JP5055257B2 - 圧縮樹脂封止成形に用いられる液状樹脂材料の計量供給方法及び装置 - Google Patents
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Description
本発明は、半導体素子等の小形の電子部品を樹脂材料にて封止成形するための圧縮樹脂封止成形に用いられる液状樹脂材料の計量供給方法とこの方法を用いる液状樹脂材料の計量供給装置の改良に係り、特に、液状樹脂材料の定量計測を高精度に行うと共に、その定量の液状樹脂材料を圧縮樹脂封止成形用型内に効率良く且つ迅速に供給することができるように改善したものに関する。
小形の樹脂成形品、例えば、樹脂製レンズを成形する場合において、液状樹脂材料の有効利用率を向上させる目的で、予め、レンズの成形に必要な樹脂量を計量して予備的な成形品を形成し、次に、この予備的な成形品を成形型内に供給して所定形状のレンズを成形することが行われている。
例えば、図１１に示すように、まず、可塑化機構１にて可塑化した液状樹脂材料２を該可塑化機構内のスクリュー１１にて撹拌しながら押出して上下方向に設けられたシリンダ３内に注入・充填し、次に、このシリンダ３内の液状樹脂材料２１をピストン３０にて加圧しながら上方へ移送して該シリンダ上端部に設けた吐出口３１からプレート４の上面位置に吐出し、次に、このプレート４の上面に吐出された樹脂材料２２をカッター５にて切断することにより、この定量の樹脂材料２２（予備的な成形品）を図外の成形型内に供給するように構成した樹脂材料計量装置が提案されている（特許文献１参照）。
また、上下両型から成る圧縮樹脂封止成形型の下型キャビティ内に液状の熱硬化性樹脂材料を供給して、この液状樹脂材料中に基板上の電子部品を浸漬させると共に、この液状樹脂材料に所定の加熱及び型締圧力を加えて該電子部品を樹脂封止成形する、所謂、電子部品の圧縮樹脂封止成形（圧縮成形）方法が採用されているが、この方法において、下型のキャビティ内に液状の熱硬化性樹脂材料を供給するには、通常、ディスペンサが用いられている。例えば、ディスペンサの本体を上下両型間に進退可能となるように装設して上下両型の型開時に該ディスペンサ本体を上下両型間に進入させると共に、該ディスペンサの先端ノズルから所定量の液状熱硬化性樹脂材料を吐出させるようにしている（例えば、特許文献２参照）。
特開２００８−１９０９９６号公報（図１・図４等）
特開２００３−１６５１３３号公報（第４頁第５欄第７〜１４行目、第９図、第１１図等）
例えば、図１１に示すように、まず、可塑化機構１にて可塑化した液状樹脂材料２を該可塑化機構内のスクリュー１１にて撹拌しながら押出して上下方向に設けられたシリンダ３内に注入・充填し、次に、このシリンダ３内の液状樹脂材料２１をピストン３０にて加圧しながら上方へ移送して該シリンダ上端部に設けた吐出口３１からプレート４の上面位置に吐出し、次に、このプレート４の上面に吐出された樹脂材料２２をカッター５にて切断することにより、この定量の樹脂材料２２（予備的な成形品）を図外の成形型内に供給するように構成した樹脂材料計量装置が提案されている（特許文献１参照）。
また、上下両型から成る圧縮樹脂封止成形型の下型キャビティ内に液状の熱硬化性樹脂材料を供給して、この液状樹脂材料中に基板上の電子部品を浸漬させると共に、この液状樹脂材料に所定の加熱及び型締圧力を加えて該電子部品を樹脂封止成形する、所謂、電子部品の圧縮樹脂封止成形（圧縮成形）方法が採用されているが、この方法において、下型のキャビティ内に液状の熱硬化性樹脂材料を供給するには、通常、ディスペンサが用いられている。例えば、ディスペンサの本体を上下両型間に進退可能となるように装設して上下両型の型開時に該ディスペンサ本体を上下両型間に進入させると共に、該ディスペンサの先端ノズルから所定量の液状熱硬化性樹脂材料を吐出させるようにしている（例えば、特許文献２参照）。
上記特許文献１に開示された樹脂材料計量装置の構成によれば、プレート４の上面位置に吐出された樹脂材料２２の量は、上下シリンダ３内におけるピストン３０の上方移動長さによって決定されるので高精度な計量を行うことが期待できる。
一方、このような計量装置の構成においては可塑化機構１等を備える必要があるため、全体的な装置形状が必然的に大型化されると云った問題がある。
また、該樹脂材料計量装置の構成においては、まず、樹脂材料をスクリュー１１で撹拌しながら加熱と摩擦熱により溶融化して流動性を有する液状樹脂材料２を生成し、次に、該液状樹脂材料を上下シリンダ３内に注入・充填し、次に、該上下シリンダ内の液状樹脂材料２１をプレート４の上面位置に吐出し、次に、該吐出樹脂材料をカッター５にて切断して予備的な成形品(22)を形成し、更に、この予備的な成形品を成形型内に供給することになるため、樹脂材料の加熱溶融化工程から液状樹脂材料の計量工程を経て吐出樹脂材料の切断工程を行い、更に、切断した吐出樹脂材料を成形型内に供給する工程と云った一連の樹脂材料計量及びその供給の各工程における樹脂材料の温度管理が面倒になると云った問題がある。
更に、この樹脂材料計量装置は、まず、成形に必要な樹脂量を計量して予備的な成形品を形成し、その後に、この予備的な成形品を成形型内に供給して所定形状の樹脂成形を行う場合に用いられるものであるから、液状樹脂材料の定量を計測してその定量の液状樹脂材料を流動性を有する液体の状態で所定の供給個所へ供給するような場合には不向きであり、実質的にはこれを採用することができないと云った問題がある。
一方、このような計量装置の構成においては可塑化機構１等を備える必要があるため、全体的な装置形状が必然的に大型化されると云った問題がある。
また、該樹脂材料計量装置の構成においては、まず、樹脂材料をスクリュー１１で撹拌しながら加熱と摩擦熱により溶融化して流動性を有する液状樹脂材料２を生成し、次に、該液状樹脂材料を上下シリンダ３内に注入・充填し、次に、該上下シリンダ内の液状樹脂材料２１をプレート４の上面位置に吐出し、次に、該吐出樹脂材料をカッター５にて切断して予備的な成形品(22)を形成し、更に、この予備的な成形品を成形型内に供給することになるため、樹脂材料の加熱溶融化工程から液状樹脂材料の計量工程を経て吐出樹脂材料の切断工程を行い、更に、切断した吐出樹脂材料を成形型内に供給する工程と云った一連の樹脂材料計量及びその供給の各工程における樹脂材料の温度管理が面倒になると云った問題がある。
更に、この樹脂材料計量装置は、まず、成形に必要な樹脂量を計量して予備的な成形品を形成し、その後に、この予備的な成形品を成形型内に供給して所定形状の樹脂成形を行う場合に用いられるものであるから、液状樹脂材料の定量を計測してその定量の液状樹脂材料を流動性を有する液体の状態で所定の供給個所へ供給するような場合には不向きであり、実質的にはこれを採用することができないと云った問題がある。
また、上記特許文献２に開示されたディスペンサを用いる樹脂材料供給装置の構成によれば、次のような問題がある。
電子部品を樹脂封止するための材料として液状熱硬化性樹脂材料を使用する場合、例えば、半導体基板上に装着した発光ダイオード（ＬＥＤチップ）をシリコーン樹脂にて封止成形するようなときは、該液状熱硬化性樹脂材料が短時間で硬化すると云う樹脂成形上の問題があるため、下型キャビティ内への液状熱硬化性樹脂材料の供給作業と、基板上の発光ダイオードを下型キャビティ内の液状熱硬化性樹脂材料中に浸漬させる作業を迅速に且つ効率良く行う必要がある。
即ち、下型キャビティ内への液状熱硬化性樹脂材料の供給作業が迅速に行われないときはその熱硬化反応が促進されて高粘度状態となるため下型キャビティ内の隅々にまで該液状熱硬化性樹脂材料を均一に供給することができず、その結果、下型キャビティ内への樹脂充填不足と云った不具合を生じることになる。また、高粘度状態の液状熱硬化性樹脂材料中に発光ダイオードを浸漬させようとするとその金線ワイヤを変形させ或はこれを切断することがあり、その結果、電気的接続不良の状態で樹脂封止成形が行われると云った樹脂封止成形上の重大な弊害が発生する。
なお、上下両型間に複数のキャビティ部を配設してこれらのキャビティ部の夫々に基板を装填セットする大型の圧縮樹脂封止成形装置を用いる場合は、各キャビティ内の夫々に液状熱硬化性樹脂材料を供給することになるが、その全部の樹脂材料供給工程が終了した時点での各キャビティ内における熱硬化性樹脂材料の夫々は異なる粘度を有することになる。このため、発光ダイオードの液状熱硬化性樹脂材料中への浸漬工程を均一な条件下において行うことができず、前記したと同様に、該樹脂材料中に浸漬させた発光ダイオードの金線ワイヤを変形させ或はこれを切断して電気的接続不良の状態で樹脂封止成形が行われる等の重大な弊害が発生し、均等で高品質性・高信頼性を備えた電子部品の圧縮樹脂封止成形品を効率良く且つ確実に成形することができないと云った樹脂成形上の重大な問題がある。
また、大型の圧縮樹脂封止成形装置を用いる場合においては、例えば、各キャビティ内への液状熱硬化性樹脂材料の供給作業を夫々同時に行うことにより、各キャビティ内における液状熱硬化性樹脂材料の粘度を夫々均等にすることができる。しかしながら、このときは、上記したディスペンサの配設数を増加させる等の必要があって全体的な装置構造が更に複雑化され或はその全体形状が更に大型化すると云った問題がある。
電子部品を樹脂封止するための材料として液状熱硬化性樹脂材料を使用する場合、例えば、半導体基板上に装着した発光ダイオード（ＬＥＤチップ）をシリコーン樹脂にて封止成形するようなときは、該液状熱硬化性樹脂材料が短時間で硬化すると云う樹脂成形上の問題があるため、下型キャビティ内への液状熱硬化性樹脂材料の供給作業と、基板上の発光ダイオードを下型キャビティ内の液状熱硬化性樹脂材料中に浸漬させる作業を迅速に且つ効率良く行う必要がある。
即ち、下型キャビティ内への液状熱硬化性樹脂材料の供給作業が迅速に行われないときはその熱硬化反応が促進されて高粘度状態となるため下型キャビティ内の隅々にまで該液状熱硬化性樹脂材料を均一に供給することができず、その結果、下型キャビティ内への樹脂充填不足と云った不具合を生じることになる。また、高粘度状態の液状熱硬化性樹脂材料中に発光ダイオードを浸漬させようとするとその金線ワイヤを変形させ或はこれを切断することがあり、その結果、電気的接続不良の状態で樹脂封止成形が行われると云った樹脂封止成形上の重大な弊害が発生する。
なお、上下両型間に複数のキャビティ部を配設してこれらのキャビティ部の夫々に基板を装填セットする大型の圧縮樹脂封止成形装置を用いる場合は、各キャビティ内の夫々に液状熱硬化性樹脂材料を供給することになるが、その全部の樹脂材料供給工程が終了した時点での各キャビティ内における熱硬化性樹脂材料の夫々は異なる粘度を有することになる。このため、発光ダイオードの液状熱硬化性樹脂材料中への浸漬工程を均一な条件下において行うことができず、前記したと同様に、該樹脂材料中に浸漬させた発光ダイオードの金線ワイヤを変形させ或はこれを切断して電気的接続不良の状態で樹脂封止成形が行われる等の重大な弊害が発生し、均等で高品質性・高信頼性を備えた電子部品の圧縮樹脂封止成形品を効率良く且つ確実に成形することができないと云った樹脂成形上の重大な問題がある。
また、大型の圧縮樹脂封止成形装置を用いる場合においては、例えば、各キャビティ内への液状熱硬化性樹脂材料の供給作業を夫々同時に行うことにより、各キャビティ内における液状熱硬化性樹脂材料の粘度を夫々均等にすることができる。しかしながら、このときは、上記したディスペンサの配設数を増加させる等の必要があって全体的な装置構造が更に複雑化され或はその全体形状が更に大型化すると云った問題がある。
本発明は、電子部品の圧縮樹脂封止成形用型に定量の液状樹脂材料をその流動性を保ちながら効率良く供給することができる液状樹脂材料の計量供給方法とこの方法を用いる液状樹脂材料の計量供給装置を提供することを目的とするものである。
また、本発明は、特に、小型化された電子部品の圧縮樹脂封止成形装置に組み込んで好適に実施することができる液状樹脂材料の計量供給方法とこの方法を用いる小型の計量供給装置を提供することを目的とするものである。
また、本発明は、特に、小型化された電子部品の圧縮樹脂封止成形装置に組み込んで好適に実施することができる液状樹脂材料の計量供給方法とこの方法を用いる小型の計量供給装置を提供することを目的とするものである。
前記した課題を解決するための請求項１に係る発明は、少なくとも上下両型から成る電子部品の樹脂封止成形用型に単数枚の基板セット用下型キャビティを配置して、前記基板上に装着した電子部品を前記下型キャビティ内に供給した液状樹脂材料中に浸漬させると共に、前記液状樹脂材料に所定の加熱作用及び加圧作用を加えて前記基板上の電子部品を圧縮樹脂封止成形する方法に用いられる前記液状樹脂材料の計量供給方法であって、
貯溜部に液状樹脂材料を貯溜する液状樹脂材料の貯溜工程を行い、
次に、通路切替部を介して、前記貯溜部に貯溜された液状樹脂材料を計量部に移送し且つこれを計量して定量を計測する液状樹脂材料の定量計測工程を行い、
次に、前記通路切替部を介して、前記定量計測工程を経た定量の液状樹脂材料を吐出部に移送する定量液状樹脂材料の吐出工程を行い、
次に、前記通路切替部及び吐出部へ圧縮エアを給気して前記通路切替部内及び吐出部内の滞溜液状樹脂材料を外部へ排出する滞溜液状樹脂材料の排出工程を行うことを特徴とする。
貯溜部に液状樹脂材料を貯溜する液状樹脂材料の貯溜工程を行い、
次に、通路切替部を介して、前記貯溜部に貯溜された液状樹脂材料を計量部に移送し且つこれを計量して定量を計測する液状樹脂材料の定量計測工程を行い、
次に、前記通路切替部を介して、前記定量計測工程を経た定量の液状樹脂材料を吐出部に移送する定量液状樹脂材料の吐出工程を行い、
次に、前記通路切替部及び吐出部へ圧縮エアを給気して前記通路切替部内及び吐出部内の滞溜液状樹脂材料を外部へ排出する滞溜液状樹脂材料の排出工程を行うことを特徴とする。
また、前記の課題を解決するための請求項２に係る発明は、前記した液状樹脂材料の貯溜工程と前記液状樹脂材料の定量計測工程との間に、前記貯溜部に貯溜された液状樹脂材料を加圧した状態で前記計量部側に移送する液状樹脂材料の加圧移送工程を行うことを特徴とする。
また、前記の課題を解決するための請求項３に係る発明は、前記した液状樹脂材料の貯溜工程、液状樹脂材料の定量計測工程、定量液状樹脂材料の吐出工程及び滞溜液状樹脂材料の排出工程の全ての工程或はその一部の工程において、前記液状樹脂材料を冷却又は加熱する液状樹脂材料の温度管理工程を行うことを特徴とする。
前記した課題を解決するための請求項４に係る発明は、前記した液状樹脂材料が、電子部品の封止成形に用いられる液状熱硬化性樹脂材料であることを特徴とする。
また、前記した課題を解決するための請求項５に係る発明は、少なくとも上下両型から成る電子部品の樹脂封止成形用型に単数枚の基板セット用下型キャビティを配置して、前記基板上に装着した電子部品を前記下型キャビティ内に供給した液状樹脂材料中に浸漬させると共に、前記液状樹脂材料に所定の加熱作用及び加圧作用を加えて前記基板上の電子部品を圧縮樹脂封止成形する樹脂封止成形装置に用いられる前記液状樹脂材料の計量供給装置であって、
液状樹脂材料を貯溜する液状樹脂材料の貯溜部と、
前記貯溜部の液状樹脂材料を計量して定量を計測する液状樹脂材料の計量部と、
前記計量部にて計量した液状樹脂材料を前記下型キャビティ内に移送する定量液状樹脂材料の吐出部と、
前記吐出部への圧縮エア給気部と、
前記液状樹脂材料の貯溜部と液状樹脂材料の計量部、又は、前記液状樹脂材料の計量部と定量液状樹脂材料の吐出部、又は、前記定量液状樹脂材料の吐出部と圧縮エア給気部とを連通接続させるための連通路を形成した通路切替部とが備えられていることを特徴とする。
液状樹脂材料を貯溜する液状樹脂材料の貯溜部と、
前記貯溜部の液状樹脂材料を計量して定量を計測する液状樹脂材料の計量部と、
前記計量部にて計量した液状樹脂材料を前記下型キャビティ内に移送する定量液状樹脂材料の吐出部と、
前記吐出部への圧縮エア給気部と、
前記液状樹脂材料の貯溜部と液状樹脂材料の計量部、又は、前記液状樹脂材料の計量部と定量液状樹脂材料の吐出部、又は、前記定量液状樹脂材料の吐出部と圧縮エア給気部とを連通接続させるための連通路を形成した通路切替部とが備えられていることを特徴とする。
また、前記の課題を解決するための請求項６に係る発明は、前記した液状樹脂材料の貯溜部に、前記貯溜部に貯溜された液状樹脂材料を加圧して前記計量部側に移送する液状樹脂材料の加圧移送手段を配設して構成したことを特徴とする。
また、前記の課題を解決するための請求項７に係る発明は、前記した液状樹脂材料の計量部が、前記通路切替部の連通路に連通接続されたシリンダと、このシリンダ内に密に嵌装されたプランジャと、このプランジャを往復駆動させるための往復駆動機構とから構成されていることを特徴とする。
また、前記の課題を解決するための請求項８に係る発明は、前記液状樹脂材料の計量部にて計量される液状樹脂材料の定量が、前記シリンダ内に密に嵌装されたプランジャの往復移動ストローク長に基づいて設定されていることを特徴とする。
また、前記の課題を解決するための請求項９に係る発明は、前記した液状樹脂材料の貯溜部、液状樹脂材料の計量部、定量液状樹脂材料の吐出部、圧縮エア給気部の全ての部位或はその一部の部位に、前記液状樹脂材料を冷却又は加熱する液状樹脂材料の温度管理手段を配設して構成したことを特徴とする。
また、前記の課題を解決するための請求項１０に係る発明は、前記した液状樹脂材料の貯溜部と液状樹脂材料の計量部及び定量液状樹脂材料の吐出部が装置本体に対して着脱自在となるように構成されていることを特徴とする。
本発明に係る液状樹脂材料の計量供給方法及び装置を用いるときは、液状樹脂材料の定量計測を高精度に行うことができると共に、その定量の液状樹脂材料をその流動性を保ちながら電子部品の圧縮樹脂封止成形用型における下型キャビティ内へ効率良く且つ確実に移送供給することができる。
また、計量供給装置形状の簡略化及び小型化が図れるため、卓上型等に小型化された電子部品の圧縮樹脂封止成形装置に組み込んで好適に実施することができると共に、計量供給装置の取り扱いや操作性を向上させることができる。
また、計量供給装置の構成部品についての交換作業が容易となるため被計量液状樹脂材料の変更に即応させることができると共に、計量供給装置の保守点検作業を簡略化することができる。
また、液状樹脂材料の定量計測及び定量液状樹脂材料の供給時間を短縮化することができるため液状樹脂材料に対する温度管理を効率良く且つ確実に行うことができる。
更に、液状樹脂材料が計量供給装置内に残溜するのを効率良く且つ確実に防止することができるため、計量供給装置内に残溜した液状樹脂材料に基因する計量上の不具合や移送供給上の不具合、及び、異なる種類の液状樹脂材料が下型キャビティ内に供給される等の不具合の発生を未然に防止することができる。
また、計量供給装置形状の簡略化及び小型化が図れるため、卓上型等に小型化された電子部品の圧縮樹脂封止成形装置に組み込んで好適に実施することができると共に、計量供給装置の取り扱いや操作性を向上させることができる。
また、計量供給装置の構成部品についての交換作業が容易となるため被計量液状樹脂材料の変更に即応させることができると共に、計量供給装置の保守点検作業を簡略化することができる。
また、液状樹脂材料の定量計測及び定量液状樹脂材料の供給時間を短縮化することができるため液状樹脂材料に対する温度管理を効率良く且つ確実に行うことができる。
更に、液状樹脂材料が計量供給装置内に残溜するのを効率良く且つ確実に防止することができるため、計量供給装置内に残溜した液状樹脂材料に基因する計量上の不具合や移送供給上の不具合、及び、異なる種類の液状樹脂材料が下型キャビティ内に供給される等の不具合の発生を未然に防止することができる。
次に、図を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明に係る液状樹脂材料の計量供給装置を備えた電子部品の圧縮樹脂封止成形装置の全体形状を概略的に示しており、また、図２は液状樹脂材料の計量供給装置の要部を示しており、また、図３乃至図５は液状樹脂材料の計量供給についての説明図であり、また、図６は計量供給装置における吐出部に備えられたゲートノズルについての説明図であり、また、図７乃至図１０は電子部品の圧縮樹脂封止成形についての説明図である。
まず、図１乃至図６を参照して、本発明に係る液状樹脂材料の計量供給装置Ａについて詳述する。
上記液状樹脂材料の計量供給装置Ａには、流動性を有する液状樹脂材料200 を貯溜するための貯溜部100 と、この貯溜部100 に貯溜された液状樹脂材料200 を計量してその定量を計測する液状樹脂材料の計量部300 と、この計量部300 にて計量した定量液状樹脂材料の吐出部400 と、この吐出部400 への圧縮エア給気部500 と、図２(2) に拡大して図示するように、貯溜部100 と計量部300 、又は、計量部300 と吐出部400 、又は、吐出部400 と圧縮エア給気部500 とを連通状態として各別に接続させるための連通路601 を形成した通路切替部600 とが備えられている。
また、上記液状樹脂材料の貯溜部100 、液状樹脂材料の計量部300 及び定量液状樹脂材料の吐出部400 は、後述するように、計量供給装置Ａの本体に対して着脱自在（容易に着脱できる状態）となるように装着されている。
また、上記通路切替部600 は、インサートプレート700 の中心部に配設されている。
この通路切替部600 には、図２(2) に示すように、図において前後方向に配設されている筒状の装着部材701 と、該筒状装着部材内において回転可能に且つ密に（両者が密接している状態）として嵌装された分岐バルブ部材602 と、該分岐バルブ部材を所定の回転角度位置に回転制御させるためのサーボ機構等の回転制御機構603 （図１(2) 参照）が設けられている。
なお、上記筒状装着部材701 は、適宜な回止部材（図示なし）にてインサートプレート700 に対して固定されており、従って、該筒状装着部材はインサートプレート700 に対して回転しないように設けられている。
また、上記筒状装着部材701 の仮想同一円周線上における上方位置には貯溜部100 側との連通口702 が、また、その下方位置には吐出部400 側との連通口703 が、また、その一方の横位置（図では、右横）には計量部300 側との連通口704 が、また、その他方の横位置（図では、左横）には圧縮エア給気部500 側との連通口705 が形成されている。
更に、制御部（図示なし）からの指示を受けて分岐バルブ部材602 が回転されると、上記したように、分岐バルブ部材602 に形成した連通路601 の位置が、貯溜部100 と計量部300 、又は、計量部300 と吐出部400 、又は、吐出部400 と圧縮エア給気部500 とのいずれかと連通接続されるように構成されている。
この通路切替部600 には、図２(2) に示すように、図において前後方向に配設されている筒状の装着部材701 と、該筒状装着部材内において回転可能に且つ密に（両者が密接している状態）として嵌装された分岐バルブ部材602 と、該分岐バルブ部材を所定の回転角度位置に回転制御させるためのサーボ機構等の回転制御機構603 （図１(2) 参照）が設けられている。
なお、上記筒状装着部材701 は、適宜な回止部材（図示なし）にてインサートプレート700 に対して固定されており、従って、該筒状装着部材はインサートプレート700 に対して回転しないように設けられている。
また、上記筒状装着部材701 の仮想同一円周線上における上方位置には貯溜部100 側との連通口702 が、また、その下方位置には吐出部400 側との連通口703 が、また、その一方の横位置（図では、右横）には計量部300 側との連通口704 が、また、その他方の横位置（図では、左横）には圧縮エア給気部500 側との連通口705 が形成されている。
更に、制御部（図示なし）からの指示を受けて分岐バルブ部材602 が回転されると、上記したように、分岐バルブ部材602 に形成した連通路601 の位置が、貯溜部100 と計量部300 、又は、計量部300 と吐出部400 、又は、吐出部400 と圧縮エア給気部500 とのいずれかと連通接続されるように構成されている。
また、上記液状樹脂材料の貯溜部100 は、インサートプレート700 に嵌着した筒状装着部材701 における上方連通口702 との接続孔706 に対して着脱自在となるように装着されている。
図例においては、一端（上端）が開口された樹脂製シリンダ101 を用いると共に、その他端（下端）の接続部位101ａ は上記接続孔706 に対して密に嵌合されている。
また、通常の場合、このシリンダ101 はシリンダガイド102 及び該シリンダガイドの固定部材103 を介してインサートプレート700 の上面に保持されているが、交換時等においては、シリンダ101 のみをシリンダガイド102 から抜き出すことができるように設けられている。
なお、このシリンダ101 は、液状樹脂材料200 の少量を、若しくは、数回の計量を行うのに必要な量を貯溜することができる小形のものを例示しているが、液状樹脂材料の計量供給を繰り返して行うような場合は、例えば、図２(1) に示すように、シリンダ101 の上端開口部に液状樹脂材料の収容タンク104 等を直接的に取り付けるようにしてもよく、また、このシリンダ101 の上端開口部と液状樹脂材料の収容部とを適宜な給送経路（図示なし）を介して連通接続させる構成を採用しても差し支えない。
図例においては、一端（上端）が開口された樹脂製シリンダ101 を用いると共に、その他端（下端）の接続部位101ａ は上記接続孔706 に対して密に嵌合されている。
また、通常の場合、このシリンダ101 はシリンダガイド102 及び該シリンダガイドの固定部材103 を介してインサートプレート700 の上面に保持されているが、交換時等においては、シリンダ101 のみをシリンダガイド102 から抜き出すことができるように設けられている。
なお、このシリンダ101 は、液状樹脂材料200 の少量を、若しくは、数回の計量を行うのに必要な量を貯溜することができる小形のものを例示しているが、液状樹脂材料の計量供給を繰り返して行うような場合は、例えば、図２(1) に示すように、シリンダ101 の上端開口部に液状樹脂材料の収容タンク104 等を直接的に取り付けるようにしてもよく、また、このシリンダ101 の上端開口部と液状樹脂材料の収容部とを適宜な給送経路（図示なし）を介して連通接続させる構成を採用しても差し支えない。
また、上記液状樹脂材料の計量部300 は、インサートプレート700 に嵌着した筒状装着部材701 における連通口704 と連通するように設けられた装着孔707 に対して着脱自在となるように装着されている。
図例においては、一端（右端）が開口された樹脂製シリンダ301 を用いると共に、その他端（左端）の接続部位301ａ は上記装着孔707 に対して密に嵌合されている。
また、このシリンダ301 は固定部材302 を介してインサートプレート700 の一端面（右側面）に固定されているが、交換時等においては、この固定部材302 を取り外すことによってシリンダ301 を上記装着孔707 から抜き出すことができるように設けられている。
また、このシリンダ301 内には、先端（左端）部に弾性ゴム等のシール部材303 が止着された樹脂製プランジャ304 が密に嵌装されている。
更に、このプランジャ304 はシリンダ301 内を往復動（左右移動）可能な状態に嵌装されると共に、サーボ機構等の往復駆動機構305 を介して該プランジャの往復移動位置を制御することができるように設けられている。
このプランジャ304 に対する位置制御は、後述するように、該プランジャを、図において右方向へ移動させるプランジャ移動ストローク長に対応して該シリンダ内に吸入移送される液状樹脂材料の量を計測するものであり、従って、該プランジャの移動ストローク長を適宜に変更することによって、シリンダ301 内に吸入移送される液状樹脂材料の量を適宜に変更・選択することができるように設定されている。
なお、上記したシール部材303 の先端形状を上記したシリンダの接続部位301ａ の内面形状に対応して形成するようにしてもよい。このようなシール部材を用いる場合は、上記301 内に吸入移送された液状樹脂材料の全量を該シリンダの外部へ移送することができると云った利点がある。
図例においては、一端（右端）が開口された樹脂製シリンダ301 を用いると共に、その他端（左端）の接続部位301ａ は上記装着孔707 に対して密に嵌合されている。
また、このシリンダ301 は固定部材302 を介してインサートプレート700 の一端面（右側面）に固定されているが、交換時等においては、この固定部材302 を取り外すことによってシリンダ301 を上記装着孔707 から抜き出すことができるように設けられている。
また、このシリンダ301 内には、先端（左端）部に弾性ゴム等のシール部材303 が止着された樹脂製プランジャ304 が密に嵌装されている。
更に、このプランジャ304 はシリンダ301 内を往復動（左右移動）可能な状態に嵌装されると共に、サーボ機構等の往復駆動機構305 を介して該プランジャの往復移動位置を制御することができるように設けられている。
このプランジャ304 に対する位置制御は、後述するように、該プランジャを、図において右方向へ移動させるプランジャ移動ストローク長に対応して該シリンダ内に吸入移送される液状樹脂材料の量を計測するものであり、従って、該プランジャの移動ストローク長を適宜に変更することによって、シリンダ301 内に吸入移送される液状樹脂材料の量を適宜に変更・選択することができるように設定されている。
なお、上記したシール部材303 の先端形状を上記したシリンダの接続部位301ａ の内面形状に対応して形成するようにしてもよい。このようなシール部材を用いる場合は、上記301 内に吸入移送された液状樹脂材料の全量を該シリンダの外部へ移送することができると云った利点がある。
また、上記定量液状樹脂材料の吐出部400 は、インサートプレート700 に対して着脱自在となるように装着されている。
図例においては、計量部300 にて計量された定量の液状樹脂材料を、後述する電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ内へその流動性を保ちながら効率良く且つ迅速に移送供給するためのノズル構造体から構成されている場合を示している。
また、吐出部400 の一端（上端）には定量液状樹脂材料の導入口402 が開口されると共に、この導入口402 は、筒状装着部材701 に形成した下方連通口703 及び該下方連通口に連通するように形成したインサートプレート700 の接続孔708 と連通接続されるように設けられている。
更に、該吐出部の導入口402 は他端（下端）に開口された吐出口403 と連通接続されており、従って、この導入口402 に導入された液状樹脂材料は直ちに流下すると共に、吐出口403 からスムーズに下方へ吐出・移送されるように設けられている。
図例においては、計量部300 にて計量された定量の液状樹脂材料を、後述する電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ内へその流動性を保ちながら効率良く且つ迅速に移送供給するためのノズル構造体から構成されている場合を示している。
また、吐出部400 の一端（上端）には定量液状樹脂材料の導入口402 が開口されると共に、この導入口402 は、筒状装着部材701 に形成した下方連通口703 及び該下方連通口に連通するように形成したインサートプレート700 の接続孔708 と連通接続されるように設けられている。
更に、該吐出部の導入口402 は他端（下端）に開口された吐出口403 と連通接続されており、従って、この導入口402 に導入された液状樹脂材料は直ちに流下すると共に、吐出口403 からスムーズに下方へ吐出・移送されるように設けられている。
また、上記圧縮エア給気部500 は、筒状装着部材701 に形成した連通口705 と、この連通口705 に連通するように形成したインサートプレート700 の接続孔709 と、この接続孔709 と圧縮エアタンク（図示なし）側とを連通接続させた圧縮エア給気経路501 等から構成されている場合を示している。
以下、上記液状樹脂材料の計量供給装置Ａの構成に基づく作用について説明する。
まず、貯溜部100 に液状樹脂材料200 を貯溜する液状樹脂材料の貯溜工程、及び、貯溜部100 に貯溜された液状樹脂材料200 を通路切替部600 を介して計量部300 に移送し且つこれを計量して定量を計測する液状樹脂材料の定量計測工程について詳述する。
液状樹脂材料の貯溜工程を行うには、例えば、図３(1) に示すように、計量部300 における往復駆動機構305 を介して、予め、プランジャ304 を左側に移動させ且つその先端のシール部材303 をシリンダ301 内の左端部にまで移動させておく。
上記した状態で、貯溜部100 のシリンダ101 内に液状樹脂材料200 を供給充填させることにより、液状樹脂材料の貯溜工程を行うことができる。
なお、図例においては、液状樹脂材料200 の少量を、若しくは、複数回の計量を行うのに必要な量を貯溜する小形のシリンダ101 を示しているが、例えば、シリンダ101 内に液状樹脂材料200 を連続的に供給・充填させるように設定しておくことによって、液状樹脂材料200 の計量供給を繰り返し継続して行うことができる。
上記した状態で、貯溜部100 のシリンダ101 内に液状樹脂材料200 を供給充填させることにより、液状樹脂材料の貯溜工程を行うことができる。
なお、図例においては、液状樹脂材料200 の少量を、若しくは、複数回の計量を行うのに必要な量を貯溜する小形のシリンダ101 を示しているが、例えば、シリンダ101 内に液状樹脂材料200 を連続的に供給・充填させるように設定しておくことによって、液状樹脂材料200 の計量供給を繰り返し継続して行うことができる。
次に、上記通路切替部600 の回転制御機構603 を介して分岐バルブ部材602 を回転させると共に、該分岐バルブ部材における連通路601 の一方側を、図３(1) 及び図３(2) に示すように、インサートプレート700 に嵌着した筒状装着部材701 の上方連通口702 に接続させ且つその他方側を該筒状装着部材の右横側連通口704 に接続させることにより、貯溜部のシリンダ101 と計量部のシリンダ301 とを連通接続させることができる。
液状樹脂材料の定量計測工程は、上記計量部300 における往復駆動機構305 を介して、プランジャ304 を右側へ所定のストローク長の位置にまで移動させることによって行われる。即ち、液状樹脂材料の定量は、分岐バルブ部材602 における連通路601 内部及び筒状装着部材701 における連通口704 内部に収容される液状樹脂材料の容量と、計量部300 におけるシリンダ301 内のプランジャ304 を右側へ移動させることにより、該シリンダ内に吸引移送される液状樹脂材料の容量との総和によって決定することができる。
なお、上記連通路601 及び連通口704 内部に収容される液状樹脂材料の容量は一定となるため、例えば、所望する定量からこの一定量を差し引いた分量をシリンダ301 内に移送することができればよく、従って、このためのプランジャ移動位置をプランジャ304 の移動ストローク長として設定すればよい。図３(2) に示すように、プランジャ304 を予め設定した上記ストローク長だけ移動させて、貯溜部のシリンダ101 内の液状樹脂材料200 を計量部のシリンダ301 内に吸引移送することによって、上記連通路601 と連通口704 及びシリンダ301 内には計測された定量液状樹脂材料201 が収容されることになる。
液状樹脂材料の定量計測工程は、上記計量部300 における往復駆動機構305 を介して、プランジャ304 を右側へ所定のストローク長の位置にまで移動させることによって行われる。即ち、液状樹脂材料の定量は、分岐バルブ部材602 における連通路601 内部及び筒状装着部材701 における連通口704 内部に収容される液状樹脂材料の容量と、計量部300 におけるシリンダ301 内のプランジャ304 を右側へ移動させることにより、該シリンダ内に吸引移送される液状樹脂材料の容量との総和によって決定することができる。
なお、上記連通路601 及び連通口704 内部に収容される液状樹脂材料の容量は一定となるため、例えば、所望する定量からこの一定量を差し引いた分量をシリンダ301 内に移送することができればよく、従って、このためのプランジャ移動位置をプランジャ304 の移動ストローク長として設定すればよい。図３(2) に示すように、プランジャ304 を予め設定した上記ストローク長だけ移動させて、貯溜部のシリンダ101 内の液状樹脂材料200 を計量部のシリンダ301 内に吸引移送することによって、上記連通路601 と連通口704 及びシリンダ301 内には計測された定量液状樹脂材料201 が収容されることになる。
次に、上記通路切替部600 を介して、定量計測工程を経た定量の液状樹脂材料201 を吐出部400 に移送する定量液状樹脂材料の吐出工程について詳述する。
図４(1) には、上記定量計測工程によってシリンダ101 内の液状樹脂材料200 を計量部のシリンダ301 内に吸引移送し、連通路601 と連通口704 及びシリンダ301 内に計測された定量の液状樹脂材料201 が収容されている状態を示している。
この状態において、上記前工程と同様に、通路切替部600 の分岐バルブ部材602 を回転させると共に、該分岐バルブ部材における連通路601 の一方側を筒状装着部材701 の右横側連通口704 に接続させ且つその他方側を該筒状装着部材の下方連通口703 に接続させることにより計量部のシリンダ301 内と吐出部400 側とを連通接続させることができる。このとき、シリンダ下端の接続部位101ａ は分岐バルブ部材602 によって確実に閉じられることになる。
図４(2) に示すように、定量液状樹脂材料の吐出工程は上記計量部300 における往復駆動機構305 を介して、プランジャ304 を左側の元位置にまで移動させることによって行われる。
即ち、プランジャ304 が元の左側位置にまで復帰移動されることにより、シリンダ301 内と連通路601 内及び連通口704 内の定量液状樹脂材料201 が、上記した下方連通口703 及びインサートプレートの接続孔708 を通して吐出部の導入口402 内に導入される。そして、この導入口402 内に導入された定量液状樹脂材料201 は直ちに流下すると共に、吐出口403 からスムーズに下方へ吐出・移送される。
従って、この吐出口403 を通して吐出・移送された定量液状樹脂材料201 は、下方に配置された電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ801 内へ効率良く且つ迅速に供給されることになる（図８参照）。
なお、図例に示したプランジャ304 の先端シール部材303 は、上記したプランジャ304 の復帰移動時において、シリンダ301 の接続部位301ａ の内面には嵌合されないことになる（図２(3) 参照）。このため、上記した吐出工程時に、この接続部位301ａ 内には定量液状樹脂材料201 の一部が残溜することがある。そこで、この接続部位301ａ 内に残溜する液状樹脂材料を含むシリンダ301 内の液状樹脂材料の全量を吐出部400 側へ移送する必要がある場合には、例えば、シール部材303 の先端形状を該シリンダの接続部位301ａ の内面形状に対応して形成しておくことにより、上記プランジャ304 の復帰移動時にそのシール部材303 の先端部をこのシリンダ接続部位301ａ の内面に嵌合させて、該接続部位内の液状樹脂材料を吐出部400 側へ積極的に排出するようにしてもよい。
また、上記した右横側連通口704 内についても同様に液状樹脂材料の一部が残溜することがあるが、例えば、シール部材303 の先端を該連通口内にまで嵌入させることにより、同様に、これを吐出部400 側へ排出することができる。
図４(1) には、上記定量計測工程によってシリンダ101 内の液状樹脂材料200 を計量部のシリンダ301 内に吸引移送し、連通路601 と連通口704 及びシリンダ301 内に計測された定量の液状樹脂材料201 が収容されている状態を示している。
この状態において、上記前工程と同様に、通路切替部600 の分岐バルブ部材602 を回転させると共に、該分岐バルブ部材における連通路601 の一方側を筒状装着部材701 の右横側連通口704 に接続させ且つその他方側を該筒状装着部材の下方連通口703 に接続させることにより計量部のシリンダ301 内と吐出部400 側とを連通接続させることができる。このとき、シリンダ下端の接続部位101ａ は分岐バルブ部材602 によって確実に閉じられることになる。
図４(2) に示すように、定量液状樹脂材料の吐出工程は上記計量部300 における往復駆動機構305 を介して、プランジャ304 を左側の元位置にまで移動させることによって行われる。
即ち、プランジャ304 が元の左側位置にまで復帰移動されることにより、シリンダ301 内と連通路601 内及び連通口704 内の定量液状樹脂材料201 が、上記した下方連通口703 及びインサートプレートの接続孔708 を通して吐出部の導入口402 内に導入される。そして、この導入口402 内に導入された定量液状樹脂材料201 は直ちに流下すると共に、吐出口403 からスムーズに下方へ吐出・移送される。
従って、この吐出口403 を通して吐出・移送された定量液状樹脂材料201 は、下方に配置された電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ801 内へ効率良く且つ迅速に供給されることになる（図８参照）。
なお、図例に示したプランジャ304 の先端シール部材303 は、上記したプランジャ304 の復帰移動時において、シリンダ301 の接続部位301ａ の内面には嵌合されないことになる（図２(3) 参照）。このため、上記した吐出工程時に、この接続部位301ａ 内には定量液状樹脂材料201 の一部が残溜することがある。そこで、この接続部位301ａ 内に残溜する液状樹脂材料を含むシリンダ301 内の液状樹脂材料の全量を吐出部400 側へ移送する必要がある場合には、例えば、シール部材303 の先端形状を該シリンダの接続部位301ａ の内面形状に対応して形成しておくことにより、上記プランジャ304 の復帰移動時にそのシール部材303 の先端部をこのシリンダ接続部位301ａ の内面に嵌合させて、該接続部位内の液状樹脂材料を吐出部400 側へ積極的に排出するようにしてもよい。
また、上記した右横側連通口704 内についても同様に液状樹脂材料の一部が残溜することがあるが、例えば、シール部材303 の先端を該連通口内にまで嵌入させることにより、同様に、これを吐出部400 側へ排出することができる。
次に、上記通路切替部600 及び吐出部400 へ圧縮エア502 を給気して通路切替部600 内及び吐出部400 内の滞溜液状樹脂材料を下方の下型キャビティ801 内へ排出・供給する滞溜液状樹脂材料の排出工程について詳述する。
図５(1) 及び図５(2) には、定量液状樹脂材料の吐出工程が終了した後に、上記前工程と同様に、通路切替部600 の分岐バルブ部材602 を回転させると共に、該分岐バルブ部材における連通路601 の一方側を筒状装着部材701 の下方連通口703 に接続させ且つその他方側を該筒状装着部材の左横側連通口705 に接続させることにより、定量液状樹脂材料の吐出部400 側と圧縮エア給気部500 側とを連通接続させた状態を示している。なお、このとき、上記した両シリンダの接続部位101ａ・301ａは分岐バルブ部材602 によって確実に閉じられることになる。
滞溜液状樹脂材料の排出工程は、図５(1) 及び図５(2) に示すように、圧縮エアの給気経路501 を通してインサートプレート700 の接続孔709 内に圧縮エア502 を給気することによって行われる。即ち、吐出部400 側と圧縮エア給気部500 側とは連通接続されており、また、両シリンダの接続部位101ａ・301ａは分岐バルブ部材602 によって確実に閉じられている。従って、この状態で、インサートプレートの接続孔709 内に図外の圧縮エアタンクからの圧縮エア502 を給気することにより、通路切替部（連通路601 ）と下方連通口703 と接続孔708 及び吐出部（導入口402 から吐出口403 までの流路）内の滞溜液状樹脂材料202 を下方の下型キャビティ801 内へ排出・供給することができる。
この滞溜液状樹脂材料の排出工程によって、液状樹脂材料の定量を又は通路切替部600 内や吐出部400 内に滞溜しようとする液状樹脂材料を下方の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ801 内へ効率良く供給することができるので、液状樹脂材料が流動する通路切替部から吐出部までの流路内を効率良く清掃することができると共に、滞溜液状樹脂材料が吐出部から漏れ出す、所謂、液漏れ現象を効率良く防止することができる。
図５(1) 及び図５(2) には、定量液状樹脂材料の吐出工程が終了した後に、上記前工程と同様に、通路切替部600 の分岐バルブ部材602 を回転させると共に、該分岐バルブ部材における連通路601 の一方側を筒状装着部材701 の下方連通口703 に接続させ且つその他方側を該筒状装着部材の左横側連通口705 に接続させることにより、定量液状樹脂材料の吐出部400 側と圧縮エア給気部500 側とを連通接続させた状態を示している。なお、このとき、上記した両シリンダの接続部位101ａ・301ａは分岐バルブ部材602 によって確実に閉じられることになる。
滞溜液状樹脂材料の排出工程は、図５(1) 及び図５(2) に示すように、圧縮エアの給気経路501 を通してインサートプレート700 の接続孔709 内に圧縮エア502 を給気することによって行われる。即ち、吐出部400 側と圧縮エア給気部500 側とは連通接続されており、また、両シリンダの接続部位101ａ・301ａは分岐バルブ部材602 によって確実に閉じられている。従って、この状態で、インサートプレートの接続孔709 内に図外の圧縮エアタンクからの圧縮エア502 を給気することにより、通路切替部（連通路601 ）と下方連通口703 と接続孔708 及び吐出部（導入口402 から吐出口403 までの流路）内の滞溜液状樹脂材料202 を下方の下型キャビティ801 内へ排出・供給することができる。
この滞溜液状樹脂材料の排出工程によって、液状樹脂材料の定量を又は通路切替部600 内や吐出部400 内に滞溜しようとする液状樹脂材料を下方の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ801 内へ効率良く供給することができるので、液状樹脂材料が流動する通路切替部から吐出部までの流路内を効率良く清掃することができると共に、滞溜液状樹脂材料が吐出部から漏れ出す、所謂、液漏れ現象を効率良く防止することができる。
なお、上記した貯溜部100 に、該貯溜部に貯溜された液状樹脂材料200 を加圧して計量部300 側に移送する適宜な液状樹脂材料の加圧移送手段（図示なし）を配設して構成してもよい。そして、この構成によって、液状樹脂材料の貯溜工程と液状樹脂材料の定量計測工程との間に、貯溜部100 に貯溜された液状樹脂材料200 を加圧した状態で計量部300 側に移送する液状樹脂材料の加圧移送工程を行うようにしてもよい。
上記したように、貯溜部のシリンダ101 内の液状樹脂材料200 を計量部のシリンダ301 内に移送する作用は、プランジャ304 が計量部のシリンダ301 内を移動する際に生ずる負圧に基づく吸引力によるものであるが、上記した液状樹脂材料の加圧移送手段を併用することにより、計量部のシリンダ301 側への移送作用を効率良く補助することができる。
具体的には、例えば、貯溜部のシリンダ101 内に液状樹脂材料加圧用のプランジャを密に嵌装させると共に、該加圧用プランジャを計量部のプランジャ304 による吸引移送作用に追従させながら、或は、該吸引移送作用と連携させながら貯溜部のシリンダ101 内の液状樹脂材料200 を加圧するように設定・構成すればよい。
また、例えば、シール用ケース部材にて貯溜部シリンダ101 の外方周囲をシールすると共に、該ケース部材内に圧縮エアを給気し且つ貯溜部シリンダ101 内の液状樹脂材料200 をこの圧縮エアにて加圧するように設定・構成してもよい。
このような加圧移送手段を併設するときは、液状樹脂材料を計量部のシリンダ301 側へ効率良く移送することができるので、例えば、高粘度又は流動性が低い性状を有する液状樹脂材料を計量供給するような場合においても、これに好適に即応することができる。
上記したように、貯溜部のシリンダ101 内の液状樹脂材料200 を計量部のシリンダ301 内に移送する作用は、プランジャ304 が計量部のシリンダ301 内を移動する際に生ずる負圧に基づく吸引力によるものであるが、上記した液状樹脂材料の加圧移送手段を併用することにより、計量部のシリンダ301 側への移送作用を効率良く補助することができる。
具体的には、例えば、貯溜部のシリンダ101 内に液状樹脂材料加圧用のプランジャを密に嵌装させると共に、該加圧用プランジャを計量部のプランジャ304 による吸引移送作用に追従させながら、或は、該吸引移送作用と連携させながら貯溜部のシリンダ101 内の液状樹脂材料200 を加圧するように設定・構成すればよい。
また、例えば、シール用ケース部材にて貯溜部シリンダ101 の外方周囲をシールすると共に、該ケース部材内に圧縮エアを給気し且つ貯溜部シリンダ101 内の液状樹脂材料200 をこの圧縮エアにて加圧するように設定・構成してもよい。
このような加圧移送手段を併設するときは、液状樹脂材料を計量部のシリンダ301 側へ効率良く移送することができるので、例えば、高粘度又は流動性が低い性状を有する液状樹脂材料を計量供給するような場合においても、これに好適に即応することができる。
また、上記した実施例においては、被計量液状樹脂材料の性状に応じて、該液状樹脂材料を冷却又は加熱する液状樹脂材料の温度管理工程を行うようにしてもよい。
即ち、上記液状樹脂材料の貯溜工程、液状樹脂材料の定量計測工程、定量液状樹脂材料の吐出工程及び滞溜液状樹脂材料の排出工程の全ての工程或はその一部の工程において、例えば、被計量液状樹脂材料の流動性を高めるために、該液状樹脂材料を適正温度にまで加熱する工程を行うようにしてもよい。
また、被計量液状樹脂材料が液状熱硬化性樹脂材料等のように、常温においても硬化が促進されるような液状樹脂材料である場合には、上記した全工程或はその一部の工程において、該液状樹脂材料を適正温度にまで冷却する工程を行うようにしてもよい。
なお、この液状樹脂材料の温度管理工程は、液状樹脂材料の貯溜部、液状樹脂材料の計量部、定量液状樹脂材料の吐出部、圧縮エア給気部の全ての部位或はその一部の部位に、適宜な液状樹脂材料の冷却機構又はその加熱機構を併設することによって容易に実施することができる。
即ち、上記液状樹脂材料の貯溜工程、液状樹脂材料の定量計測工程、定量液状樹脂材料の吐出工程及び滞溜液状樹脂材料の排出工程の全ての工程或はその一部の工程において、例えば、被計量液状樹脂材料の流動性を高めるために、該液状樹脂材料を適正温度にまで加熱する工程を行うようにしてもよい。
また、被計量液状樹脂材料が液状熱硬化性樹脂材料等のように、常温においても硬化が促進されるような液状樹脂材料である場合には、上記した全工程或はその一部の工程において、該液状樹脂材料を適正温度にまで冷却する工程を行うようにしてもよい。
なお、この液状樹脂材料の温度管理工程は、液状樹脂材料の貯溜部、液状樹脂材料の計量部、定量液状樹脂材料の吐出部、圧縮エア給気部の全ての部位或はその一部の部位に、適宜な液状樹脂材料の冷却機構又はその加熱機構を併設することによって容易に実施することができる。
図６は、上記した定量液状樹脂材料の吐出部400 の具体的な構成例を示すと共に、該吐出部400 にその内部を流動する液状樹脂材料を冷却するための冷却機構を併設した場合を示している。
この吐出部400 は計量部300 にて計量された定量液状樹脂材料201 を電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ801 内へ供給するためのゲートノズルとして設けられている。
ゲートノズル本体404 の上端に設けた冷却水導入排出部405 には冷却水管406 が接続されており、また、このゲートノズル本体404 の内部には冷却水Ｗを流通・循環させるためのスリーブ状の冷却水路部材407 が密に且つ一体状に嵌着されている。
また、冷却水路部材407 中心部には液状樹脂材料吐出用のノズルチップ408 が着脱自在の状態で嵌装されている。このノズルチップ408 は下方向に向かって細くなるような形状として形成されると共に、ノズルチップ408 の内部を流下する液状樹脂材料201(202)が該ノズルチップの内面等に付着して目詰まりを起こすのを防止する目的で撥水特性を備えた素材により形成されている。
また、ノズルチップ408 の上端部には該ノズルチップを冷却水路部材407 内に確実に保持させるための保持部材409 が着脱自在の状態で止着されている。また、該保持部材を介してノズルチップ408 を冷却水路部材407 内に保持させた場合、該保持部材の中心部に形成した導入口(402) とノズルチップの吐出口(403) とは連通接続されるように設けられている。そして、この導入口(402) 内に液状樹脂材料201(202)が導入されると該液状樹脂材料はスムーズにノズルチップの吐出口(403) 側に案内されて直ちに下方へ吐出される。
また、吐出部400 は計量供給装置Ａの本体に設けた嵌合着脱部412 に対して着脱自在の状態で装設されている。更に、上記ノズルチップ408 及び保持部材409 は、図６(2) に示すように、冷却水路部材407 に対して着脱自在の状態で装設されている。
このように、吐出部400 を分解可能に且つ着脱自在の状態で装設することによって、例えば、樹脂成形作業前において使用する樹脂材料の性状に適応したノズルチップを選択して採用することができ、また、樹脂成形作業後等においてノズルチップ等の洗浄や交換作業を効率良く行うことができる。特に、熱硬化性樹脂材料を使用する場合においては、例えば、樹脂材料の一部が導入口(402) や吐出口(403) の内面等に付着硬化して使用不能となったような場合にこれを洗浄し或は交換する等の迅速な対応ができるようにしておくことが好ましい。
なお、図において、符号410 は、嵌合着脱部412 に設けたシール部材である。
この吐出部400 は計量部300 にて計量された定量液状樹脂材料201 を電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ801 内へ供給するためのゲートノズルとして設けられている。
ゲートノズル本体404 の上端に設けた冷却水導入排出部405 には冷却水管406 が接続されており、また、このゲートノズル本体404 の内部には冷却水Ｗを流通・循環させるためのスリーブ状の冷却水路部材407 が密に且つ一体状に嵌着されている。
また、冷却水路部材407 中心部には液状樹脂材料吐出用のノズルチップ408 が着脱自在の状態で嵌装されている。このノズルチップ408 は下方向に向かって細くなるような形状として形成されると共に、ノズルチップ408 の内部を流下する液状樹脂材料201(202)が該ノズルチップの内面等に付着して目詰まりを起こすのを防止する目的で撥水特性を備えた素材により形成されている。
また、ノズルチップ408 の上端部には該ノズルチップを冷却水路部材407 内に確実に保持させるための保持部材409 が着脱自在の状態で止着されている。また、該保持部材を介してノズルチップ408 を冷却水路部材407 内に保持させた場合、該保持部材の中心部に形成した導入口(402) とノズルチップの吐出口(403) とは連通接続されるように設けられている。そして、この導入口(402) 内に液状樹脂材料201(202)が導入されると該液状樹脂材料はスムーズにノズルチップの吐出口(403) 側に案内されて直ちに下方へ吐出される。
また、吐出部400 は計量供給装置Ａの本体に設けた嵌合着脱部412 に対して着脱自在の状態で装設されている。更に、上記ノズルチップ408 及び保持部材409 は、図６(2) に示すように、冷却水路部材407 に対して着脱自在の状態で装設されている。
このように、吐出部400 を分解可能に且つ着脱自在の状態で装設することによって、例えば、樹脂成形作業前において使用する樹脂材料の性状に適応したノズルチップを選択して採用することができ、また、樹脂成形作業後等においてノズルチップ等の洗浄や交換作業を効率良く行うことができる。特に、熱硬化性樹脂材料を使用する場合においては、例えば、樹脂材料の一部が導入口(402) や吐出口(403) の内面等に付着硬化して使用不能となったような場合にこれを洗浄し或は交換する等の迅速な対応ができるようにしておくことが好ましい。
なお、図において、符号410 は、嵌合着脱部412 に設けたシール部材である。
また、上記実施例のインサートプレート700 における筒状装着部材701 は、通路切替部600 における分岐バルブ部材602 をインサートプレート700 に対して密に嵌合装着することによって省略することができる。
この場合は、全体的な構成部品の減少化と構成の簡略化を図ることができると云った利点がある。
この場合は、全体的な構成部品の減少化と構成の簡略化を図ることができると云った利点がある。
また、上記実施例における液状樹脂材料の貯溜工程、液状樹脂材料の定量計測工程、定量液状樹脂材料の吐出工程、滞溜液状樹脂材料の排出工程、プランジャの移動制御及び分岐バルブ部材の回転制御と云った一連の工程を、予め設定した制御部からの指示に基づいて自動化する構成を採用することができる。
また、上記した実施例における両シリンダ（101・301）は、樹脂製によるものを示しているが、該両シリンダの材質は、例えば、金属製や耐熱性・耐久性を備えたガラス製等であっても差し支えない。
次に、図７乃至図１０を参照して、本発明に係る液状樹脂材料の計量供給装置Ａを備えた電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂによる電子部品の圧縮樹脂封止成形の概要について説明する。
なお、前述したように、この電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂは小型化された卓上型の構造を備えており、従って、本発明に係る液状樹脂材料の計量供給装置Ａはこのような小型の圧縮樹脂封止成形装置に組み込んで好適に実施することができる。
なお、前述したように、この電子部品の圧縮樹脂封止成形装置Ｂは小型化された卓上型の構造を備えており、従って、本発明に係る液状樹脂材料の計量供給装置Ａはこのような小型の圧縮樹脂封止成形装置に組み込んで好適に実施することができる。
図１(1) に示すように、上記した圧縮樹脂封止成形装置Ｂは、該装置の基盤800 と、該基盤上の四隅部に立設したタイバー802 と、該タイバー上端の固定板に上型断熱板（図示なし）及び上型プレート803 を介して装着した圧縮樹脂封止成形用の上型804 と、この上型804 の下方位置においてタイバー802 に嵌装した可動板805 と、該可動板の上部に下型断熱板806 を介して装着した下型プレート807 と、該下型プレートに装設した圧縮樹脂封止成形用の下型808 と、可動板805 を上下方向へ昇降移動させることにより上下両型804・808 の対向面を接合・離反させることができるように設けたサーボモータ等による型開閉機構809 等から構成されている。
次に、図７を参照して、圧縮樹脂封止成形型部の概要について説明する。
上型プレート803 及び下型プレート807 には上型804 及び下型808 を加熱するためのヒータが各別に備えられており、また、上型プレート803 及び下型プレート807 に装設された上下両型804・808 には専用の冷却手段が各別に設けられている。
また、可動板805 の上面部には下型キャビティ面を含む下型808 の型面に成形品離型用のフイルム810 を張設する離型フイルム張設機構（図示なし）が配設されている。
また、下型808 には小形の基板、例えば、一辺が約５０乃至７０ｍｍ程度となる角型基板811 の単数枚を装填セットするための単数の樹脂成形用キャビティ801 が設けられており、これによって成形型の小型化とこれに対応する各構成部位の構造も小型化されて、所謂、卓上型の圧縮樹脂封止成形装置として構成されている。
上型プレート803 及び下型プレート807 には上型804 及び下型808 を加熱するためのヒータが各別に備えられており、また、上型プレート803 及び下型プレート807 に装設された上下両型804・808 には専用の冷却手段が各別に設けられている。
また、可動板805 の上面部には下型キャビティ面を含む下型808 の型面に成形品離型用のフイルム810 を張設する離型フイルム張設機構（図示なし）が配設されている。
また、下型808 には小形の基板、例えば、一辺が約５０乃至７０ｍｍ程度となる角型基板811 の単数枚を装填セットするための単数の樹脂成形用キャビティ801 が設けられており、これによって成形型の小型化とこれに対応する各構成部位の構造も小型化されて、所謂、卓上型の圧縮樹脂封止成形装置として構成されている。
また、上型804 は上型プレート803 の底面側に設けられた凹所812 に対して着脱自在として装設されている。更に、該上型は止着ピン813 を介して該凹所内に止着されると共に、弾性部材814 による弾性突出力によって下方への押圧力が加えられており、従って、上型804 は凹所812 の内面から下方へ離反するように付勢された、所謂、フローティング構造となっている。なお、上型804 は、通常時には、凹所812 の内面との間に約１ｍｍ程度の間隙Ｓが設けられている。
また、上型プレート803 内には上型加熱用のカートリッジヒータ815 が装設されて該上型プレート803 を常時加熱する状態にあるが、通常時には、上型804 と凹所812 との間隙Ｓによる空気断熱作用により、該上型に対する加熱作用は効率良く抑制されている。
また、上型804 内には該上型冷却用の冷却水路816 が配設されると共に、該冷却水路には給排水ポンプ（図示なし）に連通接続された冷却水の導入排出管817 が連通接続されている。従って、上型804 の冷却時には該給排水ポンプを作動させることにより導入排出管817 を通して該上型の冷却水路816 内に冷却水を導入させることができ、逆に、上型804 の加熱時においては導入排出管817 を通して上型冷却水路816 内の冷却水を上型804 の外部へ排出させることができるように設けられている。
符号818 は上型804 の底面に突設したパイロットピン、符号819 は上型804 の底面に開設された吸気孔で、上記凹所812 内と連通接続するように設けられている。
なお、上型804 に対する加熱及び冷却作用を更に効率良く且つ迅速に行うためには、例えば、該上型を熱伝導率の高い銅系の材料にて形成することが好ましい。
また、上型プレート803 内には上型加熱用のカートリッジヒータ815 が装設されて該上型プレート803 を常時加熱する状態にあるが、通常時には、上型804 と凹所812 との間隙Ｓによる空気断熱作用により、該上型に対する加熱作用は効率良く抑制されている。
また、上型804 内には該上型冷却用の冷却水路816 が配設されると共に、該冷却水路には給排水ポンプ（図示なし）に連通接続された冷却水の導入排出管817 が連通接続されている。従って、上型804 の冷却時には該給排水ポンプを作動させることにより導入排出管817 を通して該上型の冷却水路816 内に冷却水を導入させることができ、逆に、上型804 の加熱時においては導入排出管817 を通して上型冷却水路816 内の冷却水を上型804 の外部へ排出させることができるように設けられている。
符号818 は上型804 の底面に突設したパイロットピン、符号819 は上型804 の底面に開設された吸気孔で、上記凹所812 内と連通接続するように設けられている。
なお、上型804 に対する加熱及び冷却作用を更に効率良く且つ迅速に行うためには、例えば、該上型を熱伝導率の高い銅系の材料にて形成することが好ましい。
また、上型804 の外方周囲となる上型プレート803 の底面にはシール部材820 が配設されており、このシール部材820 は上下両型804・808の型締時において両型面が接合された際に該上下両型の外方周囲をシールすることができるように設けられている。
また、上型プレート803 にはシール部材820 による上記シール範囲と外部とを連通接続させると共に、該シール範囲を減圧するための吸気通路822 が設けられている。
また、上型プレート803 には上記凹所812 内と外部とを連通接続させる吸気通路821 が設けられている。更に、この吸気通路821 は外部に配設した真空モータ（図示なし）と連通接続されており、該真空モータを作動させることによって凹所812 内を減圧することができるように設けられている。
なお、真空モータにて凹所812 内を減圧したとき、該凹所内に嵌装された上型804 は、弾性部材814 の弾性に抗して上昇し該凹所の内面に接合されるように設けられている。従って、この上型804 と凹所812 内面とを接合させる機構は、上型プレート803 に設けた上型加熱用のカートリッジヒータ815 からの熱伝導による加熱作用を該上型に加えるための上型加熱機構を構成している。符号823 は上型ガイドピンである。
また、上型プレート803 にはシール部材820 による上記シール範囲と外部とを連通接続させると共に、該シール範囲を減圧するための吸気通路822 が設けられている。
また、上型プレート803 には上記凹所812 内と外部とを連通接続させる吸気通路821 が設けられている。更に、この吸気通路821 は外部に配設した真空モータ（図示なし）と連通接続されており、該真空モータを作動させることによって凹所812 内を減圧することができるように設けられている。
なお、真空モータにて凹所812 内を減圧したとき、該凹所内に嵌装された上型804 は、弾性部材814 の弾性に抗して上昇し該凹所の内面に接合されるように設けられている。従って、この上型804 と凹所812 内面とを接合させる機構は、上型プレート803 に設けた上型加熱用のカートリッジヒータ815 からの熱伝導による加熱作用を該上型に加えるための上型加熱機構を構成している。符号823 は上型ガイドピンである。
また、上下両型804・808の型締時にはシール部材820 によるシール範囲と外部に配設した真空モータとが吸気通路822 を介して連通接続される。従って、該真空モータを作動させることによって、シール部材820 によるシール範囲を減圧することができる。
また、上型804 の底面に開設された吸気孔819 及び上型プレートの凹所812 内と外部に配設した真空モータとは吸気通路821 を介して連通接続されており該真空モータを作動させることによって吸気孔819 と上型プレートの凹所812 内及び吸気通路821 内を減圧することができる。
従って、この減圧に基づく吸気孔819 の吸着作用によって角型基板811 を上型804 の底面に供給セットすることができる。なお、このとき、角型基板811 は上型804 の底面に突設されたパイロットピン818 を介して位置決めされるため、この吸着作用及び位置決作用によって、該角型基板は上型804 の底面における所定の位置に確実に装着されることになる。
また、この角型基板811 の吸着作用とシール部材820 によるシール範囲の減圧作用とは別個に独立して行うことができる。
また、上型804 の底面に開設された吸気孔819 及び上型プレートの凹所812 内と外部に配設した真空モータとは吸気通路821 を介して連通接続されており該真空モータを作動させることによって吸気孔819 と上型プレートの凹所812 内及び吸気通路821 内を減圧することができる。
従って、この減圧に基づく吸気孔819 の吸着作用によって角型基板811 を上型804 の底面に供給セットすることができる。なお、このとき、角型基板811 は上型804 の底面に突設されたパイロットピン818 を介して位置決めされるため、この吸着作用及び位置決作用によって、該角型基板は上型804 の底面における所定の位置に確実に装着されることになる。
また、この角型基板811 の吸着作用とシール部材820 によるシール範囲の減圧作用とは別個に独立して行うことができる。
また、下型プレート807 の上面部にはフローティングプレート824 が装設されている。
更に、下型プレート807 とフローティングプレート824 との間には弾性部材825 が介在されており、この弾性部材825 よる弾性は該両者を上下方向へ離反させる方向への押圧力として加えられている。
また、下型プレート807 の上面部には下型808 が嵌装されている。
この下型808 はフローティングプレート824 の中央部に設けられた取付孔部826 内において上下摺動可能な状態で嵌装されると共に、該下型の外周面と該取付孔部の内周面との間には吸気用の間隙Ｓが構成されている。更に、下型808 は止着ピン827 を介して取付孔部826 に止着されると共に、弾性部材828 の弾性によって止着ピン827 を上方へ押し上げる方向の弾性突出力が加えられており、従って、該下型は下型プレート807 の上面から離反するように付勢された、所謂、フローティング構造となっており、通常時には下型808 と下型プレート807 の上面との間には約１ｍｍ程度の間隙Ｓが設けられるように設定されている。
また、下型プレート807 内には下型808 を加熱するためのカートリッジヒータ829 が装設されているが、通常時は、下型808 と下型プレート807 の上面との間隙Ｓによる空気断熱作用により該下型に対する加熱作用は効率良く抑制されている。
また、下型808 内には該下型冷却用の冷却水路830 が配設されると共に、該冷却水路には給排水ポンプ（図示なし）に連通接続された冷却水の導入排出管831 が連通接続されている。従って、下型808 の冷却時には該給排水ポンプを作動させることにより導入排出管831 を通して該下型の冷却水路830 内に冷却水を導入させることができ、逆に、下型808 の加熱時においては導入排出管831 を通して下型冷却水路830 内の冷却水を下型808 の外部へ排出させることができるように設けられている。
なお、下型808 に対する加熱及び冷却作用を効率良く且つ迅速に行うためには、該下型を熱伝導率の高い銅系の材料にて形成することが好ましい。
更に、下型プレート807 とフローティングプレート824 との間には弾性部材825 が介在されており、この弾性部材825 よる弾性は該両者を上下方向へ離反させる方向への押圧力として加えられている。
また、下型プレート807 の上面部には下型808 が嵌装されている。
この下型808 はフローティングプレート824 の中央部に設けられた取付孔部826 内において上下摺動可能な状態で嵌装されると共に、該下型の外周面と該取付孔部の内周面との間には吸気用の間隙Ｓが構成されている。更に、下型808 は止着ピン827 を介して取付孔部826 に止着されると共に、弾性部材828 の弾性によって止着ピン827 を上方へ押し上げる方向の弾性突出力が加えられており、従って、該下型は下型プレート807 の上面から離反するように付勢された、所謂、フローティング構造となっており、通常時には下型808 と下型プレート807 の上面との間には約１ｍｍ程度の間隙Ｓが設けられるように設定されている。
また、下型プレート807 内には下型808 を加熱するためのカートリッジヒータ829 が装設されているが、通常時は、下型808 と下型プレート807 の上面との間隙Ｓによる空気断熱作用により該下型に対する加熱作用は効率良く抑制されている。
また、下型808 内には該下型冷却用の冷却水路830 が配設されると共に、該冷却水路には給排水ポンプ（図示なし）に連通接続された冷却水の導入排出管831 が連通接続されている。従って、下型808 の冷却時には該給排水ポンプを作動させることにより導入排出管831 を通して該下型の冷却水路830 内に冷却水を導入させることができ、逆に、下型808 の加熱時においては導入排出管831 を通して下型冷却水路830 内の冷却水を下型808 の外部へ排出させることができるように設けられている。
なお、下型808 に対する加熱及び冷却作用を効率良く且つ迅速に行うためには、該下型を熱伝導率の高い銅系の材料にて形成することが好ましい。
また、下型808 はフローティングプレート824 の取付孔部826 に上下摺動可能な状態で嵌装されると共に、下型808 と下型プレート807 の上面との間には間隙Ｓが設けられており、また、下型プレート807 とフローティングプレート824 との両者はシール部材833 を介して嵌装されている。
また、下型プレート807 には、取付孔部826 及び間隙Ｓと外部とを連通接続させる吸気通路834 が設けられており、更に、この吸気通路834 は外部に配設した真空モータ（図示なし）と連通接続されている。従って、該真空モータを作動させることによって取付孔部826 及び間隙Ｓ内を減圧することができるように設けられている。
更に、該真空モータにて取付孔部826 及び間隙Ｓ内を減圧したとき、取付孔部826 に嵌装された下型808 は、弾性部材828 による弾性突出力に抗して下方の下型プレート807 の上面にまで下降し該上面に接合されるように設けられている。従って、この下型808 と下型プレート807 とを接合させる機構は下型プレート807 のカートリッジヒータ829 からの熱伝導による加熱作用を該下型に加えるための下型加熱機構を構成している。
また、下型プレート807 には、取付孔部826 及び間隙Ｓと外部とを連通接続させる吸気通路834 が設けられており、更に、この吸気通路834 は外部に配設した真空モータ（図示なし）と連通接続されている。従って、該真空モータを作動させることによって取付孔部826 及び間隙Ｓ内を減圧することができるように設けられている。
更に、該真空モータにて取付孔部826 及び間隙Ｓ内を減圧したとき、取付孔部826 に嵌装された下型808 は、弾性部材828 による弾性突出力に抗して下方の下型プレート807 の上面にまで下降し該上面に接合されるように設けられている。従って、この下型808 と下型プレート807 とを接合させる機構は下型プレート807 のカートリッジヒータ829 からの熱伝導による加熱作用を該下型に加えるための下型加熱機構を構成している。
次に、上記実施例の構成に基づく作用について詳述する。
まず、図７に示すように、計量供給装置Ａにおける吐出部400 と、圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける上型804 及び下型808 に冷却水Ｗを導入・循環して夫々を冷却状態とし、また、上型プレート803 と下型プレート807 はカートリッジヒータ815・829による加熱作用を加えて樹脂成形温度にまで加熱した状態とする。
このとき、上下両型プレート803・807と上下両型804・808との間には間隙Ｓが保持されているため、該間隙による空気断熱作用により、該両カートリッジヒータによる該上下両型の加熱作用は効率良く抑制された状態にある。
この状態において、図７に示すように、上下両型804・808を型開きすると共に、離型フイルム張設機構（図示なし）を介して下型808 面に離型フイルム810 を供給する。
このとき、上下両型プレート803・807と上下両型804・808との間には間隙Ｓが保持されているため、該間隙による空気断熱作用により、該両カートリッジヒータによる該上下両型の加熱作用は効率良く抑制された状態にある。
この状態において、図７に示すように、上下両型804・808を型開きすると共に、離型フイルム張設機構（図示なし）を介して下型808 面に離型フイルム810 を供給する。
次に、計量供給装置Ａを用いて、上記したように、貯溜部100 に液状樹脂材料を貯溜する液状樹脂材料200 の貯溜工程を行い、次に、通路切替部600 を介して貯溜部100 に貯溜された液状樹脂材料200 を計量部300 に移送し且つこれを計量して定量を計測する液状樹脂材料の定量計測工程を行い、次に、通路切替部600 を介して定量計測工程を経た定量の液状樹脂材料201 を吐出部400 に移送する定量液状樹脂材料201 の吐出工程を行い、次に、通路切替部600 及び吐出部400 へ圧縮エア502 を給気して通路切替部600 内及び吐出部400 内の滞溜液状樹脂材料202 を下方へ排出・供給する滞溜液状樹脂材料202 の排出工程を行うことにより、定量液状樹脂材料201 及び滞溜液状樹脂材料202 の全量を下方の圧縮樹脂封止成形装置Ｂにおける下型キャビティ801 内へ供給する（図８参照）。
なお、上記したように、吐出部400 から下型キャビティ801 内へ供給される液状樹脂材料(201・202)は高精度な定量計測が行われており、また、この液状樹脂材料は下型808 の型面に張設された離型フイルム810 を介して下型キャビティ801 内へ供給されることになる。
また、このとき、吐出部400 のゲートノズル本体404 及び冷却水路部材407 には冷却水Ｗが導入されているため、該吐出部の導入口402 から流入・流下してその吐出孔403 から下方へ供給される液状樹脂材料を冷却することができる。
従って、例えば、液状樹脂材料(201・202)が熱硬化性樹脂材料である場合は、その熱硬化反応を効率良く抑制することができるから、該熱硬化性樹脂材料は下型キャビティ801 内に供給されてもその流動性が維持されると共に、該下型キャビティ内をスムーズに流動してその隅々にまで均一に供給・充填されることになる。
また、このとき、吐出部400 のゲートノズル本体404 及び冷却水路部材407 には冷却水Ｗが導入されているため、該吐出部の導入口402 から流入・流下してその吐出孔403 から下方へ供給される液状樹脂材料を冷却することができる。
従って、例えば、液状樹脂材料(201・202)が熱硬化性樹脂材料である場合は、その熱硬化反応を効率良く抑制することができるから、該熱硬化性樹脂材料は下型キャビティ801 内に供給されてもその流動性が維持されると共に、該下型キャビティ内をスムーズに流動してその隅々にまで均一に供給・充填されることになる。
また、図８においては、下型キャビティ801 内への液状樹脂材料(201・202)の供給と同時に、後述する下型808 の加熱状態と、該下型面に離型フイルム810 をフイットさせた状態を示している。
次に、図９に示すように、上型804 の底面所定位置に角型基板811 を供給セットすると共に、可動板805 を上昇させてフローティングプレート824 の上面と上型プレート803 底面のシール部材820 とを接合させる第一の型締めを行う。
角型基板811 の供給セットは、真空モータ（図示なし）を作動させて上型プレートの凹所812 内とこれに連通する上型の吸気孔819 を減圧することによる該吸気孔からの吸着作用と上型の底面に突設されたパイロットピン818 とによる位置決作用とによって（図７参照）、該上型底面の所定位置に角型基板811 の本体を吸着させ且つその反対面に装着された電子部品832 を下側とする状態で吸着することにより行われる。
また、この第一型締時では、上下両型804・808の型面間における下型キャビティ801 部の外方周囲がシール部材820 にてシールされるため外気が遮断された状態となる。
なお、このとき、角型基板811 の底面はフローティングプレート824 の上面に接合されておらず、従って、下型キャビティ801 内の減圧作用によって上記シール範囲内のエア及び液状樹脂材料(201・202)中に含まれる気泡等を外部へ効率良く且つ強制的に排出する上下両型面間の減圧を行うことができる。
角型基板811 の供給セットは、真空モータ（図示なし）を作動させて上型プレートの凹所812 内とこれに連通する上型の吸気孔819 を減圧することによる該吸気孔からの吸着作用と上型の底面に突設されたパイロットピン818 とによる位置決作用とによって（図７参照）、該上型底面の所定位置に角型基板811 の本体を吸着させ且つその反対面に装着された電子部品832 を下側とする状態で吸着することにより行われる。
また、この第一型締時では、上下両型804・808の型面間における下型キャビティ801 部の外方周囲がシール部材820 にてシールされるため外気が遮断された状態となる。
なお、このとき、角型基板811 の底面はフローティングプレート824 の上面に接合されておらず、従って、下型キャビティ801 内の減圧作用によって上記シール範囲内のエア及び液状樹脂材料(201・202)中に含まれる気泡等を外部へ効率良く且つ強制的に排出する上下両型面間の減圧を行うことができる。
次に、又は、上記した角型基板811 の供給セットと同時的に、上型804 にカートリッジヒータ815 による加熱作用を加えて該上型を樹脂成形温度にまで加熱する。
この上型804 の加熱は、該上型と凹所812 の内面との間の間隙Ｓ内を減圧して該上型を弾性部材814 の弾性突出力に抗して上昇させ且つ該上型凹所812 の内面に接合させることにより、上型804 にカートリッジヒータ815 からの熱伝導による加熱作用を加えることによって行われる。
なお、この上型加熱後に、又は、これと同時的に、給排水ポンプ（図示なし）を作動させて上型冷却水路816 内の冷却水Ｗを導入排出管817 を通して外部へ排水することによって該上型の加熱を、より迅速に行うことができる。
この上型804 の加熱は、該上型と凹所812 の内面との間の間隙Ｓ内を減圧して該上型を弾性部材814 の弾性突出力に抗して上昇させ且つ該上型凹所812 の内面に接合させることにより、上型804 にカートリッジヒータ815 からの熱伝導による加熱作用を加えることによって行われる。
なお、この上型加熱後に、又は、これと同時的に、給排水ポンプ（図示なし）を作動させて上型冷却水路816 内の冷却水Ｗを導入排出管817 を通して外部へ排水することによって該上型の加熱を、より迅速に行うことができる。
上記した下型キャビティ801 内への液状樹脂材料(201・202)の供給時には、図８に示すように、下型808 面に離型フイルム810 が供給されており、また、該下型は樹脂成形温度にまで加熱された状態にある。
下型808 の加熱は、図９(1) に示すように、真空モータ（図示なし）を作動させて吸気通路834 から取付孔部826 及び下型808 と下型プレート807 の上面との間の間隙Ｓ内を減圧して該下型を弾性部材828 の弾性突出力に抗して下降させ且つ該下型プレート807 の上面に接合させることにより、下型808 にカートリッジヒータ829 からの熱伝導による加熱作用を加えることによって行われる。
なお、この下型加熱後に、又は、これと同時的に、給排水ポンプ（図示なし）を作動させて下型冷却水路830 内の冷却水Ｗを導入排出管831 を通して外部へ排水することによって該下型の加熱を、より迅速に行うことができる。
また、この下型加熱時における取付孔部826 及び間隙Ｓ内の減圧作用は、図８(2) 及び図９(2) に示すように、下型808 と取付孔部826 との嵌合部に構成された間隙Ｓから離型フイルム810 を強制的に吸引して下型キャビティ801 面にフイットさせる吸引力としても作用する。
下型808 の加熱は、図９(1) に示すように、真空モータ（図示なし）を作動させて吸気通路834 から取付孔部826 及び下型808 と下型プレート807 の上面との間の間隙Ｓ内を減圧して該下型を弾性部材828 の弾性突出力に抗して下降させ且つ該下型プレート807 の上面に接合させることにより、下型808 にカートリッジヒータ829 からの熱伝導による加熱作用を加えることによって行われる。
なお、この下型加熱後に、又は、これと同時的に、給排水ポンプ（図示なし）を作動させて下型冷却水路830 内の冷却水Ｗを導入排出管831 を通して外部へ排水することによって該下型の加熱を、より迅速に行うことができる。
また、この下型加熱時における取付孔部826 及び間隙Ｓ内の減圧作用は、図８(2) 及び図９(2) に示すように、下型808 と取付孔部826 との嵌合部に構成された間隙Ｓから離型フイルム810 を強制的に吸引して下型キャビティ801 面にフイットさせる吸引力としても作用する。
次に、可動板805 を更に上昇させることにより、フローティングプレート824 の上面と角型基板811 の底面とを接合させる第二の型締めを行う。
この第二型締時では、上記シール範囲内の減圧作用が行われると共に、角型基板底面の電子部品832 を下型キャビティ801 内の液状樹脂材料(201・202)中に浸漬させる。
この第二型締時では、上記シール範囲内の減圧作用が行われると共に、角型基板底面の電子部品832 を下型キャビティ801 内の液状樹脂材料(201・202)中に浸漬させる。
次に、下型プレート807 を弾性部材825 の弾性突出力に抗して更に上昇させる第三の型締めを行う。
この第三型締時においては、下型プレート807 及び下型808 が上昇することによって下型キャビティ801 内の液状樹脂材料(201・202)が圧縮される。
従って、このとき、角型基板底面の電子部品832 は下型キャビティ801 内の液状樹脂材料(201・202)中に浸漬されると共に、徐々に加圧され且つ所定の圧縮力が加えられて該液状樹脂材料により封止成形されることになる。
この第三型締時においては、下型プレート807 及び下型808 が上昇することによって下型キャビティ801 内の液状樹脂材料(201・202)が圧縮される。
従って、このとき、角型基板底面の電子部品832 は下型キャビティ801 内の液状樹脂材料(201・202)中に浸漬されると共に、徐々に加圧され且つ所定の圧縮力が加えられて該液状樹脂材料により封止成形されることになる。
次に、上型804 と上型加熱用のカートリッジヒータ815 、及び、下型808 と下型加熱用のカートリッジヒータ829 との間に空気断熱用の間隙Ｓを設定する第一の型開きを行うと共に、この第一型開時に上型804 及び下型808 を冷却する。
この上下両型の冷却時では、図１０(1) 及び同図(2) に示すように、真空モータ（図示なし）の作動を停止して取付孔部826 内の減圧状態を解除することにより弾性部材828 の弾性突出力にて下型808 を下型プレート807 面から上昇させて該下型と下型プレートとの間に間隙Ｓを保持させる下型上昇を行い、また、これと同様に、真空モータの作動を停止して上型プレート803 の凹所812 内の減圧状態を解除することにより弾性部材814 の弾性突出力にて上型804 を下降させて該上型と上型プレートとの間に間隙Ｓを保持させる上型下降を行う。この間隙Ｓによる空気断熱作用により、上下両型804・808に対する上下両プレート側、即ち、カートリッジヒータ815・829からの熱伝導による加熱作用を効率良く抑制することができる。
更に、給排水ポンプ（図示なし）を作動させて、導入排出管831 を通して下型冷却水路830 内に冷却水Ｗを供給・循環させることにより下型808 の強制冷却を行い、また、これと同様に、導入排出管817 を通して上型冷却水路816 内に冷却水Ｗを供給・循環させることにより上型804 の強制冷却を行う。これによって、上下両型804・808に対する強制的な且つ迅速な冷却を行うことができる。
上記した真空モータの作動停止による上下両型804・808と上下両プレート803・807との間における間隙Ｓの保持、及び、給排水ポンプ作動による上下両型804・808の強制冷却によって、上下両型の冷却を迅速に且つ確実に行うことができる。
また、上記した減圧状態の解除によって上型804 を下降させたとき、該上型底面の吸気孔819 内の減圧状態も解除されて角型基板811 に対する吸着作用が無くなるため該角型基板の取り外しが容易となる。
図１０(3) は、上記した第一型開きに続いて上下両型804・808が更に型開きした状態を示している。このとき、フローティングプレート824 は弾性部材825 の弾性突出力により下型プレート807 に対して相対的に上昇されることになる。
従って、このフローティングプレート824 の上昇作用は角型基板底面の圧縮樹脂封止成形体811ａ を下型キャビティ801 内から離型させる成形品離型作用として働いている。
この上下両型の冷却時では、図１０(1) 及び同図(2) に示すように、真空モータ（図示なし）の作動を停止して取付孔部826 内の減圧状態を解除することにより弾性部材828 の弾性突出力にて下型808 を下型プレート807 面から上昇させて該下型と下型プレートとの間に間隙Ｓを保持させる下型上昇を行い、また、これと同様に、真空モータの作動を停止して上型プレート803 の凹所812 内の減圧状態を解除することにより弾性部材814 の弾性突出力にて上型804 を下降させて該上型と上型プレートとの間に間隙Ｓを保持させる上型下降を行う。この間隙Ｓによる空気断熱作用により、上下両型804・808に対する上下両プレート側、即ち、カートリッジヒータ815・829からの熱伝導による加熱作用を効率良く抑制することができる。
更に、給排水ポンプ（図示なし）を作動させて、導入排出管831 を通して下型冷却水路830 内に冷却水Ｗを供給・循環させることにより下型808 の強制冷却を行い、また、これと同様に、導入排出管817 を通して上型冷却水路816 内に冷却水Ｗを供給・循環させることにより上型804 の強制冷却を行う。これによって、上下両型804・808に対する強制的な且つ迅速な冷却を行うことができる。
