JP2020512692A - 柔軟なウエハ温度制御を伴う静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、全ての目的のために参照として本明細書に援用される、2017年3月31日付けの米国仮出願第62/480,232号の優先権の利益を主張する。
Claims (29)
- プラズマ処理チャンバにおいて基板を処理するための装置であって、
第1の冷媒ガスを第1の圧力で提供するように構成された第1の冷媒ガス圧システムと、
前記第1の冷媒ガス圧システムから独立して、第2の冷媒ガスを第2の圧力で提供するように構成された第2の冷媒ガス圧システムと、
前記第1の冷媒ガス圧システムおよび前記第2の冷媒ガス圧システムから独立して、第3の冷媒ガスを第3の圧力で提供するように構成された第3の冷媒ガス圧システムと、
前記第1の冷媒ガス圧システム、前記第2の冷媒ガス圧システム、および前記第3の冷媒ガス圧システムから独立して、第4の冷媒ガスを第4の圧力で提供するように構成された第4の冷媒ガス圧システムと、
中心点および外周を有するチャック表面を含む静電チャックであって、さらに、
前記第1の冷媒ガス圧システムに接続された第1の複数の冷媒ガスポートであって、前記第1の複数の冷媒ガスポートの各冷媒ガスポートは、前記中心点から第1の半径より遠くに位置する、第1の複数の冷媒ガスポートと、
前記第2の冷媒ガス圧システムに接続された第2の複数の冷媒ガスポートであって、前記第2の複数の冷媒ガスポートの各冷媒ガスポートは、前記中心点から前記第1の半径と前記中心点から第2の半径との間に離間して配置され、前記第2の半径は、前記第1の半径より短い、第2の複数の冷媒ガスポートと、
前記第3の冷媒ガス圧システムに接続された第3の複数の冷媒ガスポートであって、前記第3の複数の冷媒ガスポートの各冷媒ガスポートは、前記中心点から前記第2の半径と前記中心点から第3の半径との間に離間して配置され、前記第3の半径は、前記第2の半径より短い、第3の複数の冷媒ガスポートと、
前記第4の冷媒ガス圧システムに接続された第4の複数の冷媒ガスポートであって、前記第4の複数の冷媒ガスポートの各冷媒ガスポートは、前記中心点から前記第3の半径以内の距離に離間して配置されている、第4の複数の冷媒ガスポートと、
前記チャック表面の前記外周の周りに延びる外側密閉バンドであって、前記第1の複数の冷媒ガスポート、前記第2の複数の冷媒ガスポート、前記第3の複数の冷媒ガスポート、および前記第4の複数の冷媒ガスポートは、前記外側密閉バンドの内側に位置する、外側密閉バンドと、を備える、静電チャックと、
を備える、装置。 - 請求項1に記載の装置あって、
前記静電チャックは、さらに、前記第1の複数の冷媒ガスポートと前記第2の複数の冷媒ガスポートとの間に位置する第1の内側バンドを備える、装置。 - 請求項2に記載の装置であって、
前記静電チャックは、さらに、前記第2の複数の冷媒ガスポートと前記第3の複数の冷媒ガスポートとの間に位置する第2の内側バンドを備える、装置。 - 請求項3に記載の装置であって、
前記静電チャックは、さらに、前記第3の複数の冷媒ガスポートと前記第4の複数の冷媒ガスポートとの間に位置する第3の内側バンドを備える、装置。 - 請求項4に記載の装置であって、
前記外側密閉バンド、前記第1の内側バンド、前記第2の内側バンド、および前記第3の内側バンドのそれぞれの高さは、ほぼ等しい、装置。 - 請求項5に記載の装置であって、
前記静電チャックは、さらに、複数の抜き治具を備える、装置。 - 請求項6に記載の装置であって、
前記複数の抜き治具の各治具は、
少なくとも1つの抜き孔と、
前記少なくとも1つの抜き孔を囲む密閉部と
を備える、装置。 - 請求項7に記載の装置であって、
前記少なくとも1つの抜き孔は、排気口に接続されている、装置。 - 請求項4に記載の装置であって、
前記外側密閉バンドの高さは、前記第1の内側バンド、前記第2の内側バンド、および前記第3の内側バンドのそれぞれの高さより高い、装置。 - 請求項4に記載の装置であって、
前記第1の内側バンド、前記第2の内側バンド、および前記第3の内側バンドの高さは、前記外側密閉バンドの高さの4分の1から4分の3の間である、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記第1の冷媒ガス圧システムによって提供された前記第1の圧力は、前記第2の冷媒ガス圧システムによって提供された前記第2の圧力より大きく、前記第2の圧力は、前記第3の冷媒ガス圧システムによって提供された前記第3の圧力より小さく、前記第3の圧力は、前記第4の冷媒ガス圧システムによって提供された前記第4の圧力より大きい、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記外側密閉バンドは、5ミクロンから30ミクロンの間の高さを有する、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記静電チャックは、さらに、前記チャック表面上に複数のリフトピン孔を備える、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記外側密閉バンドは、前記外側密閉バンドの上部外側部分にノッチを有する、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記第1の冷媒ガス圧システムは、
