって、可撓性の基材上に有機機能素子を形成する工程の後に、(i)前記有機機能素子を覆うように前記基材上にロール状の封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止手段と、(ii)前記封止材を接着後、当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う断裁手段とを備えていることを特徴とする有機エレクトロニクス素子の製造装置。   6). It is an organic electronics element manufacturing apparatus for implementing the manufacturing method of the organic electronics element as described in any one of said 1-5, Comprising: After the process of forming an organic functional element on a flexible base material (I) a sealing means for bonding a roll-shaped sealing material on the base material with a thermosetting adhesive so as to cover the organic functional element; and (ii) the heat after the sealing material is bonded. An organic electronics element manufacturing apparatus, comprising: a cutting unit that performs hot-melt cutting before the curable adhesive is cured.

本発明の上記手段により、可撓性基材に設けられた有機エレクトロニクス素子をその単位ごとに(素子様に)断裁する際の基材と封止材との間に発生する層間剥離を抑制し、所望の封止性能が得られる有機エレクトロニクス素子の製造方法、製造装置、及び当該製造方法等によって製造した有機エレクトロニクス素子を提供することができる。   The above-described means of the present invention suppresses delamination that occurs between the base material and the sealing material when the organic electronic element provided on the flexible base material is cut for each unit (element-like). It is possible to provide an organic electronic device manufactured by an organic electronic device manufacturing method, a manufacturing apparatus, a manufacturing method, and the like that can obtain desired sealing performance.

すなわち、本発明の手段により、封止材の仮接着状態での断裁が可能となるため、有機エレクトロニクス素子の製造ラインを短縮することが可能である。接着剤を溶かしながら断裁することが可能なため、層間剥離を抑制することが可能であり、所望の封止性能を備えた有機エレクトロニクス素子を提供することが可能である。また、基材等から発生する断裁屑が溶融した接着剤に付着することで、断裁屑の飛散が抑制され、工程汚染及び製品への屑付着が低減される。さらに、断裁端部を本硬化前に硬化することが可能で、断裁後のハンドリング等が有利となる。   In other words, the means of the present invention enables cutting with the sealing material in a temporarily bonded state, and therefore the production line of the organic electronics element can be shortened. Since it is possible to cut while melting the adhesive, it is possible to suppress delamination and to provide an organic electronics element having a desired sealing performance. Moreover, since the cutting waste generated from the substrate or the like adheres to the melted adhesive, scattering of the cutting waste is suppressed, and process contamination and waste adhesion to the product are reduced. Furthermore, it is possible to cure the cut end portion before the main curing, and handling after cutting is advantageous.

また、本発明の有機エレクトロニクス素子の製造方法により、ガスバリア性が向上し、発光素子の発光効率半減寿命等の性能において優れている有機エレクトロニクス素子を提供することができる。   In addition, the organic electronic element manufacturing method of the present invention can provide an organic electronic element that has improved gas barrier properties and is excellent in performance such as the light emission efficiency half life of the light emitting element.

本発明の有機エレクトロニクス素子の製造方法は、少なくとも可撓性の基材、対向する一対の電極とそれらの間に挟持された有機層(以下「有機機能素子」という。)、及び封止材とで構成される有機エレクトロニクス素子の製造方法であって、前記基材上に有機機能素子を形成する工程の後に、(i)前記有機機能素子を覆うように前記基材上に封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止工程と、(ii)前記封止材を接着後、当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う断裁工程とを備えていることを特徴とする。この特徴は、請求項1〜7に係る発明に共通する技術的特徴である。なお、本願において、「有機機能素子」とは、少なくとも一対の電極及びそれらに挟持された有機層で構成される素子であって、発光、光電変換等の電子・電気的な機能を発現する基本部材的素子をいう。   The method for producing an organic electronic device of the present invention includes at least a flexible substrate, a pair of electrodes facing each other, an organic layer sandwiched between them (hereinafter referred to as “organic functional device”), and a sealing material. A method for producing an organic electronics element comprising: (i) applying a sealing material on the base material so as to cover the organic functional element after the step of forming the organic functional element on the base material; A sealing step of bonding with a curable adhesive; and (ii) a cutting step of performing hot-melt cutting after the sealing material is bonded and before the thermosetting adhesive is cured. To do. This feature is a technical feature common to the inventions according to claims 1 to 7. In the present application, the “organic functional element” is an element composed of at least a pair of electrodes and an organic layer sandwiched between them, and has a basic function of developing electronic and electrical functions such as light emission and photoelectric conversion. It refers to a component element.

本発明の実施態様としては、前記熱溶融断裁の手段として、熱刃を用いることが好ましい。この場合、当該熱刃は、ヒータと刃先温度を検出する検出手段とを備え、検出手段で検出された温度に対応して、ヒータに供給する熱エネルギーを制御することが好ましい。また、前記熱刃の刃先温度が、前記熱硬化型接着剤の熱硬化温度以上であることが好ましい。   As an embodiment of the present invention, it is preferable to use a hot blade as the means for hot melt cutting. In this case, it is preferable that the thermal blade includes a heater and a detection unit that detects the blade edge temperature, and controls the thermal energy supplied to the heater in accordance with the temperature detected by the detection unit. Moreover, it is preferable that the blade edge | tip temperature of the said thermal blade is more than the thermosetting temperature of the said thermosetting adhesive.

本発明の有機エレクトロニクス素子の製造方法は、特に、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法として好適に用いることができる。   In particular, the method for producing an organic electronic device of the present invention can be suitably used as a method for producing an organic electroluminescence device.

以上より、明らかなように、本発明の有機エレクトロニクス素子の製造方法を実施するための有機エレクトロニクス素子の製造装置としては、基材上に有機機能素子を形成する工程の後に、(i)前記有機(機能)素子を覆うように前記基材上にロール状の封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止手段と、(ii)前記封止材を接着後、当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う断裁手段とを備えている態様の製造装置であることが好ましい。   As is clear from the above, the organic electronic device manufacturing apparatus for carrying out the organic electronic device manufacturing method of the present invention includes (i) the organic device after the step of forming the organic functional device on the substrate. (Function) A sealing means for adhering a roll-shaped sealing material on the base material with a thermosetting adhesive so as to cover the element, and (ii) the thermosetting adhesive after the sealing material is bonded. It is preferable that it is a manufacturing apparatus of the aspect provided with the cutting means which performs a hot-melt cutting before hardening | curing.

本発明の有機エレクトロニクス素子の製造方法により製造された有機エレクトロニクス素子は、ガスバリア性が向上し、発光素子の発光効率半減寿命等の性能において優れている。   The organic electronic device manufactured by the method for manufacturing an organic electronic device of the present invention has improved gas barrier properties and is excellent in performance such as the light emission efficiency half life.

以下、本発明とその構成要素、及び本発明を実施するための最良の形態・態様について詳細な説明をする。   Hereinafter, the present invention, its components, and the best mode and mode for carrying out the present invention will be described in detail.

(有機エレクトロニクス素子の製造方法の概要)
本発明の有機エレクトロニクス素子の製造方法は、少なくとも可撓性の基材、対向する一対の電極間に挟持された有機層(以下「有機機能素子」という。)、及び封止材とで構成される有機エレクトロニクス素子の製造方法であって、前記基材上に有機機能素子を形成する工程の後に、下記の工程を具備していることを要する。
(i)有機機能素子を覆うように前記基材上に封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止工程
(ii)前記封止材を接着後、当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う熱断裁を行う断裁工程
なお、本発明の製造方法においては、上記工程(i)及び(ii)の前に、基材の洗浄工程、基材上に有機機能素子を形成する工程等を備えている態様であることが好ましい。
(Outline of manufacturing method of organic electronics element)
The method for producing an organic electronic device of the present invention comprises at least a flexible substrate, an organic layer sandwiched between a pair of opposing electrodes (hereinafter referred to as “organic functional device”), and a sealing material. It is a manufacturing method of the organic electronics element which comprises the following process after the process of forming an organic functional element on the said base material.
(I) A sealing step of adhering a sealing material on the base material with a thermosetting adhesive so as to cover the organic functional element (ii) After the sealing material is bonded, the thermosetting adhesive is cured. Cutting process in which heat cutting is performed before cutting In the manufacturing method of the present invention, before the above steps (i) and (ii), a substrate cleaning step, an organic functional element on the substrate It is preferable that it is an aspect provided with the process etc. of forming.

以下、有機エレクトロニクス素子の製造方法の典型的例として、有機EL素子の製造方法における工程ついて、適宜、図を参照して、説明する。   Hereinafter, as a typical example of a method for manufacturing an organic electronic element, steps in the method for manufacturing an organic EL element will be described with reference to the drawings as appropriate.

〈洗浄工程〉:ロール状に巻かれた基材を繰り出して、超音波洗浄槽に浸漬させて洗浄する等の湿式洗浄とプラズマ洗浄等の乾式洗浄を組み合わせた工程により基材の洗浄を行う工程である。   <Washing process>: A process of cleaning the substrate by a process that combines wet cleaning, such as rolling out the substrate wound in a roll and immersing it in an ultrasonic cleaning tank, and dry cleaning such as plasma cleaning. It is.

〈有機機能素子を形成する工程〉:蒸着法、インクジェット法、印刷法、塗布法等の周知の技術により基材上に電極、各種有機機能層等からなる発光素子を形成する工程である。図1に、有機EL素子の基本的構成を示す。図1(a)は、有機EL素子の全体の構成を示す模式図である。図1(b)は、当該有機EL素子の発光素子部分の構成を示す模式図である。有機EL素子を構成する各要素の詳細については後述する。   <Step of forming an organic functional element>: A step of forming a light emitting element composed of an electrode, various organic functional layers, and the like on a substrate by a known technique such as a vapor deposition method, an ink jet method, a printing method, or a coating method. FIG. 1 shows a basic configuration of the organic EL element. FIG. 1A is a schematic diagram showing the overall configuration of the organic EL element. FIG. 1B is a schematic diagram showing a configuration of a light emitting element portion of the organic EL element. Details of each element constituting the organic EL element will be described later.

〈基材供給工程〉:前記発光素子が設けられたロール状の基材を繰り出し供給する工程である。   <Substrate supply step>: A step of feeding and supplying a roll-shaped substrate provided with the light emitting element.

〈封止工程〉:前記発光素子を覆うように前記基材上にロール状の封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止工程である。封止材及び熱硬化型接着剤の詳細については後述する。   <Sealing process>: It is a sealing process in which a roll-shaped sealing material is adhered on the base material with a thermosetting adhesive so as to cover the light emitting element. Details of the sealing material and the thermosetting adhesive will be described later.

〈断裁工程〉:前記封止材を接着後、当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う断裁工程である。   <Cutting step>: A cutting step in which after the sealing material is bonded, the thermosetting adhesive is cut before the thermosetting adhesive is cured.

本発明の実施態様としては、前記熱溶融断裁の手段として、熱刃を用いることが好ましい。この場合、当該熱刃は、ヒータと刃先温度を検出する検出手段とを備え、検出手段で検出された温度に対応して、ヒータに供給する熱エネルギーを制御することが好ましい。また、前記熱刃の刃先温度が、前記熱硬化型接着剤の熱硬化温度以上であることが好ましい。   As an embodiment of the present invention, it is preferable to use a hot blade as the means for hot melt cutting. In this case, it is preferable that the thermal blade includes a heater and a detection unit that detects the blade edge temperature, and controls the thermal energy supplied to the heater in accordance with the temperature detected by the detection unit. Moreover, it is preferable that the blade edge | tip temperature of the said thermal blade is more than the thermosetting temperature of the said thermosetting adhesive.

図2は、熱刃の一例を示す模式図である。なお、図2における穴4の内部に筒状ヒーターを入れて熱刃を加熱し、ロール状可撓性基材に設けられた有機EL素子をその単位ごとに所定の位置(箇所)を加熱溶融し断裁し所定のサイズ有機EL素子を得る。   FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an example of a hot blade. In addition, a cylindrical heater is put in the hole 4 in FIG. 2 and a hot blade is heated, and the organic EL element provided on the roll-shaped flexible substrate is heated and melted at a predetermined position (location) for each unit. Cutting is performed to obtain an organic EL element having a predetermined size.

図3及び図4は、基材上にロール状の封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止工程と当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う断裁工程の概念図である。   3 and 4 show a concept of a sealing process in which a roll-shaped sealing material is bonded on a base material with a thermosetting adhesive, and a cutting process in which hot-melt cutting is performed before the thermosetting adhesive is cured. FIG.

本発明においては、上記手段により、封止材の仮接着状態での断裁が可能となるため、有機EL素子の製造ラインを短縮することが可能である。また、接着剤を溶かしながら断裁することが可能なため、層間剥離を抑制することが可能であり、所望の封止性能を備えた提供することが可能である。また、基材等から発生する断裁屑が溶融した接着剤に付着することで、断裁屑の飛散が抑制され、工程汚染及び製品への屑付着が低減される。さらに、断裁端部を本硬化前に硬化することが可能で、断裁後のハンドリング等が有利となる。   In the present invention, it is possible to cut the sealing material in a temporarily bonded state by the above means, and therefore it is possible to shorten the production line of the organic EL element. Further, since it is possible to cut while melting the adhesive, it is possible to suppress delamination and to provide a desired sealing performance. Moreover, since the cutting waste generated from the substrate or the like adheres to the melted adhesive, scattering of the cutting waste is suppressed, and process contamination and waste adhesion to the product are reduced. Furthermore, it is possible to cure the cut end portion before the main curing, and handling after cutting is advantageous.

図5に、有機EL素子と封止材の基本的構成形態を示す。図5(a)従来タイプの形態を示す模式図であり、図5(b)は、本発明に係る形態を示す模式図である。   FIG. 5 shows a basic configuration form of the organic EL element and the sealing material. FIG. 5A is a schematic view showing a conventional type, and FIG. 5B is a schematic view showing a form according to the present invention.

従来タイプの構成では、封止材にアルミ缶を使っていたため、基板全体の厚さが厚くなってしまう。一般的に用いられているUV硬化型接着剤は、水分透過、酸素透過が不十分で、吸湿材が必要である。基板がガラスのため、シート単位での加工となり、生産性に劣る等の欠点がある。   In the conventional type configuration, since the aluminum can is used as the sealing material, the thickness of the entire substrate is increased. Generally used UV curable adhesives have insufficient moisture permeation and oxygen permeation and require a hygroscopic material. Since the substrate is made of glass, there are disadvantages such as processing in sheet units and inferior productivity.

本発明に係る構成形態では、例えば、基材として樹脂フィルム(PEN)を使い、水分透過、酸素透過に優れる。また、熱硬化型接着剤を用い、封止材をアルミ箔とすることで、ロール状での加工が可能となり、生産性に優れるばかりでなく基板全体の薄肉化が図れる等のメリットがある。   In the configuration according to the present invention, for example, a resin film (PEN) is used as a base material, and it is excellent in moisture permeation and oxygen permeation. In addition, by using a thermosetting adhesive and using an aluminum foil as the sealing material, it is possible to process in a roll shape, and there are advantages such as not only excellent productivity but also thinning of the entire substrate.

(有機EL素子の基本的構成)
有機EL素子の基本的層構成の好ましい具体例を以下に示す。
(i)基板/陽極/発光層/電子輸送層/陰極
(ii)基板/陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
(iii)基板/陽極/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極
(iv)基板/陽極/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層/陰極
(v)基板/陽極/陽極バッファー層/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層/陰極
ここで、発光層は、少なくとも発光色の異なる2種以上の発光材料を含有していることが好ましく、単層でも複数の発光層からなる発光層ユニットを形成していてもよい。また、正孔輸送層には正孔注入層、電子阻止層も含まれる。
(Basic configuration of organic EL element)
Preferred specific examples of the basic layer structure of the organic EL element are shown below.
(I) substrate / anode / light-emitting layer / electron transport layer / cathode (ii) substrate / anode / hole transport layer / light-emitting layer / electron transport layer / cathode (iii) substrate / anode / hole transport layer / light-emitting layer / Hole blocking layer / electron transport layer / cathode (iv) substrate / anode / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer / cathode (v) substrate / anode / anode buffer layer / Hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer / cathode Here, the light emitting layer preferably contains at least two kinds of light emitting materials having different emission colors. A light emitting layer unit composed of a plurality of light emitting layers may be formed. The hole transport layer also includes a hole injection layer and an electron blocking layer.

(基材:基板)
本発明に係る基材(以下、基板、基体、基盤、支持基板、支持体等ともいう。)としては、有機EL素子に可撓性(フレキシブル性)を与えることが可能な可撓性基材、例えば、樹脂フィルムを用いることを要する。但し、目的に応じて、部分的に、金属、ガラス、石英等を基材として用いることもできる。
(Base material: Substrate)
As a base material (hereinafter also referred to as a substrate, a base, a base, a support substrate, a support, etc.) according to the present invention, a flexible base material capable of imparting flexibility (flexibility) to an organic EL element. For example, it is necessary to use a resin film. However, a metal, glass, quartz or the like can be partially used as a substrate depending on the purpose.

樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類またはそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリルあるいはポリアリレート類、アートン(商品名JSR社製)あるいはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等を挙げられる。   Examples of the resin film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate (CAP), Cellulose esters such as cellulose acetate phthalate and cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether ketone, polyimide, polyether Sulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, polyether Examples include cycloolefin resins such as luimide, polyether ketone imide, polyamide, fluororesin, nylon, polymethyl methacrylate, acrylic or polyarylate, Arton (trade name, manufactured by JSR) or Apel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals). It is done.

樹脂フィルムの表面には、無機物、有機物の被膜またはその両者のハイブリッド皮膜が形成されていてもよく、JIS K 7129−1992に準拠した方法で測定された水蒸気透過度(40℃、90%RH)が0.01g/m・day・atm以下のバリア性フィルムであることが好ましく、更にはJIS K 7126−1992に準拠した方法で測定された酸素透過度(20℃、100%RH)が10−3g/m/day以下、水蒸気透過度が10−3g/m/day以下の高バリア性フィルムであることが好ましく、前記の水蒸気透過度、酸素透過度がいずれも10−5g/m/day以下であることが更に好ましい。 On the surface of the resin film, an inorganic film, an organic film, or a hybrid film of both may be formed. Is preferably a barrier film of 0.01 g / m 2 · day · atm or less, and further has an oxygen permeability (20 ° C., 100% RH) of 10 measured by a method according to JIS K 7126-1992. −3 g / m 2 / day or less and a water vapor transmission rate of 10 −3 g / m 2 / day or less are preferable, and both the water vapor transmission rate and the oxygen transmission rate are 10 −5. More preferably, it is g / m 2 / day or less.

バリア膜を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等を用いることができる。更に当該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。   As a material for forming the barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing entry of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Furthermore, in order to improve the brittleness of the film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and organic material layers. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times.

バリア膜の形成方法については特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることができるが、特開2004−68143号公報に記載されているような大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   The method for forming the barrier film is not particularly limited. For example, vacuum deposition, sputtering, reactive sputtering, molecular beam epitaxy, cluster ion beam, ion plating, plasma polymerization, atmospheric pressure plasma polymerization A plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method as described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.

(電極)
本発明に係る有機素子においては、少なくとも第1電極と第2電極とを有する。通常は、一方が陽極、他方が陰極で構成される。以下に好ましい陽極、及び陰極の構成について述べる。
(electrode)
The organic element according to the present invention has at least a first electrode and a second electrode. Usually, one is an anode and the other is a cathode. The preferred anode and cathode configurations are described below.

《陽極》
有機EL素子における陽極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。このような電極物質の具体例としてはAu等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO、ZnO等の導電性光透過性材料が挙げられる。また、IDIXO(In−ZnO)等非晶質で光透過性の導電膜を作製可能な材料を用いてもよい。陽極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により、薄膜を形成させ、フォトリソグラフィー法で所望の形状のパターンを形成してもよく、あるいはパターン精度をあまり必要としない場合は(100μm以上程度)、上記電極物質の蒸着やスパッタリング時に所望の形状のマスクを介してパターンを形成してもよい。あるいは、有機導電性化合物のように塗布可能な物質を用いる場合には、印刷方式、コーティング方式等湿式製膜法を用いることもできる。陽極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。更に膜厚は材料にもよるが、通常10〜1000nm、好ましくは10〜200nmの範囲で選ばれる。
"anode"
As the anode in the organic EL element, an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function (4 eV or more) is preferably used. Specific examples of such an electrode material include metals such as Au, and conductive light transmissive materials such as CuI, indium tin oxide (ITO), SnO 2 , and ZnO. Alternatively, a material such as IDIXO (In 2 O 3 —ZnO) that can form an amorphous light-transmitting conductive film may be used. For the anode, these electrode materials may be formed into a thin film by a method such as vapor deposition or sputtering, and a pattern having a desired shape may be formed by a photolithography method. ), A pattern may be formed through a mask having a desired shape when the electrode material is deposited or sputtered. Or when using the substance which can be apply | coated like an organic electroconductivity compound, wet film forming methods, such as a printing system and a coating system, can also be used. The sheet resistance as the anode is preferably several hundred Ω / □ or less. Further, although the film thickness depends on the material, it is usually selected in the range of 10 to 1000 nm, preferably 10 to 200 nm.

《陰極》
一方、陰極としては、仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。このような電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。
"cathode"
On the other hand, as the cathode, a material having a low work function (4 eV or less) metal (referred to as an electron injecting metal), an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof as an electrode material is used. Specific examples of such electrode materials include sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) Mixtures, indium, lithium / aluminum mixtures, rare earth metals and the like.

これらの中で、電子注入性及び酸化等に対する耐久性の点から、電子注入性金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。陰極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することができる。また、陰極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50〜200nmの範囲で選ばれる。 Among these, from the point of durability against electron injection and oxidation, etc., a mixture of an electron injecting metal and a second metal which is a stable metal having a larger work function than this, for example, a magnesium / silver mixture, Magnesium / aluminum mixtures, magnesium / indium mixtures, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixtures, lithium / aluminum mixtures, aluminum and the like are preferred. The cathode can be produced by forming a thin film of these electrode materials by a method such as vapor deposition or sputtering. The sheet resistance as the cathode is preferably several hundred Ω / □ or less, and the film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 to 200 nm.

なお、発光した光を透過させるため、有機EL素子の陽極または陰極のいずれか一方は、光透過性となるよう構成される。   In order to transmit the emitted light, either the anode or the cathode of the organic EL element is configured to be light transmissive.

《発光層》
本発明に係る発光層は、電極または電子輸送層、正孔輸送層から注入されてくる電子及び正孔が再結合して発光する層であり、発光する部分は発光層の層内であっても発光層と隣接層との界面であってもよい。
<Light emitting layer>
The light emitting layer according to the present invention is a layer that emits light by recombination of electrons and holes injected from the electrode, the electron transport layer, or the hole transport layer, and the light emitting portion is in the layer of the light emitting layer. May be the interface between the light emitting layer and the adjacent layer.

本発明に係る発光層は、含まれる発光材料が前記要件を満たしていれば、その構成には特に制限はない。   The light emitting layer according to the present invention is not particularly limited in its configuration as long as the contained light emitting material satisfies the above requirements.

また、同一の発光スペクトルや発光極大波長を有する層が複数層あってもよい。   Moreover, there may be a plurality of layers having the same emission spectrum and emission maximum wavelength.

各発光層間には非発光性の中間層を有していることが好ましい。   It is preferable to have a non-light emitting intermediate layer between each light emitting layer.

本発明における発光層の膜厚の総和は1〜100nmの範囲にあることが好ましく、更に好ましくは、より低い駆動電圧を得ることができることから30nm以下である。なお、本発明でいうところの発光層の膜厚の総和とは、発光層間に非発光性の中間層が存在する場合には、当該中間層も含む膜厚である。   The total thickness of the light emitting layers in the present invention is preferably in the range of 1 to 100 nm, and more preferably 30 nm or less because a lower driving voltage can be obtained. In addition, the sum total of the film thickness of the light emitting layer as used in the field of this invention is a film thickness also including the said intermediate | middle layer, when a nonluminous intermediate | middle layer exists between light emitting layers.

個々の発光層の膜厚としては1〜50nmの範囲に調整することが好ましく、更に好ましくは1〜20nmの範囲に調整することである。青、緑、赤の各発光層の膜厚の関係については、特に制限はない。   The thickness of each light emitting layer is preferably adjusted to a range of 1 to 50 nm, more preferably adjusted to a range of 1 to 20 nm. There is no particular limitation on the relationship between the film thicknesses of the blue, green and red light emitting layers.

発光層の作製には、後述する発光材料やホスト化合物を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、LB法、インクジェット法等の公知の薄膜化法により製膜して形成することができる。   For the production of the light emitting layer, a light emitting material or a host compound, which will be described later, is formed by forming a film by a known thinning method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, an LB method, an ink jet method, or the like. it can.

本発明においては、各発光層には複数の発光材料を混合してもよく、また燐光発光材料と蛍光発光材料を同一発光層中に混合して用いてもよい。   In the present invention, a plurality of light emitting materials may be mixed in each light emitting layer, and a phosphorescent light emitting material and a fluorescent light emitting material may be mixed and used in the same light emitting layer.

本発明においては、発光層の構成として、ホスト化合物、発光材料(発光ドーパント化合物ともいう)を含有し、発光材料より発光させることが好ましい。   In the present invention, the structure of the light-emitting layer preferably contains a host compound and a light-emitting material (also referred to as a light-emitting dopant compound) and emits light from the light-emitting material.

本発明に係る有機EL素子の発光層に含有されるホスト化合物としては、室温(25℃)における燐光発光の燐光量子収率が0.1未満の化合物が好ましい。更に好ましくは燐光量子収率が0.01未満である。また、発光層に含有される化合物の中で、その層中での体積比が50%以上であることが好ましい。   As the host compound contained in the light emitting layer of the organic EL device according to the present invention, a compound having a phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission at room temperature (25 ° C.) of less than 0.1 is preferable. More preferably, the phosphorescence quantum yield is less than 0.01. Moreover, it is preferable that the volume ratio in the layer is 50% or more among the compounds contained in a light emitting layer.

ホスト化合物としては、公知のホスト化合物を単独で用いてもよく、または複数種併用して用いてもよい。ホスト化合物を複数種用いることで、電荷の移動を調整することが可能であり、有機EL素子を高効率化することができる。また、後述する発光材料を複数種用いることで異なる発光を混ぜることが可能となり、これにより任意の発光色を得ることができる。   As the host compound, known host compounds may be used alone or in combination of two or more. By using a plurality of types of host compounds, it is possible to adjust the movement of charges, and the organic EL element can be made highly efficient. Moreover, it becomes possible to mix different light emission by using multiple types of luminescent material mentioned later, and can thereby obtain arbitrary luminescent colors.

本発明に用いられるホスト化合物としては、従来公知の低分子化合物でも、繰り返し単位をもつ高分子化合物でもよく、ビニル基やエポキシ基のような重合性基を有する低分子化合物(蒸着重合性発光ホスト)でもいい。   The host compound used in the present invention may be a conventionally known low molecular compound or a high molecular compound having a repeating unit, and a low molecular compound having a polymerizable group such as a vinyl group or an epoxy group (evaporation polymerizable light emitting host). )But it is good.

公知のホスト化合物としては、正孔輸送能、電子輸送能を有しつつ、且つ発光の長波長化を防ぎ、なお且つ高Tg(ガラス転移温度)である化合物が好ましい。ここで、ガラス転移点(Tg)とは、DSC(Differential Scanning Colorimetry:示差走査熱量法)を用いて、JIS−K−7121に準拠した方法により求められる値である。   As the known host compound, a compound that has a hole transporting ability and an electron transporting ability, prevents the emission of light from being increased in wavelength, and has a high Tg (glass transition temperature) is preferable. Here, the glass transition point (Tg) is a value obtained by a method based on JIS-K-7121 using DSC (Differential Scanning Colorimetry).

公知のホスト化合物の具体例としては、以下の文献に記載されている化合物が挙げられる。例えば、特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報等が挙げられる。   Specific examples of known host compounds include compounds described in the following documents. For example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, 2002-334786, 2002-8860 Gazette, 2002-334787 gazette, 2002-15871 gazette, 2002-334788 gazette, 2002-43056 gazette, 2002-334789 gazette, 2002-75645 gazette, 2002-338579 gazette. No. 2002-105445, No. 2002-343568, No. 2002-141173, No. 2002-352957, No. 2002-203683, No. 2002-363227, No. 2002-231453. No. 2003-3165, No. 2002-234888, No. 2003-27048, No. 2002-255934, No. 2002-286061, No. 2002-280183, No. 2002-299060. 2002-302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837, and the like.

次に、発光材料について説明する。   Next, the light emitting material will be described.

本発明に係る発光材料としては、蛍光性化合物、燐光発光材料(燐光性化合物、燐光発光性化合物等ともいう)を用いる。   As the light-emitting material according to the present invention, a fluorescent compound or a phosphorescent material (also referred to as a phosphorescent compound or a phosphorescent compound) is used.

本発明において、燐光発光材料とは励起三重項からの発光が観測される化合物であり、具体的には室温(25℃)にて燐光発光する化合物であり、燐光量子収率が25℃において0.01以上の化合物であると定義されるが、好ましい燐光量子収率は0.1以上である。   In the present invention, a phosphorescent material is a compound in which light emission from an excited triplet is observed. Specifically, it is a compound that emits phosphorescence at room temperature (25 ° C.), and the phosphorescence quantum yield is 0 at 25 ° C. A preferred phosphorescence quantum yield is 0.1 or more, although it is defined as 0.01 or more compounds.

上記燐光量子収率は第4版実験化学講座7の分光IIの398頁(1992年版、丸善)に記載の方法により測定できる。溶液中での燐光量子収率は種々の溶媒を用いて測定できるが、本発明において燐光発光材料を用いる場合、任意の溶媒のいずれかにおいて上記燐光量子収率(0.01以上)が達成されればよい。   The phosphorescent quantum yield can be measured by the method described in Spectroscopic II, page 398 (1992 edition, Maruzen) of Experimental Chemistry Course 4 of the 4th edition. The phosphorescence quantum yield in a solution can be measured using various solvents. However, when a phosphorescent material is used in the present invention, the phosphorescence quantum yield (0.01 or more) is achieved in any solvent. Just do it.

燐光発光材料の発光は原理としては2種挙げられ、一つはキャリアが輸送されるホスト化合物上でキャリアの再結合が起こってホスト化合物の励起状態が生成し、このエネルギーを燐光発光材料に移動させることで燐光発光材料からの発光を得るというエネルギー移動型、もう一つは燐光発光材料がキャリアトラップとなり、燐光発光材料上でキャリアの再結合が起こり燐光発光材料からの発光が得られるというキャリアトラップ型であるが、いずれの場合においても、燐光発光材料の励起状態のエネルギーはホスト化合物の励起状態のエネルギーよりも低いことが条件である。   There are two types of light emission of the phosphorescent material. In principle, the carrier recombination occurs on the host compound to which the carrier is transported to generate an excited state of the host compound, and this energy is transferred to the phosphorescent material. Energy transfer type to obtain light emission from the phosphorescent light emitting material, and another one is that the phosphorescent light emitting material becomes a carrier trap, and recombination of carriers occurs on the phosphorescent light emitting material, and light emission from the phosphorescent light emitting material is obtained. Although it is a trap type, in any case, the excited state energy of the phosphorescent material is required to be lower than the excited state energy of the host compound.

燐光発光材料は、有機EL素子の発光層に使用される公知のものの中から適宜選択して用いることができるが、好ましくは元素の周期表で8〜10族の金属を含有する錯体系化合物であり、更に好ましくはイリジウム化合物、オスミウム化合物、または白金化合物(白金錯体系化合物)、希土類錯体であり、中でも最も好ましいのはイリジウム化合物である。   The phosphorescent light-emitting material can be appropriately selected from known materials used for the light-emitting layer of the organic EL element, and is preferably a complex compound containing a group 8-10 metal in the periodic table of elements. More preferably, an iridium compound, an osmium compound, or a platinum compound (platinum complex compound), or a rare earth complex, and most preferably an iridium compound.

以下に燐光発光材料として用いられる化合物の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されない。これらの化合物は、例えば、Inorg.Chem.40巻、1704〜1711に記載の方法等により合成できる。   Specific examples of the compound used as the phosphorescent material are shown below, but the present invention is not limited to these. These compounds are described, for example, in Inorg. Chem. 40, 1704-1711, and the like.

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本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子には、蛍光発光体を用いることもできる。蛍光発光体(蛍光性ドーパント)の代表例としては、クマリン系色素、ピラン系色素、シアニン系色素、クロコニウム系色素、スクアリウム系色素、オキソベンツアントラセン系色素、フルオレセイン系色素、ローダミン系色素、ピリリウム系色素、ペリレン系色素、スチルベン系色素、ポリチオフェン系色素、又は希土類錯体系蛍光体等が挙げられる。   A fluorescent substance can also be used for the organic electroluminescent element according to the present invention. Representative examples of fluorescent emitters (fluorescent dopants) include coumarin dyes, pyran dyes, cyanine dyes, croconium dyes, squalium dyes, oxobenzanthracene dyes, fluorescein dyes, rhodamine dyes, pyrylium dyes. Examples thereof include dyes, perylene dyes, stilbene dyes, polythiophene dyes, and rare earth complex phosphors.

また、従来公知のドーパントも本発明に用いることができ、例えば、国際公開第00/70655号パンフレット、特開2002−280178号公報、同2001−181616号公報、同2002−280179号公報、同2001−181617号公報、同2002−280180号公報、同2001−247859号公報、同2002−299060号公報、同2001−313178号公報、同2002−302671号公報、同2001−345183号公報、同2002−324679号公報、国際公開第02/15645号パンフレット、特開2002−332291号公報、同2002−50484号公報、同2002−332292号公報、同2002−83684号公報、特表2002−540572号公報、特開2002−117978号公報、同2002−338588号公報、同2002−170684号公報、同2002−352960号公報、国際公開第01/93642号パンフレット、特開2002−50483号公報、同2002−100476号公報、同2002−173674号公報、同2002−359082号公報、同2002−175884号公報、同2002−363552号公報、同2002−184582号公報、同2003−7469号公報、特表2002−525808号公報、特開2003−7471号公報、特表2002−525833号公報、特開2003−31366号公報、同2002−226495号公報、同2002−234894号公報、同2002−235076号公報、同2002−241751号公報、同2001−319779号公報、同2001−319780号公報、同2002−62824号公報、同2002−100474号公報、同2002−203679号公報、同2002−343572号公報、同2002−203678号公報等が挙げられる。   Conventionally known dopants can also be used in the present invention. For example, International Publication No. 00/70655 pamphlet, JP-A Nos. 2002-280178, 2001-181616, 2002-280179, 2001 181617, 2002-280180, 2001-247859, 2002-299060, 2001-313178, 2002-302671, 2001-345183, 2002. No. 324679, International Publication No. 02/15645, JP 2002-332291 A, 2002-50484, 2002-332292, 2002-83684, JP 2002-540572, JP 2 No. 02-117978, No. 2002-338588, No. 2002-170684, No. 2002-352960, Pamphlet of International Publication No. 01/93642, JP 2002-50483, No. 2002-1000047. No. 2002-173684, No. 2002-359082, No. 2002-17584, No. 2002-363552, No. 2002-184582, No. 2003-7469, No. 2002-525808. JP-A 2003-7471, JP-T 2002-525833, JP-A 2003-31366, JP-A 2002-226495, JP-A 2002-234894, JP-A 2002-2335076, JP-A 2002-24175 Gazette, 2001-319779, 2001-319780, 2002-62824, 2002-1000047, 2002-203679, 2002-343572, 2002-203678. A gazette etc. are mentioned.

本発明においては、少なくとも一つの発光層に2種以上の発光材料を含有していてもよく、発光層における発光材料の濃度比が発光層の厚さ方向で変化していてもよい。   In the present invention, at least one light emitting layer may contain two or more kinds of light emitting materials, and the concentration ratio of the light emitting materials in the light emitting layer may vary in the thickness direction of the light emitting layer.

《中間層》
本発明においては、各発光層間に非発光性の中間層(非ドープ領域等ともいう)を設けることも好ましい。
《Middle layer》
In the present invention, it is also preferable to provide a non-light emitting intermediate layer (also referred to as an undoped region) between the light emitting layers.

ここで、「非発光性の中間層」とは、複数の発光層を有する場合、その発光層間に設けられる層である。   Here, the “non-light emitting intermediate layer” is a layer provided between the light emitting layers when having a plurality of light emitting layers.

非発光性の中間層の膜厚としては1〜20nmの範囲にあるのが好ましく、更には3〜10nmの範囲にあることが隣接発光層間のエネルギー移動等相互作用を抑制し、且つ素子の電流電圧特性に大きな負荷を与えないということから好ましい。   The film thickness of the non-light emitting intermediate layer is preferably in the range of 1 to 20 nm, and further in the range of 3 to 10 nm suppresses interaction such as energy transfer between adjacent light emitting layers, and the current of the device This is preferable because a large load is not applied to the voltage characteristics.

この非発光性の中間層に用いられる材料としては、発光層のホスト化合物と同一でも異なっていてもよいが、隣接する2つの発光層の少なくとも一方の発光層のホスト材料と同一であることが好ましい。   The material used for the non-light emitting intermediate layer may be the same as or different from the host compound of the light emitting layer, but may be the same as the host material of at least one of the adjacent light emitting layers. preferable.

非発光性の中間層は非発光層、各発光層と共通の化合物(例えば、ホスト化合物等)を含有していてもよく、各々共通ホスト材料(ここで、共通ホスト材料が用いられるとは、燐光発光エネルギー、ガラス転移点等の物理化学的特性が同一である場合やホスト化合物の分子構造が同一である場合等を示す。)を含有することにより、発光層−非発光層間の層間の注入障壁が低減され、電圧(電流)を変化させても正孔と電子の注入バランスが保ちやすいという効果を得ることができる。更に、非ドープ発光層に各発光層に含まれるホスト化合物と同一の物理的特性または同一の分子構造を有するホスト材料を用いることにより、従来の有機EL素子作製の大きな問題点である素子作製の煩雑さをも併せて解消することができる。   The non-light-emitting intermediate layer may contain a non-light-emitting layer, a compound common to each light-emitting layer (for example, a host compound), and each common host material (where a common host material is used) In the case where the physicochemical characteristics such as phosphorescence emission energy and glass transition point are the same, or the molecular structure of the host compound is the same, etc.) The barrier is reduced, and the effect of easily maintaining the injection balance of holes and electrons even when the voltage (current) is changed can be obtained. Furthermore, by using a host material having the same physical characteristics or the same molecular structure as the host compound contained in each light-emitting layer in the undoped light-emitting layer, device fabrication, which is a major problem in conventional organic EL device fabrication, is achieved. Complexity can also be eliminated.

本発明で有機EL素子を用いる場合、ホスト材料はキャリアの輸送を担うため、キャリア輸送能を有する材料が好ましい。キャリア輸送能を表す物性としてキャリア移動度が用いられるが、有機材料のキャリア移動度は一般的に電界強度に依存性が見られる。電界強度依存性の高い材料は正孔と電子注入・輸送バランスを崩しやすいため、中間層材料、ホスト材料は移動度の電界強度依存性の少ない材料を用いることが好ましい。   When the organic EL device is used in the present invention, since the host material is responsible for carrier transport, a material having carrier transport capability is preferable. Carrier mobility is used as a physical property representing carrier transport ability, but the carrier mobility of an organic material generally depends on the electric field strength. Since a material having a high electric field strength dependency easily breaks the balance between injection and transport of holes and electrons, it is preferable to use a material having a low electric field strength dependency of mobility for the intermediate layer material and the host material.

また、一方では正孔や電子の注入バランスを最適に調整するためには、非発光性の中間層は後述する阻止層、即ち正孔阻止層、電子阻止層として機能することも好ましい態様として挙げられる。   On the other hand, in order to optimally adjust the injection balance of holes and electrons, it is also preferable that the non-light emitting intermediate layer functions as a blocking layer described later, that is, a hole blocking layer and an electron blocking layer. It is done.

《注入層:電子注入層、正孔注入層》
注入層は必要に応じて設け、電子注入層と正孔注入層があり、上記の如く陽極と発光層または正孔輸送層の間、及び陰極と発光層または電子輸送層との間に存在させてもよい。
<< Injection layer: electron injection layer, hole injection layer >>
The injection layer is provided as necessary, and there are an electron injection layer and a hole injection layer, and as described above, it exists between the anode and the light emitting layer or the hole transport layer and between the cathode and the light emitting layer or the electron transport layer. May be.

注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されており、正孔注入層(陽極バッファー層)と電子注入層(陰極バッファー層)とがある。   An injection layer is a layer provided between an electrode and an organic layer in order to reduce drive voltage and improve light emission luminance. “Organic EL element and its forefront of industrialization (issued by NTT Corporation on November 30, 1998) 2), Chapter 2, “Electrode Materials” (pages 123 to 166) in detail, and includes a hole injection layer (anode buffer layer) and an electron injection layer (cathode buffer layer).

陽極バッファー層(正孔注入層)は、特開平9−45479号公報、同9−260062号公報、同8−288069号公報等にもその詳細が記載されており、具体例として、銅フタロシアニンに代表されるフタロシアニンバッファー層、酸化バナジウムに代表される酸化物バッファー層、アモルファスカーボンバッファー層、ポリアニリン(エメラルディン)やポリチオフェン等の導電性高分子を用いた高分子バッファー層等が挙げられる。   The details of the anode buffer layer (hole injection layer) are described in JP-A-9-45479, JP-A-9-260062, JP-A-8-288069 and the like. As a specific example, copper phthalocyanine is used. Examples thereof include a phthalocyanine buffer layer represented by an oxide, an oxide buffer layer represented by vanadium oxide, an amorphous carbon buffer layer, and a polymer buffer layer using a conductive polymer such as polyaniline (emeraldine) or polythiophene.

陰極バッファー層(電子注入層)は、特開平6−325871号公報、同9−17574号公報、同10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的にはストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属バッファー層、フッ化リチウムに代表されるアルカリ金属化合物バッファー層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物バッファー層、酸化アルミニウムに代表される酸化物バッファー層等が挙げられる。上記バッファー層(注入層)はごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるがその膜厚は0.1nm〜5μmの範囲が好ましい。   The details of the cathode buffer layer (electron injection layer) are described in JP-A-6-325871, JP-A-9-17574, JP-A-10-74586, and the like. Specifically, strontium, aluminum, etc. Metal buffer layer typified by lithium, alkali metal compound buffer layer typified by lithium fluoride, alkaline earth metal compound buffer layer typified by magnesium fluoride, oxide buffer layer typified by aluminum oxide, etc. . The buffer layer (injection layer) is preferably a very thin film, and the film thickness is preferably in the range of 0.1 nm to 5 μm although it depends on the material.

《阻止層:正孔阻止層、電子阻止層》
阻止層は、上記の如く有機化合物薄膜の基本構成層の他に必要に応じて設けられるものである。例えば、特開平11−204258号公報、同11−204359号公報、及び「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の237頁等に記載されている正孔阻止(ホールブロック)層がある。
<Blocking layer: hole blocking layer, electron blocking layer>
The blocking layer is provided as necessary in addition to the basic constituent layer of the organic compound thin film as described above. For example, it is described in JP-A Nos. 11-204258, 11-204359, and “Organic EL elements and their forefront of industrialization” (issued by NTT, Inc. on November 30, 1998). There is a hole blocking (hole blocking) layer.

正孔阻止層とは、広い意味では、電子輸送層の機能を有し、電子を輸送する機能を有しつつ正孔を輸送する能力が著しく小さい正孔阻止材料からなり、電子を輸送しつつ正孔を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、後述する電子輸送層の構成を必要に応じて、本発明に係る正孔阻止層として用いることができる。正孔阻止層は、発光層に隣接して設けられていることが好ましい。   In a broad sense, the hole blocking layer has a function of an electron transport layer and is composed of a hole blocking material having a function of transporting electrons and having a remarkably small ability to transport holes, while transporting electrons. By blocking holes, the recombination probability of electrons and holes can be improved. Moreover, the structure of the electron carrying layer mentioned later can be used as a hole-blocking layer concerning this invention as needed. The hole blocking layer is preferably provided adjacent to the light emitting layer.

一方、電子阻止層とは、広い意味では、正孔輸送層の機能を有し、正孔を輸送する機能を有しつつ電子を輸送する能力が著しく小さい材料からなり、正孔を輸送しつつ電子を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、後述する正孔輸送層の構成を必要に応じて電子阻止層として用いることができる。本発明に係る正孔阻止層、電子輸送層の膜厚としては好ましくは3〜100nmであり、更に好ましくは5〜30nmである。   On the other hand, the electron blocking layer, in a broad sense, has a function of a hole transport layer, and is made of a material having a function of transporting holes while having a remarkably small ability to transport electrons, while transporting holes. By blocking electrons, the probability of recombination of electrons and holes can be improved. Moreover, the structure of the positive hole transport layer mentioned later can be used as an electron blocking layer as needed. The film thickness of the hole blocking layer and the electron transport layer according to the present invention is preferably 3 to 100 nm, and more preferably 5 to 30 nm.

《正孔輸送層》
正孔輸送層とは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層または複数層設けることができる。
《Hole transport layer》
The hole transport layer is made of a hole transport material having a function of transporting holes, and in a broad sense, a hole injection layer and an electron blocking layer are also included in the hole transport layer. The hole transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers.

正孔輸送材料としては、正孔の注入または輸送、電子の障壁性のいずれかを有するものであり、有機物、無機物のいずれであってもよい。例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、また導電性高分子オリゴマー、特にチオフェンオリゴマー等が挙げられる。   The hole transport material has any one of hole injection or transport and electron barrier properties, and may be either organic or inorganic. For example, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, Examples thereof include stilbene derivatives, silazane derivatives, aniline copolymers, and conductive polymer oligomers, particularly thiophene oligomers.

正孔輸送材料としては上記のものを使用することができるが、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。   The above-mentioned materials can be used as the hole transport material, but it is preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound.

芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾール、更には米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。   Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl; N, N'-diphenyl-N, N'- Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di-p-tolyl) Aminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-diphenyl-N, N ' − (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl; N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl; N, N, N-tri (p-tolyl) amine; 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; 3-methoxy-4′-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and also two of those described in US Pat. No. 5,061,569. Having a condensed aromatic ring in the molecule, for example, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD), JP-A-4-3086 4,4 ', 4 "-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine in which three triphenylamine units described in Japanese Patent No. 8 are linked in a starburst type ( MTDATA) and the like.

更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、またはこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。また、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することができる。   Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.

また、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002),p.139)に記載されているような所謂、p型正孔輸送材料を用いることもできる。本発明においては、より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。   JP-A-11-251067, J. Org. Huang et. al. A so-called p-type hole transport material described in a book (Applied Physics Letters 80 (2002), p. 139) can also be used. In the present invention, it is preferable to use these materials because a light-emitting element with higher efficiency can be obtained.

正孔輸送層は上記正孔輸送材料を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することができる。正孔輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。この正孔輸送層は上記材料の1種または2種以上からなる一層構造であってもよい。   The hole transport layer can be formed by thinning the hole transport material by a known method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, a printing method including an ink jet method, or an LB method. it can. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of a positive hole transport layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. The hole transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

また、不純物をドープしたp性の高い正孔輸送層を用いることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、特開2000−196140号公報、同2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。   Alternatively, a hole transport layer having a high p property doped with impurities can be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-2000-196140, 2001-102175, J.A. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like.

本発明においては、このようなp性の高い正孔輸送層を用いることが、より低消費電力の素子を作製することができるため好ましい。   In the present invention, it is preferable to use a hole transport layer having such a high p property because a device with lower power consumption can be produced.

《電子輸送層》
電子輸送層とは、電子を輸送する機能を有する材料からなり、広い意味で電子注入層、正孔阻止層も電子輸送層に含まれる。電子輸送層は単層または複数層設けることができる。
《Electron transport layer》
The electron transport layer is made of a material having a function of transporting electrons, and in a broad sense, an electron injection layer and a hole blocking layer are also included in the electron transport layer. The electron transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers.

従来、単層の電子輸送層、及び複数層とする場合は発光層に対して陰極側に隣接する電子輸送層に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよく、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることができ、例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体等が挙げられる。更に、上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送材料として用いることができる。更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、またはこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。   Conventionally, in the case of a single electron transport layer and a plurality of layers, an electron transport material (also serving as a hole blocking material) used for an electron transport layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side is injected from the cathode. As long as it has a function of transferring electrons to the light-emitting layer, any material can be selected and used from among conventionally known compounds. For example, nitro-substituted fluorene derivatives, diphenylquinone derivatives Thiopyrandioxide derivatives, carbodiimides, fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodimethane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives and the like. Furthermore, in the above oxadiazole derivative, a thiadiazole derivative in which the oxygen atom of the oxadiazole ring is substituted with a sulfur atom, and a quinoxaline derivative having a quinoxaline ring known as an electron withdrawing group can also be used as an electron transport material. Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.

また、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、GaまたはPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送材料として用いることができる。その他、メタルフリーもしくはメタルフタロシアニン、またはそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送材料として好ましく用いることができる。また、発光層の材料として例示したジスチリルピラジン誘導体も電子輸送材料として用いることができるし、正孔注入層、正孔輸送層と同様にn型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送材料として用いることができる。 In addition, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (Alq 3 ), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol) Aluminum, tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (Znq), etc., and the central metals of these metal complexes are In, Mg Metal complexes replaced with Cu, Ca, Sn, Ga, or Pb can also be used as electron transport materials. In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with an alkyl group or a sulfonic acid group can be preferably used as the electron transporting material. Further, the distyrylpyrazine derivatives exemplified as the material of the light emitting layer can also be used as the electron transport material, and inorganic semiconductors such as n-type-Si and n-type-SiC can be used as well as the hole injection layer and the hole transport layer. It can be used as an electron transport material.

電子輸送層は上記電子輸送材料を、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することができる。電子輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。電子輸送層は上記材料の1種または2種以上からなる一層構造であってもよい。   The electron transport layer can be formed by thinning the electron transport material by a known method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, a printing method including an ink jet method, or an LB method. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of an electron carrying layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. The electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

また、不純物をドープしたn性の高い電子輸送層を用いることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、同10−270172号公報、特開2000−196140号公報、同2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。   Further, an electron transport layer having a high n property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, 2001-102175, J.A. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like.

本発明においては、このようなn性の高い電子輸送層を用いることがより低消費電力の素子を作製することができるため好ましい。   In the present invention, it is preferable to use an electron transport layer having such a high n property because an element with lower power consumption can be manufactured.

《有機EL素子の作製方法》
本発明に係る有機EL素子の作製方法の一例として、陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極からなる有機EL素子の作製法について説明する。
<< Method for producing organic EL element >>
As an example of the method for producing an organic EL device according to the present invention, a method for producing an organic EL device comprising an anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode will be described. .

まず適当な支持基板上に所望の電極物質、例えば、陽極用物質からなる薄膜を1μm以下、好ましくは10〜200nmの膜厚になるように蒸着やスパッタリング等の方法により形成させ、陽極を作製する。次に、この上に有機EL素子材料である正孔注入層、正孔輸送層、発光層、正孔阻止層、電子輸送層の有機化合物薄膜を形成させる。   First, a thin film made of a desired electrode material, for example, a material for an anode is formed on a suitable support substrate by a method such as vapor deposition or sputtering so as to have a film thickness of 1 μm or less, preferably 10 to 200 nm to produce an anode. . Next, an organic compound thin film of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, a hole blocking layer, and an electron transport layer, which are organic EL element materials, is formed thereon.

この有機化合物薄膜の薄膜化の方法としては、前記の如く蒸着法、ウェットプロセス(スピンコート法、キャスト法、インクジェット法、印刷法)等があるが、均質な膜が得られやすく、且つピンホールが生成しにくい等の点から、真空蒸着法、スピンコート法、インクジェット法、印刷法が特に好ましい。更に層毎に異なる製膜法を適用してもよい。製膜に蒸着法を採用する場合、その蒸着条件は使用する化合物の種類等により異なるが、一般にボート加熱温度50〜450℃、真空度10−6〜10−2Pa、蒸着速度0.01〜50nm/秒、基板温度−50〜300℃、膜厚0.1nm〜5μm、好ましくは5〜200nmの範囲で適宜選ぶことが望ましい。 As a method for thinning the organic compound thin film, there are a vapor deposition method and a wet process (spin coating method, casting method, ink jet method, printing method) as described above, but it is easy to obtain a uniform film and a pinhole. From the point of being difficult to form, a vacuum deposition method, a spin coating method, an ink jet method, and a printing method are particularly preferable. Further, different film forming methods may be applied for each layer. When employing a vapor deposition method for film formation, the vapor deposition conditions vary depending on the type of compound used, but generally a boat heating temperature of 50 to 450 ° C., a degree of vacuum of 10 −6 to 10 −2 Pa, and a vapor deposition rate of 0.01 to It is desirable to select appropriately within the range of 50 nm / second, substrate temperature −50 to 300 ° C., film thickness 0.1 nm to 5 μm, preferably 5 to 200 nm.

これらの層を形成後、その上に陰極用物質からなる薄膜を1μm以下好ましくは50〜200nmの範囲の膜厚になるように、例えば、蒸着やスパッタリング等の方法により形成させ、陰極を設けることにより所望の有機EL素子が得られる。この有機EL素子の作製は、一回の真空引きで一貫して正孔注入層から陰極まで作製するのが好ましいが、途中で取り出して異なる製膜法を施しても構わない。その際、作業を乾燥不活性ガス雰囲気下で行う等の配慮が必要となる。   After these layers are formed, a thin film made of a cathode material is formed thereon by a method such as vapor deposition or sputtering so as to have a thickness of 1 μm or less, preferably in the range of 50 to 200 nm, and a cathode is provided. Thus, a desired organic EL element can be obtained. The organic EL element is preferably produced from the hole injection layer to the cathode consistently by a single evacuation, but may be taken out halfway and subjected to different film forming methods. At that time, it is necessary to consider that the work is performed in a dry inert gas atmosphere.

また作製順序を逆にして、陰極、電子注入層、電子輸送層、発光層、正孔輸送層、正孔注入層、陽極の順に作製することも可能である。このようにして得られた多色の液晶表示装置に直流電圧を印加する場合には、陽極を+、陰極を−の極性として電圧2〜40V程度を印加すると発光が観測できる。また交流電圧を印加してもよい。なお、印加する交流の波形は任意でよい。   In addition, it is also possible to reverse the production order and produce the cathode, the electron injection layer, the electron transport layer, the light emitting layer, the hole transport layer, the hole injection layer, and the anode in this order. When a DC voltage is applied to the multicolor liquid crystal display device thus obtained, light emission can be observed by applying a voltage of about 2 to 40 V with the positive polarity of the anode and the negative polarity of the cathode. An alternating voltage may be applied. The alternating current waveform to be applied may be arbitrary.

有機EL素子は空気よりも屈折率の高い(屈折率1.6〜2.1程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光のうち15〜20%程度の光しか取り出せないと一般的に言われている。これは、臨界角以上の角度θで界面(透明基板と空気との界面)に入射する光は全反射を起こし、素子外部に取り出すことができないことや、透明電極ないし発光層と透明基板との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として光が素子側面方向に逃げるためである。   An organic EL element generally emits light within a layer having a refractive index higher than that of air (refractive index of about 1.6 to 2.1) and can extract only about 15 to 20% of light generated in the light emitting layer. It has been said. This is because light incident on the interface (interface between the transparent substrate and air) at an angle θ greater than the critical angle causes total reflection and cannot be extracted outside the device, or between the transparent electrode or light emitting layer and the transparent substrate. This is because the light is totally reflected between the light and the light is guided through the transparent electrode or the light emitting layer, and as a result, the light escapes in the direction of the element side surface.

