JP2011054910A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板表面を均一に処理することのできるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】チャンバ12内に設けられた基板21が設置される下部電極22と、前記下部電極22の上部に形成される下部プレート30と、前記下部プレート30に前記基板21を固定するためのチャッキング部23と、前記下部プレート30を貫通しガスを供給するためのガス供給手段27と、を有し、前記下部プレート30には、前記基板21の直径よりも短い直径の凹部が形成されており、前記凹部の底部に凸状の曲面部25が形成され、前記曲面部25の頂点は、前記下部プレート30の周囲の面と同じ高さまたは、前記下部プレート30の周囲の面よりも低く形成され、前記基板21は前記下部プレート30の周囲の面と前記チャッキング部23により挟み込まれて固定し、前記基板21と前記下部プレート30の凹部との間に前記ガス供給手段27によりガスを供給する。
【選択図】図2
【解決手段】チャンバ12内に設けられた基板21が設置される下部電極22と、前記下部電極22の上部に形成される下部プレート30と、前記下部プレート30に前記基板21を固定するためのチャッキング部23と、前記下部プレート30を貫通しガスを供給するためのガス供給手段27と、を有し、前記下部プレート30には、前記基板21の直径よりも短い直径の凹部が形成されており、前記凹部の底部に凸状の曲面部25が形成され、前記曲面部25の頂点は、前記下部プレート30の周囲の面と同じ高さまたは、前記下部プレート30の周囲の面よりも低く形成され、前記基板21は前記下部プレート30の周囲の面と前記チャッキング部23により挟み込まれて固定し、前記基板21と前記下部プレート30の凹部との間に前記ガス供給手段27によりガスを供給する。
【選択図】図2
Description
本発明は、プラズマ処理装置に関する。
半導体を製造する際には、各種の半導体製造装置が用いられ、半導体製造装置としては、基板(ウエハ)表面に成膜又はエッチングを行うためのプラズマ処理装置がある。このようなプラズマ処理装置としては、比較的均一性が高く、大きな基板(ウエハ)にも対応可能な構造のもの、例えば、平行平板型の構造のものが多く用いられている。
平行平板型の構造のプラズマ処理装置は、排気可能な真空チャンバ内に、上部電極及び下部電極からなる平行平板型のプラズマ発生用電極を設けた構成のものであり、一方の電極に電界又は高周波を印加し、他方の電極を接地することにより、上部電極と下部電極の間にプラズマを発生させ、成膜又はエッチング等のプラズマ処理を行う装置である。
例えば、プラズマ処理装置としては、基板表面のエッチングを行うための反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)装置がある。反応性イオンエッチング装置では、チャンバ内にエッチングを行うためのガスを導入して、上部電極及び下部電極の一方に高周波を印加し、他方を接地する。これによりプラズマを発生させ、導入されたエッチングガスを解離し、この解離したイオンにより、基板表面におけるエッチングを行うものである。
プラズマを用いたエッチング装置では、一般的に、基板はプラズマに曝されるため高温になりやすく、冷却する必要がある。特に、高密度プラズマを用いる場合には、基板を効率的に冷却する必要があることから、例えば基板を下部電極に固定した状態で、下部電極と基板との間にヘリウム(He)ガス等の不活性ガスを導入し、充填することにより、下部電極を冷却する方法がとられている。この方法では、ヘリウムガスを介して、下部電極と基板との間の熱交換効率を高めることができ、基板を効率的に冷却することができる。
また、下部電極等に基板を固定する方法としては、基板の特性に依存することなく固定することのできる方法として、基板外周部分をリング形状のプレート等で押える外周部チャッキング方式がある。
図1に、従来からの外周部チャッキング方式により基板を固定するプラズマ処理装置における下部電極部分の構成を示す。下部電極113は下部電極板102と下部プレート108とにより構成されており、下部電極113には、搬送時に基板101を持ち上げるリフトピン104とHeガスを導入するための導入口105が設けられている。また、下部電極113に設けられた溝106に冷却用の冷媒を循環させることにより下部電極113の温度を一定に保っている。基板101は、下部電極板102と一体化された導電体からなる下部プレート108上に設置され、その外周部をリング状のチャッキングプレート103で押えて固定保持している。
また、基板101の処理プロセス中においては、導入口105からHeガスが導入され、導入されたHeガスにより、下部電極113の下部プレート108と基板101との間に隙間107が形成される。基板101の冷却は、隙間107におけるHeガスを介して行われる。即ち、冷却されている下部プレート108と基板101との熱交換が隙間107に存在するHeガスを介して行われる。このため基板101の冷却効率は、隙間107に導入されたHeガスの圧力に依存し、基板101の冷却効率を高めるためには、隙間107におけるHeガスの圧力を高く設定することが望ましい。
しかしながら、外周部チャッキング方式により基板101の外周部分のみを固定保持する場合、隙間107内にHeガスが導入されているため、Heガスにより基板101の裏面より圧力が加わり、平坦な基板101が変形し湾曲する。この際、隙間107内におけるHeガスの圧力が高い程、基板101の変形量は大きくなり、また、基板101の厚さが薄い程、変形量は大きくなる。基板101が変形したままの状態で、エッチング処理等の基板の処理プロセスを行った場合、基板101の中央部分と外周部分でエッチングレートのばらつきが生じ、基板101の表面において均一にエッチングをすることができない。
従って、外周部チャッキング方式のエッチング装置等のプラズマ処理装置においては、エッチングレートを均一にするための装置等が検討されている(例えば、特許文献1、2)。
ところで、略円形の基板の外周部分が押えられた状態では、基板の裏面側よりガスにより加圧されるため、基板の中央部分が盛り上がるように湾曲し変形する。これにより、基板の裏面と下部プレートの表面との間隔、即ち、隙間の間隔は、基板の中央領域で広くなり、基板の周辺領域では狭くなる。冷却効率及び印加される高周波の電場の影響等は、隙間の間隔に依存するため、この隙間の間隔に依存して、エッチングレート等が変化する。一方、均一性を高めるため下部プレートの形状を単に湾曲させただけでは、基板を搬送して固定させる際に、下部プレートと基板とが接し、基板を傷つけてしまう場合や、破損させてしまう場合があり、歩留まりも低下し好ましくない。
従って、基板を傷つけることなく、基板内におけるエッチングレートの均一性をより高めることのできる冷却機構を有する外周部チャッキング方式のプラズマ処理装置が望まれている。
本発明のプラズマ処理装置は、電界、磁界または、電界と磁界を印加することによりチャンバ内にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、前記チャンバ内に設けられた基板が設置される下部電極と、前記下部電極の上部に形成される下部プレートと、前記下部プレートに前記基板を固定するためのチャッキング部と、前記下部プレートを貫通しガスを供給するためのガス供給手段と、を有し、前記下部プレートには、前記基板の直径よりも短い直径の凹部が形成されており、前記凹部の底部は、凸状の曲面部が形成されているものであって、前記曲面部の頂点は、前記下部プレートの周囲の面と同じ高さまたは、前記下部プレートの周囲の面よりも低く形成されており、前記基板は前記下部プレートの周囲の面と前記チャッキング部により挟み込まれて固定されるものであって、前記基板と前記下部プレートの凹部との間に前記ガス供給手段によりガスを供給した状態で、前記プラズマ発生手段により電界、磁界または、電界と磁界を印加することにより、プラズマを発生させる。
また、本発明のプラズマ処理装置は、上部電極及び下部電極からなる平行平板型プラズマ発生用電極と、前記下部電極の上部に形成される下部プレートと、前記下部プレートに基板を固定するためのチャッキング部と、前記下部プレートを貫通しガスを供給するためのガス供給手段と、を有し、前記下部プレートには、前記基板の直径よりも短い直径の凹部が形成されており、前記凹部の底部は、凸状の曲面部が形成されているものであって、前記曲面部の頂点は、前記下部プレートの周囲の面と同じ高さまたは、前記下部プレートの周囲の面よりも低く形成されており、前記基板は前記下部プレートの周囲の面と前記チャッキング部により挟み込まれて固定されるものであって、前記基板と前記下部プレートの凹部との間に前記ガス供給手段によりガスを供給した状態で、前記上部電極と前記下部電極との間に電界を印加することにより、プラズマを発生させる。
