JP5061567B2

JP5061567B2 - 露光装置の焦点位置調整方法

Info

Publication number: JP5061567B2
Application number: JP2006273689A
Authority: JP
Inventors: 幸治末永; 悟加藤
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd; Fujifilm Business Innovation Corp
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 2006-10-05
Filing date: 2006-10-05
Publication date: 2012-10-31
Anticipated expiration: 2026-10-05
Also published as: JP2008090209A

Description

本発明は、特に、発光素子アレイと結像素子レンズアレイとを備えた露光装置の焦点位置調整方法

従来より、複写機やプリンタ等の画像形成装置では、露光装置によって感光体を画像に応じて露光することにより静電潜像を形成し、該静電潜像をトナー現像することにより感光体上に形成されたトナー像を被転写媒体に転写することで画像を形成している。

感光体に静電潜像を形成するための光源としては、従来からＬＤ（ＬａｓｅｒＤｉｏｄｅ）が用いられてきたが、近年ではＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）素子などの発光素子を各画素に対応して一列に配置した発光素子アレイと、各発光素子から出力された光を感光体表面に結像させるようセルフォックレンズなどの結像レンズを配置した結像素子レンズアレイとを備える露光装置が用いられている。

このような露光装置を用いた画像形成装置では、発光素子アレイの各ＬＥＤ素子を画像データに基づいて駆動させ、画像データに基づく光を出力し、結像レンズによって出力された光を感光体表面に結像させることにより、感光体を画像データに基づいて露光すると共に、感光体と露光装置とを相対移動させる（この移動方向を「副走査方向」という）ことにより、露光位置を移動させて感光体上に画像を形成する。

しかしながら、かかる露光装置を備える画像装置では、複数の発光素子を搭載するＬＥＤ素子毎の性能のばらつきや、各発光素子のばらつき、結像素子レンズアレイの屈折率分布のばらつき、レンズの配列乱れ、発光素子アレイと結像素子レンズアレイの組み立て誤差、ＬＥＤ素子の焦点位置や発光光量のばらつきなどにより、濃度ムラが発生しやすい。この濃度ムラは画質低下の原因となる。
このため、特許文献１では、焦点位置で印字した後、ＬＥＤヘッドを平行移動させて再び印字を実施し、パターンより感光体とのずれ量を計算し焦点を調整する方法が開示されているが、ＬＥＤヘッドの位置をずらして複数枚印字出力する必要があり、時間がかかり生産性が悪い。

また、特許文献２では、ＬＥＤ基板あるいはレンズを弾性変形させる手段により焦点位置を調整する方法が開示されているが、レンズの変形方向が一方向しかできないため、全体でロバスト性の高い位置合わせを行うことは困難である。

さらに、特許文献３は、長さの異なる位置決め部材を選択してＬＥＤヘッドを位置決めする方法が開示されているが、多くの位置決め部材が必要であり、ＬＥＤヘッドの構成が複雑になる。また位置決め部材のばらつきにより焦点位置を精確に調整することは困難である。
また、特許文献４は、光プリントヘッド（ＬＥＤヘッドに相当）に偏心カムを当接させ、偏心カムの軸を回転させることで光プリントヘッドの焦点位置を調整しているが、偏心カムを回転させる機構が別途必要となり光プリントヘッドのサイズが大きくなってしまうという課題を持っている。
特開昭６２−１６６３７２号公報特開平９−１８５７号公報特開２００３−１１４１４号公報特開２００３−２８５４７１号公報

本発明は上記事実を考慮し、ＬＥＤヘッドの焦点位置のバラツキにより生じる画像装置の濃度ムラを小さくすることができる露光装置の焦点位置調整方法を得ることを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、複数の発光素子が列状に並んで配置された基板と、前記発光素子が発光した光を被露光体に結像させる結像素子と、前記基板及び前記結像素子を支持する支持部材と、前記支持部材を前記被露光体に対して接離させる方向へ移動させる焦点位置調整手段と、を備える露光装置の焦点位置調整方法において、各前記発光素子の焦点位置を求めた座標上の焦点位置データから回帰直線を求め、該回帰直線の傾きを０にしたときの前記焦点位置データの最大値及び最小値から該焦点位置データの中央値を算出し、該中央値が前記被露光体の表面に位置するように前記焦点位置調整手段で支持部材の位置を調整する。

