JP5074308B2 - リニア駆動装置を有する機能ユニットを備えた工作機械及びリニア駆動装置 - Google Patents

Description

本発明は、機能ユニットと該機能ユニット用のリニア駆動装置とを備えた工作機械であって、
機能ユニットが運動ユニットと運動結合されていて、該運動ユニットがリニア駆動装置を用いて１つの運動平面の２つの軸方向において可動であり、
リニア駆動装置が２つの駆動ユニットを有していて、両駆動ユニットがそれぞれ、一次部分と、該一次部分に対向して位置している二次部分とを有していて、該一次部分及び二次部分のそれぞれ一方が、運動ユニットの運動平面の前記両軸方向のうちの一方における運動ユニットの運動のために設けられている形式のものに関する。

本発明はさらに、工作機械の機能ユニットと運動的に結合可能な運動ユニットを駆動するリニア駆動装置であって、
リニア駆動装置が２つの駆動ユニットを有していて、両駆動ユニットがそれぞれ一次部分と、該一次部分に対向して位置する二次部分とを有しており、該一次部分及び二次部分がそれぞれ、運動ユニットの運動平面の各軸方向を規定している形式のものに関する。

このような形式の工作機械及びリニア駆動装置は、ＥＰ１２８７９４６Ａ１に基づいて公知である。この刊行物には、レーザ切断ヘッドの形をした機能ユニットを備えた工作機械が開示されている。この場合レーザ切断ヘッドは、２つのリニアモータを用いて鉛直方向のｙ−ｚ平面において可動である。第１のリニアモータはリニア軸受を駆動し、これらのリニア軸受にはレーザ切断ヘッドが取り付けられており、これらのリニア軸受は、ｚ方向における運動ユニットを形成している。第２のリニアモータは、リニア軸受とレーザ切断ヘッドとを備えたキャリッジのｙ方向における運動を生ぜしめる。そして両方のリニアモータはそれぞれ、励磁コイルを備えた一次部分と永久磁石を備えた二次部分とを有している。ｚ方向に配属された第１のリニアモータの一次部分は、一次部分ハウジングの一方の側に配置されている。ｙ方向に配属された第２のリニアモータの一次部分は、ｙ−ｚ平面に対して垂直な方向で対向して位置している、一次部分ハウジングの側に配置されている。ｚ方向のための二次部分は切断ヘッド側に取り付けられている。ｙ方向のための二次部分は、ｙ方向に延びる機械ブリッジに取り付けられている。ｙ方向におけるキャリッジもしくはレーザ切断ヘッドの運動時には、当該方向のために設けられたリニアモータは、ｚ方向のためのリニアモータ全体を連行する必要がある。両リニアモータ及びリニア軸受並びにレーザ切断ヘッドが互いに並んで配置されていることに基づいて、ｙ方向のためのリニアモータのガイド系に対しては、比較的大きなモーメント負荷が作用する。
ＥＰ１２８７９４６Ａ１

本発明の課題は、工作機械の機能ユニットのためのリニア駆動装置と、このようなリニア駆動装置を備えた工作機械とをコンパクトに構成できるようにすることである。

この課題を解決するために、第１の発明の構成では、冒頭に述べた形式の工作機械において、リニア駆動装置の両駆動ユニットの一次部分又は二次部分が、運動ユニットに取り付けられており、一方の駆動ユニットの一次部分又は二次部分が、運動ユニットの一方の側に配置されていて、該運動ユニットの一方の側と、他方の駆動ユニットの一次部分又は二次部分を備えた運動ユニットの他方の側とが、該運動ユニットの運動平面に対して垂直な方向で、互いに反対側に位置しているようにした。

前記課題を解決するために、第２の発明の構成では、冒頭に述べた形式のリニア駆動装置において、リニア駆動装置の一方の駆動ユニットの一次部分及び二次部分が、リニア駆動装置の他方の駆動ユニットの一次部分及び二次部分に対して鏡像的に配置されているようにした。

リニア駆動装置の両駆動ユニットの間において運動ユニットを本発明のように選択して配置することによって、運動ユニットのいずれの運動方向においても、それぞれ他方の運動方向のために設けられている駆動ユニットを、完全に連行する必要はなくなる。その結果、本発明による工作機械の運動ユニットもしくは所属の機能ユニットの運動時に加速されねばならない質量は、最小に減じられる。これによって、本発明によるリニア駆動装置は、比較的小型の駆動装置及びガイド装置を用いて構成することが可能になる。また、本発明によるリニア駆動装置を運転するためには、比較的小さな駆動出力で十分であり、つまり既に汎用の駆動出力で、本発明によるリニア駆動装置は極めて高い性能が得られる。さらに、本発明におけるように運動ユニットが真ん中に配置されていることによって、駆動ユニットのガイド系に作用するモーメント負荷を最小にすることができる。ある駆動ユニットのガイド系は、他のすべての駆動ユニットによってまったく負荷されない。また、駆動ユニットのガイド系のモーメント負荷が最小であることによって、本発明によるリニア駆動装置を小型の駆動ユニット及びガイドユニットによって実現することができる。さらにまた、運動ユニットひいては所属の機能ユニットによって実施される運動は、特別な精度をもって実行される。そしてさらに、機能に基づいて駆動ユニットの一次部分と二次部分との間において発生する横方向力は、運動ユニットが真ん中に配置されていることに基づいて、運動ユニットの反対側における駆動ユニットにおいて生ぜしめられる横方向力によって、少なくとも部分的に相殺されることになる。このような横方向力の相殺もしくは補償に基づいて、駆動ユニットのガイド系によって除去されねばならない負荷は、僅かになる。

本発明の別の有利な構成は、請求項２〜８の従属請求項に記載されている。

請求項２に記載された構成は、単純な構造の点で傑出している。二次部分としてはパッシブなエレメントが使用される。励磁電流の供給及び調整は、一次部分のためにしか必要ない。

請求項３に記載された本発明の有利な構成では、リニア駆動装置の両駆動ユニットの二次部分が運動ユニットに取り付けられている。従ってこの場合運動ユニットは駆動ユニットのパッシブな部分を備えている。その結果、運動ユニットの運動時には給電ラインを連行する必要がなくなる。また、駆動ユニットのパッシブな二次部分は、アクティブな一次部分に比べて小さな質量を有している。従って運動ユニットの運動時には、特に小さな質量だけを加速すればよい。

請求項４記載のように構成されていると、装置全体の構造形式を特にコンパクトにすることができる。理想的には、運動ユニットのために別体のガイド装置を使用することが不要になる。

このコンセプトを実施するための別の有利な構成は、請求項５及び請求項６に記載されている。

請求項７に記載された本発明の構成は、駆動ユニットの特に簡単な制御と特に単純な構造形式の点で傑出している。運動ユニットの両方の運動方向のために同じ駆動ユニットを使用することによって、例えば両運動方向に対して、同じ質量慣性を考慮すればよい。

本発明によるコンセプトは、工作機械が、レーザ加工ヘッドを機能ユニットとして使用するレーザ加工機である場合（請求項８）に、特に有利であり、かつ実地において特に重要である。

次に図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。

図１に示された工作機械１は、組み合わせられた打抜き兼レーザ切断機として構成されている。このような工作機械１は、打抜きヘッド２と、レーザ切断ヘッド３の形の別の機能ユニットとを備えている。この打抜きヘッド２及びレーザ切断ヘッド３は共に、Ｃ字形の機械フレーム５における上側のフレーム脚４の自由端部に配置されている。機械フレーム５の開口部６には、汎用の座標ガイド７が収容されている。この座標ガイド７は、加工される金属薄板８を該金属薄板の加工のために必要な形式で、打抜きヘッド２及びレーザ切断ヘッド３に対して移動させるために、働く。金属薄板８とレーザ切断ヘッド３との相対運動は、さらに、金属薄板８に対するレーザ切断ヘッド３の運動によって実現することができる。レーザ切断ヘッド３の運動の可能性は、図１において座業軸ｘ，ｙ，ｚによって示されている。

座業軸ｘ，ｙ，ｚの方向におけるレーザ切断ヘッド３の運動は、リニア駆動装置９を用いて生ぜしめられ、このリニア駆動装置９の構造及び作用形式については、図２〜図５を参照しながら詳しく述べる。

