JP5089342B2 - 検出装置及びプレートの加工方法 - Google Patents

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Description

本発明は、検出装置及びプレートの加工方法に関する。
切削部材を回転させプレートなどの対象物に当接させることで当該対象物を切削加工する切削機械が知られている。このような切削機械の構成として、例えばベアリングなどの軸受に主軸が回転可能に保持され、この主軸に切削部材が着脱可能に設けられており、主軸の回転に連動して切削部材が回転する構成が知られている。主軸を支持する軸受は経年劣化などによって状態が悪化して行き、主軸の回転時に振れが発生するようになる。主軸の振れが大きいと加工精度が悪くなってしまうため、この主軸の振れを定期的に検査する必要がある。
主軸の振れを検査する技術としては、例えば対象物を支持する支持台上に変位検出手段を設け、当該変位検出手段の検出結果に基づいて振れ量を算出する技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。具体的には、切削部材の代わりに検査用のテストツールを主軸に装着し当該テストツールを主軸ごと変位検出手段の位置まで移動させる。変位検出手段の位置に移動したら当該テストツールを回転させ、テストツールの外周面の変位を検出する。この変位量から主軸の振れ量を算出し、算出した振れ量が予め定められた値よりも大きくなった場合に不良と判断する。
特開2001−347440号公報
しかしながら、主軸にテストツールを装着した後に変位検出手段の位置まで移動させる必要があるため、加工工程において対象物を切削する時間のほかにその移動時間が余分に含まれてしまう。
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、より短時間で主軸の振れを検出することが可能な検出装置及びプレートの加工方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明に係る検出装置は、軸受に回転可能に支持された主軸の回転時の振れを検出する検出装置であって、前記主軸に着脱可能に固定され、前記主軸の回転に連動して回転する回転部材と、前記回転部材に設けられ、前記回転部材の回転時の加速度を検出する加速度センサとを備えることを特徴とする。
本発明によれば、回転部材の回転時の加速度を検出する加速度センサが当該回転部材に設けられているので、回転部材を主軸に装着したまま加速度センサによって回転時の振れを検出することができる。主軸を移動しなくても済むため、より短時間で主軸の振れを検査することができる。
上記の検出装置は、前記回転部材は、前記加速度センサによる検出結果を出力する出力部を更に備えることを特徴とする。
本発明によれば、回転部材が加速度センサによる検出結果を出力する出力部を更に備えることとしたので、回転部材の外部においても当該加速度センサによる検出結果を利用することができる。
上記の検出装置は、前記回転部材は、回転軸方向の先端部に突出して設けられた切削部材を有していることを特徴とする。
本発明によれば、回転部材が回転軸方向の先端部に突出して設けられた切削部材を有しているので、当該切削部材によって対象物を切削すると同時に主軸の振れを検出することができる。これにより、主軸の振れを効率的に検出することができる。
上記の検出装置は、前記加速度センサが、前記回転軸から外れた位置に設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、加速度センサが回転軸から外れた位置に設けられているので、主軸の振れをより敏感に検出することができる。
上記の検出装置は、前記加速度センサが、少なくとも前記回転軸を中心とする径方向の加速度を検出することを特徴とする。
本発明によれば、加速度センサが少なくとも回転軸を中心とする径方向の加速度を検出することとしたので、主軸の振れをより効率的に検出することができる。
上記の検出装置は、前記回転部材には、当該回転部材の重心が前記回転軸上に位置するようにバランスウエイトが設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、回転部材には当該回転部材の重心が回転軸上に位置するようにバランスウエイトが設けられているので、回転部材を安定して回転させることができる。
上記の検出装置は、前記加速度センサによる検出結果に基づいて主軸の振れの有無を判断する判断回路と、前記判断回路の判断結果に基づいて少なくとも主軸の回転を停止させる制御部とを更に備えることを特徴とする。
本発明によれば、加速度センサによる検出結果に基づいて主軸の振れの有無が判断され、判断回路の判断結果に基づいて少なくとも主軸の回転を停止させることとしたので、主軸の振れが認められる場合には主軸の回転を停止させることができる。これにより、主軸の振れによる悪影響を回避することができる。
本発明に係るプレートの加工方法は、軸受に回転可能に支持された主軸を回転させ、前記主軸に固定された加工部材を回転させながら前記加工部材によってプレートを加工するプレートの加工方法であって、前記主軸の回転時の振れの有無を検出しながら前記プレートを加工することを特徴とする。
本発明によれば、軸受に回転可能に支持された主軸を回転させ、主軸に固定された加工部材を回転させながら加工部材によってプレートを加工する場合に、主軸の回転時の振れの有無を検出しながら当該プレートを加工することとしたので、プレートを加工しながら主軸の振れの有無を検出することができる。このため、より短時間で主軸の振れの有無を検査することができる。
上記のプレートの加工方法は、前記主軸の回転時の振れが検出されたときには、前記主軸の回転を停止させることを特徴とする。
本発明によれば、主軸の回転時の振れが検出されたときには主軸の回転を停止させることとしたので、主軸の振れによるプレートの加工精度の悪化をいち早く防ぐことができ、不良品のプレートが形成されるのを回避することができる。
本発明によれば、より短時間で主軸の振れを検出することが可能となる。
本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図1は、時計の地板などの加工ワークWを加工する加工機1の構成を示す図である。加工機1は、テーブル部2と、加工部3と、ツールマガジン4と、制御部5とを備えている。この加工機1は、制御部5によってテーブル部2、加工部3及びツールマガジン4の動作を制御しながら加工ワークWの加工を行うようになっている。
以下、加工機1の構成を説明するにあたり、表記の簡単のため、図中の方向をXYZ座標系を用いて説明する。図中左右方向をY方向と表記する。加工機1に対して平面視でX方向に直交する方向をY方向と表記する。X方向軸及びY方向軸を含む平面に垂直な方向をZ方向と表記する。なお、X方向、Y方向及びZ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が+方向、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとする。
テーブル部2は、基台20と、Y軸テーブル21と、Y軸テーブル駆動部22と、加工ワーク載置台23とを有している。基台20は、Y軸テーブル21及びツールマガジン4を支持する支持台である。Y軸テーブル21は、基台20に支持されており、図中Y方向に移動可能に設けられている。Y軸テーブル駆動部22は、Y軸テーブル21に取り付けられており、例えばサーボモータなどによってY軸テーブル21をY軸方向に移動させる。Y軸テーブル駆動部22のサーボモータの駆動は制御部5によって制御されるようになっている。ワーク載置台23は、Y軸テーブル21に固定されており、加工ワークWを載置する台である。Y軸テーブル21をY方向に移動させることによってワーク載置台23がY方向に移動し、これに伴ってワーク載置台23に載置される加工ワークWがY方向に移動するようになっている。
加工部3は、テーブル部2に配置された加工ワークWを加工する部分であり、主軸30と、軸受31と、ツールホルダ32と、切削ツール33と、X軸テーブル34と、X軸テーブル駆動部35と、Z軸テーブル36と、Z軸テーブル駆動部37と、ATCアーム38とを有している。主軸30は、テーブル部2に対して垂直方向(Z軸方向上)に延在するように配置された円柱状の部材であり、図示しない回転駆動部によって回転軸30sを中心として回転するように設けられている。回転駆動部の駆動は制御部5によって制御されるようになっている。主軸30のうち−Z方向(図中下方向)の先端にはツールホルダ32を取り付けるためのチャック30aが設けられている。軸受31は、外面31aがZ軸テーブル36に固定されており、内面31bでは主軸30を回転可能に支持している。ツールホルダ(検出装置)32は、主軸30のチャック30aに着脱可能に固定されており、主軸30の回転に連動して回転するように設けられている。切削ツール(切削部材)33は、ツールホルダ32のうち−Z方向の先端に設けられている。Z軸テーブル36は、Z方向に移動可能に設けられた移動部材である。Z軸テーブル駆動部37は、例えばサーボモータなどによってZ軸テーブル36をZ方向に駆動させるようになっている。Z軸テーブル駆動部37のサーボモータの駆動は制御部5によって制御されるようになっている。X軸テーブル34は、Z軸テーブルに固定されており、X方向に移動可能に設けられた移動部材である。