JP5545301B2 - Organic electroluminescent panel manufacturing method, organic electroluminescent panel - Google Patents

Organic electroluminescent panel manufacturing method, organic electroluminescent panel Download PDF

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Description

本発明は有機エレクトロルミネッセンスパネル(以下、有機ELパネルとも言う)の製造方法及びこの製造方法により製造した有機ELパネルに関する。更に詳しくは、乾燥した接着剤層を有する封止部材を有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子とも言う)に貼着し、有機ELパネルを製造する有機ELパネルの製造方法及びこの製造方法により製造した有機ELパネルに関する。   The present invention relates to a method for producing an organic electroluminescence panel (hereinafter also referred to as an organic EL panel) and an organic EL panel produced by this production method. More specifically, an organic EL panel manufacturing method for manufacturing an organic EL panel by sticking a sealing member having a dried adhesive layer to an organic electroluminescence element (hereinafter also referred to as an organic EL element) and the manufacturing method. The present invention relates to the manufactured organic EL panel.

近年、有機物質を使用した有機EL素子は、固体発光型の安価な大面積フルカラー表示素子や書き込み光源アレイとしての用途が有望視されており、活発な研究開発が進められている。有機EL素子は、基材上に形成された第1電極(陽極又は陰極)と、その上に積層された有機発光物質を含有する有機機能層(単層部又は多層部)、即ち発光層と、この発光層上に積層された第2電極(陰極又は陽極)とを有する薄膜型の素子である。   In recent years, organic EL elements using organic substances have been promising for use as solid light-emitting inexpensive, large-area full-color display elements and writing light source arrays, and active research and development have been promoted. The organic EL element includes a first electrode (anode or cathode) formed on a substrate and an organic functional layer (single layer portion or multilayer portion) containing an organic light emitting material laminated thereon, that is, a light emitting layer. A thin film type device having a second electrode (cathode or anode) laminated on the light emitting layer.

この様な有機EL素子に電圧を印加すると、有機発光層に陰極から電子が注入され陽極から正孔が注入される。この電子と正孔が発光層において再結合し、エネルギー準位が伝導帯から価電子帯に戻る際にエネルギーを光として放出することにより発光が得られることが知られている。   When a voltage is applied to such an organic EL element, electrons are injected into the organic light emitting layer from the cathode and holes are injected from the anode. It is known that light is obtained by releasing energy as light when the electrons and holes recombine in the light emitting layer and the energy level returns from the conduction band to the valence band.

この様に、有機EL素子は薄膜型の素子であるため、1個又は複数個の有機EL素子を基材上に形成し、封止部材で封止した有機ELパネルをバックライト等の面光源として利用した場合には、面光源を備えた装置を容易に薄型にすることが出来る。又、画素としての有機EL素子を基材上に所定個数形成し、封止部材で封止した有機ELパネルをディスプレイパネルとして用いて表示装置を構成した場合には視認性が高い、視野角依存性がないなど、液晶表示装置では得られない利点がある。   Thus, since the organic EL element is a thin film type element, an organic EL panel in which one or a plurality of organic EL elements are formed on a substrate and sealed with a sealing member is used as a surface light source such as a backlight. When used as a device, a device including a surface light source can be easily made thin. In addition, when a predetermined number of organic EL elements as pixels are formed on a base material and a display device is configured using an organic EL panel sealed with a sealing member as a display panel, the visibility is high and depends on the viewing angle. There is an advantage that cannot be obtained with a liquid crystal display device.

有機ELパネルを表示装置に使用する上で、RGB三原色の安定した発光は必要不可欠な条件である。しかしながら、有機ELパネルにおいては、長時間駆動によりダークスポットと呼ばれる非発光点が発生し、このダークスポットの成長が有機ELパネルの寿命を短くしている原因の1つとなっている。ダークスポットは一般的に駆動直後は肉眼では見えない程度の大きさで発生し、これを核として連続駆動により成長していくことが知られている。又、ダークスポットは駆動を行わない保存状態でも発生し、経時的に成長することが知られている。   In using the organic EL panel in a display device, stable light emission of the three primary colors of RGB is an indispensable condition. However, in an organic EL panel, a non-light emitting point called a dark spot is generated by long-time driving, and the growth of the dark spot is one of the causes for shortening the lifetime of the organic EL panel. It is known that a dark spot is generally generated in a size that cannot be seen with the naked eye immediately after driving, and grows by continuous driving using this as a core. Further, it is known that dark spots are generated even in a storage state where driving is not performed and grows with time.

ダークスポットの原因は色々考えられるが、外的要因としては、水分や酸素の有機EL素子内への浸入による有機層の結晶化、第2電極の剥離等が考えられる。内的要因としては、第2電極を構成している金属の結晶成長によるショート、発光に伴う発熱による有機層の結晶化、劣化等がダークスポットの要因として考えられている。   There are various causes of the dark spot, but external factors include crystallization of the organic layer due to the penetration of moisture and oxygen into the organic EL element, peeling of the second electrode, and the like. As internal factors, short spots due to crystal growth of the metal constituting the second electrode, crystallization and deterioration of the organic layer due to heat generation due to light emission, and the like are considered as factors of dark spots.

これら、ダークスポットの発生を防止するために対策として、例えば特開平5−182759号、同5−36475号、特開2002−43055号には金属製やガラス製の封止缶により乾燥窒素雰囲気下で有機EL素子を被覆封止する方法が記載されている。しかし、ガラスや金属製の封止缶を用いるため、有機ELパネルを薄型・軽量化するのに限界があった。又、製造工程においては、気密ケース内部に乾燥剤を封入する工程、気密ケースに光硬化性樹脂を塗布する工程、透光性基板と気密ケースを貼り合せる工程、光硬化性樹脂を硬化させる工程があるため、生産性・製造コストの面で問題があった。   As countermeasures for preventing the occurrence of these dark spots, for example, JP-A-5-182759, JP-A-5-36475, and JP-A-2002-43055 disclose a dry nitrogen atmosphere using a metal or glass sealing can. Describes a method of covering and sealing an organic EL element. However, since a glass or metal sealing can is used, there is a limit to reducing the thickness and weight of the organic EL panel. In addition, in the manufacturing process, a step of encapsulating a desiccant inside the airtight case, a step of applying a photocurable resin to the airtight case, a step of bonding the light transmissive substrate and the airtight case, a step of curing the photocurable resin Therefore, there was a problem in terms of productivity and manufacturing cost.

更に、ダークスポットの発生を防止し、且つ薄型・軽量化対策として、金属箔などのガスバリア性の高いフィルムを用いて密着封止することにより、耐湿性に優れた薄型・軽量な有機ELパネルを得る方法が検討されてきた。   In addition, as a countermeasure for reducing the thickness and weight by preventing the generation of dark spots, a thin and lightweight organic EL panel with excellent moisture resistance can be obtained by tightly sealing with a film having a high gas barrier property such as a metal foil. Obtaining methods have been studied.

例えば、有機EL素子を製造する時、粘着剤としてオレフィン系重合体を使用した粘着性フィルムを使用する前に粘着性フィルム中に残存する水分を除去するために、80℃から300℃で粘着性フィルムを加熱処理し、水分含有率が0.1%以下として使用することが知られている(例えば、特許文献1参照。)。   For example, when manufacturing an organic EL device, the adhesive is used at 80 ° C. to 300 ° C. in order to remove moisture remaining in the adhesive film before using the adhesive film using an olefin polymer as an adhesive. It is known that the film is heat-treated and used with a moisture content of 0.1% or less (for example, see Patent Document 1).

しかしながら、特許文献1に記載の技術を使用して乾燥しても保存には適しておらず、粘着剤が外気から水分を吸収してしまい、ダークスポットの発生を防止するには不充分であることが判った。   However, even if it is dried using the technique described in Patent Document 1, it is not suitable for storage, and the pressure-sensitive adhesive absorbs moisture from the outside air and is insufficient to prevent the generation of dark spots. I found out.

特開2005−298703号公報JP 2005-298703 A

本発明はこの様な状況に鑑みなされたものであり、その目的は封止基材/ガスバリア層/接着剤層からなる帯状の封止部材を使用し有機EL素子を封止して有機ELパネルを製造するとき、接着剤層に含まれている水分の影響をなくし、ダークスポットの発生を抑え、薄型・軽量な有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネルを提供することである。   This invention is made | formed in view of such a condition, The objective is to seal an organic EL element using the strip | belt-shaped sealing member which consists of a sealing base material / gas barrier layer / adhesive layer, and organic EL panel It is intended to provide a thin and lightweight organic EL panel manufacturing method and an organic EL panel that eliminates the influence of moisture contained in the adhesive layer when manufacturing the organic EL panel, suppresses the generation of dark spots.

本発明の上記目的は、下記の構成により達成された。   The above object of the present invention has been achieved by the following constitution.

1.基材の上に、第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に有機発光層を含む少なくとも1層の有機機能層とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を封止部材で封止し、有機エレクトロルミネッセンスパネルを製造する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、前記封止部材は少なくとも封止基材の上にガラス転移温度Tgが40℃以上の接着剤層を積層した構成を有する帯状の形態を有し、前記封止部材を、前記有機エレクトロルミネッセンスパネル素子を封止する前に、前記接着剤層のガラス転移温度Tg以上、且つ前記封止基材のガラス転移温度Tg+10℃以下の温度で加熱乾燥し、巻き取り、ロール状であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   1. An organic electroluminescent device having a first electrode, a second electrode, and at least one organic functional layer including an organic light emitting layer between the first electrode and the second electrode is sealed on a substrate. In the method for manufacturing an organic electroluminescence panel, which is sealed with a stop member to manufacture an organic electroluminescence panel, the sealing member is formed by laminating an adhesive layer having a glass transition temperature Tg of 40 ° C. or higher on at least a sealing substrate. Before sealing the organic electroluminescence panel element, the sealing member has a belt-like form having the above-described configuration, and has a glass transition temperature Tg or higher of the adhesive layer and a glass transition of the sealing base material. A method for producing an organic electroluminescence panel, wherein the organic electroluminescence panel is heated and dried at a temperature of Tg + 10 ° C. or less, wound up, and rolled.

2.前記封止部材を加熱する時間は、2時間以上、24時間以下であることを特徴とする前記1に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   2. 2. The method for producing an organic electroluminescence panel according to 1 above, wherein the time for heating the sealing member is 2 hours or more and 24 hours or less.

3.前記加熱乾燥後の前記接着剤層の乾燥後の含水率が200ppm以下であることを特徴とする前記1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   3. 3. The method for producing an organic electroluminescence panel according to 1 or 2, wherein the moisture content after drying of the adhesive layer after the heat drying is 200 ppm or less.

4.前記加熱乾燥後の前記接着剤層の乾燥後の含水率が80ppm以下であることを特徴とする前記1から3の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   4). 4. The method for producing an organic electroluminescence panel according to any one of 1 to 3, wherein a moisture content after drying of the adhesive layer after the heat drying is 80 ppm or less.

5.前記封止部材の乾燥及び乾燥後の保管を水分量200ppm以下の環境で行うことを特徴とする前記1から4の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   5. 5. The method for producing an organic electroluminescence panel according to any one of 1 to 4, wherein the sealing member is dried and stored after drying in an environment having a moisture content of 200 ppm or less.

6.前記封止部材による、前記有機エレクトロルミネッセンス素子の封止は、水分量200ppm以下の環境で行うことを特徴とする前記1から5の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   6). 6. The method of manufacturing an organic electroluminescence panel according to any one of 1 to 5, wherein the sealing of the organic electroluminescence element by the sealing member is performed in an environment having a moisture content of 200 ppm or less.

7.前記1から6の何れか1項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。   7). 7. An organic electroluminescence panel manufactured by the manufacturing method according to any one of 1 to 6 above.

発明者らは、接着剤層の含水率が0.05%、封止基材の水蒸気透過度が0.01g/m・day以下である封止基材/ガスバリア層/接着剤層からなる帯状の封止部材を使用し、接着剤層を介して封止部材を貼着することで有機EL素子を密着封止した有機ELパネルを使用した場合、ダークスポットが何故発生するかを検討した結果、次のことが判明した。The inventors have a sealing substrate / gas barrier layer / adhesive layer in which the moisture content of the adhesive layer is 0.05% and the water vapor permeability of the sealing substrate is 0.01 g / m 2 · day or less. We examined why dark spots occur when using an organic EL panel in which an organic EL element is tightly sealed by using a band-shaped sealing member and sticking the sealing member through an adhesive layer. As a result, the following was found.

有機ELパネルを使用した時のダークスポットの発生状況を観察すると、以下のパターンがあることが判った。
1)ダークスポットの発生が初期では有機ELパネルの周囲に発生し、経時に従って周囲から内部に広がると共に、全面に発生したダークスポットは、経時に従って更に多くなる。
2)ダークスポットの発生が有機ELパネルの全面に亘り発生し、経時に従って更に多くなる。
Observing the occurrence of dark spots when using the organic EL panel, it was found that there was the following pattern.
1) Dark spots are initially generated around the organic EL panel and spread from the periphery to the inside as time passes, and the dark spots generated on the entire surface further increase as time passes.
2) Generation of dark spots occurs over the entire surface of the organic EL panel, and increases with time.

何故、1)、2)の様なパターンが発生するのか更に検討した結果、1)の場合、使用する接着剤層の防水性が不足し、初期の段階では周囲から水分が有機ELパネルの内部に浸透するため周囲にダークスポットが発生する。経時に従い、水分が更に有機ELパネルの内部中央に浸透することで全面にダークスポットが発生するのと合わせ、接着剤層が含有する水分によりダークスポットが発生する。2)の場合、接着剤層に使用する接着剤に防水性があるため、周囲から有機ELパネルの内部への水分の浸透は防止するが、接着剤層が含有する水分によりダークスポットが発生する。   As a result of further investigation on why the pattern as in 1) and 2) occurs, in the case of 1), the waterproofness of the adhesive layer used is insufficient, and in the initial stage, moisture from the surroundings inside the organic EL panel Dark spots are generated around it. Along with the passage of time, moisture further penetrates into the center of the inside of the organic EL panel, so that dark spots are generated on the entire surface, and dark spots are generated by the moisture contained in the adhesive layer. In the case of 2), since the adhesive used for the adhesive layer is waterproof, the penetration of moisture from the surroundings to the inside of the organic EL panel is prevented, but dark spots are generated by the moisture contained in the adhesive layer. .

接着剤に熱可塑性樹脂を使用した場合、熱可塑性樹脂は、単量体(モノマー)の繰り返し構造を持つ大きな分子構造を有しているため、含まれている水分は非常に抜け難く、熱可塑性樹脂の乾燥は、以下に示す期間を経て行われることが知られている。   When a thermoplastic resin is used for the adhesive, the thermoplastic resin has a large molecular structure with a repeating structure of the monomer (monomer). It is known that the resin is dried after the following period.

1)材料が熱風を受け入れて水が蒸発を始めると同時に、材料の表面にある水の温度が熱風の湿球温度に上昇する材料余熱期間。   1) A material preheating period in which the temperature of water on the surface of the material rises to the wet-bulb temperature of the hot air as soon as the material receives the hot air and the water starts to evaporate.

2)材料表面の水の温度が湿球温度を保ち、熱風から受けた熱量の全てを水蒸発に使い、蒸発した後には材料内部から同量の水が移動してくる期間であり、蒸発速度が一定となり、含水率は時間に比例して減少していく恒率乾燥期間。   2) The temperature of the water on the surface of the material maintains the wet bulb temperature, and all of the heat received from the hot air is used for water evaporation. After evaporation, the same amount of water moves from the inside of the material, and the evaporation rate Is a constant drying period in which the moisture content decreases in proportion to time.

3)乾燥が進むと、ついに材料内部から表面へ拡散する水分の補給速度が、表面の蒸発速度に追いつかなくなって、表面に乾燥部分が発生し、材料温度が上昇していき最終的に平衡含水率となる減率乾燥期間。   3) As the drying progresses, the replenishment rate of moisture that diffuses from the inside of the material to the surface cannot catch up with the evaporation rate of the surface, and a dry part is generated on the surface, the temperature of the material rises and finally the equilibrium water content Decrease in the drying period.

何故、防水性の接着剤を使用したのに、ダークスポットが発生するのかを更に検討した結果、接着剤層に熱可塑性樹脂からなる接着剤を使用した封止部材は、一旦熱可塑性樹脂を加熱した後に貼着することが知られているが、加熱温度が低いか、又は、加熱時間が短いために平衡含水率となっていないことが判った。   Why was a waterproof adhesive used, and as a result of further investigation on the occurrence of dark spots, a sealing member using an adhesive made of thermoplastic resin in the adhesive layer once heated the thermoplastic resin. However, it was found that the equilibrium moisture content was not achieved because the heating temperature was low or the heating time was short.

即ち、含有する水分が抜けきらない状態(恒率乾燥期間の途中の状態)で被接着体に貼着された状態となっているため、接着剤層に含有する水分が有機EL素子と接着剤層との界面に除々に浸み出すことによりダークスポットが発生すると推定した。   That is, the moisture contained in the adhesive layer is adhered to the adherend in a state where the contained moisture cannot be completely removed (in the middle of the constant rate drying period). It was estimated that dark spots were generated by gradually leaching into the interface with the layer.

ダークスポットの発生を防止するためには、使用に耐える接着剤層の水分量まで水分を減らすことが効果的であり、接着剤層のガラス転移温度Tg以上、且つ封止基材のガラス転移温度Tg+10℃以下の温度で封止部材を加熱乾燥することで本願発明の目的効果を達成出来ることを見出し、本発明に至った次第である。   In order to prevent the occurrence of dark spots, it is effective to reduce the water content to the moisture content of the adhesive layer that can withstand use, and the glass transition temperature Tg of the adhesive layer or higher and the glass transition temperature of the sealing substrate It has been found that the object and effect of the present invention can be achieved by heating and drying the sealing member at a temperature of Tg + 10 ° C. or lower, and the present invention has been achieved.

封止基材/ガスバリア層/接着剤層を有した帯状の封止部材を使用し有機EL素子を封止して有機ELパネルを製造するとき、接着剤層に含まれている水分の影響をなくし、ダークスポットの発生を抑え、薄型・軽量な有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネルを提供することが出来た。   When manufacturing an organic EL panel by sealing an organic EL element using a band-shaped sealing member having a sealing substrate / gas barrier layer / adhesive layer, the influence of moisture contained in the adhesive layer is affected. Thus, the production of a thin and light organic EL panel and the organic EL panel can be provided by suppressing the generation of dark spots.

本発明の有機ELパネルの製造方法により製造された直列型有機ELパネルの一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the serial type organic electroluminescent panel manufactured by the manufacturing method of the organic electroluminescent panel of this invention. 図1(b)に示す以外の構成の直列型有機ELパネルの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the series type organic electroluminescent panel of a structure except having shown in FIG.1 (b). 図2に示す以外の構成の直列型有機ELパネルの概略断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view of a series organic EL panel having a configuration other than that shown in FIG. 2. 帯状の可撓性基材を用いたロールツーロール方式による直列型有機ELパネルの製造工程の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the manufacturing process of the serial type organic EL panel by the roll-to-roll system using a strip | belt-shaped flexible base material. 本発明に使用する封止部材の概略図である。It is the schematic of the sealing member used for this invention. 図4に示すロール状の封止部材を乾燥する一例の乾燥装置の例概略図である。It is an example schematic diagram of an example drying apparatus which dries the roll-shaped sealing member shown in FIG. 図4に示す直列型有機ELパネルの製造工程で、基材供給工程から有機機能層形成工程までの概略フロー図である。FIG. 5 is a schematic flow diagram from a base material supplying step to an organic functional layer forming step in the manufacturing process of the serial type organic EL panel shown in FIG. 4. 図4に示す直列型有機ELパネルの製造工程で、ドライ成膜工程から乾燥済みの封止部材の準備までの概略フロー図である。FIG. 5 is a schematic flow diagram from the dry film forming process to the preparation of a dried sealing member in the serial type organic EL panel manufacturing process shown in FIG. 4. 図4に示す直列型有機ELパネルの製造工程で、封止工程から断裁工程までの概略フロー図である。FIG. 5 is a schematic flow diagram from a sealing process to a cutting process in the manufacturing process of the series organic EL panel shown in FIG. 4.

以下、本発明を実施する形態を図1から図9を参照しながら説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 9, but the present invention is not limited thereto.

図1は本発明の有機ELパネルの製造方法により製造された直列型有機ELパネルの一例を示す概略図である。図1(a)は本発明の有機ELパネルの製造方法により製造された直列型有機ELパネルの一例を示す概略斜視図である。図1(b)は図1(a)に示すA−A′に沿った概略拡大断面図である。   FIG. 1 is a schematic view showing an example of a series organic EL panel manufactured by the method for manufacturing an organic EL panel of the present invention. Fig.1 (a) is a schematic perspective view which shows an example of the series type organic electroluminescent panel manufactured by the manufacturing method of the organic electroluminescent panel of this invention. FIG.1 (b) is a general | schematic expanded sectional view along AA 'shown to Fig.1 (a).

図中、1は直列型有機ELパネルを示す。101は光透過性を有する基材を示す。直列型有機ELパネル1は基材101と、第1電極(陽極)102と、有機発光層を含む有機機能層103と、第2電極(陰極)104と、第1の封止部材105と、第1電極用外部接続用電極102a1と、第2電極用外部接続用電極104c1を有している。   In the figure, 1 indicates a series-type organic EL panel. Reference numeral 101 denotes a substrate having optical transparency. The series organic EL panel 1 includes a base material 101, a first electrode (anode) 102, an organic functional layer 103 including an organic light emitting layer, a second electrode (cathode) 104, a first sealing member 105, The first electrode external connection electrode 102a1 and the second electrode external connection electrode 104c1 are provided.

本図では第1電極(陽極)102が基材101に3列に配置された第1電極(陽極)102aから102cで構成されている状態を示している。第1電極(陽極)を配置する数は特に限定はなく、必要に応じて適宜選択することが可能である。   This figure shows a state in which the first electrode (anode) 102 is composed of first electrodes (anodes) 102 a to 102 c arranged in three rows on the base material 101. The number of the first electrodes (anodes) to be arranged is not particularly limited and can be appropriately selected as necessary.

第1電極(陽極)102aは第1電極用外部接続用電極102a1を形成する部分を含み、第1電極(陽極)102bは第2電極接合部分102b1を含み、第1電極(陽極)102cは第2電極接合部分102c1を含んでいる。第1電極(陽極)102と基材101との間にガスバリア膜(不図示)を設けても構わない。   The first electrode (anode) 102a includes a portion for forming the first electrode external connection electrode 102a1, the first electrode (anode) 102b includes a second electrode joint portion 102b1, and the first electrode (anode) 102c A two-electrode joining portion 102c1 is included. A gas barrier film (not shown) may be provided between the first electrode (anode) 102 and the substrate 101.

第2電極用外部接続用電極104c1は第1電極(陽極)102を形成する際に基材101上に第1電極102と分離された位置に形成されたリード部108(図9参照)と第2電極(陰極)104とが接合されることで形成される。   When the first electrode (anode) 102 is formed, the second electrode external connection electrode 104c1 includes a lead portion 108 (see FIG. 9) formed on the substrate 101 at a position separated from the first electrode 102, and the second electrode 104c1. It is formed by joining two electrodes (cathode) 104.

103は3列に配置された第1電極(陽極)102aから102c毎の上に独立に形成されている有機機能層を示す。   Reference numeral 103 denotes an organic functional layer formed independently on each of the first electrodes (anodes) 102a to 102c arranged in three rows.

有機機能層103は、第1電極(陽極)102aでは第1電極用外部接続用電極102a1を形成する部分を除き、第1電極(陽極)102bでは第2電極104aと接続する部分102b1を除き、第1電極(陽極)102cでは第2電極104bと接続する部分102c1を除き形成されている。   In the organic functional layer 103, the first electrode (anode) 102a excludes the portion for forming the first electrode external connection electrode 102a1, and the first electrode (anode) 102b excludes the portion 102b1 connected to the second electrode 104a. The first electrode (anode) 102c is formed except for the portion 102c1 connected to the second electrode 104b.

第2電極(陰極)104(104aから104c)は、第1電極(陽極)102bと、第1電極(陽極)102cと接続する様に、各第1電極(陽極)102aから102cの上に形成された有機機能層103aから103cの上に形成されている。   The second electrode (cathode) 104 (104a to 104c) is formed on each first electrode (anode) 102a to 102c so as to be connected to the first electrode (anode) 102b and the first electrode (anode) 102c. The organic functional layers 103a to 103c are formed.

第1電極(陽極)102a上に形成された有機機能層103aの上の第2電極(陰極)104aは第1電極(陽極)102bの第2電極接合部分102b1と接合する様に形成されている。   The second electrode (cathode) 104a on the organic functional layer 103a formed on the first electrode (anode) 102a is formed so as to be joined to the second electrode joint portion 102b1 of the first electrode (anode) 102b. .

第1電極(陽極)102b上に形成された有機機能層103bの上の第2電極(陰極)104bは第1電極(陽極)102cの第2電極接合部分102c1と接合する様に形成されている。   The second electrode (cathode) 104b on the organic functional layer 103b formed on the first electrode (anode) 102b is formed so as to be joined to the second electrode joint portion 102c1 of the first electrode (anode) 102c. .

第1電極(陽極)102c上に形成された有機機能層103cの上の第2電極(陰極)104cはリード部108(図9参照)と接合する様に形成されている。   The second electrode (cathode) 104c on the organic functional layer 103c formed on the first electrode (anode) 102c is formed so as to be joined to the lead portion 108 (see FIG. 9).

第1電極(陽極)102a上に形成された有機機能層103aの上の第2電極(陰極)104aと、第1電極(陽極)102b上に形成された有機機能層103b上の第2電極(陰極)104bとの間、第1電極(陽極)102b上に形成された有機機能層103bの上の第2電極(陰極)104bと、第1電極(陽極)102c上に形成された有機機能層103cの上の第2電極(陰極)104cとの間は間隔が開けられ、接着剤層105cで接触しない様な構成となっている。   A second electrode (cathode) 104a on the organic functional layer 103a formed on the first electrode (anode) 102a, and a second electrode (on the organic functional layer 103b formed on the first electrode (anode) 102b) ( Organic functional layer formed on the second electrode (cathode) 104b on the organic functional layer 103b formed on the first electrode (anode) 102b and the first electrode (anode) 102c. The second electrode (cathode) 104c above 103c is spaced from the second electrode (cathode) 104c so that it does not come into contact with the adhesive layer 105c.

第1の封止部材105は、封止基材105aの上に、ガスバリア層105bと、接着剤層105cとを順次積層した構成を有している。ガスバリア層105bは無機膜から構成されている。接着剤層105cはガラス転移温度Tgが40℃以上の熱可塑性樹脂を使用する。ガラス転移温度Tgが40℃以上の接着剤層105cとすることで、保管する時に接着剤層が軟化し、接着剤層への水分の浸透を防止することが可能となる。尚、ガラス転移温度Tgは、株式会社パーキンエルマージャパン 示差走査熱量測定装置(DSC6000)で測定した値を示す。   The first sealing member 105 has a configuration in which a gas barrier layer 105b and an adhesive layer 105c are sequentially laminated on a sealing substrate 105a. The gas barrier layer 105b is composed of an inorganic film. The adhesive layer 105c uses a thermoplastic resin having a glass transition temperature Tg of 40 ° C. or higher. By using the adhesive layer 105c having a glass transition temperature Tg of 40 ° C. or higher, the adhesive layer is softened during storage, and it is possible to prevent moisture from penetrating into the adhesive layer. In addition, glass transition temperature Tg shows the value measured with Perkin-Elmer Japan Co., Ltd. differential scanning calorimeter (DSC6000).

本発明で接着剤層とは、接着剤、添加剤(例えば、フィラー)を有する接着剤を含めて構成される層を言う。   In the present invention, the adhesive layer refers to a layer including an adhesive having an adhesive and an additive (for example, a filler).

第1の封止部材105は、接着剤層105cを第1電極用外部接続用電極102a1の一部と、第2電極用外部接続用電極104c1の一部とを除き基材101の上に接着することで設けられている。   The first sealing member 105 adheres the adhesive layer 105c onto the substrate 101 except for a part of the first electrode external connection electrode 102a1 and a part of the second electrode external connection electrode 104c1. It is provided by doing.

図1に示す直列型有機ELパネル1を含む有機ELパネルの課題として、接着剤層105cの水分に伴うダークスポットの発生が挙げられており、このダークスポットの発生を防止することが求められている。   As a problem of the organic EL panel including the series organic EL panel 1 shown in FIG. 1, generation of dark spots due to moisture in the adhesive layer 105c is cited, and it is required to prevent the generation of the dark spots. Yes.

本発明は、接着剤層105cに含まれる水分量を出来る限り少なくした封止部材を使用することで接着剤層105cに含まれる水分に伴うダークスポットの発生を防止した有機ELパネルの製造方法及びこの製造方法で製造した有機ELパネルに関するものである。   The present invention provides a method for producing an organic EL panel in which the generation of dark spots due to moisture contained in the adhesive layer 105c is prevented by using a sealing member in which the amount of moisture contained in the adhesive layer 105c is reduced as much as possible. The present invention relates to an organic EL panel manufactured by this manufacturing method.

本発明では、基材101/第1電極102/有機発光層を含む有機機能層103/第2電極104/と、第1電極用外部接続用電極102a1及び第2電極用外部接続用電極104c1を含む積層体を有機EL素子と言う。本図は有機ELパネル素子を第1の封止部材105で封止した直列型有機ELパネルを示す。   In the present invention, the base material 101 / the first electrode 102 / the organic functional layer 103 including the organic light emitting layer / the second electrode 104 /, the first electrode external connection electrode 102a1, and the second electrode external connection electrode 104c1. The laminated body containing is called an organic EL element. This figure shows a serial type organic EL panel in which an organic EL panel element is sealed with a first sealing member 105.

次に、図2及び図3に図1(b)に示す以外の構成の直列型有機ELパネルの構成に付き説明する。   Next, the configuration of a series organic EL panel having a configuration other than that shown in FIG.

図2は図1(b)に示す以外の構成の直列型有機ELパネルの概略断面図である。尚、本図の有機ELパネルは図1(b)と同じであるため説明は省略する。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a series organic EL panel having a configuration other than that shown in FIG. The organic EL panel in this figure is the same as that in FIG.

図2の(a)の直列型有機ELパネルに付き説明する。   This will be described with reference to the series-type organic EL panel shown in FIG.

図1(b)の有機ELパネルとの違いは、有機EL素子上に第1の封止部材105を貼り付けるのではなく、有機EL素子を第1の封止部材105と、第2の封止部材106とにより挟み込み密封することである。図中、1aは直列型有機ELパネルを示す。第2の封止部材106は封止基材106aの上に、ガスバリア層106bと、接着剤層106cとを順次積層した構成を有している。ガスバリア層106bは無機膜から構成されている。接着剤層106cは熱可塑性樹脂を使用する。他の符号は図1(b)と同じである。   The difference from the organic EL panel in FIG. 1B is that the first sealing member 105 is not attached to the organic EL element, but the organic EL element is attached to the first sealing member 105 and the second sealing member. It is sandwiched and sealed by the stop member 106. In the figure, reference numeral 1a denotes a serial type organic EL panel. The second sealing member 106 has a configuration in which a gas barrier layer 106b and an adhesive layer 106c are sequentially laminated on a sealing substrate 106a. The gas barrier layer 106b is composed of an inorganic film. The adhesive layer 106c uses a thermoplastic resin. Other reference numerals are the same as those in FIG.

図2の(b)の直列型有機ELパネルに付き説明する。   This will be described with reference to the series-type organic EL panel shown in FIG.

図1(b)の有機ELパネルとの違いは、図1(b)の有機ELパネルを、第2の封止部材106と、第3の封止部材107とにより挟み込み密封することである。図中、1bは直列型有機ELパネルを示す。第3の封止部材107は封止基材107aのり上に、ガスバリア層107bと、接着剤層107cとを順次積層した構成を有している。ガスバリア層107bは、無機膜から構成されている。接着剤層107cは熱可塑性樹脂を使用する。他の符号は図1(b)、図2の(a)と同じである。   The difference from the organic EL panel in FIG. 1B is that the organic EL panel in FIG. 1B is sandwiched and sealed between the second sealing member 106 and the third sealing member 107. In the figure, 1b represents a series organic EL panel. The third sealing member 107 has a configuration in which a gas barrier layer 107b and an adhesive layer 107c are sequentially laminated on a sealing base material 107a. The gas barrier layer 107b is composed of an inorganic film. The adhesive layer 107c uses a thermoplastic resin. Other reference numerals are the same as those in FIGS. 1B and 2A.

図2の(c)の直列型有機ELパネルに付き説明する。   This will be described with reference to the series-type organic EL panel shown in FIG.

図2の(b)の有機ELパネルとの違いは、第1の封止部材105の代わりに第4の封止部材108を使用することである。図中、1cは直列型有機ELパネルを示す。第4の封止部材108は封止基材108aの上に、ガスバリア層108bと、接着剤層108cとを順次積層した構成を有している。   The difference from the organic EL panel of FIG. 2B is that the fourth sealing member 108 is used instead of the first sealing member 105. In the figure, 1c represents a series-type organic EL panel. The fourth sealing member 108 has a configuration in which a gas barrier layer 108b and an adhesive layer 108c are sequentially laminated on a sealing substrate 108a.

封止基材108aは第1の封止部材105の封止基材105aと同じである。ガスバリア層108bは無機膜から構成されている。接着剤層108cの接着剤としては活性エネルギー線硬化型の熱可塑性樹脂を使用している。他の符号は図1(b)、図2の(b)と同じである。尚、第1電極(陽極)102と基材106との間にガスバリア膜(不図示)を設けても構わない。   The sealing base material 108 a is the same as the sealing base material 105 a of the first sealing member 105. The gas barrier layer 108b is composed of an inorganic film. As the adhesive for the adhesive layer 108c, an active energy ray-curable thermoplastic resin is used. Other reference numerals are the same as those in FIGS. 1B and 2B. A gas barrier film (not shown) may be provided between the first electrode (anode) 102 and the substrate 106.

図3は図2に示す以外の構成の直列型有機ELパネルの概略断面図である。   FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a series organic EL panel having a configuration other than that shown in FIG.

図3の(a)の直列型有機ELパネルに付き説明する。   This will be described with reference to the series-type organic EL panel shown in FIG.

図2(b)の有機ELパネルとの違いは、第1の封止部材105の代わりに第5の封止部材109を使用することである。図中、1dは直列型有機ELパネルを示す。第5の封止部材109は封止基材109aの上に、接着剤層109bを積層した構成を有している。   The difference from the organic EL panel in FIG. 2B is that a fifth sealing member 109 is used instead of the first sealing member 105. In the figure, 1d indicates a series organic EL panel. The fifth sealing member 109 has a configuration in which an adhesive layer 109b is laminated on a sealing base material 109a.

封止基材109aは第1の封止部材105の封止基材105aと同じである。接着剤層109bは、熱可塑性樹脂を使用する。他の符号は図2(b)と同じである。   The sealing base material 109 a is the same as the sealing base material 105 a of the first sealing member 105. The adhesive layer 109b uses a thermoplastic resin. Other symbols are the same as those in FIG.

図3の(b)の直列型有機ELパネルに付き説明する。   The serial type organic EL panel shown in FIG.

図2(b)の有機ELパネルとの違いは、第1の封止部材105の代わりに第6の封止部材110を使用することである。図中、1eは直列型有機ELパネルを示す。第6の封止部材110は封止基材110aの上に、接着剤層110bを積層した構成を有している。封止基材110aは第1の封止部材105の封止基材105aと同じである。接着剤層110bの接着剤としては活性エネルギー線硬化型の熱可塑性樹脂を使用している。他の符号は図2(b)と同じである。尚、第1電極(陽極)102と基材106との間にガスバリア膜(不図示)を設けても構わない。   The difference from the organic EL panel of FIG. 2B is that the sixth sealing member 110 is used instead of the first sealing member 105. In the figure, 1e indicates a series organic EL panel. The sixth sealing member 110 has a configuration in which an adhesive layer 110b is laminated on a sealing substrate 110a. The sealing substrate 110 a is the same as the sealing substrate 105 a of the first sealing member 105. As the adhesive for the adhesive layer 110b, an active energy ray-curable thermoplastic resin is used. Other symbols are the same as those in FIG. A gas barrier film (not shown) may be provided between the first electrode (anode) 102 and the substrate 106.

図2、図3の直列型有機ELパネル用いられる封止部材においても、本発明の有機ELパネルの製造方法に係わる接着剤層を乾燥する方法を用いることが望ましい。   Also in the sealing member used in the series type organic EL panel of FIGS. 2 and 3, it is desirable to use the method of drying the adhesive layer related to the method of manufacturing the organic EL panel of the present invention.

図4は帯状の可撓性の基材を用いたロールツーロール方式による直列型有機ELパネルの製造工程の一例を示す模式図である。   FIG. 4 is a schematic view showing an example of a production process of a series organic EL panel by a roll-to-roll method using a strip-like flexible base material.

図中、2は図1に示される有機ELパネルを製造する製造工程を示す。製造工程2は、基材供給工程3と、有機機能層形成工程4と、ドライ成膜工程5と、封止工程6、断裁工程8とを有している。   In the figure, reference numeral 2 denotes a manufacturing process for manufacturing the organic EL panel shown in FIG. The manufacturing process 2 includes a base material supplying process 3, an organic functional layer forming process 4, a dry film forming process 5, a sealing process 6, and a cutting process 8.

基材供給工程3は、繰り出し装置301と、表面処理装置302と、アキュームレータ303とを使用している。   The substrate supply process 3 uses a feeding device 301, a surface treatment device 302, and an accumulator 303.

繰り出し装置301からは一定長さの第1電極が3列と、リード部が1列の4列を1つのブロックL(図9参照)として、このブロックL(図9参照)が搬送方向に連続して既に形成された帯状の可撓性の基材301aが繰り出され表面処理装置302を介して有機機能層形成工程4に送られる。この1つのブロックL(図9参照)が1つの有機EL素子を形成するブロックとなる。   From the feeding device 301, the first electrode having a certain length is arranged in three rows and the lead portion is arranged in four rows as one block L (see FIG. 9), and this block L (see FIG. 9) continues in the transport direction. Then, the already formed belt-like flexible base material 301 a is fed out and sent to the organic functional layer forming step 4 through the surface treatment device 302. This one block L (see FIG. 9) is a block forming one organic EL element.

帯状の可撓性の基材301aには第1電極及びリード部の形成位置を示すアライメントマークM(図9参照)が予め付けられている。   An alignment mark M (see FIG. 9) indicating the formation position of the first electrode and the lead portion is attached in advance to the strip-shaped flexible base material 301a.

表面処理装置302は、第1電極の表面を洗浄改質する洗浄表面改質処理手段302aと、除電処理手段302bとを有している。洗浄表面改質処理手段302aとしては、例えば低圧水銀ランプ、エキシマランプ、プラズマ洗浄装置等が挙げられる。除電処理手段302bとしては、例えば光照射方式とコロナ放電式等が挙げられる。   The surface treatment apparatus 302 includes a cleaning surface modification processing unit 302a that cleans and modifies the surface of the first electrode, and a charge removal processing unit 302b. Examples of the cleaning surface modification processing unit 302a include a low-pressure mercury lamp, an excimer lamp, and a plasma cleaning apparatus. Examples of the charge removal processing unit 302b include a light irradiation method and a corona discharge method.

アキュームレータ303は、帯状の可撓性の基材301aの交換する時の搬送速度との調整、工程トラブル対応等のために配設されており、一定長さの帯状の可撓性の基材301aを貯める機能を有している。   The accumulator 303 is disposed for adjustment of the conveyance speed when replacing the strip-shaped flexible base material 301a, for handling a process trouble, and the like. The accumulator 303 has a certain length of the strip-shaped flexible base material 301a. It has a function to save.

有機機能層形成工程4は、正孔輸送層をウェット方式で成膜し形成する正孔輸送層形成工程401、発光層をウェット方式で成膜し形成する発光層形成工程402と、電子輸送層をウェット方式で成膜し形成する電子輸送層形成工程403とを有している。   The organic functional layer forming step 4 includes a hole transport layer forming step 401 for forming and forming a hole transport layer by a wet method, a light emitting layer forming step 402 for forming and forming a light emitting layer by a wet method, and an electron transport layer. And an electron transport layer forming step 403 for forming a film by a wet method.

有機機能層形成工程4は、基材供給工程3から搬送されてくる帯状の可撓性の基材301aに付けられたアライメントマークM(図9参照)を検出装置(不図示)で読み取り、検出装置(不図示)の情報に従って、帯状の可撓性の基材301aの上に形成されている3列の各第1電極の位置に合わせて、正孔輸送層、発光層、電子輸送層を順次形成する。この後、ドライ成膜工程5に搬送される。   In the organic functional layer forming step 4, the alignment mark M (see FIG. 9) attached to the strip-shaped flexible base material 301a conveyed from the base material supplying step 3 is read and detected by a detection device (not shown). According to the information of the apparatus (not shown), the hole transport layer, the light emitting layer, and the electron transport layer are arranged in accordance with the position of each of the three rows of first electrodes formed on the strip-shaped flexible substrate 301a. Sequentially formed. Thereafter, the film is transferred to the dry film forming step 5.

正孔輸送層形成工程401は、基材供給工程3から搬送されてくる帯状の可撓性の基材301aをバックアップロール401aで保持し、塗布室(不図示)に配設された塗布装置401bにより、帯状の可撓性の基材301aを連続的に搬送しながら、正孔輸送層形成用塗布液を塗布し、塗膜中の溶媒を乾燥装置401cで除去し正孔輸送層を形成する。アキュームレータ401dは工程トラブル対応等のために配設されており、一定長さの帯状の可撓性の基材301aを貯める機能を有している。   In the hole transport layer forming step 401, a belt-like flexible base material 301a conveyed from the base material supply step 3 is held by a backup roll 401a, and a coating device 401b disposed in a coating chamber (not shown). Thus, while continuously transporting the belt-like flexible substrate 301a, the hole transport layer forming coating solution is applied, and the solvent in the coating film is removed by the drying device 401c to form the hole transport layer. . The accumulator 401d is disposed for dealing with process troubles and the like, and has a function of storing a strip-shaped flexible base material 301a having a predetermined length.

発光層形成工程402は、正孔輸送層形成工程401から搬送されてくる帯状の可撓性の基材301aをバックアップロール402aで保持し、塗布室(不図示)に配設された塗布装置402bにより、帯状の可撓性の基材301aを連続的に搬送しながら、発光層形成用塗布液を塗布し、塗膜中の溶媒を乾燥装置402cで除去し発光層を形成する。アキュームレータ402dは工程トラブル対応等のために配設されており、一定長さの帯状の可撓性の基材301aを貯める機能を有している。   In the light emitting layer forming step 402, a belt-like flexible base material 301a conveyed from the hole transport layer forming step 401 is held by a backup roll 402a, and a coating device 402b disposed in a coating chamber (not shown). Thus, while continuously feeding the belt-shaped flexible substrate 301a, the light emitting layer forming coating solution is applied, and the solvent in the coating film is removed by the drying device 402c to form the light emitting layer. The accumulator 402d is provided for dealing with process troubles and the like, and has a function of storing a strip-like flexible base material 301a having a predetermined length.

電子輸送層形成工程403は、発光層形成工程402から搬送されてくる帯状の可撓性の基材301aをバックアップロール403aで保持し、塗布室(不図示)に配設された塗布装置403bにより、帯状の可撓性の基材301aを連続的に搬送しながら、電子輸送層形成用塗布液を塗布し、塗膜中の溶媒を乾燥装置403cで除去し発光層を形成する。アキュームレータ403dは速度差を調整(例えば連続/間欠駆動対応)、工程トラブル対応等のために配設されており、一定長さの帯状の可撓性の基材301aを貯める機能を有している。   In the electron transport layer forming step 403, the belt-shaped flexible base material 301a conveyed from the light emitting layer forming step 402 is held by a backup roll 403a and is applied by a coating device 403b disposed in a coating chamber (not shown). While continuously transporting the belt-like flexible substrate 301a, the electron transport layer forming coating solution is applied, and the solvent in the coating film is removed by the drying device 403c to form the light emitting layer. The accumulator 403d is arranged for adjusting a speed difference (for example, continuous / intermittent driving), for handling a process trouble, and the like, and has a function of storing a strip-shaped flexible base material 301a having a certain length. .

有機機能層形成工程4で有機機能層形成用塗布液を塗布する方法は特に限定はない。例えば基材の全面に塗布し乾燥した後、帯状の可撓性の基材301aに設けられたアライメントマークM(図9参照)に従って、第1電極用外部接続用電極、第2電極接合部、リード部(第2電極用外部接続用電極)の一部が出現する様に有機機能層を溶解する溶媒を使用して払拭する方法が挙げられる。又、帯状の可撓性の基材301aに設けられたアライメントマークM(図9参照)に従って、第1電極用外部接続用電極、第2電極接合部、リード部(第2電極用外部接続用電極)の一部を除いたストライプ塗布により塗布する方法が挙げられる。又、溶媒を使用して払拭する方法とストライプ塗布により塗布する方法を組合せた方法でもよい。   The method for applying the organic functional layer forming coating solution in the organic functional layer forming step 4 is not particularly limited. For example, after coating and drying on the entire surface of the base material, according to the alignment mark M (see FIG. 9) provided on the strip-shaped flexible base material 301a, the first electrode external connection electrode, the second electrode joint portion, The method of wiping using the solvent which melt | dissolves an organic functional layer so that some lead parts (electrode for external connection for 2nd electrodes) may appear is mentioned. Further, according to the alignment mark M (see FIG. 9) provided on the strip-shaped flexible base material 301a, the first electrode external connection electrode, the second electrode joint, and the lead portion (second electrode external connection) The method of apply | coating by stripe application | coating except a part of electrode) is mentioned. Moreover, the method of combining the method of wiping using a solvent and the method of applying by stripe coating may be used.

本図に示される、正孔輸送層形成工程401、発光層形成工程402及び電子輸送層形成工程403はウェット方式の塗布装置と、乾燥装置がそれぞれ1台の場合を示しているが、必要に応じて乾燥装置の後に活性化処理(加熱処理)装置を増加すること等が可能となっている。   The hole transport layer forming step 401, the light emitting layer forming step 402, and the electron transport layer forming step 403 shown in this figure show a case where there is one wet coating device and one drying device. Accordingly, it is possible to increase the number of activation treatment (heat treatment) devices after the drying device.

本図は正孔輸送層形成工程401と、発光層形成工程402と、電子輸送層形成工程403とを連続して行う場合を示しているが、正孔輸送層形成工程401と、発光層形成工程402と、電子輸送層形成工程403とが乾燥装置の後に活性化処理装置を必要とし、工程全体が長大化する場合は正孔輸送層形成工程401と、発光層形成工程402と、電子輸送層形成工程403とを独立として配設することも可能である。   This figure shows the case where the hole transport layer forming step 401, the light emitting layer forming step 402, and the electron transport layer forming step 403 are performed in succession, but the hole transport layer forming step 401 and the light emitting layer forming step are performed. If the step 402 and the electron transport layer forming step 403 require an activation processing device after the drying device, and the entire process becomes long, the hole transport layer forming step 401, the light emitting layer forming step 402, and the electron transport It is also possible to arrange the layer forming step 403 independently.

ドライ成膜工程5は、第2電極形成工程501を有している。第2電極形成工程501は、パターン形成物質を蒸発させる手段として気相堆積装置501aと、アキュームレータ501bとを使用している。尚、アキュームレータ501bは工程トラブル対応等のために配設されており、一定長さの帯状の可撓性の基材301aを貯める機能を有している。   The dry film forming process 5 includes a second electrode forming process 501. The second electrode forming step 501 uses a vapor deposition apparatus 501a and an accumulator 501b as means for evaporating the pattern forming material. Note that the accumulator 501b is provided for dealing with process troubles and the like, and has a function of storing a strip-shaped flexible base material 301a having a predetermined length.

ドライ成膜工程5では電子輸送層形成工程403から搬送されてくる電子輸送層までが形成された帯状の可撓性の基材301aに付けられたアライメントマークM(図9参照)を検出装置(不図示)で読み取り、検出装置(不図示)の情報に従って、マスクを使用して帯状の可撓性の基材301aの上に形成された電子輸送層の上に第2電極(陰極)を形成する。この段階で、複数の有機EL素子が帯状の可撓性の基材301a上に連続的に形成されている状態の有機EL素子連続体が作製される。   In the dry film forming step 5, the alignment mark M (see FIG. 9) attached to the strip-shaped flexible substrate 301a on which the layers from the electron transport layer forming step 403 to the transported electron transport layer are formed is detected by a detection device (see FIG. The second electrode (cathode) is formed on the electron transport layer formed on the strip-shaped flexible substrate 301a using a mask in accordance with information from a detection device (not shown). To do. At this stage, an organic EL element continuous body in which a plurality of organic EL elements are continuously formed on a strip-shaped flexible substrate 301a is manufactured.

尚、第2電極(陰極)を形成する時間が長くドライ成膜工程5の前後に配設してあるアキュームレータが長大化する場合はドライ成膜工程5を独立して配設することが好ましい。   In addition, when the time which forms a 2nd electrode (cathode) is long and the accumulator currently arrange | positioned before and after the dry film-forming process 5 becomes long, it is preferable to arrange | position the dry film-forming process 5 independently.

パターン形成物質を蒸発させる手段としての気相堆積装置501aとしては特に限定はなく、例えばスパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法等を用いることが出来る。   The vapor deposition apparatus 501a as a means for evaporating the pattern forming material is not particularly limited. For example, sputtering, reactive sputtering, molecular beam epitaxy, cluster ion beam, ion plating, plasma polymerization, An atmospheric pressure plasma polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, or the like can be used.

封止工程6は、封止部材供給装置601と、貼合装置602と、アキュームレータ603とを使用している。アキュームレータ603は断裁工程8との速度差を調整(例えば連続/間欠駆動対応)、工程トラブル対応等のために配設されている。   The sealing step 6 uses a sealing member supply device 601, a bonding device 602, and an accumulator 603. The accumulator 603 is arranged for adjusting the speed difference from the cutting process 8 (for example, for continuous / intermittent driving) and for handling process troubles.

封止部材供給装置601より搬送されてくる帯状の封止部材7を貼合装置602により、有機EL素子連続体の有機EL素子の第2電極(陰極)が形成された面側に貼合し、有機EL素子を封止することで、複数の有機ELパネルが連続的に繋がっている状態の有機ELパネル連続体が作製される。   The band-shaped sealing member 7 conveyed from the sealing member supply device 601 is bonded to the surface side on which the second electrode (cathode) of the organic EL element of the organic EL element continuous body is formed by the bonding device 602. By sealing the organic EL element, an organic EL panel continuous body in which a plurality of organic EL panels are continuously connected is produced.

貼合装置602としては、帯状の封止部材7(図5参照)を構成している接着剤層703(図5参照)の接着剤を溶融し、押圧を掛けながら基材の第2電極(陰極)が形成された面側に貼合することが出来れば特に限定はない。本図に示す貼合装置602は加熱ロール602aと、押圧ロール602bとから構成されている場合を示している。この後、断裁工程8に搬送される。尚、封止部材供給装置601には別工程で乾燥処理が行われロール状に巻き取られた封止部材から繰り出された帯状の封止部材7が供給される。帯状の封止部材7の乾燥処理は図6で説明する。   As the bonding apparatus 602, the adhesive of the adhesive layer 703 (see FIG. 5) constituting the strip-shaped sealing member 7 (see FIG. 5) is melted, and the second electrode ( If it can bond on the surface side in which the (cathode) was formed, there will be no limitation in particular. The laminating apparatus 602 shown in the figure shows a case where the laminating apparatus is composed of a heating roll 602a and a pressing roll 602b. Then, it is conveyed to the cutting process 8. Note that the sealing member supply device 601 is supplied with the strip-shaped sealing member 7 fed out from the sealing member that has been dried in a separate process and wound up in a roll shape. The drying process of the band-shaped sealing member 7 will be described with reference to FIG.

本図では封止部材供給装置601に供給する封止部材7が帯状の場合を示しているが、枚葉状であっても構わない。尚、枚葉状の場合、封止部材供給装置601は封止部材を一枚毎供給し帯状の可撓性基材301aの上に形成された1ブロックL(図9参照)の位置に合わせ供給が出来る様にする必要がある。   Although this figure shows the case where the sealing member 7 supplied to the sealing member supply device 601 has a strip shape, it may be a single wafer. In the case of a single wafer, the sealing member supply device 601 supplies the sealing members one by one and supplies them in accordance with the position of one block L (see FIG. 9) formed on the strip-shaped flexible substrate 301a. It is necessary to be able to do.

断裁工程8は打ち抜き断裁装置801と、アキュームレータ802と、巻き取り装置803とを使用している。打ち抜き断裁装置801で、有機ELパネル連続体に付けられたアライメントマークM(図9参照)を検出装置(不図示)で読み取り、検出装置(不図示)の情報に従って矩形に打ち抜き、個別の直列型有機ELパネル9に断裁される。直列型有機ELパネル9が打ち抜かれたスケルトンは巻き取り装置803で巻き取られ回収される。   The cutting process 8 uses a punching and cutting device 801, an accumulator 802, and a winding device 803. A punching and cutting device 801 reads an alignment mark M (see FIG. 9) attached to the organic EL panel continuum with a detection device (not shown), and punches it into a rectangle according to the information of the detection device (not shown). The organic EL panel 9 is cut. The skeleton from which the in-line organic EL panel 9 is punched is wound up and collected by a winding device 803.

ここでは、直列型有機ELパネル連続体を打ち抜き断裁装置801で矩形に打ち抜くことで断裁しているが、刃物やレーザー等により切断することで直列型有機ELパネル連続体を断裁することも可能である。   Here, the series organic EL panel continuum is cut by punching into a rectangle with the punching and cutting device 801. However, the series organic EL panel continuum can be cut by cutting with a blade or a laser. is there.

本図は、第1電極(陽極)が形成された帯状の可撓性の基材を使用し、正孔輸送層と、発光層と、電子輸送層とをウェット方式で帯状の可撓性の基材を連続搬送しながら成膜して形成し、引き続き、電子輸送層の上にマスクを使用し第2電極をドライ方式で成膜し、乾燥処理した帯状の封止部材を貼合し、断裁して個別の有機ELパネルを製造する場合を示している。   This figure uses a band-shaped flexible substrate on which the first electrode (anode) is formed, and the hole transport layer, the light-emitting layer, and the electron transport layer are formed into a band-shaped flexible substrate by a wet method. Form the film while continuously transporting the base material, then use the mask on the electron transport layer to form the second electrode in a dry manner, and paste the dried band-shaped sealing member, The case where it cuts and manufactures an individual organic electroluminescent panel is shown.

これらの他の製造工程としては、例えば電子輸送層までをウェット方式で帯状の可撓性の基材を連続搬送しながら成膜して形成した後、一旦巻き取り保管する。この後、マスクを使用し第2電極(陰極)をドライ方式で形成し、断裁までを連続して行う2工程に分割することも可能である。   As these other manufacturing processes, for example, the film is formed by continuously transporting a belt-like flexible base material up to the electron transport layer by a wet method, and then wound up and stored. Thereafter, the second electrode (cathode) can be formed by a dry method using a mask, and the process can be divided into two processes in which the process up to cutting is continuously performed.

又、電子輸送層までをウェット方式で帯状の可撓性の基材を連続搬送しながら成膜して形成した後、一旦巻き取り保管する。この後、マスクを使用し第2電極(陰極)をドライ方式で形成し一旦巻き取り保管する。この後、封止工程から断裁までの3工程に分割することも可能である。   In addition, the film is formed by film formation while continuously transporting a belt-like flexible base material to the electron transport layer by a wet method, and then wound up and stored. Thereafter, a second electrode (cathode) is formed by a dry method using a mask, and then wound up and stored. Then, it is also possible to divide into 3 processes from a sealing process to cutting.

図4に示す直列型有機ELパネルの製造工程は、基材/第1電極(陽極)/正孔輸送層(正孔注入層)/発光層/電子輸送層/第2電極(陰極)/接着剤層/ガスバリア層/封止基材の層構成を有する有機ELパネルの一例を示したものであるが、第1電極(陽極)と第2電極(陰極)との間に形成される他の代表的な層構成としては次の構成が挙げられる。   The production process of the in-line organic EL panel shown in FIG. 4 includes: base material / first electrode (anode) / hole transport layer (hole injection layer) / light emitting layer / electron transport layer / second electrode (cathode) / adhesion. An example of an organic EL panel having a layer configuration of an agent layer / gas barrier layer / sealing substrate is shown, but other layers formed between the first electrode (anode) and the second electrode (cathode) The following structure is mentioned as a typical layer structure.

(1)基材/第1電極(陽極)/発光層/第2電極(陰極)/接着剤層/ガスバリア層/封止基材
(2)基材/第1電極(陽極)/発光層/電子輸送層/第2電極(陰極)/接着剤層/ガスバリア層/封止基材
(3)基材/第1電極(陽極)/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/第2電極(陰極)/接着剤層/ガスバリア層/封止基材
(4)基材/第1電極(陽極)/正孔輸送層(正孔注入層)/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/第2電極(陰極)/接着剤層/ガスバリア層/封止基材
(5)基材/第1電極(陽極)/陽極バッファー層(正孔注入層)/正孔輸送層/有機層(発光層)/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/第2電極(陰極)/接着剤層/ガスバリア層/封止基材
図5は本発明に使用する封止部材の概略断面図である。
(1) Substrate / first electrode (anode) / light emitting layer / second electrode (cathode) / adhesive layer / gas barrier layer / sealing substrate (2) substrate / first electrode (anode) / light emitting layer / Electron transport layer / second electrode (cathode) / adhesive layer / gas barrier layer / sealing substrate (3) substrate / first electrode (anode) / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport Layer / second electrode (cathode) / adhesive layer / gas barrier layer / sealing substrate (4) substrate / first electrode (anode) / hole transport layer (hole injection layer) / light emitting layer / hole blocking Layer / electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / second electrode (cathode) / adhesive layer / gas barrier layer / sealing substrate (5) substrate / first electrode (anode) / anode buffer layer ( Hole injection layer) / hole transport layer / organic layer (light emitting layer) / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / second electrode (cathode) / adhesive layer / gas layer Rear layer / sealing substrate FIG. 5 is a schematic sectional view of a sealing member used in the present invention.

図中、7は封止部材を示す。封止部材7は、封止基材701の上に形成されたガスバリア層702とガスバリア層702の上に形成された接着剤層703とを有している。ここでは、封止基材にガスバリア層を形成した場合を示したが、ガスバリア性のある封止基材のみでも構わない。   In the figure, 7 indicates a sealing member. The sealing member 7 has a gas barrier layer 702 formed on the sealing substrate 701 and an adhesive layer 703 formed on the gas barrier layer 702. Here, the case where the gas barrier layer is formed on the sealing substrate is shown, but only the sealing substrate having gas barrier property may be used.

本発明は、図5に示す構成を有する封止部材を、加熱乾燥処理した封止部材を封止工程で使用した有機ELパネルの製造方法及びこの製造方法で製造した有機ELパネルに関するものである。   The present invention relates to a method for producing an organic EL panel using a sealing member obtained by heating and drying a sealing member having the configuration shown in FIG. 5 in a sealing step, and an organic EL panel produced by this production method. .

封止部材7の幅は第1電極用外部接続用電極102a1(図1参照)と、第2電極用外部接続用電極104c1(図1参照)とが被覆されない幅であることが好ましい。   The width of the sealing member 7 is preferably a width that does not cover the first electrode external connection electrode 102a1 (see FIG. 1) and the second electrode external connection electrode 104c1 (see FIG. 1).

封止基材701(図5参照)の膜厚としては10μmから1000μmが好ましく、より好ましくは50μmから500μm、更に好ましくは80μmから200μmである。   The film thickness of the sealing substrate 701 (see FIG. 5) is preferably 10 μm to 1000 μm, more preferably 50 μm to 500 μm, and still more preferably 80 μm to 200 μm.

ガスバリア層702(図5参照)は無機膜からなる。無機膜としては、ガスバリア性を有していれば特に限定はなく例えば、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化窒化珪素、酸化窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ等のセラミック膜、金属箔が挙げられる。   The gas barrier layer 702 (see FIG. 5) is made of an inorganic film. The inorganic film is not particularly limited as long as it has gas barrier properties. For example, ceramic films such as silicon oxide, aluminum oxide, silicon oxynitride, aluminum oxynitride, magnesium oxide, zinc oxide, indium oxide, and tin oxide, metal A foil is mentioned.

セラミック膜の形成は、スパッタリング法、イオンアシスト法、後述するプラズマCVD法、後述する大気圧又は大気圧近傍の圧力下でのプラズマCVD法等を適用して形成されたものであることが好ましく、特に大気圧プラズマCVDによる方法は、減圧チャンバー等が不要で、高速製膜が出来、生産性の高い製膜方法であり好ましい。   The formation of the ceramic film is preferably formed by applying a sputtering method, an ion assist method, a plasma CVD method described later, a plasma CVD method under atmospheric pressure or a pressure near atmospheric pressure described later, In particular, the atmospheric pressure plasma CVD method is preferable because it does not require a decompression chamber or the like, enables high-speed film formation, and has high productivity.

セラミック膜の厚さは、ガスバリア性、セラミック膜の柔軟性等を考慮し、1nmから2000nmが好ましい。   The thickness of the ceramic film is preferably 1 nm to 2000 nm in consideration of gas barrier properties, flexibility of the ceramic film, and the like.

金属箔としては、金属の種類に特に限定はなく、例えば銅(Cu)箔、アルミニウム(Al)箔、金(Au)箔、黄銅箔、ニッケル(Ni)箔、チタン(Ti)箔、銅合金箔、ステンレス箔、スズ(Sn)箔、高ニッケル合金箔等が挙げられる。これらの各種の金属箔の中で特に好ましい金属箔としてはAl箔が挙げられる。金属箔の場合は、基材と金属箔をラミネートすることで形成することが出来る。   As metal foil, there is no limitation in particular in the kind of metal, for example, copper (Cu) foil, aluminum (Al) foil, gold (Au) foil, brass foil, nickel (Ni) foil, titanium (Ti) foil, copper alloy Examples thereof include foil, stainless steel foil, tin (Sn) foil, and high nickel alloy foil. Among these various metal foils, a particularly preferred metal foil is an Al foil. In the case of a metal foil, it can be formed by laminating a substrate and a metal foil.

金属箔の厚さは、ピンホール、ガスバリア性(透湿度、酸素透過率)、コスト、有機ELパネルの厚さ等を考慮し、6μmから50μmが好ましく、更に好ましくは20μmから40μmである。   The thickness of the metal foil is preferably 6 μm to 50 μm, more preferably 20 μm to 40 μm in consideration of pinholes, gas barrier properties (moisture permeability, oxygen permeability), cost, thickness of the organic EL panel, and the like.

接着剤層703(図5参照)に使用する接着剤としては、ガラス転移温度Tgが40℃以上の熱可塑性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂としては、各電極の引き出し電極の段差により生じる隙間部の封緘性、引っ張り強さや耐ストレスクラッキング性、加工性等を考慮し、JIS K 7210規定のメルトフローレートが5g/10minから20g/10minである熱可塑性樹脂が好ましく、更に好ましくは、6g/10minから15g/10minの熱可塑性樹脂を用いることである。更に、熱可塑性樹脂は、活性エネルギー線硬化型樹脂も含まれる。活性エネルギー線硬化型樹脂としては、常温(25℃)では固体もしくは軟質固体であり、50℃から100℃(好ましくは60℃から80℃)に加熱昇温すると溶融して流動性を発現するものである。   Examples of the adhesive used for the adhesive layer 703 (see FIG. 5) include thermoplastic resins having a glass transition temperature Tg of 40 ° C. or higher. As the thermoplastic resin, the melt flow rate specified in JIS K 7210 is from 5 g / 10 min to 20 g in consideration of the sealing performance of the gap portion caused by the step of the lead electrode of each electrode, tensile strength, stress cracking resistance, workability, etc. A thermoplastic resin of / 10 min is preferable, and a thermoplastic resin of 6 g / 10 min to 15 g / 10 min is more preferable. Further, the thermoplastic resin includes an active energy ray curable resin. The active energy ray-curable resin is a solid or soft solid at room temperature (25 ° C.), and melts and develops fluidity when heated to 50 ° C. to 100 ° C. (preferably 60 ° C. to 80 ° C.). It is.

これらの熱可塑性樹脂を封止基材にラミネートして使用することが好ましい。ラミネート方法は一般的に知られている各種の方法、例えばウェットラミネート法、ドライラミネート法、ホットメルトラミネート法、押出しラミネート法、熱ラミネート法を利用して作ることが可能である。   These thermoplastic resins are preferably used by being laminated on a sealing substrate. The laminating method can be made by using various generally known methods such as wet laminating method, dry laminating method, hot melt laminating method, extrusion laminating method, and thermal laminating method.

熱可塑性樹脂は、上記数値を満たすものであれば特に限定されるものではないが、例えば機能性包装材料の新展開株式会社東レリサーチセンター記載の高分子フィルムである低密度ポリエチレン(LDPE)、HDPE、線状低密度ポリエチレン(LLDPE)、中密度ポリエチレン、未延伸ポリプロピレン(CPP)、延伸ポリプロピレン(OPP)、延伸ナイロン(ONy)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、セロハン、ポリビニルアルコール(PVA)、延伸ビニロン(OV)、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVOH)、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体(EAA)、エチレン−メタクリル酸共重合体(EMAA)、塩化ビニリデン(PVDC)等の使用が可能である。   The thermoplastic resin is not particularly limited as long as it satisfies the above numerical values. For example, low-density polyethylene (LDPE), HDPE, which is a polymer film described in Toray Research Center, Inc., a new development of functional packaging materials. , Linear low density polyethylene (LLDPE), medium density polyethylene, unstretched polypropylene (CPP), stretched polypropylene (OPP), stretched nylon (ONy), polyethylene terephthalate (PET), cellophane, polyvinyl alcohol (PVA), stretched vinylon ( OV), ethylene-vinyl acetate copolymer (EVOH), ethylene-propylene copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer (EAA), ethylene-methacrylic acid copolymer (EMAA), vinylidene chloride (PVDC), etc. Can be used.

活性エネルギー線硬化型樹脂は、上記数値を満たすものであれば特に限定されるものではないが、例えば分子の末端又は側鎖にエチレン性二重結合を有する化合物と光重合開始剤とを主成分とするエポキシ(メタ)アクリレート等の使用が可能である。   The active energy ray-curable resin is not particularly limited as long as it satisfies the above numerical values. For example, the main component is a compound having an ethylenic double bond at the terminal or side chain of the molecule and a photopolymerization initiator. Epoxy (meth) acrylate or the like can be used.

封止基材701(図5参照)としては、ガスバリア性を有する無機膜を保持することが出来る有機材料で形成されたフィルムであれば特に限定されるものではない。具体的には、エチレン、プロピレン、ブテン等の単独重合体、又は共重合体、又は共重合体等のポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン等の非晶質ポリオレフィン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレン−2,6−ナフタレート等のポリエステル系樹脂、ナイロン6、ナイロン12、共重合ナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体等のポリビニルアルコール系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリサルホン樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリビニルブチラート樹脂、ポリアリレート樹脂、フッ素系樹脂等を用いることが出来る。中でも、ポリエチレン−2,6−ナフタレート樹脂等のポリエチレンナフタレート樹脂はガスバリア性が良好であり、特に酸素透過率及び水蒸気透過率が低いので、本発明において、基材としては、ポリエチレンナフタレートフィルムを用いるのが好ましい。   The sealing substrate 701 (see FIG. 5) is not particularly limited as long as it is a film formed of an organic material that can hold an inorganic film having gas barrier properties. Specifically, homopolymers such as ethylene, propylene and butene, or polyolefin resins such as copolymers or copolymers, amorphous polyolefin resins such as cyclic polyolefin, polyethylene terephthalate resins, polyethylene-2,6- Polyester resins such as naphthalate, polyamide resins such as nylon 6, nylon 12, copolymer nylon, polyvinyl alcohol resins such as polyvinyl alcohol resin and ethylene-vinyl alcohol copolymer, polyimide resins, polyetherimide resins, polysulfone resins Polyether sulfone resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, polyvinyl butyrate resin, polyarylate resin, fluorine-based resin, and the like can be used. Among them, polyethylene naphthalate resin such as polyethylene-2,6-naphthalate resin has good gas barrier properties, and particularly oxygen permeability and water vapor permeability are low. Therefore, in the present invention, a polyethylene naphthalate film is used as a substrate. It is preferable to use it.

本発明に使用する封止部材の封止基材と接着剤層は、これらの中から、有機ELパネルに使用可能なレベルまで封止部材を加熱乾燥する温度に合わせた時、封止基材の変形がない封止基材を選択し、適宜、封止基材と接着層とを組合せを決め、使用することが可能である。尚、図1に示す封止部材105と図5に示す封止部材7とは同じ構成で、同じ材料を使用している。   When the sealing base material and adhesive layer of the sealing member used in the present invention are adjusted to the temperature at which the sealing member is heated and dried to a level usable for the organic EL panel, the sealing base material is used. It is possible to select a sealing base material that is not deformed and to determine and use a combination of the sealing base material and the adhesive layer as appropriate. The sealing member 105 shown in FIG. 1 and the sealing member 7 shown in FIG. 5 have the same configuration and use the same material.

図5に示す封止部材7を加熱乾燥する方法としては、帯状の封止部材を連続的に繰り出しながら乾燥する方法が挙げられる。次に封止部材の接着剤層を乾燥する方法に付き説明する。   As a method for heating and drying the sealing member 7 shown in FIG. 5, a method for drying while continuously feeding out the band-shaped sealing member can be mentioned. Next, a method for drying the adhesive layer of the sealing member will be described.

図6は図4に示すロール状の封止部材を乾燥する一例の乾燥装置の概略図である。図6(a)はロール状の封止部材を乾燥する一例の乾燥装置の概略斜視図である。図6(b)は図6(a)に示すC−C′に沿った概略断面図である。   FIG. 6 is a schematic view of an example of a drying apparatus for drying the roll-shaped sealing member shown in FIG. Fig.6 (a) is a schematic perspective view of an example drying apparatus which dries a roll-shaped sealing member. FIG. 6B is a schematic cross-sectional view along CC ′ shown in FIG.

図中、10は乾燥装置を示す。乾燥装置10は、供給装置10aと、加熱装置10bと冷却装置10cと、回収装置10dとを有している。   In the figure, 10 indicates a drying apparatus. The drying device 10 includes a supply device 10a, a heating device 10b, a cooling device 10c, and a recovery device 10d.

供給装置10aから供給された帯状の封止部材7は、テンションを掛けられた状態で搬送され、加熱装置10bで加熱処理され接着剤層703(図5参照)中の水分を除去した後(平衡含水率で一定時間乾燥とした後)、冷却装置10cで冷却し回収装置10dで巻き取りロール状として保管する様になっている。尚、テンションとしては、封止基材の変形を考慮し、0.5N/cm幅から10N/cm幅が好ましい。加熱装置10b、冷却装置10c及び回収装置10dの環境は、水分を効率良く除去するためと、乾燥状態とを維持するために、乾燥後の封止部材の接着剤層の含水率以下の環境が好ましい。具体的には、水分量が200ppm以下の環境が好ましい。   The band-shaped sealing member 7 supplied from the supply device 10a is conveyed in a tensioned state, and is heated by the heating device 10b to remove moisture in the adhesive layer 703 (see FIG. 5) (equilibrium). After being dried for a certain period of time with a water content), it is cooled with the cooling device 10c and stored in the form of a take-up roll with the recovery device 10d. The tension is preferably 0.5 N / cm width to 10 N / cm width in consideration of deformation of the sealing substrate. The environment of the heating device 10b, the cooling device 10c, and the recovery device 10d is an environment that is equal to or lower than the moisture content of the adhesive layer of the sealing member after drying in order to efficiently remove moisture and maintain a dry state. preferable. Specifically, an environment having a water content of 200 ppm or less is preferable.

10b1は加熱装置10bの加熱箱を示す。加熱箱10b1の内部の上部には加熱風吹き出し孔10b11を有する加熱風供給箱10b12を有している。10b13は加熱箱10b1に加熱風を供給する加熱風供給管を示し、加熱風供給装置(不図示)へ繋がっている。加熱風供給装置(不図示)から加熱風供給管10b13を介して加熱風供給箱10b12に供給された加熱風は加熱風吹き出し孔10b11より加熱箱10b1の内部に均一に供給され、帯状の封止部材7(図5参照)の接着層703(図5参照)を均一に加熱する様になっている。   Reference numeral 10b1 denotes a heating box of the heating device 10b. A heating air supply box 10b12 having a heating air blowing hole 10b11 is provided in the upper part inside the heating box 10b1. Reference numeral 10b13 denotes a heating air supply pipe that supplies heating air to the heating box 10b1, and is connected to a heating air supply device (not shown). The heated air supplied from the heated air supply device (not shown) to the heated air supply box 10b12 via the heated air supply pipe 10b13 is uniformly supplied into the heating box 10b1 through the heated air blowing hole 10b11, and is sealed in a band shape. The adhesive layer 703 (see FIG. 5) of the member 7 (see FIG. 5) is heated uniformly.

加熱箱10b1の内部の下部には加熱風排気孔10b14を有する加熱風排気箱10b15を有している。10b16は加熱箱10b1から加熱風を排気する加熱風排気管を示し、吸引ポンプ(不図示)へ繋がっている。   A heating air exhaust box 10b15 having a heating air exhaust hole 10b14 is provided at the lower part inside the heating box 10b1. Reference numeral 10b16 denotes a heated air exhaust pipe for exhausting heated air from the heating box 10b1, and is connected to a suction pump (not shown).

加熱箱10b1の内部には帯状の封止部材7の保持ベルト10b17が配設されており、加熱処理中の帯状の封止部材7の移動に伴い帯状の封止部材7の基材701への擦り傷が発生するのを防止するため帯状の封止部材7の移動に合わせ動く様になっている。ここでは、保持ベルトにより帯状の封止部材7を搬送しているが、ローラーコンベアー等の他の搬送手段やエア浮上等の非接触搬送手段を用いることも可能である。供給装置10aから加熱装置10bへ供給する帯状の封止部材7は、接着剤層703(図5参照)が搬送ロールに付着し、接着剤層の膜厚不均一になること、搬送不良になることを防止するために、加熱風供給箱10b12側が接着剤層側の状態で供給される。   A holding belt 10b17 for the belt-shaped sealing member 7 is disposed inside the heating box 10b1, and the belt-shaped sealing member 7 is moved to the base material 701 as the belt-shaped sealing member 7 moves during the heat treatment. In order to prevent the occurrence of scratches, the belt-shaped sealing member 7 moves in accordance with the movement. Here, the belt-shaped sealing member 7 is conveyed by the holding belt, but other conveying means such as a roller conveyor or non-contact conveying means such as air levitation can also be used. In the band-shaped sealing member 7 supplied from the supply device 10a to the heating device 10b, the adhesive layer 703 (see FIG. 5) adheres to the transport roll, the film thickness of the adhesive layer becomes uneven, and the transport becomes defective. In order to prevent this, the heated air supply box 10b12 side is supplied in the state of the adhesive layer side.

尚、本図は加熱風で接着剤層703(図5参照)を加熱する場合を示したが、赤外線ヒーター、保持ベルト10b17を加熱する等の方式であってもよい。又、赤外線ヒーター、保持ベルト10b17を加熱する等の方式の場合は、接着剤層703(図5参照)の水分の除去をより早くするために加熱箱10b1を減圧にしても構わない。   In addition, although this figure showed the case where the adhesive bond layer 703 (refer FIG. 5) is heated with a heating air, the system of heating an infrared heater and the holding belt 10b17 etc. may be sufficient. In the case of a method such as heating the infrared heater or the holding belt 10b17, the heating box 10b1 may be depressurized in order to remove moisture from the adhesive layer 703 (see FIG. 5) more quickly.

加熱装置10bでの封止部材7の加熱条件は、減率乾燥期間を長く採ることで接着剤層703(図5参照)中に含まれる水分量を平衡含水率にするため、接着剤層703(図5参照)のガラス転移温度Tg以上で、且つ、封止基材のガラス転移温度Tg+10℃以下の温度で加熱することである。ガラス転移温度Tg+10℃より高い温度で乾燥すると封止基材の変形により封止能力が低下するため好ましくない。Tgは、株式会社パーキンエルマージャパン 示差走査熱量測定装置(DSC6000)で測定した値を使用する。尚、接着剤層のガラス転移温度Tg以上とは、実質的には接着剤層を構成している材料の内、接着剤のガラス転移温度Tgを言う。   The heating condition of the sealing member 7 in the heating device 10b is that the adhesive layer 703 has a balanced moisture content in the amount of water contained in the adhesive layer 703 (see FIG. 5) by taking a long drying rate reduction period. It is heating at a glass transition temperature Tg (see FIG. 5) or higher and a glass transition temperature Tg of the sealing substrate + 10 ° C. or lower. Drying at a temperature higher than the glass transition temperature Tg + 10 ° C. is not preferable because the sealing ability is reduced due to deformation of the sealing substrate. Tg uses the value measured with the Perkin Elmer Japan Co., Ltd. differential scanning calorimeter (DSC6000). In addition, the glass transition temperature Tg or more of the adhesive layer substantially means the glass transition temperature Tg of the adhesive among the materials constituting the adhesive layer.

加熱温度が接着剤のガラス転移温度Tg以上で封止基材のガラス転移温度Tg+10℃を超える場合は、加熱により封止基材が変形するため接着層703(図5参照)が接着不良になり封止能力が低下するため、接着剤層703(図5参照)からの水分の浸透に伴い有機ELパネルの長期使用時でダークスポットの発生があるため好ましくない。又、接着剤の熱劣化による接着性不良やアウトガスによるダークスポットの発生や有機層劣化の懸念もある。帯状の形態の封止部材は、巻き取った状態で加熱乾燥を行うと接着剤が溶け、帯状の封止部材が互いに接着してしまう。従って帯状の封止部材の加熱乾燥を行う場合は、特に限定されるものではないが、巻き取った状態ではなく、帯状の封止部材にテンションかけた状態で加熱乾燥することが好ましい。   When the heating temperature is equal to or higher than the glass transition temperature Tg of the adhesive and exceeds the glass transition temperature Tg + 10 ° C. of the sealing base material, the adhesive base layer 703 (see FIG. 5) becomes poorly bonded because the sealing base material is deformed by heating. Since the sealing ability is lowered, a dark spot is generated when the organic EL panel is used for a long time due to the penetration of moisture from the adhesive layer 703 (see FIG. 5), which is not preferable. There are also concerns about poor adhesion due to thermal deterioration of the adhesive, generation of dark spots due to outgas, and deterioration of the organic layer. When the belt-shaped sealing member is heated and dried in the wound state, the adhesive melts and the belt-shaped sealing members adhere to each other. Accordingly, when the belt-shaped sealing member is heat-dried, it is not particularly limited. However, it is preferable that the belt-shaped sealing member be heat-dried in a state where the belt-shaped sealing member is tensioned rather than being wound.

