JP2007200591A - Organic electro-luminescence panel and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an organic EL (electro-luminescence) panel in which process steps are not increased and performance of an organic EL element is not deteriorated, when a sealing member is adhered with adhesives for manufacturing the organic EL panel to be sealed by adhesion-sealing, and to provide the organic EL panel. <P>SOLUTION: An organic EL element has a first electrode, at least one organic compound layer containing a light emitting layer, and a second electrode on a substrate. The EL element is adhered with the sealing member through the adhesives. The method of manufacturing the organic EL panel includes at least one cleaning process step for cleaning one of the sealing member, the organic EL element, and adhering surfaces of the adhesive; and making the number of foreign substances 100 pieces/cm<SP>2</SP>or less with particle sizes of 1 μm or more which mix in one of the sealing member, the organic EL element, and the adhering surfaces of the adhesive. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は有機エレクトロルミネッセンスパネル(以下、有機ELパネルとも言う)の製造方法及びこの方法により製造された有機ELパネルに関するものである。   The present invention relates to a method for producing an organic electroluminescence panel (hereinafter also referred to as an organic EL panel) and an organic EL panel produced by this method.

近年、有機物質を使用した有機EL素子は、固体発光型の安価な大面積フルカラー表示素子や書き込み光源アレイとしての用途が有望視されており、活発な研究開発が進められている。有機EL素子は、基板上に形成された第1電極(陽極又は陰極)と、その上に積層された有機発光物質を含有する有機化合物層(単層部又は多層部)すなわち発光層と、この発光層上に積層された第2電極(陰極又は陽極)とを有する薄膜型の素子である。この様な有機EL素子に電圧を印加すると、有機化合物層に陰極から電子が注入され陽極から正孔が注入される。この電子と正孔が発光層において再結合し、エネルギー準位が伝導帯から価電子帯に戻る際にエネルギーを光として放出することにより発光が得られることが知られている。   In recent years, organic EL elements using organic substances have been promising for use as solid light-emitting inexpensive, large-area full-color display elements and writing light source arrays, and active research and development have been promoted. The organic EL element includes a first electrode (anode or cathode) formed on a substrate, an organic compound layer (single layer portion or multilayer portion) containing an organic light emitting material laminated thereon, that is, a light emitting layer, It is a thin film type element having a second electrode (cathode or anode) laminated on the light emitting layer. When a voltage is applied to such an organic EL element, electrons are injected from the cathode and holes are injected from the anode into the organic compound layer. It is known that light is obtained by releasing energy as light when the electrons and holes recombine in the light emitting layer and the energy level returns from the conduction band to the valence band.

この様に、有機EL素子は薄膜型の素子であるため、1個又は複数個の有機EL素子を基板上に形成した有機ELパネルをバックライト等の面光源として利用した場合には、面光源を備えた装置を容易に薄型にすることが出来る。又、画素としての有機EL素子を基板上に所定個数形成した有機ELパネルをディスプレイパネルとして用いて表示装置を構成した場合には視認性が高い、視野角依存性がないなど、液晶表示装置では得られない利点がある。   As described above, since the organic EL element is a thin film type element, when an organic EL panel in which one or a plurality of organic EL elements are formed on a substrate is used as a surface light source such as a backlight, a surface light source. It is possible to easily make a device equipped with In addition, when a display device is configured using an organic EL panel in which a predetermined number of organic EL elements as pixels are formed on a substrate as a display panel, the liquid crystal display device has high visibility and no viewing angle dependency. There are benefits that cannot be obtained.

ところで、有機EL素子に用いられる有機発光材料等の有機物は水分や酸素等に弱く性能が劣化し、又電極も、酸化により大気中では特性が急激に劣化すため、これらの劣化を防止するために最上層に封止層を設けて使用しているのが一般的である。   By the way, organic substances such as organic light-emitting materials used in organic EL elements are weak against moisture and oxygen, and their performance deteriorates. Also, the characteristics of electrodes deteriorate rapidly in the atmosphere due to oxidation, so that these deteriorations can be prevented. In general, a sealing layer is provided as the uppermost layer.

有機EL素子の封止方法としてはこれまでに多くの検討がされてきており、ケーシングタイプの封止方法と、密着タイプの封止方法との2つの方法に大別される。   Many studies have been made on the organic EL element sealing method so far, and it is roughly classified into two methods, a casing type sealing method and a close contact type sealing method.

ケーシングタイプの封止方法とは有機EL素子をケース内に入れて外界と遮断し、前記のケース内に有機EL素子と共に所定の封止用の気体又は流体を充填しておくことにより封止する方法である。密着タイプの封止方法とは、基板上に形成されている有機EL素子の背面(基板側からみて有機EL素子の表面)にガラス板等の封止部材を接着剤で面接着することにより封止する方法である。   The casing type sealing method is to seal an organic EL element by placing it in a case and blocking the outside, and filling the case with a predetermined gas or fluid for sealing together with the organic EL element. Is the method. The close-contact type sealing method is a method of sealing by sealing a sealing member such as a glass plate to the back surface of the organic EL element formed on the substrate (the surface of the organic EL element as viewed from the substrate side) with an adhesive. It is a way to stop.

ケーシングタイプの封止方法の場合は、薄型とすることが出来ない、ケース内に封止用気体又は流体を充填するための工程を必要とする、大量生産には不向き等の課題があるため、薄型対応が可能、大量生産が比較的容易、高い封止効果を容易に得ることが可能であることから密着タイプの封止方法が主流となり検討が進められている。   In the case of a casing type sealing method, there are problems such as being unsuitable for mass production, which requires a process for filling the case with a sealing gas or fluid, which cannot be made thin, Since it can be made thin, relatively easy to mass-produce, and can easily obtain a high sealing effect, a close-contact type sealing method has become the mainstream and is being studied.

密着タイプの封止方法としては、例えば、バリア層とJIS K 7210規定のメルトフローレートが5g/10min以上、20g/10min以下の熱可塑性接着性樹脂からなるシーラント層を含む封止フィルムで封止した有機EL素子が知られている(例えば、特許文献1を参照。)。有機EL素子上に接着剤層として、有機EL素子側の接着剤の収縮率を、封止部材側の接着剤の収縮率よりも小さい接着剤を使用し2層とすることで接着剤の硬化収縮による応力の影響を発光素子が受けない様にして封止部材を接着剤で固着する方法が知られている(例えば、特許文献2を参照。)。   As a close-contact type sealing method, for example, sealing with a sealing film including a barrier layer and a sealant layer made of a thermoplastic adhesive resin having a melt flow rate of 5 g / 10 min or more and 20 g / 10 min or less according to JIS K 7210 Such an organic EL element is known (for example, see Patent Document 1). As an adhesive layer on the organic EL element, the adhesive shrinkage of the adhesive on the organic EL element side is set to two layers by using an adhesive smaller than the shrinkage ratio of the adhesive on the sealing member side to cure the adhesive. A method of fixing a sealing member with an adhesive so that the light emitting element is not affected by stress due to shrinkage is known (see, for example, Patent Document 2).

特許文献1、特許文献2に記載の密着タイプの封止方法により、大量生産が比較的容易、接着剤の硬化時の収縮による発光素子へのダメージ軽減、高い封止効果を有した薄型の有機EL素子対応が可能となるのであるが、未だ密着封止(有機エレクトロルミネッセンス素子上への面接着)に起因する発光素子へのダメージが散見され、生産効率が上がらない要因の1つになっており、接着剤の硬化時の収縮による発光素子への影響に対する対応が不十分となっている。   By the close-contact type sealing method described in Patent Document 1 and Patent Document 2, mass production is relatively easy, damage to the light-emitting element due to shrinkage during curing of the adhesive, and a thin organic material having a high sealing effect Although it is possible to deal with EL elements, damage to light-emitting elements due to adhesion sealing (surface adhesion on organic electroluminescence elements) is still seen, which is one of the factors that does not increase production efficiency. Therefore, the response to the influence on the light emitting element due to the shrinkage at the time of curing of the adhesive is insufficient.

この様な状況から、封止材を接着剤を介して固着する密着タイプの封止方法で有機エレクトロルミネッセンス素子(以下有機EL素子とも言う)、を封止した有機ELパネルを製造するために、封止部材を接着剤で固着する時、有機EL素子の性能劣化を生じさせない有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネルの開発が望まれている。尚、本発明では基板上に第一電極と有機層と第二電極まで形成した状態を、有機EL素子と言い、封止部材で密着封止した状態を有機ELパネルと言う。
特開2001−307871号公報 特開2003−109750号公報
From such a situation, in order to manufacture an organic EL panel in which an organic electroluminescence element (hereinafter also referred to as an organic EL element) is sealed by an adhesion type sealing method in which a sealing material is fixed via an adhesive, Development of an organic EL panel manufacturing method and an organic EL panel that do not cause deterioration in performance of the organic EL element when the sealing member is fixed with an adhesive is desired. In the present invention, a state where the first electrode, the organic layer, and the second electrode are formed on the substrate is referred to as an organic EL element, and a state in which the first electrode, the organic layer, and the second electrode are tightly sealed with a sealing member is referred to as an organic EL panel.
JP 2001-307871 A JP 2003-109750 A

本発明は根上記状況を鑑みなされたものであり、その目的は、密着タイプの封止方法で封止した有機ELパネルを製造するために、封止部材を接着剤で固着する時、工程を増やすことなく、有機EL素子の性能劣化を生じさせない有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネルを提供することである。   The present invention has been made in view of the above-mentioned situation, and its purpose is to manufacture an organic EL panel sealed with a close-contact type sealing method, when fixing a sealing member with an adhesive. An object of the present invention is to provide an organic EL panel manufacturing method and an organic EL panel which do not increase the performance of the organic EL element without causing deterioration.

本発明の上記目的は、下記の構成により達成された。   The above object of the present invention has been achieved by the following constitution.

1.基板の上に第1電極と、発光層を含む少なくとも1層の有機化合物層と、第2電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を、接着剤を介して封止部材を貼合する密着封止構造を形成する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、前記封止部材を供給する第1供給工程と、前記有機エレクトロルミネッセンス素子を供給する第2供給工程と、前記接着剤の配置工程と、前記封止部材と前記有機エレクトロルミネッセンス素子とを前記接着剤を介して貼合する貼合工程と、回収工程とを有する製造装置を有し、前記製造装置は、前記第1供給工程又は前記第2供給工程から前記貼合工程の間に少なくとも1つの洗浄工程を有し、前記洗浄工程で、前記封止部材の前記接着剤の配置面、前記封止部材又は前記有機エレクトロルミネッセンス素子に配置された前記接着剤の貼合面、前記有機エレクトロルミネッセンス素子の前記接着剤の配置面の何れかを洗浄することで、前記貼合工程で前記有機エレクトロルミネッセンス素子と前記封止部材とを貼合終了後、前記封止部材と前記接着剤との貼合面、前記接着剤の層中、前記接着剤と前記有機エレクトロルミネッセンス素子との貼合面の何れかに混入する、粒径1μm以上の異物の個数を100個/cm2以下にすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 1. An adhesion sealing structure in which an organic electroluminescence element having a first electrode, at least one organic compound layer including a light-emitting layer, and a second electrode is bonded on a substrate with an adhesive interposed therebetween. In the manufacturing method of the organic electroluminescence panel that forms the first and second supply steps for supplying the sealing member, the second supply step for supplying the organic electroluminescence element, the placement step of the adhesive, and the sealing It has the manufacturing apparatus which has the bonding process which bonds a member and the said organic electroluminescent element through the said adhesive agent, and a collection | recovery process, The said manufacturing apparatus is a said 1st supply process or a said 2nd supply process. At least one cleaning step between the bonding step, and in the cleaning step, the adhesive placement surface of the sealing member, the sealing member or the organic elect The organic electroluminescence element and the sealing member are bonded in the bonding step by washing either the bonding surface of the adhesive disposed on the luminescence element or the bonding surface of the adhesive of the organic electroluminescence element. After the bonding is completed, the particles mixed into the bonding surface of the sealing member and the adhesive, the bonding layer of the adhesive and the organic electroluminescence element in the layer of the adhesive, A method for producing an organic electroluminescence panel, wherein the number of foreign matters having a diameter of 1 μm or more is set to 100 pieces / cm 2 or less.

2.前記洗浄工程は第1供給工程と配置工程との間に配設されており、封止部材の接着剤の配置面又は有機エレクトロルミネッセンス素子に配置された該接着剤の表面を洗浄することを特徴とする前記1に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   2. The cleaning step is arranged between the first supply step and the arrangement step, and the adhesive arrangement surface of the sealing member or the surface of the adhesive arranged on the organic electroluminescence element is washed. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of said 1 said.

3.前記洗浄工程は配置工程と第2供給工程との間に配設されており、封止部材に配置されたの接着剤の貼合面又は有機エレクトロルミネッセンス素子の該接着剤の配置面を洗浄することを特徴とする前記1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   3. The cleaning step is disposed between the placement step and the second supply step, and cleans the adhesive bonding surface of the sealing member or the adhesive placement surface of the organic electroluminescence element. 3. The method for producing an organic electroluminescence panel as described in 1 or 2 above.

4.前記洗浄工程は第2供給工程と貼合工程の間に配設されており、有機エレクトロルミネッセンス素子に配置された接着剤の表面を洗浄することを特徴とする前記1〜3の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   4). Any one of said 1-3 characterized by the said washing | cleaning process being arrange | positioned between a 2nd supply process and the bonding process, and wash | cleaning the surface of the adhesive agent arrange | positioned at an organic electroluminescent element. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of description.

5.前記洗浄工程は第1供給工程と貼合工程の間に配設されており、封止部材に配置された接着剤の表面を洗浄することを特徴とする前記1〜4の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   5. The cleaning process is disposed between the first supply process and the bonding process, and the surface of the adhesive disposed on the sealing member is cleaned. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of description.

6.前記貼合工程は、クリーン度クラス1000(米国連邦規格209D)以下の環境であることを特徴とする前記1〜5の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   6). 6. The method for manufacturing an organic electroluminescence panel according to any one of 1 to 5, wherein the bonding step is an environment having a cleanness class of 1000 (US Federal Standard 209D) or less.

7.前記基板と封止部材又はどちらか一方が、樹脂基材と、ガスバリア層とを有する可撓性封止部材であることを特徴とする前記1〜6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   7). 7. The organic electroluminescence according to any one of 1 to 6, wherein the substrate and / or the sealing member is a flexible sealing member having a resin base material and a gas barrier layer. Panel manufacturing method.

8.前記基板と封止部材又はどちらか一方が、ガラス板であることを特徴とする前記1〜6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   8). The method for producing an organic electroluminescence panel according to any one of 1 to 6, wherein the substrate and / or the sealing member is a glass plate.

9.前記基板と封止部材又はどちらか一方が、金属シートであることを特徴とする前記1〜6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。   9. 7. The method for manufacturing an organic electroluminescence panel according to any one of 1 to 6, wherein the substrate and / or the sealing member is a metal sheet.

10.基板の上に第1電極と、発光層を含む少なくとも1層の有機化合物層と、第2電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を接着剤層を介して封止部材により密着封止した有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、前記封止部材の貼合面、前記接着剤の層中、又は前記有機エレクトロルミネッセンス素子の貼合面の何れかに混入する、粒径1μm以上の異物の個数が100個/cm2以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。 10. Organic electroluminescence in which an organic electroluminescence element having a first electrode, at least one organic compound layer including a light-emitting layer, and a second electrode on a substrate is tightly sealed with a sealing member via an adhesive layer In the panel, the number of foreign matters having a particle diameter of 1 μm or more mixed into any of the bonding surface of the sealing member, the adhesive layer, or the bonding surface of the organic electroluminescence element is 100 / cm 2. An organic electroluminescence panel characterized by the following.

11.前記基板と封止部材又はどちらか一方が樹脂基材とガスバリア層とを有する可撓性部材であることを特徴とする前記10に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル素子。   11. 11. The organic electroluminescence panel element as described in 10 above, wherein the substrate and / or the sealing member is a flexible member having a resin base material and a gas barrier layer.

12.前記基板と封止部材又はどちらか一方が、ガラスであることを特徴とする前記10に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。   12 11. The organic electroluminescence panel as described in 10 above, wherein the substrate and / or the sealing member is glass.

13.前記基板と封止部材又はどちらか一方が、金属シートであることを特徴とする前記10に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。   13. 11. The organic electroluminescence panel as described in 10 above, wherein the substrate and / or the sealing member is a metal sheet.

密着タイプの封止方法で封止した有機ELパネルを製造するために、封止部材を接着剤で固着する時、工程を増やすことなく、有機EL素子の性能劣化を生じさせない有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネルを提供することが出来、工程を増やすことなく、生産効率を下げずに、高品質の薄型・軽量の有機ELパネルの生産が可能となった。   Manufacturing an organic EL panel that does not cause deterioration in performance of the organic EL element without increasing the number of steps when the sealing member is fixed with an adhesive to manufacture an organic EL panel sealed with a close-contact type sealing method A method and an organic EL panel can be provided, and a high-quality thin and lightweight organic EL panel can be produced without increasing the number of steps and without reducing the production efficiency.

本発明の実施の形態を図1〜図9を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 9, but the present invention is not limited thereto.

図1は有機ELパネルの層構成の一例を示す概略断面図である。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a layer structure of an organic EL panel.

図中、1は有機ELパネルを示す。有機ELパネル1は、基板101上に、第1電極を含む陽極層102と、正孔輸送層(正孔注入層)103と、有機化合物層(発光層)104と、電子注入層105と、第2電極を含む陰極層106と、接着剤層107と、封止部材108とをこの順番に有している。本図に示される有機ELパネルにおいて、第1電極を含む陽極層102と正孔輸送層103の間に正孔注入層(不図示)を設けてもよい。又、第2電極を含む陰極層106と有機化合物層(発光層)104と電子注入層105との間に電子輸送層(不図示)を設けてもよい。102aは第1電極の外部取り出し用電極を示し、102bは第2電極の外部取り出し用電極を示す。   In the figure, 1 indicates an organic EL panel. The organic EL panel 1 includes an anode layer 102 including a first electrode, a hole transport layer (hole injection layer) 103, an organic compound layer (light emitting layer) 104, an electron injection layer 105, and a substrate 101. The cathode layer 106 including the second electrode, the adhesive layer 107, and the sealing member 108 are provided in this order. In the organic EL panel shown in this figure, a hole injection layer (not shown) may be provided between the anode layer 102 including the first electrode and the hole transport layer 103. An electron transport layer (not shown) may be provided between the cathode layer 106 including the second electrode, the organic compound layer (light emitting layer) 104, and the electron injection layer 105. 102a indicates an external extraction electrode for the first electrode, and 102b indicates an external extraction electrode for the second electrode.

本図に示す有機ELパネルの層構成は一例を示したものであるが、他の代表的な有機EL素子の層構成としては次の構成が挙げられる。   The layer configuration of the organic EL panel shown in this figure shows an example, but the following configurations can be cited as the layer configuration of other typical organic EL elements.

(1)基板/陽極(第1電極)/発光層/電子輸送層/陰極(第2電極)/封止部材
(2)基板/陽極(第1電極)/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極(第2電極)/封止部材
(3)基板/陽極(第1電極)/正孔輸送層(正孔注入層)/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極(第2電極)/封止部材
(4)基板/陽極(第1電極)/陽極バッファー層(正孔注入層)/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極(第2電極)/封止部材
有機ELパネルの場合、通常、陽極(第1電極)102側が観察側になり、陽極(第1電極)102には、ITO(酸化スズと酸化インジウム混合物)、IZO(酸化亜鉛と酸化インジウム混合物)、ZnO、SnO2、In23等が知られている。中でも、ITO電極は、90%以上の高い光透過率と、10Ω/□以下の低いシート抵抗値が可能で、液晶ディスプレイや太陽電池などの透明電極としても用いられている。又、IZO電極は、形成時に基板を加熱せずに所定の低い抵抗値が得られ、ITO電極よりも膜表面が平滑であるという利点がある。
(1) Substrate / anode (first electrode) / light emitting layer / electron transport layer / cathode (second electrode) / sealing member (2) substrate / anode (first electrode) / hole transport layer / light emitting layer / positive Hole blocking layer / electron transport layer / cathode (second electrode) / sealing member (3) substrate / anode (first electrode) / hole transport layer (hole injection layer) / light emitting layer / hole blocking layer / electron Transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode (second electrode) / sealing member (4) substrate / anode (first electrode) / anode buffer layer (hole injection layer) / hole transport layer / light emission Layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode (second electrode) / sealing member In the case of an organic EL panel, the anode (first electrode) 102 side is usually the observation side The anode (first electrode) 102 includes ITO (mixture of tin oxide and indium oxide), IZO (mixture of zinc oxide and indium oxide). ZnO, SnO 2 , In 2 O 3 and the like are known. Among them, the ITO electrode has a high light transmittance of 90% or more and a low sheet resistance value of 10Ω / □ or less, and is also used as a transparent electrode for liquid crystal displays and solar cells. Further, the IZO electrode has an advantage that a predetermined low resistance value can be obtained without heating the substrate at the time of formation, and the film surface is smoother than the ITO electrode.

本発明は図1に示す撓性封止部材を使用し、ガラス基板上に少なくとも1つ形成された有機EL素子を封止部材を使用し接着剤を介して密着封止する時に、封止部材と接着剤との貼合面、接着剤層中、接着剤と有機EL素子との貼合面の何れかに混入する異物の大きさと個数とを規定した有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネルに関するものである。尚、接着剤層中の異物とは封止部材と接着剤との貼合面及び接着剤と有機EL素子との貼合面において、接着剤層中に押し込まれた状態を指す。   The present invention uses the flexible sealing member shown in FIG. 1, and seals at least one organic EL element formed on a glass substrate by using a sealing member and closely sealing it with an adhesive. Method of organic EL panel that defines the size and the number of foreign matters mixed in any of the bonding surface of the adhesive and the adhesive, the adhesive layer, the bonding surface of the adhesive and the organic EL element, and the organic EL panel It is about. In addition, the foreign material in an adhesive bond layer refers to the state pushed in in the adhesive bond layer in the bonding surface of a sealing member and an adhesive agent, and the bonding surface of an adhesive agent and an organic EL element.

図2は図1のTで示される部分の拡大概略断面図である。   FIG. 2 is an enlarged schematic sectional view of a portion indicated by T in FIG.

封止部材108は樹脂基材108aと、ガスバリア層108bとを有する可撓性封止部材で構成されている。尚、ガスバリア層108bの上(本図ではガスバリア層108bと接着剤層の間となる)に保護層(不図示)を設けてもよい。樹脂基材108aは単体でもよいし、積層体であってもよく必要に応じて適宜選択することが可能である。ガスバリア層108bは単体でもよいし、積層体であってもよく必要に応じて適宜選択することが可能である。封止部材108は接着剤を介して第2電極上及び第2電極の周面に貼合されている。   The sealing member 108 is composed of a flexible sealing member having a resin base material 108a and a gas barrier layer 108b. Note that a protective layer (not shown) may be provided on the gas barrier layer 108b (in the drawing, between the gas barrier layer 108b and the adhesive layer). The resin base material 108a may be a single body or a laminate, and can be appropriately selected as necessary. The gas barrier layer 108b may be a single body or a laminate, and can be appropriately selected as necessary. The sealing member 108 is bonded to the second electrode and the peripheral surface of the second electrode via an adhesive.

本図では封止部材108として、樹脂基材108aと、ガスバリア層108bとを有する可撓性封止部材を使用した場合を示しているが、他の封止部材108としては、ガラス板、金属シートを使用することが可能となっている。   This figure shows a case where a flexible sealing member having a resin base material 108a and a gas barrier layer 108b is used as the sealing member 108, but other sealing members 108 include a glass plate, a metal, and the like. Sheets can be used.

ガスバリア層108bの特性としては、水蒸気透過度は、有機層の結晶化、第2電極の剥離等によりダークスポットの発生、及び有機EL素子の長寿命化等を考慮し、0.01g/m2・day以下であることが好ましい。水蒸気透過度はJIS K7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した値を示す。 As a characteristic of the gas barrier layer 108b, the water vapor transmission rate is 0.01 g / m 2 in consideration of crystallization of the organic layer, generation of dark spots due to peeling of the second electrode, and extension of the lifetime of the organic EL element. -It is preferable that it is below day. The water vapor transmission rate is a value measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K7129B method (1992).

酸素透過度は、有機層の結晶化、第2電極の剥離等によりダークスポットの発生、及び有機ELス素子の長寿命化等を考慮し、0.01ml/m2・day・atm以下であることが好ましい。酸素透過度はJIS K7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した値である。 The oxygen permeability is 0.01 ml / m 2 · day · atm or less in consideration of generation of dark spots due to crystallization of the organic layer, peeling of the second electrode, etc., and extension of the lifetime of the organic EL element. It is preferable. The oxygen permeability is a value measured mainly by the MOCON method by a method based on JIS K7126B method (1987).

使用する可撓性封止部材の厚さは、製造時の取扱い性、引っ張り強さやガスバリア層の耐ストレスクラッキング性等を考慮し、10〜500μmが好ましい。厚さは、マイクロメータを使用し、縦方向、幅方向で各10箇所を測定した平均値を示す。   The thickness of the flexible sealing member to be used is preferably 10 to 500 μm in consideration of handleability during production, tensile strength, stress cracking resistance of the gas barrier layer, and the like. Thickness shows the average value which measured 10 each in the vertical direction and the width direction using the micrometer.

可撓性封止部材の封止時のASTM D570に準じて測定した水分量は、可撓性封止部材の持ち込み水分により有機層の結晶化、第2電極の剥離等によりダークスポットの発生、及び有機EL素子の長寿命化等を考慮し、1.0%以下が好ましい。   The amount of moisture measured according to ASTM D570 when sealing the flexible sealing member is the generation of dark spots due to crystallization of the organic layer due to moisture brought in by the flexible sealing member, peeling of the second electrode, etc. In consideration of extending the life of the organic EL element and the like, 1.0% or less is preferable.

本発明に使用する可撓性封止部材を構成している樹脂基材108aとしては特に限定はなく、例えばエチレンテトラフルオロエチル共重合体(ETFE)、高密度ポリエチレン(HDPE)、延伸ポリプロピレン(0PP)、ポリスチレン(PS)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、延伸ナイロン(ONy)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネート(PC)、ポリイミド、ポリエーテルスチレン(PES)など一般の包装用フィルムに使用されている熱可塑性樹脂フィルム材料を使用することが出来る。又、これら熱可塑性樹脂フィルムは、必要に応じて異種フィルムと共押出しで作った多層フィルム、延伸角度を変えて貼り合せて作った多層フィルム等も当然使用出来る。更に必要とする物性を得るために使用するフィルムの密度、分子量分布を組合せて作ることも当然可能である。   The resin base material 108a constituting the flexible sealing member used in the present invention is not particularly limited. For example, ethylene tetrafluoroethyl copolymer (ETFE), high density polyethylene (HDPE), stretched polypropylene (0PP) ), Polystyrene (PS), polymethyl methacrylate (PMMA), stretched nylon (ONy), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate (PC), polyimide, polyether styrene (PES), etc. The thermoplastic resin film material currently used for the film can be used. As these thermoplastic resin films, a multilayer film produced by coextrusion with a different film, a multilayer film produced by bonding with different stretching angles, etc. can be used as required. Further, it is naturally possible to combine the density and molecular weight distribution of the film used to obtain the required physical properties.

防湿層としては、無機蒸着膜、金属箔が挙げられる。無機蒸着膜としては薄膜ハンドブックp879〜p901(日本学術振興会)、真空技術ハンドブックp502〜p509、p612、p810(日刊工業新聞社)、真空ハンドブック増訂版p132〜p134(ULVAC 日本真空技術K.K)に記載されている如き無機膜が挙げられる。例えば、In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al、Ti、Ni等の金属、MgO、SiO、SiO2、Al23、GeO、NiO、CaO、BaO、Fe23、Y23、TiO2、Cr23、Sixy(x=1、y=1.5〜2.0)、Ta23、ZrN、SiC、TiC、PSG、Si34、SiN、単結晶Si、アモルファスSi、W、等が用いられる。 Examples of the moisture-proof layer include inorganic vapor-deposited films and metal foils. As inorganic vapor deposition films, thin film handbooks p879-p901 (Japan Society for the Promotion of Science), vacuum technology handbooks p502-p509, p612, p810 (Nikkan Kogyo Shimbun), vacuum handbook revised editions p132-p134 (ULVAC Japan Vacuum Technology KK) Inorganic films as described in (1). For example, In, Sn, Pb, Au , Cu, Ag, Al, Ti, a metal such as Ni, MgO, SiO, SiO 2, Al 2 O 3, GeO, NiO, CaO, BaO, Fe 2 O 3, Y 2 O 3 , TiO 2 , Cr 2 O 3 , Si x O y (x = 1, y = 1.5 to 2.0), Ta 2 O 3 , ZrN, SiC, TiC, PSG, Si 3 N 4 , SiN Single crystal Si, amorphous Si, W, or the like is used.

又、金属箔の材料としては、例えばアルミニウム、銅、ニッケルなどの金属材料や、ステンレス、アルミニウム合金などの合金材料を用いることが出来るが、加工性やコストの面でアルミニウムが好ましい。膜厚は、1〜100μm程度、好ましくは10μm〜50μm程度が望ましい。   Moreover, as a material of the metal foil, for example, a metal material such as aluminum, copper, or nickel, or an alloy material such as stainless steel or an aluminum alloy can be used, but aluminum is preferable in terms of workability and cost. The film thickness is about 1 to 100 μm, preferably about 10 to 50 μm.

使用するガラス板の厚さは、製造時の取扱い性及びパネルの薄板化等を考慮し、0.1〜2.0mmが好ましい。厚さは、マイクロメータを使用し、縦方向、幅方向で各10箇所を測定した平均値を示す。ガラスとしては特に限定はなく、例えば珪酸塩ガラス、珪酸アルカリガラス、鉛アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、カリ石灰ガラス、バリウムガラス、硼珪酸ガラス、燐酸塩ガラス等が挙げられる。   The thickness of the glass plate to be used is preferably 0.1 to 2.0 mm in consideration of handling at the time of production, thinning of the panel, and the like. Thickness shows the average value which measured 10 each in the vertical direction and the width direction using the micrometer. The glass is not particularly limited, and examples thereof include silicate glass, alkali silicate glass, lead alkali glass, soda lime glass, potassium lime glass, barium glass, borosilicate glass, and phosphate glass.

使用する金属シートの厚さは、製造時の取扱い性及びパネルの薄板化等を考慮し、20μm〜2mmが好ましい。厚さは、マイクロメータを使用し、縦方向、幅方向で各10箇所を測定した平均値を示す。金属としては特に限定はなく、例えばアルミニウム、銅、ニッケルなどの金属材料や、ステンレス、アルミニウム合金などの合金材料等が挙げられる。   The thickness of the metal sheet to be used is preferably 20 μm to 2 mm in consideration of handling at the time of manufacture and thinning of the panel. Thickness shows the average value which measured 10 each in the vertical direction and the width direction using the micrometer. There is no limitation in particular as a metal, For example, metal materials, such as aluminum, copper, and nickel, alloy materials, such as stainless steel and an aluminum alloy, etc. are mentioned.

図3は封止部材により密着封止した有機ELパネルの製造工程の模式図である。本図で示す製造工程は封止部材に接着剤を配置する場合を示している。   FIG. 3 is a schematic view of a manufacturing process of an organic EL panel that is tightly sealed with a sealing member. The manufacturing process shown in the figure shows a case where an adhesive is disposed on the sealing member.

図中、2は製造工程を示す。製造工程2は、封止部材201aの第1供給工程201と、有機EL素子202aの第2供給工程202と、接着剤の配置工程203と、封止部材201aと有機EL素子202aとを接着剤を介して貼合する貼合工程204と、回収工程205と、洗浄工程206a〜206cとを有している。   In the figure, 2 indicates a manufacturing process. In the manufacturing process 2, the first supply process 201 of the sealing member 201a, the second supply process 202 of the organic EL element 202a, the adhesive arrangement process 203, the sealing member 201a and the organic EL element 202a are bonded to each other. It has the bonding process 204 which bonds through, the collection | recovery process 205, and the washing | cleaning processes 206a-206c.

第1供給工程201は有機EL素子202aの大きさに断裁された枚葉状態の封止部材201aの保管箱201bと、保管箱201bから封止部材201aを取り出す吸引板201c1を備えた供給ロボット201cを有している。供給ロボット201cは上下方向(図中の矢印A方向)の移動、水平方向(図中の矢印B方向)の移動及び回転(図中の矢印C方向)移動が可能となっている。   The first supply step 201 is a supply robot 201c including a storage box 201b of a single-sealed sealing member 201a cut to the size of the organic EL element 202a, and a suction plate 201c1 for taking out the sealing member 201a from the storage box 201b. have. The supply robot 201c can move in the vertical direction (arrow A direction in the figure), move in the horizontal direction (arrow B direction in the figure), and rotate (arrow C direction in the figure).

供給ロボット201cにより保管箱201bから取り出された封止部材201aは載置台207に載置される。載置台207は載置され封止部材201aを固定するため吸引手段(不図示)を有していることが好ましい。又、接着剤の配置工程203で封止部材201aに接着剤を配置する時の位置合わせのためX軸、Y軸方向への移動及び角度の変更が可能となっている。封止部材201aは載置台207に載置され固定した後、移動手段により洗浄工程206aに送られる。尚、載置台207は第1供給工程201から貼合工程204を移動手段(不図示)によりガイドレール208に沿って順次移動可能となっている。載置台207は移動手段によりガイドレール208に沿って各工程に移動する時、各工程には載置台207に付けられたアライメントマーク(不図示)を検出する検出装置(不図示)が設けられており、検出装置(不図示)の情報に従って本体内の規定された位置に停止するように制御されている。検出装置(不図示)の種類としては特に限定はなく、例えばCCDカメラによる画像認識手段等が挙げられる。   The sealing member 201a taken out from the storage box 201b by the supply robot 201c is placed on the placing table 207. The mounting table 207 preferably has suction means (not shown) for mounting and fixing the sealing member 201a. In addition, it is possible to move in the X-axis and Y-axis directions and change the angle for positioning when the adhesive is placed on the sealing member 201a in the adhesive placement step 203. After the sealing member 201a is placed and fixed on the mounting table 207, it is sent to the cleaning step 206a by the moving means. The mounting table 207 can be sequentially moved from the first supply process 201 to the bonding process 204 along the guide rail 208 by a moving means (not shown). When the mounting table 207 moves to each process along the guide rail 208 by the moving means, each process is provided with a detection device (not illustrated) that detects an alignment mark (not illustrated) attached to the mounting table 207. In accordance with information from a detection device (not shown), control is performed so as to stop at a specified position in the main body. The type of the detection device (not shown) is not particularly limited, and examples thereof include image recognition means using a CCD camera.

洗浄工程206aでは第1供給工程201と接着剤の配置工程203との間に配設されており、封止部材201aの接着剤が配置される面を接着剤が配置される前に洗浄が行われる。洗浄工程206aの前又は洗浄工程206aに、帯電除去手段(不図示)を配設することが好ましく、特に接触によるゴミの発生を避けるため非接触式の帯電除去手段(不図示)が更に好ましく、例えばコロナ放電式イオナイザー、軟X線式イオナイザー、紫外線照射方式イオナイザー等が挙げられる。   The cleaning process 206a is arranged between the first supply process 201 and the adhesive placement process 203, and the surface of the sealing member 201a on which the adhesive is placed is cleaned before the adhesive is placed. Is called. It is preferable to dispose a charge removing means (not shown) before or in the cleaning process 206a, and in particular, a non-contact type charge removing means (not shown) is more preferable to avoid generation of dust due to contact, Examples thereof include a corona discharge ionizer, a soft X-ray ionizer, and an ultraviolet irradiation ionizer.

洗浄工程206aは洗浄装置206a1を有しており、洗浄装置206a1としてはドライ洗浄方式が好ましく、例えばガス吹き付け、超音波ガス吹き付け、ガス吹き付けと吸引方式の併用方式、超音波ガス吹き付けと吸引方式の併用方式、粘着ロール方式等が挙げられる。ガスの種類としては特に限定はなく、有機EL素子への化学的ダメージを考慮し、不活性ガスが好ましく、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガスが挙げられる。本図の場合はガス吹き付けと吸引方式の併用方式の場合を示している。尚、洗浄手段206a1に付いては図5で説明する。   The cleaning process 206a includes a cleaning device 206a1, and the cleaning device 206a1 is preferably a dry cleaning method. For example, a gas spraying method, an ultrasonic gas spraying method, a combined gas spraying method and a suction method, or an ultrasonic gas spraying method and an aspiration method. A combined use system, an adhesive roll system, etc. are mentioned. The type of gas is not particularly limited, and an inert gas is preferable in consideration of chemical damage to the organic EL element, and examples thereof include nitrogen gas, helium gas, and argon gas. In the case of this figure, the case of the combined system of gas spraying and suction is shown. The cleaning means 206a1 will be described with reference to FIG.

洗浄工程206aで洗浄した後、載置台に載置した状態で接着剤の配置工程203へ移動手段(不図示)により移動する。   After cleaning in the cleaning step 206a, the adhesive is moved to the adhesive placement step 203 by a moving means (not shown) while being mounted on the mounting table.

配置工程203は接着剤の配置装置203aを有している。配置装置203aとしては、使用する接着剤が溶融タイプと、シート状タイプの場合があるため接着剤の種類に応じて対応することが可能である。例えば接着剤が溶融タイプの場合、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化及び熱硬化型接着剤、2−シアノアクリル酸エステルなどの湿気硬化型等の接着剤、エポキシ系などの熱及び化学硬化型(二液混合)等の接着剤、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤等が挙げられる。これらの中で、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤が、生産効率、膜厚安定性を考慮し、スクリーン印刷で塗設することが好ましい。   The placement step 203 includes an adhesive placement device 203a. As the placement device 203a, the adhesive to be used may be a molten type or a sheet-like type, so that it is possible to cope with the type of adhesive. For example, when the adhesive is a melt type, an acrylic acid oligomer, a photocuring and thermosetting adhesive having a reactive vinyl group of a methacrylic acid oligomer, an adhesive such as a moisture curing type such as 2-cyanoacrylate, Examples include epoxy and other heat and chemical curable (two-component mixed) adhesives, cationic curable ultraviolet curable epoxy resin adhesives, and the like. Among these, it is preferable that a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive is applied by screen printing in consideration of production efficiency and film thickness stability.

シート状タイプの場合、シート状の接着剤と、熱可塑性樹脂とが挙げられる。シート状の接着剤としては、常温(25℃程度)では非流動性を示し、且つ、加熱すると50℃〜100℃の範囲で流動性を発現し、シート状に成形された接着剤を言う。使用する接着剤としては、例えば分子の末端又は側鎖にエチレン性二重結合を有する化合物と、光重合開始剤とを主成分とする光硬化性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂としては、JIS K 7210規定のメルトフローレートが5〜20g/10minである熱可塑性樹脂が好ましく、更に好ましくは、6〜15g/10min以下の熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。熱可塑性樹脂は、上記数値を満たすものであれば特に限定されるものではないが、例えば機能性包装材料の新展開株式会社東レリサーチセンター記載の高分子フィルムである低密度ポリエチレン(LDPE)、高密度ポリエチレンHDPE、線状低密度ポリエチレン(LLDPE)、中密度ポリエチレン、未延伸ポリプロピレン(CPP)、OPP、ONy、PET、セロハン、ポリビニルアルコール(PVA)、延伸ビニロン(OV)、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVOH)、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、塩化ビニリデン(PVDC)等の使用が可能である。これらの熱可塑性樹脂の中で特にLDPE、LLDPE及びメタロセン触媒を使用して製造したLDPE、LLDPE、又、LDPE、LLDPEとHDPEフィルムの混合使用した熱可塑性樹脂を使用することが好ましい。配置方法は一般的に知られている各種の方法、例えばウェットラミネート法、ドライラミネート法、ホットメルトラミネート法、押出しラミネート法、熱ラミネート法を利用することが可能である。   In the case of a sheet-like type, a sheet-like adhesive and a thermoplastic resin are exemplified. The sheet-like adhesive refers to an adhesive that is non-flowable at room temperature (about 25 ° C.) and exhibits fluidity in the range of 50 ° C. to 100 ° C. when heated and is formed into a sheet shape. As an adhesive to be used, for example, a photocurable resin mainly composed of a compound having an ethylenic double bond at the terminal or side chain of a molecule and a photopolymerization initiator can be mentioned. As the thermoplastic resin, a thermoplastic resin having a melt flow rate of JIS K 7210 specified in a range of 5 to 20 g / 10 min is preferable, and a thermoplastic resin of 6 to 15 g / 10 min or less is more preferably used. The thermoplastic resin is not particularly limited as long as it satisfies the above numerical values. For example, low-density polyethylene (LDPE), which is a polymer film described in Toray Research Center, Inc. Density polyethylene HDPE, linear low density polyethylene (LLDPE), medium density polyethylene, unstretched polypropylene (CPP), OPP, ONy, PET, cellophane, polyvinyl alcohol (PVA), stretched vinylon (OV), ethylene-vinyl acetate copolymer A combination (EVOH), ethylene-propylene copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer, ethylene-methacrylic acid copolymer, vinylidene chloride (PVDC), or the like can be used. Among these thermoplastic resins, LDPE, LLDPE produced using LDPE, LLDPE and a metallocene catalyst, or a thermoplastic resin using a mixture of LDPE, LLDPE and HDPE films is preferably used. As the arrangement method, various generally known methods such as a wet lamination method, a dry lamination method, a hot melt lamination method, an extrusion lamination method, and a thermal lamination method can be used.

配置する接着剤の厚さは、溶融タイプ、シート状タイプ共に硬化反応時間、有機層への影響、端部からの水分浸透等を考慮し、5〜100μmが好ましい。封止部材に接着剤を配置した後、載置台に載置した状態で洗浄工程206cに移動手段(不図示)によりガイドレール208に沿って移動する。   The thickness of the adhesive to be arranged is preferably 5 to 100 μm in consideration of the curing reaction time, the influence on the organic layer, the moisture penetration from the edge, etc. for both the melt type and the sheet type. After the adhesive is arranged on the sealing member, the adhesive is moved along the guide rail 208 by the moving means (not shown) in the cleaning process 206c while being placed on the mounting table.

洗浄工程206cは接着剤の配置工程203と貼合工程204との間に配設されており、封止部材201aに配置された接着剤の面の洗浄が行われる。洗浄工程206cに、帯電除去手段(不図示)を配設することが好ましく、特に接触によるゴミの発生を避けるため非接触式の帯電除去手段(不図示)が更に好ましく、例えばコロナ放電式イオナイザー、軟X線式イオナイザー、紫外線照射方式イオナイザー等が挙げられる。   The cleaning step 206c is disposed between the adhesive placement step 203 and the bonding step 204, and the surface of the adhesive placed on the sealing member 201a is washed. It is preferable to dispose a charge removing means (not shown) in the cleaning step 206c. In particular, a non-contact type charge removing means (not shown) is more preferable to avoid generation of dust due to contact. For example, a corona discharge ionizer, Examples include soft X-ray ionizers and ultraviolet irradiation ionizers.

洗浄工程206cは洗浄装置206c1を有している。洗浄装置206c1としてはドライ洗浄方式が好ましく、例えばガス吹き付け、超音波ガス吹き付け、ガス吹き付けと吸引方式の併用方式、超音波ガス吹き付けと吸引方式の併用方式等が挙げられる。   The cleaning process 206c includes a cleaning device 206c1. The cleaning device 206c1 is preferably a dry cleaning method, and examples thereof include gas spraying, ultrasonic gas spraying, a combined gas spraying and suction method, and a combined ultrasonic gas spraying and suction method.

第2供給工程202は有機EL素子202aの棚式保管箱202bと、棚式保管箱202bから有機EL素子202aを取り出す2本の取り出しアーム202c1を備えた供給ロボット202cを有している。取り出しアーム202c1cは棚式保管箱202bに保管保管されている有機EL素子202aの両端を保持するために水平方向(図中の矢印D方向)の移動及び保持した状態で載置台209に有機EL素子202aを載置するため及び棚式保管箱202bの上段から下段に納められている有機EL素子202aを取り出すために上下方向(図中の矢印E方向)への移動が可能となっている。供給ロボット202cにより棚式保管箱202bから取り出された有機EL素子202aは載置台209に載置され移動手段により洗浄工程206bに送られる。棚式保管箱202bに保管されている有機EL素子202aは表面(封止部材を貼合する面)が下向きの状態となっている。載置台209は有機EL素子202aの4端辺を保持し、中央部分は洗浄工程206bで有機EL素子202aの表面を下側から洗浄するため空洞となっている。   The second supply process 202 includes a supply robot 202c having a shelf storage box 202b for the organic EL elements 202a and two extraction arms 202c1 for extracting the organic EL elements 202a from the shelf storage box 202b. The take-out arm 202c1c is moved to and held in the horizontal direction (in the direction of arrow D in the drawing) in order to hold both ends of the organic EL element 202a stored and stored in the shelf-type storage box 202b. It is possible to move in the vertical direction (in the direction of arrow E in the figure) in order to place 202a and to take out the organic EL element 202a housed in the lower stage from the upper stage of the shelf type storage box 202b. The organic EL element 202a taken out from the shelf-type storage box 202b by the supply robot 202c is placed on the placement table 209 and sent to the cleaning step 206b by the moving means. The surface of the organic EL element 202a stored in the shelf-type storage box 202b (the surface on which the sealing member is bonded) is in a downward state. The mounting table 209 holds the four end sides of the organic EL element 202a, and the central part is a cavity for cleaning the surface of the organic EL element 202a from below in the cleaning step 206b.

洗浄工程206bは第2供給工程202と貼合工程204との間に配設されており、有機EL素子202aの封止部材201aにより封止される面を封止部材201aが貼合される前に洗浄が行われる。洗浄工程206bの前又は洗浄工程206bに、帯電除去手段(不図示)を配設することが好ましく、特に接触による有機EL素子202aの第2電極面の損傷を避けるため非接触式の帯電除去手段(不図示)が更に好ましく、例えばコロナ放電式イオナイザー、軟X線式イオナイザー、紫外線照射方式イオナイザー等が挙げられる。   The cleaning process 206b is disposed between the second supply process 202 and the bonding process 204, and before the sealing member 201a is bonded to the surface sealed by the sealing member 201a of the organic EL element 202a. Cleaning is performed. It is preferable to dispose a charge removing means (not shown) before or in the cleaning process 206b, and in particular to avoid damage to the second electrode surface of the organic EL element 202a due to contact, a non-contact type charge removing means. (Not shown) is more preferable, and examples thereof include a corona discharge ionizer, a soft X-ray ionizer, and an ultraviolet irradiation ionizer.

洗浄工程206bは洗浄装置206b1を有している。洗浄装置206b1としてはドライ洗浄方式が好ましく、例えばガス吹き付け、超音波ガス吹き付け、ガス吹き付けと吸引方式の併用方式、超音波ガス吹き付けと吸引方式の併用方式等が挙げられる。洗浄装置206b1に付いては図6で説明する。洗浄工程206bで洗浄した後、載置台209に載置した状態で貼合工程204へ移動手段(不図示)により移動する。   The cleaning process 206b includes a cleaning device 206b1. The cleaning device 206b1 is preferably a dry cleaning method, and examples thereof include gas spraying, ultrasonic gas spraying, a combined gas spraying and suction method, and a combined ultrasonic gas spraying and suction method. The cleaning device 206b1 will be described with reference to FIG. After cleaning in the cleaning step 206b, the moving unit (not shown) moves to the bonding step 204 in a state of being mounted on the mounting table 209.

貼合工程204は供給ロボット204aと、貼合装置204bと、硬化処理装置204cとを有している。供給ロボット204aは、供給ロボット201cと同じ機構、機能を有しており、上下方向(図中の矢印G方向)の移動、水平方向(図中の矢印H方向)の移動及び回転(図中の矢印I方向)移動が可能となっている。貼合工程204では、載置台207の上に載置されている封止部材201aの接着剤201a1面へ、供給ロボット204aにより、載置台208に載置した状態の洗浄済みの有機EL素子202aの第2電極側を重ね合わせ、この後、貼合装置204bで圧着し、硬化処理装置204cで処理することで封止部材201aによる有機EL素子202aの密着封止が終了し有機ELパネルが出来上がる。密着封止が終了した後、回収工程205で回収される。尚、貼合装置204bによる貼合時の面圧は、封止部材の貼合性、有機EL素子のダメージ等を考慮し、0.5×104Pa〜9.8×104Paが好ましい。貼合装置204bによる貼合は、気泡の混入を考慮し、1Pa〜30kPaの減圧環境下で行うことが好ましい。 The bonding step 204 includes a supply robot 204a, a bonding device 204b, and a curing processing device 204c. The supply robot 204a has the same mechanism and function as the supply robot 201c, and moves in the vertical direction (arrow G direction in the figure), moves in the horizontal direction (arrow H direction in the figure), and rotates (in the figure). Movement in the direction of arrow I) is possible. In the bonding step 204, the cleaned organic EL element 202a in a state of being mounted on the mounting table 208 by the supply robot 204a is applied to the surface of the adhesive 201a1 of the sealing member 201a mounted on the mounting table 207. The second electrode side is overlapped, and thereafter, pressure bonding is performed by the bonding apparatus 204b and processing is performed by the curing processing apparatus 204c, whereby the adhesion sealing of the organic EL element 202a by the sealing member 201a is completed and an organic EL panel is completed. After the close sealing has been completed, it is recovered in the recovery step 205. Incidentally, the surface pressure at the time of bonding by the bonding apparatus 204b is bonded to the sealing member polymerizable, considering the damage or the like of the organic EL device, preferably 0.5 × 10 4 Pa~9.8 × 10 4 Pa . Bonding by the bonding apparatus 204b is preferably performed in a reduced pressure environment of 1 Pa to 30 kPa in consideration of air bubbles.

硬化処理装置204cは使用する接着剤の種類に応じて変更することが可能である。例えば、接着剤が熱硬化型の場合は加熱装置を有した硬化処理装置となり、又、紫外線硬化型の場合は紫外線照射装置を有した硬化処理装置となる。選定する接着剤の硬化時間とタクトにより、硬化処理装置204cは仮硬化装置及び本硬化装置としての使い分けが可能である。尚、本図では貼合装置204bと硬化処理装置204cとを分離した場合を示しているが、貼合装置204bに硬化処理装置204cの機能を持たせることも可能である。以上の硬化処理装置204cによる硬化処理までは、有機EL素子の劣化による寿命低減の観点より、水分濃度、酸素濃度が低いことが重要であり、好ましくは水分濃度10ppm以下、酸素濃度10ppm以下の環境下で行うことが好ましい。   The curing processing device 204c can be changed according to the type of adhesive used. For example, when the adhesive is a thermosetting type, it becomes a curing processing apparatus having a heating device, and when it is an ultraviolet curing type, it becomes a curing processing apparatus having an ultraviolet irradiation device. Depending on the curing time and tact of the adhesive to be selected, the curing processing device 204c can be used as a temporary curing device and a main curing device. In addition, although the case where the bonding apparatus 204b and the hardening processing apparatus 204c are isolate | separated is shown in this figure, it is also possible to give the function of the hardening processing apparatus 204c to the bonding apparatus 204b. From the viewpoint of reducing the lifetime due to the deterioration of the organic EL element, it is important that the moisture concentration and the oxygen concentration are low until the curing treatment by the above curing treatment apparatus 204c. It is preferable to carry out below.

本図に示される洗浄工程206a〜206cの洗浄装置206a1〜206c1は、異なっていてもよく、且つ第1供給工程201から貼合工程の間に少なくとも1つの洗浄工程を有していればよい。本図では、第1供給工程201と接着剤の配置工程203との間、第2供給工程202と貼合工程204との間、接着剤の配置工程203と貼合工程204との間に配設された場合を示している。又、洗浄装置206a1〜206c1も同じ方式の場合を示している。   The cleaning devices 206a1 to 206c1 of the cleaning steps 206a to 206c shown in this figure may be different and only need to have at least one cleaning step between the first supply step 201 and the bonding step. In this figure, it is arranged between the first supply process 201 and the adhesive arrangement process 203, between the second supply process 202 and the bonding process 204, and between the adhesive arrangement process 203 and the bonding process 204. The case where it is provided is shown. The cleaning devices 206a1 to 206c1 also show the same method.

図4は封止部材により密着封止した有機ELパネルの他の製造工程の模式図である。本図で示す製造工程は有機EL素子に接着剤を配置する場合を示している。   FIG. 4 is a schematic view of another manufacturing process of an organic EL panel that is tightly sealed with a sealing member. The manufacturing process shown in this figure shows a case where an adhesive is disposed on the organic EL element.

図中、3は製造工程を示す。製造工程3は、有機EL素子301aの第2供給工程301と、封止部材302aの第1供給工程302と、接着剤の配置工程303と、有機エレクトロルミネッセンス素子301aと封止部材302aとを接着剤を介して貼合する貼合工程304と、回収工程305と、洗浄工程306a〜306cとを有している。   In the figure, 3 indicates a manufacturing process. In the manufacturing process 3, the second supply process 301 of the organic EL element 301a, the first supply process 302 of the sealing member 302a, the adhesive disposing process 303, the organic electroluminescence element 301a and the sealing member 302a are bonded. It has the bonding process 304 which bonds through an agent, the collection | recovery process 305, and the washing | cleaning processes 306a-306c.

第2供給工程301は有機EL素子301aの棚式保管箱301bと、棚式保管箱301bから有機EL素子301aを取り出す2本の取り出しアーム301c1を備えた供給ロボット301cを有している。取り出しアーム301c1cは棚式保管箱301bに保管保管されている有機EL素子301aの両端を保持するために水平方向(図中の矢印J方向)の移動及び保持した状態で載置台307に有機EL素子301aを載置するため及び棚式保管箱301bの上段から下段に納められている有機EL素子301aを取り出すために上下方向(図中の矢印K方向)への移動が可能となっている。供給ロボット301cにより棚式保管箱301bから取り出された有機EL素子301aは載置台307に載置され固定した後、移動手段(不図示)により移動用のガイドレール308に沿って移動手段により洗浄工程306aに送られる。棚式保管箱301bに保管されている有機EL素子301aは表面(封止部材を貼合する面)が上向きの状態となっている。有機EL素子301aは載置台307に載置され固定した後、移動手段(不図示)により移動用のガイドレール308に沿って洗浄工程306aに送られる。載置台307は図3に示す載置台207と同じ機構、機能を有しているので説明は省略する。   The second supply process 301 includes a supply robot 301c including a shelf-type storage box 301b for the organic EL elements 301a and two extraction arms 301c1 for extracting the organic EL elements 301a from the shelf-type storage box 301b. The take-out arm 301c1c moves in the horizontal direction (arrow J direction in the figure) and holds the organic EL element on the mounting table 307 in order to hold both ends of the organic EL element 301a stored and stored in the shelf-type storage box 301b. It is possible to move in the vertical direction (in the direction of arrow K in the figure) in order to place 301a and to take out the organic EL element 301a stored in the lower stage from the upper stage of the shelf-type storage box 301b. The organic EL element 301a taken out from the shelf-type storage box 301b by the supply robot 301c is mounted on the mounting table 307 and fixed, and then moved along the guide rail 308 for movement by the moving means (not shown). Sent to 306a. The surface of the organic EL element 301a stored in the shelf-type storage box 301b (the surface on which the sealing member is bonded) is in an upward state. The organic EL element 301a is mounted on the mounting table 307 and fixed, and then sent to the cleaning step 306a along the moving guide rail 308 by a moving means (not shown). The mounting table 307 has the same mechanism and function as the mounting table 207 shown in FIG.

洗浄工程306aでは第2供給工程301と接着剤の配置工程303との間に配設されており、有機EL素子301aの接着剤が配置される面を接着剤が配置される前に洗浄が行われる。洗浄工程306aの前又は洗浄工程306aの中に、帯電除去手段(不図示)を配設することが好ましく、特に接触による第2電極の損傷を避けるため、非接触式の帯電除去手段(不図示)が更に好ましく、例えばコロナ放電式イオナイザー、軟X線式イオナイザー、紫外線照射方式イオナイザー等が挙げられる。   The cleaning step 306a is arranged between the second supply step 301 and the adhesive placement step 303, and the surface on which the adhesive of the organic EL element 301a is placed is cleaned before the adhesive is placed. Is called. It is preferable to dispose a charge removing means (not shown) before or in the cleaning process 306a. In order to avoid damage to the second electrode due to contact, in particular, a non-contact type charge removing means (not shown) Are more preferable, and examples thereof include a corona discharge ionizer, a soft X-ray ionizer, and an ultraviolet irradiation ionizer.

洗浄工程306aは洗浄装置306b1を有している。洗浄装置306b1としてはドライ洗浄方式が好ましく、例えば空気吹き付け、超音波空気吹き付け、空気吹き付けと吸引方式の併用方式、超音波空気吹き付けと吸引方式の併用方式等が挙げられる。洗浄装置306a1に付いては図3に示した洗浄装置206a1と同じ構造を有している。洗浄工程306bで洗浄した後、載載置台307に載置した状態で貼合工程304へ移動手段(不図示)によりガイドレール308に沿って移動する。   The cleaning process 306a includes a cleaning device 306b1. The cleaning device 306b1 is preferably a dry cleaning method, and examples thereof include air blowing, ultrasonic air blowing, a combined air blowing and suction method, and a combined ultrasonic air blowing and suction method. The cleaning device 306a1 has the same structure as the cleaning device 206a1 shown in FIG. After cleaning in the cleaning process 306b, the sheet is moved along the guide rail 308 by a moving means (not shown) to the bonding process 304 in a state of being mounted on the mounting table 307.

配置工程303は接着剤の配置装置303aを有している。配置装置303aとしては、使用する接着剤が溶融タイプと、シート状タイプの場合があるため接着剤の種類に応じて対応することが可能であり、図3に示す接着剤の配置装置203aと同じ機能、構造を有している。又、使用する接着剤も図3に示す接着剤の配置装置203aと同じものの使用が可能である。配置する接着剤の厚さは、溶融タイプ、シート状タイプ共に硬化反応時間、有機層への影響、端部からの水分浸透等を考慮し、5〜100μmが好ましい。   The arrangement process 303 includes an adhesive arrangement device 303a. As the arrangement device 303a, the adhesive to be used may be a melt type or a sheet type, so that it can correspond to the type of adhesive, and is the same as the adhesive arrangement device 203a shown in FIG. Has function and structure. Further, the same adhesive as the adhesive placement device 203a shown in FIG. 3 can be used. The thickness of the adhesive to be arranged is preferably 5 to 100 μm in consideration of the curing reaction time, the influence on the organic layer, the moisture penetration from the edge, etc. for both the melt type and the sheet type.

有機EL素子301aに接着剤を配置した後、載置台に載置した状態で洗浄工程306cに移動手段(不図示)によりガイドレール308に沿って移動する。   After the adhesive is disposed on the organic EL element 301a, it moves along the guide rail 308 by the moving means (not shown) to the cleaning step 306c in a state of being placed on the mounting table.

洗浄工程306cは接着剤の配置工程303と貼合工程304との間に配設されており、有機EL素子301aに配置された接着剤の面の洗浄が行われる。洗浄工程306cに、帯電除去手段(不図示)を配設することが好ましく、特に接触によるゴミの発生を避けるため非接触式の帯電除去手段(不図示)が更に好ましく、例えばコロナ放電式イオナイザー、軟X線式イオナイザー、紫外線照射方式イオナイザー等が挙げられる。洗浄工程306cは洗浄装置306c1を有している。洗浄装置306c1は、洗浄装置306a1と同じ構造を有している。   The cleaning step 306c is disposed between the adhesive placement step 303 and the bonding step 304, and the surface of the adhesive placed on the organic EL element 301a is cleaned. It is preferable to dispose a charge removing means (not shown) in the cleaning step 306c, and in particular, a non-contact type charge removing means (not shown) is more preferable in order to avoid generation of dust due to contact, for example, a corona discharge ionizer, Examples include soft X-ray ionizers and ultraviolet irradiation ionizers. The cleaning step 306c has a cleaning device 306c1. The cleaning device 306c1 has the same structure as the cleaning device 306a1.

第1供給工程302は有機EL素子301aの大きさに断裁された枚葉状態の封止部材302aの保管箱302bと、保管箱302bから封止部材302aを取り出す吸引板302c1を備えた供給ロボット302cを有している。供給ロボット302cは図3に示す供給ロボット201cと同じ機構、機能を有している。供給ロボット302cにより保管箱302bから取り出された封止部材302aは載置台309に載置され移動手段により洗浄工程306bに送られる。棚式保管箱302bに保管されている封止部材302aは表面(有機EL素子301aを貼合する面)が下向きの状態となっている。載置台309は封止部材302aの4端辺を保持し、中央部分は洗浄工程306bで封止部材302aの表面を下側から洗浄するため空洞となっている。載置台309は図3に示す載置台209と同じ構造を有していることが好ましい。   In the first supply step 302, a supply robot 302c including a storage box 302b of a single-sealed sealing member 302a cut to the size of the organic EL element 301a and a suction plate 302c1 for taking out the sealing member 302a from the storage box 302b. have. The supply robot 302c has the same mechanism and function as the supply robot 201c shown in FIG. The sealing member 302a taken out from the storage box 302b by the supply robot 302c is placed on the placing table 309 and sent to the cleaning step 306b by the moving means. The sealing member 302a stored in the shelf-type storage box 302b has a surface (surface on which the organic EL element 301a is bonded) facing downward. The mounting table 309 holds four end sides of the sealing member 302a, and the central portion is a cavity for cleaning the surface of the sealing member 302a from below in the cleaning step 306b. The mounting table 309 preferably has the same structure as the mounting table 209 shown in FIG.

洗浄工程306bは第1供給工程302と貼合工程304との間に配設されており、封止部材302aの有機EL素子301a上の接着剤と貼合する面の洗浄が貼合する前に行われる。洗浄工程306aの前又は洗浄工程306aに、帯電除去手段(不図示)を配設することが好ましく、特に接触によるゴミの発生を避けるため非接触式の帯電除去手段(不図示)が更に好ましく、例えばコロナ放電式イオナイザー、軟X線式イオナイザー、紫外線照射方式イオナイザー等が挙げられる。   The cleaning process 306b is disposed between the first supply process 302 and the bonding process 304, and before the bonding of the surface to be bonded to the adhesive on the organic EL element 301a of the sealing member 302a is bonded. Done. It is preferable to dispose a charge removing means (not shown) before or in the cleaning process 306a, and in particular, a non-contact type charge removing means (not shown) is more preferable in order to avoid generation of dust due to contact, Examples thereof include a corona discharge ionizer, a soft X-ray ionizer, and an ultraviolet irradiation ionizer.

洗浄工程306bの洗浄装置306b1としては、図3に示した洗浄装置206b1と同じ構造を有しており、封止部材の洗浄方法も同じである。洗浄工程306aで洗浄した後、載置台に載置した状態で貼合工程304へ移動手段(不図示)により移動用のガイドレール308に沿って移動する。   The cleaning device 306b1 in the cleaning step 306b has the same structure as the cleaning device 206b1 shown in FIG. 3, and the sealing member cleaning method is also the same. After washing in the washing process 306a, the sheet is moved along the guide rail 308 for movement by the moving means (not shown) to the bonding process 304 in a state of being placed on the placing table.

貼合工程304は供給ロボット304aと、貼合装置304bと、硬化処理装置304cとを有している。供給ロボット304aは図3に示す供給ロボット204aと同じ機構、機能を有している。貼合工程304では、載置台307の上に載置されている有機EL素子301aの接着剤面301a1面へ、供給ロボット304aにより、載置台309に載置した状態の洗浄済みの封止部材302aを重ね合わせ、この後、貼合装置304bで圧着し、硬化処理装置304cで処理することで封止部材302aによる有機EL素子301aの密着封止が終了し有機ELパネルが出来上がる。密着封止が終了した後、回収工程305で回収される。尚、貼合装置304bによる貼合時の面圧は、封止部材の貼合性、有機EL素子のダメージ等を考慮し、0.5×104Pa〜9.8×104Paが好ましい。貼合装置304bによる貼合は、気泡の混入を考慮し、1Pa〜30kPaの減圧環境下で行うことが好ましい。 The bonding step 304 includes a supply robot 304a, a bonding device 304b, and a curing processing device 304c. The supply robot 304a has the same mechanism and function as the supply robot 204a shown in FIG. In the bonding step 304, the cleaned sealing member 302a in a state of being mounted on the mounting table 309 by the supply robot 304a onto the adhesive surface 301a1 of the organic EL element 301a mounted on the mounting table 307. After that, by adhering with the bonding device 304b and processing with the curing device 304c, the organic EL element 301a is completely sealed by the sealing member 302a and the organic EL panel is completed. After the close sealing has been completed, it is recovered in the recovery step 305. Incidentally, the surface pressure at the time of bonding by the bonding apparatus 304b is bonded to the sealing member polymerizable, considering the damage or the like of the organic EL device, preferably 0.5 × 10 4 Pa~9.8 × 10 4 Pa . It is preferable to perform bonding by the bonding apparatus 304b in a reduced pressure environment of 1 Pa to 30 kPa in consideration of air bubbles.

硬化処理装置304cは使用する接着剤の種類に応じて変更することが可能である。例えば、接着剤が熱硬化型の場合は加熱装置を有した硬化処理装置となり、又、紫外線硬化型の場合は紫外線照射装置を有した硬化処理装置となる。選定する接着剤の硬化時間とタクトにより、硬化処理装置304cは仮硬化装置及び本硬化装置としての使い分けが可能である。尚、本図では貼合装置304bと硬化処理装置304cとを分離した場合を示しているが、貼合装置304bに硬化処理装置304cの機能を持たせることも可能である。以上の硬化処理装置304cによる硬化処理までは、有機EL素子の劣化による寿命低減の観点より、水分濃度、酸素濃度が低いことが重要であり、好ましくは水分濃度10ppm以下、酸素濃度10ppm以下の環境下で行うことが好ましい。   The curing processing device 304c can be changed according to the type of adhesive used. For example, when the adhesive is a thermosetting type, it becomes a curing processing apparatus having a heating device, and when it is an ultraviolet curing type, it becomes a curing processing apparatus having an ultraviolet irradiation device. Depending on the curing time and tact of the selected adhesive, the curing processing device 304c can be used as a temporary curing device and a main curing device. In addition, although the case where the bonding apparatus 304b and the hardening processing apparatus 304c are isolate | separated is shown in this figure, it is also possible to give the function of the hardening processing apparatus 304c to the bonding apparatus 304b. From the viewpoint of life reduction due to deterioration of the organic EL element, it is important that the water concentration and the oxygen concentration are low until the above-described curing processing by the curing processing device 304c. It is preferable to carry out below.

本図に示される洗浄工程306a〜306cの洗浄装置306a1〜306c1は、異なっていてもよく、且つ第2供給工程301から貼合工程303の間に少なくとも1つの洗浄工程を有していればよい。本図では、第2供給工程301と接着剤の配置工程303との間、第1供給工程302と貼合工程304との間、接着剤の配置工程303と貼合工程304との間に配設された場合を示している。又、洗浄装置306a1〜306c1も同じ方式で且つ図3に示す洗浄装置306a1〜306c1と同じ場合を示している。   The cleaning apparatuses 306a1 to 306c1 of the cleaning steps 306a to 306c shown in this drawing may be different and only need to have at least one cleaning step between the second supply step 301 and the bonding step 303. . In this figure, it is arranged between the second supply step 301 and the adhesive placement step 303, between the first supply step 302 and the pasting step 304, and between the adhesive placement step 303 and the pasting step 304. The case where it is provided is shown. Further, the cleaning apparatuses 306a1 to 306c1 have the same method and the same case as the cleaning apparatuses 306a1 to 306c1 shown in FIG.

図5は図3に示す第1供給工程の洗浄装置の拡大概略図である。   FIG. 5 is an enlarged schematic view of the cleaning apparatus in the first supply step shown in FIG.

洗浄装置206a1は、側壁206a5と、側壁206a6と、底面206a7と、天面206a8と、入り口206a2と、出口206a9とを有する箱形構造を有している。入り口206a2はシャッタ206a10を有し、出口206a9もシャッタ206a11を有しており、洗浄効果を上げるため洗浄中は閉じ、洗浄後は開ける様になっている。206a12は空気供給ポンプ(不図示)に繋がっているガス供給管を示し、206a13は吸引ポンプ(不図示)に繋がっている排気管を示し、天面206a8に取り付けられている。206a14は洗浄装置206a1の中に取り付けられたヘッダを示し、複数の空気吹き出し用のノズル206a15を有している。ノズル206a15はガス吹き付け面(本図の場合は、載置台207上の封止部材201aの表面)に対して、異物除去性能、乱流による異物再付着防止、等を考慮し、30〜90°の角度でヘッダ206a14に取り付けられている。ガス供給管206a12からヘッダ206a14に送られたガスはノズル206a15から封止部材201aの表面に吹き付けられ、排気管206a13から排気され封止部材201aの表面の洗浄が行われる。図中の矢印は、空気の流れを示す。   The cleaning device 206a1 has a box structure having a side wall 206a5, a side wall 206a6, a bottom surface 206a7, a top surface 206a8, an inlet 206a2, and an outlet 206a9. The entrance 206a2 has a shutter 206a10, and the exit 206a9 also has a shutter 206a11. The entrance 206a2 is closed during cleaning to increase the cleaning effect, and is opened after cleaning. Reference numeral 206a12 denotes a gas supply pipe connected to an air supply pump (not shown), and 206a13 denotes an exhaust pipe connected to a suction pump (not shown), which is attached to the top surface 206a8. Reference numeral 206a14 denotes a header attached in the cleaning device 206a1, and has a plurality of air blowing nozzles 206a15. The nozzle 206a15 is 30-90 ° with respect to the gas blowing surface (in this case, the surface of the sealing member 201a on the mounting table 207) in consideration of foreign matter removal performance, prevention of foreign matter reattachment due to turbulent flow, etc. It is attached to the header 206a14 at an angle of. The gas sent from the gas supply pipe 206a12 to the header 206a14 is blown from the nozzle 206a15 to the surface of the sealing member 201a, exhausted from the exhaust pipe 206a13, and the surface of the sealing member 201a is cleaned. The arrows in the figure indicate the air flow.

ガス吹き付けと吸引方式の併用方式による封止部材が樹脂基材とガスバリア層とから構成される封止部材の場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量5.5m3/min、ガスの吹き付け風速100m/sec、時間3minが挙げられる。 The cleaning conditions when the sealing member by the combined gas spraying and suction method is a sealing member composed of a resin base material and a gas barrier layer are, for example, a gas blowing air volume of 5.5 m 3 / min, a gas blowing The wind speed is 100 m / sec and the time is 3 min.

封止部材がガラス板の場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量7m3/min、ガスの吹き付け風速140m/sec、時間3minが挙げられる。 Examples of the cleaning conditions when the sealing member is a glass plate include a gas blowing rate of 7 m 3 / min, a gas blowing rate of 140 m / sec, and a time of 3 min.

封止部材が金属シートの場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量8m3/min、ガスの吹き付け風速150m/sec、時間3minが挙げられる。 The cleaning conditions when the sealing member is a metal sheet include, for example, a gas blowing rate of 8 m 3 / min, a gas blowing rate of 150 m / sec, and a time of 3 min.

尚、ガスの吹き付け風量は、ガス供給管内の風量を風量計により測定した値とガス供給管の断面積から算出した値を示す。ガスの吹き付け風速は、風量とノズル断面積から算出したガス吹き出し部の平均風速値を示す。   The gas blowing air volume is a value obtained by measuring the air volume in the gas supply pipe with a flow meter and the cross-sectional area of the gas supply pipe. The gas blowing wind speed indicates an average wind speed value of the gas blowing portion calculated from the air volume and the nozzle cross-sectional area.

尚、洗浄装置206c1も本図に示される洗浄装置206a1と同じ構造を有しており、封止部材の上に配置された接着剤の表面の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量7m3/min、ガスの吹き付け風速140m/sec時間3minが挙げられる。 The cleaning device 206c1 also has the same structure as the cleaning device 206a1 shown in the figure, and as a cleaning condition of the surface of the adhesive disposed on the sealing member, for example, a gas blowing air volume of 7 m 3 / min, gas blowing wind speed 140 m / sec, 3 min.

上記条件は、封止部材が可撓性部材、ガラス板、金属シートの場合、何れも同じである。   The above conditions are the same when the sealing member is a flexible member, a glass plate, or a metal sheet.

図4に示す洗浄装置306a1も本図に示される洗浄装置206a1と同じ構造を有しており、空気吹き付けと吸引方式の併用方式による基材にガラスを使用した有機EL素子の場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量5.5m3/min、ガスの吹き付け風速100m/sec、時間3minが挙げられる。 The cleaning device 306a1 shown in FIG. 4 also has the same structure as the cleaning device 206a1 shown in this figure. As a cleaning condition in the case of an organic EL element using glass as a base material by a combination method of air blowing and suction methods. For example, the gas blowing air volume is 5.5 m 3 / min, the gas blowing air speed is 100 m / sec, and the time is 3 min.

基材に可撓性基材を使用した場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量7m3/min、ガスの吹き付け風速140m/sec、時間3minが挙げられる。 Examples of cleaning conditions when a flexible base material is used as the base material include a gas blowing rate of 7 m 3 / min, a gas blowing rate of 140 m / sec, and a time of 3 min.

基材に金属シートを使用したの場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量8m3/min、ガスの吹き付け風速150m/sec、時間3minが挙げられる。 The cleaning conditions when a metal sheet is used as the substrate include, for example, a gas blowing rate of 8 m 3 / min, a gas blowing rate of 150 m / sec, and a time of 3 min.

図4に示される洗浄装置306c1も本図に示される洗浄装置206a1と同じ構造を有しており、有機EL素子の上に配置された接着剤の表面の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量7m3/min、ガスの吹き付け速度風速140m/sec時間3minが挙げられる。上記条件は、基板が可撓性部材、ガラス板、金属シートの場合、何れも同じである。 The cleaning device 306c1 shown in FIG. 4 also has the same structure as the cleaning device 206a1 shown in this figure. The cleaning condition for the surface of the adhesive disposed on the organic EL element is, for example, a gas blowing air volume Examples include 7 m 3 / min, gas blowing speed, wind speed 140 m / sec, and time 3 min. The above conditions are the same when the substrate is a flexible member, a glass plate, or a metal sheet.

図6は図3に示す第2供給工程の洗浄装置の拡大概略図である。図6(a)は図3に示す第2供給工程の洗浄装置の拡大概略斜視図である。図6(b)は図6(a)のB−B′に沿った拡大概略断面図である。   FIG. 6 is an enlarged schematic view of the cleaning apparatus in the second supply step shown in FIG. FIG. 6A is an enlarged schematic perspective view of the cleaning device in the second supply step shown in FIG. FIG. 6B is an enlarged schematic cross-sectional view along the line BB ′ in FIG.

洗浄装置206b1は、側壁206b5と、側壁206b6と、底面206b7と、天面206b8と、入り口206a2と、出口206b9とを有する箱形構造を有している。入り口206b2はシャッタ206b10を有し、出口206b9もシャッタ206b11を有しており、洗浄効果を上げるため洗浄中は閉じ、洗浄後は開ける様になっている。206b12はガス供給ポンプ(不図示)に繋がっているガス供給管を示し、側壁206b5に取り付けられている。206b13は吸引ポンプ(不図示)に繋がっている排気管を示し、側壁206b6に取り付けられている。206b14は洗浄装置206b1の中に取り付けられたヘッダを示し、複数の空気吹き出し用のノズル206b15を有している。ノズル206b15は空気吹き付け面(本図の場合は、載置台207上の封止部材201aの表面)に対して、異物除去性能、乱流による異物再付着防止、等を考慮し、30〜90°の角度でヘッダ206b14に取り付けられている。206b16は載置台209に載置された有機EL素子202aを洗浄時に動かない様にするため裏面側から押し、載置台208に固定する押圧板を示す。206b17は押圧板206b16を上下方向(図中の矢印L方向)に移動させる移動軸を示し、駆動源206b18に繋がっている。   The cleaning device 206b1 has a box structure having a side wall 206b5, a side wall 206b6, a bottom surface 206b7, a top surface 206b8, an inlet 206a2, and an outlet 206b9. The entrance 206b2 has a shutter 206b10, and the exit 206b9 also has a shutter 206b11. The entrance 206b2 is closed during cleaning and opened after cleaning to enhance the cleaning effect. Reference numeral 206b12 denotes a gas supply pipe connected to a gas supply pump (not shown), which is attached to the side wall 206b5. Reference numeral 206b13 denotes an exhaust pipe connected to a suction pump (not shown), which is attached to the side wall 206b6. Reference numeral 206b14 denotes a header mounted in the cleaning device 206b1, and has a plurality of nozzles 206b15 for blowing air. The nozzle 206b15 is 30 ° to 90 ° with respect to the air blowing surface (in this case, the surface of the sealing member 201a on the mounting table 207) in consideration of foreign matter removal performance, prevention of foreign matter reattachment due to turbulent flow, etc. It is attached to the header 206b14 at an angle of. Reference numeral 206b16 denotes a pressing plate that is pressed from the back side and fixed to the mounting table 208 so that the organic EL element 202a mounted on the mounting table 209 does not move during cleaning. Reference numeral 206b17 denotes a movement axis for moving the pressing plate 206b16 in the vertical direction (the direction of arrow L in the figure), and is connected to the drive source 206b18.

ガス供給管206b12からヘッダ206b14に送られたガスは載置台209の空洞209aへノズル206b15から供給され、有機EL素子202aの表面に下側から吹き付けられ洗浄が行われる。洗浄に使用されたガスは載置台の側面から排気管206b13で排気される。図中の矢印Mは、ガスの流れを示す。   The gas sent from the gas supply pipe 206b12 to the header 206b14 is supplied from the nozzle 206b15 to the cavity 209a of the mounting table 209, and sprayed onto the surface of the organic EL element 202a from below to perform cleaning. The gas used for cleaning is exhausted from the side surface of the mounting table through the exhaust pipe 206b13. An arrow M in the figure indicates a gas flow.

本図に示す洗浄装置206b1による有機EL素子202aの表面の洗浄条件を以下に示す。有機EL素子202aの基板が可撓性部材の場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量5.5m3/min、ガスの吹き付け風速100m/sec、時間3minが挙げられる。 The conditions for cleaning the surface of the organic EL element 202a by the cleaning device 206b1 shown in this figure are shown below. Examples of cleaning conditions when the substrate of the organic EL element 202a is a flexible member include a gas blowing air volume of 5.5 m 3 / min, a gas blowing air speed of 100 m / sec, and a time of 3 min.

有機EL素子202aの基板がガラス板の場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量5.5m3/min、ガスの吹き付け風速100m/sec、時間3minが挙げられる。 Examples of the cleaning conditions when the substrate of the organic EL element 202a is a glass plate include a gas blowing air volume of 5.5 m 3 / min, a gas blowing air speed of 100 m / sec, and a time of 3 min.

有機EL素子202aの基板が金属シートの場合の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量5.5m3/min、ガスの吹き付け風速100m/sec、時間3minが挙げられる。尚、ガスの吹き付け風量は、ガス供給管内の風量を風量計により測定した値とガス供給管の断面積から算出した値を示す。ガスの吹き付け速度は、風量とノズル断面積から算出したガス吹き出し部の平均風速値を示す。 Examples of cleaning conditions when the substrate of the organic EL element 202a is a metal sheet include a gas blowing air volume of 5.5 m 3 / min, a gas blowing air speed of 100 m / sec, and a time of 3 min. The gas blowing air volume is a value obtained by measuring the air volume in the gas supply pipe with a flow meter and the cross-sectional area of the gas supply pipe. The gas blowing speed indicates an average wind speed value of the gas blowing portion calculated from the air volume and the nozzle cross-sectional area.

