JP5062435B2 - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Description
半導体膜、ゲート電極と半導体膜との間に配置される、ゲート絶縁膜、ならびに、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、半導体膜およびゲート絶縁膜を保持する、基板を備える、電界効果トランジスタに向けられるものであって、前述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
2 基板
3 ゲート電極
4 ゲート絶縁膜
5 半導体膜
6 ソース電極
7 ドレイン電極
11 第1の絶縁層
12 第2の絶縁層
実験例1では、半導体膜の材料としてペンタセンを用いながら、この発明の範囲内にある実施例1、ならびにこの発明の範囲外にある比較例1および2の各々に係る試料を作製した。
(1)ゲート絶縁膜の形成
金からなるゲート電極を形成したガラス基板上に、シアノエチルプルランをジメチルホルムアミド:アセトン=9:1(重量比)に溶解した溶液(15重量%)をスピンコートした後、100℃で1時間熱処理を行なって、シアノエチルプルラン(1kHzでの比誘電率が15.4)からなる厚み800nmの第2の絶縁層を形成した。
上記第1の絶縁層上に、ペンタセンを、真空度1.3×10−4Paの減圧下で、速度が0.3Å/秒、基板温度が室温の条件で蒸着し、厚み40nmの半導体膜を形成した。
チャンネル長Lが75μmとなり、かつ、ソース電極とドレイン電極との各々の指部分が交差する幅w1が5mmであって、49対の指部分が対向し、チャンネル幅Wが5mm×49=245mmとなるようにされた、ステンレス鋼製のマスクを用意し、これを上記半導体膜上に配置し、真空度6.5×10−4Paの減圧下で、金を、速度が1.0Å/秒、基板温度が25℃の条件で蒸着し、厚み30nmのソース電極およびドレイン電極を形成し、電界効果トランジスタを得た。
得られた電界効果トランジスタの電流−電圧特性を、半導体パラメータアナライザ(Agilent製「4156C」)を用いて測定し、図6の出力特性を得た。この出力特性の結果から、飽和領域でのゲート電圧−ドレイン電流の関係を示したものが図7の伝達特性である。図7から、以下の式(1)を用いて、電界効果移動度μFET、しきい電圧Vtを算出し、μFET=0.38cm2/Vs、しきい電圧Vt=−5.4Vの値を得た。
ここで、Idはドレイン電流、Wはチャンネル幅、Lはチャンネル長、Vgはゲート電圧、Ciは単位面積あたりの絶縁膜容量、μは電界効果移動度、Vtはしきい電圧である。
(1)ゲート絶縁膜の形成〜(3)ソースおよびドレイン電極の形成
ゲート絶縁膜の形成においてシアノエチルプルランのみを用い、厚み1090nmの単層構造のゲート絶縁膜とした以外は、実施例1の場合と同じ方法により、電界効果トランジスタを作製した。なお、比較例1においても、同一の構造を有する試料4〜5に係る3個の電界効果トランジスタを同時に作製した。
得られた電界効果トランジスタの電流−電圧特性を、実施例1の場合と同様の方法で測定し、図8の出力特性を得た。
(1)ゲート絶縁膜の形成〜(3)ソースおよびドレイン電極の形成
ゲート絶縁膜の形成においてポリジクロロパラキシリレンのみを用い、厚み880nmの単層構造のゲート絶縁膜とした以外は、実施例1の場合と同じ方法により、電界効果トランジスタを作製した。
得られた電界効果トランジスタの電流−電圧特性を、実施例1の場合と同様の方法で測定し、図9の出力特性および図10の伝達特性を得た。
実験例2では、半導体膜の材料としてポリフルオレン−チオフェン共重合体(F8T2)を用いながら、この発明の範囲内にある実施例2、ならびにこの発明の範囲外にある比較例3および4の各々に係る試料を作製した。
(1)ゲート絶縁膜の形成
金からなるゲート電極を形成したガラス基板上に、実施例1の場合と同様の方法により、シアノエチルプルランからなる厚み1000nmの第2の絶縁層を形成した。
上記第1の絶縁層上に、ポリフルオレン−チオフェン共重合体(F8T2)の0.6重量%クロロホルム溶液をスピンコートした後、60℃で30分間熱処理を行なって、厚み50nmの半導体膜を形成した。
上記半導体膜上に、実施例1の場合と同様の方法により、厚み30nmのソース電極およびドレイン電極を形成し、電界効果トランジスタを得た。
得られた電界効果トランジスタの電流−電圧特性を、実施例1の場合と同様の方法で測定し、図11の出力特性および図12の伝達特性を得た。実施例1の場合と同様の計算から、電界効果移動度μFET=5.3×10−3cm2/Vs、しきい電圧Vt=−3.0Vの値を得た。また、オンオフ比は1.1×103であった。
(1)ゲート絶縁膜の形成〜(3)ソースおよびドレイン電極の形成
ゲート絶縁膜の形成においてシアノエチルプルランのみを用い、厚み1230nmの単層構造のゲート絶縁膜とした以外は、実施例2の場合と同じ方法により、電界効果トランジスタを作製した。
得られた電界効果トランジスタの電流−電圧特性を、実施例1の場合と同様の方法で測定し、図13の出力特性を得た。
(1)ゲート絶縁膜の形成〜(3)ソースおよびドレイン電極の形成
ゲート絶縁膜の形成においてポリジクロロパラキシリレンのみを用い、厚み550nmの単層構造のゲート絶縁膜とした以外は、実施例2の場合と同じ方法により、電界効果トランジスタを作製した。
得られた電界効果トランジスタの電流−電圧特性を、実施例1の場合と同様の方法で測定し、図14の出力特性および図15の伝達特性を得た。
実験例3では、半導体膜の材料としてペンタセンを用いながら、第2の絶縁層において金属酸化物粉末を含有する樹脂を用い、この発明の範囲内にある実施例3に係る試料を作製した。
(1)ゲート絶縁膜の形成
シアノエチルプルランをジメチルホルムアミド:アセトン=9:1(重量比)に溶解した溶液(15重量%)5gに、チタン酸バリウム粉末(平均粒子径40nm)1.5gを加え、乳鉢で解砕後、デカンテーションにより粗粒を除去して、チタン酸バリウム−シアノエチルプルラン分散液を作製した。
上記第1の絶縁層上に、実施例1の場合と同様の方法により、厚み40nmの半導体膜を形成した。
上記半導体膜上に、実施例1の場合と同様の方法により、厚み30nmのソース電極およびドレイン電極を形成し、電界効果トランジスタを得た。
得られた電界効果トランジスタの電流−電圧特性を、実施例1の場合と同様の方法で測定し、図16の出力特性および図17の伝達特性を得た。
実験例4では、第1の絶縁層の厚みが及ぼす影響について調査した。そのため、この発明の範囲内にあるが、次のような実施例4に係る試料を作製した。すなわち、第1の絶縁層の厚みを20nmとする以外は、実施例1の場合と同様の方法により、実施例1の場合と同様の構造を有する、実施例4に係る電界効果トランジスタを作製した。この電界効果トランジスタの電流−電圧特性を、実施例1の場合と同様の方法により測定し、図18の出力特性を得た。
Claims (2)
- ゲート電極、
ソース電極、
ドレイン電極、
前記ソース電極および前記ドレイン電極に接するように配置される、有機半導体材料からなる半導体膜、
前記ゲート電極と前記半導体膜との間に配置される、ゲート絶縁膜、ならびに、
前記ゲート電極、前記ソース電極、前記ドレイン電極、前記半導体膜および前記ゲート絶縁膜を保持する、基板
を備え、
前記ゲート絶縁膜は、前記半導体膜に接するように配置される第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層より誘電率の高い第2の絶縁層とからなり、
前記第1の絶縁層の厚みは50nm以上であり、
前記第1の絶縁層は、化学的気相成長法によって成膜されたポリパラキシリレンからなり、
前記第2の絶縁層はシアノエチルプルランからなる、
電界効果トランジスタ。 - 前記第2の絶縁層は金属酸化物粉末を含有する、請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
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