請求項１に記載の発明では、複数の発光素子が列状に並んで配置された基板、及び発光素子が発光した光を被露光体に結像させる結像素子の少なくとも一方は、支持部材によって支持される。そして、結像素子を被露光体に対して接離させる方向へ移動させる焦点位置調整手段によって発光素子の焦点位置を調整する。

複数配列された発光素子の焦点位置にはバラツキが生じるため、各発光素子の焦点位置を求めた座標上の焦点位置データから回帰直線を求め、該回帰直線の傾きを０にしたとき、回帰直線上にある発光素子の焦点位置が被露光体の表面となるように、焦点位置調整手段で結像素子の位置を調整する。これにより、発光素子の焦点位置は被露光体の表面となり、発光素子の焦点位置のバラツキにより生じる画像装置の濃度ムラを小さくすることができる。回帰直線自体が焦点位置データのバラツキの中心にない場合、焦点位置データの中央値と回帰直線とのずれ量分を加算或いは除算して、支持部材の位置を調整することで、画像装置において大きな濃度ムラが生じないようにすることができる。

ここで、焦点位置調整手段を支持部材に形成し、支持部材自体に支持部材の位置を調整する調整機能を形成させることで、支持部材に複雑な位置調整装置を設ける必要もなく、支持部材が大きくなることもない。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の露光装置の焦点位置調整方法において、前記焦点位置調整手段が、前記結像素子を前記被露光体に対して接離させる方向に沿って前記支持部材に形成された第１ネジ孔と、前記第１ネジ孔にねじ込み可能に設けられ、前記被露光体を支持する本体側フレームに先端部が当接して被露光体に対して前記支持部材を接離させる調整ピンと、前記第１ネジ孔と直交する方向に形成され、該第１ネジ孔と繋がる第２ネジ孔と、前記第２ネジ孔へねじ込まれ、前記調整ピンの側面を押圧して該調整ピンを固定する固定ネジと、を含んで構成されたことを特徴とする。

請求項２に記載の発明では、結像素子を被露光体に対して接離させる方向に沿って支持部材には第１ネジ孔を形成し、該第１ネジ孔に調整ピンをねじ込み可能としている。この調整ピンの先端部が被露光体を支持する本体側フレームに当接し、第１ネジ孔にねじ込み量によって、支持部材を被露光体に対して接離させる。また、支持部材には、第１ネジ孔と直交する方向に、該第１ネジ孔と繋がる第２ネジ孔を形成し、該第２ネジ孔へ固定ネジをねじ込むことで、調整ピンの側面を押圧して該調整ピンを固定するようにしている。

このように、調整ピンのねじ込み量によって発光素子の位置を調整することができるため、調整が容易である。また、複雑な機構を用いないため、コストが安い。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の露光装置の焦点位置調整方法において、前記焦点位置は、前記被露光体上での前記発光素子の濃度の変調伝達関数による最大値として求められることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載の露光装置の焦点位置調整方法において、前記焦点位置は、前記被露光体上での前記発光素子のビーム径の最小値として求められることを特徴とする。

つまり、各発光素子の焦点位置を求めた座標上の焦点位置データから回帰直線を求め、該回帰直線の傾き及び回帰直線と被露光体との距離との関係の少なくとも一方に基づいて、焦点位置調整手段で支持部材の位置を調整することで、発光素子の焦点位置を被露光体の表面に設定することができ、発光素子の焦点位置のバラツキにより生じる画像装置の濃度ムラを小さくすることができる。

以上説明したように本発明によれば、発光素子の焦点位置のバラツキにより生じる画像装置の濃度ムラを小さくすることができる。

本発明の実施の形態に係る露光装置としてのＬＥＤヘッドについて説明する。

図１に示すように、電子写真方式によって記録用紙などの記録媒体に画像を形成する画像形成装置１０に、ＬＥＤヘッド１００が用いられている。

画像形成装置１０は、像担持体としてのドラム型の電子写真感光体、即ち、感光体ドラム１２が、軸心Ｇを回転中心に回転可能に支持されている。矢印Ｋ方向に回転する感光体ドラム１２の表面は帯電装置１４によって帯電する。帯電した感光体ドラム１２は、露光装置としてのＬＥＤヘッド１００が発光する画像情報に応じた光で露光されることで、静電潜像が形成される。この静電潜像は現像装置１６によって現像され、感光体ドラム１２上にトナー像が形成される。

用紙トレイ（図示略）に収容されていた記録用紙が用紙搬送経路Ｐに沿って搬送されると、前述した感光体ドラム１２に形成されたトナー像が、転写装置１８によって、搬送されてきた記録用紙に転写される。トナー像が転写された記録用紙は、定着装置（図示略）に搬送されトナー像が定着された後、装置外に排出される。また、転写されずに残った残留トナーは、クリーニング装置２０で除去され、除電装置２２で除電される。

図１と図２とに示すように、ＬＥＤヘッド１００は、全体が四角柱形状を成し、その長手方向は感光体ドラム１２の軸心Ｇと同方向である。また、ＬＥＤヘッド１００は、金属からなる支持部材１０２を備え、この支持部材１０２は断面が四角形状の基板支持部１０４を備えている。

この基板支持部１０４の上面１０４Ａには、第一基板１５０が取り付けられており、第一基板１５０の上面には、発光素子としてのＬＥＤアレイ１５２が長手方向（感光体ドラム１２の軸心Ｇ方向）に並んで実装されている。

ここで、ＬＥＤアレイ１５２は、ＰＮＰＮ構造発光サイリスタを有し、シフトレジスタの機能をＬＥＤアレイ１５２自体が有している、いわゆる、自己走査型ＬＥＤ（ＳＬＥＤ：Ｓｅｌｆ−ｓｃａｎｎｉｎｇＬＥＤ）アレイである。この自己走査型ＬＥＤアレイは、接続される信号線の本数を自己走査型でないＬＥＤアレイより大幅に少なくすることが可能になる。よって、第一基板１５０を小型化できる。

また、基板支持部１０４の上面１０４Ａの反対側の下面１０４Ｂには、第二基板１７０が取り付けられており、第二基板１７０の両面には、各種電子部品１７６（図３参照、コンデンサや抵抗）等が実装されている。また、第二基板１７０の下面には、第一基板１５０に実装されているＬＥＤアレイ１５２を駆動する駆動素子１７２と、外部と電気的に接続するコネクタ１７４と、が実装されている。なお、第二基板１７０の幅（長手方向と直交する方向、感光体ドラム１２の回転軸Ｇ方向と直交する方向）は、第一基板１５０より幅広である（図１参照）。

この第一基板１５０と第二基板１７０とは、フレキシブル配線基板１９０で電気的に接続されており、フレキシブル配線基板１９０は、熱圧着、若しくは異方性導電膜の熱圧着で、第一基板１５０及び第二基板１７０と共に外側の面に接続されている。なお、ＬＥＤアレイ１５２は、自己走査型ＬＥＤアレイであり、接続される信号線の本数は自己走査型でないＬＥＤアレイより大幅に少ないので、フレキシブル配線基板１９０も幅狭にできる。

一方、図３に示すように、基板支持部１０４の下面１０４Ｂには、各種電子部品１７６（コンデンサや抵抗）が収まる凹部１０４Ｃが形成されている。しかし、駆動素子１７２が実装されている領域には凹部１０４Ｃは形成していない。よって、第二基板１７０の上面の、駆動素子１７２が実装されている領域は、支持部材１０２の基板支持部１０４の下面１０４Ｂが面接触しており、熱伝導性が良く、放熱効果が高い。

また、図１、図２に示すように、結像素子支持部１０６が、基板支持部１０４の上面１０４Ａから感光体ドラム１２（図１参照）に向かって延びている。この結像素子支持部１０６には、ＬＥＤアレイ１５２が発光した光を感光体ドラム１２に結像させる分布屈折率レンズ、いわゆる、セルフォックレンズ９０Ａ（「セルフォック」は、日本板硝子（株）の登録商標）を備えるレンズアレイ９０が取り付けられている。そして、基板支持部１０４の上面１０４Ａには、図１と図２とに想像線（二点破線）で示すように、第一基板１５０が露出しないように、樹脂製のカバー１０８も取り付けられている。

