JP2007073332A - Organic electroluminescent panel and method of manufacturing the same - Google Patents

Organic electroluminescent panel and method of manufacturing the same Download PDF

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真昭 村山
Nobuhiko Takashima
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thin and light-weighted organic EL panel dispensing with complicated control accompanied by sealing layer setting, restrained from occurrence of dark spot, having a light emission layer with a long life, and a method of manufacturing the same. <P>SOLUTION: The electroluminescent layer has an anode layer at least including a first electrode, an organic compound layer including a light emitting layer, a cathode layer including a second electrode, and a sealing layer. The sealing layer is constituted by at least one layer of resin base material and at least one layer of barrier layer. A water absorption rate of the flexible sealing member at sealing measured in conformity with ASTM D570 is 1.0% or less. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンスパネル(以下、有機ELパネルとも言う)、有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法   The present invention relates to an organic electroluminescence panel (hereinafter also referred to as an organic EL panel) and a method for producing an organic electroluminescence panel.

近年、有機物質を使用した有機EL素子は、固体発光型の安価な大面積フルカラー表示素子や書き込み光源アレイとしての用途が有望視されており、活発な研究開発が進められている。有機EL素子は、基板上に形成された第1電極(陽極又は陰極)と、その上に積層された有機発光物質を含有する有機化合物層(単層部又は多層部)すなわち発光層と、この発光層上に積層された第2電極(陰極又は陽極)とを有する薄膜型の素子である。この様な有機EL素子に電圧を印加すると、有機化合物層に陰極から電子が注入され陽極から正孔が注入される。この電子と正孔が発光層において再結合し、エネルギー準位が伝導帯から価電子帯に戻る際にエネルギーを光として放出することにより発光が得られることが知られている。   In recent years, organic EL elements using organic substances have been promising for use as solid light-emitting inexpensive, large-area full-color display elements and writing light source arrays, and active research and development have been promoted. The organic EL element includes a first electrode (anode or cathode) formed on a substrate, an organic compound layer (single layer portion or multilayer portion) containing an organic light emitting material laminated thereon, that is, a light emitting layer, It is a thin film type element having a second electrode (cathode or anode) laminated on the light emitting layer. When a voltage is applied to such an organic EL element, electrons are injected from the cathode and holes are injected from the anode into the organic compound layer. It is known that light is obtained by releasing energy as light when the electrons and holes recombine in the light emitting layer and the energy level returns from the conduction band to the valence band.

この様に、有機EL素子は薄膜型の素子であるため、1個又は複数個の有機EL素子を基板上に形成した有機ELパネルをバックライト等の面光源として利用した場合には、面光源を備えた装置を容易に薄型にすることが出来る。又、画素としての有機EL素子を基板上に所定個数形成した有機ELパネルをディスプレイパネルとして用いて表示装置を構成した場合には視認性が高い、視野角依存性がないなど、液晶表示装置では得られない利点がある。   As described above, since the organic EL element is a thin film type element, when an organic EL panel in which one or a plurality of organic EL elements are formed on a substrate is used as a surface light source such as a backlight, a surface light source. It is possible to easily make a device equipped with In addition, when a display device is configured using an organic EL panel in which a predetermined number of organic EL elements as pixels are formed on a substrate as a display panel, the liquid crystal display device has high visibility and no viewing angle dependency. There are benefits that cannot be obtained.

通常、有機ELパネルは、基材上に、第1電極(陽極)と、正孔輸送層(正孔注入層)と、有機化合物層(発光層)と、電子注入層と、第2電極(陰極)と、接着剤層と、可撓性封止部材とをこの順番に有している。この様な構成をしている有機ELパネルは、陰極と有機化合物層(発光層)と電子注入層との間に電子輸送層を設けてもよい。又、陽極と基材との間にガスバリア膜を設けても構わない。   Usually, an organic EL panel has a first electrode (anode), a hole transport layer (hole injection layer), an organic compound layer (light emitting layer), an electron injection layer, and a second electrode (on the substrate). Cathode), adhesive layer, and flexible sealing member in this order. In the organic EL panel having such a configuration, an electron transport layer may be provided between the cathode, the organic compound layer (light emitting layer), and the electron injection layer. A gas barrier film may be provided between the anode and the substrate.

有機ELパネルの場合、通常、第1電極(陽極)側が観察側になり、第1電極(陽極)には、ITO(酸化スズと酸化インジウム混合物)、IZO(酸化亜鉛と酸化インジウム混合物)、ZnO、SnO2、In23等が知られている。中でも、ITO電極は、90%以上の高い光透過率と、10Ω/□以下の低いシート抵抗値が可能で、液晶ディスプレイや太陽電池などの透明電極としても用いられている。又、IZO電極は、形成時に基板を加熱せずに所定の低い抵抗値が得られ、ITO電極よりも膜表面が平滑であるという利点がある。 In the case of an organic EL panel, the first electrode (anode) side is usually the observation side, and the first electrode (anode) includes ITO (mixture of tin oxide and indium oxide), IZO (mixture of zinc oxide and indium oxide), ZnO. SnO 2 , In 2 O 3 and the like are known. Among them, the ITO electrode has a high light transmittance of 90% or more and a low sheet resistance value of 10Ω / □ or less, and is also used as a transparent electrode for liquid crystal displays and solar cells. Further, the IZO electrode has an advantage that a predetermined low resistance value can be obtained without heating the substrate at the time of formation, and the film surface is smoother than the ITO electrode.

上記に述べた如き有機ELパネルを表示装置に応用を行う上で、RGB三原色の安定した発光は必要不可欠な条件である。しかしながら、有機ELパネルにおいては、長時間駆動によりダークスポットと呼ばれる非発光点が発生し、このダークスポットの成長が有機ELパネルの寿命を短くしている原因の1つとなっている。ダークスポットは一般的に駆動直後は肉眼では見えない程度の大きさで発生し、これを核として連続駆動により成長していくことが知られている。又、ダークスポットは駆動を行わない保存状態でも発生し、経時的に成長することが知られている。   In applying the organic EL panel as described above to a display device, stable light emission of the three primary colors of RGB is an indispensable condition. However, in an organic EL panel, a non-light emitting point called a dark spot is generated by long-time driving, and the growth of the dark spot is one of the causes for shortening the lifetime of the organic EL panel. It is known that a dark spot is generally generated in a size that cannot be seen with the naked eye immediately after driving, and grows by continuous driving using this as a core. Further, it is known that dark spots are generated even in a storage state where driving is not performed and grows with time.

ダークスポットの原因は色々考えられるが、外的要因としては、水分や酸素の有機エレクトロルミネッセンス素子内への浸入による有機層の結晶化、第2電極の剥離等が考えられる。内的要因としては、第2電極を構成している金属の結晶成長によるショート、発光に伴う発熱による有機層の結晶化、劣化等がダークスポットの要因として考えられている。   There are various causes of dark spots, but external factors include crystallization of the organic layer due to the penetration of moisture and oxygen into the organic electroluminescent element, peeling of the second electrode, and the like. As internal factors, short spots due to crystal growth of the metal constituting the second electrode, crystallization and deterioration of the organic layer due to heat generation due to light emission, and the like are considered as factors of dark spots.

これら、ダークスポットの発生を防止するために対策として、例えば特開平5−182759、同5−36475、特開2002−43055には金属製やガラス製の封止缶により乾燥窒素雰囲気下でEL素子を被覆封止する方法が記載されている。しかし、ガラスや金属製の封止缶を用いるため、有機ELパネルを薄型・軽量化するのに限界があった。又、製造工程においては、気密ケース内部に乾燥剤を封入する工程、気密ケースに光硬化性樹脂を塗布する工程、透光性基板と気密ケースを貼り合せる工程、光硬化性樹脂を硬化させる工程があるため、生産性・製造コストの面で問題があった。   As countermeasures for preventing the occurrence of these dark spots, for example, JP-A-5-182759, JP-A-5-36475, and JP-A-2002-43055 disclose an EL element in a dry nitrogen atmosphere using a metal or glass sealing can. Is described. However, since a glass or metal sealing can is used, there is a limit to reducing the thickness and weight of the organic EL panel. In addition, in the manufacturing process, a step of encapsulating a desiccant inside the airtight case, a step of applying a photocurable resin to the airtight case, a step of bonding the light transmissive substrate and the airtight case, a step of curing the photocurable resin Therefore, there was a problem in terms of productivity and manufacturing cost.

更に、ダークスポットの発生を防止し、且つ薄型・軽量化対策として、金属箔などのバリア性の高いフィルムを用いて封止することにより、耐湿性に優れた薄型・軽量な有機ELパネルを得る方法が検討されてきた。   Furthermore, as a countermeasure for reducing the thickness and weight by preventing the generation of dark spots, sealing with a film having a high barrier property such as a metal foil provides a thin and light organic EL panel with excellent moisture resistance. Methods have been studied.

例えば、発光層と、発光層の背面に積層された絶縁層と、絶縁層の背面に積層された背面電極と、発光層の前面に積層された透明電極層とを含む発光体セルを、硫酸マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム及び酸化珪素の内の少なくとも1つの物質を含有する熱可塑性樹脂層と、熱可塑性樹脂層の表面に積層された防湿フィルム層とを有する封止フィルムで封止した有機ELパネルが知られている(例えば、特許文献1を参照。)。   For example, a phosphor cell including a light emitting layer, an insulating layer laminated on the back surface of the light emitting layer, a back electrode laminated on the back surface of the insulating layer, and a transparent electrode layer laminated on the front surface of the light emitting layer is made of sulfuric acid. Sealed with a sealing film having a thermoplastic resin layer containing at least one substance of magnesium, aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide and silicon oxide, and a moisture-proof film layer laminated on the surface of the thermoplastic resin layer. A stopped organic EL panel is known (for example, see Patent Document 1).

透光性基板上に、少なくとも透明陽極層、発光媒体層、陰極層を順次積層し、この上をアルミニウム箔及び硫酸マグネシウム、リン酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化ストロンチウムから選ばれる乾燥剤が分散された樹脂膜を有する封止フィルムで密封した有機ELパネルが知られている(例えば、特許文献2を参照。)。   At least a transparent anode layer, a light emitting medium layer, and a cathode layer are sequentially laminated on a light-transmitting substrate, and an aluminum foil and a desiccant selected from magnesium sulfate, calcium phosphate, magnesium carbonate, calcium oxide, barium oxide, and strontium oxide are formed thereon. An organic EL panel sealed with a sealing film having a resin film in which is dispersed is known (see, for example, Patent Document 2).

しかしながら特許文献1、特許文献2に記載の技術は次の欠点を有している。1)封止部材が樹脂フィルムであるため外気水分が透過してしまう。2)乾燥材により外気の水分を必要以上に吸収してしまい有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子とも言う)内部への水分浸透の懸念が増してしまう。3)有機EL素子内部への水分到達を遅くすることは可能であるが根本的な対策になっていない。   However, the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2 have the following drawbacks. 1) Since the sealing member is a resin film, moisture from the outside air permeates. 2) The moisture in the outside air is absorbed more than necessary by the desiccant, and there is an increased concern about moisture permeation into the organic electroluminescence element (hereinafter also referred to as organic EL element). 3) Although it is possible to slow down the water | moisture content arrival to the inside of an organic EL element, it is not a fundamental measure.

支持基板上に、透明電極、少なくとも発光層を含む有機化合物層、及び背面電極を積層した発光積層体を水蒸気透過度が0.01g/m2・day以下、且つ酸素透過度が0.01ml/m2・day・atm以下である可撓性のある封止カバーで、支持基板と発光積層体の周辺部とを接着剤により封止し、封止カバーと発光積層体の間に水分や酸素を吸着する吸着剤を分散させた不活性ガスを封入した発光素子(有機ELパネル)が知られている(例えば、特許文献3を参照。)。
しかしながら、特許文献3に記載の技術では封止カバーと発光積層体の間の空間の堆積を一定に維持するにはかなり煩雑な管理を必要とし、空間の堆積の変化に伴い性能が安定しないことが懸念される。
A light emitting laminate obtained by laminating a transparent electrode, an organic compound layer including at least a light emitting layer, and a back electrode on a support substrate has a water vapor permeability of 0.01 g / m 2 · day or less and an oxygen permeability of 0.01 ml / With a flexible sealing cover of m 2 · day · atm or less, the support substrate and the periphery of the light emitting laminate are sealed with an adhesive, and moisture or oxygen is interposed between the sealing cover and the light emitting laminate. A light-emitting element (organic EL panel) in which an inert gas in which an adsorbent that adsorbs adsorbed is enclosed is known (see, for example, Patent Document 3).
However, the technique described in Patent Document 3 requires fairly complicated management in order to maintain constant deposition of the space between the sealing cover and the light emitting laminate, and the performance is not stable with changes in the deposition of the space. Is concerned.

この様な状況から、封止層を設けることに伴う煩雑な管理を必要とせず、ダークスポットの発生を抑え、発光層の長寿命化が取れた、薄型・軽量な有機ELパネル及び有機ELパネルの製造方法の開発が望まれている。
特開平7−153570号公報 特開2004−335208号公報 特開2003−282243号公報
Under these circumstances, thin and lightweight organic EL panels and organic EL panels that do not require complicated management associated with providing a sealing layer, suppress the occurrence of dark spots, and extend the life of the light emitting layer. Development of a manufacturing method is desired.
JP-A-7-153570 JP 2004-335208 A JP 2003-282243 A

本発明は、上記状況に鑑みなされたものであり、その目的は封止層を設けることに伴う煩雑な管理を必要とせず、ダークスポットの発生を抑え、発光層の長寿命化が取れた、薄型・軽量な有機ELパネル及び有機ELパネルの製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above situation, and its purpose is not to require complicated management associated with providing a sealing layer, suppress the occurrence of dark spots, and can extend the life of the light emitting layer. To provide a thin and lightweight organic EL panel and a method for manufacturing the organic EL panel.

本発明の上記目的は、下記の構成により達成された。   The above object of the present invention has been achieved by the following constitution.

(1)基板上に、少なくとも第1電極を含む陽極層と、発光層を含む有機化合物層と、第2電極を含む陰極層と、封止層とを有する有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、前記封止層は少なくとも一層の樹脂基材と少なくとも1層のバリア層とを有する可撓性封止部材で構成され、前記可撓性封止部材の封止時のASTM D570に準じて測定した吸水率が1.0%以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。   (1) In an organic electroluminescence panel having an anode layer including at least a first electrode, an organic compound layer including a light emitting layer, a cathode layer including a second electrode, and a sealing layer on a substrate, the sealing The layer is composed of a flexible sealing member having at least one resin base material and at least one barrier layer, and the water absorption measured according to ASTM D570 at the time of sealing of the flexible sealing member is An organic electroluminescence panel characterized by being 1.0% or less.

(2)前記可撓性封止部材の大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率が2.0%以下であることを特徴とする前記(1)に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。   (2) The organic electroluminescence panel according to (1) above, wherein an equilibrium water absorption rate of the flexible sealing member in the atmosphere (20 ° C., 65% RH) is 2.0% or less.

(3)前記基板が、少なくとも一層の樹脂基材と少なくとも1層のバリア層とを有する可撓性多層樹脂部材であり、可撓性封止部材の封止時の該可撓性多層樹脂部材の吸水率はASTM D570に準じて測定した値が1.0%以下であることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。   (3) The substrate is a flexible multilayer resin member having at least one resin base material and at least one barrier layer, and the flexible multilayer resin member at the time of sealing the flexible sealing member The organic electroluminescence panel according to (1) or (2) above, wherein the water absorption is 1.0% or less as measured in accordance with ASTM D570.

(4)前記可撓性多層樹脂部材の大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率が2.0%以下であることを特徴とする前記(3)に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。   (4) The organic electroluminescence panel according to (3), wherein the flexible multilayer resin member has an equilibrium water absorption rate of 2.0% or less in the atmosphere (20 ° C., 65% RH).

(5)前記バリア層は、少なくとも1層の金属又は非金属の酸化物層とを有していることを特徴とする前記(1)〜(4)の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。   (5) The organic electroluminescence according to any one of (1) to (4), wherein the barrier layer includes at least one metal or non-metal oxide layer. panel.

(6)基板上に、少なくとも第1電極を含む陽極層と、発光層を含む有機化合物層を有する有機エレクトロルミネッセンス層と、第2電極を含む陰極層と封止層とを順次形成する工程を有し、前記封止層の形成は可撓性封止部材を発光領域及び周辺にシール剤を介して貼合配置することで有機エレクトロルミネッセンスパネルを製造する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、前記可撓性封止部材はバリア層を有する多層構成の樹脂基材であり、前記可撓性封止部材の封止時のASTM D570に準じて測定した吸水率が1.0%以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   (6) A step of sequentially forming an anode layer including at least a first electrode, an organic electroluminescence layer including an organic compound layer including a light emitting layer, a cathode layer including a second electrode, and a sealing layer on a substrate. And forming the sealing layer in the organic electroluminescence panel manufacturing method of manufacturing an organic electroluminescence panel by arranging a flexible sealing member on a light emitting region and a periphery via a sealing agent, The flexible sealing member is a multi-layered resin base material having a barrier layer, and the water absorption measured in accordance with ASTM D570 at the time of sealing the flexible sealing member is 1.0% or less. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel characterized by these.

(7)前記可撓性封止部材の大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率が2.0%以下であることを特徴とする前記(6)に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   (7) The organic electroluminescence panel according to (6), wherein the flexible sealing member has an equilibrium water absorption rate of 2.0% or less in the atmosphere (20 ° C., 65% RH). Production method.

(8)前記基板が、少なくとも一層の樹脂基材と少なくとも1層のバリア層とを有する可撓性多層樹脂部材であり、可撓性封止部材の封止時の該可撓性多層樹脂部材の吸水率はASTM D570に準じて測定した値が1.0%以下であることを特徴とする前記(6)又は(7)に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   (8) The substrate is a flexible multilayer resin member having at least one resin base material and at least one barrier layer, and the flexible multilayer resin member at the time of sealing the flexible sealing member The water absorption of the organic electroluminescence panel as described in (6) or (7) above is 1.0% or less as measured in accordance with ASTM D570.

(9)前記可撓性多層樹脂部材の大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率が2.0%以下であることを特徴とする前記(8)に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   (9) The organic multilayer panel according to (8), wherein the flexible multilayer resin member has an equilibrium water absorption rate of 2.0% or less in the atmosphere (20 ° C., 65% RH). Production method.

(10)前記バリア層は、少なくとも1層の金属又は非金属の酸化物層とを有していることを特徴とする前記(6)〜(9)の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   (10) The organic electroluminescence according to any one of (6) to (9), wherein the barrier layer includes at least one metal or non-metal oxide layer. Panel manufacturing method.

封止層を設けることに伴う煩雑な管理を必要とせず、ダークスポットの発生を抑え、発光層の長寿命化が取れた、薄型・軽量な有機ELパネル及び有機ELパネルの製造方法を提供するが出来、有機ELパネルの高品質化、高生産効率化が可能となった。   Provided are a thin and lightweight organic EL panel and a method for manufacturing the organic EL panel that do not require complicated management associated with providing a sealing layer, suppress the generation of dark spots, and extend the life of the light emitting layer. As a result, it was possible to improve the quality and production efficiency of organic EL panels.

本発明の実施の形態を図1〜図7を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7, but the present invention is not limited thereto.

図1は有機ELパネルの層構成の一例を示す概略断面図である。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a layer structure of an organic EL panel.

図中、1は有機ELパネルを示す。有機ELパネル1は、基材101上に、第1電極を含む陽極層102と、正孔輸送層(正孔注入層)103と、有機化合物層(発光層)104と、電子注入層105と、第2電極を含む陰極層106と、シール剤層107と、封止層108とをこの順番に有している。本図に示される有機ELパネルにおいて、第1電極を含む陽極層102と正孔輸送層103の間に正孔注入層(不図示)を設けてもよい。又、第2電極を含む陰極層106と有機化合物層(発光層)104と電子注入層105との間に電子輸送層(不図示)を設けてもよい。有機EL素子1では、第1電極を含む陽極層102と基材101との間にガスバリア膜(不図示)を設けても構わない。   In the figure, 1 indicates an organic EL panel. The organic EL panel 1 includes an anode layer 102 including a first electrode, a hole transport layer (hole injection layer) 103, an organic compound layer (light emitting layer) 104, an electron injection layer 105, and a substrate 101. The cathode layer 106 including the second electrode, the sealing agent layer 107, and the sealing layer 108 are provided in this order. In the organic EL panel shown in this figure, a hole injection layer (not shown) may be provided between the anode layer 102 including the first electrode and the hole transport layer 103. An electron transport layer (not shown) may be provided between the cathode layer 106 including the second electrode, the organic compound layer (light emitting layer) 104, and the electron injection layer 105. In the organic EL element 1, a gas barrier film (not shown) may be provided between the anode layer 102 including the first electrode and the substrate 101.

本図に示す有機ELパネルの層構成は一例を示したものであるが、他の代表的な有機ELパネルの層構成としては次の構成が挙げられる。   The layer configuration of the organic EL panel shown in this figure shows an example, but the following configurations can be cited as the layer configuration of another typical organic EL panel.

(1)基板/陽極(第1電極)/発光層/電子輸送層/陰極(第2電極)/封止層
(2)基板/陽極(第1電極)/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極(第2電極)/封止層
(3)基板/陽極(第1電極)/正孔輸送層(正孔注入層)/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極(第2電極)/封止層
(4)基板/陽極(第1電極)/陽極バッファー層(正孔注入層)/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極(第2電極)/封止層
本発明では、基板上に少なくとも第1電極層と、発光層を含む有機化合物層と、第2電極層までが順次積層された状態を有機EL素子と言い、封止層で被覆された状態を有機ELパネルと言う。
(1) Substrate / anode (first electrode) / light emitting layer / electron transport layer / cathode (second electrode) / sealing layer (2) substrate / anode (first electrode) / hole transport layer / light emitting layer / positive Hole blocking layer / electron transport layer / cathode (second electrode) / sealing layer (3) substrate / anode (first electrode) / hole transport layer (hole injection layer) / light emitting layer / hole blocking layer / electron Transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode (second electrode) / sealing layer (4) substrate / anode (first electrode) / anode buffer layer (hole injection layer) / hole transport layer / light emission Layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode (second electrode) / sealing layer In the present invention, an organic compound comprising at least a first electrode layer and a light emitting layer on a substrate The state in which the layers and the second electrode layer are sequentially laminated is referred to as an organic EL element, and the state covered with the sealing layer is referred to as an organic EL panel.

有機ELパネルの場合、通常、陽極(第1電極)102側が観察側になり、陽極(第1電極)102には、ITO(酸化スズと酸化インジウム混合物)、IZO(酸化亜鉛と酸化インジウム混合物)、ZnO、SnO2、In23等が知られている。中でも、ITO電極は、90%以上の高い光透過率と、10Ω/□以下の低いシート抵抗値が可能で、液晶ディスプレイや太陽電池などの透明電極としても用いられている。又、IZO電極は、形成時に基板を加熱せずに所定の低い抵抗値が得られ、ITO電極よりも膜表面が平滑であるという利点がある。 In the case of an organic EL panel, the anode (first electrode) 102 side is usually the observation side, and the anode (first electrode) 102 has ITO (mixture of tin oxide and indium oxide) and IZO (mixture of zinc oxide and indium oxide). ZnO, SnO 2 , In 2 O 3 and the like are known. Among them, the ITO electrode has a high light transmittance of 90% or more and a low sheet resistance value of 10Ω / □ or less, and is also used as a transparent electrode for liquid crystal displays and solar cells. Further, the IZO electrode has an advantage that a predetermined low resistance value can be obtained without heating the substrate at the time of formation, and the film surface is smoother than the ITO electrode.

本発明に係わる基板としては、枚葉シート状基板、帯状可撓性基板が挙げられる。枚葉シート状基板としては、透明ガラス板、シート状透明樹脂フィルムが挙げられる。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロハン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート(TAC)、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリル或いはポリアリレート類、アートン(商品名JSR社製)或いはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等が挙げられる。帯状可撓性基板としては、透明樹脂フィルム、少なくとも一層の樹脂基材と少なくとも1層のバリア層とを有する可撓性多層樹脂部材が挙げられる。透明樹脂フィルムとしては、枚葉シート状基板と同じ樹脂フィルムが使用可能である。   Examples of the substrate according to the present invention include a single-wafer sheet-like substrate and a strip-like flexible substrate. Examples of the single-wafer sheet-like substrate include a transparent glass plate and a sheet-like transparent resin film. Examples of the resin film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate (CAP), Cellulose esters such as cellulose acetate phthalate (TAC) and cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether ketone, polyimide , Polyethersulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, poly Cycloolefin resins such as ether imide, polyether ketone imide, polyamide, fluororesin, nylon, polymethyl methacrylate, acrylic or polyarylate, Arton (trade name, manufactured by JSR) or Apel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals) Can be mentioned. Examples of the strip-shaped flexible substrate include a transparent resin film, and a flexible multilayer resin member having at least one resin base material and at least one barrier layer. As the transparent resin film, the same resin film as the single-wafer sheet-like substrate can be used.

基板として透明樹脂フィルムを使用する場合、樹脂フィルムの表面にはガスバリア膜が必要に応じて形成されることが好ましい。ガスバリア膜としては無機物、有機物の被膜又はその両者のハイブリッド被膜が挙げられる。ガスバリア膜の特性としては、水蒸気透過度が0.01g/m2・day・atm以下であることが好ましい。更には、酸素透過度10-3ml/m2/day以下、水蒸気透過度10-5g/m2/day以下の高バリア性フィルムであることが好ましい。 When a transparent resin film is used as the substrate, a gas barrier film is preferably formed on the surface of the resin film as necessary. Examples of the gas barrier film include an inorganic film, an organic film, or a hybrid film of both. As a characteristic of the gas barrier film, the water vapor permeability is preferably 0.01 g / m 2 · day · atm or less. Furthermore, a high barrier film having an oxygen permeability of 10 −3 ml / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 10 −5 g / m 2 / day or less is preferable.

ガスバリア膜を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等を用いることが出来る。更に該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。バリア膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることが出来るが、特開2004−68143号に記載されているような大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   As a material for forming the gas barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Further, in order to improve the brittleness of the film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times. The method for forming the barrier film is not particularly limited, and for example, vacuum deposition, sputtering, reactive sputtering, molecular beam epitaxy, cluster ion beam, ion plating, plasma polymerization, atmospheric pressure plasma polymerization A plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method as described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.

基板として少なくとも一層の樹脂基材と少なくとも1層のバリア層とを有する可撓性多層樹脂部材を使用する場合、可撓性多層樹脂部材の層構成は後述する可撓性封止部材と同じであり、大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率は、可撓性多層樹脂部材の吸水性、水分浸透性等を考慮し2.0%以下であることが好ましい。平衡吸水率は、大気中(20℃、65%RH)に100時間放置した後に、ASTM D570に準じて測定した吸水率の値を示す。樹脂基材108aの厚さは、製造時の取扱い性、引っ張り強さやバリア層の耐ストレスクラッキング性等を考慮し、10μm〜500μmが好ましい。可撓性多層樹脂部材の封止時のASTM D570に準じて測定した吸水率は、持ち込み水分により有機層の結晶化、ダークスポットの発生、有機EL素子の長寿命化等を考慮し、1.0%以下が好ましい。バリア層としては、可撓性封止部材と同じ物の使用が可能である。   When a flexible multilayer resin member having at least one resin base material and at least one barrier layer is used as the substrate, the layer configuration of the flexible multilayer resin member is the same as the flexible sealing member described later. In addition, the equilibrium water absorption rate in the atmosphere (20 ° C., 65% RH) is preferably 2.0% or less in consideration of the water absorption, moisture permeability, etc. of the flexible multilayer resin member. The equilibrium water absorption is a value of water absorption measured according to ASTM D570 after being left in the atmosphere (20 ° C., 65% RH) for 100 hours. The thickness of the resin base material 108a is preferably 10 μm to 500 μm in consideration of handling at the time of manufacture, tensile strength, stress cracking resistance of the barrier layer, and the like. The water absorption measured in accordance with ASTM D570 at the time of sealing the flexible multilayer resin member takes into account the crystallization of the organic layer, the generation of dark spots, the extension of the lifetime of the organic EL element, etc. due to the brought-in moisture. 0% or less is preferable. As the barrier layer, the same material as the flexible sealing member can be used.

図2は図1のTで示される部分の拡大概略断面図である。   FIG. 2 is an enlarged schematic sectional view of a portion indicated by T in FIG.

封止層108は樹脂基材108aと、バリア層108bとを有する可撓性封止部材108′で構成されている。尚、バリア層108bの上(本図ではバリア層108bとシール剤層107の間となる)に保護層(不図示)を設けてもよい。樹脂基材108aは単体でもよいし、積層体であってもよく必要に応じて適宜選択することが可能である。バリア層108bは単体でもよいし、積層体であってもよく必要に応じて適宜選択することが可能である。封止層108は可撓性封止部材108′をシール剤を介して第1電極を含む陽極層上へ貼合することで形成されている。   The sealing layer 108 is composed of a flexible sealing member 108 'having a resin base material 108a and a barrier layer 108b. Note that a protective layer (not shown) may be provided on the barrier layer 108b (in the drawing, between the barrier layer 108b and the sealant layer 107). The resin base material 108a may be a single body or a laminate, and can be appropriately selected as necessary. The barrier layer 108b may be a single body or a laminate, and can be appropriately selected as necessary. The sealing layer 108 is formed by bonding a flexible sealing member 108 ′ onto the anode layer including the first electrode through a sealing agent.

可撓性封止部材の封止時のASTM D570に準じて測定した吸水率は1.0%以下である。吸水率が1.0%を越える場合は、可撓性封止部材の持ち込み水分により有機層の結晶化、第2電極の剥離等によりダークスポットの発生、及び有機EL素子の長寿命化が取れなくなるため好ましくない。   The water absorption measured according to ASTM D570 when sealing the flexible sealing member is 1.0% or less. When the water absorption rate exceeds 1.0%, the organic layer is crystallized by the moisture brought in by the flexible sealing member, the generation of dark spots can be achieved by peeling the second electrode, and the life of the organic EL element can be extended. Since it disappears, it is not preferable.

又、可撓性封止部材の大気中(20℃、65%RH)23℃、50%RHにおける平衡吸水率は、可撓性封止部材の吸水性、水分浸透性等を考慮し2.0%以下であることが好ましい。平衡吸水率は、大気中(20℃、65%RH)に100時間放置した後に、ASTM D570に準じて測定した吸水率の値を示す。   In addition, the equilibrium water absorption rate of the flexible sealing member in the atmosphere (20 ° C., 65% RH) at 23 ° C. and 50% RH takes into consideration the water absorption and moisture permeability of the flexible sealing member. It is preferably 0% or less. The equilibrium water absorption is a value of water absorption measured according to ASTM D570 after being left in the atmosphere (20 ° C., 65% RH) for 100 hours.

樹脂基材108aの厚さは、製造時の取扱い性、引っ張り強さやバリア層の耐ストレスクラッキング性等を考慮し、10μm〜500μmが好ましい。バリア層108bの厚さは、バリア性能、バリア層の耐ストレスクラッキング性等を考慮し、5nm〜200μmが好ましい。   The thickness of the resin base material 108a is preferably 10 μm to 500 μm in consideration of handling at the time of manufacture, tensile strength, stress cracking resistance of the barrier layer, and the like. The thickness of the barrier layer 108b is preferably 5 nm to 200 μm in consideration of the barrier performance, the stress cracking resistance of the barrier layer, and the like.

本発明に係わる可撓性封止部材の他の物性値(水蒸気透過度、酸素透過度、剛性)は次の値を有していることが好ましい。   The other physical properties (water vapor permeability, oxygen permeability, rigidity) of the flexible sealing member according to the present invention preferably have the following values.

水蒸気透過度は、有機ELパネルとして製品化する際に必要とするガスバリア性等を考慮し、0.01g/m2・day以下であることが好ましい。水蒸気透過度はJIS K7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した値を示す。 The water vapor transmission rate is preferably 0.01 g / m 2 · day or less in consideration of gas barrier properties required for producing an organic EL panel as a product. The water vapor transmission rate is a value measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K7129B method (1992).

酸素透過度は、0.01ml/m2・day・atm以下であることが好ましい。酸素透過度はJIS K7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した値である。 The oxygen permeability is preferably 0.01 ml / m 2 · day · atm or less. The oxygen permeability is a value measured mainly by the MOCON method by a method based on JIS K7126B method (1987).

剛性(ヤング率)は、製造時の取扱い性、引っ張り強さやバリア層の耐ストレスクラッキング性等を考慮し、1×10-3GPa〜80GPaであることが好ましい。 Rigidity (Young's modulus) is preferably 1 × 10 −3 GPa to 80 GPa in consideration of handling at the time of manufacture, tensile strength, stress cracking resistance of the barrier layer, and the like.

本発明に使用する可撓性封止部材を構成している樹脂基材108aとしては特に限定はなく、例えばエチレンテトラフルオロエチル共重合体(ETFE)、高密度ポリエチレン(HDPE)、延伸ポリプロピレン(0PP)、ポリスチレン(PS)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、延伸ナイロン(ONy)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリイミド、ポリエーテルスチレン(PES)など一般の包装用フィルムに使用されている熱可塑性樹脂フィルム材料を使用することが出来る。又、これら熱可塑性樹脂フィルムは、必要に応じて異種フィルムと共押出しで作った多層フィルム、延伸角度を変えて貼り合せて作った多層フィルム等も当然使用出来る。更に必要とする物性を得るために使用するフィルムの密度、分子量分布を組合せて作ることも当然可能である。   The resin base material 108a constituting the flexible sealing member used in the present invention is not particularly limited. For example, ethylene tetrafluoroethyl copolymer (ETFE), high density polyethylene (HDPE), stretched polypropylene (0PP) ), Polystyrene (PS), polymethyl methacrylate (PMMA), stretched nylon (ONy), polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), polyimide, polyether styrene (PES), etc. A thermoplastic resin film material can be used. As these thermoplastic resin films, a multilayer film produced by coextrusion with a different film, a multilayer film produced by bonding with different stretching angles, etc. can be used as required. Further, it is naturally possible to combine the density and molecular weight distribution of the film used to obtain the required physical properties.

バリア層としては、無機蒸着膜、金属箔が挙げられる。無機蒸着膜としては薄膜ハンドブックp879〜p901(日本学術振興会)、真空技術ハンドブックp502〜p509、p612、p810(日刊工業新聞社)、真空ハンドブック増訂版p132〜p134(ULVAC 日本真空技術K.K)に記載されている如き無機膜が挙げられる。例えば、In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al、Ti、Ni等の金属、MgO、SiO、SiO2、Al23、GeO、NiO、CaO、BaO、Fe23、Y23、TiO2、Cr23、Sixy(x=1、y=1.5〜2.0)、Ta23、ZrN、SiC、TiC、PSG、Si34、単結晶Si、アモルファスSi、W、等が用いられる。 Examples of the barrier layer include an inorganic vapor deposition film and a metal foil. As inorganic vapor deposition films, thin film handbooks p879-p901 (Japan Society for the Promotion of Science), vacuum technology handbooks p502-p509, p612, p810 (Nikkan Kogyo Shimbun), vacuum handbook revised editions p132-p134 (ULVAC Japan Vacuum Technology KK) Inorganic films as described in (1). For example, In, Sn, Pb, Au , Cu, Ag, Al, Ti, a metal such as Ni, MgO, SiO, SiO 2, Al 2 O 3, GeO, NiO, CaO, BaO, Fe 2 O 3, Y 2 O 3 , TiO 2 , Cr 2 O 3 , Si x O y (x = 1, y = 1.5 to 2.0), Ta 2 O 3 , ZrN, SiC, TiC, PSG, Si 3 N 4 , single Crystalline Si, amorphous Si, W, etc. are used.

又、金属箔の材料としては、例えばアルミニウム、銅、ニッケルなどの金属材料や、ステンレス、アルミニウム合金などの合金材料を用いることが出来るが、加工性やコストの面でアルミニウムが好ましい。膜厚は、1〜100μm程度、好ましくは10μm〜50μm程度が望ましい。   Moreover, as a material of the metal foil, for example, a metal material such as aluminum, copper, or nickel, or an alloy material such as stainless steel or an aluminum alloy can be used, but aluminum is preferable in terms of workability and cost. The film thickness is about 1 to 100 μm, preferably about 10 to 50 μm.

更に、バリア層の上に保護層を設けてもよい。保護層の膜厚は、バリア層の耐ストレスクラッキング性、耐電気的絶縁性、シール剤層として使用する場合は接着性(接着力、段差追従性)等を考慮し、100nm〜200μmが好ましい。保護層としてはJIS K 7210規定のメルトフローレートが5〜20g/10minである熱可塑性樹脂フィルムが好ましく、更に好ましくは、6〜15g/10min以下の熱可塑性樹脂フィルムを用いることが好ましい。これは、メルトフローレートが5(g/10min)以下の樹脂を用いると、各電極の引き出し電極の段差により生じる隙間部を完全に埋めることが出来ず、20(g/10min)以上の樹脂を用いると引っ張り強さや耐ストレスクラッキング性、加工性などが低下するためである。熱可塑性樹脂フィルムは、上記数値を満たすものであれば特に限定されるものではないが、例えば機能性包装材料の新展開株式会社東レリサーチセンター記載の高分子フィルムである低密度ポリエチレン(LDPE)、HDPE、線状低密度ポリエチレン(LLDPE)、中密度ポリエチレン、未延伸ポリプロピレン(CPP)、OPP、ONy、PET、セロハン、ポリビニルアルコール(PVA)、延伸ビニロン(OV)、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVOH)、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、塩化ビニリデン(PVDC)等の使用が可能である。これらの熱可塑性樹脂フィルムの中で特にLDPE、LLDPE及びメタロセン触媒を使用して製造したLDPE、LLDPE、又、これらフィルムとHDPEフィルムの混合使用したフィルムを使用することが好ましい。   Further, a protective layer may be provided on the barrier layer. The thickness of the protective layer is preferably 100 nm to 200 μm in consideration of stress cracking resistance, electrical insulation resistance of the barrier layer, adhesiveness (adhesive force, step following ability), etc. when used as a sealing agent layer. As the protective layer, a thermoplastic resin film having a JIS K 7210 standard melt flow rate of 5 to 20 g / 10 min is preferable, and a thermoplastic resin film of 6 to 15 g / 10 min or less is more preferably used. This is because if a resin having a melt flow rate of 5 (g / 10 min) or less is used, the gap caused by the step of the lead electrode of each electrode cannot be completely filled, and a resin of 20 (g / 10 min) or more cannot be filled. This is because if used, the tensile strength, stress cracking resistance, workability and the like are lowered. The thermoplastic resin film is not particularly limited as long as it satisfies the above numerical values. For example, low-density polyethylene (LDPE), which is a polymer film described in Toray Research Center, Inc., a new development of functional packaging materials, HDPE, linear low density polyethylene (LLDPE), medium density polyethylene, unstretched polypropylene (CPP), OPP, ONy, PET, cellophane, polyvinyl alcohol (PVA), stretched vinylon (OV), ethylene-vinyl acetate copolymer ( EVOH), ethylene-propylene copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer, ethylene-methacrylic acid copolymer, vinylidene chloride (PVDC), and the like can be used. Among these thermoplastic resin films, it is particularly preferable to use LDPE, LLDPE produced by using LDPE, LLDPE and a metallocene catalyst, or a film using a mixture of these films and HDPE films.

封止層を形成するのに使用する可撓性封止部材は、製造時の取扱いを容易にするために、樹脂基材の上にバリア層(必要に応じて保護層)を形成し積層フィルム状にした状態で使用することが好ましい。積層フィルムの製造方法としては、無機物を蒸着した熱可塑性樹脂フィルム及びアルミニウム箔をラミネートした熱可塑性樹脂フィルムの無機物層の上に一般的に知られている各種の方法、例えばウェットラミネート法、ドライラミネート法、ホットメルトラミネート法、押出しラミネート法、熱ラミネート法を利用して作ることが可能である。   The flexible sealing member used to form the sealing layer is a laminated film in which a barrier layer (a protective layer as required) is formed on the resin base material in order to facilitate handling during production. It is preferable to use it in the state. As a method for producing a laminated film, various methods generally known on the inorganic layer of a thermoplastic resin film on which an inorganic material is deposited and a thermoplastic resin film on which an aluminum foil is laminated, such as a wet laminating method and a dry laminating method. It can be made by using a method, a hot melt laminating method, an extrusion laminating method, or a thermal laminating method.

封止層の形成に可撓性封止部材を使用する場合、シール剤と接触する側がバリア層(保護層がある場合は保護層)であることが好ましい。   When using a flexible sealing member for formation of a sealing layer, it is preferable that the side which contacts a sealing agent is a barrier layer (a protective layer when there is a protective layer).

図3は基材に帯状可撓性支持体を使用した場合の有機ELパネルを作製する工程の一例を示す模式図である。尚、本図では予め基材にガスバリア膜と第1電極とを含む陽極層とが形成された帯状フィルムを使用した場合を示している。又、可撓性封止部材としては図2に示される構成の帯状の可撓性封止部材を使用している。   FIG. 3 is a schematic view showing an example of a process for producing an organic EL panel when a belt-like flexible support is used as a base material. This figure shows a case in which a strip-like film in which a gas barrier film and an anode layer including a first electrode are formed on a base material in advance is used. Further, as the flexible sealing member, a strip-shaped flexible sealing member having the configuration shown in FIG. 2 is used.

図中、2は有機ELパネルを作製する製造装置を示す。製造装置2は、有機化合物層形成工程3と、陰極層形成工程4と、可撓性封止部材貼合工程5と、打ち抜き断裁工程6と、回収工程7とを有している。   In the figure, reference numeral 2 denotes a manufacturing apparatus for producing an organic EL panel. The manufacturing apparatus 2 includes an organic compound layer forming step 3, a cathode layer forming step 4, a flexible sealing member bonding step 5, a punching and cutting step 6, and a recovery step 7.

有機化合物層形成工程3は、帯状可撓性支持体の供給部301と、帯状可撓性支持体の洗浄表面改質処理部302と、第1塗布・乾燥部303と、第1加熱処理部304と、第2除電処理部305と、第2塗布・乾燥部306とを有している。   The organic compound layer forming step 3 includes a strip-shaped flexible support supply section 301, a strip-shaped flexible support cleaning surface modification processing section 302, a first coating / drying section 303, and a first heat processing section. 304, a second charge removal processing unit 305, and a second application / drying unit 306.

供給部301では、ガスバリア膜と第1電極とを含む陽極層とがこの順番で既に形成された帯状可撓性支持体301bが巻き芯に巻き取られロール状可撓性支持体301aとして供給される様になっている。   In the supply unit 301, a strip-shaped flexible support 301b in which a gas barrier film and an anode layer including a first electrode are already formed in this order is wound around a winding core and supplied as a roll-shaped flexible support 301a. It has become like that.

洗浄表面改質処理部302は、有機化合物層形成用塗布液を塗布する前に供給部301から送られてきた帯状可撓性支持体301bの陽極層(不図示)表面を洗浄改質する洗浄表面改質処理手段302aと、第1除電処理手段302bとを有している。   The cleaning surface modification processing unit 302 performs cleaning to modify the surface of the anode layer (not shown) of the strip-shaped flexible support 301b sent from the supply unit 301 before applying the organic compound layer forming coating solution. It has surface modification processing means 302a and first charge removal processing means 302b.

第1塗布・乾燥部303は、帯状可撓性支持体301bを保持するバックアップロール303aと、バックアップロール303aに保持された帯状可撓性支持体301bに第1有機化合物層形成用塗布液を外部取り出し電極となる一部を除いて塗布する第1湿式塗布機303bと、帯状可撓性支持体301b上の陽極層(不図示)上に形成された第1有機化合物層301cの溶媒を除去する第1乾燥装置303cとを有している。304は第1加熱処理部を示す。   The first coating / drying unit 303 includes a backup roll 303a that holds the strip-shaped flexible support 301b, and a coating liquid for forming the first organic compound layer on the strip-shaped flexible support 301b that is held by the backup roll 303a. The solvent of the first organic compound layer 301c formed on the anode layer (not shown) on the first wet coater 303b and the strip-like flexible support 301b to be coated except for a part serving as the extraction electrode is removed. And a first drying device 303c. Reference numeral 304 denotes a first heat treatment unit.

305は、形成された第1有機化合物層301cの除電を行う第2除電処理手段を示す。尚、本図では第1有機化合物層形成用塗布液とは正孔輸送層形成用塗布液を指し、第1有機化合物層301cとは正孔輸送層を指す。   Reference numeral 305 denotes a second charge removal processing means for removing charge from the formed first organic compound layer 301c. In this figure, the first organic compound layer forming coating liquid refers to a hole transport layer forming coating liquid, and the first organic compound layer 301c refers to a hole transport layer.

第2塗布・乾燥部306は、第1アキュームレータ部306aと、パターン塗布部306bと、乾燥部306cと、加熱処理部306dと、除電処理部306eと、第2アキュームレータ部306fと、回収部306gとを有している。   The second application / drying unit 306 includes a first accumulator unit 306a, a pattern application unit 306b, a drying unit 306c, a heat processing unit 306d, a charge removal processing unit 306e, a second accumulator unit 306f, and a recovery unit 306g. have.

第1アキュームレータ部306aは、ロール306a1aが上下方向(図中の矢印方向)に移動することで、第1塗布・乾燥部303と、第2塗布・乾燥部306との搬送速度の差を調整するために配設されており、速度差に応じてロール306a1aの増設が可能となっている。   The first accumulator unit 306a adjusts the difference in transport speed between the first coating / drying unit 303 and the second coating / drying unit 306 by moving the roll 306a1a in the vertical direction (the arrow direction in the drawing). The roll 306a1a can be added according to the speed difference.

パターン塗布部306bは正孔輸送層301cが形成された帯状可撓性支持体の保持台306b2と、正孔輸送層301c上に第1電極のパターンに合わせ発光層形成用塗布液を大気圧条件下でパターン塗布する湿式パターン形成塗布装置306b1とを有している。発光層乾燥部306cは発光層中の溶媒を大気圧条件下で除去する機能を有しており、第1乾燥装置303cと同じ構成を有している。保持台306b2としては帯状可撓性支持体を平面性を保ち固定出来れば特に限定はなく、例えば吸着方式で固定することが好ましい。   The pattern coating unit 306b includes a belt-like flexible support holding base 306b2 on which a hole transport layer 301c is formed, and a light emitting layer forming coating solution on the hole transport layer 301c in accordance with the pattern of the first electrode under atmospheric pressure conditions. And a wet pattern formation coating device 306b1 for pattern coating below. The light emitting layer drying unit 306c has a function of removing the solvent in the light emitting layer under atmospheric pressure conditions, and has the same configuration as that of the first drying device 303c. The holding base 306b2 is not particularly limited as long as the belt-like flexible support can be fixed while maintaining flatness. For example, the holding base 306b2 is preferably fixed by an adsorption method.

パターン塗布部306bで湿式パターン形成塗布装置306b1により塗布が行われる時は、前の工程から搬送されてくる正孔輸送層が形成された帯状可撓性支持体Aに設けられたアライメントマーク10c(図5を参照)をパターン塗布部306bに配設されたアライメント検出手段の検出機により検出し、正孔輸送層が形成された帯状可撓性支持体Aを保持台上に吸着固定し、アライメントマークに従って湿式パターン形成塗布装置306b1の位置合わせが行われ、パターン化されて形成された第1電極の端部の一部を除いて第1電極のパターンに合わせて、発光層形成用塗布液が電極上に塗布される。   When coating is performed by the wet pattern formation coating apparatus 306b1 in the pattern coating unit 306b, the alignment mark 10c (provided on the strip-shaped flexible support A on which the hole transport layer transported from the previous step is formed). 5) is detected by the detector of the alignment detecting means disposed in the pattern application unit 306b, and the belt-like flexible support A on which the hole transport layer is formed is adsorbed and fixed on the holding table, and the alignment is performed. The wet pattern forming and coating apparatus 306b1 is aligned according to the mark, and the light emitting layer forming coating liquid is applied to the pattern of the first electrode except for a part of the end portion of the patterned first electrode. It is applied on the electrode.

除電処理部306eは、発光層が形成された帯状可撓性支持体の除電を行い、次工程での静電気に伴う故障を防止する機能を有し、必要に応じ配設することが可能となっている。除電処理部306eは第1塗布・乾燥部303に使用した除電処理手段と同じ除電処理手段を使用することが好ましい。   The neutralization processing unit 306e has a function of performing static neutralization on the belt-like flexible support on which the light emitting layer is formed and preventing a failure due to static electricity in the next process, and can be disposed as necessary. ing. The neutralization processing unit 306e preferably uses the same neutralization processing unit as the neutralization processing unit used in the first application / drying unit 303.

第2アキュームレータ部306fは、ロール306f1が上下方向(図中の矢印方向)に移動することで、パターン塗布・乾燥部306と回収部306gとの搬送速度の差を調整するために配設されており、速度差に応じてロール306f1aの増設が可能となっている。第2アキュームレータ部306fは、第1アキュームレータ部306aと同じ構成をしている。尚、回収部306gでは、発光層が形成された帯状可撓性支持体301fを室温まで冷却装置(不図示)で冷却した後、巻き取ることが好ましい。   The second accumulator unit 306f is arranged to adjust the difference in transport speed between the pattern application / drying unit 306 and the collection unit 306g by moving the roll 306f1 in the vertical direction (the arrow direction in the figure). Thus, the roll 306f1a can be added according to the speed difference. The second accumulator unit 306f has the same configuration as the first accumulator unit 306a. In the recovery part 306g, it is preferable to wind the belt-shaped flexible support 301f on which the light emitting layer is formed after cooling it to room temperature with a cooling device (not shown).