加熱時間は、加熱温度が接着剤のガラス転移温度Tg以上で、且つ封止基材のガラス転移温度Tg+10℃以下で、接着剤層703(図5参照)中に含まれる含水量、有機ELパネルの長期使用時でダークスポットの発生、接着剤の熱劣化による接着性不良、アウトガスによるダークスポットの発生、有機層の劣化等を考慮し、2時間以上、24時間以下とすることが好ましい。   The heating time is such that the heating temperature is not lower than the glass transition temperature Tg of the adhesive and not higher than the glass transition temperature Tg + 10 ° C. of the sealing substrate, the water content contained in the adhesive layer 703 (see FIG. 5), and the organic EL panel Considering generation of dark spots during long-term use, poor adhesion due to thermal deterioration of the adhesive, generation of dark spots due to outgas, deterioration of the organic layer, and the like, it is preferable to be 2 hours or more and 24 hours or less.

10c1は、冷却装置10cの冷却箱を示す。冷却箱10c1の内部の上部には冷却風吹き出し孔10c11を有する冷却風供給箱10c12を有している。10c13は冷却風供給箱10c12に冷却風を供給する冷却風供給管を示し、冷却風供給装置(不図示)へ繋がっている。冷却箱10c1の下部には冷却風排気孔10c14を有する冷却風排気箱10c15を有している。10c16は冷却風排気箱10c12から冷却風を排気する冷却風排気管を示し、吸引ポンプ(不図示)へ繋がっている。   Reference numeral 10c1 denotes a cooling box of the cooling device 10c. A cooling air supply box 10c12 having a cooling air blowing hole 10c11 is provided at an upper portion inside the cooling box 10c1. Reference numeral 10c13 denotes a cooling air supply pipe that supplies cooling air to the cooling air supply box 10c12, and is connected to a cooling air supply device (not shown). A cooling air exhaust box 10c15 having a cooling air exhaust hole 10c14 is provided below the cooling box 10c1. Reference numeral 10c16 denotes a cooling air exhaust pipe that exhausts cooling air from the cooling air exhaust box 10c12, and is connected to a suction pump (not shown).

冷却箱10c1の内部には帯状の封止部材7の保持ベルト10c17が配設されており、冷却中の帯状の封止部材7の移動に伴い帯状の封止部材7の封止基材701への擦り傷が発生するのを防止するため帯状の封止部材7の移動に合わせ動く様になっている。   A holding belt 10c17 for the belt-shaped sealing member 7 is disposed inside the cooling box 10c1, and the belt-shaped sealing member 7 is moved to the sealing base material 701 of the belt-shaped sealing member 7 as the belt-shaped sealing member 7 is moved. In order to prevent the occurrence of scratches, the belt-like sealing member 7 moves in accordance with the movement.

冷却装置10cでの冷却は接着剤層703(図5参照)が固まり、巻き取りが出来る温度(例えば、融点−30℃以下)にまで冷却することが好ましい。   The cooling in the cooling device 10c is preferably performed to a temperature at which the adhesive layer 703 (see FIG. 5) is solidified and can be wound (for example, a melting point of −30 ° C. or lower).

冷却後は、使用するまでは湿度の再吸収を防ぐため、乾燥後の接着剤の水分量以下の環境に保存することが好ましい。具体的には、水分量200ppm以下の環境で保存することが好ましい。更に好ましくは、80ppm以下である。水分量は、GEセンシング・ジャパン(株)製、静電容量式露点計(型式:MIS1)で測定した値を示す。   After cooling, in order to prevent reabsorption of humidity until use, it is preferable to store in an environment below the moisture content of the adhesive after drying. Specifically, it is preferable to store in an environment with a water content of 200 ppm or less. More preferably, it is 80 ppm or less. The amount of water indicates a value measured with a capacitance type dew point meter (model: MIS1) manufactured by GE Sensing Japan.

本図に示される方式で加熱乾燥した後の帯状の封止部材7は、ロール状での使用、又は、使用する大きさに切断し枚葉状態で使用することも可能である。   The band-shaped sealing member 7 after being heat-dried by the method shown in this figure can be used in a roll shape, or cut into a size to be used and used in a single wafer state.

次に図7から図9で図4に示す直列型有機ELパネルの製造工程で図6に示す接着剤層の加熱乾燥方法で乾燥した封止部材を使用して直列型有機ELパネルの製造をフロー図で説明する。   Next, in the manufacturing process of the serial type organic EL panel shown in FIG. 4 in FIG. 7 to FIG. 9, the serial type organic EL panel is manufactured using the sealing member dried by the heating drying method of the adhesive layer shown in FIG. This will be described with reference to a flow diagram.

図7は図4に示す直列型有機ELパネルの製造工程で、基材供給工程から有機機能層形成工程までの概略フロー図である。   FIG. 7 is a schematic flow diagram from the base material supplying process to the organic functional layer forming process in the manufacturing process of the serial type organic EL panel shown in FIG.

図8は図4に示す直列型有機ELパネルの製造工程で、ドライ成膜工程から加熱乾燥済みの封止部材の準備までの概略フロー図である。   FIG. 8 is a schematic flow diagram from the dry film forming process to the preparation of the heat-dried sealing member in the serial organic EL panel manufacturing process shown in FIG.

図9は図4に示す直列型有機ELパネルの製造工程で、封止工程から断裁工程までの概略フロー図である。   FIG. 9 is a schematic flow diagram from the sealing process to the cutting process in the manufacturing process of the serial organic EL panel shown in FIG.

以下、図7から図9に示すフロー図に従って図1に示す直列型有機ELパネルを製造するフローを説明する。   Hereinafter, the flow for manufacturing the series organic EL panel shown in FIG. 1 will be described with reference to the flowcharts shown in FIGS.

Step1では、基材供給工程3(図4参照)から既に第1電極102が形成された帯状の可撓性の基材301aが供給される。第1電極102は1つの有機ELパネルが形成される一定長さの第1電極102(102a、102b、102cから構成されている)が3列と、リード部108が1列の合計4列を1つのブロック(図中、Lで示される範囲)として、このブロックLが搬送方向に一定間隔で複数連続して形成されている。   In Step 1, the strip-shaped flexible base material 301a in which the first electrode 102 has already been formed is supplied from the base material supply step 3 (see FIG. 4). The first electrode 102 has a total length of 4 rows, 3 rows of first electrodes 102 (consisting of 102a, 102b, 102c) of a certain length on which one organic EL panel is formed and 1 row of lead portions 108. As a single block (a range indicated by L in the figure), a plurality of the blocks L are continuously formed at regular intervals in the transport direction.

Mはアライメントマークを示す。アライメントマークMは第1電極の形成位置及びリード部の形成位置を示すマークであり、アライメントマークMは、帯状の可撓性の基材301aの第1電極の形成されている側、裏側、第1電極の形成されている側と裏側の両方に付けても構わない。   M represents an alignment mark. The alignment mark M is a mark indicating the position where the first electrode is formed and the position where the lead portion is formed. The alignment mark M is the side where the first electrode is formed on the strip-shaped flexible base material 301a, the back side, You may attach to both the side and back side in which 1 electrode is formed.

アライメントマークMを付ける位置は、Lで示される1つのブロックを識別出来る位置であれば特に限定はなく、帯状の可撓性の基材301a上に配置した第1電極(陽極)102とリード部108のパターンにより適宜決めることが可能である。   The position for attaching the alignment mark M is not particularly limited as long as one block indicated by L can be identified, and the first electrode (anode) 102 and the lead portion arranged on the strip-shaped flexible base material 301a. It is possible to determine appropriately according to the 108 patterns.

本図は、帯状の可撓性の基材301aの搬送方向に配置したLで示される1つのブロック毎にアライメントマークMを配置した場合を示している。   This figure has shown the case where the alignment mark M is arrange | positioned for every block shown by L arrange | positioned in the conveyance direction of the strip | belt-shaped flexible base material 301a.

Step2では、有機機能層形成工程4(図4参照)で第1電極(陽極)102(102a、102b、102cを含む)を含めた有機層形成位置に有機機能層103(103a、103b、103cを含む)が形成される。有機機能層103は第1電極(陽極)102aの第1電極用外部接続用電極102a1を形成する部分と、第1電極(陽極)102bの第2電極接合部分102b1と、第1電極(陽極)102cの第2電極接合部分102c1と、リード部108とを除いてストライプ塗布方式で帯状の可撓性の基材301aの搬送方向に塗布・乾燥し帯状に形成されている。   In Step 2, the organic functional layer 103 (103a, 103b, 103c) is formed at the organic layer forming position including the first electrode (anode) 102 (including 102a, 102b, 102c) in the organic functional layer forming step 4 (see FIG. 4). Formed). The organic functional layer 103 includes a portion of the first electrode (anode) 102a where the first electrode external connection electrode 102a1 is formed, a second electrode joint portion 102b1 of the first electrode (anode) 102b, and a first electrode (anode). Except for the second electrode joint portion 102c1 of 102c and the lead portion 108, it is applied and dried in the transport direction of the strip-shaped flexible base material 301a by a stripe coating method to form a strip shape.

尚、有機機能層形成工程4(図4参照)で、Step2に示す様に第1電極102の上に有機機能層103を形成する方法は特に限定はなく、他の方法として次の方法が挙げられる。
1)帯状の可撓性の基材301aの第1電極(陽極)102上を含めた全面に有機機能層形成用塗布液を塗布した後、溶媒を使用して不要部分の有機機能層を払拭する方法。
2)帯状の可撓性の基材301aの第1電極(陽極)102上を含めた全面に有機機能層形成用塗布液を塗布した後、ドライエッチング方式で不要部分の有機機能層を除去する方法。
3)帯状の可撓性の基材301aに有機機能層形成用塗布液をインクジェット等によりパターン塗布する方法。
4)帯状の可撓性の基材301aに有機機能層形成用材料をマスク等よりパターン蒸着する方法。
5)帯状の可撓性の基材301aの全面に有機機能層形成用材料を蒸着した後、不要部分の有機機能層をドライエッチング方式で除去する方法。
In the organic functional layer formation step 4 (see FIG. 4), the method for forming the organic functional layer 103 on the first electrode 102 as shown in Step 2 is not particularly limited, and other methods include the following methods. It is done.
1) After applying the organic functional layer forming coating liquid on the entire surface including the first electrode (anode) 102 of the strip-shaped flexible base material 301a, the organic functional layer in an unnecessary portion is wiped off using a solvent. how to.
2) After applying the organic functional layer forming coating solution on the entire surface including the first electrode (anode) 102 of the strip-shaped flexible substrate 301a, the unnecessary organic functional layer is removed by a dry etching method. Method.
3) A method in which a coating liquid for forming an organic functional layer is applied to a belt-like flexible base material 301a by ink jet or the like.
4) A method of pattern-depositing a material for forming an organic functional layer on a belt-like flexible substrate 301a using a mask or the like.
5) A method in which an organic functional layer forming material is vapor-deposited on the entire surface of the strip-shaped flexible substrate 301a, and then an unnecessary organic functional layer is removed by a dry etching method.

Step3では、帯状の可撓性の基材301aの搬送方向に塗布・乾燥し帯状に形成されている有機機能層の各ブロック間に形成されている有機機能層が除去される。有機機能層の除去方法は特に限定はなく、例えば有機機能層を溶解する溶剤を使用した払拭方式、レーザーを使用したドライエッチング方式が挙げられる。   In Step 3, the organic functional layer formed between the blocks of the organic functional layer formed in a strip shape is applied and dried in the transport direction of the strip-shaped flexible base material 301a. The method for removing the organic functional layer is not particularly limited, and examples thereof include a wiping method using a solvent that dissolves the organic functional layer and a dry etching method using a laser.

Step4では、ドライ成膜工程5(図4参照)で、第2電極104がマスクを使用し気相堆積装置(不図示)でパターン形成される。第2電極104は、以下に示す状態で形成されている。   In Step 4, in the dry film forming process 5 (see FIG. 4), the second electrode 104 is patterned by a vapor deposition apparatus (not shown) using a mask. The second electrode 104 is formed in the following state.

1)第1電極(陽極)102a上の有機機能層103aの上に形成された第2電極(陰極)104aは、第1電極(陽極)102aの第1電極用外部接続用電極102a1を残し、第1電極(陽極)102bの第2電極接合部分102b1と接合した状態となっている。   1) The second electrode (cathode) 104a formed on the organic functional layer 103a on the first electrode (anode) 102a leaves the first electrode external connection electrode 102a1 of the first electrode (anode) 102a, The first electrode (anode) 102b is joined to the second electrode joint portion 102b1.

2)第1電極(陽極)102b上の有機機能層103bの上に形成された第2電極(陰極)104bは、第1電極(陽極)102cの第1電極(陽極)102cの第2電極接合部分102c1と接合した状態となっている。   2) The second electrode (cathode) 104b formed on the organic functional layer 103b on the first electrode (anode) 102b is a second electrode junction of the first electrode (anode) 102c of the first electrode (anode) 102c. It is in a state of being joined to the portion 102c1.

第1電極(陽極)102bの第2電極接合部分102b1と接合した第2電極(陰極)104aと、第1電極(陽極)102bの上に形成された第2電極(陰極)104bとはマスクにより第2電極(陰極)104が形成されないため短絡が防止された状態となっている。   The second electrode (cathode) 104a joined to the second electrode joint portion 102b1 of the first electrode (anode) 102b and the second electrode (cathode) 104b formed on the first electrode (anode) 102b are masked. Since the second electrode (cathode) 104 is not formed, a short circuit is prevented.

3)第1電極(陽極)102c上の有機機能層103cの上に形成された第2電極(陰極)104cは、リード部108と接合した状態となっている。リード部108は第2電極(陰極)104と接合することで第2電極用外部接続用電極104c1となる。   3) The second electrode (cathode) 104c formed on the organic functional layer 103c on the first electrode (anode) 102c is in a state of being joined to the lead portion 108. The lead portion 108 is joined to the second electrode (cathode) 104 to become the second electrode external connection electrode 104c1.

第1電極(陽極)102cの第2電極接合部分102c1と接合した第2電極(陰極)104bと、第1電極(陽極)102cの上に形成された第2電極(陰極)104cとはマスクにより第2電極(陰極)104が形成されないため短絡が防止された状態となっている。Step4が終了した段階で、複数の有機EL素子が連続的に繋がった状態の有機EL素子連続体となる。   The second electrode (cathode) 104b joined to the second electrode joint portion 102c1 of the first electrode (anode) 102c and the second electrode (cathode) 104c formed on the first electrode (anode) 102c are masked. Since the second electrode (cathode) 104 is not formed, a short circuit is prevented. At the stage where Step 4 is completed, an organic EL element continuous body in which a plurality of organic EL elements are continuously connected is obtained.

Step5では、帯状の可撓性の基材301aの搬送方向に塗布・乾燥し帯状に形成されている有機機能層の各ブロック間に形成されている第2電極(陰極)104が除去される。第2電極(陰極)104の除去方法は特に限定はなく、例えばレーザーを使用したドライエッチング方式が挙げられる。   In Step 5, the second electrode (cathode) 104 formed between each block of the organic functional layer formed in a strip shape is applied and dried in the transport direction of the strip-shaped flexible base material 301a. The method for removing the second electrode (cathode) 104 is not particularly limited, and examples thereof include a dry etching method using a laser.

Step6では、Step5までが終了した段階で有機EL素子連続体の帯状の可撓性の基材301aのアライメントマークMに合わせ、図6に示す乾燥装置で封止部材の接着剤層のガラス転移温度Tg以上、且つ封止基材のTg+10℃以下で、2時間以上、24時間以下で加熱乾燥した帯状の封止部材7が、有機EL素子連続体の各有機EL素子の上に貼合され、有機EL素子連続体の各有機EL素子を封止する。ここでは帯状の封止部材7を示したが帯状の封止部材7の形状はStep1に示すブロックLの大きさに合わせ枚葉状に切断した形状であってもよい。Step6が終了した段階で、有機EL素子が封止された有機ELパネルが連続的に繋がっている状態の有機ELパネル連続体が作製される。   In Step 6, when the steps up to Step 5 are completed, the glass transition temperature of the adhesive layer of the sealing member is aligned with the alignment mark M of the strip-shaped flexible base material 301a of the organic EL element continuous body by the drying apparatus shown in FIG. More than Tg and Tg of the sealing substrate + 10 ° C. or less, the band-shaped sealing member 7 heated and dried for 2 hours or more and 24 hours or less is bonded onto each organic EL element of the organic EL element continuous body, Each organic EL element of the organic EL element continuum is sealed. Here, the band-shaped sealing member 7 is shown, but the shape of the band-shaped sealing member 7 may be a shape cut into a single wafer according to the size of the block L shown in Step 1. At the stage where Step 6 is completed, an organic EL panel continuous body in which organic EL panels sealed with organic EL elements are continuously connected is produced.

Step7では、断裁工程8(図4参照)で帯状の可撓性の基材301a、又は帯状の封止部材7に付けられたアライメントマークMを検出装置(不図示)で読み取り、情報に従って、有機ELパネル連続体の各ブロック毎に打ち抜き断裁が行われ図1に示す直列型有機ELパネルと同じ構成の直列型有機ELパネルが製造される。   In Step 7, the alignment mark M attached to the strip-shaped flexible base material 301a or the strip-shaped sealing member 7 in the cutting step 8 (see FIG. 4) is read by a detection device (not shown), and organic in accordance with the information. Punching and cutting is performed for each block of the EL panel continuous body, and a series organic EL panel having the same configuration as the series organic EL panel shown in FIG. 1 is manufactured.

図1から図9に示す様に、封止基材の上に、ガスバリア層と、接着剤層とを順次形成した封止部材を、接着剤層のガラス転移温度Tg以上、且つ、基材のガラス転移温度Tg+10℃以下の温度で2時間以上、24時間以下、乾燥した封止部材で有機EL素子を封止し、有機ELパネルを製造することでダークスポットの発生がない、有機ELパネルの製造が可能となった。   As shown in FIGS. 1 to 9, a sealing member in which a gas barrier layer and an adhesive layer are sequentially formed on a sealing base material is not lower than the glass transition temperature Tg of the adhesive layer, and A glass transition temperature Tg + 10 ° C. or lower is 2 hours or more and 24 hours or less, and the organic EL element is sealed with a dry sealing member to produce an organic EL panel. Manufacture is possible.

次に有機EL素子を構成する主な各部材について以下述べる。   Next, main members constituting the organic EL element will be described below.

(基材)
基材としては透明な樹脂フィルムが挙げられる。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート(TAC)、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリル或いはポリアリレート類、アートン(商品名JSR社製)或いはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等が挙げられる。
(Base material)
A transparent resin film is mentioned as a base material. Examples of the resin film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate (CAP), Cellulose esters such as cellulose acetate phthalate (TAC) and cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether ketone, polyimide , Polyethersulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, Cycloolefin resins such as polyether imide, polyether ketone imide, polyamide, fluororesin, nylon, polymethyl methacrylate, acrylic or polyarylate, Arton (trade name, manufactured by JSR) or Appel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals) Is mentioned.

(ガスバリア層)
基材の表面に必要に応じて設けるガスバリア層としては無機物、有機物の被膜又はその両者のハイブリッド被膜が挙げられる。ガスバリア膜の特性としては、水蒸気透過度が0.01g/m・day以下であることが好ましい。更には、酸素透過度0.1ml/m・day・MPa以下、水蒸気透過度10−5g/m・day以下の高ガスバリア性フィルムであることが好ましい。尚、水蒸気透過度は、JIS K 7129−1992に準拠した方法により測定した値を示す。酸素透過度は、JIS K 7126−1987に準拠した方法により測定した値を示す。
(Gas barrier layer)
Examples of the gas barrier layer provided on the surface of the substrate as needed include inorganic and organic coatings, or hybrid coatings of both. As a characteristic of the gas barrier film, the water vapor permeability is preferably 0.01 g / m 2 · day or less. Furthermore, a high gas barrier film having an oxygen permeability of 0.1 ml / m 2 · day · MPa or less and a water vapor permeability of 10 −5 g / m 2 · day or less is preferable. In addition, water vapor permeability shows the value measured by the method based on JISK7129-1992. The oxygen permeability is a value measured by a method according to JIS K 7126-1987.

ガスバリア膜を形成する材料としては、水分や酸素など素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素などを用いることが出来る。更に該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。ガスバリア膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法などを用いることが出来るが、特開2004−68143号に記載されている様な大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   As a material for forming the gas barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing intrusion of an element such as moisture or oxygen that causes deterioration of the element. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Further, in order to improve the brittleness of the film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times. The method for forming the gas barrier film is not particularly limited. For example, the vacuum deposition method, the sputtering method, the reactive sputtering method, the molecular beam epitaxy method, the cluster ion beam method, the ion plating method, the plasma polymerization method, the atmospheric pressure plasma polymerization method. A plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method as described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.

(第1電極)
第1電極は、陰極、陽極は特に限定せず、素子構成により選択することが出来るが、好ましくは透明電極を陽極として用いることである。例えば、陽極として用いる場合、好ましくは380nmから800nmの光を透過する電極である。材料としては、4eVより大きな(深い)仕事関数を持つものが適しており、例えば、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO、ZnO等の透明導電性金属酸化物、金、銀、白金等の金属薄膜、金属ナノワイヤー、カーボンナノチューブ等を用いることが出来る。
(First electrode)
The first electrode is not particularly limited to a cathode and an anode, and can be selected depending on the element structure, but preferably a transparent electrode is used as the anode. For example, when used as an anode, it is preferably an electrode that transmits light from 380 nm to 800 nm. A material having a work function larger (deep) than 4 eV is suitable as a material, for example, a transparent conductive metal oxide such as indium tin oxide (ITO), SnO 2 , or ZnO, or a metal such as gold, silver, or platinum. Thin films, metal nanowires, carbon nanotubes, and the like can be used.

(正孔輸送層)
正孔輸送層とは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層又は複数層設けることが出来る。正孔輸送材料としては、正孔の注入又は輸送、電子の障壁性の何れかを有するものであり、有機物、無機物の何れであってもよい。例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、又導電性高分子オリゴマー、特にチオフェンオリゴマー等が挙げられる。
(Hole transport layer)
The hole transport layer is made of a hole transport material having a function of transporting holes, and in a broad sense, a hole injection layer and an electron blocking layer are also included in the hole transport layer. The hole transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers. The hole transport material has any one of hole injection or transport and electron barrier properties, and may be either organic or inorganic. For example, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, Examples include stilbene derivatives, silazane derivatives, aniline copolymers, and conductive polymer oligomers, particularly thiophene oligomers.

正孔輸送材料としては上記のものを使用することが出来るが、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4
′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾール、更には米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。
The above-mentioned materials can be used as the hole transport material, but it is preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound. Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl; N, N'-diphenyl-N, N'- Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di-p-tolyl) Aminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-diphenyl-N, N ' − (4-methoxyphenyl) -4,4
'-Diaminobiphenyl; N, N, N', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl; N, N, N-tri (p- 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; Methoxy-4'-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and further having two condensed aromatic rings described in US Pat. No. 5,061,569 in the molecule For example, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD), a triferate described in JP-A-4-308688. Le amine units are linked to three starburst 4,4 ', 4 "- tris [N- (3- methylphenyl) -N- phenylamino] triphenylamine (MTDATA) and the like.

更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。又、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することが出来る。   Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.

又、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002),p.139)に記載されている様な所謂p型正孔輸送材料を用いることも出来る。本発明においては、より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。   JP-A-11-251067, J. Org. Huang et. al. A so-called p-type hole transport material described in a book (Applied Physics Letters 80 (2002), p. 139) can also be used. In the present invention, it is preferable to use these materials because a light-emitting element with higher efficiency can be obtained.

(発光層)
発光層に使用する材料は特に限定はなく、例えば、株式会社東レリサーチセンター『フラットパネルディスプレイの最新動向ELディスプレイの現状と最新技術動向』228頁から332頁に記載されている如き各種材料が挙げられる。
(Light emitting layer)
The material used for the light emitting layer is not particularly limited, and examples thereof include various materials as described in Toray Research Center, Inc. “Latest trend of flat panel display, current state of EL display and latest technological trend” on pages 228 to 332. It is done.

発光層には、発光層の発光効率を高くするために公知のホスト化合物と、公知のリン光性化合物(リン光発光性化合物とも言う)を含有することが好ましい。   The light emitting layer preferably contains a known host compound and a known phosphorescent compound (also referred to as a phosphorescent compound) in order to increase the light emission efficiency of the light emitting layer.

ホスト化合物とは、発光層に含有される化合物の内で、その層中での質量比が20%以上であり、且つ室温(25℃)においてリン光発光のリン光量子収率が、0.1未満の化合物と定義される。好ましくはリン光量子収率が0.01未満である。ホスト化合物を複数種併用して用いてもよい。ホスト化合物を複数種用いることで、電荷の移動を調整することが可能であり、有機EL素子を高効率化することが出来る。又、リン光性化合物を複数種用いることで、異なる発光を混ぜることが可能となり、これにより任意の発光色を得ることが出来る。リン光性化合物の種類、ドープ量を調整することで白色発光が可能であり、照明、バックライトへの応用も出来る。   The host compound is a compound contained in the light-emitting layer, the mass ratio in the layer is 20% or more, and the phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission is 0.1 at room temperature (25 ° C.). Is defined as less than a compound. The phosphorescence quantum yield is preferably less than 0.01. A plurality of host compounds may be used in combination. By using a plurality of types of host compounds, it is possible to adjust the movement of charges, and the organic EL element can be made highly efficient. In addition, by using a plurality of phosphorescent compounds, it is possible to mix different light emission, thereby obtaining an arbitrary emission color. White light emission is possible by adjusting the kind of phosphorescent compound and the amount of doping, and can also be applied to illumination and backlight.

これらのホスト化合物としては、正孔輸送能、電子輸送能を有しつつ、且つ発光の長波長化を防ぎ、尚且つ高Tg(ガラス転移温度)である化合物が好ましい。公知のホスト化合物としては、例えば、特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報等に記載の化合物が挙げられる。   As these host compounds, compounds having a hole transporting ability and an electron transporting ability, preventing emission light from being increased in wavelength, and having a high Tg (glass transition temperature) are preferable. Known host compounds include, for example, JP-A Nos. 2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, and 2002-334786. Gazette, 2002-8860, 2002-334787, 2002-15871, 2002-334788, 2002-43056, 2002-334789, 2002-75645 2002-338579, 2002-105445, 2002-343568, 2002-141173, 2002-352957, 2002-203683, 2002-363227 2002-231453, 2003-3165, 2002-234888, 2003-27048, 2002-255934, 2002-260861, 2002-280183, Examples thereof include compounds described in 2002-299060, 2002-302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837 and the like.

複数の発光層を有する場合、これら各層のホスト化合物の50質量%以上が同一の化合物であることが、有機層全体に亘って均質な膜性状を得やすいことから好ましく、更にはホスト化合物のリン光発光エネルギーが2.9eV以上であることが、ドーパントからのエネルギー移動を効率的に抑制し、高輝度を得る上で有利となることからより好ましい。   In the case of having a plurality of light-emitting layers, it is preferable that 50% by mass or more of the host compound in each layer is the same compound because it is easy to obtain a uniform film property over the entire organic layer. It is more preferable that the light emission energy is 2.9 eV or more because it is advantageous in efficiently suppressing energy transfer from the dopant and obtaining high luminance.

リン光発光エネルギーとは、ホスト化合物を基材上に100nmの蒸着膜のフォトルミネッセンスを測定し、そのリン光発光の0−0バンドのピークエネルギーを言う。   Phosphorescence emission energy refers to the peak energy of the 0-0 band of phosphorescence emission when the photoluminescence of a deposited film of 100 nm is measured on a substrate with a host compound.

ホスト化合物は、有機EL素子の経時での劣化(輝度低下、膜性状の劣化)、光源としての市場ニーズ等を考慮し、リン光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。即ち、輝度と耐久性の両方を満足するためには、リン光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。Tgは、更に好ましくは100℃以上である。   The host compound has a phosphorescence emission energy of 2.9 eV or more and a Tg of 90 ° C. or more in consideration of deterioration of the organic EL device over time (decrease in luminance and film properties), market needs as a light source, and the like. Preferably there is. That is, in order to satisfy both luminance and durability, it is preferable that phosphorescence emission energy is 2.9 eV or more and Tg is 90 ° C. or more. Tg is more preferably 100 ° C. or higher.

リン光性化合物(リン光発光性化合物)とは、励起三重項からの発光が観測される化合物であり、室温(25℃)にてリン光発光する化合物であり、リン光量子収率が、25℃において0.01以上の化合物である。先に説明したホスト化合物と合わせ使用することで、より発光効率の高い有機EL素子とすることが出来る。   A phosphorescent compound (phosphorescent compound) is a compound in which light emission from an excited triplet is observed, is a compound that emits phosphorescence at room temperature (25 ° C.), and has a phosphorescence quantum yield of 25. The compound is 0.01 or more at ° C. When used in combination with the host compound described above, an organic EL device with higher luminous efficiency can be obtained.

リン光性化合物は、リン光量子収率は好ましくは0.1以上である。上記リン光量子収率は、第4版実験化学講座7の分光IIの398頁(1992年版、丸善)に記載の方法により測定出来る。溶液中でのリン光量子収率は種々の溶媒を用いて測定出来るが、本発明に用いられるリン光性化合物は、任意の溶媒の何れかにおいて上記リン光量子収率が達成されればよい。   The phosphorescent compound preferably has a phosphorescence quantum yield of 0.1 or more. The phosphorescent quantum yield can be measured by the method described in Spectroscopic II, page 398 (1992 version, Maruzen) of Experimental Chemistry Course 4 of the 4th edition. Although the phosphorescence quantum yield in a solution can be measured using various solvents, the phosphorescence quantum yield used in the present invention only needs to achieve the phosphorescence quantum yield in any solvent.

リン光性化合物の発光は原理としては2種挙げられ、1つはキャリアが輸送されるホスト化合物上でキャリアの再結合が起こってホスト化合物の励起状態が生成し、このエネルギーをリン光性化合物に移動させることでリン光性化合物からの発光を得るというエネルギー移動型、もう一つはリン光性化合物がキャリアトラップとなり、リン光性化合物上でキャリアの再結合が起こりリン光性化合物からの発光が得られるというキャリアトラップ型であるが、何れの場合においても、リン光性化合物の励起状態のエネルギーはホスト化合物の励起状態のエネルギーよりも低いことが条件である。   There are two types of light emission of the phosphorescent compound in principle. One is the recombination of the carrier on the host compound to which the carrier is transported to generate an excited state of the host compound, and this energy is transferred to the phosphorescent compound. The energy transfer type is to obtain light emission from the phosphorescent compound by moving to the other, and the other is that the phosphorescent compound becomes a carrier trap, and carrier recombination occurs on the phosphorescent compound, and the phosphorescent compound emits light. Although it is a carrier trap type in which light emission can be obtained, in any case, it is a condition that the excited state energy of the phosphorescent compound is lower than the excited state energy of the host compound.

リン光性化合物は、有機EL素子の発光層に使用される公知のものの中から適宜選択して用いることが出来る。リン光性化合物としては、好ましくは元素の周期表で8族−10族の金属を含有する錯体系化合物であり、更に好ましくはイリジウム化合物、オスミウム化合物、又は白金化合物(白金錯体系化合物)、希土類錯体であり、中でも最も好ましいのはイリジウム化合物である。   The phosphorescent compound can be appropriately selected from known compounds used for the light emitting layer of the organic EL device. The phosphorescent compound is preferably a complex compound containing a group 8-10 metal in the periodic table of elements, more preferably an iridium compound, an osmium compound, or a platinum compound (platinum complex compound), rare earth Of these, iridium compounds are the most preferred.

リン光性化合物のリン光発光極大波長としては特に制限されるものではなく、原理的には中心金属、配位子、配位子の置換基等を選択することで得られる発光波長を変化させることが出来る。   The phosphorescent maximum wavelength of the phosphorescent compound is not particularly limited. In principle, the emission wavelength obtained by selecting a central metal, a ligand, a ligand substituent, etc. is changed. I can do it.

化合物の発光する色は、「新編色彩科学ハンドブック」(日本色彩学会編、東京大学出版会、1985)の108頁の図4.16において、分光放射輝度計CS−1000(コニカミノルタセンシング社製)で測定した結果をCIE色度座標に当て嵌めた時の色で決定される。   The color emitted by the compound is shown in Fig. 4.16 on page 108 of the "New Color Science Handbook" (edited by the Japan Society of Color Science, The University of Tokyo Press, 1985). It is determined by the color when the measurement result is applied to the CIE chromaticity coordinates.

(電子輸送層)
他に発光層側に隣接する電子輸送層に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよく、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることが出来、例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体等が挙げられる。更に、上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来る。更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。
(Electron transport layer)
In addition, as an electron transport material (also serving as a hole blocking material) used for the electron transport layer adjacent to the light emitting layer side, it is sufficient if it has a function of transmitting electrons injected from the cathode to the light emitting layer. As a material, any one of conventionally known compounds can be selected and used. For example, nitro-substituted fluorene derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, carbodiimides, fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodisides. Examples include methane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives and the like. Furthermore, in the above oxadiazole derivatives, thiadiazole derivatives in which the oxygen atom of the oxadiazole ring is substituted with a sulfur atom, and quinoxaline derivatives having a quinoxaline ring known as an electron-withdrawing group can also be used as the electron transport material. Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.

又、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、Ga又はPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送材料として用いることが出来る。その他、メタルフリー若しくはメタルフタロシアニン、又はそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送材料として好ましく用いることが出来る。又、ジスチリルピラジン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来るし、正孔注入層、正孔輸送層と同様に、n型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送材料として用いることが出来る。電子輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nmから5μm程度、好ましくは5から200nmである。電子輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。   Also, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (Alq), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol) aluminum Tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (Znq), and the like, and the central metals of these metal complexes are In, Mg, Metal complexes replaced with Cu, Ca, Sn, Ga or Pb can also be used as the electron transport material. In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with an alkyl group or a sulfonic acid group can be preferably used as the electron transport material. Distyrylpyrazine derivatives can also be used as electron transport materials, and inorganic semiconductors such as n-type-Si and n-type-SiC are also used as electron transport materials in the same manner as the hole injection layer and hole transport layer. I can do it. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of an electron carrying layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5 to 200 nm. The electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

又、不純物をドープしたn性の高い電子輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号公報、特開平10−270172号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)などに記載されたものが挙げられる。この様なn性の高い電子輸送層を用いることがより低消費電力の素子を作製することが出来るため好ましい。電子輸送層は上記電子輸送材料を、例えば、ウェット方式、ドライ方式等の公知の方法により、薄膜化することにより成膜し形成することも出来る。   An electron transport layer having a high n property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Pat. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such an electron transport layer having a high n property because an element with lower power consumption can be manufactured. The electron transport layer can be formed by forming the electron transport material into a thin film by a known method such as a wet method or a dry method.

(第2電極)
第2電極は陰極、陽極は特に限定せず、素子構成により選択することが出来るが、好ましくは透明電極を陽極として用いることである。例えば、陰極として用いる場合、好ましくは仕事関数が4eV以下(浅い)の金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。この様な電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、有機機能層との電気的な接合、及び酸化等に対する耐久性の点から、これら金属とこれより仕事関数の値が大きく(深く)安定な金属である第二の金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム単独等が好適である。
(Second electrode)
The second electrode is not particularly limited to a cathode and an anode, and can be selected depending on the element configuration, but preferably a transparent electrode is used as the anode. For example, when used as a cathode, it is preferable to use a metal, an alloy, an electrically conductive compound having a work function of 4 eV or less (shallow), and a mixture thereof as an electrode material. Specific examples of such electrode materials include sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) Mixtures, indium, lithium / aluminum mixtures, rare earth metals and the like. Among these, from the viewpoint of electrical bonding with the organic functional layer and durability against oxidation, etc., these metals and the second metal, which is a stable metal having a larger (deep) work function value than this, Mixtures such as magnesium / silver mixtures, magnesium / aluminum mixtures, magnesium / indium mixtures, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixtures, lithium / aluminum mixtures, aluminum alone and the like are suitable.

第2電極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することが出来る。又、膜厚は通常10nmから5μm、好ましくは50nmから200nmの範囲で選ばれる。   The second electrode can be produced by forming a thin film of these electrode materials by a method such as vapor deposition or sputtering. The film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 nm to 200 nm.

第2電極として反射率の高い金属材料を用いれば、例えば有機EL素子において、発光した光の一部を反射して外部に取り出すことが出来、又、有機PV素子においては、光電変換層を通過した光を反射し、再度、光電変換層に戻すことで光路長を稼ぐ効果が得られ、何れにおいても外部量子効率の向上が期待出来る。更に、金属(例えば金、銀、銅、白金、ロジウム、ルテニウム、アルミニウム、マグネシウム、インジウム等)、又は炭素からなるナノ粒子、ナノワイヤー、ナノ構造体であってもよく、ナノ粒子やナノワイヤーの高分散性なペーストであれば、透明で導電性の高い対電極を塗布法や印刷法により形成出来好ましい。   If a highly reflective metal material is used as the second electrode, for example, in an organic EL element, a part of the emitted light can be reflected and taken out to the outside, and the organic PV element passes through a photoelectric conversion layer. The effect of increasing the optical path length can be obtained by reflecting the reflected light and returning it to the photoelectric conversion layer again, and in any case, improvement of the external quantum efficiency can be expected. Furthermore, it may be a metal (for example, gold, silver, copper, platinum, rhodium, ruthenium, aluminum, magnesium, indium, etc.) or a nanoparticle, nanowire, or nanostructure made of carbon. A highly dispersible paste is preferable because a transparent and highly conductive counter electrode can be formed by a coating method or a printing method.

又、対電極側を光透過性とする場合は、例えば、アルミニウム及びアルミニウム合金、銀及び銀化合物等の対電極に適した導電性材料を薄く1nmから20nm程度の膜厚で作製した後、上記透明電極の説明で挙げた導電性光透過性材料の膜を設けることで、光透過性の電極とすることも出来る。   Further, when the counter electrode side is made light transmissive, for example, a conductive material suitable for the counter electrode such as aluminum and aluminum alloy, silver and silver compound is formed with a thin film thickness of about 1 nm to 20 nm, and then the above-mentioned By providing a film of the conductive light-transmitting material mentioned in the description of the transparent electrode, a light-transmitting electrode can be obtained.

