JP2007158140A - 有機トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【課題】ボトムコンタクト型有機トランジスタにおいて、ソースドレイン電極と有機半導体の電気接触抵抗を低減し、より高性能な有機トランジスタ構造を提供すること。
【解決手段】前記従来の課題を解決するために、本発明の有機トランジスタ100は、絶縁性基板1と、ゲート絶縁膜2と、ソースドレイン電極3と、第1の有機分子薄膜4と、第2の有機分子薄膜5と、有機半導体膜6とを備えた構成において、前記第2の有機分子薄膜4がチオクレゾールであることを特徴とする。本構成によって、ソースドレイン電極3上の有機半導体膜6の結晶粒径が大きくなることにより電気接触抵抗が低減でき、より高性能な有機トランジスタを実現することができる。
【選択図】図1
【解決手段】前記従来の課題を解決するために、本発明の有機トランジスタ100は、絶縁性基板1と、ゲート絶縁膜2と、ソースドレイン電極3と、第1の有機分子薄膜4と、第2の有機分子薄膜5と、有機半導体膜6とを備えた構成において、前記第2の有機分子薄膜4がチオクレゾールであることを特徴とする。本構成によって、ソースドレイン電極3上の有機半導体膜6の結晶粒径が大きくなることにより電気接触抵抗が低減でき、より高性能な有機トランジスタを実現することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は有機材料や分子性材料を用いた薄膜トランジスタに関するもので、特に前記材料と金属電極間の電気接触抵抗を低減可能なトランジスタ構造に関するものである。
近年、大面積ディスプレイの画素駆動回路や無線タグ応用を目指して、有機トランジスタの研究が盛んに行われている。有機半導体は、シリコン半導体に代表される無機半導体と比較しても、環境性、可塑性、軽量性、コスト性、耐衝撃性などの優れた特徴を多く有するが、性能に関しては、現状、アモルファスシリコン薄膜トランジスタと同等の性能(キャリア移動度〜1cm2/Vs)が達成されているレベルで、更なる特性の向上が期待されている。有機トランジスタのスイッチング速度は、前述のキャリア移動度に比例、素子のソースドレイン電極間隔には反比例することが一般に知られており、キャリア移動度が一定の場合、ソースドレイン電極間の距離(チャネル長)が短いデバイスの方が高速動作に有利となる。有機材料は、シリコンLSI製造等に用いられる半導体微細加工技術のリソグラフィー工程やエッチング工程で用いる薬品等に耐性のないものが殆どであるため、有機半導体層を形成する前にソースドレイン電極パターンを微細形成する必要がある。このようなソースドレイン電極パターンが有機半導体膜の下層に配置されている素子はボトムコンタクト構造と呼ばれ、その逆の配置の場合はトップコンタクト構造と呼ばれる。
ボトムコンタクト構造の場合、ソースドレイン金属電極の上にそのまま有機半導体膜を積層すると、金属上の有機半導体膜は結晶粒径が小さくなってしまうため良好な素子性能を得ることが困難で、非特許文献1や非特許文献2、もしくは特許文献1に開示されているように、電極表面にチオール基を有した有機分子による自己組織化膜(SAMs:Self-Assembled-Monolayers)を形成し、電極の表面エネルギーを変えることで有機半導体膜の結晶粒径を大きくする試みが行われている。
IEEE TRANSACTION ON ELECTRON DEVICES, VOL.48, No.6, pp.1060,2001 IEEE ELECTRON DEVICES LETTERS, VOL.22, No.12, pp.571,2001 特開2005−93542号公報(第8−9頁、図8−10)
特開2004−288836号公報(段落番号0028)
IEEE TRANSACTION ON ELECTRON DEVICES, VOL.48, No.6, pp.1060,2001 IEEE ELECTRON DEVICES LETTERS, VOL.22, No.12, pp.571,2001