陰極層形成工程4は、材料の供給部401と、第1陰極層形成部402と、第2陰極層形成部403と、第2巻き取り部404とを有しており、供給部401から回収部404迄が減圧条件下で連続的に行われる様になっている。   The cathode layer formation step 4 includes a material supply unit 401, a first cathode layer formation unit 402, a second cathode layer formation unit 403, and a second winding unit 404, and is collected from the supply unit 401. Up to the portion 404 is continuously performed under reduced pressure conditions.

供給部401では、有機化合物層形成工程3で作製された、帯状可撓性支持体上に、陽極と、正孔輸送層と、有機化合物層(発光層)とが形成され、巻き芯に巻き取られたロール状の帯状可撓性支持体301fが供給される。   In the supply unit 401, an anode, a hole transport layer, and an organic compound layer (light emitting layer) are formed on the band-shaped flexible support prepared in the organic compound layer forming step 3, and wound around a winding core. The roll-shaped strip-shaped flexible support body 301f thus taken is supplied.

供給部401から巻き出された有機化合物層(発光層)を有する帯状可撓性支持体301fの有機化合物層(発光層)上に第1陰極層形成部402で電子注入層301gが形成される。402aは蒸着装置を示し、402bは蒸発源容器を示す。   An electron injection layer 301g is formed by the first cathode layer forming unit 402 on the organic compound layer (light emitting layer) of the strip-shaped flexible support 301f having the organic compound layer (light emitting layer) unwound from the supply unit 401. . Reference numeral 402a denotes a vapor deposition apparatus, and 402b denotes an evaporation source container.

第2陰極層形成部403では、第1陰極層形成部402で形成された電子注入層301g上に第2電極の陰極層301hが形成される。403aは蒸着装置を示し、403bは蒸発源容器を示す。第2陰極層形成部403で第2電極の陰極層301hが第1電極と直交する状態で形成された帯状可撓性支持体301iは回収部404で巻き芯に巻き取られロール状の帯状可撓性支持体C301jとなる。   In the second cathode layer forming unit 403, the cathode layer 301h of the second electrode is formed on the electron injection layer 301g formed in the first cathode layer forming unit 402. Reference numeral 403a denotes a vapor deposition apparatus, and reference numeral 403b denotes an evaporation source container. The strip-shaped flexible support 301i formed by the second cathode layer forming unit 403 in a state where the cathode layer 301h of the second electrode is orthogonal to the first electrode is wound around the winding core by the collecting unit 404 and can be rolled into a strip. It becomes the flexible support body C301j.

可撓性封止部材貼合工程5は、第2電極の陰極層301hまでが形成さたロール状の帯状可撓性支持体C301jの供給部501と、シール剤配置部(シール剤塗設部)502と、可撓性封止部材の供給部503と、可撓性封止部材の貼合部504とを有し、シール剤の硬化処理部(不図示)を有していることが好ましく、必要に応じ硬化処理部(不図示)は裁断工程の前、又は裁断工程の後に配置することが好ましい。硬化処理部の硬化方式は使用するシール剤の種類(例えば熱硬化型シール剤、紫外線硬化型シール剤等)に合わせ適宜選択することが可能である。可撓性封止部材貼合工程5で可撓性封止部材を帯状可撓性支持体C301j上に形成された各有機EL素子に貼合することで複数の有機ELパネルを有する帯状可撓性支持体301kが作製される。可撓性封止部材貼合工程5に関しては図5で説明する。   The flexible sealing member bonding step 5 includes a roll-like strip-like flexible support C301j formed up to the cathode layer 301h of the second electrode, a sealant placement part (sealant coating part) ) 502, a flexible sealing member supply portion 503, and a flexible sealing member bonding portion 504, and preferably a sealing agent curing processing portion (not shown). If necessary, it is preferable to dispose a curing treatment part (not shown) before the cutting step or after the cutting step. The curing method of the curing treatment unit can be appropriately selected according to the type of sealant used (for example, a thermosetting sealant, an ultraviolet curable sealant, etc.). A flexible strip having a plurality of organic EL panels by bonding the flexible sealing member to each organic EL element formed on the flexible strip C301j in the flexible sealing member bonding step 5. A flexible support 301k is produced. The flexible sealing member bonding step 5 will be described with reference to FIG.

打ち抜き断裁工程6は、帯状可撓性支持体301kに配設されているアライメントマークを検出するアライメントマーク検出部602と、帯状可撓性支持体上に形成された有機EL素子の位置に合わせ、貼合された可撓性封止部材の不要部分を打ち抜き断裁し除去する打ち抜き断裁装置601を有している。打ち抜き断裁工程6に関しては図8、図9で説明する。   The punching and cutting step 6 is performed in accordance with the position of the alignment mark detection unit 602 that detects the alignment mark disposed on the strip-shaped flexible support 301k, and the position of the organic EL element formed on the strip-shaped flexible support, It has a punching and cutting device 601 that punches and cuts unnecessary portions of the bonded flexible sealing member. The punching and cutting process 6 will be described with reference to FIGS.

本図では可撓性封止部材貼合工程5と打ち抜き断裁工程6とが連続して行われる場合を示しているが、可撓性封止部材が貼合された後、一定の単位毎に断裁しシート状にした後、打ち抜き断裁工程6に供給する方式であっても構わない。   Although this figure shows the case where the flexible sealing member bonding step 5 and the punching and cutting step 6 are continuously performed, after the flexible sealing member is bonded, every certain unit. After cutting and making it into a sheet shape, a method of supplying to the punching and cutting step 6 may be employed.

回収工程7では不要の可撓性封止部材を除去した状態の複数の有機ELパネルを有する帯状可撓性支持体を巻き芯に巻き取りロール状とする巻き取り装置(不図示)を有している。701は貼合した部分を残し、ロール状とし回収された不要の可撓性封止部材を示す。702は貼合に係わらない不要の帯状可撓性支持体を除去し、少なくとも1つの有機ELパネルを有する帯状可撓性支持体を巻き芯に巻き取りロール状とし回収された帯状可撓性支持体を示す。ロール状とし回収された有機ELパネルを有する帯状可撓性支持体は別工程で有機ELパネル単位に断裁して回収される。尚、本図では、一旦巻き取る場合を示しているが、連続して有機ELパネル単位に断裁して回収しても構わない。尚、本図は貼合された可撓性封止部材の余分な箇所を打ち抜き除去した状態でロール状に巻き取り回収する、所謂ロールツーロール生産方式の場合を示している。   In the collection step 7, a winding device (not shown) is provided in which a strip-shaped flexible support having a plurality of organic EL panels in a state where unnecessary flexible sealing members are removed is wound around a winding core. ing. Reference numeral 701 denotes an unnecessary flexible sealing member which is left in a bonded state and is recovered in a roll shape. Reference numeral 702 denotes a strip-shaped flexible support that is removed from an unnecessary strip-shaped flexible support that is not involved in bonding, and the strip-shaped flexible support having at least one organic EL panel is wound into a winding roll. Showing the body. The belt-like flexible support having the organic EL panel collected in a roll form is cut and collected in units of organic EL panels in a separate process. In addition, although this figure shows the case where it winds up once, you may cut | disconnect and collect | recover continuously for an organic EL panel unit. In addition, this figure has shown the case of what is called a roll-to-roll production system which winds up and collect | recovers in the shape of a roll in the state which stamped and removed the excess location of the bonded flexible sealing member.

図4は枚葉シート状基板を使用した有機ELパネルの製造方法の模式図である。尚、可撓性封止部材としては図2に示される構成の枚葉シート状の可撓性封止部材を使用している。   FIG. 4 is a schematic view of a method for producing an organic EL panel using a sheet-like substrate. In addition, as a flexible sealing member, the sheet-like flexible sealing member of the structure shown by FIG. 2 is used.

図中、8は製造装置を示す。製造装置8は、枚葉シート状基板aを工程に供給する供給工程8aと、第1電極形成工程8bと、第1電極上に正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成工程8cと、正孔輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程8dと、発光層上に電子注入層を形成する電子注入層形成工程8eと、電子注入層上に第2電極を形成する第2電極形成工程8fと、第2電極が形成された枚葉シート状基板にシール剤を配置(塗設)するシール剤塗設工程8gと、シール剤が配置(塗設)された領域に可撓性封止部材を貼合する可撓性封止部材貼合工程8hと、貼合した可撓性封止部材の不要部分を打ち抜き断裁し除去する打ち抜き断裁工程8iと、回収工程8jとを有している。   In the figure, 8 indicates a manufacturing apparatus. The manufacturing apparatus 8 includes a supply process 8a for supplying a single-wafer sheet-like substrate a to the process, a first electrode formation process 8b, a hole transport layer formation process 8c for forming a hole transport layer on the first electrode, A light emitting layer forming step 8d for forming a light emitting layer on the hole transport layer; an electron injection layer forming step 8e for forming an electron injection layer on the light emitting layer; and a second electrode for forming a second electrode on the electron injection layer. Flexible in the forming step 8f, the sealing agent coating step 8g for placing (coating) the sealing agent on the single-wafer sheet-like substrate on which the second electrode is formed, and the region where the sealing agent is placed (coating) It has a flexible sealing member bonding step 8h for bonding the sealing member, a punching cutting step 8i for punching and removing unnecessary portions of the bonded flexible sealing member, and a recovery step 8j. ing.

供給工程8aは枚葉シート状基板aを次工程に供給する供給装置(不図示)と、供給工程8aから供給された枚葉シート状基板aの表面に第1電極が蒸着される前に、蒸着性をよくするために枚葉シート状基板aの表面を清掃するための基板洗浄処理装置8a1とを有している。   The supply process 8a includes a supply device (not shown) for supplying the single-wafer sheet-like substrate a to the next process, and before the first electrode is deposited on the surface of the single-wafer sheet-like substrate a supplied from the supply process 8a. A substrate cleaning apparatus 8a1 for cleaning the surface of the single-wafer sheet-like substrate a in order to improve the deposition property.

第1電極形成工程8bは、蒸発源容器8b2を有する蒸着装置8b1を有し、減圧条件下で枚葉シート状基板a上に第1電極を形成するようになっている。   The first electrode forming step 8b includes a vapor deposition device 8b1 having an evaporation source container 8b2, and forms the first electrode on the single-wafer sheet-like substrate a under reduced pressure conditions.

正孔輸送層形成工程8cは、蒸発源容器8c2を有する蒸着装置8c1を有し、減圧条件下で第1電極が形成された枚葉シート状基板bの第1電極の外部電極となる一部を除いて第1電極の領域に正孔輸送層を形成するようになっている。   The hole transport layer forming step 8c includes a vapor deposition device 8c1 having an evaporation source container 8c2, and a part to be an external electrode of the first electrode of the single-wafer sheet substrate b on which the first electrode is formed under reduced pressure conditions A hole transport layer is formed in the region of the first electrode except for.

発光層形成工程8dは、蒸発源容器8d2を有する蒸着装置8d1を有し、減圧条件下で正孔輸送層が形成された枚葉シート状基板cの正孔輸送層上に発光層を形成するようになっている。   The light emitting layer forming step 8d includes a vapor deposition device 8d1 having an evaporation source container 8d2, and forms a light emitting layer on the hole transporting layer of the single wafer sheet substrate c on which the hole transporting layer is formed under reduced pressure. It is like that.

電子注入層形成工程8eは、蒸発源容器8e2を有する蒸着装置8e1を有し、減圧条件下で発光層が形成された枚葉シート状基板dの発光層上に電子注入層を形成するようになっている。   The electron injection layer forming step 8e includes a vapor deposition apparatus 8e1 having an evaporation source container 8e2, and forms an electron injection layer on the light emitting layer of the single wafer sheet substrate d on which the light emitting layer is formed under reduced pressure. It has become.

第2電極形成工程8fは、蒸発源容器8f2を有する蒸着装置8f1を有し、減圧条件下で電子注入層が形成された枚葉シート状基板eの電子注入層上に第1電極と直交する様に第2電極を形成するようになっている。   The second electrode forming step 8f includes a vapor deposition device 8f1 having an evaporation source container 8f2, and is orthogonal to the first electrode on the electron injection layer of the single wafer sheet substrate e on which the electron injection layer is formed under reduced pressure conditions. In this manner, the second electrode is formed.

シール剤塗設工程8gは、帯状可撓性支持体上に付けられアライメントマークa1(図9を参照)を検出するアライメントマーク検出部8g1(図8を参照)と、帯状可撓性支持体f上に第1電極〜第2電極を順次積層して形成された有機EL素子f1(図9を参照)の発光領域又は発光領域の周囲にシール剤を塗設するシール剤塗設部8gと、枚葉シート状基板fを載置する載置台8g23とを有している。8g21はシール剤塗設装置を示す。   The sealant coating step 8g includes an alignment mark detection unit 8g1 (see FIG. 8) that detects the alignment mark a1 (see FIG. 9) attached on the belt-like flexible support, and a belt-like flexible support f. A sealing agent coating portion 8g for coating a sealing agent around the light emitting region or the light emitting region of the organic EL element f1 (see FIG. 9) formed by sequentially laminating the first electrode to the second electrode; And a mounting table 8g23 on which the single-wafer sheet-like substrate f is mounted. 8g21 shows a sealing agent coating apparatus.

可撓性封止部材貼合工程8hは、シール剤を塗設した枚葉シート状基板gと可撓性封止部材9を積重し貼合する可撓性封止部材貼合装置8h1と、可撓性封止部材9を枚葉シート状基板gの上に供給する可撓性封止部材供給装置8h2(図9を参照)とを有している。又、シール剤を硬化する硬化処理装置(不図示)を有していることが好ましく、必要に応じ硬化処理部(不図示)は裁断工程の前、又は裁断工程の後に配置することが好ましい。硬化処理部の硬化方式は使用するシール剤の種類(例えば熱硬化型シール剤、紫外線硬化型シール剤等)に合わせ適宜選択することが可能である。   The flexible sealing member bonding step 8h includes a flexible sealing member bonding apparatus 8h1 that stacks and bonds the sheet-fed sheet-like substrate g coated with a sealing agent and the flexible sealing member 9; And a flexible sealing member supply device 8h2 (see FIG. 9) for supplying the flexible sealing member 9 onto the single-wafer sheet-like substrate g. Moreover, it is preferable to have a curing processing apparatus (not shown) for curing the sealant, and it is preferable to arrange a curing processing unit (not shown) before the cutting process or after the cutting process as necessary. The curing method of the curing treatment unit can be appropriately selected according to the type of sealant used (for example, a thermosetting sealant, an ultraviolet curable sealant, etc.).

打ち抜き断裁工程8iは、貼合した可撓性封止部材の内、不要部分を除去するための打ち抜き断裁装置8i1を有している。シール剤塗設工程8gと、可撓性封止部材貼合工程8hに関しては図9で説明する。   The punching and cutting step 8i has a punching and cutting device 8i1 for removing unnecessary portions of the bonded flexible sealing members. The sealant coating step 8g and the flexible sealing member bonding step 8h will be described with reference to FIG.

図1、図2に示される有機EL素子を作製する工程で有機化合物層形成用塗布液を塗布する前に行われる洗浄表面改質処理としては、低圧水銀ランプ、エキシマランプ、プラズマ洗浄装置等が挙げられる。低圧水銀ランプによる洗浄表面改質処理の条件としては、例えば、波長184.2nmの低圧水銀ランプを、照射強度5〜20mW/cm2で、距離5〜15mmで照射し洗浄表面改質処理を行う条件が挙げられる。プラズマ洗浄装置による洗浄表面改質処理の条件としては、例えば、大気圧プラズマが好適に使用される。洗浄条件としてはアルゴンガスに酸素1〜5体積%含有ガスを用い、周波数100KHz〜150MHz、電圧10V〜10KV、照射距離5〜20mmで洗浄表面改質処理を行う条件が挙げられる。 The cleaning surface modification process performed before applying the organic compound layer forming coating liquid in the step of manufacturing the organic EL element shown in FIGS. 1 and 2 includes a low-pressure mercury lamp, an excimer lamp, a plasma cleaning apparatus, and the like. Can be mentioned. As conditions for the cleaning surface modification treatment using a low-pressure mercury lamp, for example, a cleaning surface modification treatment is performed by irradiating a low-pressure mercury lamp with a wavelength of 184.2 nm at an irradiation intensity of 5 to 20 mW / cm 2 and a distance of 5 to 15 mm. Conditions are mentioned. For example, atmospheric pressure plasma is preferably used as the condition for the cleaning surface modification treatment by the plasma cleaning apparatus. Examples of the cleaning conditions include conditions in which a gas containing oxygen of 1 to 5% by volume is used for argon gas, and the cleaning surface modification treatment is performed at a frequency of 100 KHz to 150 MHz, a voltage of 10 V to 10 KV, and an irradiation distance of 5 to 20 mm.

図1に示される有機ELパネルを作製する工程で行われる除電処理手段としては、光照射方式とコロナ放電式等が挙げられ、これらの中から必要に応じて適宜選択使用することが可能である。光照射式は微弱X線、コロナ放電式はコロナ放電により空気イオンを生成する。この空気イオンは、帯電物体に引き寄せられて反対極性の電荷を補い、静電気を中和する。コロナ放電による除電器、軟X線による除電器が利用可能である。第1除電処理手段により、基材の帯電除去が図られるため、ゴミの付着や絶縁破壊が防止されるため、素子の歩留まりの向上が図られる。   Examples of the charge removal processing means performed in the process of manufacturing the organic EL panel shown in FIG. 1 include a light irradiation method and a corona discharge method, and these can be appropriately selected and used as necessary. . The light irradiation type generates weak ions, and the corona discharge type generates air ions by corona discharge. The air ions are attracted to the charged object to compensate for the opposite polarity charge and neutralize static electricity. A static eliminator using corona discharge or a static eliminator using soft X-rays can be used. Since the first charge removal processing means removes the charge of the base material, adhesion of dust and dielectric breakdown are prevented, so that the yield of the elements can be improved.

図1、図2に示される蒸着装置としては、特に限定はなく、例えばスパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法などを用いることが出来、必要に応じて選択して使用することが可能である。   The vapor deposition apparatus shown in FIG. 1 and FIG. 2 is not particularly limited. For example, sputtering method, reactive sputtering method, molecular beam epitaxy method, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma weight A legal method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used, and it can be selected and used as necessary.

図5は基板上に形成された有機EL素子の状態を示す模式図である。図5の(a)は図3に示される製造装置で製造された帯状可撓性支持体上に形成された有機EL素子の状態を示す模式図である。図5の(b)は図4に示される製造装置で製造された枚葉シート状基板上に形成された有機EL素子の状態を示す模式図である。   FIG. 5 is a schematic diagram showing a state of the organic EL element formed on the substrate. FIG. 5A is a schematic view showing a state of the organic EL element formed on the belt-like flexible support manufactured by the manufacturing apparatus shown in FIG. FIG. 5B is a schematic view showing a state of the organic EL element formed on the single-wafer sheet-like substrate manufactured by the manufacturing apparatus shown in FIG.

図5の(a)に示される帯状可撓性支持体上に形成された有機EL素子の状態に付き説明する。図中、10は帯状可撓性支持体10a上に第2電極までが形成された複数の有機EL素子10bを有する帯状可撓性支持体を示す(図3に示される第2陰極層形成部403で第2電極の陰極層301hが第1電極と直交する状態で形成された帯状可撓性支持体301iに該当する。)。本図では、有機EL素子10bが連続的に形成されている場合を示している。10cは帯状可撓性支持体10a上の有機EL素子10bの位置に合わせ付けられたアライメントマークを示す。アライメントマーク10cの配設位置は特に限定はなく、必要に応じて適宜変更することが可能である。例えば、有機EL素子10bのブロック毎によいし、有機EL素子10bの段毎に付けてもよい。本図は有機EL素子10bの段毎に付けた場合を示している。   The state of the organic EL element formed on the belt-like flexible support shown in FIG. 5A will be described. In the figure, reference numeral 10 denotes a belt-like flexible support having a plurality of organic EL elements 10b formed up to the second electrode on the belt-like flexible support 10a (second cathode layer forming portion shown in FIG. 3). 403 corresponds to the strip-shaped flexible support 301i formed with the cathode layer 301h of the second electrode orthogonal to the first electrode). In this figure, the case where the organic EL element 10b is formed continuously is shown. Reference numeral 10c denotes an alignment mark aligned with the position of the organic EL element 10b on the strip-like flexible support 10a. The arrangement position of the alignment mark 10c is not particularly limited, and can be changed as necessary. For example, it may be provided for each block of the organic EL element 10b or for each stage of the organic EL element 10b. This figure has shown the case where it attaches for every step | level of the organic EL element 10b.

図5の(b)に示される枚葉シート状基板上に形成された有機EL素子の状態に付き説明する。図中、11は枚葉シート状基板11a上に第2電極までが形成された単独の有機EL素子11bを有する枚葉シート状基板を示す(図4に示される第2電極形成部8fで第1電極と直交する状態で形成さた第2電極を有する枚葉シート状基板fに該当する。)。尚、有機EL素子10bと有機EL素子11bとは同じ構成をしている。11cは枚葉シート状基板11a上の有機EL素子11bの位置に合わせ着けられたアライメントマークを示す。アライメントマーク11cの配設位置は特に限定はなく、必要に応じて適宜変更することが可能である。例えば、有機EL素子11bに対して4隅でもよい。又、枚葉シート状基板11a上に複数の有機EL素子が作られている場合は、図5の(a)と同じように有機EL素子の位置に合わせ適宜変更が可能である。   The state of the organic EL element formed on the single wafer sheet substrate shown in FIG. 5B will be described. In the figure, reference numeral 11 denotes a single-wafer sheet-like substrate having a single organic EL element 11b formed up to the second electrode on the single-wafer sheet-like substrate 11a (the second electrode forming portion 8f shown in FIG. This corresponds to a single-wafer sheet-like substrate f having a second electrode formed in a state orthogonal to one electrode.) The organic EL element 10b and the organic EL element 11b have the same configuration. Reference numeral 11c denotes an alignment mark attached to the position of the organic EL element 11b on the sheet-like substrate 11a. The arrangement position of the alignment mark 11c is not particularly limited, and can be appropriately changed as necessary. For example, there may be four corners with respect to the organic EL element 11b. Further, when a plurality of organic EL elements are formed on the sheet-like substrate 11a, it can be appropriately changed according to the position of the organic EL elements as in FIG.

図6はシーラント層(シール剤)を持たない可撓性封止部材を有機EL素子上に貼合するためにシール剤を塗設した状態を示す概略図である。図6の(a)は図5のPで示される部分の拡大概略図である。図6の(b)は図6のPで示される部分の有機EL素子の発光領域にシール剤を塗設した状態を示す拡大概略図である。図6の(c)は図5のPで示される部分の有機EL素子の発光領域の周囲にシール剤を塗設した状態を示す概略図である。   FIG. 6 is a schematic view showing a state in which a sealing agent is applied in order to bond a flexible sealing member having no sealant layer (sealing agent) on the organic EL element. FIG. 6A is an enlarged schematic view of a portion indicated by P in FIG. FIG. 6B is an enlarged schematic view showing a state in which a sealing agent is applied to the light emitting region of the organic EL element in the portion indicated by P in FIG. FIG. 6C is a schematic view showing a state in which a sealing agent is applied around the light emitting region of the portion of the organic EL element indicated by P in FIG.

図中、10cは枚葉シート状基板10a上に形成された第1電極を示し、10dは発光層を含む有機化合物層(不図示)上に形成された第2電極を示す。10eは有機EL素子10bの発光領域(図中の太線で囲まれた範囲)を示す
10fは発光領域10eに塗設されたシール剤を示す。10gは第1電極の外部取り出し電極となる部分、第2電極の外部取り出し電極となる部分を除いて発光領域の周囲に塗設されたシール剤を示す。本図の(b)、(c)に示されるシール剤の塗設(配置)は図5の(a)、図5の(b)に示される全ての有機EL素子に適応される。
In the figure, 10c represents a first electrode formed on the single-wafer sheet-like substrate 10a, and 10d represents a second electrode formed on an organic compound layer (not shown) including a light emitting layer. 10e shows the light emission area | region (the range enclosed with the thick line in the figure) of the organic EL element 10b. 10f shows the sealing agent applied to the light emission area 10e. Reference numeral 10g denotes a sealant coated around the light emitting region except for a portion to be an external extraction electrode of the first electrode and a portion to be an external extraction electrode of the second electrode. The coating (arrangement) of the sealing agent shown in (b) and (c) of this figure is applicable to all the organic EL elements shown in (a) and (b) of FIG.

図7は図3のQで示される部分の拡大概略図である。図7の(a)は図3のQで示される部分の拡大概略斜視図である。図7の(b)は図7の(a)の概略断面図である。   FIG. 7 is an enlarged schematic view of a portion indicated by Q in FIG. FIG. 7A is an enlarged schematic perspective view of a portion indicated by Q in FIG. FIG. 7B is a schematic cross-sectional view of FIG.

可撓性封止部材貼合工程5は、帯状可撓性支持体301i上に形成された有機EL素子301i1の位置に合わせ配置されたアライメントマーク301lを検出するアライメントマーク検出部505と、有機EL素子301i1の位置に合わせシール剤を塗設するシール剤塗設部502と、帯状の可撓性封止部材503aの供給部503と、帯状の可撓性封止部材503aを貼合する貼合部504とを有している。   The flexible sealing member bonding step 5 includes an alignment mark detection unit 505 that detects an alignment mark 301l arranged in alignment with the position of the organic EL element 301i1 formed on the belt-like flexible support 301i, and an organic EL. Bonding for bonding the sealant coating portion 502 for applying a sealant to the position of the element 301i1, the supply portion 503 of the strip-shaped flexible sealing member 503a, and the strip-shaped flexible sealing member 503a Part 504.

アライメントマーク検出部505はアライメントマーク検出装置とアライメントマーク検出装置505を配設する筐体505bとを有している。アライメントマーク検出装置は予め帯状可撓性支持体301i上に配設されたアライメントマークの位置に合わせ配設されている。アライメントマーク検出装置505により検出された情報は制御部(不図示)に入力され、シール剤塗設部502のシール剤塗設装置502aを制御するようになっている。アライメントマーク検出装置505としては特に限定はなく、例えばCCDカメラによる画像認識を使用することが可能である。シール剤塗設部502はアライメントマーク検出部505からの情報に従って、有機EL素子に対して図6の(b)又(c)に示す様にシール剤を塗設するシール剤塗設装置502aとシール剤塗設装置502aを配設する筐体502bとを有している。シール剤塗設装置502aの配設する数は特に限定はないが、帯状可撓性支持体301iの幅方向に配設された有機EL素子の数に合わせて配設することが好ましい。本図は、有機EL素子の数に合わせ3台のシール剤塗設装置502aを配設した場合を示している。筐体502bは駆動装置(不図示)によりx−y方向(図中の矢印方向)の移動が可能となっている。   The alignment mark detection unit 505 includes an alignment mark detection device and a housing 505b in which the alignment mark detection device 505 is disposed. The alignment mark detection device is arranged in advance in accordance with the position of the alignment mark arranged on the belt-like flexible support 301i. Information detected by the alignment mark detection device 505 is input to a control unit (not shown) to control the sealant coating device 502a of the sealant coating unit 502. The alignment mark detection device 505 is not particularly limited, and for example, image recognition using a CCD camera can be used. A sealing agent coating unit 502a applies a sealing agent to the organic EL element in accordance with information from the alignment mark detection unit 505, as shown in FIG. 6B or 6C. And a casing 502b in which the sealant coating device 502a is disposed. The number of sealant coating apparatuses 502a to be disposed is not particularly limited, but it is preferable to dispose them in accordance with the number of organic EL elements disposed in the width direction of the strip-shaped flexible support 301i. This figure shows a case where three sealant coating devices 502a are arranged in accordance with the number of organic EL elements. The housing 502b can be moved in the xy directions (arrow directions in the drawing) by a driving device (not shown).

貼合部504は本体504cと可撓性支持体と接触するロール504bと可撓性封止部材503b側と接触するロール504aとを有し、ロール504bとロール504aとで有機EL素子が形成された帯状可撓性支持体301kと可撓性封止部材503bとを圧着挟持することで可撓性封止部材を貼合する様になっている。可撓性封止部材503bの幅は帯状可撓性支持体301kの幅と同じであることが好ましい。尚、本図ではシール剤塗設装置502aへのシール剤の供給系は省略してある。可撓性封止部材503bはシール剤を介して第2電極を含む陰極層上への貼合は、酸素、水分の排除、貼合部内への気泡混入等を考慮し、10Pa〜1×10-5Paの減圧条件及び、酸素濃度10ppm以下、水分濃度10ppm以下の環境下で行われることが好ましい。 The bonding unit 504 includes a roll 504b that comes into contact with the main body 504c and the flexible support, and a roll 504a that comes into contact with the flexible sealing member 503b, and an organic EL element is formed by the roll 504b and the roll 504a. The flexible sealing member is bonded by pressing and sandwiching the belt-like flexible support 301k and the flexible sealing member 503b. The width of the flexible sealing member 503b is preferably the same as the width of the belt-like flexible support 301k. In the drawing, the supply system of the sealant to the sealant coating apparatus 502a is omitted. The flexible sealing member 503b is bonded to the cathode layer including the second electrode through a sealing agent in consideration of exclusion of oxygen and moisture, mixing of bubbles into the bonding portion, and the like. It is preferably carried out under reduced pressure conditions of -5 Pa and in an environment with an oxygen concentration of 10 ppm or less and a water concentration of 10 ppm or less.

シール剤を塗設する方法は特に限定はなく、例えばスプレー方式、押出しノズル方式、スクリーン印刷方式、シルク方式等通常の接着剤の塗設に使用されている方法が挙げられる。使用するシール剤の粘度は、塗布均一性、塗れ広がり防止等を考慮し、40Pa・s〜400Pa・sであることが好ましい。   The method for applying the sealing agent is not particularly limited, and examples thereof include methods used for applying an ordinary adhesive such as a spray method, an extrusion nozzle method, a screen printing method, and a silk method. The viscosity of the sealant to be used is preferably 40 Pa · s to 400 Pa · s in consideration of coating uniformity, spread prevention, and the like.

本発明に係わる液状シール剤としては、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化及び熱硬化型シール剤、2−シアノアクリル酸エステルなどの湿気硬化型等のシール剤、エポキシ系などの熱及び化学硬化型(二液混合)等のシール剤、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂シール剤等を挙げることが出来る。液状シール剤には必要に応じてフィラーを添加することが好ましい。フィラーの添加量としては、接着力を考慮し、5〜70体積%が好ましい。又、添加するフィラーの大きさは、接着力、貼合圧着後のシール剤厚み等を考慮し、1μm〜100μmが好ましい。添加するフィラーの種類としては特に限定はなく、例えばソーダガラス、無アルカリガラス、或いはシリカ、二酸化チタン、酸化アンチモン、チタニア、アルミナ、ジルコニアや酸化タングステン等の金属酸化物等が挙げられる。   Examples of the liquid sealing agent according to the present invention include acrylic curing oligomers, photocuring and thermosetting sealing agents having reactive vinyl groups of methacrylic acid oligomers, and moisture curing sealing agents such as 2-cyanoacrylate. And epoxy-based heat and chemical curing type (two-component mixed) sealing agents, cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin sealing agents, and the like. It is preferable to add a filler to the liquid sealant as necessary. The addition amount of the filler is preferably 5 to 70% by volume in consideration of adhesive strength. In addition, the size of the filler to be added is preferably 1 μm to 100 μm in consideration of the adhesive strength, the thickness of the sealant after bonding and bonding, and the like. The kind of filler to be added is not particularly limited, and examples thereof include soda glass, alkali-free glass, or metal oxides such as silica, titanium dioxide, antimony oxide, titania, alumina, zirconia, and tungsten oxide.

尚、本図ではシール剤を持たない可撓性封止部材(帯状可撓性封止部材)を使用した場合を示したが、有機EL素子と貼合する側に予めシーラント層(シール剤)を設けた可撓性封止部材(帯状可撓性封止部材、枚葉シート状可撓性封止部材)を使用することも可能である。但し、有機EL素子と貼合する側に設けられたシーラント層(シール剤)は、有機EL素子と貼合する時は、有機EL素子の発光領域又は該発光領域の周辺とに貼合するのみであり、貼合後は貼合に関与していない可撓性封止部材は不要部分として除去される。   In addition, although the case where the flexible sealing member (strip | belt-shaped flexible sealing member) which does not have a sealing agent was used was shown in this figure, a sealant layer (sealing agent) is previously provided in the side bonded with an organic EL element. It is also possible to use a flexible sealing member (a strip-like flexible sealing member, a single-wafer sheet-like flexible sealing member) provided with the above. However, the sealant layer (sealant) provided on the side to be bonded to the organic EL element is only bonded to the light emitting area of the organic EL element or the periphery of the light emitting area when being bonded to the organic EL element. And after bonding, the flexible sealing member which is not concerned in bonding is removed as an unnecessary part.

可撓性封止部材の有機EL素子と貼合する側に予め設けられるシーラント層(シール剤)としては、シート状のシール剤と、熱可塑性樹脂とが挙げられる。シート状のシール剤としては、常温(25℃程度)では非流動性を示し、且つ、加熱すると50℃〜100℃の範囲で流動性を発現し、シート状に成形されたシール剤を言う。使用するシール剤としては、例えば分子の末端又は側鎖にエチレン性二重結合を有する化合物と、光重合開始剤とを主成分とする光硬化性樹脂が挙げられる。使用に際しては、例えば、予め、可撓性封止部材(帯状可撓性封止部材、枚葉シート状可撓性封止部材)に貼合して常温(25℃程度)以下にして使用することが好ましい。   Examples of the sealant layer (sealant) provided in advance on the side of the flexible sealing member to be bonded to the organic EL element include a sheet-like sealant and a thermoplastic resin. The sheet-like sealant refers to a sealant that is non-flowable at room temperature (about 25 ° C.) and exhibits fluidity in the range of 50 ° C. to 100 ° C. when heated and is formed into a sheet shape. Examples of the sealant to be used include a photocurable resin mainly composed of a compound having an ethylenic double bond at the molecular end or side chain and a photopolymerization initiator. In use, for example, it is bonded to a flexible sealing member (strip-shaped flexible sealing member, single-sheet flexible sealing member) in advance and used at a room temperature (about 25 ° C.) or lower. It is preferable.

熱可塑性樹脂としては、JIS K 7210規定のメルトフローレートが5〜20g/10minである熱可塑性樹脂が好ましく、更に好ましくは、6〜15g/10min以下の熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。これは、メルトフローレートが5(g/10min)以下の樹脂を用いると、各電極の引き出し電極の段差により生じる隙間部を完全に埋めることが出来ず、20(g/10min)以上の樹脂を用いると引っ張り強さや耐ストレスクラッキング性、加工性などが低下するためである。これらの熱可塑性樹脂をフィルム状に成形し可撓性封止部材(帯状可撓性封止部材、枚葉シート状可撓性封止部材)に貼合して使用することが好ましい。貼合方法は一般的に知られている各種の方法、例えばウェットラミネート法、ドライラミネート法、ホットメルトラミネート法、押出しラミネート法、熱ラミネート法を利用して作ることが可能である。   As the thermoplastic resin, a thermoplastic resin having a melt flow rate of JIS K 7210 specified in a range of 5 to 20 g / 10 min is preferable, and a thermoplastic resin of 6 to 15 g / 10 min or less is more preferably used. This is because if a resin having a melt flow rate of 5 (g / 10 min) or less is used, the gap caused by the step of the lead electrode of each electrode cannot be completely filled, and a resin of 20 (g / 10 min) or more cannot be filled. This is because if used, the tensile strength, stress cracking resistance, workability and the like are lowered. These thermoplastic resins are preferably formed into a film and bonded to a flexible sealing member (a strip-shaped flexible sealing member or a single-sheet flexible sealing member). The laminating method can be made by using various generally known methods such as a wet laminating method, a dry laminating method, a hot melt laminating method, an extrusion laminating method, and a thermal laminating method.

熱可塑性樹脂は、上記数値を満たすものであれば特に限定されるものではないが、例えば機能性包装材料の新展開株式会社東レリサーチセンター記載の高分子フィルムである低密度ポリエチレン(LDPE)、HDPE、線状低密度ポリエチレン(LLDPE)、中密度ポリエチレン、未延伸ポリプロピレン(CPP)、OPP、ONy、PET、セロハン、ポリビニルアルコール(PVA)、延伸ビニロン(OV)、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVOH)、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、塩化ビニリデン(PVDC)等の使用が可能である。これらの熱可塑性樹脂の中で特にLDPE、LLDPE及びメタロセン触媒を使用して製造したLDPE、LLDPE、又、LDPE、LLDPEとHDPEフィルムの混合使用した熱可塑性樹脂を使用することが好ましい。   The thermoplastic resin is not particularly limited as long as it satisfies the above numerical values. For example, low-density polyethylene (LDPE), HDPE, which is a polymer film described in Toray Research Center, Inc., a new development of functional packaging materials. , Linear low density polyethylene (LLDPE), medium density polyethylene, unstretched polypropylene (CPP), OPP, ONy, PET, cellophane, polyvinyl alcohol (PVA), stretched vinylon (OV), ethylene-vinyl acetate copolymer (EVOH) ), Ethylene-propylene copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer, ethylene-methacrylic acid copolymer, vinylidene chloride (PVDC), and the like can be used. Among these thermoplastic resins, LDPE, LLDPE produced using LDPE, LLDPE and a metallocene catalyst, or a thermoplastic resin using a mixture of LDPE, LLDPE and HDPE films is preferably used.

図8は図3のRで示される部分の拡大概略斜視図である。   FIG. 8 is an enlarged schematic perspective view of a portion indicated by R in FIG.

図中、602aは予め帯状可撓性支持体301kに配設されているアライメントマークを検出するアライメントマーク検出装置を示す。アライメントマーク検出装置602aとしては特に限定はなく、例えばCCDカメラによる画像認識を使用することが可能である。602bはアライメントマーク検出装置602aを配設する筐体を示す。アライメントマーク検出装置602aにより検出された情報は制御部(不図示)に入力され、打ち抜き断裁装置601を制御するようになっている。打ち抜き断裁装置601は帯状可撓性支持体301k上に貼合された可撓性封止部材503bの不要部分を打ち抜くための打ち抜き刃601aを配設した上型601bと、上型601bを上下方向(図中の矢印方向)への作動を可能にする4本のガイドポスト601cと、帯状可撓性支持体301kを載置する載置面601e(打ち抜き刃601aの受け部を兼ねる)とを有する下型601dとを有している。   In the figure, reference numeral 602a denotes an alignment mark detection device for detecting an alignment mark previously disposed on the belt-like flexible support 301k. The alignment mark detection device 602a is not particularly limited, and for example, image recognition using a CCD camera can be used. Reference numeral 602b denotes a housing in which the alignment mark detection device 602a is disposed. Information detected by the alignment mark detection device 602a is input to a control unit (not shown) to control the punching and cutting device 601. The punching and cutting device 601 includes an upper die 601b provided with a punching blade 601a for punching an unnecessary portion of the flexible sealing member 503b bonded on the belt-like flexible support 301k, and an upper die 601b in the vertical direction. It has four guide posts 601c that enable operation in the direction of the arrow in the figure, and a mounting surface 601e (also serving as a receiving portion of the punching blade 601a) on which the belt-like flexible support 301k is mounted. A lower mold 601d.

打ち抜き刃601aの数は、帯状可撓性支持体301kに形成されている有機EL素子の数と、1回に打ち抜く数、打ち抜き断裁装置601の大きさ等から適宜選択することが可能である。本図は、1回に打ち抜く数が6個の場合を示している。打ち抜き断裁装置601は可撓性封止部材503bの不要部分のみを打ち抜くため、ハーフカット方式となっている。   The number of punching blades 601a can be appropriately selected from the number of organic EL elements formed on the belt-like flexible support 301k, the number of punching at a time, the size of the punching cutting device 601, and the like. This figure has shown the case where the number punched at once is six. The punching and cutting device 601 is a half-cut method because it punches only unnecessary portions of the flexible sealing member 503b.

尚、ハーフカット方式とは、被断裁物の厚み方向を残して断裁する方式であり、打ち抜き刃物と打ち抜き刃の受け部との最小距離(下死点)を調整することで可能となる。上型又は下型もしくは両方にブロック(図示しない)を設置し、上型が下降した時に前記ブロックにて下降位置が制限される構造となっている。ブロックの高さを調整することで下死点は調整可能である。これにより有機EL素子の発光領域又は発光領域の周辺を除き、シール剤で貼合されていない不要の可撓性封止部材503bのみを打ち抜くことが可能となっている。   The half-cut method is a method of cutting while leaving the thickness direction of the material to be cut, and can be achieved by adjusting the minimum distance (bottom dead center) between the punching blade and the receiving portion of the punching blade. A block (not shown) is installed in the upper mold or the lower mold or both, and when the upper mold is lowered, the lowered position is limited by the block. The bottom dead center can be adjusted by adjusting the height of the block. Thereby, it is possible to punch out only the unnecessary flexible sealing member 503b that is not bonded with the sealant except the light emitting region of the organic EL element or the periphery of the light emitting region.

301mは不要の可撓性封止部材を除去し、複数の有機ELパネルを形成した帯状可撓性支持体Eを示す。尚、打ち抜かれた可撓性封止部材は巻き取られ除去される。この後、複数の有機ELパネルを形成した帯状可撓性支持体E301mは各有機ELパネル毎に断裁することで1枚の有機ELパネルが出来上がる。   301m shows the strip | belt-shaped flexible support body E which removed the unnecessary flexible sealing member and formed the some organic EL panel. The punched flexible sealing member is wound up and removed. Thereafter, the strip-shaped flexible support E301m in which a plurality of organic EL panels are formed is cut for each organic EL panel, thereby completing one organic EL panel.

尚、図4に示される打ち抜き断裁工程8iで使用される打ち抜き断裁装置8i1も本図に示される帯状可撓性支持体の搬送系を枚葉シート状可撓性支持体に変えることで対応が可能となっている。又、図5の(b)に示される枚葉シート状支持体に1個の有機EL素子が形成されている場合は打ち抜き刃を、不要とする可撓性封止部材の大きさ、形に合わせ上型に配設することで対応が可能である。   Note that the punching / cutting device 8i1 used in the punching / cutting step 8i shown in FIG. 4 can be dealt with by changing the transport system of the belt-like flexible support shown in this figure to a single-sheet flexible support. It is possible. Further, when one organic EL element is formed on the single-wafer sheet-like support shown in FIG. 5 (b), the punching blade is made into a size and shape of an unnecessary flexible sealing member. Correspondence is possible by arranging in the upper die.

図9は図4のSで示される部分の拡大概略図である。図9の(a)は図4のSで示される部分の拡大概略斜視図である。図9の(b)は図9の(a)の概略断面図である。   FIG. 9 is an enlarged schematic view of a portion indicated by S in FIG. FIG. 9A is an enlarged schematic perspective view of a portion indicated by S in FIG. FIG. 9B is a schematic cross-sectional view of FIG.

シール剤塗設工程8gは枚葉シート状基板a上に形成されたアライメントマークa1を検出するアライメントマーク検出部8g1と、有機EL素子f1の位置に合わせシール剤を塗設するシール剤塗設部8g2とを有している。   The sealing agent coating step 8g includes an alignment mark detection unit 8g1 for detecting the alignment mark a1 formed on the single-wafer sheet-like substrate a, and a sealing agent coating unit for coating the sealing agent in accordance with the position of the organic EL element f1. 8g2.

アライメントマーク検出部8g1はアライメントマーク検出装置8g11とアライメントマーク検出装置8g11を配設する筐体8g12とを有している。アライメントマーク検出装置は予め枚葉シート状基板a上に配設されたアライメントマークa1の位置に合わせ配設されている。アライメントマーク検出装置8g11により検出された情報は制御部(不図示)に入力され、シール剤塗設部8g2のシール剤塗設装置8g21を制御するようになっている。アライメントマーク検出装置505としては特に限定はなく、例えばCCDカメラによる画像認識等を使用することが可能である。   The alignment mark detection unit 8g1 includes an alignment mark detection device 8g11 and a housing 8g12 in which the alignment mark detection device 8g11 is disposed. The alignment mark detection device is arranged in advance in accordance with the position of the alignment mark a1 arranged on the sheet-like substrate a. Information detected by the alignment mark detection device 8g11 is input to a control unit (not shown), and the sealant coating device 8g21 of the sealant coating unit 8g2 is controlled. The alignment mark detection device 505 is not particularly limited, and for example, image recognition using a CCD camera can be used.

シール剤塗設部8g2はシール剤塗設装置8g21と、筐体8g22と、載置台8g23(図2を参照)を有している。シール剤塗設部8g2はアライメントマーク検出部8g1からの情報に従って、ディバイスに対して図4の(b)又(c)に示す様にシール剤を塗設するシール剤塗設装置8g21とシール剤塗設装置8g21を配設する筐体8g22とを有している。シール剤塗設装置8g21の配設する数は特に限定はないが、枚葉シート状基板fの幅方向に配設された有機EL素子f1の数に合わせて配設することが好ましい。本図は、有機EL素子の数に合わせ2台のシール剤塗設装置8g21を配設した場合を示している。筐体8g22は駆動装置(不図示)によりx−y方向(図中の矢印方向)の移動が可能となっている。本図ではシール剤塗設装置8g21へのシール剤の供給系は省略してある。   The sealant coating portion 8g2 includes a sealant coating device 8g21, a housing 8g22, and a mounting table 8g23 (see FIG. 2). The sealant application unit 8g2 and the sealant application device 8g21 for applying the sealant to the device as shown in FIG. 4 (b) or (c) according to the information from the alignment mark detection unit 8g1 and the sealant And a casing 8g22 in which the coating device 8g21 is disposed. The number of sealant coating devices 8g21 disposed is not particularly limited, but it is preferable to dispose the sealant coating devices 8g21 according to the number of organic EL elements f1 disposed in the width direction of the sheet-like substrate f. This figure has shown the case where the two sealing agent coating apparatuses 8g21 are arrange | positioned according to the number of organic EL elements. The housing 8g22 can be moved in the xy directions (arrow directions in the drawing) by a driving device (not shown). In this drawing, the supply system of the sealant to the sealant coating device 8g21 is omitted.

シール剤を塗設する方法は図5に示されるシール剤塗設装置の場合と同じであり、使用するシール剤も同じである。又、シール剤塗設装置に使用するシール剤と同様に同じフィラーを添加しても構わない。   The method of applying the sealing agent is the same as that of the sealing agent application apparatus shown in FIG. 5, and the same sealing agent is used. Moreover, you may add the same filler similarly to the sealing agent used for a sealing agent coating apparatus.

可撓性封止部材貼合工程8hは、シール剤が塗設(配置)配置された可撓性支持体f上に供給する可撓性封止部材供給装置8h2と、可撓性支持体f上に供給された可撓性封止部材を貼合する可撓性封止部材貼合装置8h1とを有している。可撓性封止部材供給装置8h2は可撓性封止部材9を載置する載置台8h21と、可撓性封止部材9を1枚毎吸引保持する保持手段8g22を有するロボットアーム8h23とを有している。ロボットアーム8h23は回転(図中の矢印方向)可能に回動し、可撓性封止部材9を枚葉シート状基板f上に供給することが可能となっている。可撓性封止部材9の大きさは枚葉シート状基板fと同じ大きさであることが好ましい。   The flexible sealing member bonding step 8h includes a flexible sealing member supply device 8h2 that supplies the flexible sealing member f on the flexible support f on which the sealing agent is applied (arranged) and the flexible support f. It has the flexible sealing member bonding apparatus 8h1 which bonds the flexible sealing member supplied on the top. The flexible sealing member supply device 8h2 includes a mounting table 8h21 for mounting the flexible sealing member 9, and a robot arm 8h23 having a holding means 8g22 for sucking and holding the flexible sealing members 9 one by one. Have. The robot arm 8h23 rotates so as to be rotatable (in the direction of the arrow in the drawing), and the flexible sealing member 9 can be supplied onto the single-wafer sheet-like substrate f. The size of the flexible sealing member 9 is preferably the same size as the single-wafer sheet-like substrate f.

可撓性封止部材貼合装置8h1は可撓性支持体f上に形成された有機EL素子f1の発光領域又は発光領域の周囲に塗設されたシール剤上に可撓性封止部材9を貼合するための第1圧着部材8h11と、第2圧着部材8h12と、第1圧着部材8h11と第2圧着部材8h12とを取り付けた上型8h13と、上型8h13を上下方向(図中の矢印方向)への作動を可能にする4本のガイドポスト8h14を有する下型8h15とを有している。   The flexible sealing member laminating apparatus 8h1 is a flexible sealing member 9 on the light emitting region of the organic EL element f1 formed on the flexible support f or on the sealant coated around the light emitting region. The upper die 8h13 to which the first crimping member 8h11, the second crimping member 8h12, the first crimping member 8h11 and the second crimping member 8h12 are attached, and the upper die 8h13 in the vertical direction (in the drawing) And a lower die 8h15 having four guide posts 8h14 that enable operation in the direction of the arrow).

第1圧着部材8h11は、上型8h13に取り付けられた4本のリニヤーガイド8h16に取り付けられている。8h17は可撓性封止部材9を貼合する際、第1圧着部材8h11でシール剤が必要でない部分に広がることを防止するために圧着保持する弾性部材のバネを示す。   The first crimping member 8h11 is attached to the four linear guides 8h16 attached to the upper mold 8h13. 8h17 indicates a spring of an elastic member that is pressure-bonded and held in order to prevent the first pressure-bonding member 8h11 from spreading to a portion where the sealant is not necessary when the flexible sealing member 9 is bonded.

下型8h15は可撓性封止部材9を貼合する際、枚葉シート状基板fを吸引固定するための複数の吸引孔(不図示)と、吸引ポンプ(不図示)に繋がった吸引管(不図示)とを有していることが好ましい。   The lower die 8h15 has a plurality of suction holes (not shown) for sucking and fixing the single-wafer sheet-like substrate f and a suction tube connected to a suction pump (not shown) when the flexible sealing member 9 is bonded. (Not shown).

8h18は上型8h13をガイドポスト8h14に沿って上下方向(図中の矢印方向)へ作動させるための駆動源を示し、8h19は駆動軸を示す。   8h18 indicates a drive source for operating the upper die 8h13 in the vertical direction (arrow direction in the figure) along the guide post 8h14, and 8h19 indicates a drive shaft.

可撓性封止部材貼合装置8h1は図4の(b)に示される様にシール剤が塗設されている場合、第1圧着部材8h11で発光領域の周囲を圧着した後、第2圧着部材8h12で発光領域を圧着することで可撓性封止部材を貼合することが好ましい。又、図4の(c)に示される様にシール剤が塗設されている場合、第1圧着部材8h11で発光領域を圧着した後、第2圧着部材8h12で発光領域の周囲を圧着することで可撓性封止部材を貼合することが好ましい。本図ではシール剤塗設装置502aへのシール剤の供給系は省略してある。   When a sealing agent is applied as shown in FIG. 4B, the flexible sealing member laminating device 8h1 is pressure-bonded around the light emitting region with the first pressure-bonding member 8h11, and then second pressure-bonded. It is preferable to bond the flexible sealing member by pressing the light emitting region with the member 8h12. Further, when a sealing agent is applied as shown in FIG. 4C, after the light emitting region is pressure-bonded by the first pressure bonding member 8h11, the periphery of the light emitting region is pressure bonded by the second pressure bonding member 8h12. It is preferable to bond a flexible sealing member. In this figure, the supply system of the sealant to the sealant coating apparatus 502a is omitted.

尚、本図ではシーラント層(シール剤)を持たない可撓性封止部材(帯状可撓性封止部材)を使用した場合を示したが、図7の場合と同様に有機EL素子と貼合する側に予めシーラント層(シール剤)を設けた可撓性封止部材(帯状可撓性封止部材、枚葉シート状可撓性封止部材)を使用することも可能である。   In addition, although the case where the flexible sealing member (strip | belt-shaped flexible sealing member) which does not have a sealant layer (sealing agent) was used was shown in this figure, an organic electroluminescent element and a sticking are carried out similarly to the case of FIG. It is also possible to use a flexible sealing member (a strip-like flexible sealing member or a sheet-like flexible sealing member) in which a sealant layer (sealant) is provided in advance on the mating side.

図7、図9に示される可撓性封止部材貼合装置による可撓性封止部材の貼合は、酸素、水分の排除、貼合部内への気泡混入等を考慮し、10Pa〜1×10-5Paの減圧条件及び、酸素濃度10ppm以下、水分濃度10ppm以下の環境下で行われることが好ましい。 Bonding of the flexible sealing member by the flexible sealing member bonding apparatus shown in FIGS. 7 and 9 is 10 Pa to 1 in consideration of exclusion of oxygen, moisture, mixing of bubbles into the bonding portion, and the like. It is preferably performed under a reduced pressure condition of × 10 −5 Pa and an environment having an oxygen concentration of 10 ppm or less and a water concentration of 10 ppm or less.

図2に示す可撓性封止部材を使用し図3〜図9に示す製造装置を使用し、有機ELパネルを製造することで次の効果が得られる。
1)水分や酸素の有機ELパネル内部への侵入が抑制され、ダークスポットの発生を抑制することが出来る。
2)耐湿性に優れた薄型、軽量な有機ELパネルを得ることが出来る。
3)乾燥剤、吸湿剤等が不要となり、生産工程を簡略化出来、生産性の向上及び製造コストの削減が可能となる。
The following effects can be obtained by using the flexible sealing member shown in FIG. 2 and using the manufacturing apparatus shown in FIGS. 3 to 9 to manufacture the organic EL panel.
1) Intrusion of moisture and oxygen into the organic EL panel is suppressed, and generation of dark spots can be suppressed.
2) A thin and lightweight organic EL panel excellent in moisture resistance can be obtained.
3) A desiccant, a hygroscopic agent, etc. are no longer required, the production process can be simplified, productivity can be improved, and manufacturing costs can be reduced.

以下、本発明に係る有機ELパネルを構成しているガスバリア層、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第2電極に付き説明する。   Hereinafter, the gas barrier layer, the first electrode, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer, and the second electrode constituting the organic EL panel according to the present invention will be described.

本発明に係わる基板としては、枚葉シート状基板、帯状可撓性基板が挙げられる。枚葉シート状基板としては、透明ガラス板、シート状透明樹脂フィルムが挙げられる。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロハン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート(TAC)、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリル或いはポリアリレート類、アートン(商品名JSR社製)或いはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等が挙げられる。帯状可撓性基板としては、透明樹脂フィルムが挙げられ、枚葉シート状基板と同じ樹脂フィルムが使用可能である。   Examples of the substrate according to the present invention include a single-wafer sheet-like substrate and a strip-like flexible substrate. Examples of the single-wafer sheet-like substrate include a transparent glass plate and a sheet-like transparent resin film. Examples of the resin film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate (CAP), Cellulose esters such as cellulose acetate phthalate (TAC) and cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether ketone, polyimide , Polyethersulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, poly Cycloolefin resins such as ether imide, polyether ketone imide, polyamide, fluororesin, nylon, polymethyl methacrylate, acrylic or polyarylate, Arton (trade name, manufactured by JSR) or Apel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals) Can be mentioned. A transparent resin film is mentioned as a strip | belt-shaped flexible board | substrate, The same resin film as a sheet | seat sheet-like board | substrate can be used.

基板として透明樹脂フィルムを使用する場合、樹脂フィルムの表面にはガスバリア膜が必要に応じて形成されることが好ましい。ガスバリア膜としては無機物、有機物の被膜又はその両者のハイブリッド被膜が挙げられる。ガスバリア膜の特性としては、水蒸気透過度が0.01g/m2・day・atm以下であることが好ましい。更には、酸素透過度10-3ml/m2/day以下、水蒸気透過度10-5g/m2/day以下の高バリア性フィルムであることが好ましい。 When a transparent resin film is used as the substrate, a gas barrier film is preferably formed on the surface of the resin film as necessary. Examples of the gas barrier film include an inorganic film, an organic film, or a hybrid film of both. As a characteristic of the gas barrier film, the water vapor permeability is preferably 0.01 g / m 2 · day · atm or less. Furthermore, a high barrier film having an oxygen permeability of 10 −3 ml / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 10 −5 g / m 2 / day or less is preferable.

バリア膜を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等を用いることが出来る。更に該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。バリア膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることが出来るが、特開2004−68143号に記載されているような大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   As a material for forming the barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Further, in order to improve the brittleness of the film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times. The method for forming the barrier film is not particularly limited, and for example, vacuum deposition, sputtering, reactive sputtering, molecular beam epitaxy, cluster ion beam, ion plating, plasma polymerization, atmospheric pressure plasma polymerization A plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method as described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.

第1電極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。この様な電極物質の具体例としてはAu等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO2、ZnO等の導電性透明材料が挙げられる。又、IDIXO(In23・ZnO)等非晶質で透明導電膜を作製可能な材料を用いてもよい。陽極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により、薄膜を形成させ、フォトリソグラフィー法で所望の形状のパターンを形成してもよく、或いはパターン精度をあまり必要としない場合は(100μm以上程度)、上記電極物質の蒸着やスパッタリング時に所望の形状のマスクを介してパターンを形成してもよい。この陽極より発光を取り出す場合には、透過率を10%より大きくすることが望ましく、又陽極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。更に膜厚は材料にもよるが、通常10〜1000nm、好ましくは10〜200nmの範囲で選ばれる。 As the first electrode, an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function (4 eV or more) is preferably used. Specific examples of such an electrode substance include metals such as Au, and conductive transparent materials such as CuI, indium tin oxide (ITO), SnO 2 , and ZnO. Alternatively, an amorphous material such as IDIXO (In 2 O 3 .ZnO) capable of forming a transparent conductive film may be used. For the anode, these electrode materials may be formed into a thin film by a method such as vapor deposition or sputtering, and a pattern having a desired shape may be formed by a photolithography method, or when the pattern accuracy is not required (about 100 μm or more) ), A pattern may be formed through a mask having a desired shape when the electrode material is deposited or sputtered. When light emission is extracted from the anode, the transmittance is desirably greater than 10%, and the sheet resistance as the anode is preferably several hundred Ω / □ or less. Further, although the film thickness depends on the material, it is usually selected in the range of 10 to 1000 nm, preferably 10 to 200 nm.

第1電極と発光層又は正孔輸送層の間、正孔注入層(陽極バッファー層)を存在させてもよい。正孔注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123−166頁)に詳細に記載されている。陽極バッファー層(正孔注入層)に使用する材料の一例としては、特開2000−160328号公報に記載されている材料が挙げられる。   A hole injection layer (anode buffer layer) may be present between the first electrode and the light emitting layer or the hole transport layer. The hole injection layer is a layer provided between the electrode and the organic layer in order to lower the driving voltage and improve the luminance of light emission. “The organic EL element and the forefront of industrialization (November 30, 1998, NTS) The details are described in the second volume, Chapter 2, “Electrode Materials” (pages 123 to 166) of “The Company”. Examples of the material used for the anode buffer layer (hole injection layer) include materials described in JP-A No. 2000-160328.

正孔輸送層とは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層又は複数層設けることが出来る。正孔輸送材料としては、正孔の注入又は輸送、電子の障壁性の何れかを有するものであり、有機物、無機物の何れであってもよい。例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、又導電性高分子オリゴマー、特にチオフェンオリゴマー等が挙げられる。   The hole transport layer is made of a hole transport material having a function of transporting holes, and in a broad sense, a hole injection layer and an electron blocking layer are also included in the hole transport layer. The hole transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers. The hole transport material has any one of hole injection or transport and electron barrier properties, and may be either organic or inorganic. For example, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, Examples include stilbene derivatives, silazane derivatives, aniline copolymers, and conductive polymer oligomers, particularly thiophene oligomers.

正孔輸送材料としては上記のものを使用することが出来るが、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾール、更には米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。   The above-mentioned materials can be used as the hole transport material, but it is preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound. Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl; N, N'-diphenyl-N, N'- Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di-p-tolyl) Aminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-diphenyl-N, N ' − (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl; N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl; N, N, N-tri (p-tolyl) amine; 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; 3-methoxy-4′-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and also two of those described in US Pat. No. 5,061,569. Having a condensed aromatic ring in the molecule, for example, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD), JP-A-4-3086 4,4 ', 4 "-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine in which three triphenylamine units described in Japanese Patent No. 8 are linked in a starburst type ( MTDATA) and the like.

更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。又、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することが出来る。   Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.

又、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002),p.139)に記載されているような所謂p型正孔輸送材料を用いることも出来る。本発明においては、より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。   JP-A-11-251067, J. Org. Huang et. al. A so-called p-type hole transport material described in a book (Applied Physics Letters 80 (2002), p. 139) can also be used. In the present invention, it is preferable to use these materials because a light-emitting element with higher efficiency can be obtained.

正孔輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。この正孔輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。又、不純物をドープしたp性の高い正孔輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号、特開2000−196140号、特開2001−102175号、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。この様なp性の高い正孔輸送層を用いることが、より低消費電力の有機EL素子を作製することが出来るため好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of a positive hole transport layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. This hole transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials. A hole transport layer having a high p property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J.A. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such a hole transport layer having a high p property because an organic EL element with lower power consumption can be produced.

本発明において、発光層とは青色発光層、緑色発光層、赤色発光層を指す。発光層を積層する場合の積層順としては、特に制限はなく、又各発光層間に非発光性の中間層を有していてもよい。本発明においては、少なくとも1つの青発光層が、全発光層中最も陽極に近い位置に設けられていることが好ましい。又、発光層を4層以上設ける場合には、陽極に近い順から、例えば青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層/緑色発光層、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層/緑色発光層/赤色発光層のように青色発光層、緑色発光層、赤色発光層を順に積層することが、輝度安定性を高める上で好ましい。発光層を多層にすることで白色素子の作製が可能である。   In the present invention, the light emitting layer refers to a blue light emitting layer, a green light emitting layer, and a red light emitting layer. There is no restriction | limiting in particular as a lamination order in the case of laminating | stacking a light emitting layer, You may have a nonluminous intermediate | middle layer between each light emitting layer. In the present invention, it is preferable that at least one blue light emitting layer is provided at a position closest to the anode among all the light emitting layers. Also, when four or more light emitting layers are provided, for example, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting layer, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting from the order close to the anode. Layered / green light emitting layer, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer, etc. It is preferable for improving luminance stability. A white element can be manufactured by forming a light emitting layer in multiple layers.

発光層の膜厚の総和は特に制限はないが、膜の均質性、発光に必要な電圧等を考慮し、通常2nm〜5μm、好ましくは2〜200nmの範囲で選ばれる。更に10〜20nmの範囲にあるのが好ましい。膜厚を20nm以下にすると電圧面のみならず、駆動電流に対する発光色の安定性が向上する効果があり好ましい。個々の発光層の膜厚は、好ましくは2〜100nmの範囲で選ばれ、2〜20nmの範囲にあるのが更に好ましい。青、緑、赤の各発光層の膜厚の関係については、特に制限はないが、3発光層中、青発光層(複数層ある場合はその総和)が最も厚いことが好ましい。   The total thickness of the light emitting layer is not particularly limited, but is usually selected in the range of 2 nm to 5 μm, preferably 2 to 200 nm in consideration of the uniformity of the film and the voltage required for light emission. Furthermore, it is preferable that it exists in the range of 10-20 nm. A film thickness of 20 nm or less is preferable because it has the effect of improving the stability of the emission color with respect to the driving current as well as the voltage surface. The film thickness of each light emitting layer is preferably selected in the range of 2 to 100 nm, and more preferably in the range of 2 to 20 nm. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness relationship of each light emitting layer of blue, green, and red, It is preferable that the blue light emitting layer (the sum total when there are two or more layers) is the thickest among three light emitting layers.

発光層は発光極大波長が各々430〜480nm、510〜550nm、600〜640nmの範囲にある発光スペクトルの異なる少なくとも3層以上の層を含む。3層以上であれば、特に制限はない。4層より多い場合には、同一の発光スペクトルを有する層が複数層あってもよい。発光極大波長が430〜480nmにある層を青発光層、510〜550nmにある層を緑発光層、600〜640nmの範囲にある層を赤発光層と言う。又、前記の極大波長を維持する範囲において、各発光層には複数の発光性化合物を混合してもよい。例えば、青発光層に、極大波長430〜480nmの青発光性化合物と、同510〜550nmの緑発光性化合物を混合して用いてもよい。   The light emitting layer includes at least three layers having different emission spectra, each having an emission maximum wavelength in the range of 430 to 480 nm, 510 to 550 nm, and 600 to 640 nm. If it is three or more layers, there will be no restriction | limiting in particular. When there are more than four layers, there may be a plurality of layers having the same emission spectrum. A layer having an emission maximum wavelength in the range of 430 to 480 nm is referred to as a blue light emitting layer, a layer in the range of 510 to 550 nm is referred to as a green light emitting layer, and a layer in the range of 600 to 640 nm is referred to as a red light emitting layer. Moreover, in the range which maintains the said maximum wavelength, you may mix a several luminescent compound in each light emitting layer. For example, the blue light emitting layer may be used by mixing a blue light emitting compound having a maximum wavelength of 430 to 480 nm and a green light emitting compound having the same wavelength of 510 to 550 nm.

発光層の材料として使用する有機発光材料は、(a)電荷の注入機能、すなわち、電界印加時に陽極或いは正孔注入層から正孔を注入することが出来、陰極或いは電子注入層から電子を注入することが出来る機能、(b)輸送機能、すなわち、注入された正孔及び電子を電界の力で移動させる機能、及び(c)発光機能、すなわち、電子と正孔の再結合の場を提供し、これらを発光に繋げる機能、の3つの機能を併せもつものであれば特に限定はない。例えば、ベンゾチアゾール系、ベンゾイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系等の蛍光増白剤や、スチリルベンゼン系化合物を用いることが出来る。上記の蛍光増白剤の具体例としては、ベンゾオキサゾール系では、2,5−ビス(5,7−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)−1,3,4−チアジアゾール、4,4’−ビス(5,7−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)スチルベン、4,4’−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチル)−2−ベンゾオキサゾオリル]スチルベン、2,5−ビス(5,7−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)チオフェン、2,5−ビス[5−α,α−ジメチルベンジル−2−ベンゾオキサゾリル]チオフェン、2,5−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチル)−2−ベンゾオキサゾリル]−3,4−ジフェニルチオフェン、2,5−ビス(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)チオフェン、4,4’−ビス(2−ベンゾオキサゾリル)ビフェニル、5−メチル−2−[2−[4−(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)フェニル]ビニル]ベンゾオキサゾール、2−[2−(4−クロロフェニル)ビニル]ナフト[1,2−d]オキサゾール等が挙げられる。ベンゾチアゾール系では、2,2’−(p−フェニレンジビニレン)−ビスベンゾチアゾール等が挙げられ、ベンゾイミダゾール系では、2−[2−[4−(2−ベンゾイミダゾリル)フェニル]ビニル]ベンゾイミダゾール、2−[2−(4−カルボキシフェニル)ビニル]ベンゾイミダゾール等が挙げられる。更に、他の有用な化合物は、ケミストリー・オブ・シンセティック・ダイズ(1971),第628〜637頁及び第640頁に列挙されている。   The organic light emitting material used as the material of the light emitting layer is (a) charge injection function, that is, holes can be injected from the anode or hole injection layer when an electric field is applied, and electrons are injected from the cathode or electron injection layer. (B) a transport function, that is, a function that moves injected holes and electrons by the force of an electric field, and (c) a light emission function, that is, a recombination field of electrons and holes. However, there is no particular limitation as long as it has the three functions of connecting these to light emission. For example, fluorescent whitening agents such as benzothiazole, benzimidazole, and benzoxazole, and styrylbenzene compounds can be used. Specific examples of the above-mentioned optical brightener include 2,5-bis (5,7-di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) -1,3,4-thiadiazole in the benzoxazole series, 4 , 4′-bis (5,7-t-pentyl-2-benzoxazolyl) stilbene, 4,4′-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxa Zoolyl] stilbene, 2,5-bis (5,7-di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) thiophene, 2,5-bis [5-α, α-dimethylbenzyl-2-benzoxazoli Ru] thiophene, 2,5-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxazolyl] -3,4-diphenylthiophene, 2,5-bis (5-methyl) -2-benzoxazolyl) thiophene, 4,4′-bis (2 -Benzoxazolyl) biphenyl, 5-methyl-2- [2- [4- (5-methyl-2-benzoxazolyl) phenyl] vinyl] benzoxazole, 2- [2- (4-chlorophenyl) vinyl Naphtho [1,2-d] oxazole and the like. Examples of the benzothiazole type include 2,2 ′-(p-phenylenedivinylene) -bisbenzothiazole, and examples of the benzimidazole type include 2- [2- [4- (2-benzimidazolyl) phenyl] vinyl] benzimidazole. 2- [2- (4-carboxyphenyl) vinyl] benzimidazole and the like. In addition, other useful compounds are listed in Chemistry of Synthetic Soybean (1971), pages 628-637 and 640.

又、上記のスチリルベンゼン系化合物の具体例としては、1,4−ビス(2−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(3−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(4−メチルスチリル)ベンゼン、ジスチリルベンゼン、1,4−ビス(2−エチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(3−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(2−メチルスチリル)−2−メチルベンゼン、1,4−ビス(2−メチルスチリル)−2−エチルベンゼン等が挙げられる。   Specific examples of the styrylbenzene compound include 1,4-bis (2-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (3-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (4-methylstyryl). ) Benzene, distyrylbenzene, 1,4-bis (2-ethylstyryl) benzene, 1,4-bis (3-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (2-methylstyryl) -2-methylbenzene, 1,4-bis (2-methylstyryl) -2-ethylbenzene and the like can be mentioned.

更に、上述した蛍光増白剤及びスチリルベンゼン系化合物以外にも、例えば、12−フタロペリノン、1,4−ジフェニル−1,3−ブタジエン、1,1,4,4−テトラフェニル−1,3−ブタジエン、ナフタルイミド誘導体、ペリレン誘導体、オキサジアゾール誘導体、アルダジン誘導体、ピラジリン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ピロロピロール誘導体、スチリルアミン誘導体、クマリン系化合物、国際公開公報WO90/13148やAppl.Phys.Lett.,vol 58,18,P1982(1991)に記載されているような高分子化合物、芳香族ジメチリディン系化合物が挙げられる。芳香族ジメチリディン系化合物の具体例としては、1,4−フェニレンジメチリディン、4,4’−フェニレンジメチリディン、2,5−キシリレンジメチリディン、2,6−ナフチレンジメチリディン、1,4−ビフェニレンジメチリディン、1,4−p−テレフェニレンジメチリディン、4,4’−ビス(2,2−ジ−t−ブチルフェニルビニル)ビフェニル、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル等、及びこれらの誘導体が挙げられる。又、上記一般式(I)で表される化合物の具体例としては、ビス(2−メチル−8−キノリノラート)(p−フェニルフェノラート)アルミニウム(III)、ビス(2−メチル−8−キノリノラート)(1−ナフトラート)アルミニウム(III)等が挙げられる。   Further, in addition to the above-described optical brightener and styrylbenzene compound, for example, 12-phthaloperinone, 1,4-diphenyl-1,3-butadiene, 1,1,4,4-tetraphenyl-1,3- Butadiene, naphthalimide derivatives, perylene derivatives, oxadiazole derivatives, aldazine derivatives, pyrazirine derivatives, cyclopentadiene derivatives, pyrrolopyrrole derivatives, styrylamine derivatives, coumarin compounds, international publications WO 90/13148 and Appl. Phys. Lett. , Vol 58, 18, P1982 (1991), and aromatic dimethylidin compounds. Specific examples of the aromatic dimethylidin compounds include 1,4-phenylene dimethylidin, 4,4′-phenylene dimethylidin, 2,5-xylylene dimethylidin, 2,6-naphthylene dimethylidin, 1,4-biphenylenedimethylidin, 1,4-p-terephenylenedimethylidin, 4,4′-bis (2,2-di-t-butylphenylvinyl) biphenyl, 4,4′-bis (2 , 2-diphenylvinyl) biphenyl and the like, and derivatives thereof. Specific examples of the compound represented by the general formula (I) include bis (2-methyl-8-quinolinolato) (p-phenylphenolate) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato). ) (1-naphtholate) aluminum (III) and the like.

その他、上述した有機発光材料をホストとし、当該ホストに青色から緑色までの強い蛍光色素、例えばクマリン系或いは前記ホストと同様の蛍光色素をドープした化合物も、有機発光材料として好適である。有機発光材料として前記の化合物を用いた場合には、青色から緑色の発光(発光色はドーパントの種類によって異なる)を高効率で得ることが出来る。前記化合物の材料であるホストの具体例としては、ジスチリルアリーレン骨格の有機発光材料(特に好ましくは、例えば、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル)が挙げられ、前記化合物の材料であるドーパントの具体例としては、ジフェニルアミノビニルアリレーン(特に好ましくは、例えば、N,N−ジフェニルアミノビフェニルベンゼンや4,4’−ビス[2−[4−(N,N−ジ−p−トリル)フェニル]ビニル]ビフェニル)が挙げられる。
発光層には、発光層の発光効率を高くするために公知のホスト化合物と公知のリン光性化合物(リン光発光性化合物とも言う)を含有することが好ましい。
In addition, a compound in which the above-described organic light-emitting material is used as a host and the host is doped with a strong fluorescent dye from blue to green, for example, coumarin-based or the same fluorescent dye as the host, is also suitable as the organic light-emitting material. When the above-described compound is used as the organic light-emitting material, blue to green light emission (the emission color varies depending on the type of dopant) can be obtained with high efficiency. Specific examples of the host that is the material of the compound include organic light-emitting materials having a distyrylarylene skeleton (particularly preferably, 4,4′-bis (2,2-diphenylvinyl) biphenyl). Specific examples of the dopant of the material are diphenylaminovinylarylene (particularly preferably, for example, N, N-diphenylaminobiphenylbenzene and 4,4′-bis [2- [4- (N, N-di- -P-tolyl) phenyl] vinyl] biphenyl).
The light emitting layer preferably contains a known host compound and a known phosphorescent compound (also referred to as a phosphorescent compound) in order to increase the light emission efficiency of the light emitting layer.

ホスト化合物とは、発光層に含有される化合物の内で、その層中での質量比が20%以上であり、且つ室温(25℃)においてリン光発光のリン光量子収率が、0.1未満の化合物と定義される。好ましくはリン光量子収率が0.01未満である。ホスト化合物を複数種併用して用いてもよい。ホスト化合物を複数種用いることで、電荷の移動を調整することが可能であり、有機EL素子を高効率化することが出来る。又、リン光性化合物を複数種用いることで、異なる発光を混ぜることが可能となり、これにより任意の発光色を得ることが出来る。リン光性化合物の種類、ドープ量を調整することで白色発光が可能であり、照明、バックライトへの応用も出来る。   The host compound is a compound contained in the light-emitting layer, the mass ratio in the layer is 20% or more, and the phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission is 0.1 at room temperature (25 ° C.). Is defined as less than a compound. The phosphorescence quantum yield is preferably less than 0.01. A plurality of host compounds may be used in combination. By using a plurality of types of host compounds, it is possible to adjust the movement of charges, and the organic EL element can be made highly efficient. In addition, by using a plurality of phosphorescent compounds, it is possible to mix different light emission, thereby obtaining an arbitrary emission color. White light emission is possible by adjusting the kind of phosphorescent compound and the amount of doping, and can also be applied to illumination and backlight.

これらのホスト化合物としては、正孔輸送能、電子輸送能を有しつつ、且つ発光の長波長化を防ぎ、尚且つ高Tg(ガラス転移温度)である化合物が好ましい。公知のホスト化合物としては、例えば、特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報等に記載の化合物が挙げられる。   As these host compounds, compounds having a hole transporting ability and an electron transporting ability, preventing emission light from being increased in wavelength, and having a high Tg (glass transition temperature) are preferable. Known host compounds include, for example, JP-A Nos. 2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, and 2002-334786. Gazette, 2002-8860, 2002-334787, 2002-15871, 2002-334788, 2002-43056, 2002-334789, 2002-75645 2002-338579, 2002-105445, 2002-343568, 2002-141173, 2002-352957, 2002-203683, 2002-363227 2002-231453, 2003-3165, 2002-234888, 2003-27048, 2002-255934, 2002-260861, 2002-280183, Examples thereof include compounds described in 2002-299060, 2002-302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837 and the like.

複数の発光層を有する場合、これら各層のホスト化合物の50質量%以上が同一の化合物であることが、有機層全体に渡って均質な膜性状を得やすいことから好ましく、更にはホスト化合物のリン光発光エネルギーが2.9eV以上であることが、ドーパントからのエネルギー移動を効率的に抑制し、高輝度を得る上で有利となることからより好ましい。リン光発光エネルギーとは、ホスト化合物を基板上に100nmの蒸着膜のフォトルミネッセンスを測定し、そのリン光発光の0−0バンドのピークエネルギーを言う。   In the case of having a plurality of light emitting layers, it is preferable that 50% by mass or more of the host compound in each layer is the same compound because it is easy to obtain a uniform film property over the entire organic layer. It is more preferable that the light emission energy is 2.9 eV or more because it is advantageous in efficiently suppressing energy transfer from the dopant and obtaining high luminance. Phosphorescence emission energy means the peak energy of the 0-0 band of phosphorescence emission when the photoluminescence of a deposited film of 100 nm is measured on a substrate with a host compound.

ホスト化合物は、有機EL素子の経時での劣化(輝度低下、膜性状の劣化)、光源としての市場ニーズ等を考慮し、リン光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。すなわち、輝度と耐久性の両方を満足するためには、リン光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。Tgは、更に好ましくは100℃以上である。   The host compound has a phosphorescence emission energy of 2.9 eV or more and a Tg of 90 ° C. or more in consideration of deterioration of the organic EL device over time (decrease in luminance and film properties), market needs as a light source, and the like. Preferably there is. That is, in order to satisfy both luminance and durability, it is preferable that phosphorescence emission energy is 2.9 eV or more and Tg is 90 ° C. or more. Tg is more preferably 100 ° C. or higher.

リン光性化合物(リン光発光性化合物)とは、励起三重項からの発光が観測される化合物であり、室温(25℃)にてリン光発光する化合物であり、リン光量子収率が、25℃において0.01以上の化合物である。先に説明したホスト化合物と合わせ使用することで、より発光効率の高い有機EL素子とすることが出来る。   A phosphorescent compound (phosphorescent compound) is a compound in which light emission from an excited triplet is observed, is a compound that emits phosphorescence at room temperature (25 ° C.), and has a phosphorescence quantum yield of 25. The compound is 0.01 or more at ° C. When used in combination with the host compound described above, an organic EL device with higher luminous efficiency can be obtained.

本発明に係るリン光性化合物は、リン光量子収率は好ましくは0.1以上である。上記リン光量子収率は、第4版実験化学講座7の分光IIの398頁(1992年版、丸善)に記載の方法により測定出来る。溶液中でのリン光量子収率は種々の溶媒を用いて測定出来るが、本発明に用いられるリン光性化合物は、任意の溶媒の何れかにおいて上記リン光量子収率が達成されればよい。   The phosphorescent compound according to the present invention preferably has a phosphorescence quantum yield of 0.1 or more. The phosphorescent quantum yield can be measured by the method described in Spectroscopic II, page 398 (1992 version, Maruzen) of Experimental Chemistry Course 4 of the 4th edition. Although the phosphorescence quantum yield in a solution can be measured using various solvents, the phosphorescence quantum yield used in the present invention only needs to achieve the phosphorescence quantum yield in any solvent.

リン光性化合物の発光は原理としては2種挙げられ、1つはキャリアが輸送されるホスト化合物上でキャリアの再結合が起こってホスト化合物の励起状態が生成し、このエネルギーをリン光性化合物に移動させることでリン光性化合物からの発光を得るというエネルギー移動型、もう一つはリン光性化合物がキャリアトラップとなり、リン光性化合物上出来ャリアの再結合が起こりリン光性化合物からの発光が得られるというキャリアトラップ型であるが、何れの場合においても、リン光性化合物の励起状態のエネルギーはホスト化合物の励起状態のエネルギーよりも低いことが条件である。   There are two types of light emission of the phosphorescent compound in principle. One is the recombination of the carrier on the host compound to which the carrier is transported to generate an excited state of the host compound, and this energy is transferred to the phosphorescent compound. The energy transfer type, in which light emission from the phosphorescent compound is obtained by moving to the phosphorescent compound, and the other is that the phosphorescent compound becomes a carrier trap, resulting in recombination of the carriers on the phosphorescent compound and from the phosphorescent compound. Although it is a carrier trap type in which light emission can be obtained, in any case, it is a condition that the excited state energy of the phosphorescent compound is lower than the excited state energy of the host compound.

リン光性化合物は、有機EL素子の発光層に使用される公知のものの中から適宜選択して用いることが出来る。リン光性化合物としては、好ましくは元素の周期表で8族−10族の金属を含有する錯体系化合物であり、更に好ましくはイリジウム化合物、オスミウム化合物、又は白金化合物(白金錯体系化合物)、希土類錯体であり、中でも最も好ましいのはイリジウム化合物である。   The phosphorescent compound can be appropriately selected from known compounds used for the light emitting layer of the organic EL device. The phosphorescent compound is preferably a complex compound containing a group 8-10 metal in the periodic table of elements, more preferably an iridium compound, an osmium compound, or a platinum compound (platinum complex compound), rare earth Of these, iridium compounds are the most preferred.

本発明においては、リン光性化合物のリン光発光極大波長としては特に制限されるものではなく、原理的には中心金属、配位子、配位子の置換基等を選択することで得られる発光波長を変化させることが出来る。   In the present invention, the phosphorescence emission maximum wavelength of the phosphorescent compound is not particularly limited, and can be obtained in principle by selecting a central metal, a ligand, a ligand substituent, and the like. The emission wavelength can be changed.

本発明の有機EL素子や本発明に係る化合物の発光する色は、「新編色彩科学ハンドブック」(日本色彩学会編、東京大学出版会、1985)の108頁の図4.16において、分光放射輝度計CS−1000(コニカミノルタセンシング社製)で測定した結果をCIE色度座標に当て嵌めた時の色で決定される。   The light emission color of the organic EL device of the present invention and the compound according to the present invention is shown in FIG. 4.16 on page 108 of “New Color Science Handbook” (edited by the Japan Color Society, University of Tokyo Press, 1985). It is determined by the color when the result measured with the total CS-1000 (manufactured by Konica Minolta Sensing) is applied to the CIE chromaticity coordinates.

本発明で言うところの白色素子とは、2℃視野角正面輝度を上記方法により測定した際に、1000cd/m2でのCIE1931 表色系における色度がX=0.33±0.07、Y=0.33±0.07の領域内にあることを言う。 The white element referred to in the present invention means that the chromaticity in the CIE1931 color system at 1000 cd / m 2 is X = 0.33 ± 0.07 when the front luminance at 2 ° C. viewing angle is measured by the above method. It is in the region of Y = 0.33 ± 0.07.

電子注入層とは、電子を輸送する機能を有する材料からなり広い意味で電子輸送層に含まれる。電子注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されている。電子注入層(陰極バッファー層)は、特開平6−325871号公報、同9−17574号公報、同10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的にはストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属バッファー層、フッ化リチウムに代表されるアルカリ金属化合物バッファー層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物バッファー層、酸化アルミニウムに代表される酸化物バッファー層等が挙げられる。上記バッファー層(注入層)はごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるがその膜厚は0.1nm〜5μmの範囲が好ましい。   The electron injection layer is made of a material having a function of transporting electrons and is included in the electron transport layer in a broad sense. The electron injection layer is a layer provided between the electrode and the organic layer for lowering the driving voltage and improving the luminance of the light emission. “Organic EL element and its forefront of industrialization (NST 30, November 30, 1998) Issue) ”, Chapter 2, Chapter 2,“ Electrode Materials ”(pages 123-166). The details of the electron injection layer (cathode buffer layer) are also described in JP-A-6-325871, JP-A-9-17574, JP-A-10-74586, and the like. Specifically, strontium, aluminum, etc. Metal buffer layer typified by lithium, alkali metal compound buffer layer typified by lithium fluoride, alkaline earth metal compound buffer layer typified by magnesium fluoride, oxide buffer layer typified by aluminum oxide, etc. . The buffer layer (injection layer) is preferably a very thin film, and the film thickness is preferably in the range of 0.1 nm to 5 μm although it depends on the material.

他に発光層側に隣接する電子輸送層に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよく、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることが出来、例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体等が挙げられる。更に、上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来る。更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。   In addition, as an electron transport material (also serving as a hole blocking material) used for the electron transport layer adjacent to the light emitting layer side, it is sufficient if it has a function of transmitting electrons injected from the cathode to the light emitting layer. As a material, any one of conventionally known compounds can be selected and used. For example, nitro-substituted fluorene derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, carbodiimides, fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodisides. Examples include methane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives and the like. Furthermore, in the above oxadiazole derivatives, thiadiazole derivatives in which the oxygen atom of the oxadiazole ring is substituted with a sulfur atom, and quinoxaline derivatives having a quinoxaline ring known as an electron-withdrawing group can also be used as the electron transport material. Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.

又、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、Ga又はPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送材料として用いることが出来る。その他、メタルフリーもしくはメタルフタロシアニン、又はそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送材料として好ましく用いることが出来る。又、ジスチリルピラジン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来るし、正孔注入層、正孔輸送層と同様に、n型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送材料として用いることが出来る。電子輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。電子輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。   Also, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (Alq), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol) aluminum. Tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (Znq), and the like, and the central metals of these metal complexes are In, Mg, Metal complexes replaced with Cu, Ca, Sn, Ga or Pb can also be used as the electron transport material. In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with an alkyl group or a sulfonic acid group can be preferably used as the electron transporting material. Distyrylpyrazine derivatives can also be used as electron transport materials, and inorganic semiconductors such as n-type-Si and n-type-SiC are also used as electron transport materials in the same manner as the hole injection layer and hole transport layer. I can do it. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of an electron carrying layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. The electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

又、不純物をドープしたn性の高い電子輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号公報、特開平10−270172号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。この様なn性の高い電子輸送層を用いることがより低消費電力の素子を作製することが出来るため好ましい。   An electron transport layer having a high n property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Pat. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such an electron transport layer having a high n property because an element with lower power consumption can be manufactured.

第2電極としては、仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。この様な電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、電子注入性及び酸化等に対する耐久性の点から、電子注入性金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。陰極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することが出来る。又、陰極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50〜200nmの範囲で選ばれる。尚、発光した光を透過させるため、有機EL素子の第1電極(陽極)又は第2電極(陰極)の何れか一方が、透明又は半透明であれば発光輝度が向上し好都合である。 As the second electrode, a material having a work function (4 eV or less) metal (referred to as an electron injecting metal), an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof as an electrode material is used. Specific examples of such electrode materials include sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) Mixtures, indium, lithium / aluminum mixtures, rare earth metals and the like. Among these, from the point of durability against electron injection and oxidation, etc., a mixture of an electron injecting metal and a second metal which is a stable metal having a larger work function than this, for example, a magnesium / silver mixture, Suitable are a magnesium / aluminum mixture, a magnesium / indium mixture, an aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, a lithium / aluminum mixture, aluminum and the like. The cathode can be produced by forming a thin film of these electrode materials by a method such as vapor deposition or sputtering. The sheet resistance as the cathode is preferably several hundred Ω / □ or less, and the film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 to 200 nm. In order to transmit the emitted light, if either one of the first electrode (anode) or the second electrode (cathode) of the organic EL element is transparent or translucent, the emission luminance is advantageously improved.

又、第2電極に上記金属を1〜20nmの膜厚で作製した後に、第1電極の説明で挙げた導電性透明材料をその上に作製することで、透明又は半透明の第2電極(陰極)を作製することが出来、これを応用することで第1電極(陽極)と第2電極(陰極)の両方が透過性を有する素子を作製することが出来る。   Moreover, after producing the metal with a thickness of 1 to 20 nm on the second electrode, the conductive transparent material mentioned in the description of the first electrode is produced thereon, so that a transparent or translucent second electrode ( A cathode) can be manufactured, and by applying this, an element in which both the first electrode (anode) and the second electrode (cathode) are transmissive can be manufactured.

本発明の有機EL素子の発光の室温における外部取り出し効率は1%以上であることが好ましく、より好ましくは5%以上である。ここに、外部取り出し量子効率(%)=有機EL素子外部に発光した光子数/有機EL素子に流した電子数×100である。   The external extraction efficiency at room temperature of light emission of the organic EL device of the present invention is preferably 1% or more, more preferably 5% or more. Here, the external extraction quantum efficiency (%) = the number of photons emitted to the outside of the organic EL element / the number of electrons sent to the organic EL element × 100.

又、カラーフィルター等の色相改良フィルター等を併用しても、有機EL素子からの発光色を蛍光体を用いて多色へ変換する色変換フィルターを併用してもよい。色変換フィルターを用いる場合においては、有機EL素子の発光のλmaxは480nm以下が好ましい。   In addition, a hue improvement filter such as a color filter may be used in combination, or a color conversion filter that converts the emission color from the organic EL element into multiple colors using a phosphor may be used in combination. In the case of using a color conversion filter, the λmax of light emission of the organic EL element is preferably 480 nm or less.

本発明の有機EL素子は、発光層で発生した光を効率よく取り出すために以下に示す方法を併用することが好ましい。有機EL素子は、空気よりも屈折率の高い(屈折率が1.7〜2.1程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光の内15%から20%程度の光しか取り出せないことが一般的に言われている。これは、臨界角以上の角度θで界面(透明基板と空気との界面)に入射する光は、全反射を起こし素子外部に取り出すことが出来ないことや、透明電極ないし発光層と透明基板との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として、光が素子側面方向に逃げるためである。   The organic EL device of the present invention preferably uses the following method in combination in order to efficiently extract light generated in the light emitting layer. The organic EL element emits light inside a layer having a refractive index higher than that of air (refractive index is about 1.7 to 2.1), and only about 15% to 20% of the light generated in the light emitting layer can be extracted. It is generally said that there is no. This is because the light incident on the interface (interface between the transparent substrate and air) at an angle θ greater than the critical angle causes total reflection and cannot be taken out of the element, or the transparent electrode or light emitting layer and the transparent substrate This is because the light undergoes total reflection between them, the light is guided through the transparent electrode or the light emitting layer, and as a result, the light escapes in the direction of the side of the device.

この光の取り出しの効率を向上させる手法としては、例えば、透明基板表面に凹凸を形成し、透明基板と空気界面での全反射を防ぐ方法(米国特許第4,774,435)。基板に集光性を持たせることにより効率を向上させる方法(特開昭63−314795号公報)。素子の側面等に反射面を形成する方法(特開平1−220394号公報)。基板と発光体の間に中間の屈折率を持つ平坦層を導入し、反射防止膜を形成する方法(特開昭62−172691号公報)。基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法(特開2001−202827号公報)。基板、透明電極層や発光層の何れかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法(特開平11−283751号公報)等がある。   As a method for improving the light extraction efficiency, for example, a method of forming irregularities on the surface of the transparent substrate to prevent total reflection at the interface between the transparent substrate and the air (US Pat. No. 4,774,435). A method for improving efficiency by providing a substrate with a light condensing property (JP-A-63-314795). A method of forming a reflective surface on the side surface of an element (Japanese Patent Laid-Open No. 1-220394). A method of forming an antireflection film by introducing a flat layer having an intermediate refractive index between a substrate and a light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 62-172691). A method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-202827). There is a method of forming a diffraction grating between any one of the substrate, the transparent electrode layer, and the light emitting layer (including between the substrate and the outside) (Japanese Patent Laid-Open No. 11-283951).

本発明においては、これらの方法を有機EL素子と組合せて用いることが出来るが、基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法、或いは基板、透明電極層や発光層の何れかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法を好適に用いることが出来る。本発明においては、これらの手段を組合せることにより、更に高輝度或いは耐久性に優れた素子を得ることが出来る。   In the present invention, these methods can be used in combination with an organic EL element. However, a method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter, or a substrate, a transparent electrode layer, A method of forming a diffraction grating between any layers of the light emitting layer (including between the substrate and the outside) can be suitably used. In the present invention, by combining these means, it is possible to obtain an element having higher luminance or durability.

透明電極と透明基板の間に低屈折率の媒質を光の波長よりも長い厚みで形成すると、透明電極から出てきた光は、媒質の屈折率が低いほど、外部への取り出し効率が高くなる。低屈折率層としては、例えば、エアロゲル、多孔質シリカ、フッ化マグネシウム、フッ素系ポリマー等が挙げられる。透明基板の屈折率は一般に1.5〜1.7程度であるので、低屈折率層は、屈折率がおよそ1.5以下であることが好ましい。又、更に1.35以下であることが好ましい。低屈折率媒質の厚みは、媒質中の波長の2倍以上となるのが望ましい。これは、低屈折率媒質の厚みが、光の波長程度になってエバネッセントで染み出した電磁波が基板内に入り込む膜厚になると、低屈折率層の効果が薄れるからである。全反射を起こす界面もしくは何れかの媒質中に回折格子を導入する方法は、光取り出し効率の向上効果が高いという特徴がある。この方法は、回折格子が1次の回折や、2次の回折といった所謂ブラッグ回折により、光の向きを屈折とは異なる特定の向きに変えることが出来る性質を利用して、発光層から発生した光の内、層間での全反射等により外に出ることが出来ない光を、何れかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)に回折格子を導入することで光を回折させ、光を外に取り出そうとするものである。導入する回折格子は、二次元的な周期屈折率を持っていることが望ましい。これは、発光層で発光する光はあらゆる方向にランダムに発生するので、ある方向にのみ周期的な屈折率分布を持っている一般的な1次元回折格子では、特定の方向に進む光しか回折されず、光の取り出し効率がさほど上がらない。しかしながら、屈折率分布を二次元的な分布にすることにより、あらゆる方向に進む光が回折され、光の取り出し効率が上がる。   When a low refractive index medium is formed between the transparent electrode and the transparent substrate with a thickness longer than the wavelength of light, the light extracted from the transparent electrode has a higher extraction efficiency to the outside as the refractive index of the medium is lower. . Examples of the low refractive index layer include aerogel, porous silica, magnesium fluoride, and a fluorine-based polymer. Since the refractive index of the transparent substrate is generally about 1.5 to 1.7, the low refractive index layer preferably has a refractive index of about 1.5 or less. Further, it is preferably 1.35 or less. The thickness of the low refractive index medium is preferably at least twice the wavelength in the medium. This is because the effect of the low refractive index layer is diminished when the thickness of the low refractive index medium is about the wavelength of light and the electromagnetic wave that has exuded by evanescent enters the substrate. The method of introducing a diffraction grating into an interface or any medium that causes total reflection is characterized by a high effect of improving light extraction efficiency. This method is generated from the light emitting layer by utilizing the property that the diffraction grating can change the direction of light to a specific direction different from refraction by so-called Bragg diffraction such as first-order diffraction and second-order diffraction. Of the light, the light that cannot go out due to total reflection between layers, etc. is diffracted by introducing a diffraction grating into any layer or medium (inside a transparent substrate or transparent electrode) , Trying to extract light out. The introduced diffraction grating desirably has a two-dimensional periodic refractive index. This is because light emitted from the light-emitting layer is randomly generated in all directions, so in a general one-dimensional diffraction grating having a periodic refractive index distribution only in a certain direction, only light traveling in a specific direction is diffracted. The light extraction efficiency does not increase so much. However, by making the refractive index distribution a two-dimensional distribution, light traveling in all directions is diffracted, and light extraction efficiency is increased.

回折格子を導入する位置としては前述の通り、何れかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)でもよいが、光が発生する場所である有機発光層の近傍が望ましい。この時、回折格子の周期は、媒質中の光の波長の約1/2〜3倍程度が好ましい。回折格子の配列は、正方形のラチス状、三角形のラチス状、ハニカムラチス状等、2次元的に配列が繰り返されることが好ましい。   As described above, the position where the diffraction grating is introduced may be in any of the layers or in the medium (in the transparent substrate or the transparent electrode), but is preferably in the vicinity of the organic light emitting layer where light is generated. At this time, the period of the diffraction grating is preferably about 1/2 to 3 times the wavelength of light in the medium. The arrangement of the diffraction grating is preferably two-dimensionally repeated, such as a square lattice, a triangular lattice, or a honeycomb lattice.

更に、本発明の有機EL素子は、発光層で発生した光を効率よく取り出すために、基板の光取り出し側に、例えばマイクロレンズアレイ上の構造を設けるように加工したり、或いは、所謂集光シートと組合せることにより、特定方向、例えば素子発光面に対し正面方向に集光することにより、特定方向上の輝度を高めることが出来る。マイクロレンズアレイの例としては、基板の光取り出し側に一辺が30μmでその頂角が90度となるような四角錐を2次元に配列する。一辺は10μm〜100μmが好ましい。これより小さくなると回折の効果が発生して色付く、大き過ぎると厚みが厚くなり好ましくない。   Furthermore, the organic EL device of the present invention is processed so as to provide, for example, a structure on the microlens array on the light extraction side of the substrate in order to efficiently extract light generated in the light emitting layer, or so-called condensing. By combining with the sheet, the luminance in the specific direction can be increased by collecting light in a specific direction, for example, in the front direction with respect to the element light emitting surface. As an example of the microlens array, quadrangular pyramids having a side of 30 μm and an apex angle of 90 degrees are two-dimensionally arranged on the light extraction side of the substrate. One side is preferably 10 μm to 100 μm. If it becomes smaller than this, the effect of diffraction will generate | occur | produce and color, and if too large, thickness will become thick and is not preferable.

集光シートとしては、例えば液晶表示装置のLEDバックライトで実用化されているものを用いることが可能である。この様なシートとして例えば、住友スリーエム社製輝度上昇フィルム(BEF)等を用いることが出来る。プリズムシートの形状としては、例えば基板に頂角90度、ピッチ50μmの△状のストライプが形成されたものであってもよいし、頂角が丸みを帯びた形状、ピッチをランダムに変化させた形状、その他の形状であってもよい。又、発光素子からの光放射角を制御するために光拡散板・フィルムを、集光シートと併用してもよい。例えば、(株)きもと製拡散フィルム(ライトアップ)等を用いることが出来る。   As the condensing sheet, for example, a sheet that is put into practical use in an LED backlight of a liquid crystal display device can be used. As such a sheet, for example, a brightness enhancement film (BEF) manufactured by Sumitomo 3M Limited can be used. As the shape of the prism sheet, for example, the substrate may be formed with a triangle stripe having a vertex angle of 90 degrees and a pitch of 50 μm, or the vertex angle is rounded, and the pitch is randomly changed. The shape may be other shapes. Moreover, in order to control the light emission angle from a light emitting element, you may use a light-diffusion plate and a film together with a condensing sheet. For example, a diffusion film (light-up) manufactured by Kimoto Co., Ltd. can be used.

以下、実施例を挙げて本発明の具体的な効果を示すが、本発明の態様はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, although an example is given and the concrete effect of the present invention is shown, the mode of the present invention is not limited to this.

実施例1
(有機EL素子の作製)
〈ガスバリア層と第1電極層とをこの順番で有する帯状可撓性支持体の準備〉
厚さ100μmのポリエチレンナフタレートフィルム(帝人・デユポン社製フィルム、以下、PENと略記する)を用い、以下に示す方法でガスバリア層と第1電極層とを形成し、巻き芯に巻き取りロール状としたガスバリア層と第1電極層とをこの順番で有する帯状可撓性支持体を準備した。
Example 1
(Production of organic EL element)
<Preparation of strip-shaped flexible support having gas barrier layer and first electrode layer in this order>
A gas barrier layer and a first electrode layer are formed by the following method using a polyethylene naphthalate film having a thickness of 100 μm (a film made by Teijin-Dyupon Co., Ltd., hereinafter abbreviated as PEN). A belt-like flexible support having the gas barrier layer and the first electrode layer in this order was prepared.

(透明性ガスバリア層の形成)
準備したPEN上に、大気圧プラズマ放電処理法で、厚さ約90nmの透明ガスバリア層を形成した。JIS K−7129Bに準拠した方法により水蒸気透過率を測定した結果、10-3g/m2/day以下であった。JIS K−7126Bに準拠した方法により酸素透過率を測定した結果、10-3g/m2/day以下であった。
(Formation of a transparent gas barrier layer)
A transparent gas barrier layer having a thickness of about 90 nm was formed on the prepared PEN by an atmospheric pressure plasma discharge treatment method. As a result of measuring the water vapor transmission rate by a method based on JIS K-7129B, it was 10 −3 g / m 2 / day or less. As a result of measuring the oxygen transmission rate by a method based on JIS K-7126B, it was 10 −3 g / m 2 / day or less.

(第1電極層の形成)
形成した透明性ガスバリア層の上に厚さ120nmのITO(インジウムチンオキシド)を蒸着法によりパターニングを行い、図5の(a)に示す様に連続的に複数の第1電極層を形成した。
(Formation of first electrode layer)
On the transparent gas barrier layer thus formed, ITO (indium tin oxide) having a thickness of 120 nm was patterned by a vapor deposition method to continuously form a plurality of first electrode layers as shown in FIG.

〈正孔輸送層及び発光層の形成〉
図3に示す製造装置を使用し、準備した巻き芯に巻き取りロール状としたガスバリア層と第1電極層とをこの順番で有する帯状可撓性支持体の第1電極層の上に正孔輸送層、発光層を形成し、加熱処理した後、除電処理し、室温と同じ温度になるまで冷却した後、巻き芯に巻き取りロール状とした。尚、清浄度はJISB 9920に準拠し測定し、クラス5で行った。
<Formation of hole transport layer and light emitting layer>
Using the manufacturing apparatus shown in FIG. 3, holes are formed on the first electrode layer of the strip-shaped flexible support having the gas barrier layer and the first electrode layer in this order on the prepared winding core in the form of a winding roll. A transport layer and a light-emitting layer were formed, heat-treated, neutralized, cooled to the same temperature as room temperature, and then wound around a winding core. The cleanliness was measured in accordance with JISB 9920, and was measured in class 5.

尚、正孔輸送層は以下に示す正孔輸送層形成用塗布液をエクストルージョン塗布機を使用した湿式塗布方式により塗布・乾燥した後加熱処理を行い形成した。発光層は、アライメントマークに従って湿式パターン塗布装置の位置合わせを行い、保持手段で保持した状態で図4示す様にパターン化して形成されている第1電極のパターンに合わせ発光層形成用塗布液を湿式パターン塗布装置により形成した。電子輸送層は以下に示す電子輸送層形成用塗布液をエクストルージョン塗布機を使用した湿式塗布方式により塗布・乾燥した後加熱処理を行い形成した。   The hole transport layer was formed by applying and drying the following coating liquid for forming a hole transport layer by a wet coating method using an extrusion coating machine, followed by heat treatment. The light emitting layer is aligned with the wet pattern coating apparatus in accordance with the alignment mark, and the light emitting layer forming coating solution is aligned with the pattern of the first electrode formed as shown in FIG. 4 while being held by the holding means. It formed with the wet pattern coating device. The electron transport layer was formed by applying and drying the following electron transport layer forming coating solution by a wet coating method using an extrusion coating machine, followed by heat treatment.

正孔輸送層形成用塗布液を塗布する前に、帯状可撓性支持体の洗浄表面改質処理を、波長184.9nmの低圧水銀ランプを使用し、照射強度15mW/cm2、距離10mmで実施した。帯電除去処理は、微弱X線による除電器を使用し行った。 Before applying the coating liquid for forming the hole transport layer, the surface of the belt-like flexible support is subjected to a cleaning surface modification treatment using a low-pressure mercury lamp with a wavelength of 184.9 nm at an irradiation intensity of 15 mW / cm 2 and a distance of 10 mm. Carried out. The charge removal treatment was performed using a static eliminator with weak X-rays.

正孔輸送層形成用塗布液は乾燥後の厚みが50nmになるように塗布した。発光層形成用塗布液は乾燥後の厚みが100nmになるように塗布した。   The coating liquid for forming the hole transport layer was applied so that the thickness after drying was 50 nm. The light emitting layer forming coating solution was applied so that the thickness after drying was 100 nm.

電子輸送層形成用塗布液は乾燥後の厚みが30nmになるように塗布した。尚、搬送速度は2m/minで実施した。   The coating solution for forming an electron transport layer was applied so that the thickness after drying was 30 nm. The conveyance speed was 2 m / min.

(塗布条件)
正孔輸送層形成用塗布液、発光層形成用塗布液及び電子輸送層形成用塗布液の塗布温度を25℃とし、乾燥装置及び加熱処理装置は除き他の環境温度は25℃で大気圧条件で行った。
(Application conditions)
The coating temperature of the hole transport layer forming coating solution, the light emitting layer forming coating solution, and the electron transport layer forming coating solution is 25 ° C., and the ambient temperature is 25 ° C. except for the drying device and the heat treatment device. I went there.

(乾燥及び加熱処理条件)
正孔輸送層形成用塗布液を塗布した後、乾燥部ではスリットノズル形式の吐出口から製膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/s、幅手の風速分布5%、温度100℃で溶媒を除去した後、引き続き、加熱処理装置で温度200℃で裏面伝熱方式の熱処理を行い正孔輸送層を形成した。
(Drying and heat treatment conditions)
After applying the hole transport layer forming coating solution, the height of the drying part from the slit nozzle type discharge port to the film forming surface is 100 mm, discharge air velocity is 1 m / s, width air velocity distribution is 5%, and temperature is 100 ° C. After removing the solvent, the back surface heat transfer type heat treatment was subsequently performed at a temperature of 200 ° C. with a heat treatment apparatus to form a hole transport layer.

発光層形成用塗布液を塗布した後、乾燥部ではスリットノズル形式の吐出口から製膜面に向け高さ100mm、温度60℃で溶媒を除去した後、引き続き、加熱処理部で温度220℃で加熱処理を行い発光層を形成した。   After applying the light emitting layer forming coating solution, the drying unit removes the solvent from the slit nozzle type discharge port toward the film forming surface at a height of 100 mm and at a temperature of 60 ° C., and then at the heat treatment unit at a temperature of 220 ° C. Heat treatment was performed to form a light emitting layer.

(正孔輸送層形成用塗布液の準備)
ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer社製 Bytron P AI 4083)を純水で65%、メタノール5%で希釈した溶液を正孔輸送層形成用塗布液として準備した。
(Preparation of coating solution for hole transport layer formation)
A solution prepared by diluting polyethylene dioxythiophene / polystyrene sulfonate (PEDOT / PSS, Baytron P AI 4083 manufactured by Bayer) with pure water at 65% and methanol at 5% was prepared as a coating solution for forming a hole transport layer.

(発光層形成用塗布液の準備)
青色発光層形成用塗布液の準備
ホスト材のポリビニルカルバゾール(PVK)にドーパント材Fir(pic)3を5質量%を1,2−ジクロロエタン中に溶解し1%溶液とし有機化合物層形成用塗布液として準備した。
(Preparation of light emitting layer forming coating solution)
Preparation of a coating solution for forming a blue light emitting layer A coating material for forming an organic compound layer by dissolving 5% by mass of a dopant material Fir (pic) 3 in 1,2-dichloroethane in polyvinyl carbazole (PVK) as a host material. Prepared as.

緑色発光層形成用塗布液の準備
ホスト材のポリビニルカルバゾール(PVK)にドーパント材Ir(ppy)3を5質量%を1,2−ジクロロエタン中に溶解し1%溶液とし有機化合物層形成用塗布液として準備した。
Preparation of coating solution for green light emitting layer formation Coating material solution for forming organic compound layer by dissolving 5% by mass of dopant material Ir (ppy) 3 in 1,2-dichloroethane in polyvinylcarbazole (PVK) as a host material Prepared as.

赤色発光層形成用塗布液の準備
ホスト材のポリビニルカルバゾール(PVK)にドーパント材Btc2Ir(acac)3を5質量%を1,2−ジクロロエタン中に溶解し1%溶液とし有機化合物層形成用塗布液として準備した。
Preparation of coating solution for forming red light-emitting layer 5% by mass of dopant material Btc 2 Ir (acac) 3 is dissolved in 1,2-dichloroethane in polyvinyl carbazole (PVK) as a host material to form a 1% solution for forming an organic compound layer Prepared as a coating solution.

(電子輸送層の形成)
図3に示す製造装置を使用し、発光層までが形成された帯状可撓性支持体を使用し、発光層を含め正孔輸送層が形成された領域に、電子輸送層形成用材料としてLiFを使用し、5×10-4Paの真空下にて電子輸送層形成気相堆積装置でLiFを蒸着した。
(Formation of electron transport layer)
Using the manufacturing apparatus shown in FIG. 3, a band-like flexible support having the light emitting layer formed thereon is used, and in the region where the hole transport layer including the light emitting layer is formed, LiF is used as the electron transport layer forming material. LiF was vapor-deposited with an electron transport layer forming vapor deposition apparatus under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa.

(第2電極の形成)
図3に示す製造装置を使用し、電子輸送層までが形成された帯状可撓性支持体を使用し、電子輸送層の上に第1電極と直交する方向で、第2電極形成用材料としてAlを使用し、5×10-4Paの真空下にて第2電極形成気相堆積装置でAlを蒸着した。
(Formation of second electrode)
Using the manufacturing apparatus shown in FIG. 3, using a belt-like flexible support formed up to the electron transport layer, as a second electrode forming material in a direction perpendicular to the first electrode on the electron transport layer Al was vapor-deposited with a second electrode forming vapor deposition apparatus under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa using Al.

(シール剤の塗設)
図3に示す製造装置を使用し、シール剤として紫外線硬化型の液状シール剤(ThreeBond3124C(株)スリーボンド製)を使用し、帯状可撓性支持体上の第1電極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第2電極が積層され形成されたディバイスに、図7に示されるシール剤塗設装置により図6の(b)に示される様に発光領域にシール剤を塗設し、有機EL素子Aとし、図6の(c)に示される様に発光領域の周囲にシール剤を塗設し、有機EL素子Bとした。シール剤の粘度は270Pa・sであった。シール剤は発光領域に厚さ60μm、発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。
(可撓性封止部材の準備)
表1に示すように封止時の吸水率が異なる可撓性封止部材を準備しNo.1−1〜1−7とした。尚、準備した可撓性封止部材は、樹脂基材としてPEN、バリア層としてシリカを使用した2層構成とした。吸水率の変化は、可撓性封止部材を乾燥処理し、オーブンで加熱温度、加熱時間を変えることにより調整した。吸水率の測定はASTM D570に準じて測定した。樹脂基材の厚さ100μm、バリア層の厚さ300nmとした。JIS K−7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・dayであった。JIS K−7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した酸素透過度は0.01ml/m2・day・atmであった。
(Coating with sealant)
Using the manufacturing apparatus shown in FIG. 3, an ultraviolet curable liquid sealant (manufactured by ThreeBond 3124C, manufactured by Three Bond Co., Ltd.) is used as the sealant, and the first electrode, the hole transport layer, and the light emission on the belt-like flexible support. A device in which the layer, the electron transport layer and the second electrode are laminated and formed is coated with a sealant in the light emitting region as shown in FIG. 6B by a sealant coating device shown in FIG. As shown in FIG. 6C, the organic EL element A was coated with a sealant around the light emitting region to obtain an organic EL element B. The viscosity of the sealing agent was 270 Pa · s. The sealant was applied to the light emitting region so as to have a thickness of 60 μm and around the light emitting region so as to have a thickness of 300 μm and a width of 500 μm.
(Preparation of flexible sealing member)
As shown in Table 1, flexible sealing members having different water absorption rates at the time of sealing were prepared. 1-1 to 1-7. The prepared flexible sealing member has a two-layer structure using PEN as a resin base material and silica as a barrier layer. The change in water absorption was adjusted by drying the flexible sealing member and changing the heating temperature and heating time in an oven. The water absorption was measured according to ASTM D570. The thickness of the resin substrate was 100 μm, and the thickness of the barrier layer was 300 nm. The water vapor permeability measured by the MOCON method by a method based on the JIS K-7129B method (1992) was 0.01 g / m 2 · day. The oxygen permeability measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K-7126B method (1987) was 0.01 ml / m 2 · day · atm.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

(有機ELパネルの作製)
シール剤を塗設した第2電極までが形成された有機EL素子A、有機EL素子Bを使用し、表1に示す様に吸水率を変えた各可撓性封止部材No.1−1〜1−7を図7に示す貼合部で貼合した後、可撓性封止部材の不要箇所を帯状可撓性支持体上に付けられたアライメントマークを検出しながら図8に示す打ち抜き断裁装置で打ち抜き除去し有機ELパネル(複数の有機ELパネルが帯状可撓性支持体上に形成された状態(図8を参照))を作製し試料No.101〜114とした。
(Production of organic EL panel)
Using the organic EL element A and the organic EL element B formed up to the second electrode coated with the sealing agent, as shown in Table 1, each flexible sealing member No. After laminating 1-1 to 1-7 at the laminating portion shown in FIG. 7, while detecting the alignment mark attached on the belt-like flexible supporter for unnecessary portions of the flexible sealing member, FIG. An organic EL panel (a state in which a plurality of organic EL panels are formed on a strip-shaped flexible support (see FIG. 8)) is produced by punching and removing with a punching and cutting apparatus shown in FIG. 101-114.

評価
作製した各試料No.101〜114(複数の有機ELパネルが帯状可撓性支持体上に形成された状態(図8を参照))から断裁し単体の有機ELパネルを作製し、温度60℃、湿度90%RHの条件で300時間保存した後、ダークスポット(発光ムラ)の発生の有り無しを以下に示す試験方法により試験し、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表2に示す。
Evaluation Each sample No. 101-114 (a state in which a plurality of organic EL panels are formed on a strip-shaped flexible support (see FIG. 8)) is cut to produce a single organic EL panel having a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90% RH. After storing for 300 hours under the conditions, the presence or absence of the occurrence of dark spots (light emission unevenness) was tested by the test method shown below, and the results of evaluation according to the evaluation rank shown below are shown in Table 2.

ダークスポット(発光ムラ)の試験方法
KEITHLEY製ソースメジャーユニット2400型を用いて、直流電圧を有機EL素子に印加し発光させた。200cdで発光させた発光素子について、50倍の顕微鏡でダークスポット(発光ムラ)が生じるかを観察した。
Test method of dark spot (light emission unevenness) Using a source measure unit 2400 made by KEITHLEY, a direct current voltage was applied to the organic EL element to emit light. With respect to the light emitting element that emits light at 200 cd, it was observed whether a dark spot (light emission unevenness) occurred with a 50 × microscope.

ダークスポット(発光ムラ)の評価ランク
◎:9割以上が均一に発光している
○:8割以上が均一に発光している
△:7割以上が均一に発光している
×:7割未満しか均一に発光していない
Evaluation rank of dark spot (light emission unevenness) ◎: 90% or more emits uniformly ○: 80% or more emits uniformly △: 70% or more emits uniformly ×: Less than 70% Only emits light uniformly

Figure 2007073332
Figure 2007073332

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例2
図4に示す製造装置で、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第2電極、封止部材を基板上にこの順で形成した有機EL素子を作製した。
Example 2
With the manufacturing apparatus shown in FIG. 4, an organic EL element in which a first electrode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, a second electrode, and a sealing member were formed in this order on a substrate was produced.

(有機EL素子の作製)
(基板の準備)
基板として厚さ1.1mm、幅40mm、長さ60mmソーダ石灰ガラスを準備した。尚、ソーダ石灰ガラスの全面には、酸やアルカリから保護するためのシリカコートしたものを使用した。
(Production of organic EL element)
(Preparation of substrate)
A soda-lime glass having a thickness of 1.1 mm, a width of 40 mm, and a length of 60 mm was prepared as a substrate. In addition, the surface of the soda-lime glass used was a silica-coated glass for protection from acid and alkali.

(第1電極の形成)
準備したガラス基板を波長184.2nmの低圧水銀ランプを使用し、照射強度15mW/cm2で、距離12mmで照射し洗浄を行った。この後、図4に示す第1電極形成気相堆積装置を使用し、5×10-4Paの真空下にてインジウムチンオキシド(ITO)を使用し、準備したガラス基板の堆積膜形成領域(第1電極形成領域)に、図5の(b)に示すように1つの有機EL素子を形成するため、図6に示す様に幅2mm、長さ50mm、間隔2mm、厚さ150nm、7列のパターン化した第1電極を形成した。
(Formation of the first electrode)
The prepared glass substrate was cleaned by irradiation at a distance of 12 mm with an irradiation intensity of 15 mW / cm 2 using a low-pressure mercury lamp having a wavelength of 184.2 nm. Thereafter, using the first electrode forming vapor deposition apparatus shown in FIG. 4 and using indium tin oxide (ITO) under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa, the deposited film forming region ( In order to form one organic EL element as shown in FIG. 5B in the first electrode formation region), as shown in FIG. 6, the width is 2 mm, the length is 50 mm, the interval is 2 mm, the thickness is 150 nm, and the seven rows. The patterned first electrode was formed.

(正孔輸送層の形成)
第1電極が形成されたガラス基板を使用し、5×10-4Paの真空下にて正孔輸送層形成気相堆積装置で正孔輸送層形成用材料としてN,N′−ジフェニルーN,N′−m−トリル4,4′−ジアミノー1,1′−ビフェニルを使用し、ガラス基板上に形成された第1電極の一方の端部を除き第1電極の上に、蒸着(気相堆積)した。
(Formation of hole transport layer)
Using a glass substrate on which the first electrode is formed, N, N′-diphenyl-N, as a hole transport layer forming material in a hole transport layer forming vapor deposition apparatus under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa, Using N′-m-tolyl 4,4′-diamino-1,1′-biphenyl, vapor deposition (vapor phase) is formed on the first electrode except for one end of the first electrode formed on the glass substrate. Deposited).

(発光層の形成)
正孔輸送層が形成された各ガラス基板を使用し、正孔輸送層の上に第1電極のパターに合わせ、発光層形成用材料としてAlq3を使用し、5×10-4Paの真空下にて発光層形成気相堆積装置で蒸着した。
(Formation of light emitting layer)
Using each glass substrate on which the hole transport layer is formed, aligning with the pattern of the first electrode on the hole transport layer, using Alq 3 as the light emitting layer forming material, and a vacuum of 5 × 10 −4 Pa Below, it vapor-deposited with the light emitting layer formation vapor deposition apparatus.

(電子輸送層の形成)
発光層が形成されたガラス基板を使用し、発光層を含め正孔輸送層が形成された領域に、電子輸送層形成用材料としてLiFを使用し、5×10-4Paの真空下にて電子輸送層形成気相堆積装置でLiFを蒸着した。
(Formation of electron transport layer)
Using a glass substrate on which a light emitting layer is formed, using LiF as a material for forming an electron transport layer in a region where a hole transport layer is formed including the light emitting layer, under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa LiF was deposited using an electron transport layer forming vapor deposition apparatus.

(第2電極の形成)
電子輸送層が形成されたガラス基板を使用し、電子輸送層の上に第1電極と直交する方向で、第2電極形成用材料としてAlを使用し、5×10-4Paの真空下にて第2電極形成気相堆積装置でAlを蒸着した。尚、形成した第2電極は、幅2mm、長さ35mm、間隔2mm、厚さ150nm、10列のパターンとした。
(Formation of second electrode)
Using a glass substrate on which an electron transport layer is formed, using Al as the second electrode forming material in a direction perpendicular to the first electrode on the electron transport layer, and under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa Then, Al was vapor-deposited by a second electrode forming vapor deposition apparatus. The formed second electrode had a width of 2 mm, a length of 35 mm, an interval of 2 mm, a thickness of 150 nm, and a 10-row pattern.

(液状シール剤の塗設)
図4に示す製造装置を使用し、シール剤として紫外線硬化型の液状シール剤(ThreeBond3124C(株)スリーボンド製)を使用し、帯状可撓性支持体上の第1電極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第2電極が積層され形成された有機EL素子に、図9に示されるシール剤塗設装置により図6の(b)に示される様に発光領域にシール剤を塗設し、有機EL素子Cとし、図6の(c)に示される様に発光領域の周囲にシール剤を塗設し、有機EL素子Dとした。シール剤の粘度は270Pa・sであった。尚、シール剤は発光領域に厚さ60μm、発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。
(可撓性封止部材の準備)
表3に示すように封止時の吸水率が異なる可撓性封止部材を準備しNo.2−1〜2−7とした。尚、準備した可撓性封止部材は、樹脂基材としてPEN、バリア層としてアルミ箔を使用した2層構成とした。吸水率の変化は、可撓性封止部材を乾燥処理し、オーブンで加熱温度、加熱時間を変えることにより調整した。水分量の測定はASTM D570に準じて測定した。樹脂基材の厚さ100μm、バリア層の厚さ7μmとした。
JIS K−7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・dayであった。
JIS K7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した酸素透過度は0.01ml/m2・day・atmであった。
(Coating with liquid sealant)
Using the manufacturing apparatus shown in FIG. 4, an ultraviolet curable liquid sealant (manufactured by ThreeBond 3124C, manufactured by Three Bond Co., Ltd.) is used as the sealant, and the first electrode, the hole transport layer, and the light emission on the belt-like flexible support. As shown in FIG. 6 (b), a sealing agent is applied to the light emitting region on the organic EL element formed by laminating the layer, the electron transport layer, and the second electrode, as shown in FIG. 6 (b). Then, an organic EL element C was formed, and a sealant was applied around the light emitting region as shown in FIG. The viscosity of the sealing agent was 270 Pa · s. The sealing agent was applied so that the light emitting region had a thickness of 60 μm, and the periphery of the light emitting region had a thickness of 300 μm and a width of 500 μm.
(Preparation of flexible sealing member)
As shown in Table 3, flexible sealing members having different water absorption rates at the time of sealing were prepared. 2-1 to 2-7. The prepared flexible sealing member has a two-layer configuration using PEN as a resin base material and aluminum foil as a barrier layer. The change in water absorption was adjusted by drying the flexible sealing member and changing the heating temperature and heating time in an oven. The water content was measured according to ASTM D570. The thickness of the resin substrate was 100 μm, and the thickness of the barrier layer was 7 μm.
The water vapor permeability measured by the MOCON method by a method based on the JIS K-7129B method (1992) was 0.01 g / m 2 · day.
The oxygen permeability measured mainly by the MOCON method by a method based on JIS K7126B method (1987) was 0.01 ml / m 2 · day · atm.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

(有機ELパネルの作製)
シール剤を塗設した第2電極までが形成された有機EL素子C、有機EL素子Dを使用し、表1に示す様に吸水率を変えた各可撓性封止部材No.2−1〜2−7を図9に示す貼合部で貼合した後、可撓性封止部材の不要箇所を帯状可撓性支持体上に付けられたアライメントマークを検出しながら図9に示す打ち抜き断裁装置で打ち抜き除去し有機ELパネルを作製し試料No.201〜214とした。
(Production of organic EL panel)
Using the organic EL element C and the organic EL element D formed up to the second electrode coated with the sealing agent, as shown in Table 1, each flexible sealing member No. After bonding 2-1 to 2-7 with the bonding part shown in FIG. 9, while detecting the alignment mark attached on the strip | belt-shaped flexible support body to the unnecessary location of a flexible sealing member, FIG. An organic EL panel is manufactured by punching and removing with a punching and cutting apparatus shown in FIG. 201-214.

(評価)
作製した各試料No.201〜214を温度60℃、湿度90%RHの条件で300時間保存した後、ダークスポット(発光ムラ)の発生の有り無しを実施例1と同じ試験方法により試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表4に示す。
(Evaluation)
Each prepared sample No. 201 to 214 were stored for 300 hours under conditions of a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90% RH, and then the presence or absence of dark spots (light emission unevenness) was tested by the same test method as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results of evaluation according to the rank are shown in Table 4.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例3
(有機EL素子の作製)
実施例1と同じ材料を使用し、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第2電極がこの順番で帯状可撓性支持体上に積層され形成された有機EL素子を作製した。
Example 3
(Production of organic EL element)
An organic EL element using the same material as in Example 1 and having a first electrode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and a second electrode laminated in this order on a belt-like flexible support. Produced.

(シール剤の塗設)
図3に示す製造装置を使用し、シール剤として紫外線硬化型の液状シール剤(ThreeBond3124C(株)スリーボンド製)を使用し、準備した有機EL素子に、図7に示されるシール剤塗設装置により、図6の(c)に示される様に発光領域の周囲にシール剤を塗設した。シール剤の粘度は270Pa・sであった。シール剤は発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。
(Coating with sealant)
Using the manufacturing apparatus shown in FIG. 3, an ultraviolet curable liquid sealant (manufactured by ThreeBond 3124C, manufactured by ThreeBond Co., Ltd.) is used as the sealant, and the prepared organic EL element is subjected to the sealant coating apparatus shown in FIG. 7. As shown in FIG. 6C, a sealant was applied around the light emitting region. The viscosity of the sealing agent was 270 Pa · s. The sealing agent was coated around the light emitting region so as to have a thickness of 300 μm and a width of 500 μm.

(可撓性封止部材の準備)
表5に示すように大気圧(20℃、65%RH)における平衡吸水率が異なる可撓性封止部材を準備しNo.3−1〜3−8とした。尚、準備した可撓性封止部材は、樹脂基材と、バリア層としてシリカを使用した2層構成とした。平衡吸水率の変化は、樹脂基板の材質、樹脂材料の密度、分子量分布の調整、異種樹脂材料との共押出しによる多層化、延伸角度を変えて貼り合せた多層化の条件を変えることにより調整した。平衡吸水率の測定は、準備した可撓性封止部材を大気中(20℃、65%RH)に100時間放置した後に、ASTM D570に準じて測定した。樹脂基材の厚さ100μm、バリア層の厚さ300nmとした。準備した可撓性封止部材をオーブンで加熱温度105℃、加熱時間20時間で乾燥処理した後、ASTM D570に準じて測定した吸水率は0.2%〜0.8%であった。
(Preparation of flexible sealing member)
As shown in Table 5, flexible sealing members having different equilibrium water absorption at atmospheric pressure (20 ° C., 65% RH) were prepared. 3-1 to 3-8. In addition, the prepared flexible sealing member was made into the 2 layer structure which used the resin base material and the silica as a barrier layer. Changes in the equilibrium water absorption rate are adjusted by changing the conditions of the resin substrate material, resin material density, molecular weight distribution, multilayering by coextrusion with different types of resin materials, and multilayering by changing the stretching angle. did. The equilibrium water absorption was measured according to ASTM D570 after leaving the prepared flexible sealing member in the atmosphere (20 ° C., 65% RH) for 100 hours. The thickness of the resin substrate was 100 μm, and the thickness of the barrier layer was 300 nm. After the prepared flexible sealing member was dried in an oven at a heating temperature of 105 ° C. and a heating time of 20 hours, the water absorption measured according to ASTM D570 was 0.2% to 0.8%.

JIS K−7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・dayであった。 The water vapor permeability measured by the MOCON method by a method based on the JIS K-7129B method (1992) was 0.01 g / m 2 · day.

JIS K−7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した酸素透過度は0.01ml/m2・day・atmであった。 The oxygen permeability measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K-7126B method (1987) was 0.01 ml / m 2 · day · atm.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

(有機ELパネルの作製)
シール剤を塗設した第2電極までが形成された帯状可撓性支持体を使用し、表5に示す様に平衡吸水率を変えた各可撓性封止部材No.3−1〜3−8を図7に示す貼合部で貼合した後、可撓性封止部材の不要箇所を帯状可撓性支持体上に付けられたアライメントマークを検出しながら図8に示す打ち抜き断裁装置で打ち抜き除去し有機EL素子(複数の有機EL素子が帯状可撓性支持体上に形成された状態(図8を参照))を作製し試料No.301〜308とした。
(評価)
作製した各試料No.301〜308(複数の有機EL素子が帯状可撓性支持体上に形成された状態(図8を参照))から断裁し単体の有機EL素子を作製し、温度60℃、湿度90%RHの条件で300時間保存した後、ダークスポット(発光ムラ)の発生の有り無しを実施例1と同じ試験方法により試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表6に示す。
(Production of organic EL panel)
Each flexible sealing member No. 1 using a strip-like flexible support on which a second electrode coated with a sealant was formed and having a different equilibrium water absorption rate as shown in Table 5 was used. After bonding 3-1 to 3-8 at the bonding part shown in FIG. 7, while detecting the alignment mark attached on the strip-shaped flexible supporter to the unnecessary part of the flexible sealing member, FIG. An organic EL element (a state in which a plurality of organic EL elements are formed on a belt-like flexible support (see FIG. 8)) is manufactured by punching and removing with a punching and cutting apparatus shown in FIG. 301 to 308.
(Evaluation)
Each prepared sample No. 301 to 308 (a state in which a plurality of organic EL elements are formed on a strip-like flexible support (see FIG. 8)) is cut to produce a single organic EL element having a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90% RH. After storage for 300 hours under the conditions, the presence or absence of dark spots (light emission unevenness) was tested by the same test method as in Example 1, and the results evaluated according to the same evaluation rank as in Example 1 are shown in Table 6.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例4
(有機EL素子の作製)
〈第1電極層を有する可撓性多層樹脂部材の準備〉
基板として、表7に示すように可撓性封止部材により封止する時の吸水率が異なる可撓性多層樹脂部材を準備しNo.4−1〜4−7とした。尚、準備した可撓性多層樹脂部材は、樹脂基材としてPEN、バリア層としてシリカを使用した2層構成とした。吸水率の変化は、可撓性多層樹脂部材を乾燥処理し、オーブンで加熱温度、加熱時間を変えることにより調整した。準備した可撓性多層樹脂部材No.4−1〜4−7につき、各々2部材づつ準備し、片方をパネル化しもう片方を封止直前に取り出し封止時の吸水率を測定した。吸水率の測定はASTM D570に準じて測定した。樹脂基材の厚さ100μm、バリア層の厚さ300nmとした。JIS K−7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・dayであった。JIS K−7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した酸素透過度は0.01ml/m2・day・atmであった。
Example 4
(Production of organic EL element)
<Preparation of flexible multilayer resin member having first electrode layer>
As the substrate, as shown in Table 7, flexible multilayer resin members having different water absorption rates when sealed with a flexible sealing member were prepared. 4-1 to 4-7. The prepared flexible multilayer resin member has a two-layer structure using PEN as a resin base material and silica as a barrier layer. The change in water absorption was adjusted by drying the flexible multilayer resin member and changing the heating temperature and heating time in an oven. The prepared flexible multilayer resin member No. For each of 4-1 to 4-7, two members were prepared, one side was made into a panel, the other side was taken out just before sealing, and the water absorption rate at the time of sealing was measured. The water absorption was measured according to ASTM D570. The thickness of the resin substrate was 100 μm, and the thickness of the barrier layer was 300 nm. The water vapor permeability measured by the MOCON method by a method based on the JIS K-7129B method (1992) was 0.01 g / m 2 · day. The oxygen permeability measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K-7126B method (1987) was 0.01 ml / m 2 · day · atm.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

(有機ELパネルの作製)
準備した各可撓性多層樹脂部材No.4−1〜4−7のバリア層の上に実施例1と同じ材料を使用し、同じ方法で第1電極層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び第2電極を順次積層した後、シール剤を図7に示されるシール剤塗設装置により図6の(b)に示される様に発光領域にシール剤を塗設し、有機EL素子Eとし、図6の(c)に示される様に発光領域の周囲にシール剤を塗設し、有機EL素子Fとした。シール剤の粘度は270Pa・sであった。シール剤は発光領域に厚さ60μm、発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。この後、シール剤を塗設した第2電極までが形成された有機EL素子E、有機EL素子Fを使用し、下記に示す可撓性封止部材を貼合した後、実施例1と同じ方法で可撓性封止部材の不要箇所を打ち抜き除去し有機ELパネル(複数の有機ELパネルが帯状可撓性支持体上に形成された状態(図8を参照))を作製し試料No.401〜414とした。
(Production of organic EL panel)
Each of the prepared flexible multilayer resin members No. The same material as that of Example 1 was used on the barrier layers 4-1 to 4-7, and the first electrode layer, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer, and the second electrode were sequentially laminated in the same manner. Thereafter, the sealing agent is applied to the light emitting region as shown in FIG. 6 (b) by the sealing agent coating apparatus shown in FIG. 7 to obtain an organic EL element E, which is shown in FIG. 6 (c). As shown, a sealant was applied around the light emitting region to obtain an organic EL element F. The viscosity of the sealing agent was 270 Pa · s. The sealant was applied to the light emitting region so as to have a thickness of 60 μm and around the light emitting region so as to have a thickness of 300 μm and a width of 500 μm. Then, after using the organic EL element E and the organic EL element F in which even the 2nd electrode coated with the sealing agent was formed and pasting the flexible sealing member shown below, the same as in Example 1 An unnecessary portion of the flexible sealing member is punched and removed by a method to prepare an organic EL panel (a state in which a plurality of organic EL panels are formed on a strip-shaped flexible support (see FIG. 8)). 401 to 414.

可撓性封止部材
準備した可撓性封止部材は、樹脂基材としてPEN、バリア層としてシリカを使用した2層構成とした。吸水率は0.4%とした。尚、吸水率は可撓性封止部材を乾燥処理し、オーブンで加熱温度、加熱時間を変えることにより調整した。吸水率の測定はASTM D570に準じて測定した。樹脂基材の厚さ100μm、バリア層の厚さ300nmとした。JIS K−7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・dayであった。JIS K−7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した酸素透過度は0.01ml/m2・day・atmであった。
Flexible sealing member The prepared flexible sealing member was made into 2 layer structure which used PEN as a resin base material and a silica as a barrier layer. The water absorption was 0.4%. The water absorption was adjusted by drying the flexible sealing member and changing the heating temperature and heating time in an oven. The water absorption was measured according to ASTM D570. The thickness of the resin substrate was 100 μm, and the thickness of the barrier layer was 300 nm. The water vapor permeability measured by the MOCON method by a method based on the JIS K-7129B method (1992) was 0.01 g / m 2 · day. The oxygen permeability measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K-7126B method (1987) was 0.01 ml / m 2 · day · atm.

評価
作製した各試料No.401〜414(複数の有機ELパネルが帯状可撓性支持体上に形成された状態(図8を参照))から断裁し単体の有機ELパネルを作製し、ダークスポット(発光ムラ)の発生の有り無しを実施例1と同じ方法で試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表8に示す。
Evaluation Each sample No. 401 to 414 (a state in which a plurality of organic EL panels are formed on a strip-shaped flexible support (see FIG. 8)) is cut to produce a single organic EL panel, and dark spots (light emission unevenness) are generated. Presence or absence was tested by the same method as in Example 1, and the results of evaluation according to the same evaluation rank as in Example 1 are shown in Table 8.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例5
(有機EL素子の作製)
〈第1電極層を有する可撓性多層樹脂部材の準備〉
基板として、表9に示すように大気圧(20℃、65%RH)における平衡吸水率が異なる可撓性多層樹脂部材を準備しNo.5−1〜5−8とした。尚、準備した可撓性多層樹脂部材は、樹脂基材と、バリア層としてシリカを使用した2層構成とした。平衡吸水率の変化は、樹脂基材材質、樹脂材料の密度、分子量分布の調整、異種樹脂材料との共押出しによる多層化、延伸角度を変えて貼り合せた多層化の条件を変えることにより調整した。平衡吸水率の測定は、準備した可撓性多層樹脂部材を大気中(20℃、65%RH)に100時間放置した後に、ASTM D570に準じて測定した。樹脂基材の厚さ100μm、バリア層の厚さ300nmとした。準備した可撓性多層樹脂部材をオーブンで加熱温度105℃、加熱時間20時間で乾燥処理した後、ASTM D570に準じて測定した可撓性封止部材により封止する時の可撓性多層樹脂部材の吸水率は0.8%であった。JIS K−7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・dayであった。JIS K−7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した酸素透過度は0.01ml/m2・day・atmであった。
Example 5
(Production of organic EL element)
<Preparation of flexible multilayer resin member having first electrode layer>
As a substrate, as shown in Table 9, flexible multilayer resin members having different equilibrium water absorption at atmospheric pressure (20 ° C., 65% RH) were prepared. 5-1 to 5-8. The prepared flexible multilayer resin member has a two-layer structure using a resin base material and silica as a barrier layer. Change in equilibrium water absorption is adjusted by changing the conditions of resin base material, density of resin material, molecular weight distribution, multi-layer by co-extrusion with different resin materials, and multi-layer by bonding with different stretching angles. did. The equilibrium water absorption was measured according to ASTM D570 after the prepared flexible multilayer resin member was left in the atmosphere (20 ° C., 65% RH) for 100 hours. The thickness of the resin substrate was 100 μm, and the thickness of the barrier layer was 300 nm. After the prepared flexible multilayer resin member is dried in an oven at a heating temperature of 105 ° C. and a heating time of 20 hours, the flexible multilayer resin member is sealed with a flexible sealing member measured according to ASTM D570. The water absorption rate of the member was 0.8%. The water vapor permeability measured by the MOCON method by a method based on the JIS K-7129B method (1992) was 0.01 g / m 2 · day. The oxygen permeability measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K-7126B method (1987) was 0.01 ml / m 2 · day · atm.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

(有機ELパネルの作製)
準備した各可撓性多層樹脂部材No.5−1〜5−8のバリア層の上に実施例1と同じ材料を使用し、同じ方法で第1電極層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び第2電極を順次積層した後、シール剤を図7に示されるシール剤塗設装置により図6の(b)に示される様に発光領域にシール剤を塗設し、有機EL素子とした。シール剤の粘度は270Pa・sであった。シール剤は発光領域に厚さ60μm、発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。この後、シール剤を塗設した第2電極までが形成された有機EL素子を使用し、実施例4と同じ可撓性封止部材を貼合した後、実施例1と同じ方法で可撓性封止部材の不要箇所を打ち抜き除去し有機ELパネル(複数の有機ELパネルが帯状可撓性支持体上に形成された状態(図8を参照))を作製し試料No.501〜508とした。
(Production of organic EL panel)
Each of the prepared flexible multilayer resin members No. The same material as that of Example 1 was used on the barrier layers 5-1 to 5-8, and the first electrode layer, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer, and the second electrode were sequentially laminated in the same manner. Thereafter, the sealing agent was applied to the light emitting region as shown in FIG. 6B by a sealing agent coating apparatus shown in FIG. 7 to obtain an organic EL element. The viscosity of the sealing agent was 270 Pa · s. The sealant was applied to the light emitting region so as to have a thickness of 60 μm and around the light emitting region so as to have a thickness of 300 μm and a width of 500 μm. Then, after using the organic EL element in which even the 2nd electrode which apply | coated the sealing agent was formed, the flexible sealing member same as Example 4 was bonded, and it is flexible by the same method as Example 1. An unnecessary portion of the conductive sealing member is punched and removed to prepare an organic EL panel (a state in which a plurality of organic EL panels are formed on a strip-like flexible support (see FIG. 8)). 501-508.

評価
作製した各試料No.501〜508(複数の有機ELパネルが帯状可撓性支持体上に形成された状態(図8を参照))から断裁し単体の有機ELパネルを作製し、ダークスポット(発光ムラ)の発生の有り無しを実施例1と同じ方法で試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表10に示す。
Evaluation Each sample No. 501 to 508 (a state in which a plurality of organic EL panels are formed on a strip-like flexible support (see FIG. 8)) is cut to produce a single organic EL panel, and dark spots (light emission unevenness) are generated. Presence or absence was tested by the same method as in Example 1, and the results of evaluation according to the same evaluation rank as in Example 1 are shown in Table 10.

Figure 2007073332
Figure 2007073332

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

有機ELパネルの層構成の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the laminated constitution of an organic electroluminescent panel. 図1のTで示される部分の拡大概略断面図である。It is an expansion schematic sectional drawing of the part shown by T of FIG. 基材に帯状可撓性支持体を使用した場合の有機ELパネルを作製する工程の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the process of producing the organic electroluminescent panel at the time of using a strip | belt-shaped flexible support body for a base material. 枚葉シート状基板を使用した有機ELパネルの製造方法の模式図である。It is a schematic diagram of the manufacturing method of the organic electroluminescent panel which uses a sheet | seat sheet-like board | substrate. 基板上に形成された有機EL素子の状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state of the organic EL element formed on the board | substrate. シーラント層(シール剤)を持たない可撓性封止部材を有機EL素子上に貼合するためにシール剤を塗設した状態を示す概略図である。It is the schematic which shows the state which coated the sealing agent in order to bond the flexible sealing member which does not have a sealant layer (sealing agent) on an organic EL element. 図3のQで示される部分の拡大概略図である。図7の(a)は図3のQで示される部分の拡大概略斜視図である。FIG. 4 is an enlarged schematic view of a portion indicated by Q in FIG. 3. FIG. 7A is an enlarged schematic perspective view of a portion indicated by Q in FIG. 図3のRで示される部分の拡大概略斜視図である。It is an expansion schematic perspective view of the part shown by R of FIG. 図4のSで示される部分の拡大概略図である。FIG. 5 is an enlarged schematic view of a portion indicated by S in FIG. 4.

符号の説明Explanation of symbols

1 有機ELパネル
101 基材
102 陽極層
103 正孔輸送層(正孔注入層)
104 有機化合物層(発光層)
105 電子注入層
106 陰極層
107 シール剤層
108 封止層
108a 樹脂基材
108b バリア層
108′ 可撓性封止部材
2、8 製造装置
3 有機化合物層形成工程
4 陰極層形成工程
5 可撓性封止部材貼合工程
6、8i 打ち抜き断裁工程
7、8j 回収工程
8a 供給工程
8b 第1電極形成工程
8c 正孔輸送層形成工程
8d 発光層形成工程
8e 電子注入層形成工程
8f 第2電極形成工程
8g シール剤塗設工程
8h 可撓性封止部材貼合工程
10b、11b、301i1 有機EL素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic electroluminescent panel 101 Base material 102 Anode layer 103 Hole transport layer (hole injection layer)
104 Organic compound layer (light emitting layer)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 105 Electron injection layer 106 Cathode layer 107 Sealant layer 108 Sealing layer 108a Resin base material 108b Barrier layer 108 'Flexible sealing member 2, 8 Manufacturing apparatus 3 Organic compound layer formation process 4 Cathode layer formation process 5 Flexibility Sealing member bonding step 6, 8i Punching and cutting step 7, 8j Recovery step 8a Supply step 8b First electrode formation step 8c Hole transport layer formation step 8d Light emitting layer formation step 8e Electron injection layer formation step 8f Second electrode formation step 8g Sealant coating process 8h Flexible sealing member bonding process 10b, 11b, 301i1 Organic EL element

Claims (10)

基板上に、少なくとも第1電極を含む陽極層と、発光層を含む有機化合物層と、第2電極を含む陰極層と、封止層とを有する有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、
前記封止層は少なくとも一層の樹脂基材と少なくとも1層のバリア層とを有する可撓性封止部材で構成され、
前記可撓性封止部材の封止時のASTM D570に準じて測定した吸水率が1.0%以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。
In an organic electroluminescence panel having an anode layer including at least a first electrode, an organic compound layer including a light emitting layer, a cathode layer including a second electrode, and a sealing layer on a substrate,
The sealing layer is composed of a flexible sealing member having at least one resin base material and at least one barrier layer,
An organic electroluminescence panel characterized by having a water absorption of 1.0% or less measured according to ASTM D570 when the flexible sealing member is sealed.
前記可撓性封止部材の大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率が2.0%以下であることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。 2. The organic electroluminescence panel according to claim 1, wherein the flexible sealing member has an equilibrium water absorption of 2.0% or less in the atmosphere (20 ° C., 65% RH). 前記基板が、少なくとも一層の樹脂基材と少なくとも1層のバリア層とを有する可撓性多層樹脂部材であり、可撓性封止部材の封止時の該可撓性多層樹脂部材の吸水率はASTM D570に準じて測定した値が1.0%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。 The substrate is a flexible multilayer resin member having at least one resin base material and at least one barrier layer, and the water absorption rate of the flexible multilayer resin member during sealing of the flexible sealing member The organic electroluminescence panel according to claim 1 or 2, wherein the value measured in accordance with ASTM D570 is 1.0% or less. 前記可撓性多層樹脂部材の大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率が2.0%以下であることを特徴とする請求項3に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。 4. The organic electroluminescence panel according to claim 3, wherein the flexible multilayer resin member has an equilibrium water absorption of 2.0% or less in the atmosphere (20 ° C., 65% RH). 5. 前記バリア層は、少なくとも1層の金属又は非金属の酸化物層とを有していることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。 The organic electroluminescence panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the barrier layer includes at least one metal or non-metal oxide layer. 基板上に、少なくとも第1電極を含む陽極層と、発光層を含む有機化合物層を有する有機エレクトロルミネッセンス層と、第2電極を含む陰極層と封止層とを順次形成する工程を有し、前記封止層の形成は可撓性封止部材を発光領域及び周辺にシール剤を介して貼合配置することで有機エレクトロルミネッセンスパネルを製造する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、
前記可撓性封止部材はバリア層を有する多層構成の樹脂基材であり、
前記可撓性封止部材の封止時のASTM D570に準じて測定した吸水率が1.0%以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
A step of sequentially forming an anode layer including at least a first electrode, an organic electroluminescence layer including an organic compound layer including a light emitting layer, a cathode layer including a second electrode, and a sealing layer on a substrate; In the method for producing an organic electroluminescence panel, the formation of the sealing layer is to produce an organic electroluminescence panel by laminating and arranging a flexible sealing member around a light emitting region and a sealant.
The flexible sealing member is a multi-layered resin base material having a barrier layer,
A method for producing an organic electroluminescence panel, wherein the water absorption measured in accordance with ASTM D570 when the flexible sealing member is sealed is 1.0% or less.
前記可撓性封止部材の大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率が2.0%以下であることを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The method for producing an organic electroluminescence panel according to claim 6, wherein the flexible sealing member has an equilibrium water absorption rate of 2.0% or less in the atmosphere (20 ° C., 65% RH). 前記基板が、少なくとも一層の樹脂基材と少なくとも1層のバリア層とを有する可撓性多層樹脂部材であり、可撓性封止部材の封止時の該可撓性多層樹脂部材の吸水率はASTM D570に準じて測定した値が1.0%以下であることを特徴とする請求項6又は7に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The substrate is a flexible multilayer resin member having at least one resin base material and at least one barrier layer, and the water absorption rate of the flexible multilayer resin member during sealing of the flexible sealing member The value measured according to ASTM D570 is 1.0% or less, The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of Claim 6 or 7 characterized by the above-mentioned. 前記可撓性多層樹脂部材の大気中(20℃、65%RH)における平衡吸水率が2.0%以下であることを特徴とする請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The method for producing an organic electroluminescence panel according to claim 8, wherein the flexible multilayer resin member has an equilibrium water absorption rate of 2.0% or less in the atmosphere (20 ° C., 65% RH). 前記バリア層は、少なくとも1層の金属又は非金属の酸化物層とを有していることを特徴とする請求項6〜9の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The method for manufacturing an organic electroluminescence panel according to any one of claims 6 to 9, wherein the barrier layer includes at least one metal or non-metal oxide layer.
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