JP5083191B2 - 紫外線処理装置 - Google Patents
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Description
この活性酸素滅菌装置は、チャンバ内に配設され、超音波振動式の加湿装置によりチャンバ内を加湿(露点を調整)し、送風ファンでチャンバ内雰囲気を均一に攪拌した状態で、紫外線を照射して、被処理物を殺菌処理している。
また、水タンクのタンク内空間に低露点のエアー(乾燥エアー)を通気させることで、タンク内空間内の気化した水分を、乾燥エアーに取り込ませることができる。すなわち、乾燥エアーを、水分を含んだ加湿エアーにする(高露点化)ことができる。また、乾燥エアーと加湿エアーとを混合することで、簡単に処理容器内の露点を調整できると共に、露点調整手段を単純な構造で安価に構成することができる。
また、制御手段により、乾燥エアーと加湿エアーの流量(混合割合)を調整することで、簡単に露点を調整することができる。なお、混合割合は、乾燥エアーおよび加湿エアーの混合割合と、露点と、の関係を示した制御テーブルに基づいて調整(制御)されることが、好ましい。
さらに、処理容器内の水分量が保持された条件下でワークを紫外線処理することができ、紫外線処理を安定化させることができる。
Claims (5)
- ワークを収容する処理容器と、
前記処理容器内の前記ワークに紫外線を照射して紫外線処理する紫外線照射手段と、
前記処理容器に接続したエアー供給流路およびエアー排気流路を介して、前記処理容器内の雰囲気を常時換気する換気手段と、
前記エアー供給流路に並列に介設した第1調整流路および第2調整流路と、前記第1調整流路および前記第2調整流路にそれぞれ介設され、1次流路から分岐して流入したエアーの流量をそれぞれ調整する2つの流量調整手段と、前記第2調整流路にタンク内空間を介設することで、前記タンク内空間の流入側および流出側が前記第2調整流路に連通する水タンクで構成され、低露点のエアーに対し水分を添加して高露点化する水分添加手段と、を有し、前記処理容器内の前記雰囲気の露点を調整する露点調整手段と、
前記処理容器の近傍に位置して、前記エアー供給流路を流れるエアーの水分量を検出する供給側水分量検出手段と、
前記エアー排気流路を流れるエアーの水分量を検出する排気側水分量検出手段と、
前記供給側水分量検出手段の検出結果に基づいて、前記2つの流量調整手段を個々に制御すると共に、前記供給側水分量検出手段の検出値と前記排気側水分量検出手段の検出値と、が略一致した状態で前記紫外線照射手段を駆動する制御手段と、を備えたことを特徴とする紫外線処理装置。 - 前記露点調整手段は、上流側を水供給源に接続され、下流側を前記水タンクに接続した補給水流路を、更に有していることを特徴とする請求項1に記載の紫外線処理装置。
- 前記エアー排気流路は、バイパス流路と、
前記バイパス流路に介設したバイパス流路開閉手段と、を有し、
前記排気側水分量検出手段は、前記バイパス流路に介設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の紫外線処理装置。 - 前記換気手段は、前記エアー供給流路の上流側に接続され、低露点のエアーを供給する圧縮エアー供給手段と、
前記エアー排気流路の下流側に接続され、エアーを吸引するエアー吸引手段と、を有していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の紫外線処理装置。 - 前記紫外線処理は、紫外線硬化性の撥水剤が塗布された穴開きプレートに紫外線を照射し前記撥水剤を硬化させて、前記穴開きプレートに撥水処理を施すことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の紫外線処理装置。
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