また、本発明のプラズマ処理装置は、前記曲面部は、略球面である。
また、本発明のプラズマ処理装置は、前記曲面部は、曲率半径が、1900mm以上、670000mm以下である。
また、本発明のプラズマ処理装置は、前記基板は、石英又はソーダガラスにより形成されており、直径が150mm以上、300mm以下である。
また、本発明のプラズマ処理装置は、前記プラズマ処理装置は、イオンエッチング、スパッタリング、プラズマCVDのいずれかのプラズマプロセスを行うものである。
本発明によれば、基板を傷つけることなく、基板内におけるエッチングレートを均一にすることができる冷却機構を有する外周部チャッキング方式のプラズマ処理装置を提供することができる。
本発明を実施するための形態について、以下に説明する。
〔第1の実施の形態〕
第1の実施の形態におけるプラズマ処理装置について説明する。
第1の実施の形態におけるプラズマ処理装置について説明する。
(プラズマ処理装置)
図2は、本実施の形態におけるプラズマ処理装置の一例であるICP(Inductively Coupled Plasma;誘導結合プラズマ)プラズマエッチング装置の断面図である。本実施の形態におけるプラズマ処理装置は、コイル11と、真空チャンバ12内に収容された基板21が載置される下部電極13と、コイル11とマッチング調整回路14を介し接続された高周波電源15と、下部電極13とマッチング調整回路16を介し接続された高周波電源17とを有している。本実施の形態におけるプラズマ処理装置では、真空チャンバ12内に所定のガスを導入し、高周波電源15によって真空チャンバ12の外に設けられたコイル11に高周波を印加することにより、真空チャンバ12内に高密度のプラズマを発生させ、高周波電源17によって下部電極13に高周波を印加することにより発生させたプラズマを引きつけ、下部電極13に載置されている基板21の表面をプラズマによりエッチングするものである。尚、真空チャンバ12のコイル11が設けられている面は、石英12a等により形成されている。
図2は、本実施の形態におけるプラズマ処理装置の一例であるICP(Inductively Coupled Plasma;誘導結合プラズマ)プラズマエッチング装置の断面図である。本実施の形態におけるプラズマ処理装置は、コイル11と、真空チャンバ12内に収容された基板21が載置される下部電極13と、コイル11とマッチング調整回路14を介し接続された高周波電源15と、下部電極13とマッチング調整回路16を介し接続された高周波電源17とを有している。本実施の形態におけるプラズマ処理装置では、真空チャンバ12内に所定のガスを導入し、高周波電源15によって真空チャンバ12の外に設けられたコイル11に高周波を印加することにより、真空チャンバ12内に高密度のプラズマを発生させ、高周波電源17によって下部電極13に高周波を印加することにより発生させたプラズマを引きつけ、下部電極13に載置されている基板21の表面をプラズマによりエッチングするものである。尚、真空チャンバ12のコイル11が設けられている面は、石英12a等により形成されている。
本実施の形態におけるプラズマ処理装置では、プラズマを発生させるためのプラズマ発生手段を有しており、ICPプラズマエッチング装置の場合では、少なくともコイル11と高周波電源15により真空チャンバ12内にプラズマを発生させることが可能であるため、プラズマ発生手段は、少なくともコイル11と高周波電源15とを有するものである。また、プラズマ発生手段は、電界、磁界または、電界と磁界を印加することにより真空チャンバ12内にプラズマを発生させることができるものであれば、どのような構成のものであってもよい。
また、本実施の形態におけるプラズマ処理装置としては、ICPプラズマエッチング装置と同様に、高密度プラズマを発生させることが可能なECR(Electron Cyclotron Resonance;電子サイクロトロン共鳴)プラズマエッチング装置等であってもよい。
下部電極13は、下部電極板22と、下部電極板22の上部側に形成される下部プレート30により構成される。基板21は、下部電極板22と一体化されている下部プレート30上に設置されており、基板21の外周部は、リング状のチャッキングプレート23により押えつけられることにより固定保持されている。図3に示すように、下部プレート30は、基板21の直径Wよりも短い直径Pの凹部24が形成されており、凹部24の底部には、中心領域が凸状の略球面となる曲面部25が形成されている。
下部電極13には、載置された基板21を持ち上げるための複数のリフトピン26と、1又は複数のHeガスを導入するためのガス導入口27が設けられている。また、下部電極板22に設けられた溝28内には、冷却用の冷媒が循環することにより、下部プレート30を含む下部電極13の温度を一定に保つことができる。
リフトピン26は、孔部26a内を上下に動作することにより、曲面部25より、基板21を持ち上げる。ガス導入口27は、不図示のHeガス供給源に接続されており、孔部27aより曲面部25と基板21との隙間29にHeガスが供給される。尚、曲面部25、下部プレート30及び下部電極板22は、一体の部材で形成してもよく、また、各々別個独立に形成したものをボルトや溶接等により結合したものであってもよい。
基板21の処理プロセス中には、ガス導入口27より導入されたHeガスが、下部電極23と基板21との間に生じた隙間29に充填されている。このため、隙間29に充填されたHeガスを介して、基板21と下部電極13の下部プレート30との間で熱交換が行われ、基板21が冷却される。
本実施の形態におけるプラズマ処理装置では、図3に示すように、下部電極13の下部プレート30の凹部24の底部には、曲面部25が形成されており、この曲面部25の頂点31は、下部プレート30の凹部24の周辺における周辺部32の高さと同じ高さまたは、周辺部32の高さよりも低くなるように形成されている。具体的には、下部プレート30に基板21が載置された際には、下部プレート30の周辺部32と基板21の裏面とが接触しており、下部プレート30の曲面部25の頂点31と基板21の裏面とは、かすかに接触するか、接触していない状態である。よって、基板21の裏面に傷がつくことがないため、基板21が割れたり破損したりする恐れはない。
このように、基板21が下部プレート30の周辺部32に載置された状態で、基板21の周辺部32においてリング状のチャッキングプレート23により押えつけられ、Heガスが隙間29内に導入され充填される。このようにHeガスが充填されることにより、基板21は外側に出っ張るように湾曲し、基板21が湾曲することにより、下部プレート30の曲面部25と基板21との間隔を略一定にすることが可能となる。
(エッチング量の分布)
次に、下部電極の構造とエッチング量の分布について調べた結果について説明する。
次に、下部電極の構造とエッチング量の分布について調べた結果について説明する。
最初に、平らな下部電極に基板を載せた構成のものについて説明する。具体的には、図4に示すように、表面が平らな下部電極の下部プレート121に基板101を載置し、不図示のリング状のチャッキングプレート等により押えることにより基板101を固定保持したものと、図5に示すように、底部が平らな凹部132が形成された下部電極の下部プレート131に基板101を載置し、不図示のリング状のチャッキングプレート等により押えることにより基板101を固定保持したものについて、基板101の図6に示す位置におけるフォトレジストのエッチング量の分布を調べたものである。
図7及び図8は、比較例の対象となるものであって、φ150mmの基板101の表面に不図示の約4μmの膜厚のフォトレジストが形成されているものについて、プラズマエッチングを行い、エッチングされるフォトレジストのエッチング量を図6に示す各々の地点において測定した結果を示す。尚、図6の「4」は、基板の中心位置であり、「1」、「7」、「8」および「13」は、それぞれ基板の端部より10mmの位置であって、「1」、「7」、「8」および「13」から中心点「4」に向かう線分を3等分する位置に、「2」、「3」、「5」、「6」、「9」、「10」、「11」および「12」が位置する。また、「1」と「7」を結ぶ線分と、「8」と「13」を結ぶ線分とは略直交する。尚、図7は、基板101として厚さ0.3mmのソーダガラスからなる略円形基板を用いた場合におけるエッチング量の分布を示すものであり、図8は、基板101として厚さ0.25mmの石英からなる略円形基板を用いた場合におけるエッチング量の分布を示すものである。尚、基板101と下部電極との間に封入されるHeガスの圧力は532Paである。