図２に示されているように、レーザ切断ヘッド３は、キャリッジ１０として形成された運動ユニットに設けられている。キャリッジ１０自体は、工作機械１の機械フレーム５の上側のフレーム脚４に、ｘ方向及びｙ方向において可動に支承されている。ｘ方向は、図２で見て図平面に対して垂直に延びている。

キャリッジ１０及び該キャリッジ１０に設けられたレーザ切断ヘッド３をｘ方向及びｙ方向における運動時に案内するためには、ガイド系１１が働く。このガイド系１１は、ｙガイド１２とｘガイド１３とをキャリッジ１０のプレート状部分に有している。

ｙガイド１２の部分は全部で４つのｙリニア軸受１４（図３）であり、これらの４つのｙリニア軸受１４は、ハウジング１５の形の機械フレーム固定の支持構造体とねじ結合されている。各２つのｙリニア軸受１４は、ｙ方向に延びるｙガイドレール１６を案内する。ｙ方向におけるキャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３の運動時に、ｙガイドレール１６はキャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３と一緒に、機械フレーム固定のｙリニア軸受１４に対して運動する。

ｙガイドレール１６には、ｘ方向に延びていてｙ方向においては互いに間隔をおいて位置する２つのｘガイドレール１７（図４）が結合されている。これら２つのｘガイドレール１７は全部で４つのｘリニア軸受１８を支承している。これらのｘリニア軸受１８はキャリッジ１０に固定されている。ｘ方向におけるキャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３の運動時に、キャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３はｘリニア軸受１８と一緒にｘガイドレール１７に沿って移動する。

従って、レーザ切断ヘッド３用のガイド系１１はクロスキャリッジ（Kreuzschlitten）の形式で構成されている。クロスキャリッジ状のガイド系１１を用いて、ｘ座標軸とｙ座標軸とによって形成された、キャリッジ１０の水平方向の運動平面、ひいてはレーザ切断ヘッド３の水平方向の運動平面が規定される。

この水平方向運動平面においてキャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３を駆動するためには、リニア駆動装置９の２つの駆動ユニット、つまりｘ駆動ユニット１９とｙ駆動ユニット２０とが働く。

図示の実施例では、ｘ駆動ユニット１９及びｙ駆動ユニット２０は汎用のリニアモータである。従ってｘ駆動ユニット１９は一次部分２１として励磁コイルを有し、二次部分２２としてｘ方向に互いに並んで位置する複数の永久磁石を有している（図５）。同様に、励磁コイルとして形成された一次部分２３及び二次部分２４は、ｙ駆動ユニット２０を形成している。ｙ駆動ユニット２０の二次部分２４は、ｙ方向において互いに連続して並んでいる複数の永久磁石を有している（図４）。ｙ方向における二次部分２２の永久磁石の長さは、ｙ方向におけるキャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３の移動距離の長さに合わせられている。相応にｘ方向における二次部分２４の永久磁石の寸法に対しては、当該方向におけるキャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３の移動距離が考慮されている。

キャリッジ１０と上側のフレーム脚４もしくは機械フレーム５とにおける一次部分２１，２３及び二次部分２２，２４の分配配置には、特別な意味がある。

キャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３の水平な運動平面に対して垂直な方向で互いに反対側に位置している、キャリッジ１０の側には、ｘ駆動ユニット１９及びｙ駆動ユニット２０の同様な部分が取り付けられている。図示の実施例では、これらの部分は、ｘ駆動ユニット１９の二次部分２２と、キャリッジ１０の反対側に配置されたｙ駆動ユニット２０の二次部分２４である。この二次部分２２及び二次部分２４はキャリッジ２０もしくはレーザ切断ヘッド３と一緒に移動する。二次部分２２，２４はパッシブなユニットなので、キャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３の運動時に有利には、駆動ユニット１９，２０の運動のために必要な給電導体を連行する必要がない。また二次部分２２，２４の質量も比較的小さい。

ｘ駆動ユニット１９の、二次部分２２に配属もしくは対応配置された一次部分２１は、機械フレーム５の上側のフレーム脚４に、つまり機械フレーム固定のハウジング１５に取り付けられている。従ってｘ駆動ユニット１９の一次部分２１は、キャリッジ１０及びレーザ切断ヘッド３の運動時にも位置固定である。所属の給電導体への一次部分２１の接続部、特に電気的なエネルギ供給部への励磁コイルの接続部は、その結果極めて単純に構成されている。同様なことはｙ駆動ユニット２０についても言える。キャリッジ１０に取り付けられたパッシブな二次部分２４には一次部分２３が向かい合って位置しており、この一次部分２３はそれ自体、機械フレーム固定のハウジング１５に取り付けられていて、その結果キャリッジ１０の運動時にも同様にその取付け状態位置を維持する。

ｘ駆動ユニット１９及びｙ駆動ユニット２０の運転時に機能に基づいて一次部分２１と二次部分２２との間及び一次部分２３と二次部分２４との間において生じる横方向力は、互いに相殺し合う。一次部分２１及び一次部分２３によって導入される励磁電流を相応に調整すると、ｘ駆動ユニット１９及びｙ駆動ユニット２０において生じる横方向力の合力の値を０にすることができる。この場合ガイド系１１によって、発生する横方向力に基づく負荷が除去される必要はない。

励磁電流が一次部分２１及び一次部分２３によって調整されて、図２で見て鉛直方向で上方に方向付けられた横方向力が生ぜしめられ、該横方向力の値がキャリッジ１０とレーザ切断ヘッド３とから成るユニットの重量に相当するように、調整されると、機械フレーム５の上側のフレーム脚４におけるこの重量を除去することができ、しかもこの場合そのためにガイド系１１を利用する必要がなくなる。

このようにして、僅かな負荷受容能しか備えていないガイド系１１で十分である。ガイド系１１は相応に小型に構成することができ、また全体的に相応にコンパクトな構成が得られる。

ｚ方向におけるレーザ切断ヘッド３の運動のためにはｚ駆動ユニット２５が働き、このｚ駆動ユニット２５は、キャリッジ１０に固定に取り付けられた一次部分２６と、レーザ切断ヘッド３に結合された二次部分２７とを備えている。このｚ駆動ユニット２５もまた、汎用の構造形式のリニアモータである。

図６及び図７には、図２〜図５に示された配置形式の代わりに工作機械１に設けることができる配置形式が示されている。両方の配置形式はその作用形式において互いに同じである。

図６及び図７から分かるように、機能ユニットとして、著しく単純化して示されたレーザ切断ヘッド３０が、運動ユニットとして働くキャリッジ４０に取り付けられている。このキャリッジ４０はレーザ切断ヘッド３０と一緒にｘ方向及びｙ方向に運動することができる。この場合レーザ切断ヘッド３０及びキャリッジ４０は、リニア駆動装置３９によって駆動される。レーザ切断ヘッド３０及びキャリッジ４０の運動を案内するために、ガイド系４１が設けられている。

ガイド系４１は、ｙガイド４４とｘガイド４３とによって形成される。ｙガイド４２はｙリニア軸受４４とｙガイドレール４６とを有しており、このｙリニア軸受４４及びｙガイドレール４６はレーザ切断ヘッド３０の両側においてｙ方向に延びている。ｙガイドレール４６はプレート状のキャリッジ４０の上側面に取り付けられている。ｙリニア軸受４４は、クロスキャリッジの形式で形成されたガイド系４１の中間プレート５８の下側面に位置している。中間プレート５８はその上側面にｘガイドレール４７を備えており、これらのｘガイドレール４７はｘ方向に延びていて、ｙ方向において互いに間隔をおいて位置している。ｘガイドレール４７はｘリニア軸受４８によって案内される（図６）。ｘリニア軸受４８は取付け状態位置において、位置不変に機械フレーム５の上側のフレーム脚４と結合されている。このようにしてガイド系４１は、ｘ座標軸とｙ座標軸とによって形成された、キャリッジ４０及びレーザ切断ヘッド３０の水平な運動平面を規定する。

リニア駆動装置３９は、ｘ駆動ユニット４９とｙ駆動ユニット５０とを有している。ｘ駆動ユニット４９及びｙ駆動ユニット５０は２部分から形成されている。ｘ駆動ユニット４９の駆動部分ユニット４９／１及び駆動部分ユニット４９／２並びにｙ駆動ユニット５０の駆動部分ユニット５０／１及び駆動部分ユニット５０／２はそれぞれ、レーザ切断ヘッド３０の両側に配置されている。

ｘ駆動ユニット４９の一次部分５１及び二次部分５２並びにｙ駆動ユニット５０の一次部分５３及び二次部分５４は、２つに分けられている。従ってｘ駆動ユニット４９の一次部分エレメント５１／１，５１／２及び二次部分エレメント５２／１，５２／２とｙ駆動ユニット５０の一次部分エレメント５３／１，５３／２及び二次部分エレメント５４／１，５４／２とが設けられている。一次部分エレメント５１／１，５１／２；５３／１，５３／２は励磁コイルであり、二次部分エレメント５２／１，５２／２；５４／１，５４／２は互いに並んで配置された永久磁石である。図２〜図５に示された配置形式に相応して、図６及び図７に示された配置形式の場合も、二次部分５２，５４はキャリッジ４０の互いに反対の側に設けられており、一次部分５１，５３はフレーム固定に工作機械１の上側のフレーム脚４と結合されている。特にそのために、機械フレーム固定のハウジング４５が働く。ｘ駆動ユニット４９とｙ駆動ユニット５０ｇとがキャリッジ４０に関して鏡面対称的に配置されていることによって、リニア駆動装置３９においても駆動に基づいて生じる横方向力は互いに相殺し合うことができる。

図２〜図５に示された実施例とは異なり、図６及び図７に示された装置構造形式では、装置全体の重心はガイド系４１の中心に位置している。これによって生じる負荷状態に基づいて、ｙガイド４２及びｘガイド４３は特に小さく構成することができる。同時に、レーザ切断ヘッド３０の運動は極めて高い精度で制御することができる。

図６及び図７には図面を見易くするために、ｚ方向においてレーザ切断ヘッド３０を調節するための装置は図示されていない。

打抜きヘッドとレーザ切断ヘッドとを備えた組み合わせられた打抜き兼レーザ切断機を示す図である。 図１に示された打抜き兼レーザ切断機において使用される、レーザ切断ヘッドの第１の構造形式を所属のリニア駆動装置と共に示す断面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。 図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。 図２のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。 図１に示された打抜き兼レーザ切断機において使用される、レーザ切断ヘッドの第２の構造形式を所属のリニア駆動装置と共に示す斜視図である。 図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。

符号の説明

１ 工作機械、 ２ 打抜きヘッド、 ３ レーザ切断ヘッド、 ４ フレーム脚、 ５ 機械フレーム、 ６ 開口部、 ７ 座標ガイド、 ８ 金属薄板、 ９ リニア駆動装置、 １０ キャリッジ、 １１ ガイド系、 １２ ｙガイド、 １３ ｘガイド、 １４ ｙリニア軸受、 １５ ハウジング、 １６ ｙガイドレール、 １７ ｘガイドレール、 １８ ｘリニア軸受、 １９ ｘ駆動ユニット、 ２０ ｙ駆動ユニット、 ２１ 一次部分、 ２２ 二次部分、 ２３ 一次部分、 ２４ 二次部分、 ２５ ｚ駆動ユニット、 ２６ 一次部分、 ２７ 二次部分、 ３０ レーザ切断ヘッド、 ３９ リニア駆動装置、 ４０ キャリッジ、 ４１ ガイド系、 ４２ ｙガイド、 ４３ ｘガイド、 ４４ ｙリニア軸受、 ４６ ｙガイドレール、 ４７ ｘガイドレール、 ４８ ｘリニア軸受、 ４９ ｘ駆動ユニット、 ４９／１，４９／２ 駆動部分ユニット、 ５０ ｙ駆動ユニット、 ５０／１，５０／２ 駆動部分ユニット、 ５１ 一次部分、 ５１／１，５１／２ 一次部分エレメント、 ５２ 二次部分、 ５２／１，５２／２ 二次部分エレメント、 ５３ 一次部分、 ５３／１，５３／２ 一次部分エレメント、 ５４ 二次部分、 ５４／１，５４／２ 二次部分エレメント、 ５８ 中間プレート、

Claims (7)

1. 機能ユニット（３，３０）と該機能ユニット（３，３０）用のリニア駆動装置（９，３９）とを備えた工作機械であって、
   工作機械の機械フレーム（５）が、該機械フレーム固定の支持構造体（１５）を有しており、
   機能ユニット（３，３０）が運動ユニット（１０，４０）と運動結合されていて、該運動ユニット（１０，４０）がリニア駆動装置（９，３９）を用いて１つの運動平面の２つの軸方向（ｘ，ｙ）において可動であり、
   リニア駆動装置（９，３９）が２つの駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）を有していて、両駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）がそれぞれ、一次部分（２１，５１；２３，５３）と、該一次部分（２１，５１；２３，５３）に対向して位置している二次部分（２２，５２；２４，５４）とを有していて、該一次部分及び二次部分のそれぞれ一方が、運動ユニット（１０，４０）の運動平面の前記両軸方向（ｘ，ｙ）のうちの一方における運動ユニット（１０，４０）の運動のために設けられている形式のものにおいて、
   リニア駆動装置（９，３９）の両駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の二次部分（２２，５２；２４，５４）が、運動ユニット（１０，４０）に取り付けられており、一次部分（２１，５１；２３，５３）が、それぞれ配属された二次部分（２２，５２；２４，５４）に向かい合って位置していて、機械フレーム固定の支持構造体（１５）に取り付けられており、
   一方の駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の二次部分（２２，５２；２４，５４）が、運動ユニット（１０，４０）の一方の側に配置されていて、該運動ユニット（１０，４０）の一方の側と、他方の駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の二次部分（２２，５２；２４，５４）を備えた運動ユニット（１０，４０）の他方の側とが、該運動ユニット（１０，４０）の運動平面に対して垂直な方向で、互いに反対側に位置しており、 各二次部分（２２，５２；２４，５４）に所属の軸方向（ｘ，ｙ）に対して垂直な方向おける、該二次部分（２２，５２；２４，５４）の長さが、該軸方向（ｘ，ｙ）に対して垂直な方向における、運動ユニット（１０，４０）の移動距離の長さに合わせられており、
   駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の一次部分（２１，５１；２３，５３）が少なくとも１つの励磁コイルを有していて、駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の二次部分（２２，５２；２４，５４）が少なくとも１つの永久磁石を有していることを特徴とする、リニア駆動装置を有する機能ユニットを備えた工作機械。
2. 運動ユニット（１０，４０）がその運動時に案内されており、リニア駆動装置（９，３９）が、運動ユニット（１０，４０）を案内するために、該運動ユニット（１０，４０）の運動平面に対して横方向に作用する駆動に基づく力、つまり横方向力を受け止める必要がないように、構成されている、請求項１記載の工作機械。
3. 駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の一次部分（２１，５１；２３，５３）の励磁電流が、運動ユニット（１０，４０）を案内するために横方向力を受け止める必要がないように、調整されている、請求項１又は２記載の工作機械。
4. 駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の構造形式が、運動ユニット（１０，４０）を案内するために横方向力を受け止める必要がないように、選択されている、請求項１から３までのいずれか１項記載の工作機械。
5. 駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）が、同じ大きさを有していて、該駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の一次部分（２１，５１；２３，５３）の励磁電流が同じ大きさである、請求項１から４までのいずれか１項記載の工作機械。
6. 工作機械が、機能ユニット（３，３０）としてレーザ加工ヘッドを備えたレーザ加工機械として構成されている、請求項１から５までのいずれか１項記載の工作機械。
7. 請求項１記載の工作機械（１）の機能ユニット（３，３０）と運動的に結合可能な運動ユニット（１０，４０）を駆動するリニア駆動装置であって、
   リニア駆動装置（９，３９）が２つの駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）を有していて、両駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）がそれぞれ一次部分（２１，５１；２３，５３）と、該一次部分（２１，５１；２３，５３）に対向して位置する二次部分（２２，５２；２４，５４）とを有しており、該一次部分（２１，５１；２３，５３）及び二次部分（２２，５２；２４，５４）がそれぞれ、運動ユニット（１０，４０）の運動平面の各軸方向（ｘ，ｙ）を規定している形式のものにおいて、
   リニア駆動装置（９，３９）の一方の駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の一次部分（２１，５１；２３，５３）及び二次部分（２２，５２；２４，５４）が、リニア駆動装置（９，３９）の他方の駆動ユニット（１９，４９；２０，５０）の一次部分（２１，５１；２３，５３）及び二次部分（２２，５２；２４，５４）に対して鏡像的に配置されていることを特徴とするリニア駆動装置。

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