この光の取り出しの効率を向上させる手法としては、例えば、透明基板表面に凹凸を形成し、透明基板と空気界面での全反射を防ぐ方法(例えば、米国特許第4,774,435号明細書)、基板に集光性を持たせることにより効率を向上させる方法(例えば、特開昭63−314795号公報)、素子の側面等に反射面を形成する方法(例えば、特開平1−220394号公報)、基板と発光体の間に中間の屈折率を持つ平坦層を導入し、反射防止膜を形成する方法(例えば、特開昭62−172691号公報)、基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法(例えば、特開2001−202827号公報)、基板、透明電極層や発光層のいずれかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法(特開平11−283751号公報)等がある。   As a method for improving the light extraction efficiency, for example, a method of forming irregularities on the surface of the transparent substrate to prevent total reflection at the interface between the transparent substrate and the air (for example, US Pat. No. 4,774,435). ), A method of improving the efficiency by giving the substrate a light condensing property (for example, JP-A-63-314795), a method of forming a reflective surface on the side surface of the element (for example, JP-A-1-220394) Gazette), a method of forming an antireflection film by introducing a flat layer having an intermediate refractive index between the substrate and the light emitter (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-172691), and a substrate between the substrate and the light emitter. A method of introducing a flat layer having a lower refractive index than that (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-202827), a diffraction grating between any one of the substrate, the transparent electrode layer and the light emitting layer (including between the substrate and the outside). Method of forming There is 1-283751 JP), and the like.

本発明においては、これらの方法を本発明に係る発光素子と組み合わせて用いることができるが、基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法、あるいは基板、透明電極層や発光層のいずれかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法を好適に用いることができる。本発明はこれらの手段を組み合わせることにより、更に高輝度あるいは耐久性に優れた素子を得ることができる。   In the present invention, these methods can be used in combination with the light emitting device according to the present invention. However, a method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter, or a substrate, transparent A method of forming a diffraction grating between any layers of the electrode layer and the light emitting layer (including between the substrate and the outside) can be suitably used. In the present invention, by combining these means, it is possible to obtain an element having higher luminance or durability.

透明電極と透明基板の間に低屈折率の媒質を光の波長よりも長い厚さで形成すると、透明電極から出てきた光は、媒質の屈折率が低いほど外部への取り出し効率が高くなる。   When a medium with a low refractive index is formed between the transparent electrode and the transparent substrate with a thickness longer than the wavelength of light, the light extracted from the transparent electrode has a higher extraction efficiency to the outside as the refractive index of the medium is lower. .

低屈折率層としては、例えば、エアロゲル、多孔質シリカ、フッ化マグネシウム、フッ素系ポリマー等が挙げられる。透明基板の屈折率は一般に1.5〜1.7程度であるので、低屈折率層は屈折率がおよそ1.5以下であることが好ましい。また更に1.35以下であることが好ましい。   Examples of the low refractive index layer include aerogel, porous silica, magnesium fluoride, and a fluorine-based polymer. Since the refractive index of the transparent substrate is generally about 1.5 to 1.7, the low refractive index layer preferably has a refractive index of about 1.5 or less. Furthermore, it is preferable that it is 1.35 or less.

また、低屈折率媒質の厚さは媒質中の波長の2倍以上となるのが望ましい。これは、低屈折率媒質の厚さが光の波長程度になってエバネッセントで染み出した電磁波が基板内に入り込む膜厚になると、低屈折率層の効果が薄れるからである。   Further, the thickness of the low refractive index medium is preferably at least twice the wavelength in the medium. This is because the effect of the low refractive index layer is diminished when the thickness of the low refractive index medium becomes about the wavelength of light and the electromagnetic wave that has exuded by evanescent enters the substrate.

全反射を起こす界面またはいずれかの媒質中に回折格子を導入する方法は、光取り出し効率の向上効果が高いという特徴がある。この方法は回折格子が1次の回折や2次の回折といった、所謂ブラッグ回折により光の向きを屈折とは異なる特定の向きに変えることができる性質を利用して、発光層から発生した光のうち、層間での全反射等により外に出ることができない光をいずれかの層間もしくは媒質中(透明基板内や透明電極内)に回折格子を導入することで光を回折させ、光を外に取り出そうとするものである。   The method of introducing a diffraction grating into an interface or any medium that causes total reflection is characterized by a high effect of improving light extraction efficiency. This method uses the property that the diffraction grating can change the direction of light to a specific direction different from refraction by so-called Bragg diffraction, such as first-order diffraction and second-order diffraction. Among them, light that cannot be emitted due to total reflection between layers, etc. is diffracted by introducing a diffraction grating into any layer or medium (in a transparent substrate or transparent electrode), and the light is emitted outside. I want to take it out.

導入する回折格子は二次元的な周期屈折率を持っていることが望ましい。これは、発光層で発光する光はあらゆる方向にランダムに発生するので、ある方向にのみ周期的な屈折率分布を持っている一般的な1次元回折格子では、特定の方向に進む光しか回折されず、光の取り出し効率がさほど上がらない。しかしながら、屈折率分布を二次元的な分布にすることにより、あらゆる方向に進む光が回折され、光の取り出し効率が上がる。   It is desirable that the diffraction grating to be introduced has a two-dimensional periodic refractive index. This is because light emitted from the light-emitting layer is randomly generated in all directions, so in a general one-dimensional diffraction grating having a periodic refractive index distribution only in a certain direction, only light traveling in a specific direction is diffracted. The light extraction efficiency does not increase so much. However, by making the refractive index distribution a two-dimensional distribution, light traveling in all directions is diffracted, and light extraction efficiency is increased.

回折格子を導入する位置としては、前述のとおりいずれかの層間もしくは媒質中(透明基板内や透明電極内)でもよいが、光が発生する場所である有機発光層の近傍が望ましい。   The position where the diffraction grating is introduced may be in any one of the layers or in the medium (in the transparent substrate or the transparent electrode) as described above, but is preferably in the vicinity of the organic light emitting layer where light is generated.

このとき、回折格子の周期は媒質中の光の波長の約1/2〜3倍程度が好ましい。回折格子の配列は正方形のラチス状、三角形のラチス状、ハニカムラチス状等、2次元的に配列が繰り返されることが好ましい。   At this time, the period of the diffraction grating is preferably about 1/2 to 3 times the wavelength of light in the medium. The arrangement of the diffraction grating is preferably two-dimensionally repeated, such as a square lattice, a triangular lattice, or a honeycomb lattice.

本発明に係る発光素子は支持基板の光取出し側に、例えば、マイクロレンズアレイ上の構造を設けるように加工したり、あるいは所謂集光シートと組み合わせることにより特定方向、例えば、素子発光面に対し正面方向に集光することにより、特定方向上の輝度を高めることができる。   The light emitting device according to the present invention is processed on the light extraction side of the support substrate so as to provide, for example, a structure on a microlens array, or is combined with a so-called condensing sheet, for example, with respect to a specific direction, for example, the device light emitting surface. By condensing in the front direction, the luminance in a specific direction can be increased.

マイクロレンズアレイの例としては、基板の光取り出し側に一辺が30μmでその頂角が90度となるような四角錐を2次元に配列する。一辺は10〜100μmが好ましい。これより小さくなると回折の効果が発生して色付く、大きすぎると厚さが厚くなり好ましくない。   As an example of the microlens array, quadrangular pyramids having a side of 30 μm and an apex angle of 90 degrees are two-dimensionally arranged on the light extraction side of the substrate. One side is preferably 10 to 100 μm. If it becomes smaller than this, the effect of diffraction will generate | occur | produce and color, and if too large, thickness will become thick and is not preferable.

集光シートとしては、例えば、液晶表示装置のLEDバックライトで実用化されているものを用いることが可能である。このようなシートとして、例えば、住友スリーエム社製輝度上昇フィルム(BEF)等を用いることができる。プリズムシートの形状としては、例えば、基材に頂角90度、ピッチ50μmの△状のストライプが形成されたものであってもよいし、頂角が丸みを帯びた形状、ピッチをランダムに変化させた形状、その他の形状であってもよい。   As the condensing sheet, for example, a sheet that is put into practical use in an LED backlight of a liquid crystal display device can be used. As such a sheet, for example, a brightness enhancement film (BEF) manufactured by Sumitomo 3M Limited can be used. As the shape of the prism sheet, for example, the base material may be formed by forming a △ -shaped stripe having a vertex angle of 90 degrees and a pitch of 50 μm, or the vertex angle is rounded and the pitch is changed randomly. Other shapes may be used.

また、発光素子からの光放射角を制御するために光拡散板・フィルムを集光シートと併用してもよい。例えば、(株)きもと製拡散フィルム(ライトアップ)等を用いることができる。   Moreover, in order to control the light emission angle from a light emitting element, you may use together a light diffusing plate and a film with a condensing sheet. For example, a diffusion film (light-up) manufactured by Kimoto Co., Ltd. can be used.

本発明に係る発光素子を、光出射面垂直方向から見た発光素子の発光領域の一部が互いに重なる素子積層部をもつように複数配置して発光パネルを構成する際、素子積層部に粘着剤及び接着剤を用いることができる。   When a light-emitting panel is configured by arranging a plurality of light-emitting elements according to the present invention so that a part of the light-emitting area of the light-emitting element viewed from the light emitting surface vertical direction overlaps each other, Agents and adhesives can be used.

本発明における粘着剤とは、広く工業分野において、粘着剤、接着剤、或いは粘着材、接着材等の呼称で用いられる剤或いは材のうち、加圧により接着しその際に接着部分の硬化を伴わないものを意味する。   The pressure-sensitive adhesive in the present invention is widely used in the industrial field, and is bonded by pressurization among agents or materials used in designations such as pressure-sensitive adhesives, adhesives, pressure-sensitive adhesives, adhesives, etc. It means something that is not accompanied.

粘着剤及び接着剤の種類は特に限定されないが、光透過性にすぐれた粘着剤及び接着剤を用いることが好ましい。接着剤においては塗布し、貼り合わせた後に、種々の化学反応により高分子量体または架橋構造を形成する硬化型接着剤が好適に用いられる。本発明で用いることのできる粘着剤及び接着剤の具体例としては、例えば、ウレタン系、エポキシ系、水性高分子−イソシアネート系、アクリル系等の硬化型接着剤及び粘着剤、湿気硬化ウレタン接着剤、ポリエーテルメタクリレート型、エステル系メタクリレート型、酸化型ポリエーテルメタクリレート等の嫌気性粘着剤、シアノアクリレート系の瞬間接着剤、アクリレートとペルオキシド系の2液型瞬間接着剤等が挙げられる。   Although the kind of adhesive and adhesive is not specifically limited, It is preferable to use the adhesive and adhesive excellent in light transmittance. As the adhesive, a curable adhesive that forms a high molecular weight body or a crosslinked structure by various chemical reactions after being applied and bonded is suitably used. Specific examples of pressure-sensitive adhesives and adhesives that can be used in the present invention include, for example, urethane-based, epoxy-based, aqueous polymer-isocyanate-based, acrylic-based curable adhesives and pressure-sensitive adhesives, and moisture-cured urethane adhesives. And anaerobic pressure-sensitive adhesives such as polyether methacrylate type, ester type methacrylate type and oxidized type polyether methacrylate, cyanoacrylate type instantaneous adhesive, acrylate and peroxide type two liquid type instantaneous adhesive, and the like.

上記素子積層部への粘着剤層及び接着剤層の形成方法としては特に限定されず、一般的方法、例えば、グラビアコーター、マイクログラビアコーター、コンマコーター、バーコーター、スプレー塗布、インクジェット法等の方法が挙げられる。   The method for forming the pressure-sensitive adhesive layer and the adhesive layer on the element laminate is not particularly limited, and a general method such as a gravure coater, a micro gravure coater, a comma coater, a bar coater, a spray coating, an ink jet method, or the like. Is mentioned.

(封止材)
本発明に係る封止材は、有機EL素子を封止し、当該素子を温度変化、湿度、酸素、衝撃などの過酷な外部環境から守ためのものである。
(Encapsulant)
The sealing material according to the present invention seals an organic EL element and protects the element from a severe external environment such as temperature change, humidity, oxygen, and impact.

封止材としては、種々の公知のガスバリア性フィルムを用いることができる。例えば、包装材等に使用される公知のガスバリア性フィルム、例えば樹脂(プラスチック)フィルム上に酸化珪素や、酸化アルミニウムを蒸着したフィルム、緻密なセラミック層と、柔軟性を有する衝撃緩和ポリマー層を交互に積層した構成からなるガスバリア性フィルム等を封止材として用いることができる。   Various known gas barrier films can be used as the sealing material. For example, a known gas barrier film used for packaging materials, for example, a film in which silicon oxide or aluminum oxide is vapor-deposited on a resin (plastic) film, a dense ceramic layer, and a flexible impact relaxation polymer layer are alternately arranged. A gas barrier film or the like having a structure laminated on can be used as a sealing material.

また、特に、樹脂膜(ポリマー膜)をラミネートされた金属箔は、光取りだし側のガスバリア性フィルムとして用いることはできないが、低コストで、かつ透湿性の低い封止材料であり光取り出しを意図しない(透明性を要求されない)場合、封止材として好ましい。   In particular, a metal foil laminated with a resin film (polymer film) cannot be used as a gas barrier film on the light extraction side, but it is a low-cost and low moisture-permeable sealing material and is intended for light extraction. If not (transparency is not required), it is preferable as a sealing material.

本発明において、「金属箔」とは、スパッタや蒸着等で形成された金属薄膜や、導電性ペースト等の流動性電極材料から形成された導電膜と異なり、圧延等で形成された金属の箔またはフィルムを指す。   In the present invention, “metal foil” means a metal foil formed by rolling or the like, unlike a metal thin film formed by sputtering or vapor deposition, or a conductive film formed from a fluid electrode material such as a conductive paste. Or a film.

金属箔としては、金属の種類に特に限定はなく、例えば銅(Cu)箔、アルミニウム(Al)箔、金(Au)箔、黄銅箔、ニッケル(Ni)箔、チタン(Ti)箔、銅合金箔、ステンレス箔、スズ(Sn)箔、高ニッケル合金箔等が挙げられる。これらの各種の金属箔の中で特に好ましい金属箔としてはAl箔が挙げられる。   As metal foil, there is no limitation in particular in the kind of metal, for example, copper (Cu) foil, aluminum (Al) foil, gold (Au) foil, brass foil, nickel (Ni) foil, titanium (Ti) foil, copper alloy Examples thereof include foil, stainless steel foil, tin (Sn) foil, and high nickel alloy foil. Among these various metal foils, a particularly preferred metal foil is an Al foil.

金属箔の厚さは、バリア性(透湿度、酸素透過率)及びコストの観点から、6〜50μmが好ましい。   The thickness of the metal foil is preferably 6 to 50 μm from the viewpoints of barrier properties (moisture permeability, oxygen permeability) and cost.

樹脂フィルム(ポリマー膜)がラミネートされた金属箔において樹脂フィルムとしては、機能性包装材料の新展開(株式会社 東レリサーチセンター)に記載の各種材料を使用することが可能であり、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリアミド系樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体系樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体系樹脂、セロハン系樹脂、ビニロン系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂等が挙げられる。ポリプロピレン系樹脂、ナイロン系樹脂等の樹脂は、延伸されていてもよく、さらに塩化ビニリデン系樹脂をコートされていてもよい。また、ポリエチレン系樹脂は、低密度あるいは高密度のものも用いることができる。   As a resin film in a metal foil laminated with a resin film (polymer film), various materials described in the new development of functional packaging materials (Toray Research Center, Inc.) can be used. Resin, polypropylene resin, polyethylene terephthalate resin, polyamide resin, ethylene-vinyl alcohol copolymer resin, ethylene-vinyl acetate copolymer resin, acrylonitrile-butadiene copolymer resin, cellophane resin, vinylon resin, chloride Examples thereof include vinylidene resins. Resins such as polypropylene resins and nylon resins may be stretched and further coated with a vinylidene chloride resin. In addition, a polyethylene resin having a low density or a high density can be used.

上記の高分子材料の中で、ナイロン(Ny)、塩化ビニリデン(PVDC)をコートしたナイロン(KNy)、無延伸ポリプロピレン(CPP)、延伸ポリプロピレン(OPP)、PVDCをコートしたポリプロピレン(KOP)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、PVDCをコートしたセロハン(KPT)、ポリエチレン−ビニルアルコール共重合体(エバール)、低密度ポリエチレン(LDPE)、高密度ポリエチレン(HDPE)、線状低密度ポリエチレン(LLDPE)を用いることが好ましい。また、これら熱可塑性フィルムは、必要に応じて異種フィルムと共押し出しで作った多層フィルム、延伸角度を変えて張り合わせ積層した多層フィルム等も当然使用できる。さらに必要とする包装材料の物性を得るために使用するフィルムの密度、分子量分布を組み合わせて作ることも当然可能である。   Among the above polymer materials, nylon (Ny), nylon (KNy) coated with vinylidene chloride (PVDC), unstretched polypropylene (CPP), stretched polypropylene (OPP), polypropylene coated with PVDC (KOP), polyethylene Use terephthalate (PET), cellophane coated with PVDC (KPT), polyethylene-vinyl alcohol copolymer (Eval), low density polyethylene (LDPE), high density polyethylene (HDPE), linear low density polyethylene (LLDPE) Is preferred. As these thermoplastic films, a multilayer film formed by coextrusion with a different film, a multilayer film laminated by changing the stretching angle, and the like can be used as needed. Furthermore, it is naturally possible to combine the density and molecular weight distribution of the film used to obtain the required physical properties of the packaging material.

樹脂膜(ポリマー膜)の厚さは、一概には規定できないが、3〜400μmが好ましく、10〜200μmがより好ましく、10〜50μmがさらに好ましい。   The thickness of the resin film (polymer film) cannot be generally defined, but is preferably 3 to 400 μm, more preferably 10 to 200 μm, and still more preferably 10 to 50 μm.

金属箔の片面にポリマー膜をコーティング(ラミネート)する方法としては、一般に使用されているラミネート機を使用することができる。   As a method of coating (laminating) a polymer film on one side of a metal foil, a generally used laminating machine can be used.

ドライラミネート方式、ホットメルトラミネーション法やエクストルージョンラミネート法も使用できるがドライラミネート方式が好ましい。   A dry lamination method, a hot melt lamination method and an extrusion lamination method can also be used, but the dry lamination method is preferred.

接着剤としては、ポリウレタン系、ポリエステル系、エポキシ系、アクリル系等の接着剤を用いることができる。必要に応じて硬化剤を併用してもよい。   As the adhesive, polyurethane-based, polyester-based, epoxy-based, acrylic-based adhesives, and the like can be used. You may use a hardening | curing agent together as needed.

金属箔の片面が樹脂膜(ポリマー膜)でコーティングされたフィルムは、包装材用に市販されている。例えば、接着剤層/アルミフィルム9μm/ポリエチレンテレフタレート(PET)38μmの構成のドライラミネートフィルムが入手でき、これを用いて有機EL素子の陰極側の封止を行うこともできる。   A film in which one side of a metal foil is coated with a resin film (polymer film) is commercially available for packaging materials. For example, a dry laminate film having a configuration of adhesive layer / aluminum film 9 μm / polyethylene terephthalate (PET) 38 μm can be obtained, and the cathode side of the organic EL element can be sealed using this.

また、封止材(フィルム)としては、金属箔の片面が樹脂膜(ポリマー膜)でコーティングされたフィルムの、樹脂膜(ポリマー膜)と反対側の金属箔上に、セラミック膜を形成して用いることも好ましい。   Moreover, as the sealing material (film), a ceramic film is formed on the metal foil on the opposite side of the resin film (polymer film) of the film in which one side of the metal foil is coated with the resin film (polymer film). It is also preferable to use it.

後述するが、2つのフィルムの封止方法としては、例えば、一般に使用されるインパルスシーラー熱融着性の樹脂膜(層)をラミネートして、インパルスシーラーで融着させ、封止する方法が好ましい。   As will be described later, as a method for sealing the two films, for example, a method of laminating a commonly used impulse sealer heat-fusible resin film (layer), fusing with an impulse sealer, and sealing is preferable. .

本発明において、封止材(フィルム)のガスバリア性は、酸素透過度10−3g/m/day以下、水蒸気透過度10−3g/m/day以下のものであることが好ましい。また、前記の水蒸気透過度、酸素透過度がいずれも10−5g/m/day以下であることが更に好ましい。 In the present invention, the gas barrier properties of the sealing material (film) are preferably those having an oxygen permeability of 10 −3 g / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 10 −3 g / m 2 / day or less. The water vapor permeability and oxygen permeability are more preferably 10 −5 g / m 2 / day or less.

(接着剤等)
封止材を接着するための接着剤としては、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する熱硬化型接着剤等を挙げることができる。市販品としては、スリーボンド1152、1153等を使用することができる。
(Adhesive etc.)
Examples of the adhesive for adhering the sealing material include a thermosetting adhesive having a reactive vinyl group of an acrylic acid oligomer or a methacrylic acid oligomer. As commercial products, ThreeBond 1152, 1153 and the like can be used.

なお、有機EL素子が熱処理により劣化する場合があるので、室温から100℃までに接着硬化できるものが好ましい。また、前記接着剤中に乾燥剤を分散させておいてもよい。封止部分への接着剤の塗布は、市販のディスペンサーを使ってもよいし、スクリーン印刷のように印刷してもよい。   In addition, since an organic EL element may deteriorate by heat processing, what can be adhesive-hardened from room temperature to 100 degreeC is preferable. A desiccant may be dispersed in the adhesive. Application | coating of the adhesive agent to a sealing part may use commercially available dispenser, and may print it like screen printing.

また、有機層を挟み支持基板と対向する側の電極の外側に、当該電極と有機層を被覆し、支持基板と接する形で無機物、有機物の層を形成し封止膜とすることも好適にできる。この場合、当該膜を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等を用いることができる。更に当該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造をもたせることが好ましい。これらの膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることができる。   In addition, it is also preferable to coat the electrode and the organic layer on the outside of the electrode facing the support substrate with the organic layer interposed therebetween, and form an inorganic or organic layer in contact with the support substrate to form a sealing film. it can. In this case, the material for forming the film may be any material that has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like may be used. it can. Furthermore, in order to improve the brittleness of the film, it is preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. The method for forming these films is not particularly limited. For example, vacuum deposition method, sputtering method, reactive sputtering method, molecular beam epitaxy method, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma A polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used.

封止材と有機EL素子の表示領域との間隙には、気相及び液相では窒素、アルゴン等の不活性気体やフッ化炭化水素、シリコンオイルのような不活性液体を注入することが好ましい。また、真空とすることも可能である。また、内部に吸湿性化合物を封入することもできる。   In the gap between the sealing material and the display area of the organic EL element, it is preferable to inject an inert gas such as nitrogen or argon, or an inert liquid such as fluorinated hydrocarbon or silicon oil in the gas phase and the liquid phase. . A vacuum can also be used. Moreover, a hygroscopic compound can also be enclosed inside.

吸湿性化合物としては、例えば、金属酸化物(例えば、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム等)、硫酸塩(例えば、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸コバルト等)、金属ハロゲン化物(例えば、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化セシウム、フッ化タンタル、臭化セリウム、臭化マグネシウム、沃化バリウム、沃化マグネシウム等)、過塩素酸類(例えば、過塩素酸バリウム、過塩素酸マグネシウム等)等が挙げられ、硫酸塩、金属ハロゲン化物及び過塩素酸類においては無水塩が好適に用いられる。   Examples of the hygroscopic compound include metal oxides (for example, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, barium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide) and sulfates (for example, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, cobalt sulfate). Etc.), metal halides (eg calcium chloride, magnesium chloride, cesium fluoride, tantalum fluoride, cerium bromide, magnesium bromide, barium iodide, magnesium iodide etc.), perchloric acids (eg perchloric acid) Barium, magnesium perchlorate, and the like), and anhydrous salts are preferably used in sulfates, metal halides, and perchloric acids.

〔有機EL素子の封止〕
本発明では、基材上に透明導電膜を形成し、作製した有機EL素子用樹脂基材上に、有機EL素子を構成する各種機能層を形成した後、不活性ガスによりパージされた環境下で、上記封止材で陰極面を覆うようにして、有機EL素子を封止することができる。
[Encapsulation of organic EL elements]
In the present invention, a transparent conductive film is formed on a substrate, and various functional layers constituting the organic EL element are formed on the produced resin substrate for an organic EL element, and then purged with an inert gas. Thus, the organic EL element can be sealed so as to cover the cathode surface with the sealing material.

不活性ガスとしては、Nの他、He、Ar等の希ガスが好ましく用いられるが、HeとArを混合した希ガスも好ましく、気体中に占める不活性ガスの割合は、90〜99.9体積%であることが好ましい。不活性ガスによりパージされた環境下で封止することにより、保存性が改良される。 As the inert gas, a rare gas such as He and Ar is preferably used in addition to N 2 , but a rare gas in which He and Ar are mixed is also preferable, and the ratio of the inert gas in the gas is 90 to 99.99. It is preferably 9% by volume. Preservability is improved by sealing in an environment purged with an inert gas.

また、前記の樹脂膜(ポリマー膜)がラミネートされた金属箔を用いて、有機EL素子を封止するにあたっては、ラミネートされた樹脂フィルム面ではなく、金属箔上にセラミック膜を形成し、このセラミック膜面を有機EL素子の陰極に貼り合わせることが好ましい。   In sealing an organic EL element using a metal foil laminated with the resin film (polymer film), a ceramic film is formed on the metal foil instead of the laminated resin film surface. The ceramic film surface is preferably bonded to the cathode of the organic EL element.

接着方法としてはドライラミネート方式が作業性の面で優れている。この方法は一般には1.0〜2.5μm程度の硬化性の接着剤層を使用する。好ましくは、接着剤量を乾燥膜厚で3〜5μmになるように調節することが好ましい。   As an adhesion method, the dry laminating method is excellent in terms of workability. This method generally uses a curable adhesive layer of about 1.0 to 2.5 μm. Preferably, the amount of adhesive is preferably adjusted to 3 to 5 μm in terms of dry film thickness.

なお、ホットメルト接着剤を溶融し基材に接着層を塗設する方法(ホットメルトラミネーと法)や高温で溶融した樹脂(LDPE、EVA、PP等)をダイスにより基材上に塗設する方法(エクストルージョンラミネート法)等も用いることも良い。   In addition, the method (hot melt laminating method) which melts a hot melt adhesive and coats an adhesive layer on a substrate, or a resin (LDPE, EVA, PP, etc.) melted at a high temperature is coated on the substrate by a die. A method (extrusion laminating method) or the like may also be used.

《保護膜、保護板》
有機層を挟み支持基板と対向する側の前記封止膜、あるいは前記封止用フィルムの外側に、素子の機械的強度を高めるために保護膜、あるいは保護板を設けてもよい。特に封止が前記封止膜により行われている場合には、その機械的強度は必ずしも高くないため、このような保護膜、保護板を設けることが好ましい。これに使用することができる材料としては、前記封止に用いたのと同様なガラス板、ポリマー板・フィルム、金属板・フィルム等を用いることができるが、軽量且つ薄膜化ということからポリマーフィルムを用いることが好ましい。
《Protective film, protective plate》
In order to increase the mechanical strength of the element, a protective film or a protective plate may be provided on the outer side of the sealing film on the side facing the support substrate with the organic layer interposed therebetween or on the sealing film. In particular, when the sealing is performed by the sealing film, the mechanical strength is not necessarily high, and thus it is preferable to provide such a protective film and a protective plate. As a material that can be used for this, the same glass plate, polymer plate / film, metal plate / film, and the like used for the sealing can be used, but the polymer film is light and thin. Is preferably used.

(有機EL素子の製造装置)
本発明に係る有機EL素子の製造装置及びそれを用いた製造方法(プロセス)の一例について、図6を参照して、説明する。
(Organic EL device manufacturing equipment)
An example of an organic EL element manufacturing apparatus and a manufacturing method (process) using the same according to the present invention will be described with reference to FIG.

図6は、帯状基材を使用し多層構造を有する有機EL素子を作製する製造装置及び製造プロセスの模式図である。尚、本図で示す製造装置の説明は、有機EL素子の一例として、帯状可撓性基材上にガスバリア層、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子注入層、第2電極、封止層の順番に形成されている照明用(面発光)有機EL素子の場合について行う。本図では、帯状可撓性基材上にガスバリア層、第1電極が既に形成されたものを使用するため、第1電極形成工程は省略してある。   FIG. 6 is a schematic diagram of a manufacturing apparatus and a manufacturing process for producing an organic EL element having a multilayer structure using a band-shaped substrate. In the description of the manufacturing apparatus shown in the figure, as an example of an organic EL element, a gas barrier layer, a first electrode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron injection layer, a second electrode, The case of the organic EL element for illumination (surface emitting) formed in the order of the sealing layers is performed. In this figure, since the gas barrier layer and the first electrode already formed on the belt-like flexible substrate are used, the first electrode forming step is omitted.

当該製造プロセスは、帯状基材の供給工程3′と、正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成工程4′と、発光層を形成する発光層形成工程5′と、第1回収工程6′と、電子注入層を形成する電子注入層形成工程7′と、第2電極を形成する第2電極形成工程8′と、封止層を形成する封止層形成工程9′と、第2回収工程10′とを有している。本図で示される製造プロセスは、供給工程3′〜発光層形成工程5′迄を連続して大気圧条件下で行い、大気圧条件下で一旦巻き取った後、電子注入層形成工程7′〜封止層形成工程9′迄を連続して減圧条件下で行う場合を示している。第2回収工程10′は大気圧条件下又は減圧条件下の何れに配設しても構わない。   The manufacturing process includes a strip-shaped substrate supplying step 3 ′, a hole transport layer forming step 4 ′ for forming a hole transport layer, a light emitting layer forming step 5 ′ for forming a light emitting layer, and a first recovery step 6. ', An electron injection layer forming step 7' for forming an electron injection layer, a second electrode forming step 8 'for forming a second electrode, a sealing layer forming step 9' for forming a sealing layer, And a recovery step 10 '. In the manufacturing process shown in this figure, the supply step 3 'to the light emitting layer formation step 5' are continuously performed under atmospheric pressure conditions, and after winding up under atmospheric pressure conditions, the electron injection layer formation step 7 'is performed. -The case where the sealing layer forming step 9 'is continuously performed under reduced pressure conditions is shown. The second recovery step 10 'may be arranged under either atmospheric pressure conditions or reduced pressure conditions.

供給工程3′は、繰り出し工程301′と表面処理工程302′とを有している。繰り出し工程301′では、少なくとも一つの有機EL素子を形成するのに使用されるガスバリア膜と第1電極を含む少なくとも一つ陽極層とがこの順番で既に形成された帯状基材301′b(帯状基材Aとする)が巻き芯に巻き取られロール状態で供給される様になっている。301′aは帯状基材301′bの元巻きロールを示す。表面処理工程302′は洗浄表面改質処理装置302′aと、第1帯電防止手段302′bとを有している。洗浄表面改質処理装置302′aは、正孔輸送層形成用塗布液を塗布する前に繰り出し工程301′から送られてきた帯状基材Aの第1電極(不図示)表面を洗浄改質するため、例えば、低圧水銀ランプ、エキシマランプ、プラズマ洗浄装置等を使用することが好ましい。低圧水銀ランプによる洗浄表面改質処理の条件としては、例えば、波長184.2nmの低圧水銀ランプを、照射強度5〜20mW/cmで、距離5〜15mmで照射し洗浄表
面改質処理を行う条件が挙げられる。プラズマ洗浄装置による洗浄表面改質処理の条件としては、例えば、大気圧プラズマが好適に使用される。洗浄条件としてはアルゴンガスに酸素1〜5体積%含有ガスを用い、周波数100KHz〜150MHz、電圧10V〜10KV、照射距離5〜20mmで洗浄表面改質処理を行う条件が挙げられる。
The supply process 3 ′ includes a feeding process 301 ′ and a surface treatment process 302 ′. In the feeding step 301 ′, a gas barrier film used to form at least one organic EL element and at least one anode layer including the first electrode are already formed in this order in a band-shaped substrate 301′b (band-shaped substrate 301′b). The base material A) is wound around a winding core and supplied in a roll state. 301'a shows the former winding roll of strip | belt-shaped base material 301'b. The surface treatment process 302 'includes a cleaning surface modification apparatus 302'a and a first antistatic means 302'b. The cleaning surface modification processing apparatus 302'a cleans and modifies the surface of the first electrode (not shown) of the belt-like substrate A sent from the feeding step 301 'before applying the hole transport layer forming coating solution. Therefore, for example, it is preferable to use a low-pressure mercury lamp, an excimer lamp, a plasma cleaning apparatus, or the like. As conditions for the cleaning surface modification treatment using a low-pressure mercury lamp, for example, a cleaning surface modification treatment is performed by irradiating a low-pressure mercury lamp with a wavelength of 184.2 nm at an irradiation intensity of 5 to 20 mW / cm 2 and a distance of 5 to 15 mm. Conditions are mentioned. For example, atmospheric pressure plasma is preferably used as the condition for the cleaning surface modification treatment by the plasma cleaning apparatus. Examples of the cleaning conditions include conditions in which a gas containing oxygen of 1 to 5% by volume is used for argon gas, and the cleaning surface modification treatment is performed at a frequency of 100 KHz to 150 MHz, a voltage of 10 V to 10 KV, and an irradiation distance of 5 to 20 mm.

第1帯電防止手段302′bは、非接触式除電防止装置302′b1と接触式除電防止装置302′b2とを有している。非接触式除電防止装置302′b1としては例えば、非接触式のイオナイザーが挙げられイオナイザーの種類については特に制限はなく、イオン発生方式はAC方式、DC方式どちらでも構わない。ACタイプ、ダブルDCタイプ、パルスACタイプ、軟X線タイプが用いることが出来るが、特に精密除電の観点から、ACタイプが好ましい。ACタイプの使用の際に必要となる噴射気体については、空気かNが用いられるが、十分に純度が高められたNで行うことが好ましい。又、インラインで行う観点より、ブロワータイプもしくはガンタイプより選ばれる。 The first antistatic means 302'b has a non-contact type static elimination preventing device 302'b1 and a contact type static elimination preventing device 302'b2. Examples of the non-contact type static elimination preventing device 302′b1 include a non-contact type ionizer, and the type of ionizer is not particularly limited, and the ion generation method may be either an AC method or a DC method. An AC type, a double DC type, a pulsed AC type, and a soft X-ray type can be used, but the AC type is particularly preferable from the viewpoint of precise static elimination. Air or N 2 is used as the injection gas required when using the AC type, but it is preferable to use N 2 with sufficiently high purity. From the viewpoint of in-line operation, the blower type or the gun type is selected.

接触式除電防止装置302′b2としては、除電ロール又はアース接続した導電性ブラシを用いて行われる。除電器としての除電ロールは、接地されており、除電された表面に回転自在に接触して表面電荷を除去する。この様な除電ロールとしては、アルミニウム、銅、ニッケル、ステンレス等の金属製ロールの他に、カーボンブラック、金属粉、金属繊維等の導電性材料を混合した弾性のあるプラスチックやゴム製のロールが使用される。特に、帯状可撓性連続シートとの接触をよくするため、弾性のあるものが好ましい。アース接続した導電性ブラシとは、一般には、線状に配列した導電性繊維からなるブラシ部材や線状金属製のブラシを有する除電バー又は除電糸構造のものを挙げることが出来る。除電バーについては、特に限定はないが、コロナ放電式のものが好ましく用いられ、例えば、キーエンス社製のSJ−Bが用いられる。除電糸についても、特に限定はないが、通常フレキシブルな糸状のものが好ましく用いることが出来る。   The contact type static elimination preventing device 302′b2 is performed using a static elimination roll or a conductive brush connected to the ground. The static elimination roll as the static eliminator is grounded and removes the surface charge by rotatingly contacting the neutralized surface. Such static elimination rolls include rolls made of elastic plastic or rubber mixed with conductive materials such as carbon black, metal powder, and metal fibers in addition to rolls made of metal such as aluminum, copper, nickel, and stainless steel. used. In particular, an elastic material is preferable in order to improve contact with the belt-like flexible continuous sheet. Examples of the conductive brush connected to the earth include a neutralizing bar or a neutralizing yarn structure having a brush member made of conductive fibers arranged in a line or a linear metal brush. The neutralization bar is not particularly limited, but a corona discharge type is preferably used. For example, SJ-B manufactured by Keyence Corporation is used. The neutralizing yarn is not particularly limited, but usually a flexible yarn can be preferably used.

非接触式帯電防止装置302′b1は帯状可撓性基材Aの第1電極面側に使用し、接触式帯電防止装置302′b2は帯状可撓性基材Aの裏面側に使用することが好ましい。第1帯電防止手段により基材の帯電除去が図られ、ゴミの付着や絶縁破壊が防止されるため、素子の歩留まりの向上が図られる。   The non-contact type antistatic device 302′b1 is used on the first electrode surface side of the belt-like flexible substrate A, and the contact-type antistatic device 302′b2 is used on the back surface side of the belt-like flexible substrate A. Is preferred. The first antistatic means removes the charge of the base material and prevents the adhesion of the dust and the dielectric breakdown, thereby improving the yield of the elements.

