JP5059324B2 - 光学顕微鏡装置 - Google Patents
光学顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5059324B2 JP5059324B2 JP2006000845A JP2006000845A JP5059324B2 JP 5059324 B2 JP5059324 B2 JP 5059324B2 JP 2006000845 A JP2006000845 A JP 2006000845A JP 2006000845 A JP2006000845 A JP 2006000845A JP 5059324 B2 JP5059324 B2 JP 5059324B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting surface
- light
- specimen
- optical microscope
- factor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
図1は、実施の形態1にかかる光学顕微鏡装置1の概要構成を示すブロック図である。図1に示すように、この光学顕微鏡装置1は、照明光を出射する光源10と、照明光を平行光に変換するコレクタレンズ11と、平行光に変換された照明光を標本13に集光するコンデンサレンズ12と、照明光の集光によって標本13が発した光をカバーガラス14を介して受光する対物レンズ15aと、複数の対物レンズ15a,15bを収納するレボルバ16と、対物レンズ15aによって平行光に変換された光を分割するハーフミラー17と、ハーフミラー17を透過した光を反射面形状を可変して反射するアダプティブミラー18と、アダプティブミラー18で反射された光を結像させる結像光学系19と、結像光学系19によって結像された光を光電変換して観察画像を取得するCCDカメラ20と、CCDカメラ20によって取得された観察画像の光量をもとにアダプティブミラー18の反射面形状を可変に制御する制御部21と、アダプティブミラー18に印加する複数の電圧値である電圧パターンを記憶する補正テーブル22とを有する。制御部21は、レボルバ16を回転させて対物レンズ15a,15bの配置制御を行うとともに補正テーブル22に記憶されている電圧パターンを読込み、読込んだ電圧パターンをアダプティブミラー18に印加する。
つぎに、この発明の実施の形態2である光学顕微鏡装置について説明する。実施の形態1では、透過照明型の光学顕微鏡装置1にアダプティブミラー18を用いて焦点位置の修正および収差の補正を行うようにしていたが、この実施の形態2では、走査型共焦点型の光学顕微鏡装置にアダプティブミラーを用いて焦点位置の修正および収差の補正を行うようにしている。
10 光源
11 コレクトレンズ
12 コンデンサレンズ
13 標本
14 カバーガラス
15a,15b,39 対物レンズ
16 レボルバ
17 ハーフミラー
18,35 アダプティブミラー
19 結像光学系
20 CCDカメラ
21,44 制御部
22,45 補正テーブル
31 レーザ光源
32 コリメート光学系
33 ダイクロイックミラー
34 反射ミラー
36 スキャナ
37 投影レンズ
38 中間結像レンズ
40 蛍光標本
41 結像レンズ
42 共焦点ピンホール
43 PMT
Claims (9)
- 照明光を標本に照射し、前記標本が発する光を観察する光学顕微鏡装置において、
前記標本が発した光を受光する受光部と、
前記照明光を反射する反射面形状を可変に形成して前記照明光を反射する反射面可変部と、
熱ドリフトを要因とする前記照明光の焦点位置の変位および収差の変化に対応して前記焦点位置の修正および前記収差の補正を行うための熱ドリフト要因に対応する複数の反射面形状と、前記標本を被覆するカバーガラスの厚さの変化を要因とする前記照明光の焦点位置の変位および収差の変化に対応して前記焦点位置の修正および前記収差の補正を行うためのカバーガラス要因に対応する複数の反射面形状とを記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶する前記熱ドリフト要因に対応する複数の反射面形状と前記カバーガラス要因に対応する複数の反射面形状を前記反射面可変部に形成させる制御を行う反射面制御部と、を具備し、
前記反射面制御部は、前記受光部によって取得された観察画像が、ピントのずれた不鮮明な画像であった場合、前記記憶部に記憶された前記熱ドリフト要因に対応する複数の反射面形状を順次選択して該反射面形状を前記反射面可変部に形成させ、前記受光部が受光した光の光量が最大となる前記熱ドリフト要因に対応する反射面形状を選択した後、前記記憶部に記憶された前記カバーガラス要因に対応する複数の反射面形状を順次選択して該反射面形状を前記反射面可変部に形成させ、前記受光部が受光した光の光量が最大となる前記カバーガラス要因に対応する反射面形状を選択する
ことを特徴とする光学顕微鏡装置。 - 前記記憶部は、前記標本に前記照明光を集光する対物レンズごとに前記複数の反射面形状を記憶することを特徴とする請求項1に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記記憶部は、前記標本を照明する光の波長ごとに前記複数の反射面形状を記憶することを特徴とする請求項1に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記熱ドリフト要因に対応する反射面形状は、低次の関数にしたがって近似され、前記カバーガラス要因に対応する反射面形状は、高次の関数にしたがって近似されることを特徴とする請求項1に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記反射面可変部は、電圧値によって前記反射面形状が可変するアダプティブミラーであることを特徴とする請求項1に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記記憶部は、前記アダプティブミラーに印加する電圧値を記憶することを特徴とする請求項5に記載の光学顕微鏡装置。
- 照明光を標本に照射し、前記標本が発する光を観察する光学顕微鏡装置において、
前記標本が発した光を受光する受光部と、
電極を有し、該電極に電圧を印加することで、前記照明光を反射する反射面形状を可変に形成して前記照明光を反射する反射面可変部と、
前記反射面可変部の電極に印加し、熱ドリフトを要因とする前記照明光の焦点位置の変位および収差の変化に対応して前記焦点位置の修正および前記収差の補正を行うための熱ドリフト要因に対応する複数の電圧値と、前記標本を被覆するカバーガラスの厚さの変化を要因とする前記照明光の焦点位置の変位および収差の変化に対応して前記焦点位置の修正および前記収差の補正を行うためのカバーガラス要因に対応する複数の電圧値とを記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶する前記熱ドリフト要因に対応する複数の電圧値と前記カバーガラス要因に対応する複数の電圧値を前記反射面可変部に印加し、複数の反射面形状を形成させる制御を行う反射面制御部と、を具備し、
前記反射面制御部は、前記受光部によって取得された観察画像が、ピントのずれた不鮮明な画像であった場合、前記記憶部に記憶された前記熱ドリフト要因に対応する複数の電圧値を前記反射面可変部に順次選択して印加し、該反射面形状を前記反射面可変部に形成させ、前記受光部が受光した光の光量が最大となる前記熱ドリフト要因に対応する電圧値を選択した後、前記記憶部に記憶された前記カバーガラス要因に対応する複数の電圧値を前記反射面可変部に順次選択して印加し、該反射面形状を前記反射面可変部に形成させ、前記受光部が受光した光の光量が最大となる前記カバーガラス要因に対応する電圧値を選択する
ことを特徴とする光学顕微鏡装置。 - 前記記憶部は、前記標本に前記照明光を集光する対物レンズごとに前記複数の電圧値を記憶することを特徴とする請求項7に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記記憶部は、前記標本を照明する光の波長ごとに前記複数の電圧値を記憶することを特徴とする請求項7に記載の光学顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006000845A JP5059324B2 (ja) | 2005-01-11 | 2006-01-05 | 光学顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005004025 | 2005-01-11 | ||
JP2005004025 | 2005-01-11 | ||
JP2006000845A JP5059324B2 (ja) | 2005-01-11 | 2006-01-05 | 光学顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006221150A JP2006221150A (ja) | 2006-08-24 |
JP5059324B2 true JP5059324B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=36983496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006000845A Expired - Fee Related JP5059324B2 (ja) | 2005-01-11 | 2006-01-05 | 光学顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5059324B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002033271A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-01-31 | Nikon Corp | 投影露光方法、それを用いたデバイス製造方法、及び投影露光装置 |
JP4502104B2 (ja) * | 2002-04-12 | 2010-07-14 | 株式会社ジェイエイアイコーポレーション | 複合プリズム光学系を有する撮像装置 |
JP2004191424A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-08 | Olympus Corp | 撮像装置 |
JP4149309B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2008-09-10 | オリンパス株式会社 | 走査型光学顕微鏡 |
-
2006
- 2006-01-05 JP JP2006000845A patent/JP5059324B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006221150A (ja) | 2006-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7345816B2 (en) | Optical microscope | |
AU2005264061B2 (en) | Method and apparatus for fluorescent confocal microscopy | |
JP3082346B2 (ja) | 蛍光コンフォーカル顕微鏡 | |
JP5452180B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
US20100085636A1 (en) | Optical System for a Confocal Microscope | |
JP7109130B2 (ja) | 顕微鏡 | |
JPWO2008081729A1 (ja) | レーザ走査共焦点顕微鏡 | |
EP2572226A1 (en) | Autofocus imaging | |
JP4307815B2 (ja) | 共焦点レーザ走査型顕微鏡装置及びそのプログラム | |
JP2011530708A (ja) | 多重スポット走査装置におけるレンズ歪みの測定及び補正 | |
JP6173154B2 (ja) | 顕微鏡システム | |
JP3280969B2 (ja) | 可視光および紫外光の共焦点結像装置 | |
JP4928351B2 (ja) | 顕微鏡 | |
JP2008233883A (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JP5495740B2 (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
JP2008051576A (ja) | 形状測定装置および形状測定方法 | |
JP5059324B2 (ja) | 光学顕微鏡装置 | |
JP2008026643A (ja) | レーザ走査型顕微鏡 | |
JP4974689B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
JP4898588B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
WO2022145391A1 (ja) | 走査型共焦点顕微鏡および走査型共焦点顕微鏡の調整方法 | |
JP4963567B2 (ja) | 微小高さ測定装置 | |
JP2013160893A (ja) | 顕微鏡とその収差補正方法 | |
JP4874012B2 (ja) | レーザ走査型顕微鏡およびレーザ走査型顕微鏡の画像取得方法 | |
JP4245869B2 (ja) | 走査画像の補正方法、そのプログラム、及びレーザ走査型顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120731 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120802 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5059324 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |