JP2006302814A - Method for forming organic electroluminescent layer, and organic electroluminescent element - Google Patents

Method for forming organic electroluminescent layer, and organic electroluminescent element Download PDF

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伸彦 高嶋
洋祐 ▲高▼島
Yosuke Takashima
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真昭 村山
Tetsuya Yoshida
哲也 吉田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a formation method of an organic compound layer that has improved flexibility in an element configuration, improves element performance, is efficient, and stable production without causing interlayer mixture even if a plurality of organic EL layers are laminated, and to provide a manufacturing method of an organic EL element using the organic compound layer. <P>SOLUTION: In the formation method of the organic EL layer for forming at least one organic EL layer made of at least a layer of organic compound containing a luminous layer at least on a support, an organic compound layer is applied onto an endless belt base to be driven continuously or intermittently, and the organic compound layer formed on the endless belt base is overlapped to the support carried in synchronization with the endless belt base for transferring. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法に関し、詳しくは、有機エレクトロルミネッセンス層形成において転写を用いた低コストで生産性の高い有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescent element and a method for manufacturing the same, and more particularly to a method for manufacturing an organic electroluminescent element with low cost and high productivity using transfer in forming an organic electroluminescent layer.

近年、フラットディスプレイなどの表示装置や、電子写真複写機、プリンタ−などの光源に有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子の使用が検討されている。   In recent years, the use of organic electroluminescence (EL) elements for light sources such as display devices such as flat displays, electrophotographic copying machines, and printers has been studied.

この有機EL素子は蛍光性有機化合物の非常に薄い薄膜を陽極(以下、第一電極とも言う)と陰極(以下、第二電極とも言う)ではさみ電流を流すことで発光する電流駆動型発光素子である。通常、有機物は絶縁体であるが有機層の膜厚を非常に薄くすることにより電流注入が可能となり有機EL素子として駆動する事が可能となる。そして10V以下の低電圧で駆動することが可能であり、これにより高効率な発光を得ることも可能なため将来のディスプレイとして注目を浴びている。   This organic EL element is a current-driven light-emitting element that emits light by flowing a very thin thin film of a fluorescent organic compound between an anode (hereinafter also referred to as a first electrode) and a cathode (hereinafter also referred to as a second electrode). It is. Usually, the organic substance is an insulator, but by making the film thickness of the organic layer very thin, current can be injected and it can be driven as an organic EL element. It can be driven at a low voltage of 10 V or less, and it is possible to obtain highly efficient light emission.

特に最近においては従来の励起一重項を用いる有機EL素子の効率を遙かにしのぐ励起三重項を用いるリン光発光有機EL素子がS.R.Forrest等により見い出されている(Appl.Phys.Lett.(1999),75(1),4−6)。さらにC.Adachi等が報告(J.Appl.Phys.,90,5048(2001))しているように60lm/Wにも及ぶ視感度効率を出すまでに及び、このような素子はディスプレイのみならず、照明への応用が期待される。   In particular, phosphorescent organic EL devices using excited triplets that far exceed the efficiency of conventional organic EL devices using excited singlets have been disclosed by S.C. R. Forrest et al. (Appl. Phys. Lett. (1999), 75 (1), 4-6). Furthermore, C.I. As reported by Adachi et al. (J. Appl. Phys., 90, 5048 (2001)), such an element is used not only for a display but also for illumination. Application to is expected.

ところで有機EL素子を用いた照明装置やフルカラ−パネルを製造するとなると、以下の様な状況を考慮しなければならない。   By the way, when manufacturing a lighting device or a full color panel using an organic EL element, the following situation must be considered.

現在、有機EL材料には、低分子系材料のものと高分子系材料のものが有る。   Currently, there are organic EL materials of low molecular weight materials and high molecular weight materials.

低分子系材料を用いて有機EL素子を製造するには高真空での蒸着を行う。低分子系材料は昇華精製する事が可能で、精製が行いやすく、高純度な有機EL材料を用いることができ、更に積層構造を作るのが容易なため、効率、寿命という面で非常に優れている。   In order to manufacture an organic EL element using a low molecular material, vapor deposition is performed at a high vacuum. Low molecular weight materials can be purified by sublimation, easy to purify, can use high-purity organic EL materials, and are easy to make a laminated structure, so they are very efficient in terms of efficiency and life. ing.

しかしながら10-4Pa以下という高真空条件下で蒸着を行うため、操作が複雑でコストも高く製造の観点からは必ずしも好ましくない。特に照明用途では、大面積に素子を形成しなければならないので、蒸着では製造が難しい。また、リン光発光有機EL素子で用いられるようなリン光ド−パントについても、大面積でムラ無く、複数のド−パントを蒸着で素子に導入するのは困難であり、コスト的にも技術的にも難しいと言わざるを得ない。 However, since the vapor deposition is performed under a high vacuum condition of 10 −4 Pa or less, the operation is complicated and the cost is high, which is not always preferable from the viewpoint of production. Particularly in lighting applications, since elements must be formed in a large area, manufacturing is difficult by vapor deposition. In addition, phosphorescent dopants used in phosphorescent organic EL devices have a large area and no unevenness, and it is difficult to introduce a plurality of dopants into the device by vapor deposition. I must say that it is difficult.

それに対し高分子系材料及び低分子系材料でも溶液化されたものは製造にスピンコ−ト、インクジェット、印刷といったウェットプロセス(湿式法)を採用することができる。つまり大気圧下で製造することができるためコストが安くすむメリットがある。更に溶液で調製して薄膜にするため、ド−パント等の調整がしやすく、大面積に対してもムラができにくいという特徴がある。これは有機EL素子の照明用途やフルカラ−のパネルにはコスト、製造技術という面で非常にメリットがあると言える。   On the other hand, a wet process (wet method) such as a spin coat, ink jet, and printing can be adopted for manufacturing a high molecular material and a low molecular material that are in solution. In other words, since it can be manufactured under atmospheric pressure, there is an advantage that the cost can be reduced. Further, since it is prepared in a solution to form a thin film, it is easy to adjust the dopant, etc., and it is difficult to cause unevenness even in a large area. This can be said to be very advantageous in terms of cost and manufacturing technology for lighting applications of organic EL elements and full color panels.

しかしながら、ウェットプロセスを用いて積層構造を得るためには、界面での溶解の影響があり、材料と溶媒の選定に制約があること及び材料の化学的処理や物理的処理が可能な形態にしなければならないことが生じる。   However, in order to obtain a laminated structure using a wet process, there is an influence of dissolution at the interface, the choice of materials and solvents is limited, and the material must be in a form that allows chemical and physical treatment. It must happen.

有機EL素子の製造方法において、連続的に効率的に有機EL素子を形成する方法として、ロ−ルツ−ロ−ル方式で、有機化合物からなる有機EL層を蒸着により積層させ有機EL素子を作成することが開示されている(例えば、特許文献1参照)。   In a method for manufacturing an organic EL element, as a method for efficiently and continuously forming an organic EL element, an organic EL element made of an organic compound is formed by vapor deposition using a roll-to-roll method. (For example, refer to Patent Document 1).

大面積の有機EL素子を低コストで量産する方法として、連続的に溶液を塗工し、正孔注入層及び発光層を形成することが開示されている(例えば、特許文献2参照)。   As a method for mass-producing a large-area organic EL device at low cost, it is disclosed that a solution is continuously applied to form a hole injection layer and a light emitting layer (see, for example, Patent Document 2).

また、互いに相溶性のない溶媒からなる液層を隣接させて塗布する、また水系溶媒に高分子系有機材料を溶解した塗布液と、有機溶媒に高分子系有機材料を溶解した塗布液とを隣接させて塗布する等、溶解時での同時多層形成により有機EL層を形成することが開示されている(例えば、特許文献3参照)。   In addition, a liquid layer composed of solvents that are not compatible with each other is applied adjacently, and a coating liquid in which a polymer organic material is dissolved in an aqueous solvent, and a coating liquid in which the polymer organic material is dissolved in an organic solvent. It has been disclosed that an organic EL layer is formed by simultaneous multilayer formation at the time of dissolution, such as coating adjacently (see, for example, Patent Document 3).

更に、転写による積層は、層界面での溶解の懸念が少なく、発光効率や素子耐久性の高い有機EL素子の製作可能である。その方法として、転写材料を構成する仮支持体上に湿式法により、青、緑及び赤の3色の発光画素がパタ−ニングされた有機薄膜層を設けてなる、ロ−ルに巻かれた転写材料を予め製作しておき、転写材料を繰り出しマスクを介し成膜基材に密着させ、加熱した後、前記仮支持体を引き剥がし、青、緑及び赤の3色の発光画素がパタ−ニングされた有機薄膜層を前記成膜基材に転写する方法が開示されている(例えば、特許文献4参照)。
国際公開第01/005194パンフレット 特開平10−77467号公報 特開2004−14172号公報 特開2002−260854号公報
Furthermore, the lamination by transfer is less likely to be dissolved at the layer interface, and an organic EL element having high luminous efficiency and high element durability can be manufactured. As a method, an organic thin film layer in which light emitting pixels of three colors of blue, green and red are patterned is provided on a temporary support constituting a transfer material by a wet method. A transfer material is produced in advance, the transfer material is brought into close contact with the film forming substrate through a feeding mask, heated, and then the temporary support is peeled off, so that light emitting pixels of three colors of blue, green and red are patterned. A method of transferring a tempered organic thin film layer to the film forming substrate is disclosed (for example, see Patent Document 4).
International Publication No. 01/005194 Pamphlet Japanese Patent Laid-Open No. 10-77467 JP 2004-14172 A JP 2002-260854 A

前述の有機EL素子の製造方法に関して、特許文献1によれば、連続的に効率的に有機EL素子を形成することが可能であるが、プロセス全体を真空下で行わなければならず、設備コスト及び材料使用効率において課題がある。   With respect to the method for manufacturing the organic EL element described above, according to Patent Document 1, it is possible to continuously and efficiently form the organic EL element, but the entire process must be performed under vacuum, and the equipment cost is reduced. In addition, there are problems in material use efficiency.

特許文献2には、連続的に溶液を塗工し、正孔注入層及び発光層を形成することが記載されているが、一般に湿式法での積層形成は各有機層の界面で溶解が発生してしまい、発光効率や素子耐久性に課題がある。   Patent Document 2 describes that a solution is continuously applied to form a hole injection layer and a light-emitting layer, but in general, lamination by a wet method causes dissolution at the interface of each organic layer. Therefore, there are problems in light emission efficiency and device durability.

特許文献3には、有機EL層を、溶解時に同時多層形成することが記載されており、互いに相溶性のない液層を隣接させて塗布することにより、積層を形成している。しかし、積層させる際の液層間の溶媒の制約や塗工時の界面の乱れを受けやすく課題がある。   Patent Document 3 describes that an organic EL layer is simultaneously formed in a multilayer state at the time of dissolution, and a laminated layer is formed by applying adjacent liquid layers that are not compatible with each other. However, there is a problem that it is easy to be subjected to the restriction of the solvent between the liquid layers when laminating and the disturbance of the interface during coating.

特許文献4には、ロ−ルに巻かれた転写材料を予め製作しておき、転写材料を繰り出しマスクを介し成膜基材に密着させ、加熱した後、前記仮支持体を引き剥がし、有機薄膜層を前記成膜基材に転写することが記載されている。しかし、本例では使用された仮支持体は廃棄物となるため、コスト及び環境の面から課題が有り、またロ−ル状の転写材料は別工程で転写層を形成し、一旦ロ−ルに巻き取られるため、異物の混入や巻き出し時の剥離耐電等で異物が付着する場合があり、歩留まりにも課題がある。更に、成膜基材は枚葉であるためハンドリング等生産性の面で課題を残す。   In Patent Document 4, a transfer material wound in a roll is manufactured in advance, the transfer material is brought into close contact with a film forming substrate through a feeding mask, heated, and then the temporary support is peeled off. Transferring a thin film layer to the film-forming substrate is described. However, since the temporary support used in this example becomes waste, there is a problem from the viewpoint of cost and environment, and the roll-shaped transfer material forms a transfer layer in a separate process and is temporarily rolled. Therefore, foreign matter may adhere due to the mixing of foreign matter or peeling resistance during unwinding, and there is a problem in yield. Furthermore, since the film forming substrate is a single wafer, problems remain in terms of productivity such as handling.

本発明は、上記状況に鑑みなされてもので、積層構造を有する有機EL素子を作成する際、層間の混合や界面の乱れを発生することのない安定した生産が可能な有機EL素子の作成方法を提供することを目的とする。   Although the present invention has been made in view of the above situation, when producing an organic EL element having a laminated structure, a method for producing an organic EL element capable of stable production without causing inter-layer mixing or interface disturbance. The purpose is to provide.

また、その作成過程で廃棄物を発生させたり、有機薄膜層に異物の混入や付着を発生させることのない、環境に配慮し、しかも歩留まりの向上や生産性の向上を実現する有機EL素子の作成方法を提供することを目的とする。   In addition, an organic EL device that is environmentally friendly and does not generate waste during the production process or cause contamination or adhesion of foreign substances to the organic thin film layer, and that also improves yield and productivity. The purpose is to provide a creation method.

更に、素子構成の柔軟性が高く素子性能の向上が図られ、高品質で生産性の高い有機EL素子を提供することを目的とするものである。   It is another object of the present invention to provide a high-quality and high-productivity organic EL element that has high element configuration flexibility and improved element performance.

上記目的は、下記の構成により達成される。
(請求項1)
少なくとも支持体上に発光層を含む1層以上の有機化合物からなる有機エレクトロルミネッセンス層の少なくとも1層を転写により形成する有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法において、
連続または間欠に駆動されるエンドレスベルト基材上に有機化合物層を塗設した後、該エンドレスベルト基材上に形成された該有機化合物層を該エンドレスベルト基材と同期し搬送される前記支持体に重ねて転写することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項2)
前記有機化合物の塗設は、前記エンドレスベルト基材の搬送方向に対し直角方向幅手に、一様な膜形成により行われることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項3)
前記有機化合物の塗設は、インクジェット方式により行われることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項4)
前記インクジェット方式により行われる塗設は、少なくとも1色以上のパタ−ン形成塗布であることを特徴とする請求項3に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項5)
前記エンドレスベルト基材上に有機化合物を塗設した後、溶媒を除去する工程を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項6)
前記エンドレスベルト基材上に形成された有機化合物層を前記支持体上に転写した後、エンドレスベルト基材を清掃することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項7)
有機化合物層を塗設した前記エンドレスベルト基材と同期し搬送される前記支持体の、有機化合物層が転写される位置より前記支持体の搬送方向上流側及び下流側の少なくとも一方に除電処理を行うことを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項8)
前記エンドレスベルト基材と同期し搬送される前記支持体を、酸素プラズマもしくはUV照射により洗浄することを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項9)
請求項1乃至請求項8の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法により、有機エレクトロルミネッセンス層を支持体に転写し、有機エレクトロルミネッセンス層を形成した後、前記支持体をロ−ル状に巻き取ることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項10)
露点温度−20℃以下及びJISB9920規格で清浄度クラス5以下の大気環境下で、かつ乾燥部を除き10℃以上45℃以下の大気条件下で形成することを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
(請求項11)
請求項1乃至請求項10の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法で製造することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
(請求項12)
発光が燐光に基づくものであることを特徴とする請求項11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
The above object is achieved by the following configuration.
(Claim 1)
In the method for forming an organic electroluminescence layer, at least one organic electroluminescence layer comprising at least one organic compound including a light emitting layer on a support is formed by transfer.
The organic compound layer is coated on an endless belt substrate that is driven continuously or intermittently, and then the organic compound layer formed on the endless belt substrate is conveyed in synchronization with the endless belt substrate. A method of forming an organic electroluminescence layer, wherein the transfer is performed on a body.
(Claim 2)
2. The method of forming an organic electroluminescent layer according to claim 1, wherein the coating of the organic compound is performed by forming a uniform film in a width perpendicular to the conveying direction of the endless belt base material. .
(Claim 3)
The method for forming an organic electroluminescent layer according to claim 1, wherein the coating of the organic compound is performed by an inkjet method.
(Claim 4)
4. The method for forming an organic electroluminescent layer according to claim 3, wherein the coating performed by the inkjet method is a pattern forming coating of at least one color.
(Claim 5)
The method for forming an organic electroluminescent layer according to any one of claims 1 to 4, further comprising a step of removing the solvent after coating the organic compound on the endless belt base material.
(Claim 6)
6. The endless belt base material is cleaned after the organic compound layer formed on the endless belt base material is transferred onto the support. 6. A method for forming an organic electroluminescence layer.
(Claim 7)
Static elimination treatment is performed on at least one of the upstream side and the downstream side in the transport direction of the support from the position where the organic compound layer is transferred from the support transported in synchronization with the endless belt base material coated with the organic compound layer. The method for forming an organic electroluminescence layer according to claim 1, wherein the organic electroluminescence layer is formed.
(Claim 8)
8. The organic electroluminescence layer according to claim 1, wherein the support conveyed in synchronization with the endless belt substrate is cleaned by oxygen plasma or UV irradiation. Method.
(Claim 9)
The organic electroluminescence layer is transferred to a support by the method for forming an organic electroluminescence layer according to any one of claims 1 to 8, and the organic electroluminescence layer is formed. A method for forming an organic electroluminescence layer, wherein the organic electroluminescence layer is wound up into a ru.
(Claim 10)
It is formed under an atmospheric environment having a dew point temperature of -20 ° C or lower and an JISB9920 standard cleanliness class 5 or lower, and an atmospheric condition of 10 ° C or higher and 45 ° C or lower, excluding the drying section. 10. The method for forming an organic electroluminescent layer according to any one of 9 above.
(Claim 11)
It manufactures with the formation method of the organic electroluminescent layer of any one of Claim 1 thru | or 10, The organic electroluminescent element characterized by the above-mentioned.
(Claim 12)
The organic electroluminescence device according to claim 11, wherein the light emission is based on phosphorescence.

本発明により、複数の有機EL層を積層して構成しても層間の混合が生じないため、素子構成の柔軟性が高く、素子性能の向上が図られ、かつ効率が良く安定した生産が可能になる、高品質で生産性の高い有機EL素子形成用の有機化合物層の形成方法、及びこの有機化合物層を使用した有機EL素子を提供する製造方法を提供することができる。   According to the present invention, even if a plurality of organic EL layers are laminated, no inter-layer mixing occurs, so that the element configuration is highly flexible, the element performance is improved, and the production is efficient and stable. It is possible to provide a method for forming an organic compound layer for forming an organic EL element with high quality and high productivity, and a manufacturing method for providing an organic EL element using the organic compound layer.

前記効果により、有機EL層を、少なくとも一様な膜で形成された一層以上の積層で形成しても性能が維持でき、主に照明用、バックライト用等の面光源用に使用可能な大面積の有機EL素子を製造することが可能である。   Due to the above effects, the performance can be maintained even when the organic EL layer is formed of at least a single layer formed of a uniform film, and it can be used mainly for surface light sources such as illumination and backlight. It is possible to manufacture an organic EL element having an area.

更に、前記効果により、有機EL層を、少なくとも1色以上のパタ−ンで形成し積層しても性能が維持でき、高品質のパッシブマトリックスのフルカラ−の有機EL素子が作成が可能になる。これはディスプレイ装置として利用する事が可能である。   In addition, the above-described effects can maintain the performance even when the organic EL layer is formed with a pattern of at least one color and laminated, and a high-quality passive matrix full-color organic EL element can be produced. This can be used as a display device.

以下に本発明に係る有機EL素子の構成層と一般構成及び有機EL層の形成方法の形態について順次説明する。   Hereinafter, the constituent layers and general configuration of the organic EL element according to the present invention and the form of the method for forming the organic EL layer will be sequentially described.

<有機EL素子の構成層と一般構成>
本発明に係る有機EL素子の層構成の好ましい具体例を下記に示すが、以下の形態に限定されるものではない。
(1)陽極/発光層ユニット/電子輸送層/陰極
(2)陽極/正孔輸送層/発光層ユニット/電子輸送層/陰極
(3)陽極/正孔輸送層/発光層ユニット/正孔阻止層/電子輸送層/陰極
(4)陽極/正孔輸送層/発光層ユニット/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファ−層(以下、電子注入層とも言う)/陰極
(5)陽極/陽極バッファ−層(以下、正孔注入層とも言う)/正孔輸送層/発光層ユニット/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファ−層/陰極
ここで、発光層ユニットには、発光極大波長が各々430nm〜480nm、510nm〜550nm、600nm〜640nmの範囲にある少なくとも3層の発光層を有し、更に発光層間には非発光性の中間層を有していても良い。
<Structure layers and general structure of organic EL elements>
Although the preferable specific example of the layer structure of the organic EL element which concerns on this invention is shown below, it is not limited to the following forms.
(1) Anode / light emitting layer unit / electron transport layer / cathode (2) Anode / hole transport layer / light emitting layer unit / electron transport layer / cathode (3) Anode / hole transport layer / light emitting layer unit / hole blocking Layer / electron transport layer / cathode (4) anode / hole transport layer / light emitting layer unit / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer (hereinafter also referred to as electron injection layer) / cathode (5) anode / Anode buffer layer (hereinafter also referred to as hole injection layer) / hole transport layer / light emitting layer unit / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer / cathode Here, the light emitting layer unit has a light emission maximum. There may be at least three light emitting layers having wavelengths of 430 nm to 480 nm, 510 nm to 550 nm, and 600 nm to 640 nm, respectively, and a non-light emitting intermediate layer may be provided between the light emitting layers.

発光ユニットは、白色バックライト(以下、白色BLとも言う)用途の場合では各色発光層の積層、もしくは各色発光材料の混合材料を使用することで、フルカラ−の場合は各色をパタ−ニングすることで達成される。   In the case of a white backlight (hereinafter also referred to as white BL), the light emitting unit uses a laminate of each color light emitting layer or a mixed material of each color light emitting material, and in the case of a full color, each color is patterned. To be achieved.

《陽極》
有機EL素子における陽極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。このような電極物質の具体例としてはAu等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO2、ZnO等の導電性透明材料が挙げられる。また、IDIXO(In23−ZnO)等非晶質で透明導電膜を作製可能な材料を用いてもよい。陽極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により、薄膜を形成させ、フォトリソグラフィ−法で所望の形状のパタ−ンを形成してもよく、あるいはパタ−ン精度をあまり必要としない場合は(100μm以上程度)、上記電極物質の蒸着やスパッタリング時に所望の形状のマスクを介してパタ−ンを形成してもよい。あるいは、有機導電性化合物のように塗布可能な物質を用いる場合には、印刷方式、コ−ティング方式など湿式製膜法を用いることもできる。この陽極より発光を取り出す場合には、透過率を10%より大きくすることが望ましく、また陽極としてのシ−ト抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。更に膜厚は材料にもよるが、通常10nm〜1000nm、好ましくは10nm〜200nmの範囲で選ばれる。
"anode"
As the anode in the organic EL element, an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function (4 eV or more) is preferably used. Specific examples of such electrode materials include metals such as Au, and conductive transparent materials such as CuI, indium tin oxide (ITO), SnO 2 and ZnO. Alternatively, an amorphous material such as IDIXO (In 2 O 3 —ZnO) capable of forming a transparent conductive film may be used. For the anode, these electrode materials may be formed into a thin film by a method such as vapor deposition or sputtering, and a pattern having a desired shape may be formed by photolithography, or the pattern accuracy is not so required. (About 100 μm or more), the pattern may be formed through a mask having a desired shape when the electrode material is deposited or sputtered. Or when using the substance which can be apply | coated like an organic electroconductivity compound, wet film forming methods, such as a printing system and a coating system, can also be used. When light emission is extracted from the anode, it is desirable that the transmittance is greater than 10%, and the sheet resistance as the anode is preferably several hundred Ω / □ or less. Further, although the film thickness depends on the material, it is usually selected in the range of 10 nm to 1000 nm, preferably 10 nm to 200 nm.

《陰極》
一方、陰極としては、仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。このような電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、電子注入性及び酸化等に対する耐久性の点から、電子注入性金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。陰極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することができる。また、陰極としてのシ−ト抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50nm〜200nmの範囲で選ばれる。なお、発光した光を透過させるため、有機EL素子の陽極または陰極のいずれか一方が、透明または半透明であれば発光輝度が向上し好都合である。
"cathode"
On the other hand, as the cathode, a material having a low work function (4 eV or less) metal (referred to as an electron injecting metal), an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof as an electrode material is used. Specific examples of such electrode materials include sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) Mixtures, indium, lithium / aluminum mixtures, rare earth metals and the like. Among these, from the point of durability against electron injection and oxidation, etc., a mixture of an electron injecting metal and a second metal which is a stable metal having a larger work function than this, for example, a magnesium / silver mixture, Suitable are a magnesium / aluminum mixture, a magnesium / indium mixture, an aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, a lithium / aluminum mixture, aluminum and the like. The cathode can be produced by forming a thin film of these electrode materials by a method such as vapor deposition or sputtering. The sheet resistance as the cathode is preferably several hundred Ω / □ or less, and the film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 nm to 200 nm. In order to transmit the emitted light, if either one of the anode or the cathode of the organic EL element is transparent or translucent, the emission luminance is advantageously improved.

また、陰極に上記金属を1nm〜20nmの膜厚で作製した後に、陽極の説明で挙げた導電性透明材料をその上に作製することで、透明または半透明の陰極を作製することができ、これを応用することで陽極と陰極の両方が透過性を有する素子を作製することができる。   Moreover, after producing the said metal by the film thickness of 1 nm-20 nm to a cathode, the transparent or semi-transparent cathode can be produced by producing the electroconductive transparent material quoted by description of the anode on it, By applying this, an element in which both the anode and the cathode are transmissive can be manufactured.

次に、本発明の有機EL素子の構成層として用いられる、注入層、阻止層、電子輸送層等について説明する。   Next, an injection layer, a blocking layer, an electron transport layer, and the like used as a constituent layer of the organic EL element of the present invention will be described.

《注入層:電子注入層、正孔注入層》
注入層は必要に応じて設け、電子注入層と正孔注入層があり、上記の如く陽極と発光層または正孔輸送層の間、及び陰極と発光層または電子輸送層との間に存在させてもよい。
<< Injection layer: electron injection layer, hole injection layer >>
The injection layer is provided as necessary, and there are an electron injection layer and a hole injection layer, and as described above, it exists between the anode and the light emitting layer or the hole transport layer and between the cathode and the light emitting layer or the electron transport layer. May be.

注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティ−・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されており、正孔注入層(陽極バッファ−層)と電子注入層(陰極バッファ−層)とがある。   An injection layer is a layer provided between an electrode and an organic layer in order to lower drive voltage and improve light emission luminance. “Organic EL element and its forefront of industrialization (November 30, 1998, NTS Corporation) Issue) ”, Chapter 2,“ Electrode Materials ”(pages 123 to 166) in detail, and a hole injection layer (anode buffer layer) and an electron injection layer (cathode buffer layer) are is there.

陽極バッファ−層(正孔注入層)は、特開平9−45479号公報、同9−260062号公報、同8−288069号公報等にもその詳細が記載されており、具体例として、銅フタロシアニンに代表されるフタロシアニンバッファ−層、酸化バナジウムに代表される酸化物バッファ−層、アモルファスカ−ボンバッファ−層、ポリアニリン(エメラルディン)やポリチオフェン等の導電性高分子を用いた高分子バッファ−層等が挙げられる。   The details of the anode buffer layer (hole injection layer) are described in JP-A-9-45479, JP-A-9-260062, JP-A-8-288069, and the like. Specific examples thereof include copper phthalocyanine. Phthalocyanine buffer layer typified by, oxide buffer layer typified by vanadium oxide, amorphous carbon buffer layer, polymer buffer layer using a conductive polymer such as polyaniline (emeraldine) or polythiophene Etc.

陰極バッファ−層(電子注入層)は、特開平6−325871号公報、同9−17574号公報、同10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的にはストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属バッファ−層、フッ化リチウムに代表されるアルカリ金属化合物バッファ−層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物バッファ−層、酸化アルミニウムに代表される酸化物バッファ−層等が挙げられる。上記バッファ−層(注入層)はごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるがその膜厚は0.1nm〜5μmの範囲が好ましい。   The details of the cathode buffer layer (electron injection layer) are described in JP-A-6-325871, JP-A-9-17574, JP-A-10-74586, and the like. Specifically, strontium or aluminum Metal buffer layer represented by lithium fluoride, alkali metal compound buffer layer represented by lithium fluoride, alkaline earth metal compound buffer layer represented by magnesium fluoride, oxide buffer represented by aluminum oxide Layer and the like. The buffer layer (injection layer) is preferably a very thin film, and the film thickness is preferably in the range of 0.1 nm to 5 μm, although it depends on the material.

《阻止層:正孔阻止層、電子阻止層》
阻止層は、上記の如く、有機化合物薄膜の基本構成層の他に必要に応じて設けられるものである。例えば、特開平11−204258号公報、同11−204359号公報、及び「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティ−・エス社発行)」の237頁等に記載されている正孔阻止(ホ−ルブロック)層がある。
<Blocking layer: hole blocking layer, electron blocking layer>
As described above, the blocking layer is provided as necessary in addition to the basic constituent layer of the organic compound thin film. For example, as described in JP-A Nos. 11-204258 and 11-204359, and “Organic EL elements and their forefront of industrialization” (issued by NTT Corporation on November 30, 1998). There is a hole blocking layer that is applied.

正孔阻止層とは広い意味では電子輸送層の機能を有し、電子を輸送する機能を有しつつ正孔を輸送する能力が著しく小さい正孔阻止材料からなり、電子を輸送しつつ正孔を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、後述する電子輸送層の構成を必要に応じて、正孔阻止層として用いることができる。   The hole blocking layer has a function of an electron transport layer in a broad sense, and is made of a hole blocking material that has a function of transporting electrons and has a remarkably small ability to transport holes. The probability of recombination of electrons and holes can be improved by blocking. Moreover, the structure of the electron carrying layer mentioned later can be used as a hole-blocking layer as needed.

一般に有機EL素子の正孔阻止層は、発光層に隣接して設けられていることが好ましい。   In general, the hole blocking layer of the organic EL device is preferably provided adjacent to the light emitting layer.

また、複数の発光色の異なる発光層を有する場合にはその発光極大波長が最も短波にある発光層が、全発光層中、最も陽極に近いことが好ましいが、このような場合、前記最短波発光層と、該最短波発光層の次に陽極に近い発光層との間に正孔阻止層を追加して設けることが好ましい。更に、該位置に設けられる正孔阻止層に含有される化合物の50質量%以上が、前記最短波発光層のホスト化合物に対し、そのイオン化ポテンシャルが0.3eV以上大きいことが好ましい。   In the case of having a plurality of light emitting layers having different emission colors, it is preferable that the light emitting layer whose emission maximum wavelength is the shortest wave is closest to the anode among all the light emitting layers. It is preferable to additionally provide a hole blocking layer between the light emitting layer and the light emitting layer next to the anode next to the shortest wave light emitting layer. Furthermore, it is preferable that 50% by mass or more of the compound contained in the hole blocking layer provided at the position has an ionization potential of 0.3 eV or more higher than the host compound of the shortest wave emitting layer.

イオン化ポテンシャルは、化合物のHOMO(最高被占分子軌道)レベルにある電子を真空準位に放出するのに必要なエネルギ−で定義され、例えば下記に示すような方法により求めることができる。
(1)米国Gaussian社製の分子軌道計算用ソフトウェアであるGaussian98(Gaussian98、Revision A.11.4,M.J.Frisch,et al,Gaussian,Inc.,Pittsburgh PA,2002.)を用い、キ−ワ−ドとしてB3LYP/6−31G*を用いて構造最適化を行うことにより算出した値(eV単位換算値)の小数点第2位を四捨五入した値としてイオン化ポテンシャルを求めることができる。この計算値が有効な背景には、この手法で求めた計算値と実験値の相関が高いためである。
(2)イオン化ポテンシャルは光電子分光法で直接測定する方法により求めることもできる。光電子分光法による測定方法としては、例えば、低エネルギ−電子分光装置「Model AC−1」(理研計器社製)を用いる方法が挙げられる。また、紫外光電子分光法による測定方法を用いることも可能である。
The ionization potential is defined by the energy required to emit an electron at the HOMO (highest occupied molecular orbital) level of the compound to the vacuum level, and can be obtained by the following method, for example.
(1) Using Gaussian 98 (Gaussian 98, Revision A.11.4, MJ Frisch, et al, Gaussian, Inc., Pittsburgh PA, 2002.), which is molecular orbital calculation software manufactured by Gaussian, USA. -The ionization potential can be obtained as a value obtained by rounding off the second decimal place of a value (eV unit converted value) calculated by performing structural optimization using B3LYP / 6-31G * as a word. This calculation value is effective because the correlation between the calculation value obtained by this method and the experimental value is high.
(2) The ionization potential can also be obtained by a method of directly measuring by photoelectron spectroscopy. Examples of the measurement method using photoelectron spectroscopy include a method using a low energy electron spectrometer “Model AC-1” (manufactured by Riken Keiki Co., Ltd.). It is also possible to use a measurement method by ultraviolet photoelectron spectroscopy.

一方、電子阻止層とは広い意味では正孔輸送層の機能を有し、正孔を輸送する機能を有しつつ電子を輸送する能力が著しく小さい材料からなり、正孔を輸送しつつ電子を阻止することで電子と正孔の再結合確率を向上させることができる。また、後述する正孔輸送層の構成を必要に応じて電子阻止層として用いることができる。本発明に係る正孔阻止層、電子輸送層の膜厚としては好ましくは3nm〜100nmで有り、更に好ましくは5nm〜30nmである。   On the other hand, the electron blocking layer has a function of a hole transport layer in a broad sense, and is made of a material that has a function of transporting holes and has an extremely small ability to transport electrons, and transports electrons while transporting holes. By blocking, the recombination probability of electrons and holes can be improved. Moreover, the structure of the positive hole transport layer mentioned later can be used as an electron blocking layer as needed. The film thickness of the hole blocking layer and the electron transport layer according to the present invention is preferably 3 nm to 100 nm, and more preferably 5 nm to 30 nm.

《発光層》
本発明に係る発光層は、電極または電子輸送層、正孔輸送層から注入されてくる電子及び正孔が再結合して発光する層であり、発光する部分は発光層の層内であっても発光層と隣接層との界面であってもよい。
<Light emitting layer>
The light emitting layer according to the present invention is a layer that emits light by recombination of electrons and holes injected from the electrode, the electron transport layer, or the hole transport layer, and the light emitting portion is in the layer of the light emitting layer. May be the interface between the light emitting layer and the adjacent layer.

(ホスト化合物)
本発明の有機EL素子の発光層には、以下に示すホスト化合物とリン光性化合物(リン光発光性化合物ともいう)が含有されることが好ましい。
(Host compound)
The light emitting layer of the organic EL device of the present invention preferably contains the following host compound and phosphorescent compound (also referred to as phosphorescent compound).

ここで、本発明においてホスト化合物とは、発光層に含有される化合物の内で、その層中での質量比が20%以上であり、かつ室温(25℃)においてリン光発光のリン光量子収率が、0.1未満の化合物と定義される。好ましくはリン光量子収率が0.01未満である。   Here, in the present invention, the host compound is a compound contained in the light emitting layer, the mass ratio in the layer is 20% or more, and phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission at room temperature (25 ° C.). A rate is defined as a compound of less than 0.1. The phosphorescence quantum yield is preferably less than 0.01.

ホスト化合物としては、公知のホスト化合物を単独で用いてもよく、または複数種併用して用いてもよい。ホスト化合物を複数種用いることで、電荷の移動を調整することが可能であり、有機EL素子を高効率化することができる。また、リン光性化合物を複数種用いることで、異なる発光を混ぜることが可能となり、これにより任意の発光色を得ることができる。リン光性化合物の種類、ド−プ量を調整することで白色発光が可能であり、照明、バックライトへの応用もできる。   As the host compound, known host compounds may be used alone or in combination of two or more. By using a plurality of types of host compounds, it is possible to adjust the movement of charges, and the organic EL element can be made highly efficient. In addition, by using a plurality of phosphorescent compounds, it is possible to mix different light emission, thereby obtaining an arbitrary emission color. White light emission is possible by adjusting the kind of phosphorescent compound and the amount of doping, and can also be applied to illumination and backlight.

これらの公知のホスト化合物としては、正孔輸送能、電子輸送能を有しつつ、且つ発光の長波長化を防ぎ、なお且つ高Tg(ガラス転移温度)である化合物が好ましい。   As these known host compounds, compounds having a hole transporting ability and an electron transporting ability, preventing the emission of longer wavelengths, and having a high Tg (glass transition temperature) are preferable.

公知のホスト化合物の具体例としては、以下の文献に記載されている化合物が挙げられる。   Specific examples of known host compounds include compounds described in the following documents.

特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報等。   JP-A-2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, 2002-334786, 2002-8860, 2002-334787, 2002-15871, 2002-334788, 2002-43056, 2002-334789, 2002-75645, 2002-338579, 2002-105445 gazette, 2002-343568 gazette, 2002-141173 gazette, 2002-352957 gazette, 2002-203683 gazette, 2002-363227 gazette, 2002-231453 gazette, No. 003-3165, No. 2002-234888, No. 2003-27048, No. 2002-255934, No. 2002-286061, No. 2002-280183, No. 2002-299060, No. 2002. -302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837, and the like.

本発明においては、複数の発光層を有するが、これら各層のホスト化合物の50質量%以上が同一の化合物であることが、有機層全体に渡って均質な膜性状を得やすいことから好ましく、更には該化合物の燐光発光エネルギ−が2.9eV以上であることが、ド−パントからのエネルギ−移動を効率的に抑制し、高輝度を得る上で有利となることから好ましい。   In the present invention, it has a plurality of light emitting layers, but it is preferable that 50% by mass or more of the host compound in each layer is the same compound because it is easy to obtain a uniform film property over the entire organic layer. It is preferable that the phosphorescence emission energy of the compound is 2.9 eV or more because it is advantageous for efficiently suppressing energy transfer from the dopant and obtaining high luminance.

(リン光性化合物(リン光発光性化合物))
発光層に使用される材料(以下、発光材料という)としては、上記のホスト化合物を含有すると同時に、リン光性化合物を含有することが好ましい。これにより、より発光効率の高い有機EL素子とすることができる。
(Phosphorescent compound (phosphorescent compound))
The material used for the light emitting layer (hereinafter referred to as the light emitting material) preferably contains a phosphorescent compound at the same time as the host compound. Thereby, it can be set as an organic EL element with higher luminous efficiency.

本発明に係るリン光性化合物は、励起三重項からの発光が観測される化合物であり、室温(25℃)にてリン光発光する化合物であり、リン光量子収率が、25℃において0.01以上の化合物である。リン光量子収率は好ましくは0.1以上である。上記リン光量子収率は、第4版実験化学講座7の分光IIの398頁(1992年版、丸善)に記載の方法により測定できる。溶液中でのリン光量子収率は種々の溶媒を用いて測定できるが、本発明に用いられるリン光性化合物は、任意の溶媒のいずれかにおいて上記リン光量子収率が達成されればよい。   The phosphorescent compound according to the present invention is a compound in which light emission from an excited triplet is observed, is a compound that emits phosphorescence at room temperature (25 ° C.), and has a phosphorescence quantum yield of 0.2 at 25 ° C. 01 or more compounds. The phosphorescence quantum yield is preferably 0.1 or more. The phosphorescence quantum yield can be measured by the method described in Spectroscopic II, page 398 (1992 edition, Maruzen) of Experimental Chemistry Course 4 of the 4th edition. Although the phosphorescence quantum yield in a solution can be measured using various solvents, the phosphorescence quantum yield used in the present invention only needs to achieve the above phosphorescence quantum yield in any solvent.

リン光性化合物の発光は原理としては2種挙げられ、一つはキャリアが輸送されるホスト化合物上でキャリアの再結合が起こってホスト化合物の励起状態が生成し、このエネルギ−をリン光性化合物に移動させることでリン光性化合物からの発光を得るというエネルギ−移動型、もう一つはリン光性化合物がキャリアトラップとなり、リン光性化合物上でキャリアの再結合が起こりリン光性化合物からの発光が得られるというキャリアトラップ型であるが、いずれの場合においても、リン光性化合物の励起状態のエネルギ−はホスト化合物の励起状態のエネルギ−よりも低いことが条件である。   There are two types of light emission of the phosphorescent compound in principle. One is the recombination of the carrier on the host compound to which the carrier is transported and the excited state of the host compound is generated, and this energy is phosphorescent. An energy transfer type in which light emission from the phosphorescent compound is obtained by transferring to the compound, and another is that the phosphorescent compound becomes a carrier trap, and carrier recombination occurs on the phosphorescent compound and the phosphorescent compound In any case, the excited state energy of the phosphorescent compound is lower than the excited state energy of the host compound.

リン光性化合物は、有機EL素子の発光層に使用される公知のものの中から適宜選択して用いることができる。   The phosphorescent compound can be appropriately selected from known compounds used for the light emitting layer of the organic EL device.

本発明で用いられるリン光性化合物としては、好ましくは元素の周期表で8族〜10族の金属を含有する錯体系化合物であり、更に好ましくはイリジウム化合物、オスミウム化合物、または白金化合物(白金錯体系化合物)、希土類錯体であり、中でも最も好ましいのはイリジウム化合物である。   The phosphorescent compound used in the present invention is preferably a complex compound containing a group 8-10 metal in the periodic table of elements, more preferably an iridium compound, an osmium compound, or a platinum compound (platinum complex). System compounds), rare earth complexes, and most preferred are iridium compounds.

以下に、リン光性化合物の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されない。これらの化合物は、例えば、Inorg.Chem.40巻、1704〜1711に記載の方法等により合成できる。   Although the specific example of a phosphorescent compound is shown below, this invention is not limited to these. These compounds are described, for example, in Inorg. Chem. 40, 1704-1711, and the like.

Figure 2006302814
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本発明においては、リン光性化合物のリン光発光極大波長としては特に制限されるものではなく、原理的には中心金属、配位子、配位子の置換基等を選択することで得られる発光波長を変化させることができる。   In the present invention, the phosphorescence emission maximum wavelength of the phosphorescent compound is not particularly limited, and can be obtained in principle by selecting a central metal, a ligand, a ligand substituent, and the like. The emission wavelength can be changed.

本発明の有機EL素子や本発明に係る化合物の発光する色は、「新編色彩科学ハンドブック」(日本色彩学会編、東京大学出版会、1985)の108頁の図4.16において、分光放射輝度計CS−1000(コニカミノルタセンシング社製)で測定した結果をCIE色度座標に当てはめたときの色で決定される。   The light emission color of the organic EL device of the present invention and the compound according to the present invention is shown in FIG. 4.16 on page 108 of “New Color Science Handbook” (edited by the Japan Color Society, University of Tokyo Press, 1985). It is determined by the color when the result measured with the total CS-1000 (manufactured by Konica Minolta Sensing) is applied to the CIE chromaticity coordinates.

本発明で言うところの白色素子とは、2度視野角正面輝度を前記方法により測定した際に、1000Cd/m2でのCIE1931表色系における色度がX=0.33±0.77、Y=0.33±0.77の領域内にあることをいう。 The white element referred to in the present invention means that the chromaticity in the CIE 1931 color system at 1000 Cd / m 2 is X = 0.33 ± 0.77 when the front luminance at 2 ° viewing angle is measured by the above method. It is in the region of Y = 0.33 ± 0.77.

発光層は上記化合物を、例えば、真空蒸着法、スピンコ−ト法、キャスト法、LB法、インクジェット法等の公知の薄膜化法により製膜して形成することができる。   The light emitting layer can be formed by forming the above compound by a known thinning method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, an LB method, and an ink jet method.

白色パネルにおいては、発光層は発光極大波長が各々430nm〜480nm、510nm〜550nm、600nm〜640nmの範囲にある発光スペクトルの異なる少なくとも3層以上の層を含むことが好ましい。3層以上であれば、特に制限はない。4層より多い場合には、同一の発光スペクトルを有する層が複数層あってもよい。発光極大波長が430nm〜480nmにある層を青発光層、510nm〜550nmにある層を緑発光層、600nm〜640nmの範囲にある層を赤発光層と、以下称する。   In the white panel, it is preferable that the light emitting layer includes at least three layers having different emission spectra having emission maximum wavelengths in the range of 430 nm to 480 nm, 510 nm to 550 nm, and 600 nm to 640 nm, respectively. If it is three or more layers, there will be no restriction | limiting in particular. When there are more than four layers, there may be a plurality of layers having the same emission spectrum. A layer having an emission maximum wavelength in the range of 430 nm to 480 nm is referred to as a blue light emitting layer, a layer in the range of 510 nm to 550 nm is referred to as a green light emitting layer, and a layer in the range of 600 nm to 640 nm is referred to as a red light emitting layer.

発光層の膜厚の総和は特に制限はないが、通常2nm〜5μm、好ましくは2nm〜200nmの範囲で選ばれる。本発明においては、更に10nm〜20nmの範囲にあるのが好ましい。薄すぎると膜の均質性が得られにくい。またこれより厚いと発光を得るのに高電圧を要するため好ましくない。膜厚を20nm以下にすると電圧面のみならず、駆動電流に対する発光色の安定性が向上する効果があり好ましい。   The total thickness of the light emitting layer is not particularly limited, but is usually 2 nm to 5 μm, preferably 2 nm to 200 nm. In the present invention, it is preferably in the range of 10 nm to 20 nm. If it is too thin, it is difficult to obtain film uniformity. If it is thicker than this, a high voltage is required to obtain light emission, which is not preferable. A film thickness of 20 nm or less is preferable because it has the effect of improving the stability of the emission color with respect to the driving current as well as the voltage surface.

個々の発光層の膜厚は、好ましくは2nm〜100nmの範囲で選ばれ、2nm〜20nmの範囲にあるのが更に好ましい。青、緑、赤の各発光層の膜厚の関係については、特に制限はないが、3発光層中、青発光層(複数層ある場合はその総和)が最も厚いことが好ましい。   The film thickness of each light emitting layer is preferably selected in the range of 2 nm to 100 nm, and more preferably in the range of 2 nm to 20 nm. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness relationship of each light emitting layer of blue, green, and red, It is preferable that the blue light emitting layer (the sum total when there are two or more layers) is the thickest among three light emitting layers.

また、前記の極大波長を維持する範囲において、各発光層には複数の発光性化合物を混合してもよい。例えば、青発光層に、極大波長430nm〜480nmの青発光性化合物と、同510nm〜550nmの緑発光性化合物を混合して用いてもよい。   Moreover, in the range which maintains the said maximum wavelength, you may mix a several luminescent compound in each light emitting layer. For example, the blue light emitting layer may be used by mixing a blue light emitting compound having a maximum wavelength of 430 nm to 480 nm and a green light emitting compound having the same wavelength of 510 nm to 550 nm.

《正孔輸送層》
正孔輸送層とは正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層または複数層設けることができる。
《Hole transport layer》
The hole transport layer is made of a hole transport material having a function of transporting holes, and in a broad sense, a hole injection layer and an electron blocking layer are also included in the hole transport layer. The hole transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers.

正孔輸送材料としては、正孔の注入または輸送、電子の障壁性のいずれかを有するものであり、有機物、無機物のいずれであってもよい。例えば、トリアゾ−ル誘導体、オキサジアゾ−ル誘導体、イミダゾ−ル誘導体、ポリアリ−ルアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリ−ルアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾ−ル誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、また導電性高分子オリゴマ−、特にチオフェンオリゴマ−等が挙げられる。   The hole transport material has any one of hole injection or transport and electron barrier properties, and may be either organic or inorganic. For example, triazole derivatives, oxadiazol derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives Fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, aniline copolymers, and conductive polymer oligomers, particularly thiophene oligomers.

正孔輸送材料としては上記のものを使用することができるが、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。   The above-mentioned materials can be used as the hole transport material, but it is preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound.

芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエ−テル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオ−ドリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾ−ル、更には米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスタ−バ−スト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。   Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl; N, N'-diphenyl-N, N'- Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di-p-tolyl) Aminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-diphenyl-N, N ' − (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl; N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis (diphenylamino) qua -Dryphenyl; N, N, N-tri (p-tolyl) amine; 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; 4-N, N- Diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; 3-methoxy-4'-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and further described in US Pat. No. 5,061,569 Having two condensed aromatic rings in the molecule, for example, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD), JP-A-4-3086 4,4 ', 4 "-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] trimethyl triphenylamine unit described in Japanese Patent No. 8 is linked in three starburst types. Phenylamine (MTDATA) etc. are mentioned.

更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、またはこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。また、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することができる。   Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.

また、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002), p.139)に記載されているような所謂p型正孔輸送材料を用いることもできる。本発明においては、より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。   JP-A-11-251067, J. Org. Huang et. al. A so-called p-type hole transport material described in a book (Applied Physics Letters 80 (2002), p. 139) can also be used. In the present invention, it is preferable to use these materials because a light-emitting element with higher efficiency can be obtained.

正孔輸送層は上記正孔輸送材料を、例えば、真空蒸着法、スピンコ−ト法、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することができる。正孔輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5nm〜200nmである。この正孔輸送層は上記材料の1種または2種以上からなる一層構造であってもよい。   The hole transport layer is formed by thinning the hole transport material by a known method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, a printing method including an ink jet method, or an LB method. Can do. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of a positive hole transport layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5 nm-200 nm. The hole transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

また、不純物をド−プしたp性の高い正孔輸送層を用いることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)などに記載されたものが挙げられる。   Alternatively, a hole transport layer having high p property doped with impurities can be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J.A. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like.

《電子輸送層》
電子輸送層とは電子を輸送する機能を有する材料からなり、広い意味で電子注入層、正孔阻止層も電子輸送層に含まれる。電子輸送層は単層または複数層設けることができる。
《Electron transport layer》
The electron transport layer is made of a material having a function of transporting electrons, and in a broad sense, an electron injection layer and a hole blocking layer are also included in the electron transport layer. The electron transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers.

従来、単層の電子輸送層、及び複数層とする場合は発光層に対して陰極側に隣接する電子輸送層に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよく、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることができ、例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾ−ル誘導体等が挙げられる。更に、上記オキサジアゾ−ル誘導体において、オキサジアゾ−ル環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾ−ル誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送材料として用いることができる。更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、またはこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることもできる。   Conventionally, in the case of a single electron transport layer and a plurality of layers, an electron transport material (also serving as a hole blocking material) used for an electron transport layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side is injected from the cathode. As long as it has a function of transferring electrons to the light-emitting layer, any material can be selected and used from among conventionally known compounds. For example, nitro-substituted fluorene derivatives, diphenylquinone derivatives Thiopyran dioxide derivatives, carbodiimides, fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodimethane and anthrone derivatives, oxadiazol derivatives, and the like. Further, in the above oxadiazol derivative, a thiadiazol derivative in which the oxygen atom of the oxadiazol ring is substituted with a sulfur atom, or a quinoxaline derivative having a quinoxaline ring known as an electron withdrawing group can also be used as an electron transport material. it can. Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.

また、8−キノリノ−ル誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノ−ル)アルミニウム(Alq)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノ−ル)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノ−ル)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノ−ル)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノ−ル)アルミニウム、ビス(8−キノリノ−ル)亜鉛(Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、GaまたはPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送材料として用いることができる。その他、メタルフリ−もしくはメタルフタロシアニン、またはそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送材料として好ましく用いることができる。また、発光層の材料として例示したジスチリルピラジン誘導体も、電子輸送材料として用いることができるし、正孔注入層、正孔輸送層と同様に、n型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送材料として用いることができる。   Also, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (Alq), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo). -8-quinolinol) aluminum, tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (Znq), etc. , And metal complexes in which the central metal of these metal complexes is replaced with In, Mg, Cu, Ca, Sn, Ga, or Pb can also be used as the electron transport material. In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with an alkyl group or a sulfonic acid group can be preferably used as the electron transport material. In addition, the distyrylpyrazine derivative exemplified as the material of the light emitting layer can also be used as an electron transport material, and similarly to the hole injection layer and the hole transport layer, inorganic such as n-type-Si and n-type-SiC can be used. A semiconductor can also be used as an electron transport material.

電子輸送層は上記電子輸送材料を、例えば、真空蒸着法、スピンコ−ト法、キャスト法、インクジェット法を含む印刷法、LB法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することができる。電子輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5nm〜200nmである。電子輸送層は上記材料の1種または2種以上からなる一層構造であってもよい。   The electron transport layer can be formed by thinning the electron transport material by a known method such as a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, a printing method including an ink jet method, or an LB method. . Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of an electron carrying layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5 nm-200 nm. The electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

また、不純物をド−プしたn性の高い電子輸送層を用いることもできる。その例としては、特開平4−297076号公報、特開平10−270172号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)などに記載されたものが挙げられる。   Alternatively, an electron transport layer having high n property doped with impurities can be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Pat. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like.

《支持体》
一般に、有機EL素子に用いることのできる支持体(以下、基体、基板、基材、支持基板等ともいう)としては、ガラス、プラスチック等の種類には特に限定はなく、また、透明であっても不透明であってもよい。支持体側から光を取り出す場合には、支持体は透明であることが好ましい。好ましく用いられる透明な支持体としては、ガラス、石英、透明樹脂フィルムを挙げることができる。本発明で用いられる特に好ましい支持体は、有機EL素子にフレキシブル性を与えることが可能な樹脂フィルムである。
<Support>
In general, as a support (hereinafter also referred to as a substrate, a substrate, a substrate, a support substrate, etc.) that can be used for an organic EL element, there is no particular limitation on the type of glass, plastic, etc., and it is transparent. May be opaque. In the case where light is extracted from the support side, the support is preferably transparent. Examples of the transparent support preferably used include glass, quartz, and a transparent resin film. A particularly preferable support used in the present invention is a resin film capable of giving flexibility to the organic EL element.

樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレ−ト(PET)、ポリエチレンナフタレ−ト(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロ−スジアセテ−ト、セルロ−ストリアセテ−ト、セルロ−スアセテ−トブチレ−ト、セルロ−スアセテ−トプロピオネ−ト(CAP)、セルロ−スアセテ−トフタレ−ト(TAC)、セルロ−スナイトレ−ト等のセルロ−スエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコ−ル、ポリエチレンビニルアルコ−ル、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカ−ボネ−ト、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエ−テルケトン、ポリイミド、ポリエ−テルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエ−テルイミド、ポリエ−テルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレ−ト、アクリル或いはポリアリレ−ト類、ア−トン(商品名JSR社製)或いはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等を挙げられる。樹脂フィルムの表面には、無機物、有機物の被膜またはその両者のハイブリッド被膜が形成されていてもよく、水蒸気透過度が0.01g/m2/day/atm以下のバリア性フィルムであることが好ましく、更には、酸素透過度10-3ml/m2/day以下、水蒸気透過度10-5g/m2/day以下の高バリア性フィルムであることが好ましい。 Examples of the resin film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulosic triacetate, and cellulose acetate. Cellulose esters such as tobutyrate, cellulose acetate propionate (CAP), cellulose acetate phthalate (TAC) and cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol Polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether ketone, polyimide, polyethersulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, Lier Terimide, Polyether Ketoneimide, Polyamide, Fluororesin, Nylon, Polymethylmethacrylate, Acrylic or Polyarylate, Aton (trade name, manufactured by JSR) or Apel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals) ) And the like. An inorganic or organic film or a hybrid film of both may be formed on the surface of the resin film, and it is preferably a barrier film having a water vapor permeability of 0.01 g / m 2 / day / atm or less. Furthermore, a high barrier film having an oxygen permeability of 10 −3 ml / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 10 −5 g / m 2 / day or less is preferable.

該バリア膜を形成する材料としては、水分や酸素など素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素などを用いることができる。更に該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。   As a material for forming the barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing intrusion of an element such as moisture or oxygen that causes deterioration of the element. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Further, in order to improve the brittleness of the film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times.

該バリア膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシ−法、クラスタ−イオンビ−ム法、イオンプレ−ティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レ−ザ−CVD法、熱CVD法、コ−ティング法などを用いることができるが、特開2004−68143号公報に記載されているような大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   The method for forming the barrier film is not particularly limited. For example, a vacuum deposition method, a sputtering method, a reactive sputtering method, a molecular beam epitaxy method, a cluster ion beam method, an ion plating method, a plasma polymerization method, a large size, and the like. An atmospheric pressure plasma polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used, but an atmospheric pressure plasma weight as described in JP-A-2004-68143 is used. A legal method is particularly preferred.

不透明な支持体の例としては、例えばアルミ、ステンレス等の金属板・フィルムや不透明樹脂基板等が挙げられる。   Examples of the opaque support include metal plates / films such as aluminum and stainless steel, opaque resin substrates, and the like.

《封止》
本発明に用いられる封止手段としては、例えば封止部材と、電極、支持体とを接着剤で接着する方法を挙げることができる。
<Sealing>
As a sealing means used for this invention, the method of adhere | attaching a sealing member, an electrode, and a support body with an adhesive agent can be mentioned, for example.

一般に、封止部材としては、有機EL素子の表示領域を覆うように配置されておればよく、凹板状でも、平板状でもよい。また、透明性、電気絶縁性は特に問わない。   Generally, the sealing member may be disposed so as to cover the display area of the organic EL element, and may be a concave plate shape or a flat plate shape. Further, transparency and electrical insulation are not particularly limited.

具体的には、ガラス板、ポリマ−板・フィルム、金属板・フィルム等が挙げられる。ガラス板としては、特にソ−ダ石灰ガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス、石英等を挙げることができる。また、ポリマ−板としては、ポリカ−ボネ−ト、アクリル、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリエ−テルサルファイド、ポリサルフォン等を挙げることができる。金属板としては、ステンレス、鉄、銅、アルミニウム、マグネシウム、ニッケル、亜鉛、クロム、チタン、モリブテン、シリコン、ゲルマニウムおよびタンタルからなる群から選ばれる一種以上の金属または合金からなるものが挙げられる。本発明においては、支持体が可とう性を有する事と素子を薄膜化できるということからポリマ−フィルム、金属フィルムを好ましく使用することができる。更には、ポリマ−フィルムは、酸素透過度10-3ml/m2/day以下、水蒸気透過度10-5g/m2/day以下のであることが好ましい。 Specific examples include a glass plate, a polymer plate / film, and a metal plate / film. Examples of the glass plate include soda lime glass, barium / strontium-containing glass, lead glass, aluminosilicate glass, borosilicate glass, barium borosilicate glass, and quartz. Examples of the polymer plate include polycarbonate, acrylic, polyethylene terephthalate, polyether sulfide, polysulfone and the like. Examples of the metal plate include those made of one or more metals or alloys selected from the group consisting of stainless steel, iron, copper, aluminum, magnesium, nickel, zinc, chromium, titanium, molybdenum, silicon, germanium, and tantalum. In the present invention, a polymer film and a metal film can be preferably used because the support has flexibility and the device can be thinned. Furthermore, the polymer film preferably has an oxygen permeability of 10 −3 ml / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 10 −5 g / m 2 / day or less.

接着剤として具体的には、アクリル酸系オリゴマ−、メタクリル酸系オリゴマ−の反応性ビニル基を有する光硬化および熱硬化型接着剤、2−シアノアクリル酸エステルなどの湿気硬化型等の接着剤を挙げることができる。また、エポキシ系などの熱および化学硬化型(二液混合)を挙げることができる。また、ホットメルト型のポリアミド、ポリエステル、ポリオレフィンを挙げることができる。また、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤を挙げることができる。   Specific examples of adhesives include photocuring and thermosetting adhesives having reactive vinyl groups of acrylic acid oligomers and methacrylic acid oligomers, and moisture curing adhesives such as 2-cyanoacrylates. Can be mentioned. Moreover, the heat | fever and chemical curing types (two-component mixing), such as an epoxy type, can be mentioned. Moreover, hot-melt type polyamide, polyester, and polyolefin can be mentioned. Moreover, a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive can be mentioned.

なお、有機EL素子が熱処理により劣化する場合があるので、室温から80℃までに接着硬化できるものが好ましい。また、前記接着剤中に乾燥剤を分散させておいてもよい。封止部分への接着剤の塗布は、市販のディスペンサ−を使ってもよいし、スクリ−ン印刷のように印刷してもよい。   In addition, since an organic EL element may deteriorate by heat processing, what can be adhesive-hardened from room temperature to 80 degreeC is preferable. A desiccant may be dispersed in the adhesive. Application | coating of the adhesive agent to a sealing part may use a commercially available dispenser, and may print it like screen printing.

また、有機層を挟み支持体と対向する側の電極の外側に、該電極と有機層を被覆し、支持体と接する形で無機物、有機物の層を形成し封止膜とすることも好適にできる。この場合、該膜を形成する材料としては、水分や酸素など素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素などを用いることができる。更に該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることが好ましい。これらの膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシ−法、クラスタ−イオンビ−ム法、イオンプレ−ティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レ−ザ−CVD法、熱CVD法、コ−ティング法などを用いることができる。   In addition, it is also preferable to coat the electrode and the organic layer on the outside of the electrode facing the support with the organic layer interposed therebetween, and form an inorganic or organic layer in contact with the support to form a sealing film. it can. In this case, the material for forming the film may be any material that has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of the element such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like is used. it can. Furthermore, in order to improve the brittleness of the film, it is preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. The method for forming these films is not particularly limited. For example, vacuum deposition, sputtering, reactive sputtering, molecular beam epitaxy, cluster ion beam, ion plating, plasma polymerization, An atmospheric pressure plasma polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used.

封止部材と有機EL素子の表示領域との間隙には、気相および液相では、窒素、アルゴン等の不活性気体や、フッ化炭化水素、シリコンオイルのような不活性液体を注入することも可能である。また、真空とすることも可能である。また、内部に吸湿性化合物を封入することもできる。   In the gap between the sealing member and the display area of the organic EL element, an inert gas such as nitrogen or argon, or an inert liquid such as fluorinated hydrocarbon or silicon oil is injected in the gas phase and the liquid phase. Is also possible. A vacuum can also be used. Moreover, a hygroscopic compound can also be enclosed inside.

吸湿性化合物としては例えば金属酸化物(例えば、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム等)、硫酸塩(例えば、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸コバルト等)、金属ハロゲン化物(例えば、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化セシウム、フッ化タンタル、臭化セリウム、臭化マグネシウム、沃化バリウム、沃化マグネシウム等)、過塩素酸類(例えば過塩素酸バリウム、過塩素酸マグネシウム等)等があげられ、硫酸塩、金属ハロゲン化物および過塩素酸類においては無水塩が好適に用いられる。   Examples of the hygroscopic compound include metal oxides (eg, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, barium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide), sulfates (eg, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, cobalt sulfate, etc.). Metal halides (eg, calcium chloride, magnesium chloride, cesium fluoride, tantalum fluoride, cerium bromide, magnesium bromide, barium iodide, magnesium iodide, etc.), perchloric acids (eg, barium perchlorate, In particular, anhydrous salts are preferably used in sulfates, metal halides and perchloric acids.

《光取出し加工》
有機エレクトロルミネッセンス素子は、空気よりも屈折率の高い(屈折率が1.7〜2.1程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光のうち15%から20%程度の光しか取り出せないことが一般的に言われている。これは、臨界角以上の角度θで界面(透明基板と空気との界面)に入射する光は、全反射を起こし素子外部に取り出すことができないことや、透明電極ないし発光層と透明基板との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として、光が素子側面方向に逃げるためである。
《Light extraction processing》
An organic electroluminescence element emits light inside a layer having a refractive index higher than that of air (refractive index is about 1.7 to 2.1), and only 15% to 20% of the light generated in the light emitting layer. It is generally said that it cannot be taken out. This is because light incident on the interface (interface between the transparent substrate and air) at an angle θ greater than the critical angle causes total reflection and cannot be taken out of the device, or between the transparent electrode or light emitting layer and the transparent substrate. This is because light is totally reflected between the light and the light is guided through the transparent electrode or the light emitting layer, and as a result, the light escapes in the direction of the side surface of the device.

この光の取り出しの効率を向上させる手法としては、例えば、透明基板表面に凹凸を形成し、透明基板と空気界面での全反射を防ぐ方法(例えば、米国特許第4774435明細書)。基板に集光性を持たせることにより効率を向上させる方法(例えば、特開昭63−314795号公報)。素子の側面等に反射面を形成する方法(例えば、特開平1−220394号公報)。基板と発光体の間に中間の屈折率を持つ平坦層を導入し、反射防止膜を形成する方法(例えば、特開昭62−172691号公報)。基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法(例えば、特開2001−202827号公報)。基板、透明電極層や発光層のいずれかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法(例えば、特開平11−283751号公報)などがある。   As a technique for improving the light extraction efficiency, for example, a method of forming irregularities on the surface of the transparent substrate to prevent total reflection at the interface between the transparent substrate and the air (for example, US Pat. No. 4,774,435). A method for improving efficiency by providing a substrate with a light condensing property (for example, JP-A-63-314795). A method of forming a reflective surface on the side surface of the element (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-220394). A method of forming an antireflection film by introducing a flat layer having an intermediate refractive index between a substrate and a light emitter (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-172691). A method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter (for example, JP-A-2001-202827). There is a method of forming a diffraction grating between any one of the substrate, the transparent electrode layer and the light emitting layer (including between the substrate and the outside) (for example, JP-A-11-283951).