図7に示すように、基板101がソーダガラスの場合では、基板101の中心領域におけるエッチング量は約3μmであるのに対し、周辺領域におけるエッチング量は3.4〜3.6μmであり、中心領域よりも多くフォトレジストがエッチングされる。これは、基板101の裏面より導入されるHeガスにより、基板101が湾曲し、基板101の中心部において基板101と下部電極との距離が広がるため、即ち、Heガスを導入することにより形成される下部電極と基板101により形成される隙間が、基板101の周辺領域よりも基板101の中心領域の方が広くなるため、基板101の中心領域に印加される電界が、周辺領域に印加される電界よりも弱まることに起因して生じるものと考えられる。尚、下部電極の形状は、図4に示す平板状の下部プレート121の場合であっても、図5に示す底部が平らな凹部を有する下部プレート131の場合であっても、エッチング量の分布は略同様の傾向にある。
また、図8に示すように、基板101として石英ガラスを用いた場合では、図4に示す平板状の下部プレート121の場合においては、基板101の中心領域におけるエッチング量は約3.35μmであるのに対し、周辺領域におけるエッチング量は3.4〜3.7μmであり、中心領域よりも多くフォトレジストがエッチングされる。また、図5に示す底部が平らな凹部を有する下部プレート131の場合においては、基板101の中心領域におけるエッチング量は約3.2μmであるのに対し、周辺領域におけるエッチング量は3.4〜3.5μmであり、中心領域よりも多くフォトレジストがエッチングされる。基板101の中心領域と周辺領域におけるエッチング量が異なるのは、ソーダガラスの場合と同様の理由によるものと考えられる。
以上のように、図4に示す平板状の下部プレート121の場合及び、図5に示す底部が平らな凹部を有する下部プレート131の場合では、基板101に形成されたフォトレジストをエッチングした場合、ともに、エッチング量の差異は10%以上の面内分布が生じる。
次に、図3に示すように、本実施の形態におけるプラズマ処理装置の下部電極、即ち、凹部24の底部に曲面部25が形成された下部プレート30を有する下部電極の場合について説明する。この曲面部25は、曲率半径3000mmの球面となるように形成されている。
図10及び図11は、実施例の対象となるものであって、φ150mmの基板21の表面に不図示の約4μmの膜厚のフォトレジストが形成されたものについて、プラズマエッチングを行い、エッチングされるフォトレジストのエッチング量を図9に示す各々の地点において測定した結果を示す。尚、図9の「6」は、基板の中心位置であり、「1」、「11」、「12」および「20」は、それぞれ基板の端部より10mmの位置であって、「1」、「11」、「12」および「20」から中心点「6」に向かう線分を4等分または5等分する位置に、「2」〜「5」、「7」〜「11」、「16」〜「19」および「13」〜「15」が位置する。また、「1」と「11」を結ぶ線分と、「12」と「20」を結ぶ線分とは略直交する。尚、図10は、基板21として厚さ0.3mmのソーダガラスからなる略円形基板を用いた場合において、Heガスの圧力が、300Pa、532Pa、1000Paの場合におけるエッチング量の分布を示すものである。また、図11は、基板21として厚さ0.25mmの石英からなる略円形基板を用いた場合において、Heガスの圧力が、300Pa、532Pa、1000Pa、1300Pa、1500Paの場合におけるエッチング量の分布を示すものである。
図10に示すように、基板21がソーダガラスの場合では、基板21の中心領域と周辺領域におけるエッチング量の差異は少なく、基板21の全面にわたりエッチング量の差異は略5%以内である。また、基板21の裏面に導入されるHeガスの圧力を変化させても、エッチング量の分布にはあまり影響を与えない。
図11に示すように、基板21が石英ガラスの場合では、Heガスの圧力が1000Pa以上では、基板21の中心領域と周辺領域におけるエッチング量の差異は少なく、基板21の全面にわたりエッチング量の差異は略5%以内である。また、基板21の裏面に導入されるHeガスの圧力が1000Pa以上では、圧力を変化させても、エッチング量の分布にはあまり影響を与えない。
よって、本実施の形態におけるプラズマ処理装置においては、従来のプラズマ処理装置と比べてフォトレジストのエッチング量の分布を均一にすることができる。即ち、フォトレジストの均一なエッチングを行うことができる。
次に、基板21に厚さが0.3mmの石英ガラスを用いて、石英ガラスをエッチングした場合について説明する。図12及び図13は、基板21をプラズマエッチングした場合における石英ガラスのエッチング量を図9に示す各々の地点において測定した結果を示す。
図12は、比較例の対象となるものであって、φ150mmの基板101の表面に不図示の約4μmの膜厚のフォトレジストが形成されているものについて、プラズマエッチングを行い、エッチングされるフォトレジストのエッチング量を各々の地点において測定した結果を示したものである。また、図12は、図1に示すように平板状の下部プレート108が形成された下部電極113を用いた場合において、Heガスの圧力が、300Pa、532Pa、1000Pa、1500Pa、2000Paの場合におけるエッチング量の分布を示すものである。また、図13は、図3に示すように本実施の形態におけるプラズマ処理装置の下部電極、即ち、凹部24の底部に曲率半径3000mmの略球面の曲面部25が形成された下部プレート30を有する下部電極を用いた場合において、Heガスの圧力が、532Pa、1000Pa、1500Pa、2000Paの場合におけるエッチング量の分布を示すものである。
図12に示すように、平板状の下部プレート108の場合では、導入されるHeガスの圧力に応じてエッチング量の分布が変化し、Heガスの圧力が2000Paの場合では、エッチング量の差異は25%以上である。
一方、図13は、実施例の対象となるものであって、φ150mmの基板101の表面に不図示の約4μmの膜厚のフォトレジストが形成されているものについて、プラズマエッチングを行い、エッチングされるフォトレジストのエッチング量を各々の地点において測定した結果を示したものである。また、図13は、図2に示すように、本実施の形態における下部電極の下部プレート30、即ち、凹部24の底部に曲面部25が形成された下部プレート30の場合では、導入されるHeガスの圧力による依存性は少なく、特に、導入されるHeガスの圧力が1000Pa以上では、基板21の中心領域と周辺領域におけるエッチング量の差異はより少なく、基板21の全面にわたりエッチング量の差異は略10%以内である。
よって、本実施の形態におけるプラズマ処理装置においては、従来のプラズマ処理装置と比べて石英ガラスの基板のエッチング量の分布を均一にすることができる。
以上のように、本実施の形態における下部電極を有するプラズマ処理装置では、基板においても、基板表面に形成されたフォトレジスト等を形成したものにおいても、より均一にエッチングすることができる。
(曲面部25の曲率)
次に、本実施の形態におけるプラズマ処理装置の下部電極の曲面部25における曲率半径について調べた結果について説明する。
次に、本実施の形態におけるプラズマ処理装置の下部電極の曲面部25における曲率半径について調べた結果について説明する。
具体的には、基板21としてφ150mm、φ300mmのソーダガラス及び、φ150mm、φ300mmの石英ガラスを用いた。これら基板21を図14に示すように、基板21の外周をリング状のチャッキングプレート23により押える押え幅Sを約4mmとし、基板21のたわみ量をTとし、基板21の厚さごとに基板21のたわみ量と曲率半径とを算出したものである。尚、ソーダガラスは、比重が2.5、ポアソン比が0.23、ヤング率702156kg/cm2とし、石英ガラスは、比重が2.2、ポアソン比が0.17、ヤング率727635kg/cm2として算出したものである。
表1は、φ150mmのソーダガラスを用いた場合、表2は、φ300mmのソーダガラスを用いた場合、表3は、φ150mmの石英ガラスを用いた場合、表4は、φ300mmの石英ガラスを用いた場合における基板21のたわみ量とたわんだ基板21の曲率半径を示す。尚、たわんだ基板21の曲率半径と、曲面部25の曲率半径は、略一致している状態が好ましい。たわんだ基板21の曲率半径と、曲面部25の曲率半径とが略一致していれば、たわんだ基板21と曲面部25との間の隙間29の間隔は略一定となり、基板21に均一に電界が印加されるため、基板21の表面又は基板21の表面に形成されるレジスト等を均一にエッチングすることができるものと考えられるからである。従って、基板21が略球面の形状にたわんでいる場合には、曲面部25の形状も略球面で形成することが好ましい。尚、基板21のたわみ量は1.6mm以下であることが好ましく、より好ましくは、1.0mm以下である。
また、表2より基板21がφ150mmの石英ガラスの場合では、曲面部25の曲率半径として好ましい範囲は、1951mm以上、647828mm以下であり、より好ましくは、2764mm以上、647828mm以下である。従って、1900〜650000mmの範囲において設定するとよい。
また、表3より基板21がφ300mmのソーダガラスの場合では、曲面部25の曲率半径として好ましい範囲は、7062mm以上、165361mm以下であり、より好ましくは、11077mm以上、165361mm以下である。従って、7000〜170000mmの範囲において設定するとよい。
また、表4より基板21がφ300mmの石英ガラスの場合では、曲面部25の曲率半径として好ましい範囲は、7081mm以上、160237mm以下であり、より好ましくは、11116mm以上、160237mm以下である。従って、7000〜170000mmの範囲において設定するとよい。
基板の直径A〔mm〕とした場合、曲面部25の曲率半径の上限の値とA2との積は、
φ150mmのソーダガラスの場合では、約1.5×1010、
φ150mmの石英ガラスの場合では、約1.45×1010、
φ300mmのソーダガラスの場合では、約1.49×1010、
φ300mmの石英ガラスの場合では、約1.44×1010、
であり、略一定の値となる。また、曲面部25の曲率半径の好ましい範囲、より好ましい範囲の下限の値をA2で除した値は、
φ150mmのソーダガラスの場合では、約8.6×10−2、約0.13、
φ150mmの石英ガラスの場合では、約8.7×10−2、約0.14、
φ300mmのソーダガラスの場合では、約7.8×10−2、約0.12、
φ300mmの石英ガラスの場合では、約7.9×10−2、約0.12、
であり、略一定の値となる。
φ150mmのソーダガラスの場合では、約1.5×1010、
φ150mmの石英ガラスの場合では、約1.45×1010、
φ300mmのソーダガラスの場合では、約1.49×1010、
φ300mmの石英ガラスの場合では、約1.44×1010、
であり、略一定の値となる。また、曲面部25の曲率半径の好ましい範囲、より好ましい範囲の下限の値をA2で除した値は、
φ150mmのソーダガラスの場合では、約8.6×10−2、約0.13、
φ150mmの石英ガラスの場合では、約8.7×10−2、約0.14、
φ300mmのソーダガラスの場合では、約7.8×10−2、約0.12、
φ300mmの石英ガラスの場合では、約7.9×10−2、約0.12、
であり、略一定の値となる。
以上より、本実施の形態におけるプラズマ処理装置では、下部電極における下部プレート30の凹部24の底部に形成される曲面部25は、略球面により形成されており、曲面部25の曲率半径は、φ150mmの基板では、1900mm以上、670000mm以下が好ましく、φ300mmの基板では、7000mm以上、170000mm以下が好ましい。
〔第2の実施の形態〕
第2の実施の形態におけるプラズマ処理装置について説明する。図15は、本実施の形態におけるプラズマ処理装置の断面図である。本実施の形態におけるプラズマ処理装置は、プラズマを発生させるための上部電極41と下部電極13からなる平行平板型プラズマ発生用電極42を有している。具体的には、本実施の形態におけるプラズマ処理装置は、真空チャンバ43内に上部電極41と下部電極13を有しており、高周波電源44により上部電極41と下部電極13との間に高周波を印加し、プラズマを発生させ、発生させたプラズマにより下部電極13上に載置された基板21の表面をエッチングするものである。尚、本実施の形態における下部電極13は、第1の実施の形態における下部電極13と同一の構成のものであり、下部電極13の詳細については第1の実施の形態において説明したとおりである。本実施の形態におけるプラズマ処理装置、即ち、RIE等の平行平板型のプラズマエッチング装置においても基板21の表面におけるエッチング量を均一にすることができる。
第2の実施の形態におけるプラズマ処理装置について説明する。図15は、本実施の形態におけるプラズマ処理装置の断面図である。本実施の形態におけるプラズマ処理装置は、プラズマを発生させるための上部電極41と下部電極13からなる平行平板型プラズマ発生用電極42を有している。具体的には、本実施の形態におけるプラズマ処理装置は、真空チャンバ43内に上部電極41と下部電極13を有しており、高周波電源44により上部電極41と下部電極13との間に高周波を印加し、プラズマを発生させ、発生させたプラズマにより下部電極13上に載置された基板21の表面をエッチングするものである。尚、本実施の形態における下部電極13は、第1の実施の形態における下部電極13と同一の構成のものであり、下部電極13の詳細については第1の実施の形態において説明したとおりである。本実施の形態におけるプラズマ処理装置、即ち、RIE等の平行平板型のプラズマエッチング装置においても基板21の表面におけるエッチング量を均一にすることができる。
以上、本実施の形態におけるプラズマ処理装置として、エッチング装置について詳しく説明したが、その他プラズマを用いたエッチング装置にも適用することが可能であり、更には、プラズマを用いた成膜装置、例えば、スパッタリング装置やプラズマCVD装置にも適用することが可能である。
また、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。
11 コイル
12 真空チャンバ
13 下部電極
14 マッチング調整回路
15 高周波電源
16 マッチング調整回路
17 高周波電源
21 基板
22 下部電極板
23 チャッキングプレート
24 凹部
25 曲面部
26 リフトピン
27 ガス導入口
28 溝
29 隙間
30 下部プレート
12 真空チャンバ
13 下部電極
14 マッチング調整回路
15 高周波電源
16 マッチング調整回路
17 高周波電源
21 基板
22 下部電極板
23 チャッキングプレート
24 凹部
25 曲面部
26 リフトピン
27 ガス導入口
28 溝
29 隙間
30 下部プレート
Claims (6)
- 電界、磁界または、電界と磁界を印加することによりチャンバ内にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記チャンバ内に設けられた基板が設置される下部電極と、
前記下部電極の上部に形成される下部プレートと、
前記下部プレートに前記基板を固定するためのチャッキング部と、
前記下部プレートを貫通しガスを供給するためのガス供給手段と、
を有し、
前記下部プレートには、前記基板の直径よりも短い直径の凹部が形成されており、前記凹部の底部は、凸状の曲面部が形成されているものであって、前記曲面部の頂点は、前記下部プレートの周囲の面と同じ高さまたは、前記下部プレートの周囲の面よりも低く形成されており、
前記基板は前記下部プレートの周囲の面と前記チャッキング部により挟み込まれて固定されるものであって、前記基板と前記下部プレートの凹部との間に前記ガス供給手段によりガスを供給した状態で、前記プラズマ発生手段により電界、磁界または、電界と磁界を印加することにより、プラズマを発生させるプラズマ処理装置。 - 上部電極及び下部電極からなる平行平板型プラズマ発生用電極と、
前記下部電極の上部に形成される下部プレートと、
前記下部プレートに基板を固定するためのチャッキング部と、
前記下部プレートを貫通しガスを供給するためのガス供給手段と、
を有し、
前記下部プレートには、前記基板の直径よりも短い直径の凹部が形成されており、前記凹部の底部は、凸状の曲面部が形成されているものであって、前記曲面部の頂点は、前記下部プレートの周囲の面と同じ高さまたは、前記下部プレートの周囲の面よりも低く形成されており、
前記基板は前記下部プレートの周囲の面と前記チャッキング部により挟み込まれて固定されるものであって、前記基板と前記下部プレートの凹部との間に前記ガス供給手段によりガスを供給した状態で、前記上部電極と前記下部電極との間に電界を印加することにより、プラズマを発生させるプラズマ処理装置。 - 前記曲面部は、略球面である請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記曲面部は、曲率半径が、1900mm以上、670000mm以下である請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記基板は、石英又はソーダガラスにより形成されており、直径が150mm以上、300mm以下である請求項1から4のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマ処理装置は、イオンエッチング、スパッタリング、プラズマCVDのいずれかのプラズマプロセスを行うものである請求項1から5のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
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---|---|---|---|---|
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-
2009
- 2009-09-04 JP JP2009205180A patent/JP2011054910A/ja not_active Withdrawn
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