以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1
(有機ELパネルの作製)
図4に示す製造工程により、図7から図9に示すフロー図(Step1からStep7)に従って、図1(a)に示される基材/ガスバリア層/第1電極(陽極)/有機機能層/第2電極(陰極)/封止部材の構成の有機ELパネルを作製した。尚、有機機能層として正孔輸送層/発光層/電子輸送層の構成とし、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層は湿式塗布方式で形成した。
Example 1
(Production of organic EL panel)
According to the manufacturing process shown in FIG. 4, the substrate / gas barrier layer / first electrode (anode) / organic functional layer / second shown in FIG. 1 (a) according to the flow charts (Step 1 to Step 7) shown in FIGS. An organic EL panel having a configuration of two electrodes (cathode) / sealing member was produced. In addition, it was set as the structure of a positive hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer as an organic functional layer, and the positive hole transport layer, the light emitting layer, and the electron transport layer were formed with the wet apply | coating method.

(有機ELパネル連続体の作製)
〈可撓性の基材の準備〉
可撓性の基材として、幅200mm、長さ500mの厚さ125μmの帯状のポリエチレンナフタレートフィルム(帝人・デユポン社製フィルム、以下、PENフィルムと略記する)を準備した。尚、予め形成する第1電極(陽極)の位置に合わせアライメントマーク及び第1電極用外部接続用電極、リード部が形成される位置に位置指定マークを付けた。
(Preparation of organic EL panel continuum)
<Preparation of flexible substrate>
As a flexible substrate, a belt-like polyethylene naphthalate film having a width of 200 mm and a length of 500 m and a thickness of 125 μm (a film made by Teijin-Dyupon Co., Ltd., hereinafter abbreviated as PEN film) was prepared. A position designation mark was attached to the position where the alignment mark, the first electrode external connection electrode, and the lead portion were formed in accordance with the position of the first electrode (anode) formed in advance.

(ガスバリア層の形成)
準備したPENフィルムの上に大気圧プラズマ放電処理法で、トータルの膜厚で約90nmの酸化珪素からなる低密度層、中密度層、高密度層、中密度層のユニットを3層積層した透明ガスバリア性フィルムを作製した。JIS K 7129−1992に準拠した方法により水蒸気透過度を測定した結果、10−3g/(m・24h)以下であった。JIS K 7126−1987に準拠した方法により酸素透過度を測定した結果、10−3ml/(m・24hr・MPa)以下であった。
(Formation of gas barrier layer)
Transparent layered three layers of low density layer, medium density layer, high density layer, and medium density layer of silicon oxide with a total thickness of about 90 nm on the prepared PEN film by atmospheric pressure plasma discharge treatment method A gas barrier film was produced. As a result of measuring the water vapor permeability by a method based on JIS K 7129-1992, it was 10 −3 g / (m 2 · 24 h) or less. As a result of measuring oxygen permeability by a method based on JIS K 7126-1987, it was 10 −3 ml / (m 2 · 24 hr · MPa) or less.

(第1電極(陽極)の形成)
準備したPENフィルムの上に真空環境条件で厚さ120nm、幅70mm×長さ100mmで第1電極用外部接続用電極を有する第1電極(陽極)及びリード部を、ITO(インジウムチンオキシド)をスパッタリング法により、マスクパターン成膜を行い、右端に15mm×100mmの大きさのリード部を有し、50mm×100mmの大きさの第1電極を5mm間隔で3列形成し、巻き芯に巻き取りロール状とした(図9のStep1参照)。尚、両端はアライメントマークを付けるため10mm空けた。
(Formation of the first electrode (anode))
On the prepared PEN film, the first electrode (anode) having a thickness of 120 nm, a width of 70 mm and a length of 100 mm under vacuum environmental conditions and having a first electrode external connection electrode and the lead portion are made of ITO (indium tin oxide). A mask pattern is formed by sputtering, and a lead portion having a size of 15 mm × 100 mm is formed at the right end, and three first electrodes having a size of 50 mm × 100 mm are formed at intervals of 5 mm, and wound around a winding core. It was made into a roll shape (see Step 1 in FIG. 9). Note that both ends were spaced 10 mm in order to attach alignment marks.

〈正孔輸送層の形成〉
(正孔輸送層形成用塗布液の準備)
ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer社製 Bytron P AI 4083)を純水で65%、メタノール5%で希釈した溶液を正孔輸送層形成用塗布液として準備した。
<Formation of hole transport layer>
(Preparation of coating solution for hole transport layer formation)
A solution prepared by diluting polyethylene dioxythiophene / polystyrene sulfonate (PEDOT / PSS, Baytron P AI 4083 manufactured by Bayer) with pure water at 65% and methanol at 5% was prepared as a coating solution for forming a hole transport layer.

(正孔輸送層形成用塗布液の塗布)
準備したロール状とした第1電極(陽極)とリード部とが形成されたPENフィルム全面に、準備した正孔輸送層形成用塗布液を押出し塗布機を用いてドライエアー雰囲気で塗布速度2m/minで第1電極(陽極)の第1電極用外部接続用電極を形成する部分と、第1電極(陽極)の第2電極接合部分と、第1電極(陽極)の第2電極接合部分と、リード部とを除いて第1電極(陽極)を含めた有機層形成位置にストライプ塗布方式でPENフィルムの搬送方向に帯状に塗布した後、製膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/sec、幅手の風速分布5%、温度100℃で溶媒を除去し、厚みが50nmの正孔輸送層を形成し(図7のStep2参照)、巻き芯に巻き取り保管した。正孔輸送層形成用塗布液を塗布する前に、PENフィルムの洗浄表面改質処理を、波長184.9nmの低圧水銀ランプを使用し、照射強度15mW/cm、距離10mmで実施した。帯電除去処理は、微弱X線による除電器を使用し行った。
(Application of coating liquid for hole transport layer formation)
The prepared coating solution for forming the hole transport layer is applied to the entire surface of the PEN film on which the prepared first electrode (anode) and the lead portion in the form of a roll are formed. a portion of the first electrode (anode) forming the first electrode external connection electrode in min, a second electrode joint portion of the first electrode (anode), a second electrode joint portion of the first electrode (anode), After applying the strip in the direction of transport of the PEN film to the organic layer forming position including the first electrode (anode) except for the lead portion by a stripe coating method, the height is 100 mm toward the film forming surface, and the discharge wind speed is 1 m / second. The solvent was removed at a sec. wind width distribution of 5% and a temperature of 100 ° C. to form a hole transport layer having a thickness of 50 nm (see Step 2 in FIG. 7), and wound and stored on a winding core. Before applying the coating solution for forming the hole transport layer, the cleaning surface modification treatment of the PEN film was performed using a low-pressure mercury lamp with a wavelength of 184.9 nm at an irradiation intensity of 15 mW / cm 2 and a distance of 10 mm. The charge removal treatment was performed using a static eliminator with weak X-rays.

(活性化処理)
乾燥し正孔輸送層を形成したロール状のPENフィルムに加熱処理装置で30分間、温度120℃のドライエアーを供給することで活性化処理(加熱処理)を行った。
(Activation process)
Activation treatment (heat treatment) was performed by supplying dry air having a temperature of 120 ° C. for 30 minutes to the roll-shaped PEN film having been dried to form a hole transport layer.

〈発光層の形成〉
(緑色発光層形成用塗布液の準備)
ホスト材のポリビニルカルバゾール(PVK)にドーパント材Ir(ppy)を5質量%、1,2−ジクロロエタン中に溶解し1%溶液とし、緑色発光層形成用塗布液として準備した。
<Formation of light emitting layer>
(Preparation of green luminescent layer forming coating solution)
A dopant material Ir (ppy) 3 was dissolved in a host material polyvinyl carbazole (PVK) in 5% by mass in 1,2-dichloroethane to prepare a 1% solution, which was prepared as a coating solution for forming a green light emitting layer.

(緑色発光層形成用塗布液の塗布)
正孔輸送層迄を形成したPENフィルムの正孔輸送層の上に、準備した緑色発光層形成用塗布液を押出し塗布機を用いて、ドライ窒素ガス雰囲気中で、塗布速度2m/minでPENフィルムの搬送方向に帯状にストライプ塗布した後、製膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/sec、幅手の風速分布5%、温度60℃で溶媒を除去し厚みが100nmの発光層を形成し(図9Step2参照)、巻き取り保管した。
(Application of coating solution for green light emitting layer formation)
On the hole transport layer of the PEN film formed up to the hole transport layer, the prepared coating solution for forming the green light-emitting layer is extruded using an extrusion coater in a dry nitrogen gas atmosphere at a coating speed of 2 m / min. After stripe coating in a strip shape in the film transport direction, the solvent is removed at a height of 100 mm toward the film forming surface, a discharge wind speed of 1 m / sec, a wide wind speed distribution of 5%, and a temperature of 60 ° C. to form a light emitting layer having a thickness of 100 nm It formed (refer FIG. 9 Step2), and it wound up and stored.

(活性化処理)
乾燥し緑色発光層を形成したロール状のPENフィルムに加熱処理装置で30分間、温度220℃のドライ窒素を供給することで活性化処理(加熱処理)を行った。
(Activation process)
Activation treatment (heat treatment) was performed by supplying dry nitrogen having a temperature of 220 ° C. for 30 minutes to the roll-shaped PEN film formed with a green light emitting layer by drying.

〈電子輸送層の形成〉
(電子輸送層形成用塗布液の準備)
電子輸送層はAlqを1,2−ジクロロエタン中に溶解し0.5質量%溶液とし電子輸送層形成用塗布液とした。
<Formation of electron transport layer>
(Preparation of coating solution for electron transport layer formation)
The electron transport layer was prepared by dissolving Alq 3 in 1,2-dichloroethane to obtain a 0.5 mass% solution as a coating solution for forming an electron transport layer.

(電子輸送層形成用塗布液の塗布)
発光層迄を形成したPENフィルムの発光層の上に、準備した電子輸送層形成用塗布液を押出し塗布機を用い、ドライ窒素ガス雰囲気中で押出し、PENフィルムの搬送方向に帯状に塗布速度2m/minでストライプ塗布した後、製膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/sec、幅手の風速分布5%、温度60℃で溶媒を除去し、厚みが30nmの電子輸送層を形成し(図9のStep2参照)、巻き芯に巻き取り保管した。
(Application of coating solution for electron transport layer formation)
The prepared coating solution for forming an electron transport layer is extruded on a light emitting layer of the PEN film formed up to the light emitting layer using an extrusion coater in a dry nitrogen gas atmosphere, and the coating speed is 2 m in a belt shape in the transport direction of the PEN film. After applying the stripes at / min, the solvent is removed at a height of 100 mm toward the film forming surface, a discharge wind speed of 1 m / sec, a wide wind speed distribution of 5%, and a temperature of 60 ° C. to form an electron transport layer having a thickness of 30 nm. (See Step 2 in FIG. 9).

(活性化処理)
乾燥し電子輸送層を形成したロール状のPENフィルムに、加熱処理装置で30分間温度200℃のドライ窒素を供給することで活性化処理を行った。
(Activation process)
An activation treatment was performed by supplying dry nitrogen having a temperature of 200 ° C. for 30 minutes to a roll-shaped PEN film having been dried to form an electron transport layer.

(有機機能層の不要領域の払拭処理)
PENフィルムの搬送方向に帯状でストライプ状に形成された有機機能層(正孔輸送層/発光層/電子輸送層)の不要領域(各ブロック間の有機機能層)を溶媒としてアセトンを使用し払拭し除去し巻き芯に巻き取り保管した。
(Waste treatment of unnecessary area of organic functional layer)
Wipe off unnecessary area (organic functional layer between each block) of organic functional layer (hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer) formed in a strip shape in the direction of transport of PEN film using acetone as solvent It was removed and wound up and stored on a winding core.

(第2電極の形成)
第1電極用外部接続用電極、リード部及び電子輸送層までが形成されたPENフィルムの上に第2電極を、図10のStep4に示す様にPENフィルムの搬送方向に電子輸送層の上に5×10−4Paの真空下にて第2電極形成材料としてアルミニウムを使用し、気相堆積装置(不図示)にて帯状にマスクパターン成膜し、厚さ100nmの第2電極を積層した。リード部は第2電極と接続することで第2電極用外部接続用電極となる。
(Formation of second electrode)
The second electrode is placed on the PEN film on which the external connection electrode for the first electrode, the lead portion, and the electron transport layer are formed, and on the electron transport layer in the transport direction of the PEN film as shown in Step 4 of FIG. Aluminum was used as a second electrode forming material under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa, a mask pattern was formed in a belt shape with a vapor deposition apparatus (not shown), and a second electrode having a thickness of 100 nm was laminated. . The lead portion becomes the second electrode external connection electrode by being connected to the second electrode.

(不要領域の第2電極の除去処理)
各ブロック間に形成されている第2電極をレーザー照射しドライエッチング方式で除去する(図10のStep5参照)。この段階でPENフィルムの搬送方向に複数の有機EL素子が連続的に繋がった有機EL素子連続体が作製される。
(Removal of second electrode in unnecessary area)
The second electrode formed between the blocks is irradiated with laser and removed by a dry etching method (see Step 5 in FIG. 10). At this stage, an organic EL element continuous body in which a plurality of organic EL elements are continuously connected in the transport direction of the PEN film is produced.

(封止部材の準備)
図5に示す構成の封止部材を準備し、表1に示す条件で接着剤層を乾燥し、封止部材としNo.aからgとした。
(Preparation of sealing member)
5 was prepared, and the adhesive layer was dried under the conditions shown in Table 1 to obtain a sealing member No. From a to g.

(封止基材No.1の準備)
封止基材として、予め第1電極(陽極)の位置に合わせフィルムの両端にアライメントマークを付けた、幅200mm、長さ600m、厚さ50μmの帯状のPETフィルムを準備し封止基材No.1とした。PETフィルムのガラス転移温度Tgは110℃である。
(Preparation of sealing substrate No. 1)
As a sealing substrate, a belt-like PET film having a width of 200 mm, a length of 600 m, and a thickness of 50 μm was prepared in advance by aligning both ends of the film with the position of the first electrode (anode). . It was set to 1. The glass transition temperature Tg of the PET film is 110 ° C.

(封止基材No.2の準備)
封止基材として、予め第1電極(陽極)の位置に合わせフィルムの両端にアライメントマークを付けた、幅200mm、長さ600m、厚さ50μmの帯状のPENフィルムを準備し封止基材No.2とした。PENフィルムのガラス転移温度Tgは160℃である。
(Preparation of sealing substrate No. 2)
As a sealing substrate, a belt-like PEN film having a width of 200 mm, a length of 600 m, and a thickness of 50 μm was prepared in advance by aligning the both ends of the film with the position of the first electrode (anode). . 2. The glass transition temperature Tg of the PEN film is 160 ° C.

(無機膜の形成)
準備した封止基材No.1及び封止基材No.2の上に無機膜として厚さ30μmのアルミ箔を、公知のラミネート法により設け無機膜を形成した。
(Formation of inorganic film)
The prepared sealing substrate No. 1 and sealing substrate No. 1 An inorganic film was formed by providing an aluminum foil having a thickness of 30 μm as an inorganic film on 2 by a known laminating method.

(接着剤層の形成)
この後、表1に示す様に接着剤の熱可塑性樹脂の種類を変えてアルミ箔の上に、公知のラミネート法により、厚さ40μmの接着剤層を形成し乾燥前封止部材を作製しNo.aからeとした。
(Formation of adhesive layer)
Thereafter, as shown in Table 1, the type of the thermoplastic resin of the adhesive is changed, and an adhesive layer having a thickness of 40 μm is formed on the aluminum foil by a known laminating method to prepare a pre-drying sealing member. No. From a to e.

(比較封止部材fの作製)
準備した封止基材No.1の上に無機膜として厚さ30μmのアルミ箔を、公知のラミネート法により設け無機膜を形成した後、接着剤層として、プロピレン・1−ブテン・4−メチル−1−ペンテン共重合体(PB(4−MP);プロピレン成分48モル%、1−ブテン成分27モル%、4−メチル−1−ペンテン成分25モル%、MFR(230℃)=14g/10min)70質量部と、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体(SIS;JSR(株)製SIS5229N)12質量部と、エチレンとα−オレフィンのコオリゴマー(LEO;三井化学(株)製ルーカントTMHC−20)8質量部とプロピレン重合体(h−PP;密度0.91kg/m、MFR(230℃)=7g/10min)10質量部の樹脂組成物(MFR(230℃)=15g/10min)を用いてT−ダイ押出成形機により厚さ10μmで形成し封止部材を作製し、比較封止部材No.fとした。
(Preparation of comparative sealing member f)
The prepared sealing substrate No. An aluminum film having a thickness of 30 μm as an inorganic film was formed on 1 by a known laminating method to form an inorganic film, and then, as an adhesive layer, a propylene / 1-butene / 4-methyl-1-pentene copolymer ( PB (4-MP); propylene component 48 mol%, 1-butene component 27 mol%, 4-methyl-1-pentene component 25 mol%, MFR (230 ° C.) = 14 g / 10 min) 70 parts by mass, 12 parts by mass of isoprene / styrene block copolymer (SIS; JSR Co., Ltd. SIS 5229N), ethylene and α-olefin co-oligomer (LEO; Mitsui Chemicals, Inc. Lucant TMHC-20) 8 parts by mass and propylene heavy coalescence (h-PP; density 0.91kg / m 3, MFR (230 ℃) = 7g / 10min) 10 parts by weight of the resin composition (MFR (230 ℃) 15 g / 10min) to prepare a sealing member is formed with a thickness 10μm by T- die extrusion molding machine was used to compare the sealing member No. f.

(比較封止部材gの作製)
準備した封止基材No.2の上に無機膜として厚さ30μmのアルミ箔を、公知のラミネート法により設け無機膜を形成した後、接着剤層として、プロピレン・エチレン・1−ブテン共重合体(PEB;プロピレン成分=77モル%、エチレン成分=17モル%、1−ブテン成分=6モル%、MFR(230℃)=11g/10min)75質量部と、スチレン・スチレンブロック共重合体(SEBS;JSR(株)製ダイナロン8600P)10質量部と、エチレンとα−オレフィンのコオリゴマー(LEO;三井化学(株)製ルーカントTMHC−20)10質量部とプロピレン重合体(h−PP;密度0.91kg/m、MFR(230℃)=7g/10min)5質量部と、架橋PMMAからなる有機フィラー(PMAA;綜研化学(株)製ケミスノーTMMX−500、粒径5μm)3質量部の樹脂組成物(MFR(230℃)=16g/10min)を用いて、T−ダイ押出成形機により厚さ10μmで形成し封止部材を作製し、比較封止部材No.gとした。
(Preparation of comparative sealing member g)
The prepared sealing substrate No. An aluminum film having a thickness of 30 μm as an inorganic film is formed on 2 by a known laminating method to form an inorganic film, and then, as an adhesive layer, a propylene / ethylene / 1-butene copolymer (PEB; propylene component = 77). Mol%, ethylene component = 17 mol%, 1-butene component = 6 mol%, MFR (230 ° C.) = 11 g / 10 min) 75 parts by mass, styrene / styrene block copolymer (SEBS; JSR Co., Ltd. Dynalon) 8600P) 10 parts by mass, ethylene and α-olefin co-oligomer (LEO; Mitsui Chemicals, Inc. Lucant TMHC-20) 10 parts by mass and propylene polymer (h-PP; density 0.91 kg / m 3 , MFR (230 ° C.) = 7 g / 10 min) 5 parts by mass and an organic filler (PMAA) made of crosslinked PMMA; Chemisnow T manufactured by Soken Chemical Co., Ltd. MX-500, particle size 5 μm) 3 parts by mass of a resin composition (MFR (230 ° C.) = 16 g / 10 min) is formed with a thickness of 10 μm by a T-die extruder, and a sealing member is produced. Comparative sealing member No. g.

