JP2008141315A - 水晶振動子の電気的導通路の形成方法 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、ウェーハ状部材で直接接合を用いて一括的に多数の水晶振動子を形成する場合の、効率的な水晶振動素子と外部接続端子のあいだの電気的導通路の形成方法を提供すること。
【解決手段】
上記目的を達成する為に本発明は、導電ペーストを、ウェーハ状に形成された水晶振動子のベース用シート状ウェーハの貫通孔に微粒子の状態で吹き付け、導電ペーストを貫通孔内部に密着、堆積させ、水晶振動素子から先の貫通孔内部を経てベース用シート状ウェーハの表面に至るまで詰め込み密着させる電気的導通路の形成方法であり、また、水晶振動素子の蓋体用シート状ウェーハ、及び/またはベース用シート状ウェーハがガラスから成る電気的導通路の形成方法により課題を解決するものである。
【選択図】 図1
Description
問題があった。
2 貫通孔
3 ベース用シート状ウェーハ
4 水晶振動素子
5 水晶ウェーハ
6 水晶振動子
7 電気的導通路
8 導電ペースト
Claims (2)
- 水晶から成る蓋体用シート状ウェーハと、同じく水晶から成り、貫通孔を有するベース用シート状ウェーハで、水晶振動素子が形成された水晶ウェーハを直接接合により挟み込み、一括的に多数の水晶振動子が形成される該水晶振動子の該ベース用シート状ウェーハと該水晶ウェーハとの電気的導通路の形成方法において、
導電ペーストをウェーハ状に形成された該水晶振動子の該ベース用シート状ウェーハの該貫通孔に吹き付けて、該導電ペーストを該貫通孔内部に密着、堆積させ、該水晶振動素子から該貫通孔内部を経て該ベース用シート状ウェーハの表面に至るまで詰め込み密着させる電気的導通路の形成方法。
- 該蓋体用シート状ウェーハ及び/または該ベース用シート状ウェーハがガラスから成る請求項1に記載の電気的導通路の形成方法。
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