上記した真空モータの作動停止による上下両型804・808と上下両プレート803・807との間における間隙Ｓの保持、及び、給排水ポンプ作動による上下両型804・808の強制冷却によって、上下両型の冷却を迅速に且つ確実に行うことができる。
また、上記した減圧状態の解除によって上型804 を下降させたとき、該上型底面の吸気孔819 内の減圧状態も解除されて角型基板811 に対する吸着作用が無くなるため該角型基板の取り外しが容易となる。
図１０(3) は、上記した第一型開きに続いて上下両型804・808が更に型開きした状態を示している。このとき、フローティングプレート824 は弾性部材825 の弾性突出力により下型プレート807 に対して相対的に上昇されることになる。
従って、このフローティングプレート824 の上昇作用は角型基板底面の圧縮樹脂封止成形体811ａ を下型キャビティ801 内から離型させる成形品離型作用として働いている。
次に、可動板805 を下降させて上下両型804・808を離反させ且つ該上下両型を元の型開位置（図７参照）にまで復帰させる第二の型開きを行い、次に、離型フイルム810 が張設された下型キャビティ801 部から圧縮樹脂封止成形体811ａ が一体化された角型基板811 （圧縮樹脂封止成形品）を外部へ取り出す。
なお、圧縮樹脂封止成形体811ａ を下型キャビティ801 部から離型させるとき、上下両型804・808は迅速に冷却されているため、該圧縮樹脂封止成形体はこの冷却作用を受けて収縮し該下型キャビティ部から離型し易い状態となっている。即ち、この圧縮樹脂封止成形体811ａ を冷却することにより該圧縮樹脂封止成形体の硬度が高まるので上記離型時に該圧縮樹脂封止成形体の形状精度が維持され、その結果、該圧縮樹脂封止成形体に反りや変形等の不具合が発生するのを効率良く防止することができる。
従って、上下両型804・808の型開き終了後に、直ちに、この圧縮樹脂封止成形品を外部へ取り出すことが可能となるため、全体的な樹脂成形サイクルタイムが短縮化されて高能率生産を図ることができる。
なお、圧縮樹脂封止成形体811ａ を下型キャビティ801 部から離型させるとき、上下両型804・808は迅速に冷却されているため、該圧縮樹脂封止成形体はこの冷却作用を受けて収縮し該下型キャビティ部から離型し易い状態となっている。即ち、この圧縮樹脂封止成形体811ａ を冷却することにより該圧縮樹脂封止成形体の硬度が高まるので上記離型時に該圧縮樹脂封止成形体の形状精度が維持され、その結果、該圧縮樹脂封止成形体に反りや変形等の不具合が発生するのを効率良く防止することができる。
従って、上下両型804・808の型開き終了後に、直ちに、この圧縮樹脂封止成形品を外部へ取り出すことが可能となるため、全体的な樹脂成形サイクルタイムが短縮化されて高能率生産を図ることができる。
上記したように、本実施例の構成においては、小型の液状樹脂材料の計量供給装置Ａと小型の圧縮樹脂封止成形装置Ｂとを組み合わせて、小型の電子部品の圧縮樹脂封止成形装置を構成する形態を採用したので、均等で高品質性・高信頼性を備えた電子部品の圧縮樹脂封止成形品を効率良く且つ確実に成形することができるのみならず、圧縮樹脂封止成形装置の全体的な構造・形状の小型化と軽量化を図ることができるため、所謂、卓上型の電子部品の圧縮樹脂封止成形装置として好適に実施することができる。
また、液状樹脂材料の性状に適応した高精度の計量を行うことができると共に、定量液状樹脂材料をその流動性を維持した状態で圧縮樹脂封止成形装置における下型キャビティ内へ効率良く且つ迅速に供給することができる。
また、液状樹脂材料の性状に適応した高精度の計量を行うことができると共に、定量液状樹脂材料をその流動性を維持した状態で圧縮樹脂封止成形装置における下型キャビティ内へ効率良く且つ迅速に供給することができる。
本発明は上記した実施例のものに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、必要に応じて任意に且つ適宜に変更または選択して実施できる。
本発明は装置形状を小型化・軽量化した電子部品の圧縮樹脂封止成形装置に採用することができるので、簡易型若しくは卓上型の圧縮樹脂封止成形装置として適用できる。
Ａ 液状樹脂材料の計量供給装置
Ｂ 電子部品の圧縮樹脂封止成形装置
Ｓ 間隙
Ｗ 冷却水
100 貯溜部
101 樹脂製シリンダ
101ａ 先端接続部位
102 シリンダガイド
103 固定部材
104 収容タンク
200 液状樹脂材料
201 定量液状樹脂材料
202 滞溜液状樹脂材料
300 計量部
301 樹脂製シリンダ
301ａ 接続部位
302 固定部材
303 シール部材
304 プランジャ
305 往復駆動機構
400 吐出部
401 容器
402 導入口
403 吐出口
404 ゲートノズル本体
405 冷却水導入排出部
406 冷却水管
407 冷却水路部材
408 ノズルチップ
409 保持部材
410 シール部材
411 ノズル部
412 嵌合着脱部
500 圧縮エア給気部
501 給気経路
502 圧縮エア
600 通路切替部
601 連通路
602 分岐バルブ部材
603 回転制御機構
700 インサートプレート
701 筒状装着部材
702 上方連通口
703 下方連通口
704 右横側連通口
705 左横側連通口
706 接続孔
707 装着孔
708 接続孔
709 接続孔
800 基盤
801 下型キャビティ
802 タイバー
803 上型プレート
804 圧縮樹脂封止成形用の上型
805 可動板
806 下型断熱板
807 下型プレート
808 圧縮樹脂封止成形用の下型
809 型開閉機構
810 成形品離型用フイルム
811 角型基板
811ａ 圧縮樹脂封止成形体
812 凹所
813 止着ピン
814 弾性部材
815 カートリッジヒータ
816 上型冷却水路
817 導入排出管
818 パイロットピン
819 吸気孔
820 シール部材
821 吸気通路
822 吸気通路
823 上型ガイドピン
824 フローティングプレート
825 弾性部材
826 取付孔部
827 止着ピン
828 弾性部材
829 カートリッジヒータ
830 下型冷却水路
831 導入排出管
832 電子部品
833 シール部材
834 吸気通路
Ｂ 電子部品の圧縮樹脂封止成形装置
Ｓ 間隙
Ｗ 冷却水
100 貯溜部
101 樹脂製シリンダ
101ａ 先端接続部位
102 シリンダガイド
103 固定部材
104 収容タンク
200 液状樹脂材料
201 定量液状樹脂材料
202 滞溜液状樹脂材料
300 計量部
301 樹脂製シリンダ
301ａ 接続部位
302 固定部材
303 シール部材
304 プランジャ
305 往復駆動機構
400 吐出部
401 容器
402 導入口
403 吐出口
404 ゲートノズル本体
405 冷却水導入排出部
406 冷却水管
407 冷却水路部材
408 ノズルチップ
409 保持部材
410 シール部材
411 ノズル部
412 嵌合着脱部
500 圧縮エア給気部
501 給気経路
502 圧縮エア
600 通路切替部
601 連通路
602 分岐バルブ部材
603 回転制御機構
700 インサートプレート
701 筒状装着部材
702 上方連通口
703 下方連通口
704 右横側連通口
705 左横側連通口
706 接続孔
707 装着孔
708 接続孔
709 接続孔
800 基盤
801 下型キャビティ
802 タイバー
803 上型プレート
804 圧縮樹脂封止成形用の上型
805 可動板
806 下型断熱板
807 下型プレート
808 圧縮樹脂封止成形用の下型
809 型開閉機構
810 成形品離型用フイルム
811 角型基板
811ａ 圧縮樹脂封止成形体
812 凹所
813 止着ピン
814 弾性部材
815 カートリッジヒータ
816 上型冷却水路
817 導入排出管
818 パイロットピン
819 吸気孔
820 シール部材
821 吸気通路
822 吸気通路
823 上型ガイドピン
824 フローティングプレート
825 弾性部材
826 取付孔部
827 止着ピン
828 弾性部材
829 カートリッジヒータ
830 下型冷却水路
831 導入排出管
832 電子部品
833 シール部材
834 吸気通路
Claims (10)
- 少なくとも上下両型から成る電子部品の樹脂封止成形用型に単数枚の基板セット用下型キャビティを配置して、前記基板上に装着した電子部品を前記下型キャビティ内に供給した液状樹脂材料中に浸漬させると共に、前記液状樹脂材料に所定の加熱作用及び加圧作用を加えて前記基板上の電子部品を圧縮樹脂封止成形する方法に用いられる前記液状樹脂材料の計量供給方法であって、
貯溜部に液状樹脂材料を貯溜する液状樹脂材料の貯溜工程を行い、
次に、通路切替部を介して、前記貯溜部に貯溜された液状樹脂材料を計量部に移送し且つこれを計量して定量を計測する液状樹脂材料の定量計測工程を行い、
次に、前記通路切替部を介して、前記定量計測工程を経た定量の液状樹脂材料を吐出部に移送する定量液状樹脂材料の吐出工程を行い、
次に、前記通路切替部及び吐出部へ圧縮エアを給気して前記通路切替部内及び吐出部内の滞溜液状樹脂材料を外部へ排出する滞溜液状樹脂材料の排出工程を行うことを特徴とする液状樹脂材料の計量供給方法。 - 前記した液状樹脂材料の貯溜工程と前記液状樹脂材料の定量計測工程との間に、前記貯溜部に貯溜された液状樹脂材料を加圧した状態で前記計量部側に移送する液状樹脂材料の加圧移送工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の液状樹脂材料の計量供給方法。
- 前記した液状樹脂材料の貯溜工程、液状樹脂材料の定量計測工程、定量液状樹脂材料の吐出工程及び滞溜液状樹脂材料の排出工程の全ての工程或はその一部の工程において、前記液状樹脂材料を冷却又は加熱する液状樹脂材料の温度管理工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の液状樹脂材料の計量供給方法。
- 前記した液状樹脂材料が、電子部品の封止成形に用いられる液状熱硬化性樹脂材料であることを特徴とする請求項１、又は、請求項２に記載の液状樹脂材料の計量供給方法。
- 少なくとも上下両型から成る電子部品の樹脂封止成形用型に単数枚の基板セット用下型キャビティを配置して、前記基板上に装着した電子部品を前記下型キャビティ内に供給した液状樹脂材料中に浸漬させると共に、前記液状樹脂材料に所定の加熱作用及び加圧作用を加えて前記基板上の電子部品を圧縮樹脂封止成形する樹脂封止成形装置に用いられる前記液状樹脂材料の計量供給装置であって、
液状樹脂材料を貯溜する液状樹脂材料の貯溜部と、
前記貯溜部の液状樹脂材料を計量して定量を計測する液状樹脂材料の計量部と、
前記計量部にて計量した液状樹脂材料を前記下型キャビティ内に移送する定量液状樹脂材料の吐出部と、
前記吐出部への圧縮エア給気部と、
前記液状樹脂材料の貯溜部と液状樹脂材料の計量部、又は、前記液状樹脂材料の計量部と定量液状樹脂材料の吐出部、又は、前記定量液状樹脂材料の吐出部と圧縮エア給気部とを連通接続させるための連通路を形成した通路切替部とが備えられていることを特徴とする液状樹脂材料の計量供給装置。 - 前記した液状樹脂材料の貯溜部に、前記貯溜部に貯溜された液状樹脂材料を加圧して前記計量部側に移送する液状樹脂材料の加圧移送手段を配設して構成したことを特徴とする請求項５に記載の液状樹脂材料の計量供給装置。
- 前記した液状樹脂材料の計量部が、前記通路切替部の連通路に連通接続されたシリンダと、このシリンダ内に密に嵌装されたプランジャと、このプランジャを往復駆動させるための往復駆動機構とから構成されていることを特徴とする請求項５に記載の液状樹脂材料の計量供給装置。
- 前記液状樹脂材料の計量部にて計量される液状樹脂材料の定量が、前記シリンダ内に密に嵌装されたプランジャの往復移動ストローク長に基づいて設定されていることを特徴とする請求項７に記載の液状樹脂材料の計量供給装置。
- 前記した液状樹脂材料の貯溜部、液状樹脂材料の計量部、定量液状樹脂材料の吐出部、圧縮エア給気部の全ての部位或はその一部の部位に、前記液状樹脂材料を冷却又は加熱する液状樹脂材料の温度管理手段を配設して構成したことを特徴とする請求項５に記載の液状樹脂材料の計量供給装置。
- 前記した液状樹脂材料の貯溜部と液状樹脂材料の計量部及び定量液状樹脂材料の吐出部が装置本体に対して着脱自在となるように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の液状樹脂材料の計量供給装置。
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