JP5062220B2 - 高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法 - Google Patents
高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5062220B2 JP5062220B2 JP2009121171A JP2009121171A JP5062220B2 JP 5062220 B2 JP5062220 B2 JP 5062220B2 JP 2009121171 A JP2009121171 A JP 2009121171A JP 2009121171 A JP2009121171 A JP 2009121171A JP 5062220 B2 JP5062220 B2 JP 5062220B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- firing
- mol
- substrate
- dielectric constant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
Al2O3は磁器組成物の強度を保持するために必要である。40モル%未満では磁器組成物の抗折力が低下し、焼成時の形状維持も困難となる。しかし、65モル%を超える含有は、目的とする低温度での焼結ができなくなる。したがって40〜65モル%とするが、より好ましくは55〜60モル%である。
B2O3はガラスを形成し、磁器組成物の焼結温度低下に大きく寄与する。また高周波域でのQ値のすぐれた結晶相の形成にも必要である。B2O3が15モル%を下回るとき、1000℃以下の低温焼結が困難となり、35モル%を超えるときはQ値が低下してくる。より好ましいのは25〜30モル%である。
CaOは1000℃以下での焼成温度にてSiO2、B2O3およびAl2O3とともにガラスと結晶相を形成する。また、誘電率の温度依存性を小さくする効果がある。10モル%未満では1000℃以下での焼結が困難になり、20モル%を超える含有は誘電率の温度変化率が大きくなってしまう。より好ましいのは12.5〜17モル%の範囲である。
ZnOは焼結温度を低下させる作用があり、Q値を高める効果もある。このような効果を得るためには、0.1モル%以上の含有が必要である。しかし、多すぎる含有はかえってQを低下させてしまうので、14モル%までとする。より好ましいのは0.1〜5モル%である。
MnOは、含有させなくてもよいが、含有させるとZnOと同様焼結温度を低下させ、Q値を高める効果がある。その効果を得るためには、0.1モル%以上の含有が望ましいが、多すぎるとQ値を低下させるので、2モル%以下とするのがよい。
アルカリ金属元素Li、NaおよびKの酸化物R2Oは、ガラスを形成させる作用があり、焼結温度の低下に大きな効果がある。これらは含有させなくてもよいが、その効果を得るため含有させる場合は0.1モル%以上が好ましい。しかし、多すぎると大幅にQ値を低下させるので2モル%までとするが、望ましいのは0.5モル%以下である。
Ln2O3は高周波域でのQ値を向上させる効果があり、とくにQ値を向上させたいときに含有させるとよい。この効果を得るためには、0.1モル%以上の含有が好ましい。ただし、多く含有させすぎると低温での焼結困難、誘電率の温度変化率増大を来すので、2モル%以下とする。この希土類元素酸化物は、単独で添加すると低温焼成の場合その含有効果が十分発揮されないことがあるので、あらかじめLn2O3:45〜50モル%およびB2O3:50〜55モル%の混合物を焼結などにより合成しておき、これの粉末の形で添加するとよい。なお、このときに添加されるB2O3の量は、SiO2およびB2O3の合計量が15〜35モル%となる範囲内になければならない。
酸化物の形として表1および表2に示す組成となる、Al2O3、SiO2、B2O3、CaO、ZnO、MnO、R2O(RはLi、NaまたはKを示す)、Ln2O3(LnはY、LaまたはNdを示す)の原料を、水を加えてジルコニアボールを用いたボールミルにて20時間湿式混合した後乾燥し、750℃にて3時間仮焼した。なお、原料としてのCaO、およびR2Oは、いずれも炭酸塩の形で用いた。
表3に示す組成範囲の磁器組成物を、Al2O3を除く他の成分は1400℃にて溶融し水冷してガラス化した後、このガラス粉末とAl2O3を粉末とを10質量%のPVA水溶液バインダーを添加して混錬造粒した。この混錬物を参考例1と同様にして、円柱状試験片を作製し、焼成に必要な温度を調査し、焼結後誘電特性を測定した。
Claims (2)
- 少なくともLnBO 3 結晶を有する高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法であって、
Ln 2 O 3 (LnはY、La、およびNdの希土類元素の一種以上)およびB 2 O 3 の混合物を合成する工程と、
前記混合物、Al 2 O 3 、CaO、およびZnOを混合した原料を1000℃以下の温度で焼成する工程と、を含み、
前記原料は、酸化物として表示される成分がモル%にて、Al2O3:40〜65%、B2O3:15〜35%、CaO:10〜20%、ZnO:0.1〜14%、MnO:0〜2%(但し、0%を含む)、およびR2O(RはLi、NaおよびKの一種以上):0〜2%(但し、0%を含む)、およびLn2O3:0.1〜2%を含むことを特徴とする高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法。 - 前記混合物は、45〜50モル%のLn 2 O 3 と、50〜55モル%のB 2 O 3 が混合されてなることを特徴とする請求項1に記載の高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009121171A JP5062220B2 (ja) | 2009-05-19 | 2009-05-19 | 高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009121171A JP5062220B2 (ja) | 2009-05-19 | 2009-05-19 | 高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002272874A Division JP4534413B2 (ja) | 2002-09-19 | 2002-09-19 | 高周波部品用低誘電率磁器組成物の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009179560A JP2009179560A (ja) | 2009-08-13 |
JP5062220B2 true JP5062220B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=41033805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009121171A Expired - Fee Related JP5062220B2 (ja) | 2009-05-19 | 2009-05-19 | 高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5062220B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW524786B (en) * | 1998-01-23 | 2003-03-21 | Du Pont | Glass composition, castable dielectric composition and tape composition made therewith |
JP3033568B1 (ja) * | 1998-11-11 | 2000-04-17 | 日本電気株式会社 | 低温焼成ガラスセラミックス |
-
2009
- 2009-05-19 JP JP2009121171A patent/JP5062220B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009179560A (ja) | 2009-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5321066B2 (ja) | セラミック組成物およびセラミック基板 | |
KR20130135862A (ko) | 결정성 유리 분말 | |
US8575052B2 (en) | Dielectric ceramic, method for producing dielectric ceramic, and electronic component | |
Lv et al. | Influence of CaO–B2O3–SiO2 crystallizable glass on microstructure and microwave dielectric of LiMg0. 9Zn0. 1PO4 ceramics for LTCC substrate applications | |
JP2002104870A (ja) | 誘電体磁器および積層体 | |
JP3737774B2 (ja) | 誘電体セラミック組成物 | |
JP4613826B2 (ja) | セラミック基板用組成物、セラミック基板、セラミック基板の製造方法およびガラス組成物 | |
JP5481781B2 (ja) | 誘電体磁器 | |
JP2009023895A (ja) | セラミックス基板及びその製造方法 | |
JP5527053B2 (ja) | 誘電体磁器、誘電体磁器の製造方法及び電子部品 | |
JP4534413B2 (ja) | 高周波部品用低誘電率磁器組成物の製造方法 | |
JP5062220B2 (ja) | 高周波部品用低誘電率磁器基板の製造方法 | |
JP2012051750A (ja) | 誘電体磁器組成物の製造方法および積層型セラミック電子部品 | |
JP4337818B2 (ja) | 磁器組成物 | |
JP4442077B2 (ja) | 高周波部品用磁器組成物 | |
JP2012051751A (ja) | 誘電体磁器組成物および積層型セラミック電子部品 | |
JP5527052B2 (ja) | 誘電体磁器、誘電体磁器の製造方法及び電子部品 | |
JP3909366B2 (ja) | 低誘電率磁器組成物とその磁器組成物を用いた電子回路用基板の製造方法 | |
JP2005213138A (ja) | 低温焼成用高誘電率セラミック組成物 | |
JP4325920B2 (ja) | 誘電体磁器組成物および誘電体磁器の製造方法 | |
JP2009227483A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
JP3754827B2 (ja) | 高周波用誘電体磁器組成物および積層体 | |
JP4047050B2 (ja) | 低温焼成磁器組成物及び低温焼成磁器並びにそれを用いた配線基板 | |
JP3909367B2 (ja) | 低誘電率磁器組成物とその磁器組成物を用いた電子回路用基板の製造方法 | |
JP3631589B2 (ja) | 誘電体磁器組成物および積層体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111013 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120710 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5062220 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |