JP5072082B2 - ドライエッチング方法 - Google Patents
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Description
21 真空槽
23 高周波コイル
24 磁気コイル群
25 磁気中性線
26 ステージ
35 冷却用ガス導入系
36 メカニカルクランプ
37 マスフローコントローラ
38 圧力モニター
41 シリコン基板
42 絶縁膜
43 レジストパターン
W 基板
Claims (5)
- 真空槽内にプラズマを形成し、中央部が表面側に凸に反った形状を有する基板にバイアス電圧を印加しながらエッチングを行い、エッチング開始から終了にかけて前記バイアス電圧を段階的に大きくするドライエッチング方法であって、
前記基板の反り量の変化を測定するステップと、
測定された前記基板の反り量の変化に基づいて前記バイアス電圧を調整するステップとを有し、
前記基板の反り量が小さくなるに従って、前記バイアス電圧を上昇させる
ドライエッチング方法。 - 前記基板の反り量の変化を、前記基板の裏面と前記基板を支持するステージの上面との間に導入される冷却用ガスの導入量の変化に基づいて測定する
請求項1に記載のドライエッチング方法。 - 前記バイアス電圧の調整を多段階で行う
請求項1に記載のドライエッチング方法。 - 前記基板の表面にはエッチング対象膜が形成されており、前記エッチング対象膜は、マスクパターンが表面に形成された絶縁膜である
請求項1に記載のドライエッチング方法。 - 前記マスクパターンは50%以上の開口率を有する
請求項4に記載のドライエッチング方法。
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JP2007232247A JP5072082B2 (ja) | 2007-09-07 | 2007-09-07 | ドライエッチング方法 |
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JP2007232247A Active JP5072082B2 (ja) | 2007-09-07 | 2007-09-07 | ドライエッチング方法 |
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