しかしながら、前記従来の構成では、アルカンチオール系の有機分子薄膜で電極表面を完全に覆った場合、電極材料の仕事関数がシフトし、しきい値電圧の大きな変化が生じたり(非特許文献1 の図6−7)、電流駆動力が著しく劣化し、殆ど特性改善効果が得られない(特許文献1の図10)という課題があった。また、アルカンチオール系以外の有機分子膜としてメチルチオール、エチルチオール、チオフェノール(特許文献1の9頁16行)やニトロ基を有した4−ニトロベンゼンチオール(非特許文献2)が開示されているが、特許文献1記載の有機分子膜については、効果の具体的データが提示されておらず、また非特許文献2に記載の有機分子についても電子吸引力の強いニトロ基が備わっているため、電極修飾後に大きなしきい値電圧シフトが懸念されるという課題を有していた。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、ボトムコンタクト型有機トランジスタにおいて、ソースドレイン電極と有機半導体の電気接触抵抗を低減し、より高性能な有機トランジスタ構造を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明の有機トランジスタは、基板と、ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、ソースドレイン電極と、第1の有機分子薄膜と、第2の有機分子薄膜と、有機半導体膜とを備えた構成において、前記第2の有機分子薄膜がチオクレゾールであることを特徴とする。
本構成によって、ソースドレイン電極上の有機半導体の結晶粒径が大きくなることにより電気接触抵抗が低減でき、より高性能な有機トランジスタを実現することができる。
本発明のチオクレゾールをソースドレイン電極と有機半導体膜の間に備えた構成によれば、しきい値電圧が大きく変化することなく、電流駆動力やON/OFF比の顕著な改善が図れ、トランジスタのスイッチング性能を大幅に向上することができる。
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における有機トランジスタの断面模式図である。
図1は、本発明の実施の形態1における有機トランジスタの断面模式図である。
図1において、1はシリコン基板であり、基板とゲート電極の両方の役割を果たす。2はゲート絶縁膜、3はソースドレイン電極、4はゲート絶縁膜表面修飾用の第1の有機分子薄膜、5は電極表面修飾用の第2の有機分子薄膜、6は有機半導体膜であり、図1の1〜6でボトムコンタクト型の有機トランジスタ100を構成している。以下に、図1をもとに実施の形態1について詳しく説明する。
まず、アンチモンを高濃度に添加した抵抗率約0.01Ω・cmの面方位(001)、オリフラ方位<110>のn型シリコン基板1を900℃のパイロジェニック酸化を行い、シリコン基板1表面に膜厚215nmのシリコン熱酸化を形成し、これをゲート絶縁膜2とした。さらに、このシリコン基板1にパターン形成した第1のメタルマスクを密着させた後、真空チャンバーに導入し、クロム/金薄膜の抵抗加熱蒸着を連続して行い、ソースドレイン電極3パターンを形成した。ソースドレイン電極3のパターンサイズは幅(チャネル幅)は1mm、長さ(チャネル長)は30μmとした。クロムの抵抗加熱蒸着時の真空度は約6×10-5Pa、蒸着レートは0.03〜0.04nm/sで膜厚は0.8nm、また、金の抵抗加熱蒸着時の真空度は約5×10-5Pa、蒸着レートは0.20〜0.30nm/sで膜厚は150nmとした。以下に述べる比較検討を行うため、真空内にシリコン基板1を3個導入し、同じ蒸着条件にてソースドレイン電極3のパターンを3回連続形成した。次に前記シリコン基板3個を大気中に取り出し、第1のメタルマスクをはずした後、10分以内にヘキサメチルジシラザン(LANCASTER SYSNTHESIS LTD.社製造 純度99+%)を0.5ml、ソースドレイン電極3を形成したシリコン基板1上に滴下し、3000rpmにてスピンコートを行い、ゲート絶縁膜表面に第1の有機分子薄膜4を形成した。この後、窒素雰囲気中で自然乾燥させた。