JP5061805B2 - Cof配線基板の製造方法 - Google Patents
Cof配線基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5061805B2 JP5061805B2 JP2007238407A JP2007238407A JP5061805B2 JP 5061805 B2 JP5061805 B2 JP 5061805B2 JP 2007238407 A JP2007238407 A JP 2007238407A JP 2007238407 A JP2007238407 A JP 2007238407A JP 5061805 B2 JP5061805 B2 JP 5061805B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- wiring
- nickel
- nickel plating
- wiring board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
このCOF配線基板の製造方法には、サブトラクティブ法やアディティブ法、セミアディティブ法がある。
この場合、実際の前記第1導体(ニッケル・銅合金)の厚さは、前記第2導体の厚さに比べて非常に薄く、短時間で除去することができるため、特別なエッチングレジストは用いずにクイックエッチングする場合が多い。
すなわち、本発明によるCOF用配線基板の製造方法は、絶縁性フィルムの表面にシード層と導電層とレジスト層とを順次積層してなる基材を準備し、所定の配線パターンを有するマスクを用いて前記レジスト層を露光し現像して得られる開口部が配線パターンとなるめっき用マスクを得、次いで、電気銅めっき法により配線パターンを形成し、次いで、前記めっき用マスクを除去することなく前記シード層除去後にニッケルめっき厚が0.1μm〜1.0μmとなるように予め溶解分だけ厚くニッケルめっきを施し、その後前記めっき用マスク、前記導電層、前記シード層を順次除去し、次に配線に金めっきを施すことを特徴とする。
先ず、図1(1)に示すように、絶縁性フィルム上にスパッタ法にてシード層を形成する。絶縁性フィルムとしては、ポリイミドフィルムやポリアミドフィルムが使用でき、ポリイミドとしては、東レデュポン社製のカプトン、宇部興産製のユーピレックス、カネカ製のアピカルなど一般的なポリイミドフィルムが使用可能である。シード層の材質としては、ニッケル−クロム合金等の如き絶縁性フィルムとの密着性が良好で、耐食性などに優れたものが選択される。次に図1(2)に示すように、シード層の表面全面に銅などの導電層を形成する。
Claims (3)
- 絶縁性フィルムの表面にシード層と導電層とレジスト層とを順次積層してなる基材を準備し、所定の配線パターンを有するマスクを用いて前記レジスト層を露光し現像して得られる開口部が配線パターンとなるめっき用マスクを得、次いで、電気銅めっき法により配線パターンを形成し、次いで、前記めっき用マスクを除去することなく前記シード層除去後にニッケルめっき厚が0.1μm〜1.0μmとなるように予め溶解分だけ厚くニッケルめっきを施し、その後前記めっき用マスク、前記導電層、前記シード層を順次除去し、次に配線に金めっきを施すことを特徴とするCOF配線基板の製造方法。
- 前記金めっきを施す前あるいは前記金めっきを施した後、所定部分にソルダーレジストをコートする請求項1に記載のCOF配線基板の製造方法。
- 前記ニッケルめっきが電解ニッケルめっき及び/又は無電解ニッケルめっきである請求項1又は2に記載のCOF配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007238407A JP5061805B2 (ja) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | Cof配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007238407A JP5061805B2 (ja) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | Cof配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009071066A JP2009071066A (ja) | 2009-04-02 |
JP5061805B2 true JP5061805B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=40607007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007238407A Active JP5061805B2 (ja) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | Cof配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5061805B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020213133A1 (ja) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 | 半導体装置 |
CN111584436A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-25 | 上海天马微电子有限公司 | 覆晶薄膜及其制造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59106181A (ja) * | 1982-12-10 | 1984-06-19 | 東洋紙業株式会社 | プリント配線基板の製造方法 |
JP2001068828A (ja) * | 1999-08-27 | 2001-03-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板及びその製造方法 |
JP2002026172A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-25 | Nec Kansai Ltd | フレキシブル配線基板およびその製造方法 |
JP4211246B2 (ja) * | 2001-07-23 | 2009-01-21 | 日立電線株式会社 | 配線基板の製造方法 |
JP4622181B2 (ja) * | 2001-07-24 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 電子部品実装基板の製造方法 |
-
2007
- 2007-09-13 JP JP2007238407A patent/JP5061805B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009071066A (ja) | 2009-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7537668B2 (en) | Method of fabricating high density printed circuit board | |
JP2006278774A (ja) | 両面配線基板の製造方法、両面配線基板、およびそのベース基板 | |
US20050274689A1 (en) | Printed wiring board, production process thereof and semiconductor device | |
TW201720241A (zh) | 多層撓性印刷配線板及其製造方法 | |
TWI400024B (zh) | 配線基板及其製造方法 | |
TWI603659B (zh) | Printed circuit board and connector to connect the circuit board | |
JP2006278837A (ja) | フレキシブルプリント配線板の製造方法及びフレキシブルプリント配線板 | |
JP2006310491A (ja) | 配線回路基板および配線回路基板の製造方法 | |
JP2007013018A (ja) | 配線回路基板 | |
US20070023877A1 (en) | Chip on flex tape with dimension retention pattern | |
US20200389980A1 (en) | Systems and Methods of Manufacturing Circuit Boards | |
JP5061805B2 (ja) | Cof配線基板の製造方法 | |
CN101310571A (zh) | 印刷线路板及其制造方法和使用方法 | |
KR20110009790A (ko) | 플렉서블 인쇄 회로 기판 및 그 제조 방법 | |
JP2010016061A (ja) | プリント配線板およびその製造方法 | |
JP2001111201A (ja) | 配線板の製造方法およびそれを用いて製造された配線板 | |
JP4549807B2 (ja) | 多層プリント配線板の製造方法、多層プリント配線板及び電子装置 | |
JP4345742B2 (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP4882857B2 (ja) | フレキシブルプリント回路板 | |
JP2008263026A (ja) | Cof配線基板およびその製造方法 | |
JP2002198635A (ja) | 配線板及びその製造方法 | |
WO2005027221A1 (en) | Chip on flex tape with dimension retention pattern | |
JPH10270630A (ja) | 半導体装置用基板及びその製造方法 | |
JP2005332906A (ja) | フレキシブルプリント配線板及びその製造方法 | |
JP4415985B2 (ja) | 金属転写板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090116 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111025 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120710 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5061805 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |