JP5079109B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
図10は、本発明の第一実施形態の走査型プローブ顕微鏡における走査信号を示している。図10において、Tfは描画周期を示し、これはフレームレートの逆数に等しい。またTyuは画像取得時間を示し、これは1画像(1フレーム)の画像を描く時間である。
図11は、本発明の第二実施形態の走査型プローブ顕微鏡における走査信号を示している。図11において、Tfは描画周期を示し、これはフレームレートの逆数に等しい。また、Tyuは画像取得時間を示している。
図14は、第三実施形態の走査型プローブ顕微鏡の構成を示している。この図14において、図1に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材である。言い換えれば、本実施形態の装置は、図1の装置と比較して、Z制御回路30と走査信号が相違している。以下、図1に関連して説明済みの部材の詳しい説明は省略し、相違部分に重点をおいて説明する。
図16は、第四実施形態の走査型プローブ顕微鏡の構成を示している。この図16において、図1に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材である。言い換えれば、本実施形態の装置は、図1の装置と比較して、Z制御回路40と走査信号が相違している。以下、図1に関連して説明済みの部材の詳しい説明は省略し、相違部分に重点をおいて説明する。
Claims (4)
- 尖った先端を持つ探針を試料に近接させた状態で、探針と試料を相対的にラスター走査しながら試料の表面との間に発生する物理量を検出することにより画像情報を得る走査型プローブ顕微鏡であって、
前記ラスター走査を制御する走査制御部と、
前記走査制御部から出力されるX走査信号に応じて前記試料と前記探針のどちらか一方を前記ラスター走査の走査線方向であるX方向に走査するX走査手段と、
前記走査制御部から出力されるY走査信号に応じて前記試料と前記探針のどちらか一方をY方向に走査するY走査手段と、
前記Y走査信号に同期して画像データを取得する画像データ取得部とを備え、
前記走査制御部は、画像取得時間Tyu[s]とフレームレートN[fps]がTyu<1/Nの関係となるようにY走査信号を間欠的に出力し、かつ、前記画像取得時間以外の時間において、前記X走査信号の走査波形の振幅のピーク値が、画像データの取得開始前は0から所定のピーク値に増加し、画像データの取得終了後は所定のピーク値から0に減少するように前記X走査信号を間欠的に出力することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記X走査信号の走査波形の振幅のピーク値が、画像データの取得開始前は0から所定のピーク値に直線的に増加し、画像データの取得終了後は所定のピーク値から0に直線的に減少する請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記X走査信号の走査波形の振幅のピーク値が、画像データの取得開始前は0から所定のピーク値にS字曲線状に増加し、画像データの取得終了後は所定のピーク値から0にS字曲線状に減少する請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記Y走査信号の値が、画像データの取得開始時から画像データの取得終了時にかけて連続して増加または減少し、画像データの取得終了時から画像データの取得開始時にかけて連続して減少または増加することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかひとつに記載の走査型プローブ顕微鏡。
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