JP5075400B2 - 水晶振動子の電気的導通路の形成方法 - Google Patents
水晶振動子の電気的導通路の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5075400B2 JP5075400B2 JP2006323462A JP2006323462A JP5075400B2 JP 5075400 B2 JP5075400 B2 JP 5075400B2 JP 2006323462 A JP2006323462 A JP 2006323462A JP 2006323462 A JP2006323462 A JP 2006323462A JP 5075400 B2 JP5075400 B2 JP 5075400B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- crystal resonator
- crystal
- sheet
- conduction path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
問題があった。
2 貫通孔
3 ベース用シート状ウェーハ
4 水晶振動素子
5 水晶ウェーハ
6 水晶振動子
7 電気的導通路
8 導電ペースト
Claims (2)
- 水晶から成る蓋体用シート状ウェーハと、同じく水晶から成り、貫通孔を有するベース用シート状ウェーハで、水晶振動素子が形成された水晶ウェーハを直接接合により挟み込み、一括的に多数の水晶振動子が形成される該水晶振動子の該ベース用シート状ウェーハと該水晶ウェーハとの電気的導通路の形成方法において、
ウェーハ状に形成された該水晶振動子の該ベース用シート状ウェーハの該貫通孔に、導電ペーストを微粒子状態で吹き付けて、微粒子状態の該導電ペーストを該貫通孔内部に密着、堆積させ、該水晶振動素子から該貫通孔内部を経て該ベース用シート状ウェーハの表面に至るまで詰め込み密着させる電気的導通路の形成方法。 - 該蓋体用シート状ウェーハ及び/または該ベース用シート状ウェーハがガラスから成る請求項1に記載の電気的導通路の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006323462A JP5075400B2 (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | 水晶振動子の電気的導通路の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006323462A JP5075400B2 (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | 水晶振動子の電気的導通路の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008141315A JP2008141315A (ja) | 2008-06-19 |
JP5075400B2 true JP5075400B2 (ja) | 2012-11-21 |
Family
ID=39602372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006323462A Active JP5075400B2 (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | 水晶振動子の電気的導通路の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5075400B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1041771A (ja) * | 1996-07-24 | 1998-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動子の製造方法とその製造装置 |
JP3390348B2 (ja) * | 1998-08-21 | 2003-03-24 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 水晶振動子およびその製造方法 |
JP2002124845A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-04-26 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 水晶振動子パッケージ及びその製造方法 |
JP4688379B2 (ja) * | 2001-09-26 | 2011-05-25 | 福田金属箔粉工業株式会社 | 回路基板及びその製造方法ならびに電子装置 |
JP4192554B2 (ja) * | 2002-10-25 | 2008-12-10 | 株式会社デンソー | 多層回路基板の製造方法 |
JP4270900B2 (ja) * | 2003-02-13 | 2009-06-03 | パナソニック株式会社 | ペースト充填方法および多層回路基板の製造方法 |
-
2006
- 2006-11-30 JP JP2006323462A patent/JP5075400B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008141315A (ja) | 2008-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104821798B (zh) | 电子封装及mems封装 | |
US8530986B2 (en) | Manufacturing method of electronic device package, electronic device package, and oscillator | |
KR100699586B1 (ko) | 수정발진기 | |
JP2004214787A (ja) | 圧電発振器およびその製造方法 | |
JP5216210B2 (ja) | 水晶振動片および水晶振動デバイス | |
TW201210098A (en) | Resonating device wafer level package structure with enhanced air-tightness | |
JP4038819B2 (ja) | 表面実装型圧電デバイスとその容器ならびに表面実装型圧電デバイスを利用した携帯電話装置および表面実装型圧電デバイスを利用した電子機器 | |
JP5075400B2 (ja) | 水晶振動子の電気的導通路の形成方法 | |
JP5712755B2 (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
US6876264B2 (en) | Surface-mount crystal oscillator | |
JP4878230B2 (ja) | 水晶振動子、及びその製造方法、 | |
JP4585908B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP2021133478A (ja) | Mems素子及び圧電共振デバイス | |
JP2010166626A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2008167302A (ja) | 水晶振動子の電気的導通路の形成方法 | |
JP2008113378A (ja) | 水晶振動子の電気的導通路の形成方法 | |
JP4942021B2 (ja) | 水晶振動子、及びその製造方法、 | |
JP6538401B2 (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP4673670B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP2005150786A (ja) | 複合圧電デバイスおよびその製造方法 | |
JP2007097040A (ja) | 圧電振動子及び圧電発振器 | |
JP2007158455A (ja) | 圧電発振器及びその製造方法 | |
JPH1075120A (ja) | 水晶発振器 | |
JP4689898B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP4117555B2 (ja) | 表面実装型圧電デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120709 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120731 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120827 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5075400 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150831 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |