JP5090198B2 - 積層型チップ素子の製造方法 - Google Patents
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Description
12:転写支持体
16:第1感光性誘電体転写シート
18:第2感光性誘電体転写シート
20:第2誘電体層( 感光性誘電体層)
24:感光性導体ペースト( 導体材料)
30:積層型チップコンデンサ( 積層型チップ素子)
P4:第1露光・現像工程( 誘電体層加工工程)
P6:導体ペースト塗工工程( 塗着工程)
P7:第2乾燥工程( 塗着工程)
P8:第2露光・現像工程( 第2誘電体層形成工程)
P9:第1転写工程
P10:第2転写工程
P11:積層工程
Claims (1)
- 複数の誘電体層と該誘電体層の間に介在する導電体層とが焼結されることにより構成された積層型チップ素子の製造方法であって、
第1誘電体層が転写支持体の一面に塗着された第1誘電体層転写シートと、複数の凹穴内に導体材料が充填された第2誘電体層が転写支持体の一面に塗着された第2誘電体層転写シートとを用意する工程と、
前記第1誘電体層転写シートを用いて、所定の誘電体層上に、前記第1誘電体層を転写する第1転写工程と、
前記第2誘電体層転写シートを用いて、前記第1転写工程で転写された前記第1誘電体層の上に、前記第2誘電体層を転写する第2転写工程と、
前記第1転写工程および第2転写工程とを繰り返し実行することにより交互に積層された、前記第1誘電体層と第2誘電体層との積層体を焼成処理することにより焼結させる焼成工程とを、含み、
前記第2誘電体層転写シートは、
転写支持体の一面に塗着された感光性誘電体層を露光・現像することにより、該感光性誘電体層に複数の凹穴を形成する誘電体層加工工程と、
該誘電体層加工工程において複数の凹穴が形成された感光性誘電体層の上に、10wt%以下の樹脂成分を有する感光性導体ペーストを一面に塗布し且つ乾燥することにより、乾燥密度を5g/cm 3 以上とした該感光性導体ペーストを塗着する塗着工程と、
該塗着工程により塗着された面を露光・現像することにより前記感光性誘電体層上の感光性導体ペーストを除去し、前記複数の凹穴内に導体材料が充填された第2誘電体層を転写支持体の一面上に形成する第2誘電体層形成工程と
を、経て製造されるものであることを特徴とする積層型チップ素子の製造方法。
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