正孔輸送層形成工程4′は帯状基材Aを保持するバックアップロール401′と、バックアップロール401′に保持された帯状基材Aに正孔輸送層形成用塗布液を外部取り出し電極となる一部を除いて塗布する湿式塗布機402′と、帯状基材A上の第1電極(不図示)上に形成された正孔輸送層形成用塗膜a′の溶媒を除去し正孔輸送層b′を形成する乾燥風の供給口403′a、排気口403′bと、搬送用ロール403′cとを有する乾燥装置403′とを有している。尚、乾燥装置403は加熱処理を可能とする部分を内部に有している。   The hole transport layer forming step 4 ′ is a backup roll 401 ′ that holds the belt-shaped substrate A, and a hole transport layer-forming coating solution is applied to the belt-shaped substrate A held by the backup roll 401 ′ as an external extraction electrode. And removing the solvent from the coating film a ′ for forming the hole transport layer formed on the first electrode (not shown) on the belt-like substrate A and removing the solvent. It has a drying device 403 ′ having a drying air supply port 403′a, an exhaust port 403′b, and a transporting roll 403′c for forming b ′. Note that the drying device 403 includes a portion that allows heat treatment.

404′は、形成された正孔輸送層b′の除電を行う第2除電処理手段を示す。第2除電処理手段404′は第1除電処理手段302′bと同じ非接触式除電防止装置404′aと接触式除電防止装置404′b2とを有している。   Reference numeral 404 ′ denotes a second charge removal processing means for removing charge from the formed hole transport layer b ′. The second static elimination processing unit 404 ′ includes the same non-contact type static elimination prevention device 404′a and the contact type static elimination prevention device 404′b2 as the first static elimination processing unit 302′b.

発光層形成工程5′は、第1塗布工程5′aと第1乾燥工程5′bと、第2塗布工程5′cと第2乾燥工程5′dと、第3塗布工程5′eと第3乾燥工程5′fとを有している。第1塗布工程5′aは第1液滴吐出手段として静電ノズル吐出装置5′a1と保持台5a2と、第1アキュームレータ部5′a3とを有している。第1塗布工程5′aで静電ノズル吐出装置5′a1による塗布は、静電ノズル吐出装置5′a1より吐出された液滴が一定間隔で正孔輸送層上に着弾し不連続状発光層形成用塗膜c′(不連続状第2有機機能層形成用塗膜)を形成する。   The light emitting layer forming step 5 'includes a first coating step 5'a, a first drying step 5'b, a second coating step 5'c, a second drying step 5'd, and a third coating step 5'e. And a third drying step 5'f. The first application step 5'a includes an electrostatic nozzle ejection device 5'a1, a holding base 5a2, and a first accumulator portion 5'a3 as first droplet ejection means. In the first application process 5'a, the application by the electrostatic nozzle discharge device 5'a1 is such that the liquid droplets discharged from the electrostatic nozzle discharge device 5'a1 land on the hole transport layer at regular intervals and emit light discontinuously. A layer forming coating film c ′ (discontinuous second organic functional layer forming coating film) is formed.

第1アキュームレータ部5′a3は、ロール5′a31が上下方向(図中の矢印方向)に移動することで、正孔輸送層形成工程4′と、第1塗布工程5′aとの搬送速度の差を調整するために配設されており、速度差に応じてロール5′a31の増設が可能となっている。   The first accumulator unit 5′a3 moves the roll 5′a31 in the vertical direction (in the direction of the arrow in the drawing), so that the transport speed between the hole transport layer forming step 4 ′ and the first coating step 5′a is increased. The roll 5'a31 can be added according to the speed difference.

第1乾燥工程5′bは、乾燥風の供給口5′b11、排気口5′b12と、搬送用ロール5′b13とを有する乾燥装置5′b1と、形成された不連続状発光層形成用塗膜c′の除電を行う第3除電処理手段5′b2とを有している。第3除電処理手段5′b2は第1除電処理手段302′bと同じ非接触式除電防止装置5′b21と接触式除電防止装置5′b22とを有している。尚、乾燥装置5′b1は加熱処理を可能とする部分を内部に有している。不連続状発光層形成用塗膜c′(不連続状第2有機機能層形成用塗膜)は乾燥装置5′b1で溶媒が除去され不連続状発光層d′(不連続状第2有機機能層)を形成する。   The first drying step 5'b includes a drying device 5'b1 having a drying air supply port 5'b11, an exhaust port 5'b12, and a transport roll 5'b13, and formation of the formed discontinuous light emitting layer. And 3rd static elimination process means 5'b2 which neutralizes static electricity coating film c '. The third static elimination processing means 5'b2 has the same non-contact type static elimination prevention device 5'b21 and contact type static elimination prevention device 5'b22 as the first static elimination processing means 302'b. Note that the drying device 5'b1 has a portion that allows heat treatment inside. The discontinuous light emitting layer forming coating c ′ (discontinuous second organic functional layer forming coating) is removed by the drying device 5′b1 and the discontinuous light emitting layer d ′ (discontinuous second organic) is removed. Functional layer).

第2塗布工程5′cは第2液滴吐出手段として静電ノズル吐出装置5′c1と載置台5′c2と第2アキュームレータ部5′c3を有している。第2塗布工程5′cで静電ノズル吐出装置5′c1による塗布は、静電ノズル吐出装置5′c1より吐出された液滴が、第1塗布工程5′aで形成された不連続状発光層d′(不連続状第2有機機能層)の未塗布部分に着弾し、連続状発光層形成用塗膜e′(連続状第2有機機能層形成用塗膜)を形成する。   The second coating step 5'c includes an electrostatic nozzle ejection device 5'c1, a mounting table 5'c2, and a second accumulator unit 5'c3 as second droplet ejection means. In the application by the electrostatic nozzle discharge device 5'c1 in the second application step 5'c, the liquid droplets discharged from the electrostatic nozzle discharge device 5'c1 are discontinuous formed in the first application step 5'a. Landing on an uncoated portion of the light emitting layer d ′ (discontinuous second organic functional layer) forms a continuous light emitting layer forming coating film e ′ (continuous second organic functional layer forming coating film).

第2アキュームレータ部5′c3は、ロール5′c31が上下方向(図中の矢印方向)に移動することで、第1塗布工程5′aと、第2塗布工程5′cとの搬送速度の差を調整するために配設されており、速度差に応じてロール5′c31の増設が可能となっている。第2乾燥工程5′dは、乾燥風の供給口5′d11、排気口5′d12と、搬送用ロール5′d13とを有する乾燥装置5′d1と、形成された連続状発光層f′の除電を行う第4除電処理手段5′d2とを有している。第4除電処理手段5′d2は第1除電処理手段302′bと同じ非接触式除電防止装置5′d21と接触式除電防止装置5′d22とを有している。尚、乾燥装置5′d1は加熱処理を可能とする部分を内部に有している。   The second accumulator unit 5′c3 moves the roll 5′c31 in the vertical direction (in the direction of the arrow in the drawing), so that the conveyance speed of the first application step 5′a and the second application step 5′c is increased. The roll 5'c31 can be added according to the speed difference. The second drying step 5'd includes a drying device 5'd1 having a drying air supply port 5'd11, an exhaust port 5'd12, and a transporting roll 5'd13, and the formed continuous light emitting layer f '. And 4th static elimination process means 5'd2 which performs static elimination of this. The fourth static elimination processing means 5'd2 has the same non-contact type static elimination prevention device 5'd21 and contact type static elimination prevention device 5'd22 as the first static elimination processing means 302'b. Incidentally, the drying device 5'd1 has a portion that enables heat treatment inside.

第3塗布工程5′eは第3液滴吐出手段として静電ノズル吐出装置5′e1と、載置台5′e2と、第3アキュームレータ部5′e3とを有している。第3アキュームレータ部5′e3は、ロール5′e31が上下方向(図中の矢印方向)に移動することで、第2塗布工程5′cと、第3塗布工程5′eとの搬送速度の差を調整するために配設されており、速度差に応じてロール5′e31の増設が可能となっている。第3塗布工程5′eで静電ノズル吐出装置5′e1による塗布は、発光層形成用塗布液と同じ溶媒を使用し静電ノズル吐出装置5′e1より吐出された液滴が、形成された連続状発光層f′の上に着弾し、溶媒塗膜g′を形成する。尚、静電ノズル吐出装置5′a1、静電ノズル吐出装置5′c1及び静電ノズル吐出装置5′e1は帯状基材の幅方向への移動が可能となるように装置のフレーム(不図示)に配設することが好ましい。   The third application step 5'e includes an electrostatic nozzle ejection device 5'e1, a mounting table 5'e2, and a third accumulator portion 5'e3 as third droplet ejection means. The third accumulator unit 5′e3 moves the roll 5′e31 in the vertical direction (in the direction of the arrow in the drawing), so that the conveyance speed between the second application step 5′c and the third application step 5′e is increased. The roll 5'e31 can be added according to the speed difference. In the third coating step 5'e, the electrostatic nozzle discharge device 5'e1 is applied to form droplets discharged from the electrostatic nozzle discharge device 5'e1 using the same solvent as the light emitting layer forming coating solution. Landing on the continuous light emitting layer f ′ forms a solvent coating g ′. The electrostatic nozzle ejection device 5'a1, the electrostatic nozzle ejection device 5'c1 and the electrostatic nozzle ejection device 5'e1 are arranged in a frame (not shown) so that the belt-like substrate can be moved in the width direction. ) Is preferable.

第3乾燥工程5′fは、乾燥風の供給口5′f11、排気口5′f12と、搬送用ロール5′f13とを有する乾燥装置5′f1と、形成された連続状発光層h′の除電を行う第4除電処理手段5′f2とを有している。第4除電処理手段5′f2は第1除電処理手段302′bと同じ非接触式除電防止装置5′f21と接触式除電防止装置5′f22とを有している。乾燥装置5′f1は加熱処理を可能とする部分を内部に有している。   The third drying step 5'f includes a drying device 5'f1 having a drying air supply port 5'f11, an exhaust port 5'f12, and a conveying roll 5'f13, and a continuous light emitting layer h 'formed. 4th static elimination process means 5'f2 which performs static elimination of this. The fourth static elimination processing means 5'f2 has the same non-contact type static elimination prevention device 5'f21 and contact type static elimination prevention device 5'f22 as the first static elimination processing means 302'b. The drying device 5'f1 has a portion that allows heat treatment inside.

溶媒塗膜g′は発光層形成用塗布液に使用した溶媒と同じ溶媒であるため、乾燥装置5′f1で除去されるまでに、連続状発光層f′(連続状第2有機機能層)を溶解することで連続状発光層f′(連続状第2有機機能層)の均一化及び表面のレベリングが行われ均一の連続状発光層h′が形成される。尚、第3塗布工程5′eと、第3乾燥工程5′fとは、連続状発光層のさらなる均一化のためには配設することは好ましく、必要に応じて適宜配設することが可能となっている。   Since the solvent coating g ′ is the same solvent as the solvent used for the light emitting layer forming coating solution, the continuous light emitting layer f ′ (continuous second organic functional layer) is removed before being removed by the drying device 5′f1. Is dissolved to uniformize the continuous light emitting layer f ′ (continuous second organic functional layer) and level the surface, thereby forming a uniform continuous light emitting layer h ′. In addition, it is preferable to arrange | position 3rd application | coating process 5'e and 3rd drying process 5'f for the further uniformization of a continuous light emitting layer, and it may arrange | position suitably as needed. It is possible.

第1回収工程6′は第4アキュームレータ部6′aと、巻き取り装置(不図示)とを有している。連続状発光層h′が形成された帯状基材(帯状基材Bとする)は巻き芯に巻かれロール状帯状基材B601′で回収される。第4アキュームレータ部6′a、ロール6′a1が上下方向(図中の矢印方向)に移動することで、第3塗布工程5′eの搬送速度と、第1回収工程6′の巻き取り速度との差を調整するために配設されており、速度差に応じてロール6′a1の増設が可能となっている。   The first recovery step 6 'includes a fourth accumulator portion 6'a and a winding device (not shown). The belt-like base material (referred to as belt-like base material B) on which the continuous light emitting layer h ′ is formed is wound around a winding core and collected by the roll-shaped belt-like base material B 601 ′. The fourth accumulator section 6'a and the roll 6'a1 move in the vertical direction (in the direction of the arrow in the figure), so that the conveying speed of the third coating step 5'e and the winding speed of the first recovery step 6 'are obtained. The roll 6'a1 can be added according to the speed difference.

電子注入層形成工程7′は、供給部701′と、電子注入層形成部702′とを有している。供給部701′では、前工程で作製されたロール状帯状基材B601′が繰り出され電子注入層形成部702′へ供給される。電子注入層形成部702′では、連続状発光層h′上に電子注入層i′が形成される。702′aは蒸着装置を示し、702′bは蒸発源容器を示す。電子注入層i′が形成された帯状可撓性基材は、引き続き、第2電極形成工程8′へ送られる。   The electron injection layer forming step 7 ′ includes a supply unit 701 ′ and an electron injection layer formation unit 702 ′. In the supply unit 701 ′, the roll-shaped strip base material B 601 ′ produced in the previous process is fed out and supplied to the electron injection layer forming unit 702 ′. In the electron injection layer forming part 702 ′, the electron injection layer i ′ is formed on the continuous light emitting layer h ′. 702'a represents a vapor deposition apparatus, and 702'b represents an evaporation source container. The strip-shaped flexible base material on which the electron injection layer i ′ is formed is subsequently sent to the second electrode forming step 8 ′.

第2電極形成工程8′は、第2電極形成部801′で電子注入層形成部702′で形成された電子注入層i′上に第2電極j′が形成される。801′aは蒸着装置を示し、801′bは蒸発源容器を示す。   In the second electrode formation step 8 ′, the second electrode j ′ is formed on the electron injection layer i ′ formed by the electron injection layer formation unit 702 ′ in the second electrode formation unit 801 ′. Reference numeral 801'a denotes a vapor deposition apparatus, and 801'b denotes an evaporation source container.

第2電極j′が形成された帯状可撓性基材は、引き続き、封止層形成工程9′に送られる。封止層形成工程9′は、第5アキュームレータ部901′と、封止層形成装置902′と、第5帯電防止手段903′とを有している。第5帯電防止手段903′は第1除電処理手段302′bと同じ非接触式除電防止装置903′aと接触式除電防止装置903′bとを有している。第2電極形成工程8で形成された第2電極j′の端部を除いて第2電極j′上に封止層形成装置902′により封止層k′が形成されることで帯状基材上に少なくとも一つの照明用(面発光)有機EL素子が作製される。   The strip-shaped flexible base material on which the second electrode j ′ is formed is subsequently sent to the sealing layer forming step 9 ′. The sealing layer forming step 9 ′ includes a fifth accumulator unit 901 ′, a sealing layer forming device 902 ′, and a fifth antistatic means 903 ′. The fifth antistatic means 903 'has the same non-contact type static elimination preventing apparatus 903'a and the contact type static elimination preventing apparatus 903'b as the first static elimination processing means 302'b. A sealing layer k ′ is formed on the second electrode j ′ by the sealing layer forming device 902 ′ except for the end portion of the second electrode j ′ formed in the second electrode forming step 8, so that the belt-like base material is formed. At least one lighting (surface emitting) organic EL element is produced.

回収工程10′は、巻き取り装置(不図示)を有している。回収工程10では少なくとも一つの照明用(面発光)有機EL素子が形成された帯状可撓性基材(帯状可撓性基材Cとする)が巻き取り装置(不図示)により、封止層k′側を内側にして巻き取られ回収される。10′aは帯状可撓性基材Cが巻き芯に巻き取られロール状として回収されたロール状帯状基材を示し、性能維持、ダークスポット(未発光部分)等を考慮し、酸素濃度1〜100ppm、水分濃度1〜100ppmの環境下に保管することが好ましい。   The collecting step 10 ′ has a winding device (not shown). In the collecting step 10, a strip-shaped flexible base material (referred to as a strip-shaped flexible base material C) on which at least one illumination (surface emitting) organic EL element is formed is encapsulated by a winding device (not shown). It is wound up and collected with the k 'side inside. Reference numeral 10'a denotes a roll-shaped belt-like base material in which the belt-like flexible base material C is wound around a winding core and collected as a roll. The oxygen concentration is 1 in consideration of performance maintenance, dark spots (non-light-emitting portions), and the like. It is preferable to store in an environment of ˜100 ppm and a moisture concentration of 1 to 100 ppm.

本図に示される第1塗布工程5′aで静電ノズル吐出装置5′a1による塗布、第2塗布工程5′cで静電ノズル吐出装置5′c1による塗布及び第3塗布工程5′eで静電ノズル吐出装置5′e1による塗布は、静電ノズル吐出装置5a1、静電ノズル吐出装置5c1及び静電ノズル吐出装置5e1を帯状基材の搬送速度に合わせ帯状基材の幅方向に移動する方法が挙げられる。   In the first coating process 5'a shown in the figure, coating is performed by the electrostatic nozzle ejection device 5'a1, in the second coating process 5'c, coating by the electrostatic nozzle ejection device 5'c1 and third coating process 5'e. In the application by the electrostatic nozzle ejection device 5'e1, the electrostatic nozzle ejection device 5a1, the electrostatic nozzle ejection device 5c1 and the electrostatic nozzle ejection device 5e1 are moved in the width direction of the belt-like substrate in accordance with the transport speed of the belt-like substrate. The method of doing is mentioned.

本図では、電子注入層形成工程7′、第2電極形成工程8′、が蒸着装置の場合を示したが、電子注入層及び第2電極の形成方法については、蒸着法によらない電子注入層及び第2電極の形成方法も使用可能である。又、本図に示す封止層の代わりに、封止フィルムを貼着する方式であっても構わない。   In this figure, the electron injection layer forming step 7 'and the second electrode forming step 8' are shown in the case of the vapor deposition apparatus. However, the electron injection layer and the second electrode are formed by electron injection independent of the vapor deposition method. A method of forming the layer and the second electrode can also be used. Further, instead of the sealing layer shown in this figure, a method of sticking a sealing film may be used.

図6に示される製造プロセスで使用する正孔輸送層形成用塗布液、及び発光層形成用塗布液は、少なくとも1種の有機化合物材料と少なくとも1種の溶媒とを有し、塗布時のハジキ、塗布ムラ等を考慮し、表面張力が15×10−3〜55×10−3N/mであることが好ましい。 The hole transport layer forming coating solution and the light emitting layer forming coating solution used in the production process shown in FIG. 6 have at least one organic compound material and at least one solvent. In consideration of coating unevenness and the like, the surface tension is preferably 15 × 10 −3 to 55 × 10 −3 N / m.

図6に示される有機EL素子の構成層である正孔輸送層及び発光層を形成する工程は、正孔輸送層及び発光層の性能維持、異物付着に伴う故障欠陥の防止等を考慮し、露点温度−20℃以下、且つJISB 9920に準拠し、測定した清浄度がクラス3〜クラス5で、且つ、乾燥部を除き10〜45℃の大気圧条件下で形成されることが好ましい。   The step of forming the hole transport layer and the light emitting layer, which are the constituent layers of the organic EL device shown in FIG. It is preferable that the dew point is −20 ° C. or lower and the measured cleanliness is Class 3 to Class 5 and the atmospheric pressure is 10 to 45 ° C. excluding the drying part.

〈封止材接着工程と断裁工程〉
本発明に係る封止材接着工程と断裁工程について図7を参照して詳細な説明をする。
<Sealing material bonding process and cutting process>
The sealing material bonding step and the cutting step according to the present invention will be described in detail with reference to FIG.

図7は、発明の実施の形態における封止材接着・断裁工程の一例を示す模式図である。当該製造プロセスにおいて、封止材接着工程140は、接着剤層形成工程141、ラミネート工程142、硬化工程143、電極部露出工程144を有する。   FIG. 7 is a schematic diagram showing an example of a sealing material bonding / cutting process in the embodiment of the invention. In the manufacturing process, the sealing material bonding step 140 includes an adhesive layer forming step 141, a laminating step 142, a curing step 143, and an electrode portion exposing step 144.

ロール状に巻き取られた発光素子(有機EL構造体)および保護膜が形成された基材Aは、オフラインの封止材接着工程140および断裁工程150に投入されて、封止材層が形成された後に熱刃を用いて、熱硬化型接着剤が硬化する前に、所定の大きさに熱溶融断裁され、有機EL素子に形成される。   The substrate A on which the light-emitting element (organic EL structure) wound in a roll shape and the protective film are formed is put into an off-line sealing material bonding step 140 and a cutting step 150 to form a sealing material layer. Then, before the thermosetting adhesive is cured using a hot blade, it is heat-melt cut to a predetermined size and formed into an organic EL element.

封止材接着工程140は、有機EL構造体およびバリア膜が形成された基材のロールを、再び基材を繰り出して、長尺の封止材を基材に接着して有機EL構造体上に封止材層16を形成する工程である。有機EL構造体に封止材層16を形成することにより、有機EL構造体の有機発光層は封止材により被覆され、空気中の水分や酸素により品質の劣化を招くことなく、高品質と高信頼性を維持できる。   In the sealing material bonding step 140, the base material roll on which the organic EL structure and the barrier film are formed is fed out again to adhere the long sealing material to the base material. This is a step of forming the sealing material layer 16 on the surface. By forming the encapsulant layer 16 on the organic EL structure, the organic light emitting layer of the organic EL structure is covered with the encapsulant, and high quality without causing deterioration in quality due to moisture or oxygen in the air. High reliability can be maintained.

封止材接着工程140は、概ね数万Paから数十万Paの大気圧環境である。ここにおいては、既に有機EL構造体上にスパッタによるバリア膜が成膜されており、水分や酸素を低減させた真空環境とする必要がない。   The sealing material adhesion process 140 is an atmospheric pressure environment of approximately tens of thousands to hundreds of thousands of Pa. Here, a barrier film by sputtering has already been formed on the organic EL structure, and there is no need for a vacuum environment in which moisture and oxygen are reduced.

接着剤層形成工程141は、有機EL構造体が形成された基材の選択された領域に接着剤を塗布し接着剤層15を形成する工程である。接着剤層形成工程141では有機EL構造体の陽極および陰極の引き出し部12a、14aを除外した領域に接着剤層15を形成する。   The adhesive layer forming step 141 is a step of forming the adhesive layer 15 by applying an adhesive to a selected region of the base material on which the organic EL structure is formed. In the adhesive layer forming step 141, the adhesive layer 15 is formed in a region excluding the anode and cathode lead portions 12a and 14a of the organic EL structure.

ラミネート工程142は接着剤層を介して封止材である封止フィルム16Aを基材11にローラにより圧着して有機EL構造体上に封止材層16を形成する工程である。   The laminating step 142 is a step of forming the sealing material layer 16 on the organic EL structure by pressing the sealing film 16A, which is a sealing material, onto the base material 11 with a roller through the adhesive layer.

硬化工程143は接着剤を硬化させる工程、また、電極部露出工程144は有機EL構造体の電極引き出し部12a、14aから封止材を除去して引き出し部を露出する工程である。   The curing step 143 is a step of curing the adhesive, and the electrode portion exposing step 144 is a step of removing the sealing material from the electrode lead portions 12a and 14a of the organic EL structure to expose the lead portion.

また、断裁工程150は、封止材が接着され封止材層16が形成された長尺基材を所定の位置で断裁し、枚葉の有機EL素子を得る工程である。   Further, the cutting step 150 is a step of cutting a long base material on which a sealing material is bonded and the sealing material layer 16 is formed at a predetermined position to obtain a sheet organic EL element.

封止材接着工程140にては、接着剤層15は接着剤をスクリーン印刷法により基材11の所定の範囲、すなわち、陽極および陰極の引き出し部12a、14aを除外した領域にのみ選択的に塗布することにより形成される。   In the sealing material bonding step 140, the adhesive layer 15 is selectively applied only to a predetermined range of the base material 11 by screen printing, that is, to a region excluding the anode and cathode lead portions 12a and 14a. It is formed by coating.

スクリーン印刷法はインキをスキージ(ヘラ)により版(ステンシル)に展延、摺擦し、版の開口部に張られたスクリーンの網目を通して媒体にインキを付着させて印刷する印刷方法であり、媒体の版の開口部に対向する位置範囲にのみインキを選択的に付着させることができる印刷方法である。本実施の形態では、スクリーン印刷法におけるインキを接着剤とし、媒体を有機EL構造体が形成された基材として、接着剤を基材の所定の範囲にのみ選択的に付着させることにより、基材の所定の範囲にのみ選択的に接着剤層を形成するものである。なお、以下の説明では、版をステンシルと称し、ステンシルにおける接着剤を透過させる部分を開口部、接着剤を透過させる部分をマスク部と称することにする。   The screen printing method is a printing method in which ink is spread on a plate (stencil) with a squeegee (scalar), rubbed, and the ink is attached to the medium through a screen mesh stretched on the opening of the plate. In this printing method, ink can be selectively attached only to a position range facing the opening of the plate. In the present embodiment, the ink in the screen printing method is used as an adhesive, the medium is used as a base on which the organic EL structure is formed, and the adhesive is selectively attached only to a predetermined range of the base. The adhesive layer is selectively formed only in a predetermined range of the material. In the following description, the plate is referred to as a stencil, the portion of the stencil that transmits the adhesive is referred to as an opening portion, and the portion that transmits the adhesive is referred to as a mask portion.

接着剤層形成工程141は非図示の移動手段により図示矢印方向に往復移動するスキージ141Bを有し、スキージ141Bはその先端部にて接着剤141Aをステンシル141C面に展延、摺擦する。ステンシル141Cは開口に接着剤の透過が可能なスクリーンを張った開口部と、接着剤の透過が不可能なマスク部とを有し、スキージ141Bによりステンシル141C上に展延、摺擦された接着剤141Aは、開口部のスクリーンを通過して、基材11の開口部に対向する領域に塗布される。一方、マスク部は接着剤の通過が不可能なので、接着剤はマスク部に対向する領域には塗布されない。   The adhesive layer forming step 141 has a squeegee 141B that reciprocates in the direction of the arrow shown by a moving means (not shown), and the squeegee 141B spreads and rubs the adhesive 141A on the surface of the stencil 141C at the tip. The stencil 141C has an opening having a screen through which the adhesive can pass and a mask portion through which the adhesive cannot pass. The stencil 141C is spread and rubbed on the stencil 141C by the squeegee 141B. The agent 141 </ b> A passes through the screen of the opening and is applied to a region facing the opening of the base material 11. On the other hand, since the adhesive cannot pass through the mask portion, the adhesive is not applied to the region facing the mask portion.

本発明により、特に、ロール・ツー・ロール方式により可撓性を有する基材上に発光素子(有機EL構造体)を形成する有機EL素子の製造方法において、基材の洗浄および汚染除去、発光素子(有機EL構造体)の形成、発光素子(有機EL構造体)への保護膜の形成までをインラインで行える有機EL素子の製造方法を提供できる。本発明による製造方法では、基材への発光素子(有機EL構造体)の形成、保護膜の形成をインラインで行うので、水分や酸素による発光素子(有機EL構造体)への影響を回避でき、高品質と高信頼性の有機EL素子を製造できる。また、異なる条件の真空環境や大気圧環境にて実施される工程をロール・ツー・ロール方式のインラインで実施することが可能で、それぞれの工程をオフラインで実施する製造方法と比べると、工程が単純化し、作業効率の向上や工程停止時間の短縮がはかれる。   According to the present invention, in particular, in a method for manufacturing an organic EL element in which a light emitting element (organic EL structure) is formed on a flexible substrate by a roll-to-roll method, the substrate is washed, decontaminated, and luminescent It is possible to provide an organic EL element manufacturing method capable of performing inline formation of an element (organic EL structure) and formation of a protective film on a light emitting element (organic EL structure). In the manufacturing method according to the present invention, the formation of the light emitting element (organic EL structure) on the substrate and the formation of the protective film are performed in-line, so that the influence on the light emitting element (organic EL structure) due to moisture and oxygen can be avoided. High-quality and highly reliable organic EL elements can be manufactured. In addition, it is possible to carry out processes performed in different conditions of vacuum environment and atmospheric pressure environment in a roll-to-roll system in-line, compared to the manufacturing method in which each process is performed off-line. Simplification can improve work efficiency and shorten process stop time.

以下、実施例により本発明を説明するが、本発明はこれらに限定されない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention, this invention is not limited to these.

実施例1
《基材Aの作製》
(可撓性基材上に電極層、正孔注入層、正孔輸送層、発光層を形成する工程)
予め、露点温度−65度、不活性ガス雰囲気下、圧力80Paで保管し、脱水処理・脱酸素処理をほどこした厚さ100ミクロンのポリエチレンナフタレートフィルムの片面に特開2007−83644号公報の〔実施例〕の欄に記載されている方法により、ガスバリア層を形成した。即ち、同公報に記載の図3に示すロール電極型放電処理装置を用いた。
Example 1
<< Production of Substrate A >>
(Process for forming an electrode layer, a hole injection layer, a hole transport layer, and a light emitting layer on a flexible substrate)
In advance, a polyethylene naphthalate film having a dew point of −65 ° C., an inert gas atmosphere and a pressure of 80 Pa, and subjected to dehydration and deoxygenation treatment to a single-sided 100 μm thick polyethylene naphthalate film is disclosed in JP-A-2007-83644. A gas barrier layer was formed by the method described in the column “Examples”. That is, the roll electrode type discharge treatment apparatus shown in FIG.

前記樹脂フィルム基材上に密着層/セラミック層/保護層の順に以下に示す条件で、それぞれ形成しガスバリア膜をポリエチレンナフタレートフィルムの片面上にえた。各膜厚は、密着層が50nmで、セラミック層が30nm、保護層が400nmである。また製膜時の基材保持温度は、120℃とした。   A gas barrier film was formed on one side of a polyethylene naphthalate film by forming an adhesion layer / ceramic layer / protective layer on the resin film substrate in the following order. Regarding the respective film thicknesses, the adhesion layer is 50 nm, the ceramic layer is 30 nm, and the protective layer is 400 nm. The substrate holding temperature during film formation was 120 ° C.

〈セラミック層〉
放電ガス:Nガス
反応ガス1:酸素ガスを全ガスに対し5%
反応ガス2:TEOS(テトラエトキシシラン)を全ガスに対し0.1%
低周波側電源電力:80kHzを10W/cm高周波側電源電力:13.56MHzを10W/cm
〈密着層〉
放電ガス:Nガス
反応ガス1:水素ガスを全ガスに対し1%
反応ガス2:TEOSを全ガスに対し0.5%
低周波側電源電力:80kHzを10W/cm高周波側電源電力:13.56MHzを5W/cm
〈保護層〉
放電ガス:Nガス
反応ガス1:水素ガスを全ガスに対し1%
反応ガス2:TEOSを全ガスに対し0.5%
低周波側電源電力:80kHzを10W/cm高周波側電源電力:13.56MHzを5W/cm
次いで、ガスバリア層を形成したポリエチレンナフタレートフィルム上に、ターゲット材料としてインジウム錫酸化物(ITO)を用いて、同じく、真空槽中スパッタガスに酸素5体積%を含むアルゴンを用いて、ガス圧力を0.5Paとし、連続的に搬送しながら、電極層として、ITO膜110nmをスパッタによりパターニング形成した。ITOのパターンは図3の導電層パターンを用いた。これを真空槽中でコアに巻き取った後、窒素気流下で常圧に戻し、大気(空気)にさらすことなく、常圧下の塗布工程へ移送した。
<Ceramic layer>
Discharge gas: N 2 gas reaction gas 1: 5% of oxygen gas to the total gas
Reaction gas 2: TEOS (tetraethoxysilane) is 0.1% of the total gas
Low frequency side power supply power: 80 kHz at 10 W / cm 2 High frequency power supply power: 13.56 MHz at 10 W / cm 2
<Adhesion layer>
Discharge gas: N 2 gas reactive gas 1: 1% of hydrogen gas with respect to the total gas
Reaction gas 2: 0.5% of TEOS with respect to the total gas
Low frequency side power supply power: 80 kHz at 10 W / cm 2 High frequency power supply power: 13.56 MHz at 5 W / cm 2
<Protective layer>
Discharge gas: N 2 gas reactive gas 1: 1% of hydrogen gas with respect to the total gas
Reaction gas 2: 0.5% of TEOS with respect to the total gas
Low frequency side power supply power: 80 kHz at 10 W / cm 2 High frequency power supply power: 13.56 MHz at 5 W / cm 2
Next, on the polyethylene naphthalate film on which the gas barrier layer is formed, using indium tin oxide (ITO) as a target material, and using argon containing 5% by volume of oxygen as a sputtering gas in a vacuum chamber, An ITO film having a thickness of 110 nm was patterned by sputtering as an electrode layer while continuously feeding at 0.5 Pa. As the ITO pattern, the conductive layer pattern shown in FIG. 3 was used. This was wound around a core in a vacuum chamber, returned to normal pressure under a nitrogen stream, and transferred to a coating process under normal pressure without exposure to the atmosphere (air).

この導電層付基材上に、第一の塗布室に設置された押し出しコーターで後述の液組成の正孔注入層用塗布液(脱酸素処理済み)を塗布し、不活性ガス気流下で乾燥させた(乾燥後の厚さ30nm)。引き続き、第二の塗布室で正孔輸送層用塗布液(脱酸素、脱水処理済み)を塗布し、紫外線を照射して架橋させ、この工程以降の塗布溶剤に不溶化したのち、溶媒を乾燥させた(乾燥後の厚さが40nm)。さらに第三の塗布室で、架橋させた正孔輸送層上に発光層を塗布し(乾燥後の厚さが50nm)、乾燥して、3つの機能層が積層された塗布済み原反(ウェブW−1)を作製した。この常圧下の塗布工程は、窒素雰囲気中の水分濃度が1ppm以上200ppm以下、酸素濃度が30ppm以下の雰囲気下に維持した。   On this base material with a conductive layer, a coating solution for a hole injection layer (deoxygenated) having the liquid composition described below is applied with an extrusion coater installed in the first coating chamber, and dried under an inert gas stream. (30 nm thickness after drying). Subsequently, the hole transport layer coating solution (deoxygenated and dehydrated) is applied in the second coating chamber, irradiated with UV rays to crosslink, insolubilized in the coating solvent after this step, and then dried. (The thickness after drying was 40 nm). Further, in the third coating chamber, a light-emitting layer is applied on the cross-linked hole transport layer (thickness after drying is 50 nm), dried, and a coated original fabric (web) in which three functional layers are laminated W-1) was produced. The coating process under normal pressure was maintained in an atmosphere having a moisture concentration in a nitrogen atmosphere of 1 ppm to 200 ppm and an oxygen concentration of 30 ppm or less.

(正孔注入層用塗布液)
ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer社製 Bytron P AI 4083)を純水で65%、メタノール5%で希釈した溶液用いた。
(Coating solution for hole injection layer)
A solution obtained by diluting polyethylene dioxythiophene / polystyrene sulfonate (PEDOT / PSS, Baytron P AI 4083 manufactured by Bayer) with pure water at 65% and methanol at 5% was used.

(正孔輸送層用塗布液)
10mlのトルエン中に50mgの下記化合物Aが含まれるよう溶解した溶液を用いた。90秒間紫外光を照射し、光重合・架橋を行った後、90℃の乾燥ゾーンをゆっくり搬送しながら、窒素気流下で乾燥した。
(Coating liquid for hole transport layer)
A solution in which 50 mg of the following compound A was contained in 10 ml of toluene was used. After irradiating with ultraviolet light for 90 seconds to carry out photopolymerization and crosslinking, the film was dried under a nitrogen stream while being slowly conveyed through a drying zone at 90 ° C.

Figure 0005093049
Figure 0005093049

(発光層用塗布液)
クロロベンゼン6ml中にPVK(ポリビニルカルバゾール)(60mg)と1.5mgのIr(ppy)が含有される様に溶解した溶液を用いた。成膜後、95℃の乾燥ゾーンをゆっくり搬送しながら、窒素気流下で乾燥し、乾燥膜厚50nmの発光層を形成した。
(Light emitting layer coating solution)
A solution in which PVK (polyvinylcarbazole) (60 mg) and 1.5 mg of Ir (ppy) 3 were contained in 6 ml of chlorobenzene was used. After film formation, the film was dried under a nitrogen stream while slowly transporting through a 95 ° C. drying zone to form a light emitting layer having a dry film thickness of 50 nm.

《基材Bの作製》
(乾燥剤を含有する層を有するフィルム上に表面平滑層を形成する工程)
封止フィルムとしての乾燥剤含有フィルムは特開2005−38661号公報の実施例1記載の積層基板の作製法を利用して、酸化バリウムを芯層に含有させたポリエチレン2,6ナフタレートフィルム(A−1)を作製して使用した。
<< Production of Substrate B >>
(Step of forming a surface smooth layer on a film having a layer containing a desiccant)
A desiccant-containing film as a sealing film is a polyethylene 2,6 naphthalate film containing barium oxide in the core layer using the method for producing a laminated substrate described in Example 1 of JP-A-2005-38661. A-1) was prepared and used.