図２及び図４に示すように、支持部材１０２の基板支持部１０４の、第一基板１５０が取り付けられている長手方向の両外側には、挿通孔１１０，１１１が上下に貫通しており、基板支持部１０４の下面１０４Ｂ側にはネジ孔部１１０Ａ，１１１Ａが形成されている。挿通孔１１０，１１１内へは、調整ピン１１２，１１３が挿通可能となっており、調整ピン１１２，１１３の基部には、ネジ部１１２Ａ，１１３Ａが形成され、ネジ孔部１１０Ａ，１１１Ａにねじ込み可能となっている。

更に、支持部材１０２の基板支持部１０４の側面には、挿通孔１１０，１１１と直交する方向にネジ孔１２０，１２１が形成されており、ネジ孔１２０，１２１の先端は挿通孔１１０，１１１と繋がっている。そして、このネジ孔１２０，１２１にはセットスクリュー１２２，１２３がねじ込まれている。

図４に示すように、調整ピン１１２，１１３が、基板支持部１０４の上面１０４Ａから突出した状態で、セットスクリュー１２２，１２３を締め込んでいくことで、セットスクリュー１２２，１２３の先端が調整ピン１１２，１１３の側面を押圧し、調整ピン１１２，１１３が固定される。

ここで、図３に示すように、支持部材１０２は付勢バネ２４により感光体ドラム１２（図１参照）側に付勢されており、固定された調整ピン１１２，１１３の先端が、画像形成装置１０に設けられた位置決め部２６に当たることで、感光体ドラム１２とＬＥＤヘッド１００との間隔が決まる。

つまり、基板支持部１０４の上面１０４Ａから突出する調整ピン１１２，１１３の突出量Ｍ_１，Ｍ_２（ＬＥＤヘッド１００の基板支持部１０４の下面１０４Ｂを基準にするとＨ_１，Ｈ_２）を調整することで、感光体ドラム１２とＬＥＤヘッド１００との間隔を調整して、ＬＥＤヘッド１００の焦点位置を調整することができる。

次に、ＬＥＤヘッド１００の基板支持部１０４の下面１０４Ｂから調整ピン１１２，１１３の先端までの距離Ｈ_１，Ｈ_２を調整する調整方法（ＬＥＤヘッド１００の焦点位置の調整方法）について説明する。

まず、図５のステップ１００において、図６に示すように、基板支持部１０４の下面１０４Ｂから測定した、ＬＥＤヘッド１００の各ＬＥＤアレイ１５２の発光位置に対するＭＴＦ（白黒の線幅のチャートを撮影し、そのチャート像のコントラストがどれだけ減少したか、その比率を示すものであり、いわゆる変調伝達関数のこと）による最大焦点位置を求める（最大焦点位置データ（以下、「ＭＴＦデータＳ」という）。そして、ステップ１０２において、各ＬＥＤアレイ１５２のＭＴＦデータＳを読み込む。

次に、ステップ１０４において、調整ピン１１２を通る線と感光体ドラム１２の表面位置の交わる点を原点とする座標系に、読み込んだＭＴＦデータＳを図７に示すようにプロットし（ＭＴＦデータＳ_１）、最小二乗法により回帰直線Ｐを求める（Ｚ＝ａＸ＋ｂ）。そして、ステップ１０６において、この回帰直線Ｐにより調整ピン１１２，１１３の位置におけるずれ量ｈ_１およびｈ_２を算出する。これにより、ｈ_１＝ｂ（Ｘ＝０）、ｈ_２＝ａＲ＋ｂ（Ｘ＝Ｒ）が求められる。

次に、ステップ１０８において、この回帰直線Ｐの傾きおよび切片が「０」となるように、ＭＴＦデータＳ_１および回帰直線Ｐの補正を行う（図８に示すように、補正後をＭＴＦデータＳ_２、回帰直線Ｑとする）。次に、ステップ１１０において、補正した後のＭＴＦデータＳ_２の最大値（Ｍａｘ）及び最小値（Ｍｉｎ）からＭＴＦデータＳ_２の中央値（Ｍ）を算出する（Ｍ＝（Ｍａｘ＋Ｍｉｎ）／２）。

そして、ステップ１１２において、補正した後のＭＴＦデータＳ_２の最小値（Ｍｉｎ）とＺ＝０との距離（Ｎ）を算出し、ステップ１１４で、回帰直線Ｑが中央値（Ｍ）と一致するように移動させるときの距離ＯＳ（ＯＳ＝Ｍ−Ｎ）を算出する（図８参照）。