この第1の有機分子薄膜はゲート酸化膜2であるシリコン熱酸化膜表面を撥水化する(表面エネルギーを変える)ため、以降の工程で積層形成する有機半導体膜6の結晶性を改善する効果がある。次に、ソースドレイン電極3の表面修飾を行うため、第2の有機分子のエタノール溶液を作製した。比較のため、第2の有機分子膜として、本発明に係るチオクレゾールの他、分子の構造が似ている特許文献1記載のチオフェノールを用いた。4−チオクレゾールとチオフェノールの分子構造を図2(a)、(b)にそれぞれ示す。4−チオクレゾール(LANCASTER SYSNTHESIS LTD.社製造 純度98+% )とチオフェノール(和光純薬工業(株)製 純度95+%)とエタノール溶媒はそれぞれ6×10-3の重量比で混合させた。その後、ゲート絶縁膜2上以外に表面吸着(ゲート絶縁膜2であるシリコン酸化膜とは分子結合)した第1の有機分子薄膜4を除去するため、基板のエタノール洗浄を行い、前述の4−チオクレゾール溶液とチオフェノール溶液に2個の基板を別々にそれぞれ3時間、同時浸漬させた。これにより、ソースドレイン電極3上に第2の有機分子薄膜5が形成された。この時、当初作製した3個の基板のうち、残りの1個は、電極表面修飾無しのレファランスサンプルとして窒素雰囲気中で保管した。3時間後、基板を液中からそれぞれ取り出し、エタノール洗浄を行った後、スピン乾燥を行い、レファランスサンプルと同時に3個の基板を有機半導体膜形成用の真空チャンバー内に導入した。真空中で有機半導体膜パターン形成用の第2のメタルマスクをソースドレイン電極3パターンに位置あわせを行った上で基板表面にセットした。この際、第2のメタルマスクは基板表面から数100μm以上離して設置し、第1の有機分子薄膜4および第2の有機分子薄膜5表面を傷つけないよう十分配慮を行った。チャンバーの真空度が1×10-6Paに到達した後、基板温度35℃にてペンタセンの物理気相蒸着を行い、有機半導体膜6パターンを形成した。ペンタセン(アルドリッチ製 製品番号P1802)は精製無しで用いた。蒸着源であるクヌーセン型セルには膜厚換算で数100nm相当分の原料を充填し、3個の基板に対して連続蒸着による同一条件下での製膜を実施した。なお、ペンタセンの物理気相蒸着時の製膜レートは0.04±0.01nm/sで、蒸着源の温度は280℃±5℃、膜厚は50nmとした。ペンタセンの蒸着後、約2×10-6Paの真空一貫にて、基板からメタルマスクをはずし、トランジスタ電気測定を行った。
図3は前述の方法にて作製した3種類の有機トランジスタにソースドレイン電圧を-100V印加したときの、ゲート電圧Vg−ソースドレイン電流Isd特性を示した図である。ソースドレイン電圧印加とは図1のソースドレイン電極3の一方をソース電極と決め、それに対しもう片側の電極3に電圧を印加することであり、ゲート電圧印加とは、前記ソース電極に対し、図1のシリコン基板1に電圧印加を行うと定義した。測定はケースレー社のソースメジャーユニット(型番236)を2台用いて行った。図3(a)、(b)はいずれもゲート電圧Vgに対するIsdの変化を測定したものであるが、縦軸がそれぞれ、ログプロット、リニアプロットと異なっている。実線がソースドレイン電極表面修飾無しのサンプル、2点鎖線が従来の表面修飾有機分子材料であるチオフェノールを用いて電極表面処理したサンプル、点線が本発明に係る4−チオクレゾールにて電極表面処理したサンプルの電気特性を示す。図3(a)において、3種類のサンプルの特性を比較する。ゲート電圧Vgを印加したときに最もソースドレイン電流Isdが大きく取れるのはVg=0〜―100Vの範囲全てで、点線で示した4−チオクレゾールで電極処理を行ったサンプルであり、次いで2点鎖線のチオフェノール処理、点線の表面処理無しサンプルとなった。また、ゲート電圧VgでトランジスタをON/OFFさせた時のソースドレイン電流Isdの比も前述の順位と同じになった。また低電圧駆動の良し悪しとなるVg=0V近傍におけるVgに対するIsdの立ち上がり特性(傾きが急なほど良い)も前述の順位と同じであった。また図3(b)によれば、Isdをリニアプロットにしているため、同じゲート電圧Vg印加時の電流量Isdが相対的にどの程度違いがあるかがよくわかる。表1はこれら図3(a)、(b)の結果を定量化してまとめたものである。評価項目の定義は表中に記載している。