即ち、ポリエチレン−2,6−ナフタレートA(酸化バリウム含有;酸化バリウム粉末(平均粒径、0.5μm)を、280℃でポリエチレン−2,6−ナフタレートチップと混合・混練(含有率5質量%)して作製した。)とポリエチレン−2,6−ナフタレートのチップを各々170℃で10時間真空乾燥した後、乾燥窒素気流中で保温しながら、押出し機上に設置したホッパーから3台の押出し機へ各々供給し290℃で溶融押出しを行ない、40メッシュのフィルターを通過させてから、Tダイ内で厚さ比が4:3:2となるように層状に接合して、60℃の冷却ドラム上に静電印加しながら密着させて急冷冷却固化し、積層未延伸シートを得た。このとき芯(コア)層が、ポリエチレン−2,6−ナフタレートA(酸化バリウム含有)であり、表層がポリエチレン−2,6−ナフタレートとなるようにした。この未延伸シートをロール式縦延伸機へ導き、90℃で予熱し、低速と高速のロール間でIRヒーターで加熱しながら、縦方向に2.8倍に延伸した。得られた一軸延伸フィルムをテンター式横延伸機に供給し、130℃で横延伸倍率2.8倍となるように延伸した。得られた二軸配向フィルムを210℃で10秒間熱固定した。次いで横方向に5%弛緩処理しながら室温まで30秒かけて徐冷して厚さ90μmの二軸延伸積層PENフィルム支持体を得た(乾燥剤含有フィルムA−1)
表面粗さを光学干渉式表面粗さ計RST/PLUS(WYKO社製)を用いて測定したところ、15nm以下であった。
That is, polyethylene-2,6-naphthalate A (containing barium oxide; barium oxide powder (average particle size, 0.5 μm) was mixed and kneaded with polyethylene-2,6-naphthalate chips at 280 ° C. (content 5 mass) ) And polyethylene-2,6-naphthalate chips were each vacuum dried at 170 ° C. for 10 hours, and then kept in a dry nitrogen stream while three units from a hopper installed on the extruder. Each was supplied to an extruder, melt extruded at 290 ° C., passed through a 40 mesh filter, and then joined in layers so that the thickness ratio was 4: 3: 2 in a T-die. It was brought into close contact with the cooling drum while applying an electrostatic force, and cooled and solidified rapidly to obtain a laminated unstretched sheet. At this time, the core layer was polyethylene-2,6-naphthalate A (containing barium oxide), and the surface layer was polyethylene-2,6-naphthalate. This unstretched sheet was guided to a roll-type longitudinal stretching machine, preheated at 90 ° C., and stretched 2.8 times in the longitudinal direction while being heated with an IR heater between low-speed and high-speed rolls. The obtained uniaxially stretched film was supplied to a tenter-type transverse stretching machine and stretched at 130 ° C. so that the transverse stretching ratio was 2.8 times. The obtained biaxially oriented film was heat-fixed at 210 ° C. for 10 seconds. Subsequently, the film was slowly cooled to room temperature over 30 seconds while being subjected to a 5% relaxation treatment in the transverse direction to obtain a biaxially stretched laminated PEN film support having a thickness of 90 μm (desiccant-containing film A-1).
It was 15 nm or less when the surface roughness was measured using the optical interference type surface roughness meter RST / PLUS (made by WYKO).

A−1の層構成はポリエチレン−2,6−ナフタレート(PEN)/PENと酸化バリウム/PENの3層からなり、全体厚さは90μm、厚さの比率は40/30/20である。   The layer structure of A-1 consists of three layers of polyethylene-2,6-naphthalate (PEN) / PEN and barium oxide / PEN, and the overall thickness is 90 μm, and the thickness ratio is 40/30/20.

このフィルム元巻きは、露点温度−65度(水分10ppm以下)の不活性ガス雰囲気の保管庫に保存して、使用した。   This original film roll was stored in an inert gas atmosphere storage with a dew point temperature of −65 degrees (water content of 10 ppm or less).

(乾燥剤含有フィルムに電極層、電子注入層を形成する工程)
乾燥剤含有フィルムA−1の表層ポリエチレン−2,6−ナフタレート(PEN)が40μmである面に、前記同様、特開2007−83644号公報実施例記載の組成のガスバリア層を同様に形成して、乾燥剤含有フィルムを被覆した。次いで、表層ポリエチレン−2,6−ナフタレート(PEN)が20ミクロンである側(反対側)の表面にアクリル酸エステルからなる表面平滑層を形成し、紫外線で架橋硬化させてから、減圧室を経由して、真空搬送室へ導入し、第一の薄膜形成室で対電極層としてアルミニウムを蒸着により120nmの厚さにパターニング形成した。引き続き、第二の薄膜形成室でフッ化リチウム(電子注入層)を0.3nm蒸着形成した。
(Process of forming electrode layer and electron injection layer on desiccant-containing film)
Similarly to the above, on the surface of the desiccant-containing film A-1 whose surface layer polyethylene-2,6-naphthalate (PEN) is 40 μm, a gas barrier layer having the composition described in Examples of JP-A-2007-83644 is formed in the same manner. The film containing a desiccant was coated. Next, a surface smooth layer made of an acrylate ester is formed on the surface (opposite side) where the surface layer polyethylene-2,6-naphthalate (PEN) is 20 microns, cross-linked and cured with ultraviolet rays, and then passed through a decompression chamber. Then, it was introduced into a vacuum transfer chamber, and aluminum was patterned to a thickness of 120 nm by vapor deposition as a counter electrode layer in the first thin film forming chamber. Subsequently, lithium fluoride (electron injection layer) was deposited by 0.3 nm in the second thin film formation chamber.

(対電極層・注入層形成済み乾燥剤含有フィルムに封止樹脂を塗布し、機能層形成済みウェブと貼合する工程)
乾燥剤含有フィルムA−1に電極層、電子注入層を形成したフィルムを不活性ガス気流中(窒素雰囲気中、水分濃度が1ppm以上200ppm以下、酸素濃度が30ppm以下)で、接着剤として、熱硬化型エポキシ樹脂(ナガセケムテック(株)製 UVレジン XNR5516)を所定の形状にスクリーン印刷を用いて塗布した。この電極付封止フィルムを巻き取ることなく、連続的に図5に示される加圧ロールを用いた貼合・封止工程に送り、W−1と貼り合せ位置を制御しながら、140℃において、圧着し(貼合圧は0.2MPaとした)、接着させた後、硬化途中段階(熱硬化型接着剤が硬化する前)において、表1に示す温度(25〜140℃)に加熱した熱刃により、表1に示す断裁速度(20〜80m/min)にて各素子様に断裁(カット)して、各種有機EL素子を作製した。
(Step of applying a sealing resin to the desiccant-containing film with the counter electrode layer / injection layer formed and laminating it with the web with the functional layer formed)
A film in which an electrode layer and an electron injection layer are formed on the desiccant-containing film A-1 is heated in an inert gas stream (in a nitrogen atmosphere, a moisture concentration of 1 ppm to 200 ppm and an oxygen concentration of 30 ppm or less) as an adhesive. A curable epoxy resin (UV resin XNR5516, manufactured by Nagase Chemtech Co., Ltd.) was applied in a predetermined shape using screen printing. Without winding up the sealing film with electrode, it is continuously sent to the bonding / sealing process using the pressure roll shown in FIG. 5, while controlling the bonding position with W-1 at 140 ° C. Then, after bonding (bonding pressure was set to 0.2 MPa) and bonding, in the middle of curing (before the thermosetting adhesive was cured), it was heated to the temperature shown in Table 1 (25 to 140 ° C.). Various organic EL elements were produced by cutting (cutting) each element with a hot blade at a cutting speed (20 to 80 m / min) shown in Table 1.

上記の方法により作製した有機EL素子について、封止材の剥離量と発光効率(輝度)半減寿命を測定し評価した。   About the organic EL element produced by said method, the peeling amount of the sealing material and the luminous efficiency (luminance) half life were measured and evaluated.

《封止材の剥離量の測定》
封止剤の剥離量の測定は、次の手順で行った(図8参照)。:(i)断裁端面を10mm角に切り出す。(ii)切り出した端面サイド部をミクロトームで研磨する。(iii)電子顕微鏡(SEM)またはレーザー顕微鏡で断裁端面を400倍に拡大して剥離量を測定する。
<Measurement of amount of peeling of sealing material>
The measurement of the amount of peeling of the sealant was performed according to the following procedure (see FIG. 8). : (I) Cut the cut end face into 10 mm square. (Ii) The cut end face side portion is polished with a microtome. (Iii) The cut end face is magnified 400 times with an electron microscope (SEM) or a laser microscope, and the amount of peeling is measured.

《発光効率(輝度)半減寿命の測定》
発光効率(輝度)半減寿命は、各試料の素子を初期輝度が500cd/mとなるように印加電圧を調整した後、発光効率(輝度)が初期から50%低下するまでの時間を計測した。刃先温度140℃にて断裁・作製した有機EL素子の発光効率半減寿命を1.0としたときの各種有機EL素子の半減寿命を相対値で評価した。
<Measurement of luminous efficiency (luminance) half-life>
Luminous efficiency (luminance) half-life was measured by adjusting the applied voltage so that the initial luminance of each sample element was 500 cd / m 2 and then reducing the luminous efficiency (luminance) by 50% from the initial stage. . The half life of various organic EL elements was evaluated by relative values when the light emission efficiency half life of an organic EL element cut and produced at a blade edge temperature of 140 ° C. was set to 1.0.

以上の実験における条件及び評価結果をまとめて表1〜3及び図9に示す。   The conditions and evaluation results in the above experiments are summarized in Tables 1 to 3 and FIG.

Figure 0005093049
Figure 0005093049

Figure 0005093049
Figure 0005093049

Figure 0005093049
Figure 0005093049

表2、表3、及び図9に示した結果より明らかなように、本発明に係る有機EL素子は、剥離量が少なく、かつ発光効率半減寿命が長いことが分かる。   As is clear from the results shown in Tables 2 and 3, and FIG. 9, it can be seen that the organic EL device according to the present invention has a small amount of peeling and a long half-life of luminous efficiency.

すなわち、本発明の手段により、可撓性基材に設けられた有機EL素子をその単位ごとに(素子様に)断裁する際の基材と封止材との間に発生する層間剥離を抑制し、所望の封止性能が得られる有機EL素子の製造方法、製造装置、及び有機EL素子を提供することができることが分かる。   That is, by means of the present invention, delamination that occurs between the base material and the sealing material when the organic EL element provided on the flexible base material is cut for each unit (element-like) is suppressed. And it turns out that the manufacturing method of an organic EL element from which desired sealing performance is obtained, a manufacturing apparatus, and an organic EL element can be provided.

実施例2
有機EL素子のウェブW−1の作製において、正孔注入層を形成した後、第三の塗布室で、後述した液組成の発電層を塗布し(乾燥後の厚さが150nm)原反ウェブW−2を作製した以外は、有機EL素子の作製と同様にして、乾燥剤を素子内に有した有機光電変換素子を作製した。
Example 2
In the production of the web W-1 of the organic EL element, after forming the hole injection layer, the power generation layer having the liquid composition described later is applied in the third coating chamber (the thickness after drying is 150 nm). An organic photoelectric conversion element having a desiccant in the element was produced in the same manner as in the production of the organic EL element except that W-2 was produced.

(発電層用塗布液)
クロロベンゼン6mlに、数平均分子量45000のレジオレギュラーP3HT(ポリ(3−ヘキシルチオフェン)と、フラーレン誘導体PCBM(6,6−フェニル−C61−ブチル酸メチルエステル)を質量比が1:1で、3質量%となるように溶解した溶液を用いた。製膜後、140℃の乾燥ゾーンをゆっくり搬送しながら、窒素気流下で乾燥し、乾燥膜厚150nmの発電層を形成した。
(Coating liquid for power generation layer)
In 6 ml of chlorobenzene, a regioregular P3HT having a number average molecular weight of 45000 (poly (3-hexylthiophene)) and a fullerene derivative PCBM (6,6-phenyl-C 61 -butyric acid methyl ester) was used at a mass ratio of 1: 1. After forming the film, the film was dried in a nitrogen stream while slowly transporting the drying zone at 140 ° C. to form a power generation layer having a dry film thickness of 150 nm.

得られた乾燥剤を素子内に有した有機光電変換素子について、ソーラシミュレーター(AM1.5G)の光を100mW/cmの強度で照射し続けたときの短絡電流密度Jscを評価したところ、長時間に渡って高い安定性を示し、十分な耐光性を有することがあきらかになった。また、有機エレクトロルミネッセンス素子と同様に、有機光電変換素子においても、量産レベルの工程において、製品の歩留まり、すなわち製造コストを低廉にすることができることが明らかになった。 The organic photoelectric conversion device having the obtained desiccant in the device was evaluated for short-circuit current density Jsc when the solar simulator (AM1.5G) was continuously irradiated with light of 100 mW / cm 2. It was clear that it showed high stability over time and had sufficient light resistance. In addition, as with organic electroluminescence elements, it has been clarified that the yield of products, that is, the manufacturing cost can be reduced in an organic photoelectric conversion element in a mass production level process.

(a)は、有機EL素子の全体の基本的構成を示す模式図、(b)有機EL素子の発光素子部分の構成を示す模式図(A) is a schematic diagram which shows the fundamental structure of the whole organic EL element, (b) The schematic diagram which shows the structure of the light emitting element part of an organic EL element 熱刃の一例を示す模式図Schematic diagram showing an example of a hot blade 基材上にロール状の封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止工程と当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う断裁工程の概念図Conceptual diagram of a sealing process for bonding a roll-shaped sealing material on a base material with a thermosetting adhesive and a cutting process for performing hot-melt cutting before the thermosetting adhesive is cured 基材上にロール状の封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止工程と当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う断裁工程の概念図Conceptual diagram of a sealing process for bonding a roll-shaped sealing material on a base material with a thermosetting adhesive and a cutting process for performing hot-melt cutting before the thermosetting adhesive is cured 有機EL素子と封止材の基本的構成形態を示す模式図;(a)従来タイプの形態を示す模式図、(b)本発明に係る形態を示す模式図Schematic diagram showing basic configuration of organic EL element and sealing material; (a) Schematic diagram showing conventional type configuration, (b) Schematic diagram showing configuration according to the present invention 本発明に係る有機EL素子の製造装置及び製造プロセスの模式図Schematic diagram of organic EL device manufacturing apparatus and manufacturing process according to the present invention 本発明に係る封止材接着・断裁工程の一例を示す模式図The schematic diagram which shows an example of the sealing material adhesion | attachment / cutting process which concerns on this invention 封止材の剥離量の測定方法を示す概念図Conceptual diagram showing the method for measuring the amount of peeling of the sealing material 発光効率と発光寿命の関係を示す図Diagram showing the relationship between luminous efficiency and luminous lifetime

符号の説明Explanation of symbols

1 有機EL素子
2 熱刀
3 有機機能素子(OLED)形成済み基材
Pr 製造装置とプロセス
3′ 供給工程
301′ 帯状基材
4′ 正孔輸送層形成工程
5′ 発光層形成工程
5′a 第1塗布工程
5′a1 静電ノズル吐出装置
5′b 第1乾燥工程
5′c 第2塗布工程
5′c1 静電ノズル吐出装置
5′d 第2乾燥工程
5′e 第3塗布工程
5′e1 静電ノズル吐出装置
5′f 第3乾燥工程
7′ 電子注入層形成工程
8′ 第2電極形成工程
9′ 封止層形成工程
10 回収工程
140 封止材接着−断裁工程
141C ステンシル
141D 接着シート
144X、144Y 熱刀
150 断裁工程
151A、151B 熱刀
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic EL element 2 Hot sword 3 Organic functional element (OLED) formation base Pr Manufacturing apparatus and process 3 'Supply process 301' Band-shaped base material 4 'Hole transport layer formation process 5' Light emitting layer formation process 5'a 1st 1 coating process 5'a1 electrostatic nozzle ejection device 5'b first drying process 5'c second coating process 5'c1 electrostatic nozzle ejection device 5'd second drying process 5'e third coating process 5'e1 Electrostatic nozzle discharge device 5'f Third drying step 7 'Electron injection layer forming step 8' Second electrode forming step 9 'Sealing layer forming step 10 Collection step 140 Sealing material adhesion-cutting step 141C Stencil 141D Adhesive sheet 144X 144Y Hot sword 150 Cutting process 151A, 151B Hot sword

Claims (6)

少なくとも可撓性の基材、対向する一対の電極とそれらの間に挟持された有機層(以下「有機機能素子」という。)、及び封止材とで構成される有機エレクトロニクス素子の製造方法であって、前記基材上に有機機能素子を形成する工程の後に、(i)前記有機機能素子を覆うように前記基材上に封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止工程と、(ii)前記封止材を接着後、当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行うことで当該熱硬化型接着剤の断裁端部を硬化する断裁工程とを備えていることを特徴とする有機エレクトロニクス素子の製造方法。 A method for producing an organic electronic device comprising at least a flexible substrate, a pair of opposed electrodes, an organic layer sandwiched between them (hereinafter referred to as “organic functional device”), and a sealing material. And after the step of forming the organic functional element on the base material, (i) a sealing step of adhering a sealing material on the base material with a thermosetting adhesive so as to cover the organic functional element; And (ii) a cutting step of curing the cut end portion of the thermosetting adhesive by performing hot melt cutting after the sealing material is bonded and before the thermosetting adhesive is cured. A method for producing an organic electronics element, comprising: 前記熱溶融断裁の手段として、熱刃を用いることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法。 The method for producing an organic electronic element according to claim 1, wherein a hot blade is used as the means for hot melt cutting. 前記熱刃は、ヒータと刃先温度を検出する検出手段とを備え、前記検出手段で検出された温度に対応して、前記ヒータに供給する熱エネルギーを制御することを特徴とする請求項2に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法。 The said hot blade is provided with the detection means which detects a heater and blade edge | tip temperature, and controls the thermal energy supplied to the said heater according to the temperature detected by the said detection means. The manufacturing method of the organic electronics element of description. 前記熱刃の刃先温度が、前記熱硬化型接着剤の熱硬化温度以上であることを特徴とする請求項2又は3に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法。 4. The method of manufacturing an organic electronic element according to claim 2, wherein a blade edge temperature of the hot blade is equal to or higher than a heat curing temperature of the thermosetting adhesive. 5. 前記有機エレクトロニクス素子が、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法。 The said organic electronics element is an organic electroluminescent element, The manufacturing method of the organic electronics element as described in any one of Claim 1 to 3 characterized by the above-mentioned. 請求項1から5のいずれか一項に記載の有機エレクトロニクス素子の製造方法を実施するための有機エレクトロニクス素子の製造装置であって、可撓性の基材上に有機機能素子を形成する工程の後に、(i)前記有機機能素子を覆うように前記基材上にロール状の封止材を熱硬化型接着剤で接着する封止手段と、(ii)前記封止材を接着後、当該熱硬化型接着剤が硬化する前に熱溶融断裁を行う断裁手段とを備えていることを特徴とする有機エレクトロニクス素子の製造装置。 An organic electronics element manufacturing apparatus for carrying out the organic electronics element manufacturing method according to any one of claims 1 to 5, wherein the organic functional element is formed on a flexible substrate. (I) sealing means for bonding a roll-shaped sealing material on the base material with a thermosetting adhesive so as to cover the organic functional element; and (ii) after bonding the sealing material, An apparatus for manufacturing an organic electronic element, comprising: a cutting unit that performs hot-melt cutting before the thermosetting adhesive is cured.
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