JP5074105B2 - エネルギ分散型x線検出装置 - Google Patents
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Description
ところが、従来の絞り板では、その開口内面にX線が当たるため、開口内面から蛍光X線が発生していた。そして、絞り板の間近に放射線検出素子があるため、開口内面で発生した蛍光X線が放射線検出素子に入射してノイズとなる問題点があった。また、同様に、従来のキャップでは、その開口内面にX線が当たるため、開口内面から蛍光X線が発生していた。そして、キャップは絞り板よりも放射線検出素子から遠いために絞り板の開口内面で発生した蛍光X線に比べれば影響は小さいが、やはりキャップの開口内面で発生した蛍光X線も放射線検出素子に入射し、ノイズとなる問題点があった。
そこで、本発明の目的は、絞り板やキャップの開口内面で発生した蛍光X線の悪影響を抑制することが出来るエネルギ分散型X線検出装置を提供することにある。
上記第1の観点によるエネルギ分散型X線検出装置(100)では、絞り板(42)の開口内面(43a)が放射線検出素子(50)側へ拡径した漏斗状であるため、キャップ(22)の開口(23)から入ってきたX線は絞り板(42)の開口内面(43a)に当たらない。よって、絞り板(42)の開口内面(43a)で蛍光X線が発生して放射線検出素子(50)に入射することを防止できる。
上記第2の観点によるエネルギ分散型X線検出装置(100)では、キャップ(22)の開口内面(23a)が外部側へ拡径した漏斗状であるため、キャップ(22)の開口内面(23a)で発生した蛍光X線の方向が放射線検出素子(50)に入射しないか入射しにくい方向となる。よって、キャップ(22)の開口内面(23a)で発生した蛍光X線の悪影響を抑制することが出来る。
上記第3の観点によるエネルギ分散型X線検出装置(100)では、絞り板(42)が銅製であるため、高エネルギーX線が絞り板(42)を透過して放射線検出素子(50)に入射するのを阻止することが出来る。
このエネルギ分散型X線検出装置100は、極低温冷媒を貯留するデュワ60からセンサ筒10を突出させ、センサ筒先端部10aに半導体X線検出素子50を設置した構成である。
外パイプ21は、センサ筒10の外壁であり、その先端の開口はベリリウム窓30で封止され、内部は真空空間31になっている。真空空間31には、冷熱を伝達するためのコールドフィンガー11が設置されている。コールドフィンガー11内には、基板40が設置されている。基板40には、接続金具41が取り付けられている。
実線は、銅製の絞り板42で、θ=15度、φ=15度の実測例である。
破線は、銅製の絞り板で、θ=0度、φ=0度の実測例である。
一点鎖線は、アルミニウム製の絞り板で、θ=0度、φ=0度の実測例である。
(1)絞り板42の開口内面43aで蛍光X線が発生して半導体X線検出素子50に入射することを防止できる。
(2)キャップ22の開口内面23aが外部側へ拡径した漏斗状であるため、キャップ22の開口内面23aで発生した蛍光X線の方向が半導体X線検出素子50に入射しないか入射しにくい方向となり、キャップ22の開口内面23aで発生した蛍光X線の悪影響を抑制することが出来る。
(3)絞り板42が銅製であるため、高エネルギーX線が絞り板42を透過して半導体X線検出素子50に入射するのを阻止することが出来る。
10a センサ筒先端部
22 キャップ
23 開口
42 絞り板
43 開口
50 半導体X線検出素子
60 デュワ
100 エネルギ分散型X線検出装置
Claims (3)
- 真空空間(31)内に配置された放射線検出素子(50)及び絞り板(42)と、
真空空間(31)外に配置されたキャップ(22)とを具備し、
前記絞り板(42)は、X線を前記放射線検出素子(50)へと入射させる開口(43)を有するとともに、
前記キャップ(22)は、X線を前記絞り板(42)へと入射させる開口(23)を有しており、
前記絞り板(42)の開口内面(43a)が前記放射線検出素子(50)側へ拡径した漏斗状であって、
前記キャップ(22)の開口(23)の内側エッジ(23a)と絞り板(42)の開口(43)の外側エッジ(43b)を対角的に結ぶライン(Li)と中心軸との角度をψiとし、絞り板(42)の開口内面(43a)の中心軸に対するテーパ角をθとするとき、
θ≧ψiであることを特徴とするエネルギ分散型X線検出装置(100)。 - 請求項1に記載のエネルギ分散型X線検出器(100)において、
前記キャップ(22)の開口内面(23a)が外部側へ拡径した漏斗状であって、
前記キャップ(22)の開口内面(23a)の中心軸に対するテーパ角をφとするとき、
ψi≦φであることを特徴とするエネルギ分散型X線検出装置(100)。 - 請求項1または請求項2に記載のエネルギ分散型X線検出器(100)において、前記絞り板(42)が銅製であることを特徴とするエネルギ分散型X線検出装置(100)。
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JP2007152860A JP5074105B2 (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | エネルギ分散型x線検出装置 |
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- 2007-06-08 JP JP2007152860A patent/JP5074105B2/ja active Active
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