これらの方法を本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子と組み合わせて用いることができるが、基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法、あるいは基板、透明電極層や発光層のいずれかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法を好適に用いることができる。   These methods can be used in combination with the organic electroluminescence device of the present invention. However, a method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter, or a substrate, a transparent electrode layer, and light emission A method of forming a diffraction grating between any of the layers (including between the substrate and the outside) can be suitably used.

これらの手段を組み合わせることにより、更に高輝度あるいは耐久性に優れた素子を得ることができる。   By combining these means, it is possible to obtain an element having higher luminance or durability.

透明電極と透明基板の間に低屈折率の媒質を光の波長よりも長い厚みで形成すると、透明電極から出てきた光は、媒質の屈折率が低いほど、外部への取り出し効率が高くなる。   When a low refractive index medium is formed between the transparent electrode and the transparent substrate with a thickness longer than the wavelength of light, the light extracted from the transparent electrode has a higher extraction efficiency to the outside as the refractive index of the medium is lower. .

低屈折率層としては、例えば、エアロゲル、多孔質シリカ、フッ化マグネシウム、フッ素系ポリマ−などが挙げられる。透明基板の屈折率は一般に1.5〜1.7程度であるので、低屈折率層は、屈折率がおよそ1.5以下であることが好ましい。またさらに1.35以下であることが好ましい。   Examples of the low refractive index layer include aerogel, porous silica, magnesium fluoride, fluorine polymer, and the like. Since the refractive index of the transparent substrate is generally about 1.5 to 1.7, the low refractive index layer preferably has a refractive index of about 1.5 or less. Furthermore, it is preferable that it is 1.35 or less.

また、低屈折率媒質の厚みは、媒質中の波長の2倍以上となるのが望ましい。これは、低屈折率媒質の厚みが、光の波長程度になってエバネッセントで染み出した電磁波が基板内に入り込む膜厚になると、低屈折率層の効果が薄れるからである。   The thickness of the low refractive index medium is preferably at least twice the wavelength in the medium. This is because the effect of the low refractive index layer is diminished when the thickness of the low refractive index medium is about the wavelength of light and the electromagnetic wave that has exuded by evanescent enters the substrate.

全反射を起こす界面もしくはいずれかの媒質中に回折格子を導入する方法は、光取り出し効率の向上効果が高いという特徴がある。この方法は、回折格子が1次の回折や、2次の回折といったいわゆるブラッグ回折により、光の向きを屈折とは異なる特定の向きに変えることができる性質を利用して、発光層から発生した光のうち、層間での全反射等により外に出ることができない光を、いずれかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)に回折格子を導入することで光を回折させ、光を外に取り出そうとするものである。   The method of introducing a diffraction grating into an interface or any medium that causes total reflection is characterized by a high effect of improving light extraction efficiency. This method is generated from the light emitting layer by utilizing the property that the diffraction grating can change the direction of light to a specific direction different from refraction by so-called Bragg diffraction such as first-order diffraction or second-order diffraction. Of the light, light that cannot go out due to total reflection between layers, etc., is diffracted by introducing a diffraction grating in any layer or medium (in the transparent substrate or transparent electrode) It tries to take out light.

導入する回折格子は、二次元的な周期屈折率を持っていることが望ましい。これは、発光層で発光する光はあらゆる方向にランダムに発生するので、ある方向にのみ周期的な屈折率分布を持っている一般的な1次元回折格子では、特定の方向に進む光しか回折されず、光の取り出し効率がさほど上がらない。しかしながら、屈折率分布を二次元的な分布にすることにより、あらゆる方向に進む光が回折され、光の取り出し効率が上がる。   The introduced diffraction grating desirably has a two-dimensional periodic refractive index. This is because light emitted from the light-emitting layer is randomly generated in all directions, so in a general one-dimensional diffraction grating having a periodic refractive index distribution only in a certain direction, only light traveling in a specific direction is diffracted. In other words, the light extraction efficiency does not increase so much. However, by making the refractive index distribution a two-dimensional distribution, light traveling in all directions is diffracted, and light extraction efficiency is increased.

回折格子を導入する位置としては前述のとおり、いずれかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)でも良いが、光が発生する場所である有機発光層の近傍が望ましい。   As described above, the position where the diffraction grating is introduced may be in any of the layers or in the medium (in the transparent substrate or the transparent electrode), but is preferably in the vicinity of the organic light emitting layer where light is generated.

このとき、回折格子の周期は、媒質中の光の波長の約1/2〜3倍程度が好ましい。   At this time, the period of the diffraction grating is preferably about 1/2 to 3 times the wavelength of light in the medium.

回折格子の配列は、正方形のラチス状、三角形のラチス状、ハニカムラチス状など、2次元的に配列が繰り返されることが好ましい。   The arrangement of the diffraction gratings is preferably two-dimensionally repeated, such as a square lattice, a triangular lattice, or a honeycomb lattice.

《集光シ−ト》
本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子を面光源用に使用する場合は、基板の光取出し側に、例えばマイクロレンズアレイ上の構造を設けるように加工したり、あるいは、所謂集光シ−トと組み合わせることにより、特定方向、例えば素子発光面に対し正面方向に集光することにより、特定方向上の輝度を高めることができる。
<Condensation sheet>
When the organic electroluminescence device of the present invention is used for a surface light source, it is processed so as to provide, for example, a structure on a microlens array on the light extraction side of the substrate, or combined with a so-called condensing sheet. Thus, by focusing light in a specific direction, for example, in the front direction with respect to the element light emitting surface, the luminance in the specific direction can be increased.

マイクロレンズアレイの例としては、基板の光取り出し側に一辺が30μmでその頂角が90度となるような四角錐を2次元に配列する。一辺は10μm〜100μmが好ましい。これより小さくなると回折の効果が発生して色付く、大きすぎると厚みが厚くなり好ましくない。   As an example of the microlens array, quadrangular pyramids having a side of 30 μm and an apex angle of 90 degrees are two-dimensionally arranged on the light extraction side of the substrate. One side is preferably 10 μm to 100 μm. If it becomes smaller than this, the effect of diffraction will generate | occur | produce and color, and if too large, thickness will become thick and is not preferable.

集光シ−トとしては、例えば液晶表示装置のLEDバックライトで実用化されているものを用いることが可能である。このようなシ−トとして例えば、住友スリ−エム社製輝度上昇フィルム(BEF)などを用いることができる。プリズムシ−トの形状としては、例えば基材に頂角90度、ピッチ50μmの△状のストライプが形成されたものであってもよいし、頂角が丸みを帯びた形状、ピッチをランダムに変化させた形状、その他の形状であっても良い。   As the condensing sheet, for example, an LED backlight of a liquid crystal display device that is put into practical use can be used. As such a sheet, for example, a brightness enhancement film (BEF) manufactured by Sumitomo 3M Ltd. can be used. As the shape of the prism sheet, for example, the base material may be formed with a Δ-shaped stripe having an apex angle of 90 degrees and a pitch of 50 μm, or the apex angle is rounded and the pitch is changed randomly. Other shapes may be used.

また、発光素子からの光放射角を制御するために光拡散板・フィルムを、集光シ−トと併用してもよい。例えば、拡散フィルム「ライトアップ」((株)きもと製)などを用いることができる。   Moreover, in order to control the light emission angle from a light emitting element, you may use a light diffusing plate and a film together with a condensing sheet. For example, a diffusion film “light up” (manufactured by Kimoto Co., Ltd.) can be used.

<本発明に係る有機EL層の形成方法の実施の形態>
次に、本発明に係る有機EL層の形成方法の実施の形態について図を参照にして説明する。本発明は、以下の有機化合物層構成に限定されるものではなく、また実施の形態も限定されるものではない。
<Embodiment of Method for Forming Organic EL Layer According to the Present Invention>
Next, an embodiment of a method for forming an organic EL layer according to the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following organic compound layer configuration, and the embodiment is not limited.

図1は予め第一電極(陽極)が形成されているロ−ル状支持体から繰り出した支持体の幅手に一様な発光層を形成することにより有機EL層を形成する第一の実施形態を示す模式図であり、図2はその層構成を示す模式図である。   FIG. 1 shows a first embodiment in which an organic EL layer is formed by forming a uniform light emitting layer on the width of a support extended from a roll-shaped support in which a first electrode (anode) is previously formed. FIG. 2 is a schematic diagram showing the form, and FIG. 2 is a schematic diagram showing the layer structure.

図3は、予め第一電極が形成されているロ−ル状支持体から繰り出した支持体に画素パタ−ンの発光層を形成することにより有機EL層を形成する第二の実施形態を示す模式図であり、図4はその層構成を示す模式図である。   FIG. 3 shows a second embodiment in which an organic EL layer is formed by forming a light emitting layer of a pixel pattern on a support extended from a roll-shaped support in which a first electrode is formed in advance. FIG. 4 is a schematic diagram showing the layer structure.

前記第一の実施形態と第二の実施形態については、第一の実施形態を中心に説明し、第二の実施形態については、第一の実施形態と異なる部分についての説明とする。   The first embodiment and the second embodiment will be described with a focus on the first embodiment, and the second embodiment will be described with respect to parts different from the first embodiment.

有機EL層の形成は、図1及び図3に示すように、予め第一電極が形成されているロ−ル状支持体から図示しない駆動手段により矢印方向に支持体1を繰り出し及び搬送し、表面洗浄改質処理工程2、任意の位置での帯電除去処理工程3、正孔輸送層転写工程4、発光層転写工程5または7、電子輸送層転写工程6の各転写工程が連続して行われ、有機EL層が形成されロ−ル状に巻き取られる。   As shown in FIGS. 1 and 3, the organic EL layer is formed by feeding and transporting the support 1 in the direction of the arrow by a driving means (not shown) from a roll-shaped support on which the first electrode is formed in advance. Each transfer process of the surface cleaning modification process 2, the charge removal process 3 at any position, the hole transport layer transfer process 4, the light emitting layer transfer process 5 or 7, and the electron transport layer transfer process 6 is performed in succession. Then, an organic EL layer is formed and wound into a roll.

支持体1は、本実施例では、厚さ100μmのポリエチレンナフタレ−トフィルム(帝人・デュポン社製フィルム、以下PENと略記する)を用い、該PEN上に大気圧プラズマ放電処理法で、厚さ約90nmの透明ガスバリア層を形成し、更に該ガスバリア層の上に厚さ120nmのITO(インジウムチンオキシド)を蒸着法によりパタ−ニングを行い第一電極層を形成されている。前記支持体、ガスバリア層及び第一電極は、前述の《支持体》の項で選定される材料及び方法により支持体に形成されたガスバリア層の上に、前述の《陽極》の項で選定される材料及び方法で第一電極を形成することも可能である。   In this embodiment, the support 1 uses a polyethylene naphthalate film (a film made by Teijin DuPont, hereinafter abbreviated as PEN) having a thickness of 100 μm, and the PEN is thickened by an atmospheric pressure plasma discharge treatment method. A transparent gas barrier layer having a thickness of about 90 nm is formed, and ITO (indium tin oxide) having a thickness of 120 nm is patterned on the gas barrier layer by vapor deposition to form a first electrode layer. The support, the gas barrier layer, and the first electrode are selected in the above-described << Anode >> on the gas barrier layer formed on the support by the material and method selected in the above-mentioned << Support >>. It is also possible to form the first electrode by the material and method.

表面洗浄改質処理工程2は、支持体1の有機汚染物除去と濡れ性向上の表面改質が行われる。本実施例では、ドライ洗浄装置として、低圧水銀ランプにて行っているが、エキシマランプ、プラズマ洗浄装置等が利用可能である。   In the surface cleaning / modifying treatment step 2, organic contaminant removal of the support 1 and surface modification for improving wettability are performed. In this embodiment, the dry cleaning apparatus is a low-pressure mercury lamp, but an excimer lamp, a plasma cleaning apparatus, or the like can be used.

帯電除去処理工程3は、支持体1の、各転写工程の転写される位置より前記支持体1の搬送方向上流側及び下流側の少なくとも一方で行われる。本実施例では、前記上流側に配設している。   The charge removal processing step 3 is performed on at least one of the upstream side and the downstream side of the support 1 in the transport direction from the transfer position of each transfer step. In this embodiment, it is disposed on the upstream side.

帯電除去処理としては大別して光照射方式とコロナ放電式があり、光照射式は微弱X線、コロナ放電式はコロナ放電により空気イオンを生成する。この空気イオンは、帯電物体に引き寄せられて反対極性の電荷を補い、静電気を中和する。コロナ放電による除電器、軟X線による除電器が利用可能であるが、本実施例では、軟X線による除電器を配設している。   The charge removal treatment is roughly classified into a light irradiation method and a corona discharge method, in which the light irradiation method generates weak ions and the corona discharge method generates air ions by corona discharge. The air ions are attracted to the charged object to compensate for the opposite polarity charge and neutralize static electricity. Although a static eliminator using corona discharge and a static eliminator using soft X-rays can be used, in this embodiment, a static eliminator using soft X-rays is provided.

帯電除去処理により、支持体の帯電除去が図られ、ゴミの付着や絶縁破壊が防止されるため、素子の歩留まりの向上が図られる。   The charge removal treatment removes the charge on the support and prevents adhesion of dust and dielectric breakdown, so that the yield of elements can be improved.

次に、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の各転写工程について説明する。   Next, each transfer process of a positive hole transport layer, a light emitting layer, and an electron carrying layer is demonstrated.

<第一の実施形態>
前記のように図1に示す第一の実施形態は、支持体の幅手に一様な発光層を形成することにより有機EL層を形成する。
<First embodiment>
As described above, in the first embodiment shown in FIG. 1, the organic EL layer is formed by forming a uniform light emitting layer on the width of the support.

(正孔輸送層転写工程)
正孔輸送層転写工程では、エンドレスベルト421上に形成された正孔輸送層転写材料を支持体1に転写することで、支持体1に正孔輸送層が形成される。
(Hole transport layer transfer process)
In the hole transport layer transfer process, the hole transport layer is formed on the support 1 by transferring the hole transport layer transfer material formed on the endless belt 421 to the support 1.

正孔輸送層転写工程4は、エンドレスベルト421に正孔輸送層転写材料の塗膜を形成する成膜工程と、該正孔輸送層転写材料を支持体1に転写する工程とで構成される。   The hole transport layer transfer step 4 includes a film forming step of forming a coating film of the hole transport layer transfer material on the endless belt 421 and a step of transferring the hole transport layer transfer material to the support 1. .

本実施の形態の正孔輸送層転写材料の塗膜を形成する成膜工程は、ダイコ−ト方式でエンドレスベルト421上に塗膜を形成し、正孔輸送層転写材料を形成する。エンドレスベルト421は、図示しない駆動手段により回転駆動するバックアップロ−ル422に懸架され、該バックアップロ−ルと密着、回動する。前記バックアップロ−ル上には塗膜形成の為のダイコ−タ414が、エンドレスベルト421の基材から一定間隙を設け設置される。なお、バックアップロ−ル422には適宜クリ−ニング装置が装着されていても良い。   In the film forming step of forming the coating film of the hole transport layer transfer material according to the present embodiment, the coating film is formed on the endless belt 421 by a die coating method to form the hole transport layer transfer material. The endless belt 421 is suspended by a backup roll 422 that is rotationally driven by a driving means (not shown), and is in close contact with and rotates with the backup roll. On the backup roll, a die coater 414 for forming a coating film is installed with a certain gap from the base material of the endless belt 421. Note that a cleaning device may be appropriately attached to the backup roll 422.

送液は塗布液タンク411内に調液貯留された溶液を、ギアポンプ等の精密ポンプからなる送液ポンプ412を介し送液量を制御し、ろ過フィルタ−413介しダイコ−タ414へ送液される。送液された液はマニホ−ルド内に充填されチャンバ−内を一定圧力に保ちスリットを介し塗布ヘッドから幅手に塗液を均一にエンドレスベルト421上へ製膜する。塗膜厚みは基材の搬送速度と送液量および溶液濃度により適宜調整される。   The liquid is sent to the die coater 414 via a filter 413 by controlling the amount of the liquid prepared and stored in the coating liquid tank 411 via a liquid feed pump 412 including a precision pump such as a gear pump. The The supplied liquid is filled in the manifold, and the inside of the chamber is kept at a constant pressure, and the coating liquid is uniformly formed on the endless belt 421 from the coating head through the slit. The thickness of the coating film is appropriately adjusted depending on the substrate conveying speed, the liquid feeding amount, and the solution concentration.

