JP5055549B2 - 液浸露光装置 - Google Patents
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まず、図1から図5を用いて本発明に係る液浸露光装置の第1実施形態について説明する。特に、本実施形態では、液浸露光装置の構成を説明しつつ、第1実施形態について説明する。
次に、図6及び図7を用いて本発明に係る液浸露光装置の第2実施形態について説明する。
L…液体
50…ウエハ
100…液浸露光装置
110…光照射装置
120…レチクル
130…レチクルステージ
131…定盤
140…投影光学機構
141…レンズ面
150…ウエハステージ
151…定盤
160…測距手段
170…ステージ制御部
180…液浸制御部
200…液体給排装置
210…液体供給装置
220…液体回収装置
230、330…液体保持部材
231、331…外側壁面
232、332…内側壁面
233、333…頂点
240…電圧印加手段
250…供給管
251…供給口
260…回収管
261…回収口
Claims (6)
- 液体を用いて被露光体に回路パターンを露光する液浸露光装置であって、
前記被露光体を保持する被露光体保持部材と、
光源から所定のパターンを有する遮光材に光を照射する照射手段と、
前記光にて照射されて形成される遮光材のパターンを前記被露光体に投影する投影手段と、
前記被露光体と前記投影手段との間に構成される空間に前記液体を供給する液体供給手段と、
前記空間に供給された液体を排出する液体排出手段と、
前記投影手段の周囲に設けられ、当該投影手段における被露光体に対する露光位置が変化する際に、前記空間内に供給された液体を当該露光位置に保持するための液体保持部材と、
を備え、
前記液体保持部材が撥水特性を有し、内側壁面と、該内側壁面と形成する鋭角の頂点が前記被露光体の上面に対向するように設けられる外側壁面と、で形成されており、
前記内側壁面と前記外側壁面のうち、いずれか一方が前記被露光体の上面に対して垂直に構成される垂直面であり、他方が前記被露光体の上面と鋭角を形成する傾斜面であり、
前記内側壁面には、前記液体供給手段と前記液体排出手段のうちいずれか一方が設けられている、ことを特徴とする液浸露光装置。 - 請求項1に記載の液浸露光装置において、
前記液体保持部材が、該液体保持部材と前記空間内に供給された前記液体との表面張力を利用して該液体を前記露光位置に保持する、液浸露光装置。 - 請求項1又は2に記載の液浸露光装置において、
前記液体保持部材に該液体保持部材の撥水特性を向上させるための静電界を印加する印加手段をさらに備える、液浸露光装置。 - 請求項1乃至3の何れか一項に記載の液浸露光装置において、前記液体保持部材が親水特性を有する、液浸露光装置。
- 請求項4に記載の液浸露光装置において、
前記液体保持部材に該液体保持部材の親水特性を向上させるための静電界を印加する印加手段をさらに備える、液浸露光装置。 - 請求項1乃至5の何れか一項に記載の液浸露光装置において、
前記液体保持部材に、前記垂直面と前記傾斜面とによって形成される円形上の突起部分に接合され、前記光路軸を中心とした半径方向の外側方向に傾斜する円形リングが設けられている、液浸露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007073891A JP5055549B2 (ja) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 液浸露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007073891A JP5055549B2 (ja) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 液浸露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008235620A JP2008235620A (ja) | 2008-10-02 |
JP5055549B2 true JP5055549B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=39908058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007073891A Active JP5055549B2 (ja) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 液浸露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5055549B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104238274A (zh) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | 上海微电子装备有限公司 | 浸没式光刻机浸没流场维持装置及方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1036211A1 (nl) * | 2007-12-03 | 2009-06-04 | Asml Netherlands Bv | Lithographic Apparatus and Device Manufacturing Method. |
GB2470049B (en) * | 2009-05-07 | 2011-03-23 | Zeiss Carl Smt Ag | Optical imaging with reduced immersion liquid evaporation effects |
NL2006054A (en) | 2010-02-09 | 2011-08-10 | Asml Netherlands Bv | Fluid handling structure, lithographic apparatus and device manufacturing method. |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1571697A4 (en) * | 2002-12-10 | 2007-07-04 | Nikon Corp | EXPOSURE SYSTEM AND DEVICE PRODUCTION METHOD |
WO2005041276A1 (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-06 | Nikon Corporation | 露光装置、露光方法、デバイスの製造方法 |
JP4295712B2 (ja) * | 2003-11-14 | 2009-07-15 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置及び装置製造方法 |
US7050146B2 (en) * | 2004-02-09 | 2006-05-23 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
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JP4802604B2 (ja) * | 2005-08-17 | 2011-10-26 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
-
2007
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CN104238274A (zh) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | 上海微电子装备有限公司 | 浸没式光刻机浸没流场维持装置及方法 |
CN104238274B (zh) * | 2013-06-19 | 2016-12-28 | 上海微电子装备有限公司 | 浸没式光刻机浸没流场维持装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008235620A (ja) | 2008-10-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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