次に、ステップ１１６において、調整ピン１１２，１１３の先端と移動後の回帰直線Ｑ_１までの距離がＬＥＤアレイ１５２の焦点位置となるように、ＬＥＤヘッド１００の基板支持部１０４の下面１０４Ｂから調整ピン１１２，１１３の先端までの距離Ｈ_１，Ｈ_２（図３参照）を算出する。

Ｈ_１＝Ｈ_１’＋ｈ_１＝（Ｑ）＋（ＯＳ）−（Ｐ）＋ｈ_１・・・（式１）
Ｈ_２＝Ｈ_２’＋ｈ_２＝（Ｑ）＋（ＯＳ）−（Ｐ）＋ｈ_２・・・（式２）
ここで、Ｐは調整ピン１１２，１１３の先端からＬＥＤアレイ１５２の焦点位置までの距離であり、いわゆる設計値である。

次に、ステップ１１８において、調整ピン１１２，１１３を回転させ、ＬＥＤヘッド１００の基板支持部１０４の下面１０４Ｂから調整ピン１１２，１１３の先端までの距離が、それぞれＨ_１，Ｈ_２となるようにする。そして、ステップ１２０で、図５に示すセットスクリュー１２２，１２３を締め込み、調整ピン１１２，１１３の側面を押圧し、調整ピン１１２，１１３を固定する。以上のような調整により、ＬＥＤアレイ１５２の焦点を感光体ドラム１２表面に合わせることができる。

なお、セットスクリュー１２２，１２３に、緩み防止用のネジ止め剤としての接着剤を塗布しておいた方が、調整ピン１１２，１１３の位置が固定後ずれにくくなるので好適である。また、接着剤としては、空気が遮断されると硬化する嫌気性接着剤が適している。

つぎに、本実施形態の作用について説明する。

図５に示すように、ＬＥＤヘッド１００の基板支持部１０４の下面１０４Ｂから調整ピン１１２，１１３の先端までの距離Ｈ_１，Ｈ_２を調整することで、感光体ドラム１２とＬＥＤヘッド１００との間隔を調整できるようにしているが、ＬＥＤヘッド１００自体にネジ孔部１１０Ａ，１１１Ａを形成し、該ネジ孔部１１０Ａ，１１１Ａへ調整ピン１１２，１１３をねじ込むことで、ＬＥＤヘッド１００の位置が調整できるようにしている。

このように、ＬＥＤヘッド１００の位置を調整する調整機能をＬＥＤヘッド１００自体に形成することで、ＬＥＤヘッド１００に複雑な位置調整装置を設ける必要もなく、ＬＥＤヘッド１００が大きくなることもない。また、調整ピン１１２，１１３のねじ込み量によってＬＥＤヘッド１００の位置を調整することができるため、調整が容易である。また、複雑な機構を用いないため、コストが安い。

次に、複数配列されたＬＥＤアレイ１５２の焦点位置にはバラツキが生じるため、本形態では、まず、各ＬＥＤアレイ１５２の焦点位置を求めたＭＴＦデータＳから座標上に回帰直線Ｐを求め、この回帰直線Ｐの傾きおよび切片が「０」となるように、ＭＴＦデータＳ_１および回帰直線Ｐの補正を行う（補正後；ＭＴＦデータＳ_２及び回帰直線Ｑ）。

そして、補正した後のＭＴＦデータＳ_２の中央値（Ｍ）を算出して、回帰直線Ｑとの距離ＯＳ分を算出し、ＬＥＤヘッド１００の基板支持部１０４の下面１０４Ｂから調整ピン１１２，１１３の先端までの距離Ｈ_１，Ｈ_２を算出する。このＬＥＤヘッド１００の基板支持部１０４の下面１０４Ｂから調整ピン１１２，１１３の先端までの距離が、それぞれＨ_１，Ｈ_２となるように調整ピン１１２，１１３の先端の位置を調整する。

ここで、図８に示すように、回帰直線Ｑ自体がＭＴＦデータＳ_２のバラツキの中心にない場合もあるため、ＭＴＦデータＳ_２の中央値（Ｍ）と回帰直線Ｑとの距離ＯＳ分を加算或いは除算して、ＬＥＤヘッド１００の位置を調整するようにすることで、画像形成装置１０において大きな濃度ムラが生じないようにすることができる。つまり、ロバスト性の高い焦点位置調整が可能となる。

なお、ＭＴＦデータＳ_２のバラツキによっては、ＭＴＦデータＳ_２の中央値（Ｍ）と回帰直線Ｑとの距離ＯＳ分の補正は必ずしも必要ではない。

そして、このような、図５に示すアルゴリズムを画像装置の制御ソフトに組み込むことにより、自動化が容易になり生産性を向上させることが可能である。

なお、本形態では、焦点位置として、感光体ドラム１２上でのＬＥＤアレイ１５２の濃度の変調伝達関数による最大値を測定したが、ＬＥＤアレイ１５２の焦点位置を測定することができればよいため、感光体ドラム１２上でのＬＥＤアレイ１５２のビーム径の最小値を測定しても良い。

また、本発明は上記の実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、被露光体はドラム状の感光体ドラム１２であったが、ベルト状のベルト感光体であっても良い。

本発明の実施形態に係るＬＥＤヘッドを備える画像形成装置の要部を模式的に示す図である。本発明の実施形態に係るＬＥＤヘッドを模式的に示す斜視図である。本発明の実施形態に係るＬＥＤヘッドを模式的に示す正面図である。本発明の実施形態に係るＬＥＤヘッドの断面図である。本発明の実施形態に係るＬＥＤヘッドの焦点位置を調整する調整方法を示すフローチャートである。ＬＥＤヘッドの焦点位置データを説明する図である。ＬＥＤヘッドの焦点位置データを補正する方法を説明する説明図である。ＬＥＤヘッドの焦点位置データを補正する方法を説明する説明図である。

符号の説明

１０画像形成装置
９０レンズアレイ（結像素子）
１００ＬＥＤヘッド（露光装置）
１０２支持部材
１０４基板支持部（支持部材）
１１０Ａ第１ネジ孔部（焦点位置調整手段）
１１１Ａ第１ネジ孔部（焦点位置調整手段）
１１２調整ピン（焦点位置調整手段）
１１３調整ピン（焦点位置調整手段）
１２０Ａ第２ネジ孔（焦点位置調整手段）
１２１Ａ第２ネジ孔（焦点位置調整手段）
１２２セットスクリュー（固定ネジ、焦点位置調整手段）
１２３セットスクリュー（固定ネジ、焦点位置調整手段）
１５０第一基板（基板）
１５２ＬＥＤアレイ（発光素子）
Ｐ回帰直線
Ｑ回帰直線
Ｑ_１回帰直線
ＳＭＴＦデータ（焦点位置データ）
Ｓ_１ＭＴＦデータ（焦点位置データ）
Ｓ_２ＭＴＦデータ（焦点位置データ）

Claims

複数の発光素子が列状に並んで配置された基板と、
前記発光素子が発光した光を被露光体に結像させる結像素子と、
前記基板及び前記結像素子を支持する支持部材と、
前記支持部材を前記被露光体に対して接離させる方向へ移動させる焦点位置調整手段と、
を備える露光装置の焦点位置調整方法において、
各前記発光素子の焦点位置を求めた座標上の焦点位置データから回帰直線を求め、該回帰直線の傾きを０にしたときの前記焦点位置データの最大値及び最小値から該焦点位置データの中央値を算出し、該中央値が前記被露光体の表面に位置するように前記焦点位置調整手段で支持部材の位置を調整する露光装置の焦点位置調整方法。
前記焦点位置調整手段は、
前記結像素子を前記被露光体に対して接離させる方向に沿って前記支持部材に形成された第１ネジ孔と、
前記第１ネジ孔にねじ込み可能に設けられ、前記被露光体を支持する本体側フレームに先端部が当接して被露光体に対して前記支持部材を接離させる調整ピンと、
前記第１ネジ孔と直交する方向に形成され、該第１ネジ孔と繋がる第２ネジ孔と、
前記第２ネジ孔へねじ込まれ、前記調整ピンの側面を押圧して該調整ピンを固定する固定ネジと、
を含んで構成されたことを特徴とする請求項１に記載の露光装置の焦点位置調整方法。
前記焦点位置は、前記被露光体上での前記発光素子の濃度の変調伝達関数による最大値として求められることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置の焦点位置調整方法。
前記焦点位置は、前記被露光体上での前記発光素子のビーム径の最小値として求められることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の露光装置の焦点位置調整方法。