X軸テーブル駆動部35は、例えばサーボモータなどによってX軸テーブル35をX方向に駆動させるようになっている。X軸テーブル駆動部35のサーボモータの駆動は制御部5によって制御されるようになっている。X軸テーブル34をX方向に移動させZ軸テーブル36をZ方向に移動させることによって、軸受31及び当該軸受31に回転可能に支持される主軸30がX方向及びZ方向に移動するようになっており、主軸30の移動によって切削ツール33が加工ワークWに対してX方向及びZ方向に移動するようになっている。ATCアーム38は、軸部材39を介してX軸テーブル34に接続されており、ツールマガジン4にアクセス可能になっている。ATCアーム38の先端にはツールホルダ32を保持する保持部が設けられている。このATCアーム38は、軸部材39に対してZ方向に移動・伸縮可能に設けられており、軸部材39を中心とした旋回することも可能になっている。ATCアーム38の動作及び軸部材39の回転動作は制御部5によって制御されるようになっている。
ツールマガジン4は、ツールホルダ32を複数保持させておく部分であり、保持基板40及び軸部材41を備えている。保持基板40は、例えば円盤状に形成されており、軸部材41によって一体的に支持されている。保持基板40には複数の貫通孔が設けられており、ツールホルダ32及びツール33がこの貫通孔にはめ込まれるように保持されている。軸部材41は、保持基板40の中心を支持しており、基台20によって支持されている。軸部材41には図示しない回転駆動部が設けられており、軸部材41がZ軸方向に延在する中心軸を中心として回転するようになっている。回転駆動部の動作は制御部5によって制御されるようになっている。軸部材41を回転させることによって保持基板40が回転するようになっており、保持基板40の回転によって保持基板40に保持された所望のツールホルダ32をATCアーム38の近傍に配置させることができるようになっている。
図2は、主軸30及びツールホルダ32の構成を示す図である。図3は、図2におけるA−A断面に沿った構成を示す図である。
ツールホルダ32は、チャック30aに取り付けられる取付部32aと、加工を行うツールを保持する加工部32bとを有している。取付部32aは+Z方向先端にボルト63が設けられた錘台状の取付部材62を有しており、この取付部材62はフランジ61及び接続部材64を介して加工部32bと一体的に設けられている。加工部32bは、フランジ61に対向して設けられるフランジ65と、当該フランジ65の−Z方向側の面に設けられた保持部材(回転部材)66とを有している。
保持部材66は錘台状で内部が中空の容器であり、当該保持部材66の内部には電池71と、加速度センサ72と、回路基板73と、充電用コイル74と、アンテナ75と、バランスウエイト76とが設けられている。電池71は、加速度センサ72、回路基板73及びアンテナ75を作動させるための電源である。電池71を設けずに加工機1の電源を用いても構わない。加速度センサ72は、保持部材66の回転時に当該保持部材66に加えられる加速度を検出するセンサである。この加速度センサ72は、主軸30の回転軸30sから外れた位置に設けられており、回転軸30sを中心とする径方向の加速度を検出可能になっている。加速度センサ72によって保持部材66に加えられる加速度を検出することで、ツールホルダ32に連結された主軸30の回転時の振れを検出できるようになっている。回路基板73は、加速度センサ72による検出結果を処理する処理部である。充電用コイル74は、保持部材66の回転を電気的エネルギーに変換する回路要素であり、当該充電用コイル74にて充電できるようになっている。アンテナ75は、回路基板73による処理結果を外部に送信する出力部である。バランスウエイト76はツールホルダ32内の重量のバランスを取るための部材であり、ツールホルダ32の重心が主軸30の回転軸30s上に位置するように配置されている。保持部材66の−Z方向上の先端には、当該保持部材66の先端から突出するように切削ツール33が取り付けられている。切削ツール33は、図3に示すように主軸30の回転軸30s上の位置に配置されており、保持部材66の当該先端を貫通するように取り付けられている。このように切削ツール33は保持部材66と一体的に設けられている。
図4は、保持部材66内の回路構成を示すブロック図である。
同図に示すように、回路基板73はA/D変換器81と、ROM82と、RAM83と、CPU84と、無線モジュール85と、充電回路86とを有しており、これらを接続するバスライン87が設けられている。このバスライン87には、電池71及び加速度センサ72も接続されている。無線モジュール85にはアンテナ75が接続されており、充電回路86には充電用コイル74が接続されている。加速度センサ72によって検出された信号がA/D変換器81によってディジタル信号に変換され、CPU84とROM82及びRAM83との間で所定の処理が行われた後、無線モジュール85を介してアンテナ75を介して送信(出力)されるようになっている。送信された処理結果は例えば制御部5によって受信されるようになっており、制御部5において当該処理結果に基いて加工機1の動作を停止させるか否かの判断が行われるようになっている。
ROM82には、例えば予め設定した上記閾値などが記憶されている。CPU84には、加速度センサ72の検出結果を時系列で記憶させるメモリや、例えば加速度センサ72による検出結果と当該閾値とを比較する比較回路、検出結果が閾値を上回る場合に主軸30の振れが認められると判断する判断回路、当該判断回路によって主軸30の振れが認められると判断された場合に加工機1の動作を停止する停止回路などが設けられている。
次に、上記のように構成された加工機1の動作を説明する。
図5は、加工機1の動作の過程を示すフローチャートである。
加工機1を動作させる際には、加工を行う加工ワークWを予め加工ワーク載置台23に載置しておく。この状態で、ツールホルダ32を主軸30のチャック30aに装着する(ST501)。具体的には、加工を行うのに最適なツールホルダ32が選択されるように、ツールマガジン4の軸部材41を回転させ、当該最適なツールホルダ32をATCアーム38の近傍に配置する。ATCアーム38をツールマガジン4にアクセスさせ、ATCアーム38の近傍に配置されたツールホルダ32を把持し、当該ツールホルダ32を主軸30のチャック30aまで移動させる。移動後、ツールホルダ32の取付部32aをチャック30a内に装着する。
次に、主軸30を回転させると共に、Y軸テーブル駆動部22、X軸テーブル駆動部35及びZ軸テーブル駆動部37を駆動させ、加工ワークWの加工を行う(ST502)。Y軸テーブル21、X軸テーブル34及びZ軸テーブル36をそれぞれ移動することにより切削ツール33が三次元的に移動し、加工ワークWが所望の形状に加工される。
主軸30の回転時には、加速度センサ72によってツールホルダ32の保持部材66に加えられる加速度が検出される。加速度センサ72による検出結果は回路基板73に入力され、CPU84において所定の処理が行われる。CPU84での処理として、例えば図6に示すように、A/D値(検出結果)が読み込まれ、閾値との間で大小の比較が行われる。A/D値が所定の値(回転検出判断値)よりも大きい場合には、タイマーをスタートさせてメモリにA/D値を時系列で記憶させ、記憶させた時系列データ内でのA/D値の最大値及び最小値を求める。回転検出判断値については、予め設定してメモリに記憶させておく。このA/D値の最大値と最小値との差をA/D値の振幅とし、当該A/D値振幅が予め設定された閾値(異常判定値)よりも大きければ主軸30の振れは正常であると判断する。A/D値振幅が閾値よりも小さければ主軸30の振れは異常であると判断する。正常・異常の判断前に、異常判定値を作成する。異常判定値の作成処理は、図7に示すように、A/D値の時系列データに基づいてFFT演算を行い、主軸30の回転数をスペクトル値最大の周波数とし、当該回転数に所定の値(定数)を乗じて異常判定値が作成される。異常判断結果はCPU84から出力される。出力された当該異常判断結果は、アンテナ75から制御部5へと送信される。A/D値が回転検出判断値よりも小さい場合には、A/D値の最大値及び最小値を0としてタイマーをもとに戻して処理を終了する。
主軸30の振れが認められる旨の異常判定値が制御部5で受信された場合(ST503のYES)、図示しない表示部(例えば警告ランプなど)に主軸30の振れが発生した旨の表示を行い(ST504)、加工機1の動作を停止する(ST505)。主軸30の振れが認められない旨の異常判定値が制御部5で受信された場合(ST503のNO)、つまり主軸30の振れが発生していない場合には、加工ワークWに行う加工が終了するまで切削加工を継続して行う(ST506のNO)。この場合、回路基板73のCPU84にて上記処理が繰り返し行われることになる。加工ワークWの切削加工が終了した場合(ST506のYES)、加工機1の動作を停止する(ST505)。
以上のように、本実施形態によれば、保持部材66の回転時の加速度を検出する加速度センサ72が当該保持部材66内に設けられているので、ツールホルダ32を主軸30に装着したまま加速度センサ72によって回転時の振れを検出することができる。主軸30の振れの検査のためだけに主軸30を移動しなくても済むため、より短時間で主軸30の振れを検査することができる。
また、保持部材66が加速度センサ72による検出結果を出力するアンテナ75を更に備えることとしたので、ツールホルダ32の外部に設けられる例えば制御部5において当該加速度センサ72による検出結果を利用することができる。また、保持部材66と切削ツール33とが一体化されているため、切削ツール33によって加工ワークWに加工を行うと同時に主軸30の振れも検出することができる。これにより、主軸30の振れを効率的に検出することができる。
また、加速度センサ72が主軸30の回転軸30sから外れた位置に設けられているので、主軸30の振れをより敏感に検出することができる。加えて、加速度センサ72が回転軸30sを中心とする径方向の加速度を検出することとしたので、主軸30の振れをより効率的に検出することができる。
更に、本実施形態によれば、主軸30の回転時の振れの有無を検出しながら当該加工ワークWを加工することとしたので、加工ワークWを加工しながら主軸30の振れの有無を検出することができる。また、主軸30の回転時の振れが検出されたときには主軸30の回転を停止させることとしたので、主軸30の振れによる加工ワークWの加工精度の悪化をいち早く防ぐことができ、不良品の加工ワークWが形成されるのを回避することができる。
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、保持部材66内部の回路構成を図8に示すような構成にしても構わない。同図に示すように、回路基板73には、上述したROM82、RAM83、CPU84、無線モジュール85及び充電回路86の他、正転増幅器101、ピーク検出回路102、反転増幅器103、ピーク検出回路104、差分回路105、コンパレータ106及びD/Aコンバータ107が設けられている。正転増幅器101及び反転増幅器103は加速度センサ72に接続されており、それぞれピーク検出回路102及びピーク検出回路104を介して差分回路105に接続されている。差分回路105ではピーク検出回路102の出力値からピーク検出回路104の出力値が差し引かれ、この差分がコンパレータ106に入力されるようになっている。コンパレータ106では、当該差分値とCPU84から出力されD/Aコンバータ107によって変換された閾値とが比較され、比較結果がCPU84に入力されるようになっている。CPU84では、コンパレータ106の出力値に基づいて、差分値の方が大きい場合には主軸30の振れに異常が認められる(主軸30に振れが発生した)と判断され、差分値の方が小さい場合には主軸30の振れが正常である(主軸30に振れが発生していない)と判断されるようになっている。
また、上記実施形態では、保持部材66に切削ツール33が取り付けられた構成であったが、当該保持部材66に取り付けられるツールは切削ツール33に限られることは無く他の加工ツールであっても勿論構わない。これにより、切削とは異なる他の加工を行う場合においても、加工を行いながら主軸30の振れの有無を検出することができ、効率的に加工処理を行うことができる。
また、上記実施形態においては、保持部材66と切削ツール33とが一体的に設けられる構成であったが、これに限られることは無く、例えば図9に示すように、保持部材66に切削ツール33が設けられていない構成であっても構わない。この場合、切削ツール33を備えているツールホルダ32には加速度センサを設けないようにすることができ、当該切削ツール33付きのツールホルダ32と図9に示すツール無しのツールホルダ32とを交換することで主軸30の振れを検出することができる。この場合、加工機1の動作の例としては、図10のフローチャートに示すように、切削ツール33つきのツールホルダ32によって通常の切削加工を行った後、ツールホルダ32を交換して主軸30の振れの検出を行う手法が挙げられる。具体的には、ATCアーム38を動作させて切削ツール33付きのツールホルダ32をツールマガジン4から主軸30のチャック30aに装着し(ST1001)、主軸30を回転させると共にY軸テーブル駆動部22、X軸テーブル駆動部35及びZ軸テーブル駆動部37を駆動させて加工ワークWの切削を行う(ST1002)。切削を行った後、主軸30の回転を停止させ(ST1003)、チャック30aに装着されているツールホルダ32をツールマガジン4に戻すと共に(ST1004)、図9に示されるツール無しのツールホルダ32を主軸30のチャック30aに装着する(ST1005)。ツール無しのツールホルダ32の装着後、主軸30を回転させると(ST1006)保持部材66内の加速度センサ72によって当該保持部材66に加えられる加速度が検出される。検出結果がCPU84によって処理され、異常判断結果が制御部5に送信される。主軸30に振れが発生している旨の異常判断結果を制御部5で受信した場合(ST1007のYES)、図示しない表示部に異常発生の表示を行い(ST1008)、加工機1の動作を停止する(ST1009)。主軸30に振れが発生していない旨の異常判断結果を制御部5で受信した場合(ST1007のNO)、主軸30の回転を停止させて(ST1010)新たな切削加工を行う準備に入る(ST1011のYES)。この場合、上記ST1001からの動作が繰り返し行われる。新たな切削加工を行わない場合(ST1011のNO)には、加工機1を停止する(ST1009)。このように、保持部材66に切削ツール33を設けないツールホルダ32と切削ツール33付きのツールホルダ32とを交換可能な構成とすることで、加工機1の動作の選択の幅が広がることになる。加えて、切削加工を行った後、切削加工とは異なる他の加工処理を行う場合であっても主軸30の振れを検出することができるので、加工機1の動作の幅が更に広がることになる。
また、上記実施形態においては、加速度センサ72が主軸30の回転軸30sに対して外れた位置に設けられる構成であったが、これに限られることは無く、例えば主軸30の回転軸30s上に配置されていても構わない。このような構成であっても、保持部材66に加えられる加速度を検出することができる。
また、上記実施形態においては、加速度センサ72が主軸の回転軸30sに対して径方向の加速度を検出可能になっている構成であったが、これに限られることは無く、例えば主軸の回転軸30s方向の加速度を検出可能とする構成であっても構わない。このような構成であっても、保持部材66に加えられる加速度を検出することができる。加速度センサ72を複数配置し、その一つが回転軸に対して径方向の加速度を検出すると共に他の一つが回転軸30s方向の加速度を検出する構成であっても構わない。複数方向の加速度を検出することにより、保持部材66に加えられる加速度をより正確に検出でき、その分主軸30の振れを精細に検出することができる。
また、上記実施形態においては、ツールホルダ32を1つの加工機1において使用する構成としたが、これに限られることは無く、例えば同じツールホルダ32を複数の加工機で使いまわすようにしても勿論構わない。特に、保持部材66にツールを取り付けないツールホルダ32を用いる場合、加工機の種類を問わず多くの加工機に装着することができるため、汎用性の広いツールホルダ32を得ることができる。
本発明の実施の形態に係る加工機の構成を示す図。 加工機の一部の構成を示す図。 ツールホルダの構成を示す断面図。 保持部材内の回路構成を示すブロック図。 加工機の動作の過程を示すフローチャート。 CPUの動作の過程を示すフローチャート。 異常判定値作成処理の過程を示すフローチャート。 本発明に係る加工機の他の構成を示す図。 本発明に係る加工機の他の構成を示す図。 本発明に係る加工機の他の動作の過程を示すフローチャート。
符号の説明
W…加工ワーク(プレート) 1…加工機 3…加工部 4…ツールマガジン 5…制御部 30…主軸 30a…チャック 30s…回転軸 31…軸受 31a…外面 31b…内面 32…ツールホルダ(検出装置) 32a…取付部 32b…切削部 33…切削ツール(切削部材) 66…保持部材(回転部材) 72…加速度センサ 73…回路基板(判断回路) 74…充電用コイル 75…アンテナ(出力部) 76…バランスウエイト

Claims (3)

  1. 軸受に回転可能に支持された主軸の回転時の振れを検出する検出装置であって、
    前記主軸に着脱可能に固定され、前記主軸の回転に連動して回転する回転部材と、
    前記回転部材に設けられ、前記回転部材の回転時の加速度を検出する加速度センサと
    を備える検出装置であって、
    前記回転部材は、前記加速度センサによる検出結果を出力する出力部と、回転軸方向の先端部に突出して設けられた切削部材を有し、
    前記加速度センサは、回転軸から外れた位置に設けられ、少なくとも前記回転軸を中心とする径方向の加速度を検出し、
    前記検出装置は、前記加速度センサによる検出結果に基づいて主軸の振れの有無を判断する判断回路をさらに備え、
    前記判断回路は、所定期間内における前記加速度センサによる検出結果の最大値と最小値との差と、
    前記主軸の回転数に応じた当該主軸の振れを示す異常判定値に基づいて、前記主軸の振れの異常を検出することを特徴とする検出装置。
  2. 前記回転部材には、当該回転部材の重心が前記回転軸上に位置するようにバランスウエイトが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の検出装置
  3. 前記判断回路の判断結果に基づいて少なくとも主軸の回転を停止させる制御部とを更に備えることを特徴とする請求項1又は請求項2のうちいずれか一項に記載の検出
    装置
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