尚、ガラス転移温度Tgは株式会社パーキンエルマージャパン 示差走査熱量測定装置(DSC6000)で測定した値を示す。   In addition, glass transition temperature Tg shows the value measured with Perkin-Elmer Japan Co., Ltd. differential scanning calorimeter (DSC6000).

(封止部材の加熱乾燥)
準備した加熱乾燥前封止部材No.aからgを、図6に示す乾燥装置を使用し表2、表3に示す条件で乾燥し加熱乾燥済み封止部材No.1−1から1−62とした。尚、帯状の封止部材は、テンションをかけた状態で加熱乾燥した。接着剤層の含水率は、三菱化学アナリテック(株)製 カールフィッシャー水分計CA−200と水分気化装置VA−200を使用して測定した値を示す。
(Heat-drying of sealing member)
The prepared pre-heat drying sealing member No. a to g were dried under the conditions shown in Tables 2 and 3 using the drying apparatus shown in FIG. 1-1 to 1-62. The strip-shaped sealing member was heat-dried under tension. The moisture content of the adhesive layer indicates a value measured using a Karl Fischer moisture meter CA-200 and a moisture vaporizer VA-200 manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd.

(封止部材による封止)
準備した封止部材No.1−1から1−62を温度30℃、水分量200ppmの条件で24時間保管した後、水分量150ppmの環境でロールラミネート装置を用いて有機EL素子連続体の各有機EL素子の第2電極面に、押圧0.5MPa、温度100℃で貼合し、有機EL素子連続体を封止し、長さ500mの帯状の有機ELパネル連続体とした。
(Sealing with sealing member)
The prepared sealing member No. 1-1 to 1-62 are stored for 24 hours under conditions of a temperature of 30 ° C. and a water content of 200 ppm, and then the second electrode of each organic EL device of the organic EL device continuum using a roll laminator in an environment with a water content of 150 ppm. The surface was pasted at a pressure of 0.5 MPa and a temperature of 100 ° C., and the organic EL element continuum was sealed to obtain a strip-shaped organic EL panel continuum having a length of 500 m.

(有機ELパネル連続体の打ち抜き断裁)
ダイと、ダイの形状に合わせたパンチとを装着した打ち抜き断裁装置を準備し、作製した長さ500mの帯状の有機ELパネル連続体を打ち抜き断裁速度30個/minで打ち抜き断裁し、個別の有機ELパネルを作製し、試料No.101から162とした。
(Punching of organic EL panel continuum)
A punching and cutting device equipped with a die and a punch adapted to the shape of the die was prepared, and a continuous organic EL panel having a length of 500 m was punched and cut at a cutting speed of 30 pieces / min. An EL panel was prepared and sample no. 101 to 162.

評価
作製した各試料No.101から162に付き、ダークスポットの発生状況を以下に示す測定方法に従って測定し、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表4、表5に示す。
Evaluation Each sample No. Tables 4 and 5 show the results obtained by measuring the occurrence of dark spots from 101 to 162 in accordance with the measurement method shown below and evaluating according to the evaluation rank shown below.

(評価試料のサンプリング)
全長500mの内、150m、350m、450mに該当する各位置から個別の有機ELパネルを各10個サンプリングし評価試料とした。
(Sampling of evaluation sample)
Ten individual organic EL panels were sampled from each position corresponding to 150 m, 350 m, and 450 m out of the total length of 500 m, and used as evaluation samples.

(ダークスポットの測定方法)
作製した有機ELパネルを湿度90%RH、温度70℃、24時間放置した後に、定電圧電源にて5V印加した。その時の発光状態をキーエンス社製マイクロスコープで観察し、100μm以上のダークスポットの発生数を目視でカウントした。
(Dark spot measurement method)
The produced organic EL panel was allowed to stand for 24 hours at a humidity of 90% RH and a temperature of 70 ° C., and then 5 V was applied with a constant voltage power source. The light emission state at that time was observed with a microscope made by Keyence, and the number of dark spots of 100 μm or more was visually counted.

ダークスポットの評価ランク
◎:ダークスポット0個
○:ダークスポット1個以上10個未満
△:ダークスポット10個以上20個未満
×:ダークスポット20個以上
Evaluation rank of dark spots ◎: 0 dark spots ○: 1 to 10 dark spots △: 10 to 20 dark spots ×: 20 or more dark spots

有機エレクトロルミネッセンスパネル構造体を封止する前に、封止部材を、封止部材の接着剤層のガラス転移温度Tg以上、且つ封止基材のガラス転移温度Tg+10℃以下の温度で加熱乾燥した封止部材を使用して製造した試料No.102から111、118から127、134から138、140から149、151から160は何れも接着剤層の含水率が200ppm以下となり、ダークスポット耐性に優れていることを確認した。この中で加熱時間が2時間以上の条件で作成した試料は、接着剤層の含水率が200ppm未満となり更に優れていることを確認した。又、加熱時間が24時間を越えた条件で作成した試料は、封止基材の変形により封止基材上に形成した無機膜のバリア性が劣化したため実用上問題ないが若干劣る結果を示した。   Before sealing the organic electroluminescence panel structure, the sealing member was heated and dried at a temperature not lower than the glass transition temperature Tg of the adhesive layer of the sealing member and not higher than the glass transition temperature Tg of the sealing substrate + 10 ° C. Sample No. manufactured using the sealing member. From 102 to 111, 118 to 127, 134 to 138, 140 to 149, and 151 to 160, the moisture content of the adhesive layer was 200 ppm or less, and it was confirmed that dark spot resistance was excellent. Among these samples, it was confirmed that a sample prepared under a condition where the heating time was 2 hours or more was further excellent because the moisture content of the adhesive layer was less than 200 ppm. In addition, the sample prepared under the condition where the heating time exceeds 24 hours shows a slightly inferior result although there is no practical problem because the barrier property of the inorganic film formed on the sealing substrate deteriorates due to deformation of the sealing substrate. It was.

本発明の条件から外れた条件(加熱乾燥温度が接着剤層のガラス転移温度Tg未満)で作製した試料No.101、117、133、139、150は、接着剤層中の残留水分量が多いため、ダークスポット耐性が若干劣る結果を示した。   Sample No. produced under conditions deviating from the conditions of the present invention (heat drying temperature is lower than the glass transition temperature Tg of the adhesive layer). Nos. 101, 117, 133, 139, and 150 showed a result of slightly inferior dark spot resistance due to a large amount of residual moisture in the adhesive layer.

本発明の条件から外れた条件(加熱乾燥温度が封止基材のガラス転移温度Tg+10℃を超えた)で作製た試料No.112から116、128から132、134から138は、封止基材の変形により封止基材上に形成した無機膜のバリア性が劣化したためダークスポット耐性が劣る結果を示した。又、ガラス転移温度Tgが−10℃、−50℃の接着層を有する封止部材を使用し作製した試料No.161、162はダークスポット耐性が劣る結果を示した。これは、乾燥後の保管で接着剤層が軟化していること及びダークスポットの測定するための保管で接着剤層が溶融状態となったことで再び水分が接着剤に浸透した結果によるものと思われる。本発明の有効性が確認された。   Sample No. 1 produced under conditions deviating from the conditions of the present invention (heat drying temperature exceeded glass transition temperature Tg + 10 ° C. of the sealing substrate). Nos. 112 to 116, 128 to 132, and 134 to 138 showed the result that the dark spot resistance was inferior because the barrier property of the inorganic film formed on the sealing substrate deteriorated due to the deformation of the sealing substrate. Sample No. 2 produced using a sealing member having an adhesive layer having a glass transition temperature Tg of −10 ° C. and −50 ° C. 161 and 162 showed the result that dark spot tolerance is inferior. This is because the adhesive layer was softened during storage after drying and the result was that moisture penetrated into the adhesive again because the adhesive layer was in a molten state during storage for measuring dark spots. Seem. The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例2
(有機EL素子連続体の作製)
実施例1同じ有機EL素子連続体を作製した。
Example 2
(Preparation of organic EL element continuum)
Example 1 The same organic EL element continuous body was produced.

(乾燥前封止部材の準備)
実施例1で作製した封止部材No.dと同じ封止部材を準備し乾燥前封止部材とした。
(Preparation of sealing member before drying)
The sealing member No. 1 produced in Example 1 was used. The same sealing member as d was prepared and used as a pre-drying sealing member.

(加熱乾燥済み封止部材の準備)
準備した乾燥前封止部材を図6に示す乾燥装置を使用し、加熱温度130℃、加熱時間24時間で、表6に示す様に、乾燥装置の内部の水分量を変えて乾燥し加熱乾燥済み封止部材No.2−aから2−dとした。接着剤層の含水率は、実施例1と同じ方法で測定した値を示す。乾燥装置の内部の水分量は、GEセンシング・ジャパン(株)製、静電容量式露点計(型式:MIS1)で測定した値を示す。
(Preparation of heat-dried sealing member)
The prepared pre-drying sealing member is dried using the drying apparatus shown in FIG. 6 at a heating temperature of 130 ° C. and a heating time of 24 hours, as shown in Table 6, with the moisture content inside the drying apparatus changed and dried by heating. Sealing member No. 2-a to 2-d. The moisture content of the adhesive layer indicates a value measured by the same method as in Example 1. The moisture content inside the drying device is a value measured by a capacitance dew point meter (model: MIS1) manufactured by GE Sensing Japan.

(加熱乾燥済み封止部材の保管)
準備した加熱乾燥済み封止部材No.2−aから2−dを保管室に入れ、表7に示す様に保管場所の水分量を変え、温度25℃で2時間、保管し封止部材No.2−1から2−12とした。水分量は、GEセンシング・ジャパン(株)製、静電容量式露点計(型式:MIS1)で測定した値を示す。
(Storage of heat-dried sealing material)
The prepared heat-dried sealing member No. 2-a to 2-d were put in a storage room, the moisture content in the storage place was changed as shown in Table 7, and the storage member was stored at a temperature of 25 ° C. for 2 hours. 2-1 to 2-12. The amount of water indicates a value measured with a capacitance type dew point meter (model: MIS1) manufactured by GE Sensing Japan.

(封止部材による封止)
準備した封止部材No.2−1から2−12を水分量150ppmの環境でロールラミネート装置を用いて有機EL素子連続体の各有機EL素子の第2電極面に押圧0.5MPa、温度100℃で貼合し、有機EL素子連続体を封止し、長さ500mの帯状の有機ELパネル連続体とした。
(Sealing with sealing member)
The prepared sealing member No. 2-1 to 2-12 were bonded to the second electrode surface of each organic EL element of the organic EL element continuous body at a pressure of 0.5 MPa and a temperature of 100 ° C. using a roll laminator in an environment with a water content of 150 ppm, and organic The EL element continuum was sealed to obtain a strip-shaped organic EL panel continuum having a length of 500 m.

(有機ELパネル連続体の打ち抜き断裁)
実施例1と同じ条件で、作製した長さ500mの帯状の有機ELパネル連続体を打ち抜き断裁し、個別の有機ELパネルを作製し、試料No.201から212とした。
(Punching of organic EL panel continuum)
Under the same conditions as in Example 1, the produced continuous organic EL panel having a length of 500 m was punched and cut to produce individual organic EL panels. 201 to 212.

評価
作製した各試料No.201から212に付き、ダークスポットの発生状況を実施例1と同じ測定方法に従って測定し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表8に示す。
Evaluation Each sample No. Table 8 shows the results of measuring the occurrence of dark spots from 201 to 212 according to the same measurement method as in Example 1 and evaluating according to the same evaluation rank as in Example 1.

封止部材の乾燥及び乾燥後の保管を水分量200ppm以下の環境で作製した封止部材を使用して作製した試料No.203から205、207、208、210から212は、ダークスポット耐性が優れていることを確認した。又、封止部材を乾燥するときの環境の水分量が300ppmで作製した。   Sample No. produced using a sealing member produced by drying and storing the sealing member in an environment having a moisture content of 200 ppm or less. It was confirmed that 203 to 205, 207, 208, and 210 to 212 have excellent dark spot resistance. Moreover, the moisture content of the environment when drying a sealing member was produced with 300 ppm.

封止部材を使用して作製した試料No.201は実用上問題はないが若干ダークスポット耐性が劣る結果を示した。保管する環境の水分量が300ppmで保管した封止部材を使用して作製した試料No.202、206、209はダークスポット耐性が若干劣る結果を示した。   Sample No. produced using the sealing member. 201 showed no problem in practical use, but showed slightly inferior dark spot resistance. Sample No. produced using a sealing member stored at a water content of 300 ppm in the storage environment. 202, 206 and 209 showed the result that dark spot tolerance was a little inferior.

実施例3
(有機EL素子連続体の作製)
実施例1同じ有機EL素子連続体を作製した。
Example 3
(Preparation of organic EL element continuum)
Example 1 The same organic EL element continuous body was produced.

(乾燥前封止部材の準備)
実施例1で作製した封止部材No.dと同じ封止部材を準備し乾燥前封止部材とした。
(Preparation of sealing member before drying)
The sealing member No. 1 produced in Example 1 was used. The same sealing member as d was prepared and used as a pre-drying sealing member.

(加熱乾燥済み封止部材の準備)
準備した乾燥前封止部材を実施例2で作製した加熱乾燥済み封止部材No.2−bと同じ条件で乾燥し、乾燥済み封止部材を作製した。
(Preparation of heat-dried sealing member)
The prepared pre-drying sealing member prepared in Example 2 was dried by heating. It dried on the same conditions as 2-b and produced the dried sealing member.

(加熱乾燥済み封止部材の保管)
準備した加熱乾燥済み封止部材を、実施例2の封止部材No.2−4と同じ条件で保管し封止部材とした。
(Storage of heat-dried sealing material)
The prepared heat-dried sealing member was sealed with the sealing member No. 1 of Example 2. It stored on the same conditions as 2-4, and was set as the sealing member.

(有機ELパネルの作製)
準備した封止部材を使用し、表9に示す様に環境の水分量を変化し、ロールラミネート装置を用いて有機EL素子連続体の各有機EL素子の第2電極面に押圧0.5MPa、温度100℃で貼合し、有機EL素子連続体を封止し、長さ500mの帯状の有機ELパネル連続体とした。この後、実施例1と同じ条件で、作製した長さ500mの帯状の有機ELパネル連続体を打ち抜き断裁し、個別の有機ELパネルを作製し、試料No.301から304とした。
(Production of organic EL panel)
Using the prepared sealing member, the amount of moisture in the environment is changed as shown in Table 9, and a pressure of 0.5 MPa is applied to the second electrode surface of each organic EL element of the organic EL element continuous body using a roll laminator. Bonding was performed at a temperature of 100 ° C., the organic EL element continuous body was sealed, and a continuous organic EL panel having a length of 500 m was obtained. Thereafter, under the same conditions as in Example 1, the produced continuous organic EL panel having a length of 500 m was punched and cut to produce individual organic EL panels. 301 to 304.

評価
作製した各試料No.301から304に付き、ダークスポットの発生状況を実施例1と同じ測定方法に従って測定し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表9に示す。
Evaluation Each sample No. Table 9 shows the results of evaluation of the occurrence of dark spots from 301 to 304 in accordance with the same measurement method as in Example 1 and evaluation according to the same evaluation rank as in Example 1.

本発明の封止部材の加熱乾燥条件で乾燥し、保管した封止部材を用いて、有機EL素子を封止する時、環境の水分量を200ppm以下で作製した試料No.302から304は、ダークスポット耐性が優れていることを確認した。又、有機EL素子を封止する時、環境の水分量を300ppmで作製した試料No.301、ダークスポット耐性が若干劣ることを確認した。   When the organic EL element was sealed using the sealing member dried and stored under the heating and drying conditions of the sealing member of the present invention, Sample No. 302 to 304 confirmed that the dark spot resistance was excellent. In addition, when sealing the organic EL element, the sample No. 1 produced with an environmental water content of 300 ppm was used. 301. It was confirmed that the dark spot resistance was slightly inferior.

1、1aから1e、9 直列型有機ELパネル
101、106、301a 基材
105aから110a、701 封止基材
102、102aから102c 第1電極(陽極)
103 有機機能層
104、104aから104c 第2電極(陰極)
105から110、7 封止部材
105bから108b、702 ガスバリア層
105cから108c、109b、110b、703 接着剤層
2 製造工程
3 基材供給工程
4 有機機能層形成工程
401c、402c、403c、10、11 乾燥装置
5 ドライ成膜工程
6 封止工程
8 断裁工程
10a 供給装置
10b1、11a1 加熱箱
10b、11a 加熱装置
10c、11b 冷却装置
10d 回収装置
12 収納棚
1, 1a to 1e, 9 In-line type organic EL panel 101, 106, 301a Base material 105a to 110a, 701 Sealing base material 102, 102a to 102c First electrode (anode)
103 Organic functional layer 104, 104a to 104c Second electrode (cathode)
105 to 110, 7 Sealing member 105b to 108b, 702 Gas barrier layer 105c to 108c, 109b, 110b, 703 Adhesive layer 2 Manufacturing process 3 Substrate supply process 4 Organic functional layer forming process 401c, 402c, 403c, 10, 11 Drying device 5 Dry film forming step 6 Sealing step 8 Cutting step 10a Supply device 10b1, 11a1 Heating box 10b, 11a Heating device 10c, 11b Cooling device 10d Collection device 12 Storage shelf

Claims (7)

基材の上に、第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に有機発光層を含む少なくとも1層の有機機能層とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を封止部材で封止し、有機エレクトロルミネッセンスパネルを製造する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、
前記封止部材は少なくとも封止基材の上にガスバリア層及びガラス転移温度Tgが40℃以上の接着剤層を積層した構成を有する帯状の形態を有し、
前記封止部材を、前記有機エレクトロルミネッセンスパネル素子を封止する前に、前記接着剤層のガラス転移温度Tg以上、且つ前記封止基材のガラス転移温度Tg+10℃以下の温度で加熱乾燥し、巻き取ったロール状であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
An organic electroluminescent device having a first electrode, a second electrode, and at least one organic functional layer including an organic light emitting layer between the first electrode and the second electrode is sealed on a substrate. In the manufacturing method of an organic electroluminescence panel for sealing with a stop member and manufacturing an organic electroluminescence panel,
The sealing member has a belt-like form having a configuration in which a gas barrier layer and an adhesive layer having a glass transition temperature Tg of 40 ° C. or higher are laminated on at least a sealing substrate;
Before sealing the organic electroluminescence panel element, the sealing member is heat-dried at a temperature not lower than the glass transition temperature Tg of the adhesive layer and not higher than the glass transition temperature Tg + 10 ° C. of the sealing substrate, A method for producing an organic electroluminescence panel, wherein the organic electroluminescence panel has a wound roll shape.
前記封止部材を加熱する時間は、2時間以上、24時間以下あることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   The method for producing an organic electroluminescence panel according to claim 1, wherein the time for heating the sealing member is 2 hours or more and 24 hours or less. 前記加熱乾燥後の前記接着剤層の含水率が200ppm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   The method for producing an organic electroluminescence panel according to claim 1 or 2, wherein the moisture content of the adhesive layer after the heat drying is 200 ppm or less. 前記加熱乾燥後の前記接着剤層の含水率が80ppm以下であることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   4. The method for producing an organic electroluminescence panel according to claim 1, wherein the moisture content of the adhesive layer after the heat drying is 80 ppm or less. 5. 前記封止部材の乾燥及び乾燥後の保管を水分量200ppm以下の環境で行うことを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   The method for producing an organic electroluminescence panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the sealing member is dried and stored after drying in an environment having a water content of 200 ppm or less. 前記封止部材による、前記有機エレクトロルミネッセンス素子の封止は、水分量200ppm以下の環境で行うことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   6. The method of manufacturing an organic electroluminescence panel according to claim 1, wherein the organic electroluminescence element is sealed by the sealing member in an environment having a moisture content of 200 ppm or less. 請求項1から6の何れか1項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。   An organic electroluminescence panel manufactured by the manufacturing method according to claim 1.
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