前記第1の複数の冷媒ガスポートに接続されたマスフローコントローラユニットと、
前記マスフローコントローラユニットと前記第1の複数の冷媒ガスポートとの間に接続された第1の端を有する流動制御弁と、
を備える、装置。 - 中心点および外周を有するチャック表面を含む静電チャックであって、
第1の冷媒ガス圧システムに接続可能な第1の複数の冷媒ガスポートであって、前記第1の複数の冷媒ガスポートの各冷媒ガスポートは、前記中心点から第1の半径より遠くに位置する、第1の複数の冷媒ガスポートと、
第2の冷媒ガス圧システムに接続可能な第2の複数の冷媒ガスポートであって、前記第2の複数の冷媒ガスポートの各冷媒ガスポートは、前記中心点から前記第1の半径と前記中心点から第2の半径との間に離間して配置され、前記第2の半径は、前記第1の半径より短い、第2の複数の冷媒ガスポートと、
第3の冷媒ガス圧システムに接続可能な第3の複数の冷媒ガスポートであって、前記第3の複数の冷媒ガスポートの各冷媒ガスポートは、前記中心点から前記第2の半径と前記中心点から第3の半径との間に離間して配置され、前記第3の半径は、前記第2の半径より短い、第3の複数の冷媒ガスポートと、
第4の冷媒ガス圧システムに接続可能な第4の複数の冷媒ガスポートであって、前記第4の複数の冷媒ガスポートの各冷媒ガスポートは、前記中心点から前記第3の半径以内の距離に離間して配置されている、第4の複数の冷媒ガスポートと、
前記チャック表面の前記外周の周りに延びる外側密閉バンドであって、前記第1の複数の冷媒ガスポート、前記第2の複数の冷媒ガスポート、前記第3の複数の冷媒ガスポート、および前記第4の複数の冷媒ガスポートは、前記外側密閉バンドの内側に位置する、外側密閉バンドと、
を備える、静電チャック。 - 請求項16に記載の静電チャックであって、さらに、
前記第1の複数の冷媒ガスポートと前記第2の複数の冷媒ガスポートとの間に位置する第1の内側バンドを備える、静電チャック。 - 請求項17に記載の静電チャックであって、さらに、
前記第2の複数の冷媒ガスポートと前記第3の複数の冷媒ガスポートとの間に位置する第2の内側バンドを備える、静電チャック。 - 請求項18に記載の静電チャックであって、さらに、
前記第3の複数の冷媒ガスポートと前記第4の複数の冷媒ガスポートとの間に位置する第3の内側バンドを備える、静電チャック。 - 請求項19に記載の静電チャックであって、
前記外側密閉バンド、前記第1の内側バンド、前記第2の内側バンド、および前記第3の内側バンドのそれぞれの高さは、ほぼ等しい、静電チャック。 - 請求項20に記載の静電チャックであって、さらに、
複数の抜き治具を備える、静電チャック。 - 請求項21に記載の静電チャックであって、
前記複数の抜き治具の各々は、
少なくとも1つの抜き孔と、
前記少なくとも1つの抜き孔を囲む密閉部と
を備える、静電チャック。 - 請求項22に記載の静電チャックであって、
前記少なくとも1つの抜き孔は、排気口に接続可能である、静電チャック。 - 請求項19に記載の静電チャックであって、
前記外側密閉バンドの高さは、前記第1の内側バンド、前記第2の内側バンド、および前記第3の内側バンドのそれぞれの高さより高い、静電チャック。 - 請求項19に記載の静電チャックであって、
前記第1の内側バンド、前記第2の内側バンド、および前記第3の内側バンドの高さは、前記外側密閉バンドの高さの4分の1から4分の3の間である、静電チャック。 - 請求項16に記載の静電チャックであって、
前記第1の複数の冷媒ガスポートは、前記第1の冷媒ガス圧システムからガスを第1の圧力で受け取るように構成され、
前記第2の複数の冷媒ガスポートは、前記第2の冷媒ガス圧システムからガスを第2の圧力で受け取るように構成され、前記第1の圧力は、前記第2の圧力より大きく、
前記第3の複数の冷媒ガスポートは、前記第3の冷媒ガス圧システムからガスを第3の圧力で受け取るように構成され、前記第2の圧力は、前記第3の圧力より小さく、
前記第4の複数の冷媒ガスポートは、前記第4の冷媒ガス圧システムからガスを第4の圧力で受け取るように構成され、前記第3の圧力は、前記第4の圧力より大きい、静電チャック。 - 請求項16に記載の静電チャックであって、
前記外側密閉バンドは、5ミクロンから30ミクロンの間の高さを有する、静電チャック。 - 請求項16に記載の静電チャックであって、さらに、
前記チャック表面上に複数のリフトピン孔を備える、静電チャック。 - 請求項16に記載の静電チャックであって、
前記外側密閉バンドは、前記外側密閉バンドの上部外側部分にノッチを有する、静電チャック。
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