これら電気特性の有意差が何故得られたかについて、原子間力顕微鏡を用いてソースドレイン電極上、もしくは電極近傍のペンタセン膜の表面モルフォロジー観察を2μm×2μmの範囲で行った。図4(a),(b),(c)はそれぞれ、ソースドレイン電極3表面修飾無しのサンプル、従来の表面修飾有機分子材料であるチオフェノールを用いて電極ソースドレイン電極3表面処理したサンプル、本発明に係る4−チオクレゾールにてソースドレイン電極3表面処理したサンプルについて、ソースドレイン電極3上のペンタセンの表面モルフォロジーを測定したものである。図4において(a)、(b)、(c)の順にペンタセンの粒径が大きくなっていることが明瞭に見てとれ、先の電気特性において本発明に係る4−チオクレゾール処理したサンプルが最も良好な結果を示したことと定性的に矛盾しない結果を得た。さらに、図5(a),(b),(c)はそれぞれ、ソースドレイン電極3表面修飾無しのサンプル、従来の表面修飾有機分子材料であるチオフェノールを用いて電極表面処理したサンプル、本発明に係る4−チオクレゾールにてソースドレイン電極3表面処理したサンプルについて、ソースドレイン電極3パターン近傍のペンタセンの表面モルフォロジーを20μm×20μmの範囲で測定したものである。図5(a)において、領域3はソースドレイン電極3パターン上にペンタセンを製膜した部分で、領域2は蒸着中の金属がメタルマスクを回り込んでできたと考えられる薄い金の層上にペンタセンを製膜した部分(電極端から約5〜7μmの範囲)である。領域1はゲート絶縁膜2をヘキサメチルジシラザン修飾した上にペンタセンを製膜した部分である。図5(a)において領域3→1となるにつれてペンタセンの粒径が大きくなっているが、領域1においてすら(図から判別は難しいが)数百nm程度の極めて小さな粒径サイズとなっていることがわかった。図5(b)においては、領域3→1となるに従って粒径が大きくなる傾向は同じであるが、図5(a)と比べて全体に粒径が大きくなっていることがわかる。図5(c)においては領域2が判別できない程度になっており、粒径も図5(a)〜(c)の中で最も大きく、本発明に係る4−チオクレゾール処理を行うと、ソースドレイン電極3上もしくはその近傍のペンタセン結晶性が大きく改善できることが明らかとなった。
なお、本実施の形態1において、ゲート絶縁膜2の表面を第1の有機分子薄膜4で修飾したが、工程簡便のため省略しても良い。その場合は、ゲート絶縁膜2上のペンタセン粒径が小さくなることに起因し、サブスレッショルド係数やON/OFF比、電流駆動力が若干劣化するが、効果が大きく損なわれるものではない。
なお、本実施の形態1において、有機半導体膜6としてペンタセンの真空蒸着膜をあげたが、他の有機材料でも同様の効果が期待できる。また、ソースドレイン電極3パターン形成後に、真空蒸着に代えてスクリーン印刷やインクジェット法などを用い、塗布型の有機半導体膜6パターンを形成しても良い。同様に、ソースドレイン電極3等を第1のメタルマスクと真空蒸着法でパターン形成するとしたが、印刷法を用いて形成しても同様の効果が得られる。また、シリコン基板1がゲート電極と基板の両方の役割を果たしていたが、シリコン基板1に代えて、絶縁性基板上の上に別途、ゲート電極となる導電性膜を積層形成したものを用いても良い。
(実施の形態2)
図6は、本発明の実施の形態2の有機トランジスタの断面模式図である。図6において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
図6は、本発明の実施の形態2の有機トランジスタの断面模式図である。図6において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
図6において、10はポリエチレンナフタレート(PEN)基板等のフレキシブル基板であり、20はITO(Indium Tin Oxide)膜などのゲート電極である。以下に、図6をもとに実施の形態2について詳しく説明する。厚さ125μmのPEN基板10上にゲート電極20となるITO膜が積層されたフレキシブル基板((株)トービ製 型番OTEC−110)上にポリイミド溶液(京セラケミカル 型番CT4112 濃度8%)を滴下して、3000rpm、1分のスピンコートを行う。次にベーク炉で90℃10分の熱処理を行った後、窒素雰囲気中にてホットプレート上で180℃1時間のイミド化処理を行い、膜厚700nmのゲート絶縁膜2を形成した。静電容量値の測定から比誘電率は約4.2であった。ソースドレイン電極3以降の工程は実施の形態1で記述したものと全く同一であるのでここでは説明を省略する。
作製した3種類の有機トランジスタは実施の形態1で説明したものとほぼ同一の傾向を示し、本発明に係る4−チオクレゾールによる電極表面修飾を行ったサンプルのトランジスタ性能が最も高いことに変わりはなかった。実施の形態1で得られた特性と比較すると、ゲート絶縁膜2の膜厚が700nmと約3倍以上厚い事に起因して、電流駆動力は約1/3に減少したが、今後、ゲート絶縁膜2の薄層化を行えれば容易に特性改善を図ることが可能である。
以上のように、本発明に係るチオクレゾールによるソースドレイン電極3表面の修飾処理を行えば、フレキシブル基板10を用いたボトムコンタクト型有機トランジスタ性能が改善できることを確認した。
なお、本実施の形態2において、ゲート絶縁膜2の表面を第1の有機分子薄膜4で修飾したが、工程簡便のため省略しても良い。その場合は、ゲート絶縁膜2上のペンタセン粒径が小さくなることに起因し、サブスレッショルド係数やON/OFF比、電流駆動力が若干劣化するが、効果が大きく損なわれるものではない。
なお、本実施の形態2において、有機半導体膜6としてペンタセンの真空蒸着膜をあげたが、他の有機材料でも同様の効果が期待できる。また、ソースドレイン電極3パターン形成後に真空蒸着に代えてスクリーン印刷やインクジェット法などを用いて塗布型の有機半導体パターンを形成しても良い。同様に、ソースドレイン電極3等を第1のメタルマスクと真空蒸着法でパターン形成するとしたが、印刷法を用いて形成しても同様の効果が得られる。さらに、図6において、ゲート電極20がフレキシブル基板10全面を覆うように記載しているが、ゲート電極20はパターニングしてもよい。
本発明にかかる有機トランジスタは、良好なスイッチング特性を有し、集積回路化することにより無線タグや大面積ディスプレイの画素駆動用等デバイスとして有用である。またトランジスタ単体でも、においや圧力検知等のセンサー用途にも応用できる。
1 シリコン基板
2 ゲート絶縁膜
3 ソースドレイン電極
4 第1の有機分子薄膜
5 第2の有機分子薄膜
6 有機半導体膜
10 フレキシブル基板
20 ゲート電極
100 有機トランジスタ
2 ゲート絶縁膜
3 ソースドレイン電極
4 第1の有機分子薄膜
5 第2の有機分子薄膜
6 有機半導体膜
10 フレキシブル基板
20 ゲート電極
100 有機トランジスタ
Claims (4)
- 基板と、ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、ソースドレイン電極と、第1の有機分子薄膜と、第2の有機分子薄膜と、有機半導体膜とを備えた構成において、前記第2の有機分子薄膜がチオクレゾールであることを特徴とする有機トランジスタ。
- 有機半導体層がペンタセンであり、かつ第1の有機分子薄膜がシリコン酸化膜表面をヘキサメチルジシラザン処理した膜であり、さらにソースドレイン電極が金電極であることを特徴とする請求項1に記載の有機トランジスタ。
- 基板がフレキシブル基板であることを特徴とする、請求項1から2のいずれかに記載の有機トランジスタ。
- 第1の有機分子薄膜を用いないことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の有機トランジスタ。
Priority Applications (1)
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-
2005
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