尚、図4に示される第1供給工程302の洗浄工程302bの洗浄装置306b1も本図に示される洗浄装置206b1と同じ構造を有しており、載置台304上に載置された封止部材の有機EL素子との貼合面の洗浄条件としては、例えばガスの吹き付け風量7m3/min、ガスの吹き付け風速140m/sec時間3minが挙げられる。上記条件は、封止部材が可撓性部材、ガラス板、金属シートの場合、何れも同じである。 Note that the cleaning device 306b1 of the cleaning step 302b of the first supply step 302 shown in FIG. 4 has the same structure as the cleaning device 206b1 shown in this figure, and is a sealing member placed on the mounting table 304. Examples of conditions for cleaning the bonding surface with the organic EL element include a gas blowing air amount of 7 m 3 / min and a gas blowing air velocity of 140 m / sec for 3 minutes. The above conditions are the same when the sealing member is a flexible member, a glass plate, or a metal sheet.

図5及び図6に示す洗浄装置を使用し、先に示した条件で洗浄することで貼合工程で有機エレクトロルミネッセンス素子と封止部材とを貼合終了後、封止部材と接着剤層との貼合面、接着剤層中、接着剤層と有機エレクトロルミネッセンス素子との貼合面の何れかに混入する、粒径1μm以上の異物の個数を100個/cm2以下、好ましくは75個以下、特に好ましくは50個以下にすることが可能となる。 Using the cleaning apparatus shown in FIGS. 5 and 6, the organic electroluminescence element and the sealing member are bonded in the bonding step by cleaning under the conditions shown above, and then the sealing member, the adhesive layer, and The number of foreign matters having a particle size of 1 μm or more mixed in any of the bonding surfaces of the adhesive layer and the bonding surface of the adhesive layer and the organic electroluminescence element is 100 / cm 2 or less, preferably 75. In the following, it is particularly possible to make the number 50 or less.

粒径1μm以上の異物の個数が100個/cm2を越える場合は、異物噛み込みによる貼合圧着時の応力集中発生箇所が増大し、有機エレクトロルミネッセンス素子のダメージが発生する確率が増してしまう。 When the number of foreign matters having a particle size of 1 μm or more exceeds 100 / cm 2 , the stress concentration occurrence points at the time of bonding and crimping due to the inclusion of foreign matters increase, and the probability of occurrence of damage to the organic electroluminescence element increases. .

尚、異物の測定は金属顕微鏡(オリンパス社製BX61)を使用し暗視野観察にて行った。貼合前の各部材(封止部材、有機EL素子、接着剤)貼合面について、試料1cm2をランダムに5箇所採取し、粒径1μm以上の異物をカウントした平均値を示し、各部材における平均値の合計を貼合終了後の貼合面に混入する異物個数とした。
また、封止部材が光透過性のある場合は、有機EL素子と封止部材とを貼合終了後、封止部材側面より同様な測定方法で異物をカウントし、貼合面に混入する異物個数とすることも可能である。尚、異物の粒径は金属顕微鏡(オリンパス社製BX61)で測定し、異物の投影形状における最大の長さを粒径とした。
In addition, the measurement of the foreign material was performed by dark field observation using a metal microscope (Olympus BX61). About each member (sealing member, organic EL element, adhesive) bonding surface before bonding, sample 1 cm 2 was randomly sampled at five locations, and the average value of counting foreign matters having a particle size of 1 μm or more was shown. The total of the average values in was used as the number of foreign matters mixed in the bonding surface after the bonding.
Moreover, when a sealing member is light-transmitting, after finishing bonding an organic EL element and a sealing member, a foreign material is counted by the same measuring method from the sealing member side surface, and the foreign material mixed in the bonding surface It is also possible to use the number. The particle size of the foreign matter was measured with a metal microscope (Olympus BX61), and the maximum length in the projected shape of the foreign matter was taken as the particle size.

以下、本発明に係る有機EL素子を構成しているガスバリア層、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第2電極、封止層等に付き説明する。   Hereinafter, the gas barrier layer, the first electrode, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer, the second electrode, the sealing layer and the like constituting the organic EL device according to the present invention will be described.

本発明に係わる基板としては、枚葉基板、帯状可撓性基板が挙げられる。枚葉基板としては、透明ガラス板、金属シート、シート状透明樹脂フィルムが挙げられる。透明ガラス板としては封止部材と同じガラスの使用が可能である。金属シートとしては、封止部材と同じ金属シートの使用が可能である。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート(TAC)、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリル或いはポリアリレート類、アートン(商品名JSR社製)或いはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等が挙げられる。帯状可撓性基板としては、透明樹脂フィルムが挙げられ、枚葉基板と同じ樹脂フィルムが使用可能である。   Examples of the substrate according to the present invention include a single wafer substrate and a strip-shaped flexible substrate. Examples of the single-wafer substrate include a transparent glass plate, a metal sheet, and a sheet-like transparent resin film. The same glass as the sealing member can be used as the transparent glass plate. As the metal sheet, the same metal sheet as the sealing member can be used. Examples of the resin film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate (CAP), Cellulose esters such as cellulose acetate phthalate (TAC) and cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether ketone, polyimide , Polyethersulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, Cycloolefin resins such as polyether imide, polyether ketone imide, polyamide, fluororesin, nylon, polymethyl methacrylate, acrylic or polyarylate, Arton (trade name, manufactured by JSR) or Appel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals) Is mentioned. A transparent resin film is mentioned as a strip | belt-shaped flexible board | substrate, The same resin film as a single wafer board | substrate can be used.

基板として透明樹脂フィルムを使用する場合、樹脂フィルムの表面にはガスバリア膜が必要に応じて形成されることが好ましい。ガスバリア膜としては無機物、有機物の被膜又はその両者のハイブリッド被膜が挙げられる。ガスバリア膜の特性としては、水蒸気透過度が0.01g/m2・day・atm以下であることが好ましい。更には、酸素透過度10-3ml/m2/day以下、水蒸気透過度10-5g/m2/day以下の高バリア性フィルムであることが好ましい。 When a transparent resin film is used as the substrate, a gas barrier film is preferably formed on the surface of the resin film as necessary. Examples of the gas barrier film include an inorganic film, an organic film, or a hybrid film of both. As a characteristic of the gas barrier film, the water vapor permeability is preferably 0.01 g / m 2 · day · atm or less. Furthermore, a high barrier film having an oxygen permeability of 10 −3 ml / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 10 −5 g / m 2 / day or less is preferable.

ガスバリア膜を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等を用いることが出来る。更に該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。ガスバリア膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることが出来るが、特開2004−68143号に記載されているような大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   As a material for forming the gas barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Further, in order to improve the brittleness of the film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times. The method for forming the gas barrier film is not particularly limited. For example, the vacuum deposition method, the sputtering method, the reactive sputtering method, the molecular beam epitaxy method, the cluster ion beam method, the ion plating method, the plasma polymerization method, the atmospheric pressure plasma weighting. A combination method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, and the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method as described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.

第1電極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。この様な電極物質の具体例としてはAu等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO2、ZnO等の導電性透明材料が挙げられる。又、IDIXO(In23・ZnO)等非晶質で透明導電膜を作製可能な材料を用いてもよい。陽極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により、薄膜を形成させ、フォトリソグラフィー法で所望の形状のパターンを形成してもよく、或いはパターン精度をあまり必要としない場合は(100μm以上程度)、上記電極物質の蒸着やスパッタリング時に所望の形状のマスクを介してパターンを形成してもよい。この陽極より発光を取り出す場合には、透過率を10%より大きくすることが望ましく、又陽極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。更に膜厚は材料にもよるが、通常10〜1000nm、好ましくは10〜200nmの範囲で選ばれる。 As the first electrode, an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function (4 eV or more) is preferably used. Specific examples of such an electrode substance include metals such as Au, and conductive transparent materials such as CuI, indium tin oxide (ITO), SnO 2 , and ZnO. Alternatively, an amorphous material such as IDIXO (In 2 O 3 .ZnO) capable of forming a transparent conductive film may be used. For the anode, these electrode materials may be formed into a thin film by a method such as vapor deposition or sputtering, and a pattern having a desired shape may be formed by a photolithography method, or when the pattern accuracy is not required (about 100 μm or more) ), A pattern may be formed through a mask having a desired shape when the electrode material is deposited or sputtered. When light emission is extracted from the anode, the transmittance is desirably greater than 10%, and the sheet resistance as the anode is preferably several hundred Ω / □ or less. Further, although the film thickness depends on the material, it is usually selected in the range of 10 to 1000 nm, preferably 10 to 200 nm.

第1電極と発光層又は正孔輸送層の間、正孔注入層(陽極バッファー層)を存在させてもよい。正孔注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123−166頁)に詳細に記載されている。陽極バッファー層(正孔注入層)に使用する材料の一例としては、特開2000−160328号公報に記載されている材料が挙げられる。   A hole injection layer (anode buffer layer) may be present between the first electrode and the light emitting layer or the hole transport layer. The hole injection layer is a layer provided between the electrode and the organic layer in order to lower the driving voltage and improve the luminance of light emission. “The organic EL element and the forefront of industrialization (November 30, 1998, NTS) The details are described in the second volume, Chapter 2, “Electrode Materials” (pages 123 to 166) of “The Company”. Examples of the material used for the anode buffer layer (hole injection layer) include materials described in JP-A No. 2000-160328.

正孔輸送層とは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層又は複数層設けることが出来る。正孔輸送材料としては、正孔の注入又は輸送、電子の障壁性の何れかを有するものであり、有機物、無機物の何れであってもよい。例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、又導電性高分子オリゴマー、特にチオフェンオリゴマー等が挙げられる。   The hole transport layer is made of a hole transport material having a function of transporting holes, and in a broad sense, a hole injection layer and an electron blocking layer are also included in the hole transport layer. The hole transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers. The hole transport material has any one of hole injection or transport and electron barrier properties, and may be either organic or inorganic. For example, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, Examples include stilbene derivatives, silazane derivatives, aniline copolymers, and conductive polymer oligomers, particularly thiophene oligomers.

正孔輸送材料としては上記のものを使用することが出来るが、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾール、更には米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。   The above-mentioned materials can be used as the hole transport material, but it is preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound. Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl; N, N'-diphenyl-N, N'- Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di-p-tolyl) Aminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-diphenyl-N, N ' − (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl; N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl; N, N, N-tri (p-tolyl) amine; 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; 3-methoxy-4′-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and also two of those described in US Pat. No. 5,061,569. Having a condensed aromatic ring in the molecule, for example, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD), JP-A-4-3086 4,4 ', 4 "-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine in which three triphenylamine units described in Japanese Patent No. 8 are linked in a starburst type ( MTDATA) and the like.

更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。又、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することが出来る。   Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.

又、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002),p.139)に記載されているような所謂p型正孔輸送材料を用いることも出来る。本発明においては、より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。   JP-A-11-251067, J. Org. Huang et. al. A so-called p-type hole transport material described in a book (Applied Physics Letters 80 (2002), p. 139) can also be used. In the present invention, it is preferable to use these materials because a light-emitting element with higher efficiency can be obtained.

正孔輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。この正孔輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。又、不純物をドープしたp性の高い正孔輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号、特開2000−196140号、特開2001−102175号、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。この様なp性の高い正孔輸送層を用いることが、より低消費電力の有機EL素子を作製することが出来るため好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of a positive hole transport layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. This hole transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials. A hole transport layer having a high p property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J.A. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such a hole transport layer having a high p property because an organic EL element with lower power consumption can be produced.

本発明に係わる、発光層とは青色発光層、緑色発光層、赤色発光層を指す。発光層を積層する場合の積層順としては、特に制限はなく、又各発光層間に非発光性の中間層を有していてもよい。本発明に係わる発光層においては、少なくとも一つの青発光層が、全発光層中最も陽極に近い位置に設けられていることが好ましい。又、発光層を4層以上設ける場合には、陽極に近い順から、例えば青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層/緑色発光層、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層/緑色発光層/赤色発光層のように青色発光層、緑色発光層、赤色発光層を順に積層することが、輝度安定性を高める上で好ましい。発光層を多層にすることで白色素子の作製が可能である。   According to the present invention, the light emitting layer refers to a blue light emitting layer, a green light emitting layer, and a red light emitting layer. There is no restriction | limiting in particular as a lamination order in the case of laminating | stacking a light emitting layer, You may have a nonluminous intermediate | middle layer between each light emitting layer. In the light emitting layer according to the present invention, it is preferable that at least one blue light emitting layer is provided at a position closest to the anode among all the light emitting layers. Also, when four or more light emitting layers are provided, for example, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting layer, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting from the order close to the anode. Layered / green light emitting layer, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer, etc. It is preferable for improving luminance stability. A white element can be manufactured by forming a light emitting layer in multiple layers.

発光層の膜厚の総和は特に制限はないが、膜の均質性、発光に必要な電圧等を考慮し、通常2nm〜5μm、好ましくは2〜200nmの範囲で選ばれる。更に10〜20nmの範囲にあるのが好ましい。膜厚を20nm以下にすると電圧面のみならず、駆動電流に対する発光色の安定性が向上する効果があり好ましい。個々の発光層の膜厚は、好ましくは2〜100nmの範囲で選ばれ、2〜20nmの範囲にあるのが更に好ましい。青、緑、赤の各発光層の膜厚の関係については、特に制限はないが、3発光層中、青発光層(複数層ある場合はその総和)が最も厚いことが好ましい。   The total thickness of the light emitting layer is not particularly limited, but is usually selected in the range of 2 nm to 5 μm, preferably 2 to 200 nm in consideration of the uniformity of the film and the voltage required for light emission. Furthermore, it is preferable that it exists in the range of 10-20 nm. A film thickness of 20 nm or less is preferable because it has the effect of improving the stability of the emission color with respect to the driving current as well as the voltage surface. The film thickness of each light emitting layer is preferably selected in the range of 2 to 100 nm, and more preferably in the range of 2 to 20 nm. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness relationship of each light emitting layer of blue, green, and red, It is preferable that the blue light emitting layer (the sum total when there are two or more layers) is the thickest among three light emitting layers.

発光層は発光極大波長が各々430〜480nm、510〜550nm、600〜640nmの範囲にある発光スペクトルの異なる少なくとも3層以上の層を含む。3層以上であれば、特に制限はない。4層より多い場合には、同一の発光スペクトルを有する層が複数層あってもよい。発光極大波長が430〜480nmにある層を青発光層、510〜550nmにある層を緑発光層、600〜640nmの範囲にある層を赤発光層と言う。又、前記の極大波長を維持する範囲において、各発光層には複数の発光性化合物を混合してもよい。例えば、青発光層に、極大波長430〜480nmの青発光性化合物と、同510〜550nmの緑発光性化合物を混合して用いてもよい。   The light emitting layer includes at least three layers having different emission spectra, each having an emission maximum wavelength in the range of 430 to 480 nm, 510 to 550 nm, and 600 to 640 nm. If it is three or more layers, there will be no restriction | limiting in particular. When there are more than four layers, there may be a plurality of layers having the same emission spectrum. A layer having an emission maximum wavelength in the range of 430 to 480 nm is referred to as a blue light emitting layer, a layer in the range of 510 to 550 nm is referred to as a green light emitting layer, and a layer in the range of 600 to 640 nm is referred to as a red light emitting layer. Moreover, in the range which maintains the said maximum wavelength, you may mix a several luminescent compound in each light emitting layer. For example, the blue light emitting layer may be used by mixing a blue light emitting compound having a maximum wavelength of 430 to 480 nm and a green light emitting compound having the same wavelength of 510 to 550 nm.

発光層の材料として使用する有機発光材料は、(a)電荷の注入機能、すなわち、電界印加時に陽極或いは正孔注入層から正孔を注入することが出来、陰極或いは電子注入層から電子を注入することが出来る機能、(b)輸送機能、すなわち、注入された正孔及び電子を電界の力で移動させる機能、及び(c)発光機能、すなわち、電子と正孔の再結合の場を提供し、これらを発光に繋げる機能、の3つの機能を併せもつものであれば特に限定はない。例えば、ベンゾチアゾール系、ベンゾイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系等の蛍光増白剤や、スチリルベンゼン系化合物を用いることが出来る。上記の蛍光増白剤の具体例としては、ベンゾオキサゾール系では、2,5−ビス(5,7−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)−1,3,4−チアジアゾール、4,4’−ビス(5,7−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)スチルベン、4,4’−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチル)−2−ベンゾオキサゾオリル]スチルベン、2,5−ビス(5,7−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)チオフェン、2,5−ビス[5−α,α−ジメチルベンジル−2−ベンゾオキサゾリル]チオフェン、2,5−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチル)−2−ベンゾオキサゾリル]−3,4−ジフェニルチオフェン、2,5−ビス(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)チオフェン、4,4’−ビス(2−ベンゾオキサゾリル)ビフェニル、5−メチル−2−[2−[4−(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)フェニル]ビニル]ベンゾオキサゾール、2−[2−(4−クロロフェニル)ビニル]ナフト[1,2−d]オキサゾール等が挙げられる。ベンゾチアゾール系では、2,2’−(p−フェニレンジビニレン)−ビスベンゾチアゾール等が挙げられ、ベンゾイミダゾール系では、2−[2−[4−(2−ベンゾイミダゾリル)フェニル]ビニル]ベンゾイミダゾール、2−[2−(4−カルボキシフェニル)ビニル]ベンゾイミダゾール等が挙げられる。更に、他の有用な化合物は、ケミストリー・オブ・シンセティック・ダイズ(1971),第628〜637頁及び第640頁に列挙されている。   The organic light emitting material used as the material of the light emitting layer is (a) charge injection function, that is, holes can be injected from the anode or hole injection layer when an electric field is applied, and electrons are injected from the cathode or electron injection layer. (B) a transport function, that is, a function that moves injected holes and electrons by the force of an electric field, and (c) a light emission function, that is, a recombination field of electrons and holes. However, there is no particular limitation as long as it has the three functions of connecting these to light emission. For example, fluorescent whitening agents such as benzothiazole, benzimidazole, and benzoxazole, and styrylbenzene compounds can be used. Specific examples of the above-mentioned optical brightener include 2,5-bis (5,7-di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) -1,3,4-thiadiazole in the benzoxazole series, 4 , 4′-bis (5,7-t-pentyl-2-benzoxazolyl) stilbene, 4,4′-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxa Zoolyl] stilbene, 2,5-bis (5,7-di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) thiophene, 2,5-bis [5-α, α-dimethylbenzyl-2-benzoxazoli Ru] thiophene, 2,5-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxazolyl] -3,4-diphenylthiophene, 2,5-bis (5-methyl) -2-benzoxazolyl) thiophene, 4,4′-bis (2 -Benzoxazolyl) biphenyl, 5-methyl-2- [2- [4- (5-methyl-2-benzoxazolyl) phenyl] vinyl] benzoxazole, 2- [2- (4-chlorophenyl) vinyl Naphtho [1,2-d] oxazole and the like. Examples of the benzothiazole type include 2,2 ′-(p-phenylenedivinylene) -bisbenzothiazole, and examples of the benzimidazole type include 2- [2- [4- (2-benzimidazolyl) phenyl] vinyl] benzimidazole. 2- [2- (4-carboxyphenyl) vinyl] benzimidazole and the like. In addition, other useful compounds are listed in Chemistry of Synthetic Soybean (1971), pages 628-637 and 640.

又、上記のスチリルベンゼン系化合物の具体例としては、1,4−ビス(2−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(3−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(4−メチルスチリル)ベンゼン、ジスチリルベンゼン、1,4−ビス(2−エチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(3−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(2−メチルスチリル)−2−メチルベンゼン、1,4−ビス(2−メチルスチリル)−2−エチルベンゼン等が挙げられる。   Specific examples of the styrylbenzene compound include 1,4-bis (2-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (3-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (4-methylstyryl). ) Benzene, distyrylbenzene, 1,4-bis (2-ethylstyryl) benzene, 1,4-bis (3-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (2-methylstyryl) -2-methylbenzene, 1,4-bis (2-methylstyryl) -2-ethylbenzene and the like can be mentioned.

更に、上述した蛍光増白剤及びスチリルベンゼン系化合物以外にも、例えば、12−フタロペリノン、1,4−ジフェニル−1,3−ブタジエン、1,1,4,4−テトラフェニル−1,3−ブタジエン、ナフタルイミド誘導体、ペリレン誘導体、オキサジアゾール誘導体、アルダジン誘導体、ピラジリン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ピロロピロール誘導体、スチリルアミン誘導体、クマリン系化合物、国際公開公報WO90/13148やAppl.Phys.Lett.,vol 58,18,P1982(1991)に記載されているような高分子化合物、芳香族ジメチリディン系化合物が挙げられる。芳香族ジメチリディン系化合物の具体例としては、1,4−フェニレンジメチリディン、4,4’−フェニレンジメチリディン、2,5−キシリレンジメチリディン、2,6−ナフチレンジメチリディン、1,4−ビフェニレンジメチリディン、1,4−p−テレフェニレンジメチリディン、4,4’−ビス(2,2−ジ−t−ブチルフェニルビニル)ビフェニル、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル等、及びこれらの誘導体が挙げられる。又、上記一般式(I)で表される化合物の具体例としては、ビス(2−メチル−8−キノリノラート)(p−フェニルフェノラート)アルミニウム(III)、ビス(2−メチル−8−キノリノラート)(1−ナフトラート)アルミニウム(III)等が挙げられる。   Further, in addition to the above-described optical brightener and styrylbenzene compound, for example, 12-phthaloperinone, 1,4-diphenyl-1,3-butadiene, 1,1,4,4-tetraphenyl-1,3- Butadiene, naphthalimide derivatives, perylene derivatives, oxadiazole derivatives, aldazine derivatives, pyrazirine derivatives, cyclopentadiene derivatives, pyrrolopyrrole derivatives, styrylamine derivatives, coumarin compounds, international publications WO 90/13148 and Appl. Phys. Lett. , Vol 58, 18, P1982 (1991), and aromatic dimethylidin compounds. Specific examples of the aromatic dimethylidin compounds include 1,4-phenylene dimethylidin, 4,4′-phenylene dimethylidin, 2,5-xylylene dimethylidin, 2,6-naphthylene dimethylidin, 1,4-biphenylenedimethylidin, 1,4-p-terephenylenedimethylidin, 4,4′-bis (2,2-di-t-butylphenylvinyl) biphenyl, 4,4′-bis (2 , 2-diphenylvinyl) biphenyl and the like, and derivatives thereof. Specific examples of the compound represented by the general formula (I) include bis (2-methyl-8-quinolinolato) (p-phenylphenolate) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato). ) (1-naphtholate) aluminum (III) and the like.

その他、上述した有機発光材料をホストとし、当該ホストに青色から緑色までの強い蛍光色素、例えばクマリン系或いは前記ホストと同様の蛍光色素をドープした化合物も、有機発光材料として好適である。有機発光材料として前記の化合物を用いた場合には、青色から緑色の発光(発光色はドーパントの種類によって異なる)を高効率で得ることが出来る。前記化合物の材料であるホストの具体例としては、ジスチリルアリーレン骨格の有機発光材料(特に好ましくは、例えば、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル)が挙げられ、前記化合物の材料であるドーパントの具体例としては、ジフェニルアミノビニルアリレーン(特に好ましくは、例えば、N,N−ジフェニルアミノビフェニルベンゼンや4,4’−ビス[2−[4−(N,N−ジ−p−トリル)フェニル]ビニル]ビフェニル)が挙げられる。   In addition, a compound in which the above-described organic light-emitting material is used as a host and the host is doped with a strong fluorescent dye from blue to green, for example, coumarin-based or the same fluorescent dye as the host, is also suitable as the organic light-emitting material. When the above-described compound is used as the organic light-emitting material, blue to green light emission (the emission color varies depending on the type of dopant) can be obtained with high efficiency. Specific examples of the host that is the material of the compound include organic light-emitting materials having a distyrylarylene skeleton (particularly preferably, 4,4′-bis (2,2-diphenylvinyl) biphenyl). Specific examples of the dopant of the material are diphenylaminovinylarylene (particularly preferably, for example, N, N-diphenylaminobiphenylbenzene and 4,4′-bis [2- [4- (N, N-di- -P-tolyl) phenyl] vinyl] biphenyl).

発光層には、発光層の発光効率を高くするために公知のホスト化合物と公知の燐光性化合物(燐光発光性化合物とも言う)を含有することが好ましい。   The light emitting layer preferably contains a known host compound and a known phosphorescent compound (also referred to as a phosphorescent compound) in order to increase the light emission efficiency of the light emitting layer.

ホスト化合物とは、発光層に含有される化合物の内で、その層中での質量比が20%以上であり、且つ室温(25℃)において燐光発光の燐光量子収率が、0.1未満の化合物と定義される。好ましくは燐光量子収率が0.01未満である。ホスト化合物を複数種併用して用いてもよい。ホスト化合物を複数種用いることで、電荷の移動を調整することが可能であり、有機EL素子を高効率化することが出来る。又、燐光性化合物を複数種用いることで、異なる発光を混ぜることが可能となり、これにより任意の発光色を得ることが出来る。燐光性化合物の種類、ドープ量を調整することで白色発光が可能であり、照明、バックライトへの応用も出来る。   The host compound is a compound contained in the light emitting layer, the mass ratio in the layer is 20% or more, and the phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission is less than 0.1 at room temperature (25 ° C.) Is defined as Preferably the phosphorescence quantum yield is less than 0.01. A plurality of host compounds may be used in combination. By using a plurality of types of host compounds, it is possible to adjust the movement of charges, and the organic EL element can be made highly efficient. In addition, by using a plurality of phosphorescent compounds, it is possible to mix different light emissions, thereby obtaining an arbitrary emission color. White light emission is possible by adjusting the kind of phosphorescent compound and the amount of doping, and can also be applied to illumination and backlight.

これらのホスト化合物としては、正孔輸送能、電子輸送能を有しつつ、且つ発光の長波長化を防ぎ、尚且つ高Tg(ガラス転移温度)である化合物が好ましい。公知のホスト化合物としては、例えば、特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報等に記載の化合物が挙げられる。   As these host compounds, compounds having a hole transporting ability and an electron transporting ability, preventing emission light from being increased in wavelength, and having a high Tg (glass transition temperature) are preferable. Known host compounds include, for example, JP-A Nos. 2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, and 2002-334786. Gazette, 2002-8860, 2002-334787, 2002-15871, 2002-334788, 2002-43056, 2002-334789, 2002-75645 2002-338579, 2002-105445, 2002-343568, 2002-141173, 2002-352957, 2002-203683, 2002-363227 2002-231453, 2003-3165, 2002-234888, 2003-27048, 2002-255934, 2002-260861, 2002-280183, Examples thereof include compounds described in 2002-299060, 2002-302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837 and the like.

複数の発光層を有する場合、これら各層のホスト化合物の50質量%以上が同一の化合物であることが、有機層全体に渡って均質な膜性状を得やすいことから好ましく、更にはホスト化合物の燐光発光エネルギーが2.9eV以上であることが、ドーパントからのエネルギー移動を効率的に抑制し、高輝度を得る上で有利となることからより好ましい。燐光発光エネルギーとは、ホスト化合物を基板上に100nmの蒸着膜のフォトルミネッセンスを測定し、その燐光発光の0−0バンドのピークエネルギーを言う。   In the case of having a plurality of light-emitting layers, it is preferable that 50% by mass or more of the host compound in each layer is the same compound because it is easy to obtain a uniform film property over the entire organic layer. It is more preferable that the emission energy is 2.9 eV or more because it is advantageous for efficiently suppressing energy transfer from the dopant and obtaining high luminance. Phosphorescence emission energy refers to the peak energy of 0-0 band of phosphorescence emission measured by measuring photoluminescence of a deposited film of 100 nm on a substrate with a host compound.

ホスト化合物は、有機EL素子の経時での劣化(輝度低下、膜性状の劣化)、光源としての市場ニーズ等を考慮し、燐光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。すなわち、輝度と耐久性の両方を満足するためには、燐光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。Tgは、更に好ましくは100℃以上である。   The host compound has a phosphorescence emission energy of 2.9 eV or more and a Tg of 90 ° C. or more in consideration of deterioration of the organic EL element over time (decrease in luminance and film properties), market needs as a light source, and the like. It is preferable. That is, in order to satisfy both luminance and durability, it is preferable that phosphorescence emission energy is 2.9 eV or more and Tg is 90 ° C. or more. Tg is more preferably 100 ° C. or higher.

燐光性化合物(燐光発光性化合物)とは、励起三重項からの発光が観測される化合物であり、室温(25℃)にて燐光発光する化合物であり、燐光量子収率が、25℃において0.01以上の化合物である。先に説明したホスト化合物と合わせ使用することで、より発光効率の高い有機EL素子とすることが出来る。   A phosphorescent compound (phosphorescent compound) is a compound in which light emission from an excited triplet is observed, is a compound that emits phosphorescence at room temperature (25 ° C.), and has a phosphorescence quantum yield of 0 at 25 ° C. .01 or more compounds. When used in combination with the host compound described above, an organic EL device with higher luminous efficiency can be obtained.

本発明に係る燐光性化合物は、燐光量子収率は好ましくは0.1以上である。上記燐光量子収率は、第4版実験化学講座7の分光IIの398頁(1992年版、丸善)に記載の方法により測定出来る。溶液中での燐光量子収率は種々の溶媒を用いて測定出来るが、本発明に用いられる燐光性化合物は、任意の溶媒の何れかにおいて上記燐光量子収率が達成されればよい。   The phosphorescent compound according to the present invention preferably has a phosphorescent quantum yield of 0.1 or more. The phosphorescent quantum yield can be measured by the method described in Spectroscopic II, page 398 (1992 edition, Maruzen) of Experimental Chemistry Course 4 of the 4th edition. Although the phosphorescence quantum yield in a solution can be measured using various solvents, the phosphorescence quantum yield used in the present invention is only required to achieve the above phosphorescence quantum yield in any solvent.

燐光性化合物の発光は原理としては2種挙げられ、一つはキャリアが輸送されるホスト化合物上でキャリアの再結合が起こってホスト化合物の励起状態が生成し、このエネルギーを燐光性化合物に移動させることで燐光性化合物からの発光を得るというエネルギー移動型、もう一つは燐光性化合物がキャリアトラップとなり、燐光性化合物上出来ャリアの再結合が起こり燐光性化合物からの発光が得られるというキャリアトラップ型であるが、何れの場合においても、燐光性化合物の励起状態のエネルギーはホスト化合物の励起状態のエネルギーよりも低いことが条件である。   There are two types of light emission of phosphorescent compounds in principle. One is the recombination of carriers on the host compound to which carriers are transported to generate an excited state of the host compound, and this energy is transferred to the phosphorescent compound. Energy transfer type to obtain light emission from the phosphorescent compound, and the other is that the phosphorescent compound becomes a carrier trap, and recombination of the carriers on the phosphorescent compound occurs and light emission from the phosphorescent compound is obtained. Although it is a trap type, in any case, it is a condition that the excited state energy of the phosphorescent compound is lower than the excited state energy of the host compound.

燐光性化合物は、有機EL素子の発光層に使用される公知のものの中から適宜選択して用いることが出来る。燐光性化合物としては、好ましくは元素の周期表で8族−10族の金属を含有する錯体系化合物であり、更に好ましくはイリジウム化合物、オスミウム化合物、又は白金化合物(白金錯体系化合物)、希土類錯体であり、中でも最も好ましいのはイリジウム化合物である。   The phosphorescent compound can be appropriately selected from known compounds used for the light emitting layer of the organic EL device. The phosphorescent compound is preferably a complex compound containing a group 8-10 metal in the periodic table of elements, more preferably an iridium compound, an osmium compound, or a platinum compound (platinum complex compound), a rare earth complex. Of these, iridium compounds are most preferred.

本発明においては、燐光性化合物の燐光発光極大波長としては特に制限されるものではなく、原理的には中心金属、配位子、配位子の置換基等を選択することで得られる発光波長を変化させることが出来る。   In the present invention, the phosphorescent maximum wavelength of the phosphorescent compound is not particularly limited, and in principle, the emission wavelength obtained by selecting a central metal, a ligand, a ligand substituent, and the like. Can be changed.

本発明に係わる有機EL素子や本発明に係る化合物の発光する色は、「新編色彩科学ハンドブック」(日本色彩学会編、東京大学出版会、1985)の108頁の図4.16において、分光放射輝度計CS−1000(コニカミノルタセンシング社製)で測定した結果をCIE色度座標に当て嵌めた時の色で決定される。   The light emission color of the organic EL device according to the present invention and the compound according to the present invention is shown in FIG. 4.16 on page 108 of “New Color Science Handbook” (edited by the Japan Color Society, University of Tokyo Press, 1985). It is determined by the color when the result measured with a luminance meter CS-1000 (manufactured by Konica Minolta Sensing) is applied to the CIE chromaticity coordinates.

本発明で言うところの白色素子とは、2℃視野角正面輝度を上記方法により測定した際に、1000cd/m2でのCIE1931 表色系における色度がX=0.33±0.07、Y=0.33±0.07の領域内にあることを言う。 The white element referred to in the present invention means that the chromaticity in the CIE1931 color system at 1000 cd / m 2 is X = 0.33 ± 0.07 when the front luminance at 2 ° C. viewing angle is measured by the above method. It is in the region of Y = 0.33 ± 0.07.

電子注入層とは、電子を輸送する機能を有する材料からなり広い意味で電子輸送層に含まれる。電子注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されている。電子注入層(陰極バッファー層)は、特開平6−325871号公報、同9−17574号公報、同10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的にはストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属バッファー層、フッ化リチウムに代表されるアルカリ金属化合物バッファー層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物バッファー層、酸化アルミニウムに代表される酸化物バッファー層等が挙げられる。上記バッファー層(注入層)はごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるがその膜厚は0.1nm〜5μmの範囲が好ましい。   The electron injection layer is made of a material having a function of transporting electrons and is included in the electron transport layer in a broad sense. The electron injection layer is a layer provided between the electrode and the organic layer for lowering the driving voltage and improving the luminance of the light emission. “Organic EL element and its forefront of industrialization (NST 30, November 30, 1998) Issue) ”, Chapter 2, Chapter 2,“ Electrode Materials ”(pages 123-166). The details of the electron injection layer (cathode buffer layer) are also described in JP-A-6-325871, JP-A-9-17574, JP-A-10-74586, and the like. Specifically, strontium, aluminum, etc. Metal buffer layer typified by lithium, alkali metal compound buffer layer typified by lithium fluoride, alkaline earth metal compound buffer layer typified by magnesium fluoride, oxide buffer layer typified by aluminum oxide, etc. . The buffer layer (injection layer) is preferably a very thin film, and the film thickness is preferably in the range of 0.1 nm to 5 μm although it depends on the material.

他に発光層側に隣接する電子輸送層に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよく、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることが出来、例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体等が挙げられる。更に、上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来る。更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。   In addition, as an electron transport material (also serving as a hole blocking material) used for the electron transport layer adjacent to the light emitting layer side, it is sufficient if it has a function of transmitting electrons injected from the cathode to the light emitting layer. As a material, any one of conventionally known compounds can be selected and used. For example, nitro-substituted fluorene derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, carbodiimides, fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodisides. Examples include methane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives and the like. Furthermore, in the above oxadiazole derivatives, thiadiazole derivatives in which the oxygen atom of the oxadiazole ring is substituted with a sulfur atom, and quinoxaline derivatives having a quinoxaline ring known as an electron-withdrawing group can also be used as the electron transport material. Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.

又、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、Ga又はPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送材料として用いることが出来る。その他、メタルフリーもしくはメタルフタロシアニン、又はそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送材料として好ましく用いることが出来る。又、ジスチリルピラジン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来るし、正孔注入層、正孔輸送層と同様に、n型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送材料として用いることが出来る。電子輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。電子輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。   Also, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (Alq), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol) aluminum. Tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (Znq), and the like, and the central metals of these metal complexes are In, Mg, Metal complexes replaced with Cu, Ca, Sn, Ga or Pb can also be used as the electron transport material. In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with an alkyl group or a sulfonic acid group can be preferably used as the electron transporting material. Distyrylpyrazine derivatives can also be used as electron transport materials, and inorganic semiconductors such as n-type-Si and n-type-SiC are also used as electron transport materials in the same manner as the hole injection layer and hole transport layer. I can do it. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of an electron carrying layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. The electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

又、不純物をドープしたn性の高い電子輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号公報、特開平10−270172号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。この様なn性の高い電子輸送層を用いることがより低消費電力の素子を作製することが出来るため好ましい。   An electron transport layer having a high n property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Pat. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such an electron transport layer having a high n property because an element with lower power consumption can be manufactured.

第2電極としては、仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。この様な電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、電子注入性及び酸化等に対する耐久性の点から、電子注入性金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。陰極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することが出来る。又、陰極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50〜200nmの範囲で選ばれる。尚、発光した光を透過させるため、有機EL素子の第1電極(陽極)又は第2電極(陰極)の何れか一方が、透明又は半透明であれば発光輝度が向上し好都合である。 As the second electrode, a material having a work function (4 eV or less) metal (referred to as an electron injecting metal), an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof as an electrode material is used. Specific examples of such electrode materials include sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) Mixtures, indium, lithium / aluminum mixtures, rare earth metals and the like. Among these, from the point of durability against electron injection and oxidation, etc., a mixture of an electron injecting metal and a second metal which is a stable metal having a larger work function than this, for example, a magnesium / silver mixture, Suitable are a magnesium / aluminum mixture, a magnesium / indium mixture, an aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, a lithium / aluminum mixture, aluminum and the like. The cathode can be produced by forming a thin film of these electrode materials by a method such as vapor deposition or sputtering. The sheet resistance as the cathode is preferably several hundred Ω / □ or less, and the film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 to 200 nm. In order to transmit the emitted light, if either one of the first electrode (anode) or the second electrode (cathode) of the organic EL element is transparent or translucent, the emission luminance is advantageously improved.

又、第2電極に上記金属を1〜20nmの膜厚で作製した後に、第1電極の説明で挙げた導電性透明材料をその上に作製することで、透明又は半透明の第2電極(陰極)を作製することが出来、これを応用することで第1電極(陽極)と第2電極(陰極)の両方が透
過性を有する素子を作製することが出来る。
Moreover, after producing the metal with a thickness of 1 to 20 nm on the second electrode, the conductive transparent material mentioned in the description of the first electrode is produced thereon, so that a transparent or translucent second electrode ( A cathode) can be manufactured, and by applying this, an element in which both the first electrode (anode) and the second electrode (cathode) are transmissive can be manufactured.

本発明に係わる有機EL素子の発光の室温における外部取り出し効率は1%以上であることが好ましく、より好ましくは5%以上である。ここに、外部取り出し量子効率(%)=有機EL素子外部に発光した光子数/有機EL素子に流した電子数×100である。   The external extraction efficiency at room temperature of light emission of the organic EL device according to the present invention is preferably 1% or more, more preferably 5% or more. Here, the external extraction quantum efficiency (%) = the number of photons emitted to the outside of the organic EL element / the number of electrons sent to the organic EL element × 100.

又、カラーフィルター等の色相改良フィルター等を併用しても、有機EL素子からの発光色を蛍光体を用いて多色へ変換する色変換フィルターを併用してもよい。色変換フィルターを用いる場合においては、有機EL素子の発光のλmaxは480nm以下が好ましい。   In addition, a hue improvement filter such as a color filter may be used in combination, or a color conversion filter that converts the emission color from the organic EL element into multiple colors using a phosphor may be used in combination. In the case of using a color conversion filter, the λmax of light emission of the organic EL element is preferably 480 nm or less.

本発明に係わる有機EL素子は、発光層で発生した光を効率よく取り出すために以下に示す方法を併用することが好ましい。有機EL素子は、空気よりも屈折率の高い(屈折率が1.7〜2.1程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光の内15%から20%程度の光しか取り出せないことが一般的に言われている。これは、臨界角以上の角度θで界面(透明基板と空気との界面)に入射する光は、全反射を起こし素子外部に取り出すことが出来ないことや、透明電極ないし発光層と透明基板との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として、光が素子側面方向に逃げるためである。   The organic EL device according to the present invention is preferably used in combination with the following method in order to efficiently extract light generated in the light emitting layer. The organic EL element emits light inside a layer having a refractive index higher than that of air (refractive index is about 1.7 to 2.1), and only about 15% to 20% of the light generated in the light emitting layer can be extracted. It is generally said that there is no. This is because the light incident on the interface (interface between the transparent substrate and air) at an angle θ greater than the critical angle causes total reflection and cannot be taken out of the element, or the transparent electrode or light emitting layer and the transparent substrate This is because the light undergoes total reflection between them, the light is guided through the transparent electrode or the light emitting layer, and as a result, the light escapes in the direction of the side of the device.

この光の取り出しの効率を向上させる手法としては、例えば、透明基板表面に凹凸を形成し、透明基板と空気界面での全反射を防ぐ方法(米国特許第4,774,435)。基板に集光性を持たせることにより効率を向上させる方法(特開昭63−314795号公報)。素子の側面等に反射面を形成する方法(特開平1−220394号公報)。基板と発光体の間に中間の屈折率を持つ平坦層を導入し、反射防止膜を形成する方法(特開昭62−172691号公報)。基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法(特開2001−202827号公報)。基板、透明電極層や発光層の何れかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法(特開平11−283751号公報)等がある。   As a method for improving the light extraction efficiency, for example, a method of forming irregularities on the surface of the transparent substrate to prevent total reflection at the interface between the transparent substrate and the air (US Pat. No. 4,774,435). A method for improving efficiency by providing a substrate with a light condensing property (JP-A-63-314795). A method of forming a reflective surface on the side surface of an element (Japanese Patent Laid-Open No. 1-220394). A method of forming an antireflection film by introducing a flat layer having an intermediate refractive index between a substrate and a light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 62-172691). A method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-202827). There is a method of forming a diffraction grating between any one of the substrate, the transparent electrode layer, and the light emitting layer (including between the substrate and the outside) (Japanese Patent Laid-Open No. 11-283951).

透明電極と透明基板の間に低屈折率の媒質を光の波長よりも長い厚みで形成すると、透明電極から出てきた光は、媒質の屈折率が低いほど、外部への取り出し効率が高くなる。低屈折率層としては、例えば、エアロゲル、多孔質シリカ、フッ化マグネシウム、フッ素系ポリマー等が挙げられる。透明基板の屈折率は一般に1.5〜1.7程度であるので、低屈折率層は、屈折率がおよそ1.5以下であることが好ましい。又、更に1.35以下であることが好ましい。低屈折率媒質の厚みは、媒質中の波長の2倍以上となるのが望ましい。これは、低屈折率媒質の厚みが、光の波長程度になってエバネッセントで染み出した電磁波が基板内に入り込む膜厚になると、低屈折率層の効果が薄れるからである。全反射を起こす界面もしくは何れかの媒質中に回折格子を導入する方法は、光取り出し効率の向上効果が高いという特徴がある。この方法は、回折格子が1次の回折や、2次の回折といった所謂ブラッグ回折により、光の向きを屈折とは異なる特定の向きに変えることが出来る性質を利用して、発光層から発生した光の内、層間での全反射等により外に出ることが出来ない光を、何れかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)に回折格子を導入することで光を回折させ、光を外に取り出そうとするものである。導入する回折格子は、二次元的な周期屈折率を持っていることが望ましい。これは、発光層で発光する光はあらゆる方向にランダムに発生するので、ある方向にのみ周期的な屈折率分布を持っている一般的な1次元回折格子では、特定の方向に進む光しか回折されず、光の取り出し効率がさほど上がらない。しかしながら、屈折率分布を二次元的な分布にすることにより、あらゆる方向に進む光が回折され、光の取り出し効率が上がる。   When a low refractive index medium is formed between the transparent electrode and the transparent substrate with a thickness longer than the wavelength of light, the light extracted from the transparent electrode has a higher extraction efficiency to the outside as the refractive index of the medium is lower. . Examples of the low refractive index layer include aerogel, porous silica, magnesium fluoride, and a fluorine-based polymer. Since the refractive index of the transparent substrate is generally about 1.5 to 1.7, the low refractive index layer preferably has a refractive index of about 1.5 or less. Further, it is preferably 1.35 or less. The thickness of the low refractive index medium is preferably at least twice the wavelength in the medium. This is because the effect of the low refractive index layer is diminished when the thickness of the low refractive index medium is about the wavelength of light and the electromagnetic wave that has exuded by evanescent enters the substrate. The method of introducing a diffraction grating into an interface or any medium that causes total reflection is characterized by a high effect of improving light extraction efficiency. This method is generated from the light emitting layer by utilizing the property that the diffraction grating can change the direction of light to a specific direction different from refraction by so-called Bragg diffraction such as first-order diffraction and second-order diffraction. Of the light, the light that cannot go out due to total reflection between layers, etc. is diffracted by introducing a diffraction grating into any layer or medium (inside a transparent substrate or transparent electrode) , Trying to extract light out. The introduced diffraction grating desirably has a two-dimensional periodic refractive index. This is because light emitted from the light-emitting layer is randomly generated in all directions, so in a general one-dimensional diffraction grating having a periodic refractive index distribution only in a certain direction, only light traveling in a specific direction is diffracted. The light extraction efficiency does not increase so much. However, by making the refractive index distribution a two-dimensional distribution, light traveling in all directions is diffracted, and light extraction efficiency is increased.

回折格子を導入する位置としては前述の通り、何れかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)でもよいが、光が発生する場所である有機発光層の近傍が望ましい。この時、回折格子の周期は、媒質中の光の波長の約1/2〜3倍程度が好ましい。回折格子の配列は、正方形のラチス状、三角形のラチス状、ハニカムラチス状等、2次元的に配列が繰り返されることが好ましい。   As described above, the position where the diffraction grating is introduced may be in any of the layers or in the medium (in the transparent substrate or the transparent electrode), but is preferably in the vicinity of the organic light emitting layer where light is generated. At this time, the period of the diffraction grating is preferably about 1/2 to 3 times the wavelength of light in the medium. The arrangement of the diffraction grating is preferably two-dimensionally repeated, such as a square lattice, a triangular lattice, or a honeycomb lattice.

更に、本発明に係わる有機EL素子は、発光層で発生した光を効率よく取り出すために、基板の光取り出し側に、例えばマイクロレンズアレイ上の構造を設けるように加工したり、或いは、所謂集光シートと組合せることにより、特定方向、例えば素子発光面に対し正面方向に集光することにより、特定方向上の輝度を高めることが出来る。マイクロレンズアレイの例としては、基板の光取り出し側に一辺が30μmでその頂角が90度となるような四角錐を2次元に配列する。一辺は10μm〜100μmが好ましい。これより小さくなると回折の効果が発生して色付く、大き過ぎると厚みが厚くなり好ましくない。   Furthermore, the organic EL device according to the present invention can be processed to provide, for example, a structure on a microlens array on the light extraction side of the substrate in order to efficiently extract the light generated in the light emitting layer, or so-called collection. By combining with the light sheet, the luminance in the specific direction can be increased by condensing light in a specific direction, for example, the front direction with respect to the element light emitting surface. As an example of the microlens array, quadrangular pyramids having a side of 30 μm and an apex angle of 90 degrees are two-dimensionally arranged on the light extraction side of the substrate. One side is preferably 10 μm to 100 μm. If it becomes smaller than this, the effect of diffraction will generate | occur | produce and color, and if too large, thickness will become thick and is not preferable.

集光シートとしては、例えば液晶表示装置のLEDバックライトで実用化されているものを用いることが可能である。この様なシートとして例えば、住友スリーエム社製輝度上昇フィルム(BEF)等を用いることが出来る。プリズムシートの形状としては、例えば基板に頂角90度、ピッチ50μmの△状のストライプが形成されたものであってもよいし、頂角が丸みを帯びた形状、ピッチをランダムに変化させた形状、その他の形状であってもよい。又、発光素子からの光放射角を制御するために光拡散板・フィルムを、集光シートと併用してもよい。例えば、(株)きもと製拡散フィルム(ライトアップ)等を用いることが出来る。   As the condensing sheet, for example, a sheet that is put into practical use in an LED backlight of a liquid crystal display device can be used. As such a sheet, for example, a brightness enhancement film (BEF) manufactured by Sumitomo 3M Limited can be used. As the shape of the prism sheet, for example, the substrate may be formed with a triangle stripe having a vertex angle of 90 degrees and a pitch of 50 μm, or the vertex angle is rounded, and the pitch is randomly changed. The shape may be other shapes. Moreover, in order to control the light emission angle from a light emitting element, you may use a light-diffusion plate and a film together with a condensing sheet. For example, a diffusion film (light-up) manufactured by Kimoto Co., Ltd. can be used.

以下、実施例を挙げて本発明の具体的な効果を示すが、本発明の態様はこれに限定されるものではない
実施例1
〈有機EL素子の作製〉
基板上に第1電極と、正孔輸送層と、発光層と、電子輸送層と、第2電極とをこの順番で形成した、一つのドットの大きさが2mm×2mmで、7ドット×10ドットの合計70ドット(発光領域)で構成される有機EL素子を以下に示す方法で準備した。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and the specific effect of this invention is shown, the aspect of this invention is not limited to this Example 1
<Production of organic EL element>
A first electrode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and a second electrode are formed on the substrate in this order. One dot has a size of 2 mm × 2 mm, and 7 dots × 10 An organic EL element composed of a total of 70 dots (light emitting region) was prepared by the method described below.

(基板の準備)
基板として厚さ1.1mm、幅40mm、長さ60mmのソーダ石灰ガラスを準備した。尚、ソーダ石灰ガラスの全面には、酸やアルカリから保護するためのシリカコートしたものを使用した。
(Preparation of substrate)
A soda-lime glass having a thickness of 1.1 mm, a width of 40 mm, and a length of 60 mm was prepared as a substrate. In addition, the surface of the soda-lime glass used was a silica-coated glass for protection from acid and alkali.

(第1電極の形成)
準備したガラス基板を波長184.2nmの低圧水銀ランプを使用し、照射強度15mW/cm2で、距離12mmで照射し洗浄を行った。この後、気相堆積装置を使用し、5×10-4Paの真空下にてインジウムチンオキシド(ITO)を使用し、準備したガラス基板の堆積膜形成領域(第1電極形成領域)に幅2mm、長さ58mm、間隔2mm、厚さ150nm、7列のパターン化した第1電極を形成した。
(Formation of the first electrode)
The prepared glass substrate was cleaned by irradiation at a distance of 12 mm with an irradiation intensity of 15 mW / cm 2 using a low-pressure mercury lamp having a wavelength of 184.2 nm. Then, using a vapor deposition apparatus, using indium tin oxide (ITO) under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa, the width of the deposited film formation region (first electrode formation region) of the prepared glass substrate The patterned 1st electrode of 2 mm, length 58mm, space | interval 2mm, thickness 150nm, and 7 rows was formed.

(正孔輸送層の形成)
第1電極が形成されたガラス基板を使用し、ガラス基板上に形成された第1電極の外部取り出し電極形成用の端部を除き第1電極の上に、正孔輸送層形成用材料としてN,N′−ジフェニル−N,N′−m−トリル4,4′−ジアミノ−1,1′−ビフェニル(以下、TPD)を使用し、5×10-4Paの真空下にて気相堆積装置で蒸着(気相堆積)した。尚、正孔輸送層の厚さは50nmとした。
(Formation of hole transport layer)
A glass substrate on which the first electrode is formed is used, and N is used as a hole transport layer forming material on the first electrode except for an end portion for forming an external extraction electrode of the first electrode formed on the glass substrate. , N′-diphenyl-N, N′-m-tolyl 4,4′-diamino-1,1′-biphenyl (hereinafter referred to as TPD) and vapor phase deposition under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa Vapor deposition (vapor deposition) was performed using an apparatus. The thickness of the hole transport layer was 50 nm.

(発光層の形成)
正孔輸送層が形成されたガラス基板を使用し、正孔輸送層の上に発光層形成用材料としてAlq3を使用し、5×10-4Paの真空下にて気相堆積装置で蒸着した。尚、発光層の厚さは50nmとした。
(Formation of light emitting layer)
Using a glass substrate on which a hole transport layer is formed, Alq 3 is used as a light emitting layer forming material on the hole transport layer, and vapor deposition is performed in a vapor deposition apparatus under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa. did. The thickness of the light emitting layer was 50 nm.

(電子輸送層の形成)
発光層が形成されたガラス基板を使用し、発光層を含め正孔輸送層が形成された領域に、電子輸送層形成用材料としてLiFを使用し、5×10-4Paの真空下にて気相堆積装置でLiFを蒸着した。尚、電子輸送層の厚さは0.5nmとした。
(Formation of electron transport layer)
Using a glass substrate on which a light emitting layer is formed, using LiF as a material for forming an electron transport layer in a region where a hole transport layer is formed including the light emitting layer, under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa LiF was vapor-deposited with a vapor deposition apparatus. The thickness of the electron transport layer was 0.5 nm.

(第2電極の形成)
電子輸送層が形成されたガラス基板を使用し、図3に示す様に電子輸送層の上に第2電極形成用材料としてAlを使用し、5×10-4Paの真空下にて第2電極形成気相堆積装置でAlを蒸着した。尚、形成した第2電極は第1電極と直交する様に、幅2mm、長さ38mm、間隔2mm、厚さ150nm、10列のパターンとした。
(Formation of second electrode)
A glass substrate on which an electron transport layer is formed is used, and as shown in FIG. 3, Al is used as the second electrode forming material on the electron transport layer, and the second electrode is formed under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa. Al was vapor-deposited by an electrode forming vapor deposition apparatus. In addition, the formed 2nd electrode was made into the pattern of width 2mm, length 38mm, space | interval 2mm, thickness 150nm, and 10 rows so that it may orthogonally cross with the 1st electrode.

(封止部材の洗浄)
PET120μm/SiO30nmμm/SiN100nmの構成を有する可撓性封止部材を準備し、図3に示す製造装置の第1供給工程の図5に示す洗浄装置を使用し、表1に示す様な洗浄条件で可撓性封止部材の表面を洗浄しNo.1−1〜1−3とした。又、洗浄しない可撓性封止部材を準備しNo.1−4とした。使用した可撓性封止部材のJIS K7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・dayであった。JIS K7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した酸素透過度は0.01ml/m2・day・atmであった。
(Cleaning of sealing member)
A flexible sealing member having a configuration of PET 120 μm / SiO 30 nm μm / SiN 100 nm was prepared, and the cleaning apparatus shown in FIG. 5 in the first supply step of the manufacturing apparatus shown in FIG. The surface of the flexible sealing member is washed and no. 1-1 to 1-3. In addition, a flexible sealing member that is not cleaned is prepared. 1-4. The water vapor permeability of the used flexible sealing member measured by the MOCON method mainly in accordance with JIS K7129B method (1992) was 0.01 g / m 2 · day. The oxygen permeability measured mainly by the MOCON method by a method based on JIS K7126B method (1987) was 0.01 ml / m 2 · day · atm.

可撓性封止部材の表面の粒径1μm以上の異物の個数は次の方法で測定した。   The number of foreign matters having a particle size of 1 μm or more on the surface of the flexible sealing member was measured by the following method.

異物の個数
可撓性封止部材の表面1cm2をランダムに5箇所選択し、金属顕微鏡(オリンパス社製BX61)を使用し暗視野観察にて粒径1μm以上の異物をカウントした。5箇所の平均値を異物の個数とした。
Number of foreign substances Five 1 cm 2 surfaces of the flexible sealing member were randomly selected, and foreign substances having a particle diameter of 1 μm or more were counted by dark field observation using a metal microscope (Olympus BX61). The average value of five locations was taken as the number of foreign matters.

尚、角度は洗浄装置のノズルの載置台の上の封止部材の表面に対するガスの吹き付け角度を示す。   In addition, an angle shows the spray angle of the gas with respect to the surface of the sealing member on the mounting base of the nozzle of a washing | cleaning apparatus.

Figure 2007200591
Figure 2007200591

(可撓性封止部材への接着剤の配置)
図3に示す製造工程の接着剤の配置装置を使用し、紫外線硬化型の液状接着剤(ThreeBond3124C(株)スリーボンド製)を使用し、準備した可撓性封止部材No.1−1〜1−4にスクリーン印刷法で厚さ50μmに配置した後、洗浄装置にて表2に示す様な洗浄条件で接着剤の表面を洗浄しNo.1−a〜1−eとした。又、接着剤の表面を洗浄しない可撓性封止部材を準備しNo.1−f〜1−hとした。
(Arrangement of adhesive on flexible sealing member)
Using the adhesive placement apparatus of the manufacturing process shown in FIG. 3, an ultraviolet curable liquid adhesive (manufactured by ThreeBond 3124C, manufactured by Three Bond Co., Ltd.) was used, and the prepared flexible sealing member No. 1-1 to 1-4 was placed at a thickness of 50 μm by screen printing, and then the surface of the adhesive was washed under a washing condition as shown in Table 2 with a washing device. 1-a to 1-e. Also, a flexible sealing member that does not clean the surface of the adhesive is prepared. 1-f to 1-h.

接着剤の表面の粒径1μm以上の異物の個数は可撓性封止部材と同じ方法で測定した。   The number of foreign matters having a particle size of 1 μm or more on the surface of the adhesive was measured by the same method as that for the flexible sealing member.

尚、角度は洗浄装置のノズルの載置台の上の接着剤の表面に対するガスの吹き付け角度を示す。   In addition, an angle shows the spray angle of the gas with respect to the surface of the adhesive agent on the mounting base of the nozzle of a washing | cleaning apparatus.

Figure 2007200591
Figure 2007200591

〈有機EL素子の洗浄〉
準備した有機EL素子の可撓性封止部材を貼合する面を図3に示す製造装置の第2供給工程の図6に示す洗浄装置にて表3に示す様な洗浄条件で有機EL素子の表面(封止部材を貼合する側)を洗浄しNo.1−A〜1−Cとした。又、有機EL素子の表面(封止部材を貼合する側)を洗浄しない有機EL素子を準備しNo.1−Dとした。
<Cleaning of organic EL elements>
The surface to which the flexible sealing member of the prepared organic EL element is bonded is subjected to the cleaning conditions as shown in Table 3 in the cleaning apparatus shown in FIG. 6 in the second supply step of the manufacturing apparatus shown in FIG. The surface (side on which the sealing member is pasted) was washed and No. 1-A to 1-C. Moreover, the organic EL element which does not wash | clean the surface (side which bonds a sealing member) of an organic EL element is prepared, and No. 1-D.

有機EL素子の表面の粒径1μm以上の異物の個数は可撓性封止部材と同じ方法で測定した。尚、角度は洗浄装置のノズルの載置台の上の有機EL素子の表面に対するガスの吹き付け角度を示す。   The number of foreign matters having a particle size of 1 μm or more on the surface of the organic EL element was measured by the same method as that for the flexible sealing member. In addition, an angle shows the spray angle of the gas with respect to the surface of the organic EL element on the mounting base of the nozzle of a washing | cleaning apparatus.

Figure 2007200591
Figure 2007200591

〈可撓性封止部材による有機EL素子の密着封止〉
図3に示す製造装置の貼合工程で、準備した各有機EL素子No.1−A〜1−Dと準備した各接着剤配置済み可撓性封止部材No.1−a〜1−hとを表4に示す様に組合せ貼合し、密着封止した有機ELパネルを作製、試料No.101〜132とした。尚、貼合は、1×10-2Paの減圧環境下で押圧力0.1MPaで圧着し、可撓性封止部材側より主波長365nmの紫外線を照射(100mW/cm2で90sec)により硬化処理を行った。尚、貼合工程は、クリーン度クラス1000(米国連邦規格209D)以下の環境で行った。
(評価)
作製した各試料No.101〜132に付き、ダークスポット(スポット状の非発光部)の発生割合を以下に示す試験方法により試験し、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表4に示す。
ダークスポット発生割合の試験方法
定電圧電源を用いて、有機EL素子の1ドットに直流5Vを印加し、ダークスポットの有無をルーペ(倍率8倍)を用い目視にて観察した。70ドット(発光領域)全てにおいて測定を行い、ダークスポットの発生したドットの数からダークスポットの発生割合を算出した。
ダークスポット発生割合の評価ランク
◎:発生率0%(ダークスポットの発生が全くない。)
○:発生率1%以上5%未満
△:発生率5%以上20%未満
×:発生率20%以上50%未満
××:発生率50%以上
<Adhesive sealing of organic EL element by flexible sealing member>
In the bonding process of the manufacturing apparatus shown in FIG. 1-A to 1-D and the prepared flexible sealing member No. 1-a to 1-h were combined and bonded as shown in Table 4 to produce a sealed organic EL panel. 101-132. Bonding is performed by pressing with a pressing force of 0.1 MPa under a reduced pressure environment of 1 × 10 −2 Pa, and irradiation with ultraviolet light having a dominant wavelength of 365 nm from the flexible sealing member side (90 sec at 100 mW / cm 2 ). Curing treatment was performed. In addition, the bonding process was performed in an environment of cleanliness class 1000 (US Federal Standard 209D) or lower.
(Evaluation)
Each prepared sample No. Table 4 shows the results of tests 101 to 132 and the dark spot (spot-like non-light emitting portion) generation rate tested by the test method shown below and evaluated according to the evaluation rank shown below.
Test Method of Dark Spot Generation Ratio Using a constant voltage power source, DC 5V was applied to one dot of the organic EL element, and the presence or absence of the dark spot was visually observed using a loupe (magnification 8 times). Measurement was performed for all 70 dots (light emitting area), and the dark spot generation ratio was calculated from the number of dots where dark spots were generated.
Evaluation rank of dark spot generation rate A: Occurrence rate 0% (no dark spots are generated)
○: Occurrence rate 1% or more and less than 5% △: Occurrence rate 5% or more and less than 20% ×: Occurrence rate 20% or more and less than 50% XX: Occurrence rate 50% or more

Figure 2007200591
Figure 2007200591

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例2
〈有機EL素子の準備〉
実施例1と同じ材料を使用し、同じ構成の有機EL素子を準備した。
Example 2
<Preparation of organic EL elements>
The same material as in Example 1 was used, and an organic EL element having the same configuration was prepared.

〈有機EL素子の洗浄〉
準備した有機EL素子の可撓性封止部材を貼合する面を図4に示す製造装置の第1供給工程の図5に示す洗浄装置にて表5に示す様な洗浄条件で有機EL素子の表面(封止部材を貼合する側)を洗浄しNo.2−A〜2−Cとした。又、有機EL素子の表面(封止部材を貼合する側)を洗浄しない有機EL素子を準備しNo.2−Dとした。
有機EL素子の表面の粒径1μm以上の異物の個数は次の方法で測定した。
<Cleaning of organic EL elements>
The surface to which the flexible sealing member of the prepared organic EL element is bonded is organic EL element under the cleaning conditions as shown in Table 5 in the cleaning apparatus shown in FIG. 5 of the first supply step of the manufacturing apparatus shown in FIG. The surface (side on which the sealing member is pasted) was washed and No. 2-A to 2-C. Moreover, the organic EL element which does not wash | clean the surface (side which bonds a sealing member) of an organic EL element is prepared, and No. 2-D.
The number of foreign matters having a particle diameter of 1 μm or more on the surface of the organic EL element was measured by the following method.

異物の個数
有機EL素子の表面1cm2をランダムに5箇所選択し、金属顕微鏡(オリンパス社製BX61)を使用し暗視野観察にて粒径1μm以上の異物をカウントした。5箇所の平均値を異物の個数とした。
Number of foreign objects Five 1 cm 2 surfaces of the organic EL element were randomly selected, and foreign objects having a particle diameter of 1 μm or more were counted by dark field observation using a metal microscope (Olympus BX61). The average value of five locations was taken as the number of foreign matters.

尚、角度は洗浄装置のノズルの載置台の上の有機EL素子の表面に対するガスの吹き付け角度を示す。   In addition, an angle shows the spray angle of the gas with respect to the surface of the organic EL element on the mounting base of the nozzle of a washing | cleaning apparatus.

Figure 2007200591
Figure 2007200591

(有機EL素子の表面への接着剤の配置及び接着剤表面の洗浄)
図4に示す製造工程の接着剤配置装置で、紫外線硬化型の液状接着剤(ThreeBond3124C(株)スリーボンド製)を使用し、準備した有機EL素子No.1−A〜1−Dの表面にスクリーン印刷法で厚さ50μmに配置した後、接着剤配置装置の後に配設した洗浄装置にて表6に示す様な洗浄条件で接着剤の表面を洗浄しNo.2−a〜2−eとした。又、接着剤の表面を洗浄しない可撓性封止部材を準備しNo.2−f〜2−hとした。接着剤の表面に付着している粒径1μm以上の異物の個数は有機EL素子の表面と同じ方法で測定した。尚、角度は洗浄装置のノズルの載置台の上の接着剤の表面に対するガスの吹き付け角度を示す。
(Adhesive placement on the surface of the organic EL element and cleaning of the adhesive surface)
In the adhesive placement apparatus in the manufacturing process shown in FIG. 4, an ultraviolet curable liquid adhesive (ThreeBond 3124C, manufactured by Three Bond Co., Ltd.) was used, and the prepared organic EL element No. After the surface of 1-A to 1-D is arranged to a thickness of 50 μm by the screen printing method, the surface of the adhesive is cleaned under the cleaning conditions shown in Table 6 with a cleaning device provided after the adhesive placement device. No. 2-a to 2-e. Also, a flexible sealing member that does not clean the surface of the adhesive is prepared. 2-f to 2-h. The number of foreign matters having a particle size of 1 μm or more adhering to the surface of the adhesive was measured by the same method as that for the surface of the organic EL element. In addition, an angle shows the spray angle of the gas with respect to the surface of the adhesive agent on the mounting base of the nozzle of a washing | cleaning apparatus.

Figure 2007200591
Figure 2007200591

(封止部材の洗浄)
PET120μm/接着剤5μm/Al箔20μmの構成を有する可撓性封止部材を準備し、図4に示す製造装置の第2供給工程の図6に示す洗浄装置を使用し、表7に示す様な洗浄条件で可撓性封止部材の表面を洗浄しNo.2−1〜2−3とした。又、洗浄しない可撓性封止部材を準備しNo.2−4とした。使用した可撓性封止部材のJIS K7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・dayであった。JIS K7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した酸素透過度は0.01ml/m2・day・atmであった。
(Cleaning of sealing member)
As shown in Table 7, a flexible sealing member having a configuration of PET 120 μm / adhesive 5 μm / Al foil 20 μm is prepared and the cleaning device shown in FIG. 6 in the second supply step of the manufacturing apparatus shown in FIG. 4 is used. Clean the surface of the flexible sealing member under various cleaning conditions. 2-1 to 2-3. In addition, a flexible sealing member that is not cleaned is prepared. 2-4. The water vapor permeability of the used flexible sealing member measured by the MOCON method mainly in accordance with JIS K7129B method (1992) was 0.01 g / m 2 · day. The oxygen permeability measured mainly by the MOCON method by a method based on JIS K7126B method (1987) was 0.01 ml / m 2 · day · atm.

可撓性封止部材の表面の粒径1μm以上の異物の個数は有機EL素子と同じ方法で測定した。   The number of foreign matters having a particle diameter of 1 μm or more on the surface of the flexible sealing member was measured by the same method as the organic EL element.

尚、角度は洗浄装置のノズルの載置台の上の封止部材の表面に対するガスの吹き付け角度を示す。   In addition, an angle shows the spray angle of the gas with respect to the surface of the sealing member on the mounting base of the nozzle of a washing | cleaning apparatus.

Figure 2007200591
Figure 2007200591

〈可撓性封止部材による有機EL素子の密着封止〉
図4に示す製造装置の貼合工程で、準備した各接着剤配置済み有機EL素子2−a〜2−hと準備した各可撓性封止部材No.2−1〜2−4とを表8に示す様に組合せ貼合し、密着封止した有機ELパネルを作製、試料No.201〜232とした。尚、貼合は、1×10-2Paの減圧環境下で押圧力0.1MPaで圧着し、可撓性封止部材側より主波長365nmの紫外線を照射(100mW/cm2で90sec)により硬化処理を行った。尚、貼合工程は、クリーン度クラス1000(米国連邦規格209D)以下の環境で行った。
(評価)
作製した各試料No.201〜232に付き、ダークスポット(スポット状の非発光部)の発生割合を実施例1と同じ試験方法により試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表8に示す。
ダークスポット発生割合の試験方法
<Adhesive sealing of organic EL element by flexible sealing member>
In the bonding process of the manufacturing apparatus shown in FIG. 4, the prepared adhesive-adjusted organic EL elements 2-a to 2-h and the prepared flexible sealing members No. 2-1 to 2-4 were combined and bonded as shown in Table 8 to produce a sealed organic EL panel. 201-232. Bonding is performed by pressing with a pressing force of 0.1 MPa under a reduced pressure environment of 1 × 10 −2 Pa, and irradiation with ultraviolet light having a dominant wavelength of 365 nm from the flexible sealing member side (90 sec at 100 mW / cm 2 ). Curing treatment was performed. In addition, the bonding process was performed in an environment of cleanliness class 1000 (US Federal Standard 209D) or less.
(Evaluation)
Each prepared sample No. Table 8 shows the results of evaluating the occurrence ratio of dark spots (spot-like non-light emitting portions) in 201 to 232 by the same test method as in Example 1 and evaluating according to the same evaluation rank as in Example 1.
Dark spot generation rate test method

Figure 2007200591
Figure 2007200591

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例3
実施例2の試料No.208を作製する時、準備した有機EL素子と準備した可撓性封止部材とを、図4に示す製造装置の貼合工程で、貼合工程のクリーン度を表9のように変えた工程環境にて貼合し、密着封止した有機EL素子を作製し、試料No.301〜303とした。尚、貼合は、1×10-2Paの減圧環境下で押圧力0.1MPaで圧着し、可撓性封止部材側より主波長365nmの紫外線を照射(100mW/cm2で90sec)により硬化処理を行った。
(評価)
作製した各試料No.301〜303に付き、ダークスポットの発生割合を実施例1と同じ試験方法により試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表5に示す。
Example 3
Sample No. 2 of Example 2 The process which changed the cleanliness of the bonding process as shown in Table 9 in the bonding process of the manufacturing apparatus shown in FIG. 4 with the prepared organic EL element and the prepared flexible sealing member when producing 208. An organic EL element bonded and sealed in an environment was prepared. 301 to 303. Bonding is performed by pressing with a pressing force of 0.1 MPa under a reduced pressure environment of 1 × 10 −2 Pa, and irradiation with ultraviolet light having a dominant wavelength of 365 nm from the flexible sealing member side (90 sec at 100 mW / cm 2 ). Curing treatment was performed.
(Evaluation)
Each prepared sample No. Table 5 shows the results of the evaluation of the dark spot generation ratios 301 to 303 by the same test method as in Example 1 and the evaluation according to the same evaluation rank as in Example 1.

Figure 2007200591
Figure 2007200591

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

有機EL素子の層構成の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the laminated constitution of an organic EL element. 図1のTで示される部分の拡大概略断面図である。It is an expansion schematic sectional drawing of the part shown by T of FIG. 封止部材により密着封止した有機EL素子の製造工程の模式図である。It is a schematic diagram of the manufacturing process of the organic EL element tightly sealed by the sealing member. 封止部材により密着封止した有機EL素子の他の製造工程の模式図である。It is a schematic diagram of the other manufacturing process of the organic EL element tightly sealed by the sealing member. 図3に示す第1供給工程の洗浄装置の拡大概略図である。FIG. 4 is an enlarged schematic view of the cleaning device in the first supply process shown in FIG. 3. 図3に示す第2供給工程の洗浄装置の拡大概略図である。FIG. 4 is an enlarged schematic view of the cleaning device in the second supply step shown in FIG. 3.

符号の説明Explanation of symbols

1 有機ELパネル
101 基板
102 陽極層
103 正孔輸送層(正孔注入層)
104 有機化合物層(発光層)
105 電子注入層
106 陰極層
107 接着剤層
108、201a、302a 封止部材
108a 樹脂基材
108b ガスバリア層
2、3 製造工程
201、302 第1供給工程
202、301 第2供給工程
202a、301a 有機EL素子
203、303 接着剤の配置工程
204、304 貼合工程
205、305 回収工程
206a〜206c、306a〜306c 洗浄工程
206a1、206b1 洗浄装置
206a14、206b14 ヘッダ
206a15、206b15 ノズル
1 Organic EL Panel 101 Substrate 102 Anode Layer 103 Hole Transport Layer (Hole Injection Layer)
104 Organic compound layer (light emitting layer)
105 Electron injection layer 106 Cathode layer 107 Adhesive layer 108, 201a, 302a Sealing member 108a Resin substrate 108b Gas barrier layer 2, 3 Manufacturing process 201, 302 First supply process 202, 301 Second supply process 202a, 301a Organic EL Element 203, 303 Adhesive arrangement process 204, 304 Bonding process 205, 305 Recovery process 206a-206c, 306a-306c Cleaning process 206a1, 206b1 Cleaning device 206a14, 206b14 Header 206a15, 206b15 Nozzle

Claims (13)

基板の上に第1電極と、発光層を含む少なくとも1層の有機化合物層と、第2電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を、接着剤を介して封止部材を貼合する密着封止構造を形成する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、
前記封止部材を供給する第1供給工程と、前記有機エレクトロルミネッセンス素子を供給する第2供給工程と、前記接着剤の配置工程と、前記封止部材と前記有機エレクトロルミネッセンス素子とを前記接着剤を介して貼合する貼合工程と、回収工程とを有する製造装置を有し、
前記製造装置は、前記第1供給工程又は前記第2供給工程から前記貼合工程の間に少なくとも1つの洗浄工程を有し、
前記洗浄工程で、前記封止部材の前記接着剤の配置面、前記封止部材又は前記有機エレクトロルミネッセンス素子に配置された前記接着剤の貼合面、前記有機エレクトロルミネッセンス素子の前記接着剤の配置面の何れかを洗浄することで、
前記貼合工程で前記有機エレクトロルミネッセンス素子と前記封止部材とを貼合終了後、前記封止部材と前記接着剤との貼合面、前記接着剤の層中、前記接着剤と前記有機エレクトロルミネッセンス素子との貼合面の何れかに混入する、粒径1μm以上の異物の個数を100個/cm2以下にすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
An adhesion sealing structure in which an organic electroluminescence element having a first electrode, at least one organic compound layer including a light-emitting layer, and a second electrode is bonded on a substrate with an adhesive interposed therebetween. In the manufacturing method of the organic electroluminescence panel forming
A first supply step for supplying the sealing member; a second supply step for supplying the organic electroluminescence element; an arrangement step for the adhesive; and the sealing member and the organic electroluminescence element. Having a manufacturing process having a bonding step and a recovery step for bonding via
The manufacturing apparatus includes at least one cleaning step between the first supply step or the second supply step and the bonding step,
In the cleaning step, the adhesive placement surface of the sealing member, the adhesive bonding surface placed on the sealing member or the organic electroluminescence element, and the adhesive placement of the organic electroluminescence element. By cleaning one of the surfaces,
After the bonding of the organic electroluminescent element and the sealing member in the bonding step, the bonding surface of the sealing member and the adhesive, the layer of the adhesive, the adhesive and the organic electro The manufacturing method of the organic electroluminescent panel characterized by making the number of the foreign materials with a particle size of 1 micrometer or more mixed into any of the bonding surfaces with a luminescence element into 100 pieces / cm < 2 > or less.
前記洗浄工程は第1供給工程と配置工程との間に配設されており、封止部材の接着剤の配置面又は有機エレクトロルミネッセンス素子に配置された該接着剤の表面を洗浄することを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The cleaning step is arranged between the first supply step and the arrangement step, and the adhesive arrangement surface of the sealing member or the surface of the adhesive arranged on the organic electroluminescence element is washed. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of Claim 1. 前記洗浄工程は配置工程と第2供給工程との間に配設されており、封止部材に配置されたの接着剤の貼合面又は有機エレクトロルミネッセンス素子の該接着剤の配置面を洗浄することを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The cleaning step is disposed between the placement step and the second supply step, and cleans the adhesive bonding surface of the sealing member or the adhesive placement surface of the organic electroluminescence element. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 前記洗浄工程は第2供給工程と貼合工程の間に配設されており、有機エレクトロルミネッセンス素子に配置された接着剤の表面を洗浄することを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The said washing | cleaning process is arrange | positioned between the 2nd supply process and the bonding process, and wash | cleans the surface of the adhesive agent arrange | positioned at an organic electroluminescent element. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of description. 前記洗浄工程は第1供給工程と貼合工程の間に配設されており、封止部材に配置された接着剤の表面を洗浄することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The said washing | cleaning process is arrange | positioned between the 1st supply process and the bonding process, and wash | cleans the surface of the adhesive agent arrange | positioned at the sealing member. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of description. 前記貼合工程は、クリーン度クラス1000(米国連邦規格209D)以下の環境であることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The method for producing an organic electroluminescence panel according to any one of claims 1 to 5, wherein the bonding step is an environment having a cleanness class of 1000 (US Federal Standard 209D) or less. 前記基板と封止部材又はどちらか一方が、樹脂基材と、ガスバリア層とを有する可撓性封止部材であることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 7. The organic electro of claim 1, wherein the substrate and / or the sealing member is a flexible sealing member having a resin base material and a gas barrier layer. Manufacturing method of luminescence panel. 前記基板と封止部材又はどちらか一方が、ガラス板であることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The method for producing an organic electroluminescence panel according to any one of claims 1 to 6, wherein the substrate and / or the sealing member is a glass plate. 前記基板と封止部材又はどちらか一方が、金属シートであることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 The method for producing an organic electroluminescence panel according to any one of claims 1 to 6, wherein the substrate and / or the sealing member is a metal sheet. 基板の上に第1電極と、発光層を含む少なくとも1層の有機化合物層と、第2電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を接着剤層を介して封止部材により密着封止した有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、
前記封止部材の貼合面、前記接着剤の層中、又は前記有機エレクトロルミネッセンス素子の貼合面の何れかに混入する、粒径1μm以上の異物の個数が100個/cm2以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネル。
Organic electroluminescence in which an organic electroluminescence element having a first electrode, at least one organic compound layer including a light-emitting layer, and a second electrode on a substrate is tightly sealed with a sealing member via an adhesive layer In the panel,
The number of foreign matters having a particle diameter of 1 μm or more mixed in any of the bonding surface of the sealing member, the adhesive layer, or the bonding surface of the organic electroluminescence element is 100 / cm 2 or less. An organic electroluminescence panel characterized by that.
前記基板と封止部材又はどちらか一方が樹脂基材とガスバリア層とを有する可撓性部材であることを特徴とする請求項10に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。 The organic electroluminescence panel according to claim 10, wherein the substrate and / or the sealing member is a flexible member having a resin base material and a gas barrier layer. 前記基板と封止部材又はどちらか一方が、ガラスであることを特徴とする請求項10に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。 The organic electroluminescence panel according to claim 10, wherein the substrate and / or the sealing member is made of glass. 前記基板と封止部材又はどちらか一方が、金属シートであることを特徴とする請求項10に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネル。 The organic electroluminescence panel according to claim 10, wherein the substrate and / or the sealing member is a metal sheet.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012094539A (en) * 2012-01-12 2012-05-17 Toshiba Mobile Display Co Ltd Method for manufacturing organic el device
US9156206B2 (en) 2011-05-31 2015-10-13 Joled Inc. Method for manufacturing joined body, and joined body
US9252390B2 (en) 2012-08-07 2016-02-02 Joled Inc. Production method for joined body, and joined body
JP2017152330A (en) * 2016-02-26 2017-08-31 株式会社ジャパンディスプレイ Display device manufacturing method, display device, and display device manufacturing apparatus
US9905811B2 (en) 2012-08-07 2018-02-27 Joled Inc. Production method for joined body
US10062741B2 (en) 2012-08-03 2018-08-28 Joled Inc. Method for manufacturing bonded body

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9156206B2 (en) 2011-05-31 2015-10-13 Joled Inc. Method for manufacturing joined body, and joined body
JP2012094539A (en) * 2012-01-12 2012-05-17 Toshiba Mobile Display Co Ltd Method for manufacturing organic el device
US10062741B2 (en) 2012-08-03 2018-08-28 Joled Inc. Method for manufacturing bonded body
US9252390B2 (en) 2012-08-07 2016-02-02 Joled Inc. Production method for joined body, and joined body
US9905811B2 (en) 2012-08-07 2018-02-27 Joled Inc. Production method for joined body
JP2017152330A (en) * 2016-02-26 2017-08-31 株式会社ジャパンディスプレイ Display device manufacturing method, display device, and display device manufacturing apparatus

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