塗膜形成時の搬送速度ムラは塗布平均速度に対し、平均速度に対し0.2%以上10%以下が好ましい。更に好ましくは0.2%以上3%以下が好ましい。これにより、素子の搬送方向での厚み精度が保たれ発光特性の均一化が図られる。   The conveyance speed unevenness at the time of forming the coating film is preferably 0.2% or more and 10% or less of the average speed with respect to the average coating speed. More preferably, it is 0.2% or more and 3% or less. Thereby, the thickness accuracy in the transport direction of the element is maintained, and the light emission characteristics are made uniform.

エンドレスベルト421上に塗布された塗膜は、加熱された気流による乾燥加熱処理部43にて溶媒を除去し、その後、本実施例ではエンドレスベルト421裏面に温風を加え加熱し、溶媒を完全に除去させている。加熱処理を行う事により膜の平滑性や残留溶媒の除去等が図られる事により、積層時の素子特性の向上が図られる。前記乾燥加熱部43は有機化合物層の材料に応じて適宜数ゾ−ンにして温度条件の変更や加熱方法の変更等を行う事も可能である。   The coating film applied on the endless belt 421 removes the solvent by the drying heat treatment unit 43 using a heated air current, and then heats the back of the endless belt 421 by adding warm air in this embodiment to completely remove the solvent. To remove. By performing the heat treatment, the smoothness of the film, the removal of the residual solvent, and the like can be achieved, thereby improving the element characteristics at the time of stacking. The drying and heating unit 43 can be changed to several zones as appropriate according to the material of the organic compound layer to change the temperature condition or the heating method.

前記乾燥加熱処理を経る事で、エンドレスベルト上に正孔輸送層転写材料が形成される。   Through the drying and heating treatment, a hole transport layer transfer material is formed on the endless belt.

後述の転写工程後のエンドレスベルトは繰り返し転写用塗膜が形成される為、形成前に洗浄処理部44を入れる事が好ましい。洗浄はウエット洗浄として塗布時と同じ溶媒にて残存物を溶解させ残存物を除去させ、エアブロ−等で溶媒を除去させる事や、ドライ洗浄としてUVオゾン洗浄や酸素プラズマ洗浄を利用する事が可能である。   Since an endless belt after the transfer process described below repeatedly forms a transfer coating film, it is preferable to insert a cleaning processing section 44 before the formation. Cleaning can be performed by wet residue cleaning with the same solvent as applied, removing the residue, removing the solvent with an air blower, etc., or dry cleaning using UV ozone cleaning or oxygen plasma cleaning. It is.

転写工程では、エンドレスベルト421上に形成された塗膜層は、エンドレスベルト421を懸架するバックアップロ−ル422上で反転する際、バックアップロ−ル上のエンドレスベルト421と加熱ロ−ル46間に支持体1を挟み込み、エンドレスベルトと加熱ロ−ルおよび支持体を同期させ動作させる事でエンドレスベルト上の有機化合物層を軟化させ支持体へ圧着させる事で転写させる。加熱ロ−ル46は可動構造として、圧着、非圧着が選択できるような構造としており複数の転写工程での転写有無を選択可能にし、層構成にあわせた転写層数が選択可能である。加熱ロ−ル46は弾性体を用い、転写材料にあわせ温度と圧着力を任意に選択可能な形態が望ましい。   In the transfer process, the coating layer formed on the endless belt 421 is reversed between the endless belt 421 on the backup roll and the heating roll 46 when it is reversed on the backup roll 422 around which the endless belt 421 is suspended. The support 1 is sandwiched between the endless belt, the endless belt, the heating roll, and the support are operated in synchronism to soften the organic compound layer on the endless belt and to transfer it by pressure bonding to the support. The heating roll 46 has a movable structure that allows selection between crimping and non-crimping. The presence / absence of transfer in a plurality of transfer processes can be selected, and the number of transfer layers according to the layer configuration can be selected. The heating roll 46 uses an elastic body, and preferably has a form in which the temperature and the pressure-bonding force can be arbitrarily selected according to the transfer material.

本実施の形態においては、連続湿式成膜法であるダイコ−ト方式でエンドレスベルト上に塗膜を形成したが、連続湿式製膜法としては、スクリ−ン印刷方式、フレキソ印刷方式、インクジェット方式、キャップコ−ト法、スプレ−塗布法、キャスト法、ロ−ルコ−ト法、等が使用可能である。これらの製膜法は有機化合物層の材料に応じて適宜選択できる。前記塗布方式の場合は幅手に一様な塗膜を形成する場合に用いられ、この場合はエンドレスベルトを連続的に駆動させ塗膜を形成する。   In the present embodiment, a coating film is formed on the endless belt by a die coat method, which is a continuous wet film forming method. As the continuous wet film forming method, a screen printing method, a flexographic printing method, an ink jet method, and the like are used. Cap coating method, spray coating method, casting method, roll coating method, etc. can be used. These film forming methods can be appropriately selected according to the material of the organic compound layer. In the case of the coating method, it is used when a uniform coating film is formed in the width, and in this case, the endless belt is continuously driven to form the coating film.

前記エンドレスベルト421の材質はポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレ−トなどのプラスチック基材、ゴムやアルミニウム、ステンレスなど金属が利用可能である。なかでも、平滑性や耐久性の面でステンレス製が好ましい。   As the material of the endless belt 421, a plastic substrate such as polyethylene, polypropylene, or polyethylene terephthalate, or a metal such as rubber, aluminum, or stainless steel can be used. Of these, stainless steel is preferable in terms of smoothness and durability.

エンドレスベルトは被転写面上への転写を効率良く行い、画像転写後のエンドレスベルト面の剥離を容易にするために、エンドレスベルト表面に適当な撥油性物質等による離型層を設けることが好ましい。   The endless belt is preferably provided with a release layer made of a suitable oil-repellent material or the like on the endless belt surface in order to efficiently transfer onto the transfer surface and facilitate the peeling of the endless belt surface after image transfer. .

このような撥油性物質としては、例えばシリコ−ン樹脂、フッ素樹脂、フッ素系界面活性剤、ポリオレフィン、ポリアミド等を用いることができ、また離型層としては、例えばアルコ−ル可溶性ポリアミド、アルコ−ル可溶性ナイロン、スチレンと無水マレイン酸との共重合体の部分エステル化樹脂とメトキシメチル化ナイロンとのブレンド物、ポリ酢酸ビニル、ポリアクリレ−ト、ポリメチルメタクリレ−トとアクリレ−トとの共重合体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニルとの共重合体、ポリビニルブチラ−ト、セルロ−ズアセテ−トフタレ−ト、メチルセルロ−ス、三酢酸セルロ−ス、ポリビニルアルコ−ル、ブチルセルロ−ス、ヒドロキシエチルセルロ−ス、カルボキシメチルセルロ−ス、シアノエチルセルロ−ス、セルロ−スアセテ−ト、セルロ−ストリアセテ−ト、セルロ−スアセテ−トブチレ−ト、ヒドロキシプロピルメチルセルロ−スフタレ−ト、ヒドロキシプロピルメチルセルロ−スへキサヒドロフタレ−ト、もしくはこれらの混合物等が使用し得る。   As such an oil-repellent substance, for example, a silicone resin, a fluororesin, a fluorosurfactant, a polyolefin, a polyamide, or the like can be used. Soluble nylon, partially esterified resin of styrene / maleic anhydride copolymer and methoxymethylated nylon, polyvinyl acetate, polyacrylate, polymethyl methacrylate and acrylate Polymer, polyvinyl chloride, copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, polyvinyl butyrate, cellulose acetate phthalate, methyl cellulose, cellulose triacetate, polyvinyl alcohol, butyl cellulose Hydroxyethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, cyanoethyl cellulose, cellulose Asete - DOO, cellulose - Sutoriasete - DOO, cellulose - Suasete - Tobuchire - DOO, hydroxypropyl methyl cellulose - Sufutare - DOO, hydroxypropyl methyl cellulose - to scan Kisahidorofutare - DOO or mixtures thereof and the like can be used.

エンドレスベルトに離型層を設ける方法としては、公知の方法を用いることができる。
例えば、
(1)上記撥油性物質を溶剤に溶解し、ロ−ルコ−タ−、グラビヤコ−タ−、リバ−スロ−ルコ−タ−、カ−テンコ−タ−、押し出しコ−タ−、スライドコ−タ−など公知の塗布装置を用いて塗布する方法が挙げられる。
(2)また別の方法としては上記撥油性物質を加熱して溶融状態に保ち、押し出しコ−タ−などによりエンドレスベルトにキャストした後、平滑性の高い金属ロ−ラ−で圧着させる方法 ラミネ−ト法が挙げられる。
As a method for providing the release layer on the endless belt, a known method can be used.
For example,
(1) Dissolve the above oil-repellent substance in a solvent, roll coater, gravure coater, reverse roll coater, curtain coater, extrusion coater, slide coater The method of apply | coating using well-known coating devices, such as a taper, is mentioned.
(2) As another method, the above oil-repellent substance is heated to be kept in a molten state, cast onto an endless belt by an extrusion coater, and then subjected to pressure bonding with a metal roller having high smoothness. -The G method is mentioned.

エンドレスベルトと離型層の界面には、層間の接着性を高める目的でアンカ−層を設けても良い。接着性を高めるためのアンカ−層を構成する素材としては公知の接着剤が挙げられ、ポリウレタン、ポリエステル、イソシアネ−ト類、エポキシ樹脂が挙げられる。   An anchor layer may be provided at the interface between the endless belt and the release layer for the purpose of enhancing the adhesion between the layers. Examples of the material constituting the anchor layer for enhancing the adhesiveness include known adhesives, such as polyurethane, polyester, isocyanates, and epoxy resins.

アンカ−層はその溶剤溶液を離型層積層前に転写ベルトに塗設することが好ましく、前述した公知の塗布装置を用いて塗設することができる。   The anchor layer is preferably coated on the transfer belt with the solvent solution before lamination of the release layer, and can be coated using the above-described known coating apparatus.

(発光層転写工程)
前記正孔輸送層転写工程と同様な構成と工程で、エンドレスベルト上に形成された発光層転写材料を支持体に転写することで、支持体に発光層が形成される。
(Light emitting layer transfer process)
The light emitting layer is formed on the support by transferring the light emitting layer transfer material formed on the endless belt to the support in the same configuration and process as the hole transport layer transfer process.

本実施例では、単色の発光層としたが、発光層転写工程を増設することにより、複数色の発光層を積層したり、各色発光材料の混合材料を使用することにより複数色が混合した発光が可能である。   In this example, a single color light emitting layer is used. However, by adding a light emitting layer transfer process, a light emitting layer in which a plurality of colors are mixed by stacking a plurality of light emitting layers or using a mixed material of each color light emitting material. Is possible.

(電子輸送層転写工程)
前記正孔輸送層転写工程と同様な構成と工程で、エンドレスベルト上に形成された電子輸送層転写材料を支持体に転写することで、支持体に電子輸送層が形成される。
(Electron transport layer transfer process)
The electron transport layer is formed on the support by transferring the electron transport layer transfer material formed on the endless belt to the support in the same configuration and process as the hole transport layer transfer process.

本実施例ではエンドレスベルト上に形成される転写工程を複数有し、支持体に対し、正孔輸送層、発光層、電子輸送層をこの順で、第一電極上に順次転写し有機化合物層を形成する。   In this embodiment, there are a plurality of transfer steps formed on the endless belt, and the hole transport layer, the light emitting layer, and the electron transport layer are sequentially transferred onto the first electrode in this order with respect to the support. Form.

前記工程により形成された有機化合物層は巻き取られ、保管箱へ保管される。   The organic compound layer formed by the above process is wound up and stored in a storage box.

前記工程は、露点温度−20℃以下かつ清浄度クラス5以下(JISB−9920)で、かつ有機化合物層形成が溶媒除去工程、加熱工程を除き10℃〜45℃の環境の大気環境下で製造されることが望ましい。有機EL層は水分に弱く、除湿された環境下で行う事が好ましい。また、有機EL層は非常に薄膜であり異物があると故障欠陥が来たすため清浄度の高い環境下が必要となる。製膜時の温度は10℃〜45℃が良く、さらに好ましくは20℃〜25℃の範囲が良い。温度が低いと乾燥時の乾燥ムラが生じやすくなり塗膜面に不良をきたし、温度が高いと製膜時に溶媒蒸発による溶液の乾きでの故障欠陥が発生し易くなる。   The above process is performed in an atmospheric environment having a dew point temperature of −20 ° C. or lower and a cleanliness class 5 or lower (JISB-9920), and the organic compound layer formation is an environment of 10 ° C. to 45 ° C. excluding the solvent removing step and the heating step. It is desirable that The organic EL layer is weak against moisture and is preferably performed in a dehumidified environment. In addition, the organic EL layer is a very thin film, and if there is a foreign substance, a fault defect occurs, so an environment with a high cleanliness is required. The temperature during film formation is preferably 10 ° C to 45 ° C, more preferably 20 ° C to 25 ° C. If the temperature is low, drying unevenness tends to occur at the time of drying and the coating surface becomes defective. If the temperature is high, a failure defect due to drying of the solution due to solvent evaporation tends to occur at the time of film formation.

前記工程により巻き取られたロ−ルは収納箱に保管され、減圧下(10-5〜10Pa)に収納される。適宜、温度をかけても良い。収納期間は1時間〜200時間が好ましく、長ければ長い程よい。これにより、素子劣化に起因する酸素や微量水分が取り除かれる。 The roll taken up by the above process is stored in a storage box and stored under reduced pressure (10 −5 to 10 Pa). A temperature may be appropriately applied. The storage period is preferably 1 hour to 200 hours, the longer the better. As a result, oxygen and trace moisture due to device deterioration are removed.

前記工程により形成された有機化合物層は、減圧下で蒸着法により電子注入層が形成され、蒸着法によりパタ−ニングを行い第二電極(陰極)が形成される。更に、不活性ガス下で、封止接着剤によりガスバリア性を有する樹脂フィルムを圧着貼り合わせして封止される。封止接着後は、連続的巻き取り、次工程にて断裁してパネル化を行方法、巻き取らず連続的に断裁してストッカ−に収納する方法、適宜選択可能である。   The organic compound layer formed by the above process is formed with an electron injection layer by a vapor deposition method under reduced pressure, and patterned by the vapor deposition method to form a second electrode (cathode). Further, a resin film having a gas barrier property is pressure-bonded and sealed with a sealing adhesive under an inert gas. After sealing and bonding, it is possible to appropriately select a continuous winding and cutting in the next step to form a panel, or a method of cutting continuously without winding and storing in a stocker.

<第二の実施形態>
前記のように図3に示す第二の実施形態は、支持体に画素パタ−ンの発光層を形成することにより有機EL層を形成する。
<Second Embodiment>
As described above, in the second embodiment shown in FIG. 3, the organic EL layer is formed by forming the light emitting layer of the pixel pattern on the support.

以下に、第一の実施形態と異なる部分を中心に説明する。   Below, it demonstrates centering on a different part from 1st embodiment.

(正孔輸送層転写工程)
前記第一の実施形態の正孔輸送層転写工程と同じである。
(Hole transport layer transfer process)
This is the same as the hole transport layer transfer step of the first embodiment.

(発光層転写工程)
発光層をストライプ状のパタ−ニングして塗膜を形成する。本実施例では、インクジェット塗布装置を用い発光層転写材料の塗膜を形成する。
(Light emitting layer transfer process)
The light emitting layer is patterned in a stripe shape to form a coating film. In this embodiment, a coating film of the light emitting layer transfer material is formed using an ink jet coating apparatus.

インクジェット塗布装置は、塗布液であるインクを貯留するインクタンク711、インクを前記インクタンク711からインクジェットヘッドユニット714に送液する図示しないインク送液手段及びインクを吐出するインクジェットヘッドユニット714で構成される。   The ink jet coating apparatus includes an ink tank 711 for storing ink as a coating liquid, an ink liquid feeding means (not shown) for feeding ink from the ink tank 711 to the ink jet head unit 714, and an ink jet head unit 714 for ejecting ink. The

前記インクジェットヘッドユニット714は、エンドレスベルト421に対し図示しない移動手段により相対的に搬送方向(副走査)と搬送方向直角(主走査)の2方向に移動可能である。   The inkjet head unit 714 can move relative to the endless belt 421 in two directions, ie, a conveyance direction (sub-scanning) and a conveyance direction perpendicular (main scanning) by a moving unit (not shown).

前記インクジェットヘッドユニット714は、搬送されるエンドレスベルト421の平面搬送部上に配設される。エンドレスベルト421を間欠動作させ、ベルト停止中に、インクジェットヘッドユニット714の吐出ノズルからインクを吐出し前記画素パタ−ンを形成する。   The ink-jet head unit 714 is disposed on a plane transport portion of the endless belt 421 to be transported. The endless belt 421 is intermittently operated, and while the belt is stopped, ink is ejected from the ejection nozzles of the inkjet head unit 714 to form the pixel pattern.

本実施例では、フルカラ−パネル用途として、赤、緑、青の発光層の溶液を3種類のヘッドで一つの転写ベルトに形成して転写する形態をとっているが、発光層転写工程適宜増設して、各色毎、別々に転写膜として形成して転写しても良い。この場合は3色の転写工程が必要となる。   In this embodiment, as a full color panel application, the red, green and blue light emitting layer solutions are formed and transferred onto one transfer belt with three types of heads. Then, each color may be separately formed and transferred as a transfer film. In this case, a three-color transfer process is required.

転写工程では、エンドレスベルト421上に形成された塗膜層は、エンドレスベルトを構成するバックアップロ−ル422上で反転する際、バックアップロ−ル上のエンドレスベルトと加熱ロ−ル46間に支持体1を挟み込み、エンドレスベルトと加熱ロ−ルおよび支持体を同期させ動作させる事でエンドレスベルト上の有機化合物層を軟化させ支持体へ圧着させる事で転写させる。加熱ロ−ルは可動構造として、圧着、非圧着が選択できるような構造としており複数の転写工程での転写有無を選択可能にし、層構成にあわせた転写層数が選択可能である。加熱ロ−ルは弾性体を用い、転写材料にあわせ温度と圧着力を任意に選択可能な形態が望ましい。   In the transfer process, the coating layer formed on the endless belt 421 is supported between the endless belt on the backup roll and the heating roll 46 when reversed on the backup roll 422 constituting the endless belt. The body 1 is sandwiched and the endless belt, the heating roll, and the support are operated in synchronism to soften the organic compound layer on the endless belt and to transfer it by pressure bonding to the support. The heating roll has a movable structure that can be selected from crimping and non-crimping. The presence or absence of transfer in a plurality of transfer processes can be selected, and the number of transfer layers according to the layer configuration can be selected. The heating roll uses an elastic body, and it is desirable that the temperature and pressure-bonding force can be arbitrarily selected according to the transfer material.

パタ−ン化された発光層の転写に関しては、第一電極のITOパタ−ンと発光層の転写パタ−ンが一致するように支持体の位置検出手段とエンドレスベルトの位置検出手段とで転写位置を決定し、支持体とエンドレスベルトを同期させ転写を行う。   Regarding the transfer of the patterned light emitting layer, the transfer is performed by the position detecting means of the support and the position detecting means of the endless belt so that the ITO pattern of the first electrode and the transfer pattern of the light emitting layer coincide with each other. The position is determined, and transfer is performed by synchronizing the support and the endless belt.

(電子輸送層転写工程)
前記第一の実施形態の電子輸送層転写工程と同じである。
(Electron transport layer transfer process)
This is the same as the electron transport layer transfer step of the first embodiment.

本実施例ではエンドレスベルト上に形成される転写工程を複数有し、支持体に対し、正孔輸送層、発光層、電子輸送層をこの順で、第一電極上に順次転写し有機化合物層を形成した。
形成された有機化合物層は巻き取られ、保管箱へ保管される。
In this embodiment, there are a plurality of transfer steps formed on the endless belt, and the hole transport layer, the light emitting layer, and the electron transport layer are sequentially transferred onto the first electrode in this order with respect to the support. Formed.
The formed organic compound layer is wound up and stored in a storage box.

また、前記工程の製造環境は、第一の実施形態と同じである。   Moreover, the manufacturing environment of the said process is the same as 1st embodiment.

以降の処理は第一実施形態と同様な方式により、電子注入層、陰極パタ−ニング、封止を行い、素子の作製を行う。   Subsequent processing is performed in the same manner as in the first embodiment, and an electron injection layer, cathode patterning, and sealing are performed to manufacture a device.

本発明により、複数層にした場合でも層間の混合がないため、素子構成の柔軟性が高く素子性能の向上が図られ、かつ効率が良く安定した生産が可能になる、高品質で生産性の高い有機EL素子の製造方法を提供することができる。   According to the present invention, even when a plurality of layers are formed, there is no mixing between layers, so that the flexibility of the device configuration is high, the device performance is improved, and efficient and stable production is possible. A method for producing a high organic EL element can be provided.

以下、実施例により本発明を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
<実施例1>
図1に示す第一の実施の形態で有機EL素子の製作を行った。
(1)ガスバリア層と第一電極層とをこの順番で有する帯状可とう性支持体の作成。
厚さ100μmのポリエチレンナフタレ−トフィルム(帝人・デュポン社製フィルム、以下PENと略記する)を用い、該PEN上に以下に示す方法でガスバリア層と第一電極層とをこの順番で形成し、巻き芯に巻き取り、ロ−ル状とした帯状可とう性支持体を作成した。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention, this invention is not limited to these.
<Example 1>
The organic EL element was manufactured in the first embodiment shown in FIG.
(1) Creation of a strip-shaped flexible support having a gas barrier layer and a first electrode layer in this order.
Using a polyethylene naphthalate film having a thickness of 100 μm (a film made by Teijin DuPont, hereinafter abbreviated as PEN), a gas barrier layer and a first electrode layer are formed in this order on the PEN by the following method. A belt-like flexible support body wound up on a winding core to form a roll was prepared.

(透明ガスバリア層の形成)
準備したPEN上に大気圧プラズマ放電処理法で、厚さ約90nmの透明ガスバリア層を形成した。JISK−7129Bに準拠した方法により水蒸気透過率を測定した結果10-3g/m2/day以下であった。JISK−7126Bに準拠した方法により酸素透過率を測定した結果10-3ml/m2/day以下であった。
(Formation of transparent gas barrier layer)
A transparent gas barrier layer having a thickness of about 90 nm was formed on the prepared PEN by an atmospheric pressure plasma discharge treatment method. It was 10 < -3 > g / m < 2 > / day or less as a result of measuring water-vapor-permeation rate by the method based on JISK-7129B. The oxygen transmission rate was measured by a method based on JISK-7126B. As a result, it was 10 −3 ml / m 2 / day or less.

(第一電極層の形成)
形成したバリア層の上に厚さ120nmのITO(インジウムチンオキシド)を蒸着法により電極を形成し、フォトリソを用いパタ−ニングを行い第一電極層を形成した。
(2)有機EL層の作成
前記、第一電極が形成されているロ−ル状支持体を繰り出し洗浄表面改質処理、任意位置での帯電除去処理、転写を連続して行い、有機EL層が形成された支持体をロ−ル状に巻き取った。支持体搬送速度は2m/minで実施した。
(Formation of the first electrode layer)
An electrode was formed on the formed barrier layer by vapor deposition of ITO (indium tin oxide) having a thickness of 120 nm, and patterning was performed using photolithography to form a first electrode layer.
(2) Preparation of organic EL layer The above-mentioned roll-shaped support on which the first electrode is formed is continuously subjected to a cleaning surface modification treatment, a charge removal treatment at an arbitrary position, and a transfer, and an organic EL layer. The support on which was formed was wound into a roll. The support conveying speed was 2 m / min.

有機化合物層の形成は、露点温度−20℃以下かつ清浄度クラス5以下(JISB−9920)で、溶媒除去工程及び加熱工程を除き、温度は25℃の大気環境下で行った。   Formation of the organic compound layer was performed in an atmospheric environment at a dew point temperature of −20 ° C. or lower and a cleanliness class of 5 or lower (JISB-9920) except for the solvent removal step and the heating step.

(洗浄表面改質処理)
ドライ洗浄装置として、低圧水銀ランプ波長184.9nm、照射強度15mW/cm2を用い、距離10mmにて実施した。
(Cleaning surface modification treatment)
As a dry cleaning apparatus, a low pressure mercury lamp wavelength of 184.9 nm, irradiation intensity of 15 mW / cm 2 was used, and the distance was 10 mm.

(帯電除去処理)
本実施例では微弱X線による除電器で行った。
(Charge removal treatment)
In this embodiment, the neutralization with weak X-rays was performed.

(正孔輸送層転写)
正孔輸送層として4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)を1,2−ジクロロエタン中に溶解し0.5質量%溶液とした。この溶液をダイコ−ト法により乾燥後の厚みが50nmになるようにエンドレスベルト上に製膜を行い、正孔輸送層転写材料を設けた。
(Hole transport layer transfer)
As a hole transport layer, 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD) was dissolved in 1,2-dichloroethane to obtain a 0.5 mass% solution. This solution was formed on an endless belt by a die coat method so that the thickness after drying was 50 nm, and a hole transport layer transfer material was provided.

エンドレスベルトは、600μmの厚みのステンレスベルトとした。   The endless belt was a stainless steel belt having a thickness of 600 μm.

塗布後は加熱された気流による乾燥加熱処理工程にて溶媒を除去した。乾燥スリットノズルの噴出し口から製膜面に向け高さ100mm、噴出し風速1m/s、幅手分布5%、乾燥温度60℃の気流で実施した。その後、本実施例としてはエンドレスベルト裏面に温風を加え、裏面温度を200℃として溶媒を除去させた。   After coating, the solvent was removed in a drying heat treatment step using a heated air stream. From the outlet of the drying slit nozzle toward the film forming surface, the air flow was 100 mm in height, the air velocity was 1 m / s, the width distribution was 5%, and the drying temperature was 60 ° C. Then, as an Example, warm air was added to the back surface of the endless belt, the back surface temperature was set to 200 ° C., and the solvent was removed.

エンドレスベルト上に形成された塗膜層を、バックアップロ−ル上のエンドレスベルトと加熱ロ−ル間に支持体を挟み込み、エンドレスベルトと加熱ロ−ルおよび支持体を同期させ動作させる事でエンドレスベルト上の有機化合物層を軟化させ支持体へ圧着させる事で転写し、支持体上に正孔輸送層を形成した。   The coating layer formed on the endless belt is sandwiched between the endless belt on the backup roll and the heating roll, and the endless belt, the heating roll and the support are operated in synchronization to endlessly move the coating layer. The organic compound layer on the belt was softened and transferred to the support by pressure bonding to form a hole transport layer on the support.

転写後のエンドレスベルトは、洗浄処理部で塗布時と同じ溶媒にて残存物を溶解させ残存物を除去させ、エアブロ−等で溶媒を除去した。   After the transfer, the endless belt was dissolved in the same solvent as that applied at the washing processing section to remove the residue, and the solvent was removed with an air blower.

(発光層転写)
発光層は緑色発光層として、ホスト材のポリビニルカルバゾ−ル(PVK)にド−パント材のIr−1を8質量%を1,2−ジクロロエタン中に溶解し1質量%溶液とした。この溶液を正孔輸送層転写と同様な方法で、ダイコ−ト方式を用い乾燥後の厚み100nmになる様にエンドレスベルト上で製膜および乾燥を行い、発光層転写材料を設け支持体に転写し、支持体上に発光層を形成した。
(Light emitting layer transfer)
The light-emitting layer was a green light-emitting layer, and 8% by mass of a dopant material Ir-1 was dissolved in 1,2-dichloroethane in a host material polyvinylcarbazole (PVK) to form a 1% by mass solution. This solution is formed and dried on an endless belt using a die-coat method in the same manner as the hole transport layer transfer so that the thickness after drying is 100 nm, and a light emitting layer transfer material is provided and transferred to a support. Then, a light emitting layer was formed on the support.

(電子輸送層転写)
電子輸送層はAlq3を1,2−ジクロロエタン中に溶解し0.5質量%溶液とした。この溶液を正孔輸送層転写と同様な方法で、ダイコ−ト方式を用い乾燥後の厚み50nmになる様にエンドレスベルト上で製膜および乾燥を行い、電子輸送層転写材料を設け支持体に転写し、支持体上に電子輸送層を形成した。
(Electron transport layer transfer)
For the electron transport layer, Alq3 was dissolved in 1,2-dichloroethane to obtain a 0.5 mass% solution. This solution is formed and dried on an endless belt in the same manner as the hole transport layer transfer using a die coat method so that the thickness after drying is 50 nm, and an electron transport layer transfer material is provided on the support. Transfer was performed to form an electron transport layer on the support.

前記のように、本実施例ではエンドレスベルト上に形成される複数の転写工程で、支持体に対し、正孔輸送層、発光層、電子輸送層をこの順で、支持体に形成された第一電極上に順次転写し有機化合物層を形成した。続いて、前記支持体をロ−ル状に巻き取り、前記記載の収納方法により収納した。
(3)電子注入層、陰極、封止の形成
前記有機化合物層が形成された支持体に、減圧下で電子注入層、陰極を形成した。
前記支持体を5×10-4Pa真空下にて電子注入層として厚さ0.5nmのLiF層を蒸着し、続いて、陰極として厚さ100nmのアルミ層も同様に蒸着によりパタ−ニングを行った。
As described above, in the present embodiment, the hole transport layer, the light emitting layer, and the electron transport layer are formed in this order on the support in the plurality of transfer steps formed on the endless belt. The organic compound layer was formed by sequentially transferring on one electrode. Then, the said support body was wound up in roll shape and accommodated by the said storage method.
(3) Formation of electron injection layer, cathode, and sealing An electron injection layer and a cathode were formed under reduced pressure on the support on which the organic compound layer was formed.
The support was vapor-deposited with a 0.5 nm thick LiF layer as an electron injection layer under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa, and subsequently a 100 nm thick aluminum layer was similarly patterned by vapor deposition as a cathode. went.

次に、前記ロ−ル状支持体を不活性ガス下にて繰り出し、封止接着材としてUV硬化性のエポキシ樹脂(ナガセケムテックス(株)製UVレジン XNR5570−B1)を電極端子部分を除く部分にスクリ−ン印刷法にて額縁上に接着材層を塗布し、ガスバリア性の有する樹脂フィルムを圧着させ貼り合せ後、UVランプを陰極側から照射し樹脂フィルムの接着を実施した。   Next, the roll-shaped support is fed out under an inert gas, and a UV curable epoxy resin (UV resin XNR5570-B1 manufactured by Nagase Chemtex Co., Ltd.) is removed as a sealing adhesive. An adhesive layer was applied onto the frame by screen printing, and a resin film having a gas barrier property was pressure-bonded and bonded. Then, a UV lamp was applied from the cathode side to bond the resin film.

前記接着材のエポキシ樹脂は熱硬化型であっても良い。その場合は、貼り合せ時にヒ−トロ−ル間を通す事により加熱圧着を行う。   The epoxy resin of the adhesive may be a thermosetting type. In that case, thermocompression bonding is performed by passing between the heaters at the time of bonding.

実施例1で作成した素子は一色、例えば緑色の発光を有するが、ド−パント材を、青の材料、赤の材料を使用し、発光層転写工程を増設すること等により白色有機EL素子が作成できる。これはバックライトや照明装置として利用する事が可能である。   The element prepared in Example 1 has a light emission of one color, for example, green, but a white organic EL element can be obtained by using a dopant material, a blue material, a red material, and adding a light emitting layer transfer process. Can be created. This can be used as a backlight or a lighting device.

実施例1による有機EL素子を発光させ、発光むらを目視評価した。発光むらは認められず、支持体に積層した有機EL層の層間の混合による特性不良が認められない単色発光の有機EL素子が得られた。
<実施例2>
図3に示す第二の実施の形態で有機EL素子の製作を行った。以下は、実施例1との相違点を中心に説明する。記載のない項目は、実施例1に準ずる。
The organic EL device according to Example 1 was caused to emit light, and the uneven emission was visually evaluated. A monochromatic light emitting organic EL element in which no uneven light emission was observed and no characteristic defect due to mixing between layers of the organic EL layer laminated on the support was observed.
<Example 2>
An organic EL element was manufactured in the second embodiment shown in FIG. The following description will focus on differences from the first embodiment. Items not described are in accordance with Example 1.

有機化合物層の形成は、実施例1と同じく露点温度−20℃以下かつ清浄度クラス5以下(JISB−9920)で、溶媒除去工程及び加熱工程を除き、温度は25℃の大気環境下で行った。   The organic compound layer is formed in an atmospheric environment at a temperature of 25 ° C., except for the solvent removal step and the heating step, with a dew point temperature of −20 ° C. or lower and a cleanliness class of 5 or lower (JISB-9920) as in Example 1. It was.

(第一電極層の形成)
形成したバリア層の上に厚さ120nmのITO(インジウムチンオキシド)を蒸着法により電極を形成し、フォトリソを用い幅50μm間隔30μmのストライプ状にパタ−ニングを行い第一電極層を形成した。
(Formation of the first electrode layer)
On the formed barrier layer, an ITO (indium tin oxide) film having a thickness of 120 nm was formed by vapor deposition, and patterned using a photolitho in stripes with a width of 50 μm and an interval of 30 μm to form a first electrode layer.

(発光層転写)
発光層の緑色発光層はホスト材のポリビニルカルバゾ−ル(PVK)にド−パント材のIr−1を8質量%を1,2−ジクロロエタン中に溶解し1質量%溶液とした。この溶液をインクジェット方式を
用い乾燥後の厚み100nmで幅55μmになる様にエンドレスベルト上でパタ−ン製膜を行った。
(Light emitting layer transfer)
The green light-emitting layer of the light-emitting layer was prepared by dissolving 8% by mass of a dopant material Ir-1 in 1,2-dichloroethane in polyvinyl carbazole (PVK) as a host material. This solution was patterned on an endless belt using an ink jet method so that the thickness after drying was 100 nm and the width was 55 μm.

同様に、赤色発光層はホスト材のポリビニルカルバゾ−ル(PVK)に赤色ド−パント材のIr−9を8質量%を1,2−ジクロロエタン中に溶解し1質量%溶液とした。この溶液をインクジェット方式を用い乾燥後の厚み100nmで幅55μmになる様にエンドレスベルト上でパタ−ン製膜を行った。   Similarly, the red light emitting layer was prepared by dissolving 8% by mass of Ir-9 as a red dopant material in polyvinyl carbazole (PVK) as a host material in 1,2-dichloroethane to form a 1% by mass solution. This solution was patterned on an endless belt using an ink jet method so that the thickness after drying was 100 nm and the width was 55 μm.

同様に、青色発光層はホスト材のポリビニルカルバゾ−ル(PVK)に青色ド−パント材のIr−12を5質量%を1,2−ジクロロエタン中に溶解し1質量%溶液とした。この溶液をインクジェット方式を用い乾燥後の厚み100nmで幅55μmになる様にエンドレスベルト上でパタ−ン製膜を行った。   Similarly, the blue light emitting layer was prepared by dissolving 5% by mass of blue dopant Ir-12 in 1,2-dichloroethane in polyvinyl carbazole (PVK) as a host material in a 1% by mass solution. This solution was patterned on an endless belt using an ink jet method so that the thickness after drying was 100 nm and the width was 55 μm.

上記3色を20μmピッチでライン状にパタ−ニングした後、60℃の気流乾燥で乾燥を実施した。
その後、本実施例としてはコンベア裏面に温風を加えコンベア裏面温度を200℃として溶媒を除去させた。
The three colors were patterned in a line shape at a pitch of 20 μm, and then dried by airflow drying at 60 ° C.
Then, as a present Example, warm air was added to the conveyor back surface, the conveyor back surface temperature was 200 degreeC, and the solvent was removed.

パタ−ン化された発光層の転写に関しては、ITO画素ストライプパタ−ンと発光層の転写パタ−ンが一致するように支持体の位置検出手段とエンドレスベルトの位置検出手段とで転写位置を決定し、支持体とエンドレスベルトを同期させ転写を行った。   Regarding the transfer of the patterned light emitting layer, the transfer position is determined by the support position detecting means and the endless belt position detecting means so that the ITO pixel stripe pattern and the light emitting layer transfer pattern coincide with each other. The transfer was performed by synchronizing the support and the endless belt.

転写後のエンドレスベルトの洗浄は、実施例1と同じである。
(3)電子注入層、陰極、封止の形成
前記有機化合物層が形成された支持体に、減圧下で電子注入層、陰極を形成した。
前記支持体を5×10-4Pa真空下にて電子注入層として厚さ0.5nmのLiF層を蒸着し、続いて、陰極として厚さ100nmのアルミ層を蒸着法を用い画素ラインとは直角方向に幅200nm、間隔30μmのストライプ状にパタ−ニングを行い、第二電極を形成した。
The cleaning of the endless belt after the transfer is the same as in Example 1.
(3) Formation of electron injection layer, cathode, and sealing An electron injection layer and a cathode were formed under reduced pressure on the support on which the organic compound layer was formed.
A pixel line is formed by depositing a 0.5 nm thick LiF layer as an electron injection layer under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa, and subsequently using a vapor deposition method with a 100 nm thick aluminum layer as a cathode. Patterning was performed in a stripe shape having a width of 200 nm and a spacing of 30 μm in the direction perpendicular to form a second electrode.

次に、実施例1と同様に前記ロ−ル状支持体を不活性ガス下にて繰り出し、封止接着材としてUV硬化性のエポキシ樹脂(ナガセケムテックス(株)製UVレジン XNR5570−B1)を電極端子部分を除く部分にスクリ−ン印刷法にて額縁上に接着材層を塗布し、ガスバリア性の有する樹脂フィルムを圧着させ貼り合せ後、UVランプを陰極側から照射し樹脂フィルムの接着を実施した。   Next, in the same manner as in Example 1, the roll-shaped support was drawn out under an inert gas, and a UV curable epoxy resin (UV resin XNR5570-B1 manufactured by Nagase ChemteX Corporation) was used as a sealing adhesive. Apply an adhesive layer on the frame by screen printing on the part other than the electrode terminal part, and press and bond a gas barrier resin film, and then irradiate the UV lamp from the cathode side to bond the resin film. Carried out.

前記接着材のエポキシ樹脂は熱硬化型であっても良い。その場合は、貼り合せ時にヒ−トロ−ル間を通す事により加熱圧着を行う。   The epoxy resin of the adhesive may be a thermosetting type. In that case, thermocompression bonding is performed by passing between the heaters at the time of bonding.

実施例2で作成した素子は、パッシブマトリックスのフルカラ−の有機EL素子が作成できる。これはディスプレイ装置として利用する事が可能である。   The element produced in Example 2 can produce a passive matrix full-color organic EL element. This can be used as a display device.

実施例2による有機EL素子を発光させ、発光むらを目視評価した。発光むらは認められず、支持体に積層した有機EL層の層間の混合による特性不良が認められないパッシブマトリックスのフルカラ−有機EL素子が得られた。
<実施例3>
実施例1の有機EL素子製作方法を用い、有機化合物層の形成時の環境を表1のように変えて評価を行った。また、有機化合物層形成用塗布液の塗布温度を25℃で行ったため、溶媒除去工程及び加熱工程を除き、温度は25℃の大気環境下で行った。
The organic EL element according to Example 2 was caused to emit light, and the uneven emission was visually evaluated. A passive matrix full-color organic EL device in which no light emission unevenness was observed and no characteristic defect due to mixing between layers of the organic EL layer laminated on the support was observed.
<Example 3>
Using the organic EL device manufacturing method of Example 1, the evaluation was performed by changing the environment during the formation of the organic compound layer as shown in Table 1. Moreover, since the coating temperature of the coating liquid for forming an organic compound layer was 25 ° C., the temperature was 25 ° C. in an atmospheric environment except for the solvent removal step and the heating step.

作成した試料No.1乃至7の有機EL素子を発光させ、未発光故障の有無を目視評価した。
未発光故障の評価ランク
○:未発光故障が確認されない。
The prepared sample No. The organic EL elements 1 to 7 were caused to emit light, and the presence or absence of a non-light emitting failure was visually evaluated.
Evaluation rank of non-luminous failure ○: Non-luminous failure is not confirmed.

△:実技上問題とならないわずかな未発光故障が認められる。   (Triangle | delta): The slight non-light-emission failure which does not become a problem practically is recognized.

×:実技上問題となる未発光故障が散見される。   X: Non-light-emitting failure which is a problem in practice is occasionally observed.

表1は、その結果を示したものであり、試料No.1の場合は、試料中に含まれる水分量により、また試料No.4の場合は、付着した異物により未発光故障が発生したものと推測される。本発明の有効性が確認された。   Table 1 shows the results. In the case of No. 1, depending on the amount of water contained in the sample, the sample No. In the case of 4, it is presumed that a non-light emitting failure has occurred due to the adhered foreign matter. The effectiveness of the present invention was confirmed.

Figure 2006302814
Figure 2006302814

本発明に係る支持体の幅手に一様な有機EL層を形成する形成装置の模式図である。It is a schematic diagram of the formation apparatus which forms a uniform organic electroluminescent layer in the width | variety of the support body which concerns on this invention. 図1に示す形成装置により形成される有機EL層の層構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the organic electroluminescent layer formed with the formation apparatus shown in FIG. 本発明に係る支持体に画素パタ−ンの有機EL層を形成する形成装置の模式図である。It is a schematic diagram of the formation apparatus which forms the organic electroluminescent layer of a pixel pattern in the support body which concerns on this invention. 図3に示す形成装置により形成される有機EL層の層構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the layer structure of the organic electroluminescent layer formed with the formation apparatus shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 支持体
2 表面洗浄改質処理工程
3 帯電除去処理工程
4 正孔輸送層転写工
5、7 発光層転写工程
6 電子輸送層転写工程
411、511、611 塗布液タンク
412、512、612 送液ポンプ
413、513、613 フィルタ−
414、514、614 ダイコ−タ
421 エンドレスベルト
422 バックアップロ−ル
43、53、63、73 乾燥加熱処理部
44、54、64、74 洗浄処理部
46、56、66、76 加熱ロ−ル
711 インクタンク
714 インクジェットヘッドユニット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support body 2 Surface washing | cleaning modification process process 3 Electrostatic removal process process 4 Hole transport layer transfer process 5, 7 Light emitting layer transfer process 6 Electron transport layer transfer process 411,511,611 Coating liquid tank 412,512,612 Delivery liquid Pump 413, 513, 613 Filter
414, 514, 614 Die coater 421 Endless belt 422 Backup roll 43, 53, 63, 73 Drying heat processing unit 44, 54, 64, 74 Cleaning processing unit 46, 56, 66, 76 Heating roll 711 Ink Tank 714 Inkjet head unit

Claims (12)

少なくとも支持体上に発光層を含む1層以上の有機化合物からなる有機エレクトロルミネッセンス層の少なくとも1層を転写により形成する有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法において、
連続または間欠に駆動されるエンドレスベルト基材上に有機化合物層を塗設した後、該エンドレスベルト基材上に形成された該有機化合物層を該エンドレスベルト基材と同期し搬送される前記支持体に重ねて転写することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。
In the method for forming an organic electroluminescence layer, at least one organic electroluminescence layer comprising at least one organic compound including a light emitting layer on a support is formed by transfer.
The organic compound layer is coated on an endless belt substrate that is driven continuously or intermittently, and then the organic compound layer formed on the endless belt substrate is conveyed in synchronization with the endless belt substrate. A method of forming an organic electroluminescence layer, wherein the transfer is performed on a body.
前記有機化合物の塗設は、前記エンドレスベルト基材の搬送方向に対し直角方向幅手に、一様な膜形成により行われることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 2. The method of forming an organic electroluminescent layer according to claim 1, wherein the coating of the organic compound is performed by forming a uniform film in a width perpendicular to the conveying direction of the endless belt base material. . 前記有機化合物の塗設は、インクジェット方式により行われることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 The method for forming an organic electroluminescent layer according to claim 1, wherein the coating of the organic compound is performed by an inkjet method. 前記インクジェット方式により行われる塗設は、少なくとも1色以上のパタ−ン形成塗布であることを特徴とする請求項3に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 4. The method for forming an organic electroluminescent layer according to claim 3, wherein the coating performed by the inkjet method is a pattern forming coating of at least one color. 前記エンドレスベルト基材上に有機化合物を塗設した後、溶媒を除去する工程を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 The method for forming an organic electroluminescent layer according to any one of claims 1 to 4, further comprising a step of removing the solvent after coating the organic compound on the endless belt base material. 前記エンドレスベルト基材上に形成された有機化合物層を前記支持体上に転写した後、エンドレスベルト基材を清掃することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 6. The endless belt base material is cleaned after the organic compound layer formed on the endless belt base material is transferred onto the support. 6. A method for forming an organic electroluminescence layer. 有機化合物層を塗設した前記エンドレスベルト基材と同期し搬送される前記支持体の、有機化合物層が転写される位置より前記支持体の搬送方向上流側及び下流側の少なくとも一方に除電処理を行うことを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 Static elimination treatment is performed on at least one of the upstream side and the downstream side in the transport direction of the support from the position where the organic compound layer is transferred from the support transported in synchronization with the endless belt base material coated with the organic compound layer. The method for forming an organic electroluminescence layer according to claim 1, wherein the organic electroluminescence layer is formed. 前記エンドレスベルト基材と同期し搬送される前記支持体を、酸素プラズマもしくはUV照射により洗浄することを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 8. The organic electroluminescence layer according to claim 1, wherein the support conveyed in synchronization with the endless belt substrate is cleaned by oxygen plasma or UV irradiation. Method. 請求項1乃至請求項8の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法により、有機エレクトロルミネッセンス層を支持体に転写し、有機エレクトロルミネッセンス層を形成した後、前記支持体をロ−ル状に巻き取ることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 The organic electroluminescence layer is transferred to a support by the method for forming an organic electroluminescence layer according to any one of claims 1 to 8, and the organic electroluminescence layer is formed. A method for forming an organic electroluminescence layer, wherein the organic electroluminescence layer is wound up into a ru. 露点温度−20℃以下及びJISB9920規格で清浄度クラス5以下の大気環境下で、かつ乾燥部を除き10℃以上45℃以下の大気条件下で形成することを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法。 It is formed under an atmospheric environment having a dew point temperature of -20 ° C or lower and an JISB9920 standard cleanliness class 5 or lower, and an atmospheric condition of 10 ° C or higher and 45 ° C or lower, excluding the drying section. 10. The method for forming an organic electroluminescent layer according to any one of 9 above. 請求項1乃至請求項10の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス層の形成方法で製造することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 It manufactures with the formation method of the organic electroluminescent layer of any one of Claim 1 thru | or 10, The organic electroluminescent element characterized by the above-mentioned. 発光が燐光に基づくものであることを特徴とする請求項11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 The organic electroluminescence device according to claim 11, wherein the light emission is based on phosphorescence.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009238709A (en) * 2008-03-28 2009-10-15 Sumitomo Chemical Co Ltd Method and apparatus for manufacturing organic electroluminescent element
JP2011503879A (en) * 2007-11-09 2011-01-27 ユニバーサル ディスプレイ コーポレイション Stable blue phosphorescent organic light emitting device
WO2011105272A1 (en) * 2010-02-23 2011-09-01 独立行政法人産業技術総合研究所 Method for manufacturing organic photoelectric conversion device
KR101147082B1 (en) * 2009-05-20 2012-05-17 황장환 Method for Manufacturing Display Device
WO2014024797A1 (en) * 2012-08-06 2014-02-13 株式会社ニコン Transfer device and substrate treatment apparatus

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011503879A (en) * 2007-11-09 2011-01-27 ユニバーサル ディスプレイ コーポレイション Stable blue phosphorescent organic light emitting device
US9349954B2 (en) 2007-11-09 2016-05-24 Universal Display Corporation Stable blue phosphorescent organic light emitting devices
JP2009238709A (en) * 2008-03-28 2009-10-15 Sumitomo Chemical Co Ltd Method and apparatus for manufacturing organic electroluminescent element
KR101147082B1 (en) * 2009-05-20 2012-05-17 황장환 Method for Manufacturing Display Device
WO2011105272A1 (en) * 2010-02-23 2011-09-01 独立行政法人産業技術総合研究所 Method for manufacturing organic photoelectric conversion device
JP5196511B2 (en) * 2010-02-23 2013-05-15 独立行政法人産業技術総合研究所 Manufacturing method of organic photoelectric conversion device
WO2014024797A1 (en) * 2012-08-06 2014-02-13 株式会社ニコン Transfer device and substrate treatment apparatus
CN104507685A (en) * 2012-08-06 2015-04-08 株式会社尼康 Transfer device and substrate treatment apparatus
JP2020145419A (en) * 2012-08-06 2020-09-10 株式会社ニコン Device manufacturing method

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